JP2001134186A - クリーニング用ラベルシ―ト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、例えば、半導体、フラットパネル
ディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置
など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニング用ラベル
シートを提供する。 【解決手段】 支持体の片面に、活性エネルギーを受け
た後のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引
き剥がし粘着力が０．２０Ｎ（２０ｇ）／１０ｍｍ以下
であるクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤
層が設けられたクリーニング用ラベルが、該通常の粘着
剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられ
てなるクリーニング用ラベルシートである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種装置をクリー
ニングするラベルシートに関し、例えば、半導体、フラ
ットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置
や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニン
グ用ラベルシートに関する。

【０００２】

【従来の技術】各種基板処理装置は、各搬送系と基板と
を物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬
送系に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染
することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理を
する必要があった。このため、稼働率低下や多大な労力
が必要になるという問題があった。これらの問題を解決
するため、粘着性の物質を固着した基板を搬送すること
により基板処理装置内の付着した異物をクリーニング除
去する方法が提案されている（例えば特開平１０−１５
４６８６号）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】粘着性の物質を固着し
た基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した
異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服
する有効な方法である。しかしこの方法では粘着性物質
と装置接触部とが強く接着しすぎて剥れない恐れがあ
り、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。 さ
らに、基板に基板形状より大きいクリーニングシートを
貼り付けた後、基板形状に沿ってクリーニングシートを
切断する場合には、切断工程がさらに必要になるばかり
でなく、切断により発生した切削屑などが基板や装置な
どに付着する恐れもあった。本発明は、このような事情
に照らし、基板処理装置内に基板を確実に搬送でき、装
置内に付着している異物を簡便、確実に除去でき、さら
に基板への貼り付け後にシート切断が不要であるため作
業効率が良好でかつ切削屑の発生しないクリーニング用
ラベルシートを提供することを目的としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成するために、鋭意検討した結果、クリーニング
用の物質を固着したシートあるいはこのシートを固着し
た基板を搬送することにより、基板処理装置内の付着し
た異物をクリーニング除去するにあたり、クリーニング
層として活性エネルギー源により粘着力を特定値以下と
すると共に、クリーニングシートをラベル形状とするこ
とにより、前記問題を生じることなく、さらに異物を簡
便かつ確実に除去できることを見出し、本発明を完成す
るに至つた。

【０００５】即ち本発明は、支持体の片面に、活性エネ
ルギーを受けた後のシリコンウエハ（ミラー面）に対す
る１８０°引き剥がし粘着力が０．２０Ｎ（２０ｇ）／
１０ｍｍ以下であるクリーニング層が設けられ、他面に
通常の粘着剤層が設けられたクリーニング用ラベルが、
該通常の粘着剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状
態で設けられてなるクリーニング用ラベルシート（請求
項１）、長尺のセパレータ上に複数のクリーニング用ラ
ベルが間隔を隔てて連続的に設けられているクリーニン
グ用ラベルシート（請求項２）、クリーニング用ラベル
の周囲に凹部を介して補強部が形成されてなるクリーニ
ング用ラベルシート（請求項３）などに係るものであ
る。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明のクリーニング用ラベルシ
ートにおいて、支持体の片面に設けられるクリーニング
層は、活性エネルギー源により硬化されてその粘着力が
低下したものであり、シリコンウエハ（ミラー面）に対
する１８０°引き剥がし粘着力が０．２０Ｎ（２０ｇ）
／１０ｍｍ以下、好ましくは０．０１０〜０．１０Ｎ
（１〜１０ｇ）／１０ｍｍ程度である。 この粘着力
が、０．２０Ｎ（２０ｇ）／ｍｍを超えると、搬送時に
装置内の被クリーニング部に接着して、搬送トラブルと
なる恐れがある。 この硬化に用いる活性エネルギー源
としては、紫外線、熱などが挙げられるが、紫外線が好
ましい。 またクリーニング層の厚さは特に限定されな
いが、通常５〜５０μｍ程度である。

【０００７】さらに本発明においては、上記クリーニン
グ層の引張弾性率（試験法ＪＩＳＫ７１２７に準ずる）
が０．９８Ｎ／ｃｍ²以上、好ましくは９．８〜９８０
Ｎ／ｃｍ²であることが望ましい。 引張弾性率をかか
る特定値以上とすることにより、基板処理装置内に基板
をより確実に搬送することができる。

【０００８】さらに本発明においては上記クリーニング
層の表面抵抗率が、１×１０¹³Ω／□以上、特に１×１
０¹⁴Ω／□以上であることが望ましい。 クリーニング
層の表面抵抗率をかかる特定値以上に設計して、クリー
ニング層をできるだけ絶縁体にすることにより、粘着に
よるのみならず静電気による異物の捕獲、吸着もできる
という効果が得られる。 よってかかるクリーニング層
は、導電機能を有する添加剤などの導電性物質を含まな
いものが好ましい。

【０００９】前記クリーニング層は、活性エネルギー源
により硬化して分子構造が三次元網状化する性質を有す
る限り、その材質等は特に限定されないが、例えば感圧
接着性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を１個以上有
する化合物を含有させてなる粘着剤層が好ましい。 か
かる感圧接着性ポリマーとしては、例えばアクリル酸、
アクリル酸エステル、メタクリル酸、メタクリル酸エス
テルから選ばれる（メタ）アクリル酸及び／又は（メ
タ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリル系
ポリマーが挙げられる。 このアクリル系ポリマーの合
成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重
結合を２個以上有する化合物を用いるか、あるいは合成
後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有
する化合物を官能基間の反応で化学結合させるなどし
て、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導
入しておくことにより、このポリマー自体も活性エネル
ギーにより重合硬化反応に関与させるようにすることも
できる。

【００１０】ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以
上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）と
しては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以
下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の粘着剤層
の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以
下の分子量を有しているのが好ましい。

【００１１】また、粘着剤層に添加される重合開始剤
は、特に限定されず公知のものを使用でき、例えば活性
エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキ
サイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始
剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエ
チルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエ
ーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオ
キサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキ
サントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジル
ジメチルケタール、α−ヒドルキシシクロヒキシルフェ
ニルケトン、２−ヒドロキシジメチルフェニルプロパ
ン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン
などの光重合開始剤が挙げられる。

【００１２】また上記支持体としては特に限定されない
が、例えばポリエチレン、ポリエチレンテレフタレー
ト、アセチルセルロース、ポリカーボネート、ポリプロ
ピレン、ポリアミドなどのプラスチックフィルムなどが
挙げられる。 その厚みは通常１０〜１００μｍ程度で
ある。

【００１３】本発明のクリーニング用ラベルシートにお
いては、支持体の片面に、上記の特定のクリーニング層
が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられたクリー
ニング用ラベルが、該通常の粘着剤層を介してセパレー
タ上に剥離可能な状態で設けられている。 この他面側
の粘着剤層は、粘着機能を満たす限りその材質などは特
に限定されず、通常の粘着剤（例えばアクリル系、ゴム
系など）を用いることができる。 かかる構成により、
クリーニング用ラベルを後述のセパレータから剥離し
て、通常の粘着剤層により各種基板などの搬送部材に貼
り付けて、クリーニング機能付き搬送部材として装置内
に搬送して、被洗浄部位に接触させてクリーニングする
ことができる。

【００１４】クリーニング用ラベルが貼り付けられる搬
送部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウエ
ハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ
用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの
基板などが挙げられる。

【００１５】本発明において上記の基板などの搬送部材
を再利用するために、クリーニング後に基板をかかる粘
着剤層から剥がす場合は、かかる通常の粘着剤層の粘着
力は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引
き剥がし粘着力が０．２１〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ、特
に０．４０〜０．９８Ｎ／１０ｍｍ程度であれば、搬送
中に剥離することなく、かつクリーンニング後に容易に
再剥離できるので特に好ましい。

【００１６】本発明におけるセパレータは、クリーニン
グ用ラベルを剥離できる限り特に限定されないが、例え
ばシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸ア
ミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理されたポリエ
ステル、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエ
ン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩
化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、
エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチ
レン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メ
タ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリ
カーボネートなどからなるプラスチックフィルムなどが
挙げられる。

【００１７】以下、図面に基づいて本発明をより具体的
に説明する。図１は、本発明のクリーニング用ラベルシ
ートの一例を示す平面図であって、長尺のセパレータ１
上に複数のクリーニング用ラベルＡが間隔を隔てて連続
的に設けられている。 かかるラベルＡは、図２（図１
のａ−ａ線の断面図）の如く支持体２の片面にクリーニ
ング層３、他面に通常の粘着剤層４が設けられてなり、
この粘着剤層４を介してセパレータ１状に剥離可能な状
態で設けられている、使用時にはクリーニング用ラベル
をセパレータ１から剥離して半導体ウエハ等の搬送部材
に貼着し、装置内に搬送することにより被洗浄部位をク
リーニングすることができる。

【００１８】図３は、本発明のクリーニング用ラベルシ
ートの他例を示す平面図であって、クリーニング用ラベ
ルＡの周囲全周に溝状の凹部Ｃを介して補強部Ｂが形成
されている。 かかる凹部Ｃを介して補強部Ｂを設ける
ことにより、本クリーニング用ラベルシートをロール状
物やシート積層物とした際の取り扱い性に優れると共
に、使用時にクリーニング用ラベルをセパレータからス
ムーズに剥離できラベリング信頼性にも優れるという効
果がある。 なお、本クリーニング用ラベルシートを、
ラベル及び補強部の各形状に打ち抜き、凹部Ｃとなる不
要部分をセパレータから剥離除去することにより得る場
合は、連続的に不要部分を除去できる点から、凹部Ｃは
互いに連続していることが好ましい。 但し、良好に不
要部分を除去できる限り、ラベルＡの周囲の一部は凹部
でなく切り込みのみとして、ラベルＡと補強部Ｂとが一
部接触していてもよい。

【００１９】また図４の如く、セパレータ１の両端、即
ち幅方向の両端に、帯状の補強部Ｂが連続的に設けるこ
ともでき、この補強部Ｂは、セパレータ端部と平行した
直線状に形成されている。両側もしくは片側の補強部Ｂ
とラベルＡとを、接触させることなく間隔を設けること
が、シート製造時に不要な部分を連続的に除去できるの
で好ましいが、両側の補強部ＢとラベルＡとを接触させ
ることもできる。また、図５のように片側の補強部Ｂの
幅を広くして、補強部ＢがラベルＡの外周の一部と接触
するように形成することにより、不要部分の連続的除去
を損なうことなくラベルシートの端部の補強効果をさら
に向上させることができる。

【００２０】上記補強部Ｂの形状は特に限定されず、連
続的又は不連続に設けるなど適宜選択できるが、端部か
らのゴミなどの侵入防止の点からは連続的に設けるのが
好ましい。 またその厚さも特に限定されないが、ラベ
ルシートを通常ロール状あるいは積層することを考慮す
れば、ラベルＡとほぼ同じ厚さとすることが好ましい。
またその幅も特に限定されず、セパレータ幅とラベル
径とを考慮して適宜設計できるが、できるだけ広くすれ
ば、補強効果を大きくできる。またラベルＡの形状も何
ら限定されず、貼り付ける基板などの搬送部材の形状に
応じて、例えば円形状、ウエハ形状、フレーム形状、さ
らに例えばチャック部などのための突出部を有する形状
などとすることができる。

【００２１】本発明のクリーニング用ラベルシートの製
造方法は特に限定されないが、例えばラベル及び補強部
の構成材料となる粘着フィルム（ラベル支持体の片面に
クリーニング層、他面に通常の粘着剤層を設けたもの）
をセパレータ上に貼着する方法などによって、セパレー
タと粘着フィルムとからなる積層体を形成する。 次い
でこの積層体の粘着フィルムのみをラベル及び／又は補
強部の各形状に同時又は別々に打ち抜き、不要な粘着フ
ィルムをセパレータから剥離除去することにより得るこ
とができる。 かかる製法の場合は、連続的に不要な粘
着フィルムを除去できる点から、凹部が連続しているこ
とが好ましい。 その後、通常は任意の巻芯に巻き取ら
れてロール状とされる。

【００２２】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。 な
お、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。 実施例 アクリル酸−２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メ
チル２０部、及びアクリル酸５部からなるモノマ―混合
液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０
万）１００部に対して、ポリエチレングリコ―ルジメタ
クリレ―ト５０部、ウレタンアクリレ―ト５０部、ベン
ジルジメチルケタール３部、及びジフエニルメタンジイ
ソシアネ―ト３部を均一に混合し、紫外線硬化型の粘着
剤溶液とした。一方、上記粘着剤からベンジルジメチル
ケタールを除いた以外は、上記と同様にして通常の粘着
剤溶液を得た。

【００２３】片面がシリコーン系剥離剤にて処理された
長尺ポリエステルフィルム（厚さ３８μｍ、幅２５０ｍ
ｍ）からなるセパレータの剥離処理面に、上記通常の粘
着剤溶液を乾燥後の厚みが１０μｍとなるように塗布
し、その粘着剤層上に長尺ポリオレフィンフィルム（厚
さ２５μｍ、幅２５０ｍｍ）を積層し、さらにそのフィ
ルム上に紫外線硬化型の粘着剤溶液を乾燥後の厚みが４
０μｍとなるように塗布してシートを得た。このシート
に中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００ｍＪ
／ｃｍ²照射して、紫外線硬化したクリーニング層を有
するクリーニング用シートを得た。このクリーニング用
シートのセパレータ以外の積層体である粘着フィルム
に、直径２００ｍｍの円形状の打ち抜きを行い、不要な
粘着フィルムを連続的に剥離除去して、図１のような本
発明のクリーニング用ラベルシートを作製した。

【００２４】、このクリーニングシートのクリーニング
層を、シリコンウエハのミラー面に幅１０ｍｍで貼り付
け、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準じてシリコンウエハに対す
る１８０°引き剥がし粘着力を測定した結果、０．０７
８Ｎ（８ｇ）／１０ｍｍであった。またこのクリーニン
グシートのクリーニング層の引張弾性率は４９Ｎ／ｃｍ
²であった。 ここで引張弾性率は、試験法ＪＩＳ Ｋ
７１２７に準じて測定した。また、温度２３℃、湿度６
０％ＲＨの条件下でクリーニング層上から表面抵抗率を
表面抵抗測定計（三菱化学社製、型式MCP−UP450）にて
測定したところ、９．９９×１０¹³Ω／□以上で測定不
能であった。

【００２５】得られたクリーニング用ラベルシートのセ
パレータからクリーニング用ラベルを剥がし、８ｉｎｃ
ｈのシリコンウエハの裏面（ミラー面）にハンドローラ
で貼り付け、クリーニング機能付き搬送用クリーニング
ウエハを作製した。 なお、通常の粘着剤層のシリコン
ウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力
は、０．２５Ｎ／１０ｍｍであった。

【００２６】一方、基板処理装置のウエハステージを２
つ取り外し、レーザー式異物測定装置で、０．３μｍ以
上の異物を測定したところ、８ｉｎｃｈウエハサイズの
エリア内で１つは２００００個、もう一つは１８０００
個であった。次いで前記で得た搬送用クリーニングウエ
ハのクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の
２００００個の異物が付着していたウエハステージを持
つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送でき
た。 その後にウエハステージを取り外し、レーザー式
異物測定装置で０．３μｍ以上の異物を測定したとこ
ろ、８ｉｎｃｈウエハサイズ内で３９５０個であり、ク
リーニング前に付着していた異物数の３／４以上を除去
することができた。

【００２７】比較例 実施例において、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光
量１５０ｍＪ／ｃｍ²にて照射した以外は、実施例と同
様にクリーニングシートを作製し、対シリコンウエハ粘
着力を測定したところ、０．３３Ｎ（３４ｇ）／１０ｍ
ｍであった。このクリーニングシートから実施例と同じ
方法で作製した搬送用クリーニングウエハを、１８００
０個の異物が付着しているウエハステージを持つ基板処
理装置内を搬送したところ、ウエハステージに固着し、
搬送できなくなった。

【００２８】

【発明の効果】以上のように本発明のクリーニングシー
トによれば、基板処理装置内を確実に搬送できると共
に、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除去で
き、さらに基板への貼り付け後にシート切断が不要であ
るため作業効率が良好で、かつ切削屑が発生しないとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のクリーニング用ラベルシートの実例
を示す一部平面図である。

【図２】 図１のａ−ａ線の断面図である。

【図３】 本発明のクリーニング用ラベルシートの他例
を示す一部平面図である。

【図４】 本発明のクリーニング用ラベルシートの他例
を示す一部平面図である。

【図５】 本発明のクリーニング用ラベルシートの他例
を示す一部平面図である。

【符号の説明】

１：セパレータ、Ａ：クリーニング用ラベル、２：支持
体、３：クリーニング層、４：通常の粘着剤層、Ｂ：補
強部、Ｃ：凹部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持体の片面に、活性エネルギーを受け
   た後のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引
   き剥がし粘着力が０．２０Ｎ（２０ｇ）／１０ｍｍ以下
   であるクリーニング層が設けられ、他面に通常の粘着剤
   層が設けられたクリーニング用ラベルが、該通常の粘着
   剤層を介してセパレータ上に剥離可能な状態で設けられ
   てなるクリーニング用ラベルシート。
2. 【請求項２】 長尺のセパレータ上に複数のクリーニン
   グ用ラベルが間隔を隔てて連続的に設けられている請求
   項１記載のクリーニング用ラベルシート。
3. 【請求項３】 クリーニング用ラベルの周囲に凹部を介
   して補強部が形成されてなる請求項１又は２記載のクリ
   ーニング用ラベルシート。
4. 【請求項４】 凹部が少なくともクリーニング用ラベル
   の周囲全周に溝状に設けられている請求項３記載のクリ
   ーニング用ラベルシート。
5. 【請求項５】 補強部が、セパレータの両端に帯状に形
   成されてなる請求項３記載のクリーニング用ラベルシー
   ト。
6. 【請求項６】 少なくとも片側の帯状の補強部が、クリ
   ーニング用ラベルと接触していないことを特徴とする請
   求項５記載のクリーニング用ラベルシート。
7. 【請求項７】 クリーニング用ラベル及び／又は補強部
   が、支持体とクリーニング層と通常の粘着剤層とからな
   る粘着フィルムを各形状に打ち抜き不要な粘着フィルム
   を除去して形成されてなることを特徴とする請求項１〜
   ６いずれか記載のクリーニング用ラベルシート。