JP2001141747A5 - - Google Patents
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Description
検査すべき被検査体の種類が変更されたとき、プローブシートが破損したときには、プローブシート及びプローブホルダの交換作業が行われる。この交換作業は、以下のように行われる。
次いで、プローブホルダが、これに装着されたプローブシートと共に、プローブベースから前方へ引き出される。これにより、プローブホルダがプローブベースから取り外される。
上記のように本発明によれば、ねじ部材の締め緩めをすると共に、プローブホルダをプローブベースに対し前後方向へ移動させることにより、プローブホルダをプローブベースに対し着脱することができるから、プローブベースへのプローブホルダの着脱作業が容易になる。
図３，図４及び図５に示すように、プローブホルダ２４は、また、左右方向の中央を前後方向へ伸びる凸部５４を板状部４６の上面に備えていると共に、上方及び後方に開口する溝５６を凸部５４に備えており、さらに上下方向へ伸びる棒状のストッパ５８を凸部５４の前端部上面に有している。凸部５４は直方体状の形状をしており、また溝５６は凸字状（逆Ｔ字状）の断面形状をしている。
検査時、プローブ装置１０と液晶パネル１２とは、相寄る方向へ相対的に移動される。これにより、先ず各突起電極３０が液晶パネル１２の電極１４に接触され、次いでオーバードライブがプローブシート１８の先端部すなわちプローブ領域に作用する。その状態で各配線に通電されて、液晶パネル１２の検査が行われる。その結果、プローブシート１８の前端部は、弾性体９６の力に抗して弾性変形するが、プローブ装置１０と液晶パネル１２との相対的な押圧が解除されることにより、元の形状に戻る。
プローブブロック１６がプローブベース６０に上記のように装着された状態において、第２のねじ部材７６が第１のねじ部材７４に強く螺合されて、溝５６の上面を形成している部位５４ａがプローブベース６０と第１のねじ部材７４の頭部７４ａとの間に強く挟み込まれる。これにより、プローブブロック１６は、図３及び図４に示すようにプローブベース６０に移動不能に及び解除可能に強く組み付けられる。
【符号の説明】
１０ プローブ装置
１２ 液晶パネル
１４ 液晶パネルの電極
１６ プローブブロック
１８ プローブシート
２０，２２ 接続シート
２４ プローブホルダ
２６ プローブシートの配線
２８ プローブシートのフィルム
３０ 突起電極
３２ スリット
３４，３６，４２ 接続シートの配線
３８，４４ 接続シートのフィルム
４６ プローブホルダの平板部
４８ プローブホルダの取付部
５４ 凸部
５６ 溝
５８ ストッパ
６０ プローブベース
６０ａ ストッパ面
６２ 配線部材
６４ アーム
６６ 押圧機構
６８ ねじ部材
７０ ガイド
７２ プランジャ
７４ 第１のねじ部材
７４ａ 第１のねじ部材の頭部
７６ 第２のねじ部材
８２ 弾性部材
９２ ベース部材
９４ 調整ねじ
９６，９８ 第１及び第２の弾性体
１００ ガイドピン
１０ プローブ装置
１２ 液晶パネル
１４ 液晶パネルの電極
１６ プローブブロック
１８ プローブシート
２０，２２ 接続シート
２４ プローブホルダ
２６ プローブシートの配線
２８ プローブシートのフィルム
３０ 突起電極
３２ スリット
３４，３６，４２ 接続シートの配線
３８，４４ 接続シートのフィルム
４６ プローブホルダの平板部
４８ プローブホルダの取付部
５４ 凸部
５６ 溝
５８ ストッパ
６０ プローブベース
６０ａ ストッパ面
６２ 配線部材
６４ アーム
６６ 押圧機構
６８ ねじ部材
７０ ガイド
７２ プランジャ
７４ 第１のねじ部材
７４ａ 第１のねじ部材の頭部
７６ 第２のねじ部材
８２ 弾性部材
９２ ベース部材
９４ 調整ねじ
９６，９８ 第１及び第２の弾性体
１００ ガイドピン
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|---|---|---|---|
| JP32277799A JP4171148B2 (ja) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | プローブ装置 |
| TW089103647A TW533309B (en) | 1999-06-22 | 2000-03-02 | Probe device |
| KR1020000011010A KR100340466B1 (ko) | 1999-06-22 | 2000-03-06 | 프로브 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32277799A JP4171148B2 (ja) | 1999-11-12 | 1999-11-12 | プローブ装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2001141747A JP2001141747A (ja) | 2001-05-25 |
| JP2001141747A5 true JP2001141747A5 (ja) | 2005-08-11 |
| JP4171148B2 JP4171148B2 (ja) | 2008-10-22 |
Family
ID=18147537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32277799A Expired - Lifetime JP4171148B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-11-12 | プローブ装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP4171148B2 (ja) |
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| JP2012078222A (ja) | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Fujifilm Corp | 回路基板接続構造体および回路基板の接続方法 |
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1999
- 1999-11-12 JP JP32277799A patent/JP4171148B2/ja not_active Expired - Lifetime
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