JP2001146950A - 一軸アクチュエータおよびこれを用いた搬送・位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 伸縮ストロークを大きくし、しかも揺動角度
も大きくとれる一軸アクチュエータを提供する。 【解決手段】 中空の回転部材３２の両端に一対のナッ
ト３３ａ，３３ｂを設け、前記ナット３３ａに第１のロ
ッド３４を螺合し、前記ナット３３ｂに第２のロッド３
５を螺合し、前記回転部材３２を回転する電動モータ３
９が前記第１のロッド３４の回りを回転するのを制限す
ると共に、電動モータ３９が前記第１のロッド３４の軸
線方向へ直線運動するのを許容する直線案内手段４１を
設けた。回転部材３２を回転すると、回転部材３２が第
１のロッド３４に対して昇降する。電動モータ３９は、
自走して回転部材３２の昇降に追従する。このため、電
動モータ３９がベースと干渉することがなく、首振り角
度の大きな一軸アクチュエータ３１が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、伸縮する一軸アク
チュエータ、およびこの一軸アクチュエータを用いて揺
動台を搬送・位置決めする搬送・位置決め装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】基台と揺動台との間に６本の一軸アクチ
ュエータを介在し、６自由度を有する揺動台を搬送・位
置決めするパラレルリンク機構が知られている。図７
は、このパラレルリンク機構を示す（本出願人が提案し
た特願平号参照）。パラレルリンク機構は、基台１と揺
動台２との間に伸縮可能な６本の一軸アクチュエータ３
を架設し、各一軸アクチュエータ３を選択的に伸縮し
て、揺動台２に載せられた車体２４を搬送・位置決めす
る。

【０００３】図８は、このパラレルリンク機構に用いら
れる一軸アクチュエータ３を示す。この一軸アクチュエ
ータ３は、中空のチューブ４内に、一端がチューブ４内
に収納され、他端がチューブ４外に突出するロッド５を
設けたもので、ボールねじ６によってロッド５をチュー
ブ４から進退自在にしている。ねじ軸７は、チューブ４
の一端に取付けられたハウジング８に回転自在に支持さ
れ、巻掛け伝動装置９を介して電動モータ１０の出力軸
に連結される。電動モータ１０を駆動すると、ねじ軸７
が回転し、ナット１１がねじ軸７に対して昇降し、ナッ
トに固定されたロッド５がチューブ４に対して進退す
る。

【０００４】しかしながら、従来の一軸アクチュエータ
３は、一つのボールねじ６を用いてロッド５を進退する
構成になっているため、その伸縮ストロークを大きくす
ることができなかった。特に、図７に示すパラレルリン
ク機構において、各一軸アクチュエータ３は、揺動台２
のＸＹＺ座標軸と交差するように配置されることが多い
ため、揺動台２の位置の変化量に比較して各一軸アクチ
ュエータ３のストロークを大きく取らなければならない
が、従来の一軸アクチュエータ３は、伸縮ストロークが
不充分であった。

【０００５】図９は、伸縮ストロークを大きくした一軸
アクチュエータとしての伸縮アームを示す（特開昭５５
−１７１７４６号参照）。この伸縮アームは、回転可能
なパイプ１２の両端に一対の雌ねじ１３ａ，１３ｂを形
成し、パイプ１２の両側にこの雌ねじ１３ａ，１３ｂと
螺合する第１および第２のねじ軸１４，１５を設けてい
る。駆動源によって歯車１６を回転すると、歯車１６に
固定されたスプライン軸１７が回転し、スプライン軸１
７と係合するパイプ１２も回転する。パイプ１２は、そ
の回転により第１のねじ軸１４に対して昇降する。ま
た、パイプ１２が回転することにより、このパイプに螺
合する第２のねじ軸１５も昇降する。このように、ねじ
機構を２つ設けることによって、伸縮アームが２段で伸
縮するため、伸縮ストロークを大きくすることができ
る。

【０００６】また、伸縮ストロークを大きくした他の一
軸アクチュエータとして、図１０に示す伸縮駆動装置も
知られている（実用新案登録第２５７５０５４号参
照）。この伸縮駆動装置は、ウォームギヤ１８によって
回転されるスプライン軸１９と、スプライン軸１９に係
合する進退筒２０と、進退筒２０の下端側に設けられた
ナット２１と、このナット２１と螺合する固定ねじ軸２
５と、進退筒２０の外周に形成した雄ねじと螺合するナ
ット２２を設けた支持軸筒２３とで構成される。スプラ
イン軸１９を回転すると、進退筒２０も一緒に回転し、
進退筒２０が固定ねじ軸２５に対して昇降し、進退筒２
０に対して支持軸筒２３も昇降する。ねじ機構を２つ設
けているため、この伸縮駆動装置によっても伸縮ストロ
ークを大きくすることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
伸縮アームおよび伸縮駆動装置にあっては、パイプ１２
を回転する駆動源は、パイプ１２と共に昇降することな
く、常にベース側の一定位置にある。パラレルリンク機
構の一軸アクチュエータは、伸縮動作と共に揺動動作を
も行うため、駆動源がベース側の一定位置にあると、駆
動源がベースと干渉し、一軸アクチュエータの首振り角
度が制限されることがある。

【０００８】また、パイプ１２およびこのパイプ１２に
螺合する一対のねじ軸１４，１５以外にスプライン軸１
７が必要になり、一軸アクチュエータが肥大化してしま
うという問題もある。このようなアクチュエータの肥大
化は、アクチュエータの揺動角度を低減する一因とな
る。

【０００９】さらに、従来の伸縮アームおよび伸縮駆動
装置は、図１０に示すように進退筒２０を回転する歯車
機構１８がベース側に固定されていて、作動ストローク
が歯車機構のスペースの分、寸法Ｌ１の分だけ減殺され
る。このように、縮んだアクチュエータの全長Ｌをスト
ロークに寄与させることはできず、アクチュエータの全
長ＬからＬ１を引いた寸法Ｌ２だけをストロークＳに寄
与させているため、ストロークＳを大きくするのに限界
がある。

【００１０】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、伸縮ストロー
クを大きくし、しかも揺動角度も大きくとれる一軸アク
チュエータを提供すること、並びに揺動台の位置・姿勢
変化を大きくとることができる搬送・位置決め装置を提
供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】以下、本発明について説
明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図
面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本
発明が図示の形態に限定されるものでない。

【００１２】上記課題を解決するために、本発明者は、
中空の回転部材（３２）と、この回転部材（３２）の両
端に設けた一対のナット（３３ａ，３３ｂ）と、前記ナ
ットの一方（３３ａ）に螺合する第１のロッド（３４）
と、前記ナットの他方（３３ｂ）に螺合する第２のロッ
ド（３５）と、前記回転部材（３２）を回転する駆動手
段（３６〜３９）と、前記駆動手段（３６〜３９）が前
記第１のロッド（３４）の回りを回転するのを制限する
と共に、前記駆動手段（３６〜３９）が前記第１のロッ
ド（３４）に対して前記第１のロッド（３４）の軸線方
向へ相対的に直線運動するのを許容する直線案内手段
（４１）と、を備えることを特徴とする一軸アクチュエ
ータ（３１）により、上述した課題を解決した。

【００１３】この発明によれば、駆動手段（３６〜３
９）によって回転部材（３２）を回転すると、回転部材
（３２）が第１のロッド（３４）に対して軸線方向に相
対的に直線運動する。駆動手段（３６〜３９）は、直線
案内手段（４１）によって案内されているため、回転部
材（３２）の軸線方向への直線運動に追従して第１のロ
ッド（３４）の軸線方向に自走し、しかも回転部材（３
２）に回転を与えつづける。駆動手段（３６〜３９）自
体が自走し、ベースから離れるため、駆動手段（３６〜
３９）がベースと干渉することがなく、首振り角度の大
きな一軸アクチュエータ（３１）が得られる。

【００１４】また、回転部材（３２）の回転によって、
第２のロッド（３５）も第１のロッド（３４）と同時に
回転部材（３２）に対して軸線方向へ相対的に直線運動
する。ナット（３３ａ，３３ｂ）に互いに逆ねじを形成
すると、第１のロッド（３４）および第２のロッド（３
５）は、互いに反対方向へ直線運動するので、伸縮スト
ロークが大きくなる。しかも、上述のように、駆動手段
（３６〜３９）が自走するので、アクチュエータ（３
１）の全長が歯車機構のスペースの分だけ減殺されるこ
とがなく、縮んだアクチュエータ（３１）のほぼ全長を
ストロークに寄与させることができ、したがって、スト
ロークをより大きくすることができる。

【００１５】また、本発明は、前記第１のロッド（３
４）および前記第２のロッド（３５）の少なくとも一方
が中空に形成され、収縮時、前記第１のロッド（３４）
および前記第２のロッド（３５）の一方が他方に収納さ
れることを特徴とする。

【００１６】この発明によれば、回転部材（３２）に第
１のロッド（３４）および第２のロッド（３５）が収納
されるため、回転部材（３２）、第１のロッド（３４）
および第２のロッド（３５）それぞれの軸線方向長さを
略等しくすることができ、伸長時には収縮時のアクチュ
エータ（３１）の全長の約３倍までアクチュエータ（３
１）を伸ばすことができる。

【００１７】また、本発明は、前記第１のロッド（３
４）に螺合する前記ナット（３３ａ）を回転自在に支持
するハウジング（４０）を設け、前記駆動手段（３６〜
３９）を該ハウジング（４０）に取り付け、該ハウジン
グ（４０）を前記直線案内手段（４１）で案内したこと
を特徴とする。

【００１８】この発明によれば、駆動手段（３６〜３
９）を回転部材（３２）の昇降に追従させ、回転部材
（３２）に回転を伝達しつづけることができる。

【００１９】また、本発明は、前記第１のロッド（３
４）および前記第２のロッド（３５）の外周に螺旋状の
ボール転走溝を形成し、前記一対のナット（３３ａ，３
３ｂ）それぞれの内周に、前記ボール転走溝に対向する
螺旋状のボール転走溝を含むボール循環路を形成し、前
記ボール循環路に複数のボール（４６）を配列・収容し
たことを特徴とする。

【００２０】この発明によれば、摩擦が小さく、効率良
く作動する一軸アクチュエータ（３１）が得られる。

【００２１】さらに、本発明は、前記直線案内手段（４
１）が、軸線方向に延びるボール転走溝を形成した前記
第１のロッド（３４）と、該ボール転走溝に対応するボ
ール転走溝を含むボール循環路が形成され、前記第１の
ロッド（３４）に対して直線運動自在に組みつけられた
外筒（４９）と、前記外筒（４９）の前記ボール循環路
内に配列収容されて、前記第１のロッド（３４）に対す
る前記外筒（４９）の直線運動に併せて循環する複数の
ボールとを備えることを特徴とする。

【００２２】この発明によれば、第１のロッド（３４）
にねじ軸としての機能とスプライン軸としての機能の両
方を持たせることができ、ねじ軸とスプライン軸を別々
に設ける必要がないため、一軸アクチュエータ（３１）
が肥大化するのを防止できる。また、摩擦が小さく、効
率の良い直線案内手段（４１）が得られる。

【００２３】前記駆動手段（３６〜３９）は、電動モー
タ（３６）と、この電動モータ（３６）の駆動力を回転
部材に伝達する動力伝達装置（３７，３８，３９）とか
ら構成されてもよい。

【００２４】また、本発明は、基台（６１）と揺動台
（６２）との間に複数の一軸アクチュエータ（３１）を
架設し、該各一軸アクチュエータ（３１）を選択的に伸
縮して上記揺動台（６２）を搬送・位置決めする搬送・
位置決め装置において、前記一軸アクチュエータ（３
１）は、中空の回転部材（３２）と、この回転部材（３
２）の両端に設けた一対のナット（３３ａ，３３ｂ）
と、前記ナットの一方（３３ａ）に螺合する第１のロッ
ド（３４）と、前記ナットの他方（３３ｂ）に螺合する
第２のロッド（３５）と、前記回転部材（３２）を回転
する駆動手段（３６〜３９）と、前記駆動手段（３６〜
３９）が前記第１のロッド（３４）の回りを回転するの
を制限すると共に、前記駆動手段（３６〜３９）が前記
第１のロッド（３４）に対して前記第１のロッド（３
４）の軸線方向へ相対的に直線運動するのを許容する直
線案内手段（４１）と、を備えることを特徴とする搬送
・位置決め装置により、上述した課題を解決した。

【００２５】この発明によれば、上述の理由により、一
軸アクチュエータ（３１）の伸縮ストロークを大きくす
ることができるため、揺動台（６２）の位置・姿勢変化
を大きくとることができる。また、駆動手段（３６〜３
９）を作動すると、駆動手段（３６〜３９）自体が自走
し基台（６１）から離れるため、駆動手段が基台（６
１）と干渉することがなく、首振り角度の大きな一軸ア
クチュエータ（３１）が得られる。したがって、より一
層、揺動台（６２）の位置・姿勢変化を大きくとること
ができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいて本発明
を詳細に説明する。図１および図２は、本発明の一実施
形態における一軸アクチュエータ３１を示すものであ
る。図１は、一軸アクチュエータ３１が縮んだ状態を示
し、図２は、伸びた状態を示している。この一軸アクチ
ュエータ３１は、例えばパラレルリンク機構の基台と揺
動台との間に自在継手を介して架け渡され、軸線方向に
伸縮すると共に、上端または下端を回転中心にして揺動
する。

【００２７】一軸アクチュエータ３１は、中空の回転部
材３２と、この回転部材３２の両端に設けられ、互いに
逆ねじが形成された一対のボールねじナット３３ａ，３
３ｂと、回転部材３２に遊嵌し、ボールねじナット３３
ａに螺合する第１のロッド３４と、第１のロッド３４に
遊嵌し、ボールねじナット３３ｂに螺合する第２のロッ
ド３５と、回転部材３２を回転する駆動手段としての電
動モータ３６を備える。電動モータ３６を駆動すると、
回転部材３２の両端に設けたボールねじ機構によって、
第１のロッド３４および第２のロッド３５が回転部材３
２から進退する。言い換えれば、回転部材３２が第１の
ロッド３４に対してその軸線方向に上昇し、第２のロッ
ド３５も回転部材３２に対してその軸線方向に上昇す
る。電動モータ３６は、それ自体の動力によって自走
し、回転部材３２と一緒に上昇する。一軸アクチュエー
タ３１は、電動モータ３６を逆回転すると逆の動作をし
て縮む。

【００２８】回転部材３２の上端には、ボールねじナッ
ト３３ｂが結合され、下端にはタイミングプーリ３７が
結合されている。ボールねじナット３３ａは、このタイ
ミングプーリ３７の下端に結合されている。タイミング
プーリ３７は、電動モータ３６によって回転駆動され
る。電動モータ３６の出力軸にはタイミングプーリ３８
が取付けられ、両タイミングプーリ３７，３８の２軸間
にはタイミングベルト３９が架け渡される。動力伝達装
置は、この一対のタイミングプーリ３７，３８およびタ
イミングベルト３９で構成され、電動モータ３６の動力
を回転部材３２に伝達する。

【００２９】ハウジング４０は、ボールねじナット３３
ａを回転自在に支持する。ボールねじナット３３ａは、
ハウジング４０に取り付けられた軸受４２に回転自在に
支持されている。また、ハウジング４０は、直線案内手
段としてのスプライン外筒４１を介して第１のロッド３
４に取り付けられている。スプライン外筒４１は、ハウ
ジング４０の第１のロッド３４回りの回転を制限すると
共に、ハウジング４０の第１のロッド３４に対する軸線
方向への相対的な直線運動を許容している。なお、ハウ
ジング４０をこのように案内する直線案内手段として
は、かかるボールスプラインの構成に限らず、種々の構
成のものを採用可能である。

【００３０】図３は、第１のロッド３４、ボールねじナ
ット３３ａ、軸受４２およびスプライン外筒４１を示す
ものである。第１のロッド３４は、中空軸の外周に螺旋
状のボール転走溝４３と軸線方向に延びるスプライン溝
４４とを互いにクロスするように形成されている。この
第１のロッド３４は、下端側が自在継手等に取り付けら
れ、上端側が回転部材３２に収納される。

【００３１】ボールねじナット３３ａは、内周面にボー
ル転走溝４３に対応するボール転走溝を含むボール循環
路４５が形成されて第１のロッド３４に相対運動自在に
組み付けられる（図４参照）。なお、図４は、第２のロ
ッド３５および第２のロッド３５に螺合されるボールね
じナット３３ｂを示すものであるが、ボールねじナット
３３ａとボールねじナット３３ｂは、互いに逆ねじにな
るボール転走溝が形成される他、略同一の構成である。
したがって、ボールねじ３３ａの構成を図４に基づいて
説明する。

【００３２】複数のボール４６は、該ボール循環路４５
内に配列収納されて、第１のロッド３４及びボールねじ
ナット３３ａの相対運動（回転）に併せて循環する。第
１のロッド３４およびボールねじナット３３ａの負荷転
走溝を転がるボール４６は、ボールねじナット３３ａの
端部に設けられた側蓋４８で溝から掬い上げられ、ボー
ルねじナット３３ａの中を通り反対側の側蓋４８から負
荷域に送り込まれて無限転がり運動をする。なお、図示
はしないが、パイプの一端でボール４６を掬い上げ、パ
イプを経由して他端に戻すリターンパイプも採用しう
る。さらに、ボール４６をデフレクタによって該ボール
転走溝から離脱させ、第１のロッド３４の外径部を飛び
越えて１リード前のボール転走溝に戻すものも採用しう
る。

【００３３】図３に示すように、軸受４２は、内輪５０
と外輪５１との間に複数のボール５２を介在させた周知
の機構である。外輪５１にはハウジング４０に取付ける
ためのフランジが形成される。

【００３４】スプライン外筒４１は、スプライン溝４４
に対応するボール循環路を有して第１のロッド３４に遊
嵌された外筒４９と、ボール循環路内に配列収納され、
第１のロッド３４に対する外筒４９の相対的な直線運動
に併せて循環する複数のボールと、外筒４９に一体に組
み込まれ、複数のボールを整列・保持する保持器とを備
える。外筒４９の内面には、ボールの軌道となり、軸線
方向に延びる溝が形成される。外筒４９に形成した溝と
第１のロッド３４に形成したスプライン溝４４との間で
負荷転走路が形成される。負荷転走路の隣には荷重から
開放されたボール…が転走する無負荷戻し通路が形成さ
れている。また、外筒４９の下端には、外筒をハウジン
グに取り付けるためのフランジが形成されている。第１
のロッド３４に対してスプライン外筒４１を相対的に直
線移動すると、ボールは、負荷転走路で荷重を受けなが
ら転走する。そして、ボールは、負荷転走路の隣に設け
た無負荷戻し通路で戻され、サーキット状の循環路を無
限循環する。

【００３５】図４は、第２のロッド３５およびボールね
じナット３３ｂを示したものである。第２のロッド３５
は、中実で、その外周には螺旋状のボール転走溝が形成
される。但し、第２のロッド３５は中空としてもよい。
この第２のロッド３５の上端は、自在継手等に連結さ
れ、下端は回転部材３２に収納される。第１のロッド３
４と第２のロッド３５とは互いに逆ねじが形成され、ボ
ールねじナット３３ａとボールねじナット３３ｂとにも
互いに逆ねじが形成されている。ここで逆ねじとは、例
えばボールねじナット３３ａに左ねじが形成された場
合、ボールねじナット３３ｂには右ねじが形成され、例
えばボールねじナット３３ａに右ねじが形成された場
合、ボールねじナット３３ｂには左ねじが形成されるこ
とをいう。ボールねじナット３３ｂの上端には、回転部
材３２の上端に取付けるためのフランジ４７が形成され
ている。

【００３６】図５および図６は、上記一軸アクチュエー
タ３１を組み込んだパラレルリンク機構としての搬送・
位置決め装置を示すものである。この搬送・位置決め装
置は、例えば、正三角形状の基台６１と、この基台６１
と平行に配置され、基台６１よりも小さな正三角形状の
揺動台６２と、基台６１と揺動台６２との間に、両端が
揺動可能に架け渡された複数の例えば６本の一軸アクチ
ュエータ３１と、各一軸アクチュエータ３１の両端に設
けられる自在継手６４を有する。基台６１と揺動台６２
は、三角形の頂点位置を平面的に互いにずらして配置さ
れている。なお、基台６１、揺動台６２の形状や大きさ
は、搬送・位置決め装置の用途・作動態様等に応じて種
々変更される。基台６１および揺動台６２の頂点位置に
は、それぞれ２つの自在継手６３，６４が取付けられ
る。各一軸アクチュエータ３１は、基台６１の三角形の
頂点と揺動台６２の三角形の頂点を連結するように配置
され、基台６１、揺動台６２および一軸アクチュエータ
３１でトラスが形成される。そして、各一軸アクチュエ
ータ３１を選択的に伸長あるいは収縮することによっ
て、揺動台６２の位置および姿勢の空間６自由度を変化
させ、揺動台６２に種々の揺動を付与する。

【００３７】図６に示す一軸アクチュエータ３１を収縮
させた状態から、電動モータ３６を作動して回転部材３
２を回転すると、回転部材３２が第１のロッド３４に対
して上昇する。このとき、電動モータ３６は、回転部材
３２の上昇に追従して、基台６１から離れる。したがっ
て、電動モータ３６と基台６１とが干渉することなく、
一軸アクチュエータ３１の揺動角度が大きくとれる。ま
た、回転部材３２の回転によって、第２のロッド３５も
回転部材３２に対して上昇するので、一軸アクチュエー
タ３１のストロークを大きくすることができる。しか
も、上述のように電動モータ３６が自走するので、一軸
アクチュエータ３１の全長が歯車機構のスペースの分だ
け減殺されることがなく、一軸アクチュエータ３１のほ
ぼ全長をストロークに寄与させることができ、ストロー
クをより大きくすることができる。したがって、揺動台
６２の位置・姿勢変化を大きくすることができる。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
駆動手段によって回転部材を回転すると、回転部材が第
１のロッドに対して軸線方向に相対的に直線運動する。
駆動手段は、直線案内手段によって案内されているた
め、回転部材の軸線方向への直線運動に追従して第１の
ロッドの軸線方向に自走し、回転部材に回転を与えつづ
ける。駆動手段自体が自走し、ベースから離れるため、
駆動手段がベースと干渉することがなく、首振り角度の
大きな一軸アクチュエータが得られる。

【００３９】また、回転部材の回転によって、第２のロ
ッドも第１のロッドと同時に回転部材に対して軸線方向
へ相対的に直線運動するため、伸縮ストロークの大きな
一軸アクチュエータが得られる。しかも、駆動手段が自
走するので、アクチュエータの全長が歯車機構のスペー
スの分だけ減殺されることがなく、縮んだ状態のアクチ
ュエータの全長をストロークに寄与させることができ、
したがって、ストロークをより大きくすることができ
る。

【００４０】また、本発明によれば、回転部材内に第１
のロッドおよび第２のロッドが収納されるため、回転部
材、第１のロッドおよび第２のロッドそれぞれの軸線方
向長さを略等しくすることができ、伸長時には収縮時の
アクチュエータの全長の約３倍までアクチュエータを伸
ばすことができる。

【００４１】さらに、発明によれば、第１のロッドにね
じ軸としての機能とスプライン軸としての機能の両方を
持たせることができ、ねじ軸とスプライン軸を別々に設
ける必要がなく、一軸アクチュエータが肥大化するのを
防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態の自在継手を示す断面
図。

【図２】上記自在継手が伸長した状態を示す図（一部断
面図を含む）。

【図３】第１のロッド、ボールねじナットおよび直線案
内装置を示す斜視図（一部断面図を含む）。

【図４】第２のロッドおよびボールねじナットを示す斜
視図（一部断面図を含む）。

【図５】搬送・位置決め機構を示す平面図。

【図６】搬送・位置決め機構を示す側面図。

【図７】パラレルリンク機構を示す概略図。

【図８】従来の一軸アクチュエータを示す断面図。

【図９】従来の伸縮アクチュエータを示す断面図。

【図１０】従来の伸縮駆動装置を示す断面図。

【符号の説明】

３２ 回転部材 ３３ａ，３３ｂ ナット（ボールねじナット） ３４ 第１のロッド ３５ 第２のロッド ３６ 電動モータ（駆動手段） ３７，３８ タイミングプーリ（駆動手段、動力伝達装
置） ３９ タイミングベルト（駆動手段、動力伝達装置） ４１ スプライン外筒（直線案内手段） ３１ 一軸アクチュエータ ４０ ハウジング ４６ ボール ４９ 外筒（直線案内手段） ６１ 基台 ６２ 揺動台

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年１１月２５日（１９９９．１１．
２５）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００２

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００２】

【従来の技術】基台と揺動台との間に６本の一軸アクチ
ュエータを介在し、６自由度を有する揺動台を搬送・位
置決めするパラレルリンク機構が知られている。図７
は、このパラレルリンク機構を示す。パラレルリンク機
構は、基台１と揺動台２との間に伸縮可能な６本の一軸
アクチュエータ３を架設し、各一軸アクチュエータ３を
選択的に伸縮して、揺動台２に載せられた車体２４を搬
送・位置決めする。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中空の回転部材と、この回転部材の両端
   に設けた一対のナットと、前記ナットの一方に螺合する
   第１のロッドと、前記ナットの他方に螺合する第２のロ
   ッドと、前記回転部材を回転する駆動手段と、前記駆動
   手段が前記第１のロッドの回りを回転するのを制限する
   と共に、前記駆動手段が前記第１のロッドに対して前記
   第１のロッドの軸線方向へ相対的に直線運動するのを許
   容する直線案内手段と、を備えることを特徴とする一軸
   アクチュエータ。
2. 【請求項２】 前記第１のロッドおよび前記第２のロッ
   ドの少なくとも一方が中空に形成され、収縮時、前記第
   １のロッドおよび前記第２のロッドの一方が他方に収納
   されることを特徴とする請求項１または２に記載の一軸
   アクチュエータ。
3. 【請求項３】 前記第１のロッドに螺合するナットを回
   転自在に支持するハウジングを設け、前記駆動手段を該
   ハウジングに取り付け、該ハウジングを前記直線案内手
   段で案内したことを特徴とすることを特徴とする請求項
   １に記載の一軸アクチュエータ。
4. 【請求項４】 前記第１のロッドおよび前記第２のロッ
   ドの外周に螺旋状のボール転走溝を形成し、前記一対の
   ナットそれぞれの内周に、前記ボール転走溝に対向する
   螺旋状のボール転走溝を含むボール循環路を形成し、前
   記ボール循環路に複数のボールを配列・収容したことを
   特徴とする請求項１ないし３いずれかに記載の一軸アク
   チュエータ。
5. 【請求項５】 前記直線案内手段は、軸線方向に延びる
   ボール転走溝を形成した前記第１のロッドと、該ボール
   転走溝に対応するボール転走溝を含むボール循環路が形
   成され、前記第１のロッドに対して直線運動自在に組み
   つけられた外筒と、前記外筒の前記ボール循環路内に配
   列収容されて、前記第１のロッドに対する前記外筒の直
   線運動に併せて循環する複数のボールとを備えることを
   特徴とする請求項１ないし４いずれかに記載の一軸アク
   チュエータ。
6. 【請求項６】 前記駆動手段は、電動モータと、この電
   動モータの駆動力を回転部材に伝達する動力伝達装置と
   を備えることを特徴とする請求項１ないし５いずれかに
   記載の一軸アクチュエータ。
7. 【請求項７】 基台と揺動台との間に複数の一軸アクチ
   ュエータを架設し、該各一軸アクチュエータを選択的に
   伸縮して上記揺動台を搬送・位置決めする搬送・位置決
   め装置において、 前記一軸アクチュエータは、中空の回転部材と、この回
   転部材の両端に設けた一対のナットと、前記ナットの一
   方に螺合する第１のロッドと、前記ナットの他方に螺合
   する第２のロッドと、前記回転部材を回転する駆動手段
   と、前記駆動手段が前記第１のロッドの回りを回転する
   のを制限すると共に、前記駆動手段が前記第１のロッド
   に対して前記第１のロッドの軸線方向へ相対的に直線運
   動するのを許容する直線案内手段と、を備えることを特
   徴とする搬送・位置決め装置。