JP2003024888A - テープ状部材の洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄時に擦れ合ってテープ表面のキズができ
ると新たな異物を発生するという問題があった。 【解決手段】 洗浄槽２５内でテープ状部材２０を略Ｕ
字状にガイドして洗浄液２６に浸漬させ、洗浄液２６中
でテープ状部材２０に超音波振動を付与し、洗浄液２６
から出て上昇移動するテープ状部材２０に洗浄液を吹付
ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はテープ状部材を連続
的に洗浄しテープ状部材に付着した異物を除去する装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＴＡＢ式半導体装置は、図４に示すよう
に所定の間隔で透孔１ａを穿設した絶縁テープ１に銅箔
を積層し、この銅箔をエッチングして前記透孔１ａ内に
延在するインナリード２ａと絶縁テープ１上に位置する
アウタリード２ｂとを形成したＴＡＢテープ３を用い、
図５に示すように透孔１ａ内に半導体ペレット４を配置
して半導体ペレット４上の電極４ａとインナリード２ａ
とを電気的に接続した後、絶縁テープ１のアウタリード
２ｂを含む領域を切断して製造される。この製造過程で
ＴＡＢテープ３はリール（図示せず）に巻回されて保管
され、工程間を移動される。そしてリールから繰り出さ
れたＴＡＢテープ３は所定の作業がなされた後、再度リ
ールに巻き取られる。

【０００３】ＴＡＢテープ３のインナリード２ａは変形
し易く、インナリード２ａと半導体ペレットの接続部も
外力が加えられると断線し易いため、ＴＡＢテープ３は
図６に示すスペーサテープ５を介してリールに巻き取ら
れる。このスペーサテープ５は一般的に両側に沿って一
定間隔でエンボス５ａを形成し、このエンボス５ａの高
さでリールに巻回されたＴＡＢテープ３の下層と上層と
の間に十分な空隙を形成し、インナリード２ａの変形な
どを防止している。

【０００４】ところでＴＡＢ式半導体装置のインナリー
ド２ａは薄い銅箔をエッチングして形成されるためリー
ド２ａの巾や配列間隔を狭くすることができ高密度実装
に好適である。一方、リード２ａの巾や間隔が１００μ
ｍ程度に狭くなると、微細な異物がリード２ａ上やリー
ド２ａ間に付着し易くなり、静電的に付着した異物は除
去が困難で、導電性異物がリード２ａ間に付着するとリ
ード２ａ間の耐電圧を低下させたり、リード２ａ間を短
絡させ半導体装置の信頼性を低下させるという問題があ
った。また異物が剥落してＴＡＢ式半導体装置上の他の
部分やこの半導体装置が実装される印刷配線基板上の不
所望部分に付着することによっても電子回路装置の信頼
性を低下させるという問題があった。特に繰返し利用さ
れるスペーサテープ５は異物が付着していないＴＡＢテ
ープに異物を転写する虞があるため異物除去は重要であ
った。

【０００５】この異物を除去する方法としてスペーサテ
ープ５を徐電処理して異物の剥離を容易にした上で吹付
ノズルと吸引ダクトの間を通過させ高圧エアにより異物
を吹き飛ばし除去する方法があるが、吸引ダクトから外
れた微細な異物は浮遊し再付着する虞があるため、一般
的には純水やアルコールを沁み込ませた不織布でテープ
状部材を拭き取り除去している。

【０００６】一方、テープ状部材を自動的に洗浄する装
置として特開平８−１１２２号公報（先行技術１）が知
られている。この洗浄装置の構造を図７に示す。図にお
いて、６はテープ状部材で、リール７から繰り出され水
平移動してリール８に巻き取られる。９はテープ状部材
６の水平移動経路に配置されたタンクで、内部が３つの
部屋に区画され、両端と各区画壁にはテープ状部材６が
通過する窓が形成されている。タンク９内で区画された
部屋はテープ状部材６の移動方向に沿って順次、洗浄槽
部１０、リンス部１１、乾燥部１２に設定されている。
１３は洗浄液タンクで、図示省略するがポンプが配置さ
れ、洗浄槽部１０と洗浄液タンク１３との間はパイプ１
４ａ、１４ｂにより接続され、洗浄液１５が循環する。
１６は洗浄槽部１０内に配置され、洗浄液１５中でテー
プ状部材６に超音波振動を付与する超音波発生装置で、
洗浄効果を良好なものにするためテープ状部材６の両側
で送り方向に互い違いに配置している。１７は洗浄液タ
ンク１３とリンス部１１内に配置されたリンス液供給ノ
ズル１８との間に挿入された蒸留再生装置で、油などの
不純物を含んだ洗浄液１５を蒸留しリンス液として利用
するものである。リンス部１１に供給されたリンス液は
図示省略するパイプを通り洗浄液タンク１３に戻され
る。１９ａ、１９ｂは乾燥部１２内でテープ状部材６に
上下から熱風を供給し乾燥させる一対のダクトを示す。

【０００７】この装置は洗浄槽部１０内で洗浄液１５中
でテープ状部材６に超音波振動を付与し、テープ状部材
６に付着した異物を除去し、異物が除去されたテープ状
部材６をリンス部１１、乾燥部１２に順次送ることによ
り効率良くテープ状部材６を洗浄することができる。

【０００８】また図示省略するが特開平５−２２０４６
０号公報（先行技術２）には超音波振動子を被洗浄物に
当接して、超音波振動子を被洗浄物の間に洗浄液を微少
量供給して、超音波振動子を振動させて汚れを洗浄液中
に流出させるようにした洗浄装置が開示されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで図７に示す先
行技術１に開示された洗浄装置は、内部を区画したタン
ク９内にテープ状部材６を挿通しているため、洗浄槽部
１０とリンス部１１の両端壁に液留めパッキングをそれ
ぞれ配置する必要があるが、テープ状部材６に付着した
異物が油膜など拭き取り除去可能な異物であればこのパ
ッキングによって除去することができる。

【００１０】しかしながら異物が微細な固形物の場合に
は、パッキング部分でテープ状部材と異物が擦れ合い、
新たな異物を発生する虞があった。特にＴＡＢテープ用
のスペーサテープの場合、繰返し利用されるため、擦れ
合いによりテープ表面のキズが広がると異物の発生量が
増大することが問題であった。この異物は電気的に絶縁
性であるため耐電圧低下や短絡の問題はないが、半導体
ペレット上の電極とインナリードの間に位置すると電気
的接続を損なう虞があるため、洗浄により表面が傷つく
ことは問題であった。

【００１１】また洗浄液１５を再生してリンス液として
利用するため、リンス液に異物が混入するとリンス時に
異物がテープ状部材６に再付着するという問題もあっ
た。また一つのタンク９内を仕切っているため乾燥部１
２の熱が洗浄槽部１０に伝達されやすく洗浄液１５が温
度上昇すると超音波振動による洗浄効果が変化し、高温
の洗浄液中で樹脂製テープ状部材６が延びるという問題
があった。

【００１２】また先行技術２は超音波振動子を直接、被
洗浄物に当てるため、洗浄液を大量に供給したとしても
剥離させた異物が被洗浄物に再付着する虞がありテープ
状部材の洗浄にこの技術を直ち適用できなかった。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので洗浄液が循環供給される
洗浄槽と、洗浄槽内でテープ状部材を略Ｕ字状にガイド
して移動させ、移動経路底部に位置するテープ状部材を
洗浄液に浸漬させるテープ移動手段と、下端が洗浄槽内
の洗浄液中に浸漬されてテープ状部材と対向し超音波振
動を付与する超音波振動体と、洗浄液から出て上昇移動
するテープ状部材に洗浄液を吹付けるノズルとを含み、
ノズルから吐出された洗浄液を洗浄槽に供給するように
したことを特徴とするテープ状部材の洗浄装置を提供す
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明によるテープ状部材の洗浄
装置は略Ｕ字状にガイドされて移動するテープ状部材の
移動経路底部を洗浄液が循環供給される洗浄槽内の洗浄
液中に浸漬させ、洗浄液中でテープ状部材に超音波振動
を付与してテープ状部材に付着した異物を剥離させ、洗
浄液から出て上昇移動するテープ状部材に洗浄液を含む
高圧エアを吹付け、ノズルから吐出された洗浄液を洗浄
槽に戻すことによりテープ状部材の表面に残留した異物
を洗浄槽内に戻すようにしたもので、ノズルから吐出さ
れる洗浄槽に供給される洗浄液によって洗浄槽内の洗浄
液の温度をほぼ一定に保つことができ、洗浄液に浸漬さ
れたテープ状部材の延びを防止することができる。

【００１５】また洗浄槽内の洗浄液を所定の液面高さ位
置から排出することにより、洗浄槽内で洗浄液の循環経
路を形成することができ、異物が洗浄槽内に長期間滞留
することを防止でき、さらに洗浄槽から排出された洗浄
液をフィルタを通して洗浄槽に循環供給することにより
異物のない洗浄液を洗浄槽に供給することができる。こ
の場合、洗浄槽内の洗浄液の供給、排出の循環方向が、
テープ状部材の移動方向と逆方向に設定することによ
り、テープ状部材と洗浄液の相対速度を大きくでき、テ
ープ状部材から剥離された異物がテープ状部材に再付着
するのを防止できる。

【００１６】またテープ状部材の移動経路をカバーで覆
い、カバー内に清浄化されたエアをき供給することによ
り外来の異物がテープ状部材に付着するのを防止でき
る。

【００１７】さらにはテープ状部材をガイドするガイド
体のガイド面をテープ状部材の巾方向に連続した凹湾曲
面させたものを用いることにより、カイド体とテープ状
部材の接触部での異物の発生を防止できる。

【００１８】

【実施例】以下に本発明の実施例を図１から説明する。
図において、２０はテープ状部材で、例えばＴＡＢテー
プの層間スペーサとして用いられる図６に示すスペーサ
テープで、同一スペーサテープが異なるＴＡＢテープに
対して繰返し用いられるものである。２１はテープ状部
材２０を巻回した供給リール、２２は供給リール２１か
ら繰り出されたテープ状部材２０を巻き取る巻取リール
を示す。２３は供給リール２１から繰り出されたテープ
状部材２０にテンションを与えるテンショナ、２４はテ
ンショナ２３を通ったテープ状部材２０を一対のローラ
２４ａ、２４ｂで挟持し制動する制動ローラ、２５は底
部に洗浄液２６が供給された洗浄槽で、洗浄液２６とし
て純水が用いられている。この洗浄槽２５内には、その
上部と洗浄液２６に浸漬する下部に順次、テープ状部材
２０をガイドするローラ２７（２７ａ、２７ｂ、２７
ｃ、２７ｄ）が配置され、テープ状部材２０は洗浄槽２
５内で略Ｕ字状にガイドされている。洗浄槽２５の底部
は図示省略するがローラ２７ｂの一点に向かって傾斜し
ている。２８は洗浄槽２５の底部の最深部に開口した排
液パイプ、２９は排液パイプ２８に接続され、洗浄液２
６に含まれる異物を除去する第１のフィルタ、３０は第
１のフィルタ２９を通った洗浄液２６からさらに微小な
異物を除去する第２のフィルタ、３１は第１、第２のフ
ィルタ２９、３０を通り異物が除去され清浄化された洗
浄液２６を供給パイプ３２を通して再度洗浄槽２５のロ
ーラ２７ｃ側に戻すポンプを示す。

【００１９】洗浄液２６の液面高さは図示省略するが排
液パイプ２８側の洗浄槽２５側壁に開口させた開口窓
（図示せず）の高さ位置で決定される。３３は洗浄槽２
５内で下端が洗浄液２６に挿入され、洗浄液２６中でテ
ープ状部材２０と対向し超音波振動を付与する超音波振
動体で、水平移動するテープ状部材２０を横断する微小
エリアに超音波エネルギーを集中して供給することので
きる超音波振動体（例えばカイジョー株式会社製、６２
８１Ａ型振動子）が用いられる。３４は洗浄槽２５内
で、洗浄液２６から出てローラ２７ｄに向かって上昇移
動するテープ状部材２０に新鮮な洗浄液を吹付ける洗浄
ノズルで洗浄槽２５内の洗浄液２６を補充する。３５は
洗浄ノズル３４の上方でローラ２７ｄに向かって上昇移
動するテープ状部材２０に高圧エアを吹付けテープ状部
材２０に付着した洗浄液を吹き飛ばすエアノズルを示
す。

【００２０】３６は洗浄槽２５に隣接配置された第１乾
燥部で、テープ状部材２０はローラ３７（３７ａ、３７
ｂ、３７ｃ、３７ｄ）により略Ｕ字状にガイドされる。
またテープ状部材２０の移動経路に沿って高圧エアノズ
ル３８が配置されている。３９は第１乾燥部３６に隣接
配置された第２乾燥部で、テープ状部材２０はローラ４
０（４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ）により略Ｕ字状
にガイドされ、テープ状部材２０の移動経路に沿って高
温エアノズル４１が配置されている。この第２乾燥部３
９を出たテープ状部材２０は巻取リール２２に巻き取ら
れる。４２は上記供給リール２１と巻取リール２２を含
みその間にある各部を囲撓するカバー、４３はカバー４
２内に取り込む外気から異物を除去するエアフィルタ
で、カバー４２の前面から外気を取り込みカバー４２の
背面のからダクト（図示せず）を通してカバー４２の上
方に送られる。４４はエアフィルタ４３によって清浄化
させたエアをカバー４２内の上方から下方に向かって供
給するファンを示す。

【００２１】この装置には洗浄槽２５から余剰の洗浄液
２６を排出するパイプ、第２乾燥部３９の高温エアを第
２乾燥部３９内で循環させる機構、テープ状部材２０の
断線を検出するセンサなどが付設されているが図示省略
する。またテープ状部材２０をガイドするガイドローラ
２７、３７、４０などは図２に示すように回転軸Ａ回り
に回転するガイド面Ｂがテープ状部材２０の巾方向に連
続した凹湾曲面に形成されたものを用いている。

【００２２】以下にこの装置の動作を説明する。先ず洗
浄されるテープ状部材２０を巻回した供給リール２１を
本発明による洗浄装置に装着し、テープ状部材２０を繰
り出して移動経路に順次装着し、繰り出した先端を巻取
リール２２に巻き込む。そしてテープ部材の移動経路に
沿って配置された各部を動作させると、カバー４２内に
はエアフィルタ４３を通り清浄化されたエアが循環し、
無塵状態が維持される。この状態で供給リール２１、巻
取リール２２に回転力を付与すると、供給リール２１か
らテープ状部材２０が繰り出されるが、リール２１、２
２の巻径の変化によるテンションの変化をテンショナ２
３によって吸収し、各リール２１、２２を回転制御する
ことによりテープ状部材２０のテンションを一定にし、
送り速度を安定させている。このテンショナ２３にはテ
ンションの急激な変化からテープ切れを検出する機構が
設けられている。

【００２３】テンショナ２３を通ったテープ状部材２０
は制動ローラ２４を通過して洗浄槽２５に供給される。
制動ローラ２４は通常はローラ２４ａ、２４ｂが開いて
いるがテンショナ２３からテープ切れ信号が与えられる
と、テープ状部材２０を挟持し、警告灯を点灯させたり
や警報音を発する。制動ローラ２４を通ったテープ状部
材２０は洗浄槽２５内で下降して洗浄液２６中に入り一
定距離水平動して上昇し洗浄槽２５の上方に移動する。
樹脂からなるスペーサテープの場合、洗浄液２６はテー
プ表面を溶かしたり材料の特性を変化させるような有機
溶剤を含む洗浄液は不適で、中性の界面活性剤を含むも
のもリンス処理が必要であるなどの問題があるため純水
を用いている。洗浄槽２５内の洗浄液２６は、液面高さ
が一定に保たれて排液パイプ２８、第１，第２のフィル
タ２９、３０、ポンプ３１、供給パイプ３２によって循
環し、テープ状部材２０の移動方向と逆方向に移動して
いる。洗浄槽２５から排出された洗浄液２６は第１のフ
ィルタ２９を通り例えば径が１０μｍを超える異物が除
去され、さらに第２のフィルタ３０によって径が３μｍ
を超える異物が除去される。従って、洗浄槽２５内に供
給される洗浄液２６には３μｍを超える異物は存在しな
い。

【００２４】この洗浄液２６中を移動するテープ状部材
２０に超音波振動体３３によって超音波振動が付与され
る。この超音波振動体３３は容器全体を振動させてテー
プ状部材２０に超音波振動を付与するものではなく、洗
浄液２６を介して直接的にテープ状部材２０に超音波振
動を付与するため、洗浄部分に超音波エネルギーを集中
でき、固形の異物をほぼ１００％テープ状部材２０から
剥離することができる。洗浄槽２５の洗浄液深さは３０
〜４０ｍｍとし、テープ状部材２０と超音波振動体３３
の間隔は５〜１０ｍｍに設定する。

【００２５】テープ状部材２０の超音波振動体３３と対
向する領域は微小振幅しこの領域から離れるとテープ状
部材２０は洗浄水２６によって制動されて減衰しほとん
ど振動しないためテープ状部材２０を安定して移動させ
ることができる。洗浄液２６はテープ状部材２０の移動
方向と逆方向に移動し、洗浄液２６とテープ状部材２０
の相対速度が大きいためテープ状部材２０から剥離した
異物はテープ状部材２０に再付着しにくく、再付着して
も直ちに剥離される。

【００２６】このようにしてテープ状部材２０から剥離
した異物は、洗浄液２６の移動方向に移動するが、軽い
異物は洗浄液２６の表面や上層部分を移動し、開口窓か
らあふれて洗浄槽２５の外部に除去される。また比較的
重い異物は洗浄液２６中に沈み、循環する洗浄液２６に
よって排液パイプ２８から第１，第２のフィルタ２９、
３０に送られ、径が３μｍを超える異物はフィルタに捕
捉される。

【００２７】このようにして、表面から異物が剥離され
たテープ状部材２０はローラ２７ｃによって上方に曲げ
られ洗浄液２６から出て上昇する。この上昇位置で洗浄
ノズル３４からテープ状部材２０に循環供給される洗浄
液２６とは別の新鮮な洗浄液が吹付けられる。洗浄ノズ
ル３４は下向きで、上昇するテープ状部材２０に洗浄液
を当て、テープ状部材２０に残留した異物を洗い流す。
この洗浄水は洗浄槽２５内に供給され洗浄液２６を補充
し、循環供給される洗浄液２６の水位を一定に保つほ
か、洗浄液２６に含まれる水溶性異物を希釈する。これ
によってテープ状部材２０から洗浄槽２５内の洗浄液２
６に含まれる水溶性の異物や３μｍより径大の異物を除
去できる。

【００２８】洗浄槽２５内の洗浄液２６は超音波振動体
３３が動作すると温度上昇する。液温２０℃の静止した
洗浄液２６は超音波振動体３３を連続動作させると１時
間で４０〜５０℃に上昇する。このようにして温度上昇
すると超音波出力が変化し洗浄能力が変化するが、洗浄
液２６を循環させ、洗浄ノズル３４から新鮮な洗浄液を
供給することにより、洗浄液２６の液温を２２℃程度に
安定させることができる。これにより洗浄中にテープ状
部材が延びるのを防止することができる。

【００２９】水洗されたテープ状部材２０は上部位置で
エアノズル３５から高圧エアが吹き付けられテープ状部
材２０表面に残留した洗浄液を吹き飛ばし除去する。こ
のようにして洗浄されたテープ状部材２０は第１、第２
の乾燥部３６、３９に順次送られて十分乾燥され巻取リ
ール２２に巻き取られる。

【００３０】第１乾燥部３６では高圧の乾燥エアを吹付
け、第２の乾燥部３９では５０℃程度に加熱した乾燥エ
アを吹付けてテープ状部材２０を完全に乾燥させる。

【００３１】テープ状部材２０をカイドするローラとし
て一般的にはテープ状部材よりわずかに広い円周部の両
側に傾斜あるいは直交するフランジを設けたローラが用
いられるが、本発明装置では図２に示す形状のローラを
用いることにより、テープ状部材２０が例えば巾が３５
ｍｍ、４８ｍｍ、７０ｍｍの異なるものでも、テープ状
部材の移動中心を揃えることができ、一時的に傾いても
直ちにテープ状部材２０の移動断面を水平にすることが
できる。そのため、テープ状部材２０の巾方向の超音波
振動体３３とテープ状部材２０の間を平行にして間隔を
一定にでき、安定した洗浄ができる。

【００３２】またローラ２７、３７、４０とテープ状部
材２０の間に間隙を形成できるため、異物がローラによ
ってテープ状部材２０に圧着されることはない。

【００３３】またテープ状部材２０とローラ２７の接触
面積を最小に出来るためテープ状部材２０に付与された
超音波振動が外部に伝達されにくく、超音波振動の状態
を最良状態にできる。

【００３４】この装置はカバー４２内に清浄化された空
気が供給され、外部から異物が浸入しないようにされて
いが、何らかの理由でテープ状部材２０にかかるテンシ
ョンが急激に変化するとカイドローラとの間ですべりを
生じ擦れたテープ状部材２０表面が削れて異物を発生し
これがテープ状部材２０に再付着する虞がある。しかし
ながら図２に示すガイドローラはテープ状部材２０との
接触面積を最小に出来るためカイドローラとの間ですべ
りを生じても擦れ合う面積が小さく、異物を発生しにく
い。そのため装置内部での異物の発生を最小にできる。
また第１，第２の乾燥部３６、３９ではテープ状部材２
０の移動経路の方向を変化させる部分で、テープ状部材
２０とローラの間に空隙を形成でき、この空隙に高温エ
アを供給できるため、ローラ部分での乾燥も十分にでき
る。

【００３５】本発明による上記装置の洗浄効果を３５ｍ
ｍ巾のスペーサテープについて確認した。まずテープの
移動速度を変化させ洗浄の前後でテープに付着した異物
の数を顕微鏡を用いて計測し、異物の除去率を確認し
た。テープの移動速度を２０ｍｍ／秒から５０ｍｍ／秒
の間で変化させたとき、除去率は９５．８％から９１．
６％で、９０％以上の除去率を達成できた。テープの表
面状態、即ち、光沢面と梨子地面のいずれも除去率は変
わらなかった。残留した異物はテープにこびりついた異
物を除くと３μｍより十分小さいもので、スペーサテー
プとして繰返し利用するのに支障のないものであった。
また洗浄前後でテープの移動速度とは係わりなく、テー
プの長さの変化は認められず、エンボスの形状、高さ、
間隔ともに変化がなくスペーサテープとしての繰返し利
用に支障のないものであった。またスペーサテープ表面
の洗浄前後の傷、破損の状態を顕微鏡を用い目視検査し
たが、傷の発生は皆無であった。また巾が４８ｍｍ、７
０ｍｍのテープ状部材でも異物の除去率は９０％以上
で、良好な洗浄ができた。

【００３６】尚、洗浄槽２５内の上部ローラ２７ａ、２
７ｄは洗浄槽２５内壁に直接固定することができるが、
洗浄液２６を収容した部分を上下動可能としたり、下部
ローラ２７ｂ、２７ｃを一枚の平板（図示せず）に上下
方向に可動に支持することにより、テープ状部材２０を
洗浄液２６に浸漬しない状態でローラ２７に装着し、そ
の後、下部ローラ２７ｂ，２７ｃ間のテープ状部材２０
を洗浄液２６に浸漬させることができる。また超音波振
動体３３は上下動可能に支持することにより最適洗浄状
態に調整可能である。

【００３７】またカバー４２内を循環するエアをイオン
化したり、少なくとも巻取リール２２の直前でテープ状
部材２０にイオン化したエアを吹付けることにより異物
の再付着を防止できる。また本発明による装置は洗浄液
や高圧エアの圧力調整、テープ状部材の移動速度、洗浄
液剤を適宜選択することにより、ＴＡＢテープ用のスペ
ーサテープだけでなく、表面に微細なリードを有するＴ
ＡＢテープ、その他のテープ状部材一般に適用できる。

【００３８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、テープ状
部材の表面に触れることなく異物を洗浄除去でき、除去
した異物の再付着を防止できる。またテープ状部材の表
面を傷つけることなく、また洗浄中にテープ状部材がテ
ンションがかけられた状態で高温に曝されないため延び
変化がなく、繰返し利用されるテープ状部材の洗浄に好
適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示す正断面図

【図２】 本発明装置に適用されるローラの側断面図

【図３】 本発明装置により洗浄されたテープ状部材の
移動速度に対する異物除去率を示すグラフ

【図４】 ＴＡＢテープを示す要部斜視図

【図５】 図４に示すＴＡＢテープの側断面図

【図６】 図４に示すＴＡＢテープ用スペーサテープ

【図７】 テープ状部材用洗浄装置の一例を示す正断面
図

【符号の説明】

２０ テープ状部材 ２５ 洗浄槽 ２６ 洗浄液 ２７ ローラ（テープ移動手段） ３３ 超音波振動体 ３４ 洗浄ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 嘉和 滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号 関西日 本電気株式会社内 (72)発明者 桂木 正弘 滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号 関西日 本電気株式会社内 (72)発明者 上松 清治 滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号 関西日 本電気株式会社内 Ｆターム(参考） 3B201 AA08 AB13 AB33 AB47 BB02 BB21 BB82 BB83 BB92 BB98 CC12 CD22 5F044 MM49

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄液が循環供給される洗浄槽と、洗浄槽
   内でテープ状部材を略Ｕ字状にガイドして移動させ、移
   動経路底部に位置するテープ状部材を洗浄液に浸漬させ
   るテープ移動手段と、下端が洗浄槽内の洗浄液中に浸漬
   されてテープ状部材と対向し超音波振動を付与する超音
   波振動体と、洗浄液から出て上昇移動するテープ状部材
   に洗浄液を吹付けるノズルとを含み、ノズルから吐出さ
   れた洗浄液を洗浄槽に供給するようにしたことを特徴と
   するテープ状部材の洗浄装置。
2. 【請求項２】ノズルから吐出される洗浄槽に供給される
   洗浄液によって洗浄槽内の洗浄液の温度をほぼ一定に保
   つようにしたことを特徴とする請求項１に記載のテープ
   状部材の洗浄装置。
3. 【請求項３】洗浄槽内の洗浄液が所定の液面高さ位置か
   ら排出されフィルタを通して洗浄槽に循環供給されるこ
   とを特徴する請求項１に記載のテープ状部材の洗浄装
   置。
4. 【請求項４】洗浄槽内の洗浄液の供給、排出の循環方向
   が、テープ状部材の移動方向と逆方向であることを特徴
   とする請求項３に記載のテープ状部材の洗浄装置。
5. 【請求項５】テープ状部材の移動経路がカバーで覆われ
   ていることを特徴とする請求項１に記載のテープ状部材
   の洗浄装置。
6. 【請求項６】カバー内に清浄化されたエアが供給される
   ことを特徴とする請求項５に記載のテープ状部材の洗浄
   装置。
7. 【請求項７】テープ状部材をガイドするガイド面がテー
   プ状部材の巾方向に連続した凹湾曲面であることを特徴
   とする請求項１に記載のテープ状部材の洗浄装置。