JP2001138481A - 圧入ヘッドを備えた印刷機 - Google Patents
圧入ヘッドを備えた印刷機Info
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- JP2001138481A JP2001138481A JP32438599A JP32438599A JP2001138481A JP 2001138481 A JP2001138481 A JP 2001138481A JP 32438599 A JP32438599 A JP 32438599A JP 32438599 A JP32438599 A JP 32438599A JP 2001138481 A JP2001138481 A JP 2001138481A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】印刷時にソルダペーストの漏れを生じることが
なく、また、印刷性も良好である圧入ヘッドを備えた印
刷機を提供することである。 【解決手段】圧入ヘッドの外側に先端にギャップを持た
せて対向させて設けたリップを基板と所望の位置関係に
固定したマスクに接触させ、マスクと基板が接触した状
態で圧入ヘッドからペーストをマスクに設けたマスク開
口に充填し、マスクと基板を離すことで基板にペースト
を転写塗布する圧入ヘッドを備えた印刷機であり、対向
した両リップの各側端に掛けて設けられるサイドシール
を中空なものとし、その中空内の圧力を圧入ヘッド内で
ペーストに掛けられる圧力と同程度のものになるように
している。
なく、また、印刷性も良好である圧入ヘッドを備えた印
刷機を提供することである。 【解決手段】圧入ヘッドの外側に先端にギャップを持た
せて対向させて設けたリップを基板と所望の位置関係に
固定したマスクに接触させ、マスクと基板が接触した状
態で圧入ヘッドからペーストをマスクに設けたマスク開
口に充填し、マスクと基板を離すことで基板にペースト
を転写塗布する圧入ヘッドを備えた印刷機であり、対向
した両リップの各側端に掛けて設けられるサイドシール
を中空なものとし、その中空内の圧力を圧入ヘッド内で
ペーストに掛けられる圧力と同程度のものになるように
している。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント回路基板
などの基板の所望個所上にマスクに設けた開口を通して
ペーストを転写塗布する印刷機に係り、特に、マスク開
口へのペーストの充填を行う圧入ヘッドに関する。
などの基板の所望個所上にマスクに設けた開口を通して
ペーストを転写塗布する印刷機に係り、特に、マスク開
口へのペーストの充填を行う圧入ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】基板上に半導体装置や抵抗、コンデンサ
などの電子部品を搭載(固着)して所望の電子回路を実
現するために、マスクと基板とを所定の位置関係に固定
し、圧入ヘッドをマスクの所望の開口に配置してソルダ
ペーストを開口に充填し、マスクを基板から離すことで
充填した開口内のソルダペーストが基板上に転写塗布さ
れるようにした圧入ヘッドを備えた印刷機がある。
などの電子部品を搭載(固着)して所望の電子回路を実
現するために、マスクと基板とを所定の位置関係に固定
し、圧入ヘッドをマスクの所望の開口に配置してソルダ
ペーストを開口に充填し、マスクを基板から離すことで
充填した開口内のソルダペーストが基板上に転写塗布さ
れるようにした圧入ヘッドを備えた印刷機がある。
【0003】従来のこの種印刷機の圧入ヘッドでマスク
と接触するのは、圧入ヘッドのマスク側先端に設けられ
た高弾性のリップと呼ばれる部分である。このリップは
圧入ヘッドにおけるソルダペーストの吐出口の外側に設
けられており、リップ先端は基板の主面に平行な方向で
ある圧入ヘッドの移動方向の前後にあるギャップをもっ
ている。即ち、圧入ヘッドは楔のように先端で対向した
2面が傾斜していて先端部を切断した(截頭)中空の尖
塔立方体型であり、切断でできた開口が圧入ヘッド内に
収納したソルダペーストの吐出口を構成し、また先端部
で対向した2個の傾斜面の外側にそれぞれリップがあ
り、そのリップ先端間にあるギャップを持たせている。
また、両リップの側端部同士に掛けてサイドシールを設
け、ソルダペーストの吐出し範囲を両リップ先端間のギ
ャップの領域に限定するようにしている。
と接触するのは、圧入ヘッドのマスク側先端に設けられ
た高弾性のリップと呼ばれる部分である。このリップは
圧入ヘッドにおけるソルダペーストの吐出口の外側に設
けられており、リップ先端は基板の主面に平行な方向で
ある圧入ヘッドの移動方向の前後にあるギャップをもっ
ている。即ち、圧入ヘッドは楔のように先端で対向した
2面が傾斜していて先端部を切断した(截頭)中空の尖
塔立方体型であり、切断でできた開口が圧入ヘッド内に
収納したソルダペーストの吐出口を構成し、また先端部
で対向した2個の傾斜面の外側にそれぞれリップがあ
り、そのリップ先端間にあるギャップを持たせている。
また、両リップの側端部同士に掛けてサイドシールを設
け、ソルダペーストの吐出し範囲を両リップ先端間のギ
ャップの領域に限定するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】印刷時には、圧入ヘッ
ドでマスクを押して基板とマスクの密着性を向上させる
ことが良好な印刷を行う上で不可欠である。また、近
年、電子部品の小型化と共にマスク開口が小さくなって
おり、そこに安定してソルダペーストを充填するために
は、ソルダペーストを吐出させるためのソルダペースト
への加圧力をより強くせねばならない。
ドでマスクを押して基板とマスクの密着性を向上させる
ことが良好な印刷を行う上で不可欠である。また、近
年、電子部品の小型化と共にマスク開口が小さくなって
おり、そこに安定してソルダペーストを充填するために
は、ソルダペーストを吐出させるためのソルダペースト
への加圧力をより強くせねばならない。
【0005】リップをマスクに押し付けて印刷を開始す
ると、両リップ先端のギャップは基板面に閉じられた状
態になってソルダペーストに圧力を加えることになり、
ソルダペーストを通して力が伝達され、リップがギャッ
プを広げる方向に変形する。
ると、両リップ先端のギャップは基板面に閉じられた状
態になってソルダペーストに圧力を加えることになり、
ソルダペーストを通して力が伝達され、リップがギャッ
プを広げる方向に変形する。
【0006】従来の圧入ヘッドでは、サイドシール部品
としてゴム等の中実品を用いているので、サイドシール
はリップと一体となって変形しないため、リップとサイ
ドシール間に隙間が生じ、この隙間からソルダペースト
漏れが発生する。
としてゴム等の中実品を用いているので、サイドシール
はリップと一体となって変形しないため、リップとサイ
ドシール間に隙間が生じ、この隙間からソルダペースト
漏れが発生する。
【0007】ソルダペースト漏れが生じないようにリッ
プにサイドシールが密着するように圧入ヘッドをより下
降させ、強くマスクに対して押すようにすると、サイド
シールとマスクでリップを挟んでいるところではリップ
の変形は拘束されるが、リップの中央部ではリップを拘
束するものがないので移動方向に広がって、ソルダペー
ストに掛かる加圧力に差が出て、マスク開口内での充填
に不均一を生じ、その結果、転写塗布も不均一になり、
印刷性も不均一となる。
プにサイドシールが密着するように圧入ヘッドをより下
降させ、強くマスクに対して押すようにすると、サイド
シールとマスクでリップを挟んでいるところではリップ
の変形は拘束されるが、リップの中央部ではリップを拘
束するものがないので移動方向に広がって、ソルダペー
ストに掛かる加圧力に差が出て、マスク開口内での充填
に不均一を生じ、その結果、転写塗布も不均一になり、
印刷性も不均一となる。
【0008】それゆえ本発明の目的は、印刷時にソルダ
ペーストの漏れを生じることがなく、また、印刷性も良
好な圧入ヘッドを備えた印刷機を提供することにある。
ペーストの漏れを生じることがなく、また、印刷性も良
好な圧入ヘッドを備えた印刷機を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、中空のサイドシールを用い、その中空
内をソルダペーストに掛かる加圧力と同程度の圧力下に
あるようにした。
に、本発明では、中空のサイドシールを用い、その中空
内をソルダペーストに掛かる加圧力と同程度の圧力下に
あるようにした。
【0010】このことにより、印刷時でのソルダペース
トに圧力を付加した状態ではリップを押すソルダペース
トの面圧とリップを押すサイドシールの面圧が同程度と
なり、サイドシールによるシール性を保つことができる
だけでなく、リップに掛かる圧力は均一になって変形は
中央と端部で同程度になり、ソルダペーストの加圧力分
布が均一となり、印刷性も均一となる。
トに圧力を付加した状態ではリップを押すソルダペース
トの面圧とリップを押すサイドシールの面圧が同程度と
なり、サイドシールによるシール性を保つことができる
だけでなく、リップに掛かる圧力は均一になって変形は
中央と端部で同程度になり、ソルダペーストの加圧力分
布が均一となり、印刷性も均一となる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を用いて説明する。
を用いて説明する。
【0012】図1は本発明になるサイドシール部品を取
り付けた圧入ヘッドを備えた印刷機の概略断面図であ
る。
り付けた圧入ヘッドを備えた印刷機の概略断面図であ
る。
【0013】図1において、1は圧入ヘッド、3はマス
ク、5は基板、8は上部テーブル、9はフレーム、10
はマスク枠、12は圧入ヘッド上下軸、14は圧入ヘッ
ド押し付けシリンダ、15は印刷ブロック、16はボー
ルネジ、17はモータ、18は基板受けである。
ク、5は基板、8は上部テーブル、9はフレーム、10
はマスク枠、12は圧入ヘッド上下軸、14は圧入ヘッ
ド押し付けシリンダ、15は印刷ブロック、16はボー
ルネジ、17はモータ、18は基板受けである。
【0014】マスク3はマスク枠10に固定され、マス
ク枠10はフレーム9に固定されている。上部テーブル
8にはモータ17と図示を省略したレールが固定され、
上部テーブル8はフレーム9に固定されている。モータ
17にはボールネジ16が固定され、ボールネジ16の
ボールナット(図示せず)は印刷ブロック15に固定され
ている。基板5は、フレーム9に固定されている基板受
け18にマスク3と所望な位置関係で脱着自在に固定さ
れる。また、モータ17の駆動によるボールネジ16の
回転で、図示していないレール上を直動ベアリングを介
して印刷ブロック15が図の左右(基板5の主面と平行
な方向)に移動する。この印刷ブロック15には圧入ヘ
ッド押し付けシリンダ14が固定され、その出力軸であ
る圧入ヘッド上下軸12には圧入ヘッド11が固定され
ている。
ク枠10はフレーム9に固定されている。上部テーブル
8にはモータ17と図示を省略したレールが固定され、
上部テーブル8はフレーム9に固定されている。モータ
17にはボールネジ16が固定され、ボールネジ16の
ボールナット(図示せず)は印刷ブロック15に固定され
ている。基板5は、フレーム9に固定されている基板受
け18にマスク3と所望な位置関係で脱着自在に固定さ
れる。また、モータ17の駆動によるボールネジ16の
回転で、図示していないレール上を直動ベアリングを介
して印刷ブロック15が図の左右(基板5の主面と平行
な方向)に移動する。この印刷ブロック15には圧入ヘ
ッド押し付けシリンダ14が固定され、その出力軸であ
る圧入ヘッド上下軸12には圧入ヘッド11が固定され
ている。
【0015】マスクの開口(図示せず)よりも図面上左側
の位置に圧入ヘッド1を移動させ、圧入ヘッド押し付け
シリンダ14に圧縮空気を付加する事により、圧入ヘッ
ド上下軸12を下降させ、圧入ヘッド11の先端をマス
ク3と接触させ、かつマスク3と基板5を接触させる。
の位置に圧入ヘッド1を移動させ、圧入ヘッド押し付け
シリンダ14に圧縮空気を付加する事により、圧入ヘッ
ド上下軸12を下降させ、圧入ヘッド11の先端をマス
ク3と接触させ、かつマスク3と基板5を接触させる。
【0016】モータ17を回転させると同時に圧入ヘッ
ド1に空気圧を加えると、圧入ヘッド1はその内部のソ
ルダペーストに圧力を加えながら移動することになる。
ド1に空気圧を加えると、圧入ヘッド1はその内部のソ
ルダペーストに圧力を加えながら移動することになる。
【0017】この時点では圧入ヘッド先端の吐出口には
マスク開口が無いので、マスク開口へのソルダペースト
の充填は起こらない。圧入ヘッド先端の吐出口がマスク
開口上に移動すると、ソルダペーストの充填が起こり、
圧入ヘッド1がマスク開口上を通過すると充填が終わ
る。その後、圧入ヘッド1が通り過ぎた個所からマスク
3と基板5が離れ、マスク開口に対向するように基板5
の上面に設けたパッド上にソルダペーストのパターンが
転写塗布され、印刷が完了する。
マスク開口が無いので、マスク開口へのソルダペースト
の充填は起こらない。圧入ヘッド先端の吐出口がマスク
開口上に移動すると、ソルダペーストの充填が起こり、
圧入ヘッド1がマスク開口上を通過すると充填が終わ
る。その後、圧入ヘッド1が通り過ぎた個所からマスク
3と基板5が離れ、マスク開口に対向するように基板5
の上面に設けたパッド上にソルダペーストのパターンが
転写塗布され、印刷が完了する。
【0018】図2は本発明になるサイドシール部品を取
り付けた図1の印刷機における圧入ヘッド1の下端部を
示す部分的斜視図であり、図3は圧入ヘッドの縦断正面
図、図4は同じく縦断側面図である。
り付けた図1の印刷機における圧入ヘッド1の下端部を
示す部分的斜視図であり、図3は圧入ヘッドの縦断正面
図、図4は同じく縦断側面図である。
【0019】これらの図において、7はペースト供給用
シリンダ、11は圧入ヘッド1のハウジング、13はリ
ップ、19はピストン、20はピストンシール、24は
カートリッジ、21はサイドシールである。
シリンダ、11は圧入ヘッド1のハウジング、13はリ
ップ、19はピストン、20はピストンシール、24は
カートリッジ、21はサイドシールである。
【0020】ハウジング11の内側上部には、ペースト
供給用シリンダ7が固定され、その先端にはピストンシ
ール20が配置されたピストン19が固定され、内部に
はソルダペースト2が充填されたカートリッジ24が配
置されている。
供給用シリンダ7が固定され、その先端にはピストンシ
ール20が配置されたピストン19が固定され、内部に
はソルダペースト2が充填されたカートリッジ24が配
置されている。
【0021】圧入ヘッド1は、切妻家屋の天地を反転あ
るいは下を向けた楔のように、先端の対向した2面が傾
斜していて先端部を切断した(截頭)中空の尖塔立方体
型であり、切断でできた開口が圧入ヘッド内に充填収納
したソルダペースト2の吐出口11aを構成し、また先
端部で対向した2個の傾斜面の外側にそれぞれリップ1
3があり、そのリップ先端間にあるギャップGを持たせ
ている。両リップの側端部同士に掛けて中空のサイドシ
ール21を設け、ソルダペースト2の吐出し範囲を両リ
ップ先端間のギャップGの領域に限定するようにしてい
る。前記サイドシール21は、図4に示すように、圧入
ヘッド1の内部側に面した部分には壁がない断面コの字
形のもので、このため、サイドシール21の内部は圧入
ヘッド1の内部と連通している。
るいは下を向けた楔のように、先端の対向した2面が傾
斜していて先端部を切断した(截頭)中空の尖塔立方体
型であり、切断でできた開口が圧入ヘッド内に充填収納
したソルダペースト2の吐出口11aを構成し、また先
端部で対向した2個の傾斜面の外側にそれぞれリップ1
3があり、そのリップ先端間にあるギャップGを持たせ
ている。両リップの側端部同士に掛けて中空のサイドシ
ール21を設け、ソルダペースト2の吐出し範囲を両リ
ップ先端間のギャップGの領域に限定するようにしてい
る。前記サイドシール21は、図4に示すように、圧入
ヘッド1の内部側に面した部分には壁がない断面コの字
形のもので、このため、サイドシール21の内部は圧入
ヘッド1の内部と連通している。
【0022】圧入ヘッド1は圧入ヘッド押付けシリンダ
14によってマスク3に向かって下降し、リップ13が
マスク3と接触し、この状態でペースト供給用シリンダ
7によりピストン19を押し下す。この動作によりソル
ダペースト2に圧力が加わるが、高弾性体のリップ13
は圧力を加えられたソルダペースト2によって膨らもう
とし、それと同時にサイドシール21内にもソルダペー
スト2を介して圧力が伝播し、サイドシール21も同じ
圧力で膨らもうとする。
14によってマスク3に向かって下降し、リップ13が
マスク3と接触し、この状態でペースト供給用シリンダ
7によりピストン19を押し下す。この動作によりソル
ダペースト2に圧力が加わるが、高弾性体のリップ13
は圧力を加えられたソルダペースト2によって膨らもう
とし、それと同時にサイドシール21内にもソルダペー
スト2を介して圧力が伝播し、サイドシール21も同じ
圧力で膨らもうとする。
【0023】これらのことから、リップ13を押すソル
ダペースト2の面圧とリップ13を押すサイドシール2
1の面圧が同等となる。
ダペースト2の面圧とリップ13を押すサイドシール2
1の面圧が同等となる。
【0024】この状況下では、マスク3の開口を通して
基板5がソルダペースト2から受ける圧力は、サイドシ
ール21の近傍であるか否かに関わらずほぼ均一であ
り、印刷性の不均一は発生しない。また、ソルダペース
ト2から受ける圧力でサイドシール21がリップ13に
沿って変形してリップ13を押すので、シール性が保た
れ、ソルダペースト2の漏れは発生しない。
基板5がソルダペースト2から受ける圧力は、サイドシ
ール21の近傍であるか否かに関わらずほぼ均一であ
り、印刷性の不均一は発生しない。また、ソルダペース
ト2から受ける圧力でサイドシール21がリップ13に
沿って変形してリップ13を押すので、シール性が保た
れ、ソルダペースト2の漏れは発生しない。
【0025】図5はサイドシールの他の実施形態になる
圧入ヘッドを示している。
圧入ヘッドを示している。
【0026】同図において、26は中空サイドシール、
27はピストン19のソルダペースト押圧面に設けた圧
力センサ、28はサイドシール26内に受圧面があるよ
うに設けた圧力センサ、29はエアー注入口である。
27はピストン19のソルダペースト押圧面に設けた圧
力センサ、28はサイドシール26内に受圧面があるよ
うに設けた圧力センサ、29はエアー注入口である。
【0027】圧力センサ27は圧入ヘッド内部のソルダ
ペースト2の圧力を検出するセンサであり、圧力センサ
28はサイドシール26内の圧力を検出するセンサであ
る。
ペースト2の圧力を検出するセンサであり、圧力センサ
28はサイドシール26内の圧力を検出するセンサであ
る。
【0028】圧力センサ27と圧力センサ28で検出し
た結果を印刷機の制御装置に入力し、リップ13を押す
ソルダペースト2の面圧とリップ13を押すサイドシー
ルの面圧が等しくなるように制御された圧力空気をエア
ー注入口29から供給し、左右のサイドシール26内の
圧力を調整する。なお、サイドシール26内に供給する
流体は、圧縮空気に限定されない。
た結果を印刷機の制御装置に入力し、リップ13を押す
ソルダペースト2の面圧とリップ13を押すサイドシー
ルの面圧が等しくなるように制御された圧力空気をエア
ー注入口29から供給し、左右のサイドシール26内の
圧力を調整する。なお、サイドシール26内に供給する
流体は、圧縮空気に限定されない。
【0029】リップ13を押すソルダペースト2の面圧
とリップ13を押すサイドシール26の面圧が同等とな
り、シール性を保てるためソルダペーストの外への漏れ
を防止できる。また、ソルダペースト2がマスク3の開
口を通して基板5を押す力は、リップの遠近を問わず同
一になり、印刷性も均一となる。さらに、図5に示す実
施形態の場合、サイドシール26内にソルダペースト2
が入らないので、粘度の高いソルダーペーストを用いる
場合でも、サイドシール内でソルダペーストが硬化する
恐れがなく、保守性に優れている。
とリップ13を押すサイドシール26の面圧が同等とな
り、シール性を保てるためソルダペーストの外への漏れ
を防止できる。また、ソルダペースト2がマスク3の開
口を通して基板5を押す力は、リップの遠近を問わず同
一になり、印刷性も均一となる。さらに、図5に示す実
施形態の場合、サイドシール26内にソルダペースト2
が入らないので、粘度の高いソルダーペーストを用いる
場合でも、サイドシール内でソルダペーストが硬化する
恐れがなく、保守性に優れている。
【0030】また、図3,図5において、カートリッジ
は、なくてもよいし、袋詰ワンタッチ交換型のものでも
よい。
は、なくてもよいし、袋詰ワンタッチ交換型のものでも
よい。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
印刷時にソルダペーストの漏れを生じることがなく、ま
た、印刷性も良好な圧入ヘッドを備えた印刷機を得るこ
とができる。
印刷時にソルダペーストの漏れを生じることがなく、ま
た、印刷性も良好な圧入ヘッドを備えた印刷機を得るこ
とができる。
【図1】本発明の一実施形態になる印刷機を示す概略断
面図である。
面図である。
【図2】図1に示す印刷機における圧入ヘッドの下端部
を示す部分的斜視図である。
を示す部分的斜視図である。
【図3】図1に示す印刷機における圧入ヘッドの縦断正
面図である。
面図である。
【図4】図1に示す印刷機における圧入ヘッドの縦断側
面図である。
面図である。
【図5】本発明の他の実施形態になる印刷機における圧
入ヘッドの図4と同様の縦断側面図である。
入ヘッドの図4と同様の縦断側面図である。
1…圧入ヘッド 2…ソルダペースト 3…マスク 5…基板 7…ペースト供給用シリンダ 9…フレーム 11…圧入ヘッドハウジング 13…リップ 14…圧入ヘッド押付けシリンダ 15…印刷ブロック 19…ピストン 21…サイドシール 26…サイドシール 27…圧力センサ 28…圧力センサ 29…エアー注入口 G…ギャップ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 正文 茨城県竜ヶ崎市向陽台5丁目2番 日立テ クノエンジニアリング株式会社竜ヶ崎工場 内 (72)発明者 小菅 忠男 茨城県竜ヶ崎市向陽台5丁目2番 日立テ クノエンジニアリング株式会社竜ヶ崎工場 内 Fターム(参考) 2C035 AA06 FC07 FD05 FD17 FD27 FD35 FD36 FD37 FD41 5E343 AA02 BB72 FF04
Claims (3)
- 【請求項1】圧入ヘッドの外側に先端にギャップを持た
せて対向させたリップを設け、該リップを基板と所望の
位置関係に固定したマスクに接触させ、マスクと基板が
接触した状態で圧入ヘッドからペーストをマスクに設け
たマスク開口に充填し、マスクと基板を離すことで基板
にペーストを転写塗布する圧入ヘッドを備えた印刷機に
おいて、 対向した両リップの側端同士に掛けて設けられるサイド
シールを中空なものとし、その中空内の圧力を圧入ヘッ
ド内でペーストに掛けられる圧力と同程度なものになる
ようにしていることを特徴とする圧入ヘッドを備えた印
刷機。 - 【請求項2】上記請求項1において、サイドシールの中
空内と圧入ヘッド内を連通せしめて圧入ヘッド内のペー
ストがサイドシール内に入り込むようにしたことを特徴
とする圧入ヘッドを備えた印刷機。 - 【請求項3】上記請求項1において、サイドシール内と
圧入ヘッド内のそれぞれの圧力を検出する手段を設け、
該手段での検出結果に基づいてリップを押すペーストの
面圧とリップを押すサイドシールの面圧が同等となるよ
う制御した圧力をサイドシール内へ付加するようにした
ことを特徴とする圧入ヘッドを備えた印刷機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32438599A JP2001138481A (ja) | 1999-11-15 | 1999-11-15 | 圧入ヘッドを備えた印刷機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32438599A JP2001138481A (ja) | 1999-11-15 | 1999-11-15 | 圧入ヘッドを備えた印刷機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001138481A true JP2001138481A (ja) | 2001-05-22 |
Family
ID=18165213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32438599A Pending JP2001138481A (ja) | 1999-11-15 | 1999-11-15 | 圧入ヘッドを備えた印刷機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001138481A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003220685A (ja) * | 2002-01-29 | 2003-08-05 | Ricoh Microelectronics Co Ltd | 印刷剤充填装置 |
JP2007507906A (ja) * | 2003-10-06 | 2007-03-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体ウエハーの高圧処理チャンバー |
JP2010214842A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Panasonic Corp | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 |
KR101523010B1 (ko) * | 2014-08-11 | 2015-05-26 | 유원근 | 솔더 페이스트 가압펌프 |
-
1999
- 1999-11-15 JP JP32438599A patent/JP2001138481A/ja active Pending
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