JP2001133239A - レンズ金型の傾きおよび偏心の測定方法およびその装置 - Google Patents
レンズ金型の傾きおよび偏心の測定方法およびその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】レンズ金型の金型転写面の金型ベースに対する
傾きおよび金型転写面の光軸の金型軸部の中心線に対す
る偏心を正確に測定することのできるレンズ金型の傾き
および偏心の測定方法およびその装置を提供する。 【解決手段】レンズ金型１の金型軸部１ｂに密着状態で
金型ベース１ａの表面に載置した同一形状の３個の位置
決め球１１の形状を、測定用プローブによるＸＹ座標方
向への走査により測定する。この各位置決め球１１の頂
点座標を算出したのちに、各頂点座標で形成される平面
１４と各２つの頂点座標の垂直２等分線１７に基づいて
レンズ金型１の中心１８とを算出する。金型転写面１ｃ
の形状の測定データを求めたのちに、平面１４を基準と
したときの金型転写面１ｃの傾きと、レンズ金型１の中
心１８に対する金型転写面１ｃの中心の偏心とを算出す
る。
傾きおよび金型転写面の光軸の金型軸部の中心線に対す
る偏心を正確に測定することのできるレンズ金型の傾き
および偏心の測定方法およびその装置を提供する。 【解決手段】レンズ金型１の金型軸部１ｂに密着状態で
金型ベース１ａの表面に載置した同一形状の３個の位置
決め球１１の形状を、測定用プローブによるＸＹ座標方
向への走査により測定する。この各位置決め球１１の頂
点座標を算出したのちに、各頂点座標で形成される平面
１４と各２つの頂点座標の垂直２等分線１７に基づいて
レンズ金型１の中心１８とを算出する。金型転写面１ｃ
の形状の測定データを求めたのちに、平面１４を基準と
したときの金型転写面１ｃの傾きと、レンズ金型１の中
心１８に対する金型転写面１ｃの中心の偏心とを算出す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定面上で測定用
プローブをＸＹ座標方向に走査することにより、測定用
プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、
このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行
う手段を用いてレンズ製作用のレンズ金型の傾きおよび
偏心を測定する方法および装置に関するものである。
プローブをＸＹ座標方向に走査することにより、測定用
プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、
このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行
う手段を用いてレンズ製作用のレンズ金型の傾きおよび
偏心を測定する方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】本発明者らが先に開発した超高精度三次
元測定機は、測定面上を50ｍｇ以下の弱い測定圧の測定
用プローブをＸＹ座標方向に走査することにより、測定
用プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標の列を求め、測定
面の形状が設計式からどれだけずれているかを、このＺ
座標データの列から直接的に測定するものである。具体
的には、測定対象であるレンズやミラーの表面形状は、
一般式でＺ＝ｆ（Ｘ，Ｙ）という設計式で表され、測定
点のＸＹ座標におけるＺ測定値からこの設計式の値を差
し引いて誤差を算出している。ここで、測定圧を50ｍｇ
以下としたのは、10ｎｍ程度の高精度測定が必要であ
り、測定面に傷をつけてはいけないからである。
元測定機は、測定面上を50ｍｇ以下の弱い測定圧の測定
用プローブをＸＹ座標方向に走査することにより、測定
用プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標の列を求め、測定
面の形状が設計式からどれだけずれているかを、このＺ
座標データの列から直接的に測定するものである。具体
的には、測定対象であるレンズやミラーの表面形状は、
一般式でＺ＝ｆ（Ｘ，Ｙ）という設計式で表され、測定
点のＸＹ座標におけるＺ測定値からこの設計式の値を差
し引いて誤差を算出している。ここで、測定圧を50ｍｇ
以下としたのは、10ｎｍ程度の高精度測定が必要であ
り、測定面に傷をつけてはいけないからである。
【０００３】さらに、本発明者らは、上記のような高精
度測定を実用化するために、非球面レンズなどの自由曲
面の形状測定や面粗さ或いは段差の形状測定などを高精
度に低測定圧で測定できる三次元測定用プローブ（特開
平6-265340号公報参照）を開発している。この三次元測
定用測定用プローブは、測定用プローブを搭載したＸＹ
ステージをＺ方向にフォーカスサーボをかけながらＸＹ
方向に移動させると、測定用プローブが測定物との測定
圧を常に一定に保ちながら三次元形状に沿って移動する
ものである。
度測定を実用化するために、非球面レンズなどの自由曲
面の形状測定や面粗さ或いは段差の形状測定などを高精
度に低測定圧で測定できる三次元測定用プローブ（特開
平6-265340号公報参照）を開発している。この三次元測
定用測定用プローブは、測定用プローブを搭載したＸＹ
ステージをＺ方向にフォーカスサーボをかけながらＸＹ
方向に移動させると、測定用プローブが測定物との測定
圧を常に一定に保ちながら三次元形状に沿って移動する
ものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
三次元測定用プローブを備えた超高精度三次元測定機
は、設計式の存在する測定面の設計式からのずれ量を高
精度に測定して、その測定した形状を正確に評価するこ
とができるが、測定物の設計式が存在しない箇所を基準
として、この基準箇所に対し測定面がどれだけずれてい
るかを測定して評価することができないという課題があ
る。
三次元測定用プローブを備えた超高精度三次元測定機
は、設計式の存在する測定面の設計式からのずれ量を高
精度に測定して、その測定した形状を正確に評価するこ
とができるが、測定物の設計式が存在しない箇所を基準
として、この基準箇所に対し測定面がどれだけずれてい
るかを測定して評価することができないという課題があ
る。
【０００５】上記課題の具体例として、レンズを製造す
る際に用いられるレンズ金型について、図２を参照しな
がら説明する。レンズ金型１は、円盤状の金型ベース１
ａの表面の中央部に円柱状の金型軸部１ｂを一体に有
し、その金型軸部１ｂの端面にレンズの金型転写面１ｃ
が凹設されている。レンズは、表用と裏用の金型転写面
１ｃをそれぞれ備えた２種のレンズ金型１を用いて、各
レンズ金型１の各々の金型転写面１ｃを転写することに
より製造される。この２種のレンズ金型１を突き合わす
場合には、円筒状のガイド体の両側開口から各レンズ金
型１の金型軸部１ｂを嵌入させて、金型ベース１ａにお
ける金型軸部１ｂの形成面である表面をガイド体に密着
させる手順で行われる。
る際に用いられるレンズ金型について、図２を参照しな
がら説明する。レンズ金型１は、円盤状の金型ベース１
ａの表面の中央部に円柱状の金型軸部１ｂを一体に有
し、その金型軸部１ｂの端面にレンズの金型転写面１ｃ
が凹設されている。レンズは、表用と裏用の金型転写面
１ｃをそれぞれ備えた２種のレンズ金型１を用いて、各
レンズ金型１の各々の金型転写面１ｃを転写することに
より製造される。この２種のレンズ金型１を突き合わす
場合には、円筒状のガイド体の両側開口から各レンズ金
型１の金型軸部１ｂを嵌入させて、金型ベース１ａにお
ける金型軸部１ｂの形成面である表面をガイド体に密着
させる手順で行われる。
【０００６】上記のようなレンズ金型１において、金型
転写面１ｃは、設計式が存在することから、その形状を
正確に測定して評価することができるが、金型軸部１ｂ
や金型ベース１ａは、設計式が存在しないため、金型転
写面１ｃとの相対的な位置関係を測定評価することがで
きない。そのため、金型転写面１ｃの加工精度は許容範
囲内であったとしても、この金型転写面１ｃが金型ベー
ス１ａの上記表面または底面に対し傾いていたり、金型
転写面１ｃの光軸が金型軸部１ｂの中心線に対し偏心し
ていた場合には、表用と裏用との２種のレンズ金型１の
相対位置がずれた関係で突き合わされてしまう。その結
果、製造されたレンズは、表面と裏面との各々の光軸が
ずれるため、所望の光学特性を得ることができない。
転写面１ｃは、設計式が存在することから、その形状を
正確に測定して評価することができるが、金型軸部１ｂ
や金型ベース１ａは、設計式が存在しないため、金型転
写面１ｃとの相対的な位置関係を測定評価することがで
きない。そのため、金型転写面１ｃの加工精度は許容範
囲内であったとしても、この金型転写面１ｃが金型ベー
ス１ａの上記表面または底面に対し傾いていたり、金型
転写面１ｃの光軸が金型軸部１ｂの中心線に対し偏心し
ていた場合には、表用と裏用との２種のレンズ金型１の
相対位置がずれた関係で突き合わされてしまう。その結
果、製造されたレンズは、表面と裏面との各々の光軸が
ずれるため、所望の光学特性を得ることができない。
【０００７】そこで、本発明は、上記従来の課題に鑑み
てなされたもので、レンズ金型の金型転写面の金型ベー
スに対する傾きおよび金型転写面の光軸の金型軸部の中
心線に対する偏心を正確に測定することのできるレンズ
金型の傾きおよび偏心の測定方法およびその装置を提供
することを目的とするものである。
てなされたもので、レンズ金型の金型転写面の金型ベー
スに対する傾きおよび金型転写面の光軸の金型軸部の中
心線に対する偏心を正確に測定することのできるレンズ
金型の傾きおよび偏心の測定方法およびその装置を提供
することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明では、同一形状の３個の位置決め球を、
レンズ金型の金型ベースの表面に載置し、且つ前記金型
ベース上の金型軸部に密着状態に固定し、前記各位置決
め球に対し測定用プローブのセンタリングを行って仮り
の測定原点を設定したのちに、前記プローブをＸＹ座標
方向に走査することにより、前記プローブのＸＹ座標位
置でのＺ座標データの列を求めて前記各位置決め球の形
状を測定し、前記各位置決め球の測定データと設計デー
タとの二乗平均値が最小になるように座標変換を行って
各位置決め球の各々の頂点座標を算出し、３つの前記頂
点座標で形成される平面と各２つの前記頂点座標の垂直
２等分線に基づく前記レンズ金型の中心とを算出し、前
記金型軸部の端面に形成された金型転写面上に前記プロ
ーブをＸＹ座標方向に走査して、前記プローブのＸＹ座
標位置でのＺ座標データの列に基づいて前記金型転写面
の形状の測定データを求め、前記平面を基準としたとき
の前記金型転写面の傾きと、前記レンズ金型の中心に対
する前記金型転写面の中心の偏心とを算出するようにし
た。
に、第１の発明では、同一形状の３個の位置決め球を、
レンズ金型の金型ベースの表面に載置し、且つ前記金型
ベース上の金型軸部に密着状態に固定し、前記各位置決
め球に対し測定用プローブのセンタリングを行って仮り
の測定原点を設定したのちに、前記プローブをＸＹ座標
方向に走査することにより、前記プローブのＸＹ座標位
置でのＺ座標データの列を求めて前記各位置決め球の形
状を測定し、前記各位置決め球の測定データと設計デー
タとの二乗平均値が最小になるように座標変換を行って
各位置決め球の各々の頂点座標を算出し、３つの前記頂
点座標で形成される平面と各２つの前記頂点座標の垂直
２等分線に基づく前記レンズ金型の中心とを算出し、前
記金型軸部の端面に形成された金型転写面上に前記プロ
ーブをＸＹ座標方向に走査して、前記プローブのＸＹ座
標位置でのＺ座標データの列に基づいて前記金型転写面
の形状の測定データを求め、前記平面を基準としたとき
の前記金型転写面の傾きと、前記レンズ金型の中心に対
する前記金型転写面の中心の偏心とを算出するようにし
た。
【０００９】このレンズ金型の傾きおよび偏心の測定手
段では、３個の位置決め球の測定データと設計データと
の二乗平均値が最小になるように座標変換を行うことに
より、各位置決め球の各々の測定データが、その各座標
軸が設計値の各座標軸とほぼ一致したものとなり、この
測定データに基づいて３個の位置決め球の各々の頂点座
標を正確に算出できる。この各頂点座標を含む平面は金
型ベースの表面と平行となるから、レンズ金型における
設計式の存在しない金型ベースの表面およびレンズ金型
自体の中心を、設計式が存在する３個の同一形状の位置
決め球を介して測定できる。その結果、従来において不
可能であった金型ベースの表面を基準とした金型転写面
の傾き量およびレンズ金型の中心に対する金型転写面の
中心の偏心量を測定評価することが可能となる。
段では、３個の位置決め球の測定データと設計データと
の二乗平均値が最小になるように座標変換を行うことに
より、各位置決め球の各々の測定データが、その各座標
軸が設計値の各座標軸とほぼ一致したものとなり、この
測定データに基づいて３個の位置決め球の各々の頂点座
標を正確に算出できる。この各頂点座標を含む平面は金
型ベースの表面と平行となるから、レンズ金型における
設計式の存在しない金型ベースの表面およびレンズ金型
自体の中心を、設計式が存在する３個の同一形状の位置
決め球を介して測定できる。その結果、従来において不
可能であった金型ベースの表面を基準とした金型転写面
の傾き量およびレンズ金型の中心に対する金型転写面の
中心の偏心量を測定評価することが可能となる。
【００１０】また、第２の発明では、各々の頂点を同一
平面上に位置決めして設置した同一形状の３個の支持球
に対し測定用プローブのセンタリングを行って仮りの測
定原点を設定したのちに、前記プローブをＸＹ座標方向
に走査することにより、前記プローブのＸＹ座標位置で
のＺ座標データの列を求めて前記各支持球の形状を測定
し、前記各支持球の測定データと設計データとの二乗平
均値が最小になるように座標変換を行って各支持球の頂
点座標を算出し、３つの前記頂点座標で形成される平面
を算出し、前記各支持球上にレンズ金型を位置決め状態
で載置し、前記レンズ金型の金型ベース上の金型軸部の
端面に形成された金型転写面上に前記プローブをＸＹ座
標方向に走査して、前記プローブのＸＹ座標位置でのＺ
座標データの列に基づいて前記金型転写面の形状の測定
データを求め、前記平面を基準としたときの前記金型転
写面の傾きを算出するようにした。
平面上に位置決めして設置した同一形状の３個の支持球
に対し測定用プローブのセンタリングを行って仮りの測
定原点を設定したのちに、前記プローブをＸＹ座標方向
に走査することにより、前記プローブのＸＹ座標位置で
のＺ座標データの列を求めて前記各支持球の形状を測定
し、前記各支持球の測定データと設計データとの二乗平
均値が最小になるように座標変換を行って各支持球の頂
点座標を算出し、３つの前記頂点座標で形成される平面
を算出し、前記各支持球上にレンズ金型を位置決め状態
で載置し、前記レンズ金型の金型ベース上の金型軸部の
端面に形成された金型転写面上に前記プローブをＸＹ座
標方向に走査して、前記プローブのＸＹ座標位置でのＺ
座標データの列に基づいて前記金型転写面の形状の測定
データを求め、前記平面を基準としたときの前記金型転
写面の傾きを算出するようにした。
【００１１】このレンズ金型の傾きの測定手段では、３
個の支持球の測定データと設計データとの二乗平均値が
最小になるように座標変換を行うことにより、各支持球
の各々の測定データが、その各座標軸が設計値の各座標
軸とほぼ一致したものとなり、この測定データに基づい
て３個の支持球の各々の頂点座標を正確に算出できる。
この各頂点座標を含む平面は３個の支持球上に載置され
るレンズ金型の底面とほぼ同一であるから、レンズ金型
における設計式の存在しない金型ベースの底面を、設計
式が存在する３個の同一形状の支持球を介して測定でき
る。その結果、従来において不可能であった金型ベース
の底面を基準とした金型転写面の傾き量を測定評価する
ことが可能となる。
個の支持球の測定データと設計データとの二乗平均値が
最小になるように座標変換を行うことにより、各支持球
の各々の測定データが、その各座標軸が設計値の各座標
軸とほぼ一致したものとなり、この測定データに基づい
て３個の支持球の各々の頂点座標を正確に算出できる。
この各頂点座標を含む平面は３個の支持球上に載置され
るレンズ金型の底面とほぼ同一であるから、レンズ金型
における設計式の存在しない金型ベースの底面を、設計
式が存在する３個の同一形状の支持球を介して測定でき
る。その結果、従来において不可能であった金型ベース
の底面を基準とした金型転写面の傾き量を測定評価する
ことが可能となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の第１の実施の形態に係るレンズ金型の傾きおよび偏心
の測定方法のアルゴリズムを示すフローチャートであ
り、この測定方法は、図７に示すような形状測定機に適
用することにより具現化されるので、第１の実施の形態
の説明に先立って、上記形状測定機について説明する。
態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の第１の実施の形態に係るレンズ金型の傾きおよび偏心
の測定方法のアルゴリズムを示すフローチャートであ
り、この測定方法は、図７に示すような形状測定機に適
用することにより具現化されるので、第１の実施の形態
の説明に先立って、上記形状測定機について説明する。
【００１３】図７において、レーザー測長光学系２およ
び測定用プローブ３を搭載した移動体４は、Ｘステージ
７およびＹステージ８によりＸＹ座標方向に移動し、測
定用プローブ３は定盤９上に固定した測定物１０の測定
面１０ａに沿ってＺ座標方向に移動するようになってい
る。レーザー測長光学系２は、周知の光干渉法などによ
り測定用プローブ３のＺ座標方向の移動量を測定するも
のである。したがって、この形状測定機は、測定面１０
ａ上で測定用プローブ３をＸＹ座標方向に走査すること
により、測定用プローブ３のＸＹ座標位置でのＺ座標デ
ータの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定
面１０ａの形状測定を行う。
び測定用プローブ３を搭載した移動体４は、Ｘステージ
７およびＹステージ８によりＸＹ座標方向に移動し、測
定用プローブ３は定盤９上に固定した測定物１０の測定
面１０ａに沿ってＺ座標方向に移動するようになってい
る。レーザー測長光学系２は、周知の光干渉法などによ
り測定用プローブ３のＺ座標方向の移動量を測定するも
のである。したがって、この形状測定機は、測定面１０
ａ上で測定用プローブ３をＸＹ座標方向に走査すること
により、測定用プローブ３のＸＹ座標位置でのＺ座標デ
ータの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定
面１０ａの形状測定を行う。
【００１４】つぎに、本発明の第１の実施の形態に係る
レンズ金型１の傾きおよび偏心の測定方法を、図２ない
し図６を参照しながら、図１のフローチャートに基づき
説明する。先ず、図２（ａ），（ｂ）に示すように、同
一形状の３個の位置決め球１１を金型軸部１ｂの側面に
接触させた状態で金型ベース１ａの表面に設置する（ス
テップＳ１）。この場合、３個の位置決め球１１は、金
型軸部１ｂに密着状態に固定する必要があり、例えば、
図３（ａ）の側面図および（ｂ）の斜視図に示すよう
に、下部固定具１２の設置台１２ａ上にレンズ金型１を
載置し、そのレンズ金型１の金型ベース１ａの表面に３
個の位置決め球１１を載せて、上方から上部固定具１３
を下部固定具１２上に被せる。上部固定具１３は、金型
軸部１ｂの側面にそれぞれ密着状態に配置された３個の
位置決め球１１の外接円にほぼ等しい内周面を有する円
筒形状になっている。これにより、３個の位置決め球１
１は、いずれも金型軸部１ｂの側面に密着状態に固定さ
れる。
レンズ金型１の傾きおよび偏心の測定方法を、図２ない
し図６を参照しながら、図１のフローチャートに基づき
説明する。先ず、図２（ａ），（ｂ）に示すように、同
一形状の３個の位置決め球１１を金型軸部１ｂの側面に
接触させた状態で金型ベース１ａの表面に設置する（ス
テップＳ１）。この場合、３個の位置決め球１１は、金
型軸部１ｂに密着状態に固定する必要があり、例えば、
図３（ａ）の側面図および（ｂ）の斜視図に示すよう
に、下部固定具１２の設置台１２ａ上にレンズ金型１を
載置し、そのレンズ金型１の金型ベース１ａの表面に３
個の位置決め球１１を載せて、上方から上部固定具１３
を下部固定具１２上に被せる。上部固定具１３は、金型
軸部１ｂの側面にそれぞれ密着状態に配置された３個の
位置決め球１１の外接円にほぼ等しい内周面を有する円
筒形状になっている。これにより、３個の位置決め球１
１は、いずれも金型軸部１ｂの側面に密着状態に固定さ
れる。
【００１５】つぎに、図２（ａ）に示すように、測定用
プローブ３を、固定状態の３個の位置決め球１１の各々
の上面に接触させながらＸＹ座標方向に順次走査するこ
とにより、各位置決め球１１の各々の形状を測定して各
位置決め球１１の（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ、つまり三次元
のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ），（Ｘ2 ，
Ｙ 2 ，Ｚ2 ），……，（ＸN ，ＹN ，ＺN ）を順次取得
する（ステップＳ２）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを得
るには、各位置決め球１１についてＸＹ座標における測
定原点を設定する必要があり、ここでは、各位置決め球
１１におけるほぼ頂点と推測できる位置に測定用プロー
ブ３を移動させるセンタリングを行い、その位置を仮り
の測定原点として各位置決め球１１の形状を測定する。
各位置決め球１１は、その製作に際しての設計式を有し
ているが、上記の各位置決め球１１の測定による上記
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データは、仮りの測定原点による測定デ
ータであるから、設計式によるデータとはＸＹ座標位置
が異なっている。そのため、以下のようにして（Ｘ，
Ｙ，Ｚ）データを設計式によるデータに座標変換する。
プローブ３を、固定状態の３個の位置決め球１１の各々
の上面に接触させながらＸＹ座標方向に順次走査するこ
とにより、各位置決め球１１の各々の形状を測定して各
位置決め球１１の（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ、つまり三次元
のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ），（Ｘ2 ，
Ｙ 2 ，Ｚ2 ），……，（ＸN ，ＹN ，ＺN ）を順次取得
する（ステップＳ２）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを得
るには、各位置決め球１１についてＸＹ座標における測
定原点を設定する必要があり、ここでは、各位置決め球
１１におけるほぼ頂点と推測できる位置に測定用プロー
ブ３を移動させるセンタリングを行い、その位置を仮り
の測定原点として各位置決め球１１の形状を測定する。
各位置決め球１１は、その製作に際しての設計式を有し
ているが、上記の各位置決め球１１の測定による上記
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データは、仮りの測定原点による測定デ
ータであるから、設計式によるデータとはＸＹ座標位置
が異なっている。そのため、以下のようにして（Ｘ，
Ｙ，Ｚ）データを設計式によるデータに座標変換する。
【００１６】すなわち、上記（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データにお
けるＺ座標データＺK を設計式の設計値Ｚk ´に置き換
えた（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データ、つまり三次元のデータ列
である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ´），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ
2 ´），……，（ＸN ，ＹN ，Ｚ N ´）を算出する（ス
テップＳ３）。さらに、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから
（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ
座標データＺ´の値を減算したＺｄを算出する、つまり
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同
じＸＹ座標位置におけるＺ座標データを値を減算した三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 −Ｚ1 ´），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 − Ｚ2 ´），……，（ＸN，
ＹN ，ＺN −ＺN ´）を算出する（ステップＳ４）。
けるＺ座標データＺK を設計式の設計値Ｚk ´に置き換
えた（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データ、つまり三次元のデータ列
である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ´），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ
2 ´），……，（ＸN ，ＹN ，Ｚ N ´）を算出する（ス
テップＳ３）。さらに、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから
（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ
座標データＺ´の値を減算したＺｄを算出する、つまり
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同
じＸＹ座標位置におけるＺ座標データを値を減算した三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 −Ｚ1 ´），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 − Ｚ2 ´），……，（ＸN，
ＹN ，ＺN −ＺN ´）を算出する（ステップＳ４）。
【００１７】つぎに、位置決め球１１の形状測定データ
のＺ座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk ´とを比較し
て、次の（１）式で示すような二乗平均値ＲＭＳ（Root
MeanSquare）を算出する（ステップＳ５）。
のＺ座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk ´とを比較し
て、次の（１）式で示すような二乗平均値ＲＭＳ（Root
MeanSquare）を算出する（ステップＳ５）。
【００１８】 続いて、周知の最小二乗法を用いて、上記ＲＭＳがより
小さくなるように（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを平行移動およ
び回転方向に座標変換する（ステップＳ６）。すなわ
ち、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを、図４に示すように、Ｘ，
Ｙ，Ｚの各軸の方向への平行移動と、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸
を中心に回転する方向α，β，γに上記（１）式で示さ
れるＲＳＭがより小さくなるよう座標変換する。その座
標変換を行ったのちに、Ｚ座標データの変化量が所定範
囲内であるか否かを判別し（ステップＳ７）、範囲内で
ない場合にはステップＳ４にリターンして、ステップＳ
４〜Ｓ７の処理を、座標変換によるＺ座標データの変化
量が所定範囲内となって最小であると判別（ステップＳ
７）されるまで、つまりＲＭＳが最小であると判別され
るまで繰り返す。
小さくなるように（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを平行移動およ
び回転方向に座標変換する（ステップＳ６）。すなわ
ち、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを、図４に示すように、Ｘ，
Ｙ，Ｚの各軸の方向への平行移動と、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸
を中心に回転する方向α，β，γに上記（１）式で示さ
れるＲＳＭがより小さくなるよう座標変換する。その座
標変換を行ったのちに、Ｚ座標データの変化量が所定範
囲内であるか否かを判別し（ステップＳ７）、範囲内で
ない場合にはステップＳ４にリターンして、ステップＳ
４〜Ｓ７の処理を、座標変換によるＺ座標データの変化
量が所定範囲内となって最小であると判別（ステップＳ
７）されるまで、つまりＲＭＳが最小であると判別され
るまで繰り返す。
【００１９】ＲＭＳが最小であると判別されると、その
処理が３個の位置決め球１１の全てについて行われたか
否かを判別して（ステップＳ８）、全ての位置決め球１
１について処理が終わっていない場合には、ステップＳ
２にリターンして、残りの位置決め球１１についても上
述と同様の処理を行う。これにより、Ｚｄはゼロに近い
値となり、３個の位置決め球１１の各々の測定データ
は、その各座標軸が設計値の各座標軸とほぼ一致したも
のとなる。つぎに、この測定データに基づき、３個の位
置決め球１１の各々の頂点座標を算出する（ステップＳ
９）。この頂点座標は、例えば、特開平2-254307号公報
に記載された中心出しの方法を用ることにより、容易に
算出することができる。
処理が３個の位置決め球１１の全てについて行われたか
否かを判別して（ステップＳ８）、全ての位置決め球１
１について処理が終わっていない場合には、ステップＳ
２にリターンして、残りの位置決め球１１についても上
述と同様の処理を行う。これにより、Ｚｄはゼロに近い
値となり、３個の位置決め球１１の各々の測定データ
は、その各座標軸が設計値の各座標軸とほぼ一致したも
のとなる。つぎに、この測定データに基づき、３個の位
置決め球１１の各々の頂点座標を算出する（ステップＳ
９）。この頂点座標は、例えば、特開平2-254307号公報
に記載された中心出しの方法を用ることにより、容易に
算出することができる。
【００２０】つぎに、図５に示すように、上記算出した
３個の位置決め球１１の各頂点座標を含む平面１４と、
図６（ａ）に示すように、３つの頂点座標のうちの各２
つの頂点座標の垂直２等分線１７の交点で求まるレンズ
金型１の中心１８とを算出する（ステップＳ１０）。３
個の位置決め球１１の各頂点座標を含む平面１４は金型
ベース１ａの表面と平行となる。したがって、上記の処
理では、レンズ金型１における設計式の存在しない金型
ベース１ａの表面の形状およびレンズ金型１自体の中心
１８を、球半径などの値に基づく設計式が存在する３個
の同一形状の位置決め球１１を介して測定できたことに
なる。
３個の位置決め球１１の各頂点座標を含む平面１４と、
図６（ａ）に示すように、３つの頂点座標のうちの各２
つの頂点座標の垂直２等分線１７の交点で求まるレンズ
金型１の中心１８とを算出する（ステップＳ１０）。３
個の位置決め球１１の各頂点座標を含む平面１４は金型
ベース１ａの表面と平行となる。したがって、上記の処
理では、レンズ金型１における設計式の存在しない金型
ベース１ａの表面の形状およびレンズ金型１自体の中心
１８を、球半径などの値に基づく設計式が存在する３個
の同一形状の位置決め球１１を介して測定できたことに
なる。
【００２１】つぎに、図２（ｂ）に示すように、レンズ
金型１の金型転写面１ｃ上に測定用プローブ３を接触さ
せながらＸＹ座標方向に順次走査することにより、金型
転写面１ｃの形状を測定して（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ、つ
まり三次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 ），……，（ＸN ，ＹN ，ＺN ）を
順次取得する（ステップＳ１１）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）
データを得るには、金型転写面１ｃのＸＹ座標における
測定原点を設定する必要があり、ここでは、金型転写面
１ｃのほぼ中心と推測できる位置に測定用プローブ３を
移動させるセンタリングを行い、その位置を仮りの測定
原点として金型転写面１ｃの形状を測定する。この金型
転写面１ｃは、その製作に際しての設計式を有している
が、上記の金型転写面１ｃの測定による上記（Ｘ，Ｙ，
Ｚ）データは、仮りの測定原点による測定データである
から、設計式によるＸＹ座標とは異なったデータになっ
ている。そのため、以下のようにして（Ｘ，Ｙ，Ｚ）デ
ータを設計式によるデータに座標変換する。
金型１の金型転写面１ｃ上に測定用プローブ３を接触さ
せながらＸＹ座標方向に順次走査することにより、金型
転写面１ｃの形状を測定して（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ、つ
まり三次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 ），……，（ＸN ，ＹN ，ＺN ）を
順次取得する（ステップＳ１１）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）
データを得るには、金型転写面１ｃのＸＹ座標における
測定原点を設定する必要があり、ここでは、金型転写面
１ｃのほぼ中心と推測できる位置に測定用プローブ３を
移動させるセンタリングを行い、その位置を仮りの測定
原点として金型転写面１ｃの形状を測定する。この金型
転写面１ｃは、その製作に際しての設計式を有している
が、上記の金型転写面１ｃの測定による上記（Ｘ，Ｙ，
Ｚ）データは、仮りの測定原点による測定データである
から、設計式によるＸＹ座標とは異なったデータになっ
ている。そのため、以下のようにして（Ｘ，Ｙ，Ｚ）デ
ータを設計式によるデータに座標変換する。
【００２２】すなわち、上記（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データにお
けるＺ座標データＺK を設計式の設計値Ｚk ´に置き換
えた（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データ、つまり三次元のデータ列
である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ´），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ
2 ´），……，（ＸN ，ＹN ，Ｚ N ´）を算出する（ス
テップＳ１２）。さらに、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから
（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ
座標データＺ´の値を減算したＺｄを算出する、つまり
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同
じＸＹ座標位置におけるＺ座標データを値を減算した三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 −Ｚ1 ´），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 − Ｚ2 ´），……，（Ｘ N ，
ＹN ，ＺN −ＺN ´）を算出する（ステップＳ１３）。
けるＺ座標データＺK を設計式の設計値Ｚk ´に置き換
えた（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データ、つまり三次元のデータ列
である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ´），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ
2 ´），……，（ＸN ，ＹN ，Ｚ N ´）を算出する（ス
テップＳ１２）。さらに、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから
（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ
座標データＺ´の値を減算したＺｄを算出する、つまり
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同
じＸＹ座標位置におけるＺ座標データを値を減算した三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 −Ｚ1 ´），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 − Ｚ2 ´），……，（Ｘ N ，
ＹN ，ＺN −ＺN ´）を算出する（ステップＳ１３）。
【００２３】つぎに、金型転写面１ｃの形状測定データ
のＺ座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk ´とを比較し
て、次の（２）式で示すような二乗平均値ＲＭＳを算出
する（ステップＳ１４）。
のＺ座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk ´とを比較し
て、次の（２）式で示すような二乗平均値ＲＭＳを算出
する（ステップＳ１４）。
【００２４】 続いて、周知の最小二乗法を用いて、上記ＲＭＳがより
小さくなるように（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを平行移動およ
び回転方向に座標変換する（ステップＳ１５）。すなわ
ち、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データについて、図４に示すよう
に、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸の方向への平行移動と、Ｘ，Ｙ，
Ｚの各軸を中心に回転する方向α，β，γに上記（２）
式で示されるＲＭＳがより小さくなるよう座標変換す
る。その座標変換を行ったのちに、Ｚ座標データの変化
量が所定範囲内であるか否かを判別し（ステップＳ１
６）、範囲内でない場合にはステップＳ１３にリターン
して、ステップＳ１３〜Ｓ１６の処理を、座標変換によ
るＺ座標データの変化量が所定範囲内となって最小であ
ると判別（ステップＳ１６）されるまで、つまりＲＭＳ
が最小であると判別されるまで繰り返す。
小さくなるように（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを平行移動およ
び回転方向に座標変換する（ステップＳ１５）。すなわ
ち、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データについて、図４に示すよう
に、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸の方向への平行移動と、Ｘ，Ｙ，
Ｚの各軸を中心に回転する方向α，β，γに上記（２）
式で示されるＲＭＳがより小さくなるよう座標変換す
る。その座標変換を行ったのちに、Ｚ座標データの変化
量が所定範囲内であるか否かを判別し（ステップＳ１
６）、範囲内でない場合にはステップＳ１３にリターン
して、ステップＳ１３〜Ｓ１６の処理を、座標変換によ
るＺ座標データの変化量が所定範囲内となって最小であ
ると判別（ステップＳ１６）されるまで、つまりＲＭＳ
が最小であると判別されるまで繰り返す。
【００２５】ＲＭＳが最小であると判別されると、Ｚｄ
はゼロに近い値となり、その各座標軸が設計値の各座標
軸とほぼ一致した金型転写面１ｃの形状の測定データを
得ることができる（ステップＳ１７）。続いて、図５に
示すように、ステップＳ１０で算出した３個の位置決め
球１１の各頂点座標を含む平面１４に対する金型転写面
１ｃの傾きθを算出する（ステップＳ１８）。具体的に
は、上記平面１４は金型ベース１ａの表面と平行である
から、この平面１４に垂直な直交線１９と、ステップＳ
１７で算出した金型転写面１ｃの測定データの中心の垂
線２７との角度から、金型ベース１ａの表面に対する金
型転写面１ｃの傾き量θを算出する。
はゼロに近い値となり、その各座標軸が設計値の各座標
軸とほぼ一致した金型転写面１ｃの形状の測定データを
得ることができる（ステップＳ１７）。続いて、図５に
示すように、ステップＳ１０で算出した３個の位置決め
球１１の各頂点座標を含む平面１４に対する金型転写面
１ｃの傾きθを算出する（ステップＳ１８）。具体的に
は、上記平面１４は金型ベース１ａの表面と平行である
から、この平面１４に垂直な直交線１９と、ステップＳ
１７で算出した金型転写面１ｃの測定データの中心の垂
線２７との角度から、金型ベース１ａの表面に対する金
型転写面１ｃの傾き量θを算出する。
【００２６】つぎに、ステップＳ１０で算出した図６
（ａ）に示すレンズ金型１の中心１８と、ステップＳ１
７で算出した金型転写面１ｃの測定データの中心とのず
れ量を算出することにより、レンズ金型１の中心に対す
る金型転写面１ｃの中心の偏心量ｄが得られる（ステッ
プＳ１９）。なお、上記の各ステップＳ２〜Ｓ１９を実
行する各手段は、例えば図７で説明した形状測定機に搭
載された制御用コンピュータ（図示せず）のメモリに構
築された実行形式のプログラムにより容易に具体化され
る。
（ａ）に示すレンズ金型１の中心１８と、ステップＳ１
７で算出した金型転写面１ｃの測定データの中心とのず
れ量を算出することにより、レンズ金型１の中心に対す
る金型転写面１ｃの中心の偏心量ｄが得られる（ステッ
プＳ１９）。なお、上記の各ステップＳ２〜Ｓ１９を実
行する各手段は、例えば図７で説明した形状測定機に搭
載された制御用コンピュータ（図示せず）のメモリに構
築された実行形式のプログラムにより容易に具体化され
る。
【００２７】つぎに、本発明の第２の実施の形態に係る
レンズ金型１の傾きの測定方法について説明する。この
実施の形態では、図９に示すレンズ金型１の底面１ｄに
対する金型転写面１ｃの傾きの測定に関するものであ
る。２種のレンズ金型１を用いたレンズの製造に際して
は、製造装置の押圧部材が各レンズ金型１の底面を押圧
しながら各々の金型軸部１ｂを円筒状のガイド体に挿入
させるので、金型転写面１ｃが底面１ｄに対し傾いてい
る場合には、両側の各金型転写面１ｃが所要の相対位置
関係で対向されなくなる。そのため、金型転写面１ｃの
底面１ｄに対する傾きは、許容範囲内とする必要があ
る。
レンズ金型１の傾きの測定方法について説明する。この
実施の形態では、図９に示すレンズ金型１の底面１ｄに
対する金型転写面１ｃの傾きの測定に関するものであ
る。２種のレンズ金型１を用いたレンズの製造に際して
は、製造装置の押圧部材が各レンズ金型１の底面を押圧
しながら各々の金型軸部１ｂを円筒状のガイド体に挿入
させるので、金型転写面１ｃが底面１ｄに対し傾いてい
る場合には、両側の各金型転写面１ｃが所要の相対位置
関係で対向されなくなる。そのため、金型転写面１ｃの
底面１ｄに対する傾きは、許容範囲内とする必要があ
る。
【００２８】図９は、金型転写面１ｃの底面１ｄに対す
る傾きの測定に用いる金型設置台２０を示す斜視図、図
１０（ａ）は金型設置台２０の平面図、（ｂ）は金型設
置台２０の側面図である。この金型設置台２０には、レ
ンズ金型１を３点支持するための同一形状の３個の支持
球２１が各々の頂点が同一平面上に位置するよう設置さ
れているとともに、平面視Ｌ字形状の位置決め部材２２
が３個の支持球２１上にレンズ金型１上を所要の位置決
め状態で載置させる位置に設けられている。
る傾きの測定に用いる金型設置台２０を示す斜視図、図
１０（ａ）は金型設置台２０の平面図、（ｂ）は金型設
置台２０の側面図である。この金型設置台２０には、レ
ンズ金型１を３点支持するための同一形状の３個の支持
球２１が各々の頂点が同一平面上に位置するよう設置さ
れているとともに、平面視Ｌ字形状の位置決め部材２２
が３個の支持球２１上にレンズ金型１上を所要の位置決
め状態で載置させる位置に設けられている。
【００２９】つぎに、本発明の第２の実施の形態に係る
レンズ金型１の金型転写面１ｃの底面１ｄに対する傾き
の測定方法を、そのアルゴリズムを示した図８のフロー
チャートに基づき説明する。この実施の形態の測定方法
は、図７に示すような形状測定機に適用することにより
具現化されるので、図７をも参照しながら説明する。先
ず、測定用プローブ３を、３個の支持球２１の各々の上
面に接触させながらＸＹ座標方向に順次走査することに
より、各支持球２１の各々の形状を測定して各支持球２
１の（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ、つまり三次元のデータ列で
ある（Ｘ1 ，Ｙ 1 ，Ｚ1 ），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 ），…
…，（ＸN ，ＹN ，ＺN ）を順次取得する（ステップＳ
２）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを得るには、各支持球
２１についてＸＹ座標における測定原点を設定する必要
があり、ここでは、各支持球２１におけるほぼ頂点と推
測できる位置に測定用プローブ３を移動させるセンタリ
ングを行い、その位置を仮りの測定原点として各支持球
２１の形状を測定する。各支持球２１は、その製作に際
しての設計式を有しているが、上記の各支持球２１の測
定による上記（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データは、仮りの測定原点
による測定データであるから、設計式によるデータとは
ＸＹ座標が異なっている。そのため、以下のようにして
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを設計式によるデータに座標変換
する。
レンズ金型１の金型転写面１ｃの底面１ｄに対する傾き
の測定方法を、そのアルゴリズムを示した図８のフロー
チャートに基づき説明する。この実施の形態の測定方法
は、図７に示すような形状測定機に適用することにより
具現化されるので、図７をも参照しながら説明する。先
ず、測定用プローブ３を、３個の支持球２１の各々の上
面に接触させながらＸＹ座標方向に順次走査することに
より、各支持球２１の各々の形状を測定して各支持球２
１の（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ、つまり三次元のデータ列で
ある（Ｘ1 ，Ｙ 1 ，Ｚ1 ），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 ），…
…，（ＸN ，ＹN ，ＺN ）を順次取得する（ステップＳ
２）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを得るには、各支持球
２１についてＸＹ座標における測定原点を設定する必要
があり、ここでは、各支持球２１におけるほぼ頂点と推
測できる位置に測定用プローブ３を移動させるセンタリ
ングを行い、その位置を仮りの測定原点として各支持球
２１の形状を測定する。各支持球２１は、その製作に際
しての設計式を有しているが、上記の各支持球２１の測
定による上記（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データは、仮りの測定原点
による測定データであるから、設計式によるデータとは
ＸＹ座標が異なっている。そのため、以下のようにして
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを設計式によるデータに座標変換
する。
【００３０】すなわち、上記（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データにお
けるＺ座標データＺK を設計式の設計値Ｚk ´に置き換
えた（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データ、つまり三次元のデータ列
である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ´），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ
2 ´），……，（ＸN ，ＹN ，Ｚ N ´）を算出する（ス
テップＳ２２）。さらに、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから
（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ
座標データＺ´の値を減算したＺｄを算出する、つまり
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同
じＸＹ座標位置におけるＺ座標データを値を減算した三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 −Ｚ1 ´），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 − Ｚ2 ´），……，（Ｘ N ，
ＹN ，ＺN −ＺN ´）を算出する（ステップＳ２３）。
けるＺ座標データＺK を設計式の設計値Ｚk ´に置き換
えた（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データ、つまり三次元のデータ列
である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ´），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ
2 ´），……，（ＸN ，ＹN ，Ｚ N ´）を算出する（ス
テップＳ２２）。さらに、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから
（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ
座標データＺ´の値を減算したＺｄを算出する、つまり
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同
じＸＹ座標位置におけるＺ座標データを値を減算した三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 −Ｚ1 ´），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 − Ｚ2 ´），……，（Ｘ N ，
ＹN ，ＺN −ＺN ´）を算出する（ステップＳ２３）。
【００３１】つぎに、支持球２１の形状測定データのＺ
座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk´とを比較して、次
の（３）式で示すような二乗平均値ＲＭＳを算出する
（ステップＳ２４）。
座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk´とを比較して、次
の（３）式で示すような二乗平均値ＲＭＳを算出する
（ステップＳ２４）。
【００３２】 続いて、周知の最小二乗法を用いて、上記ＲＭＳがより
小さくなるように（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを平行移動およ
び回転方向に座標変換する（ステップＳ２５）。すなわ
ち、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データについて、図４に示すよう
に、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸の方向への平行移動と、Ｘ，Ｙ，
Ｚの各軸を中心に回転する方向α，β，γに上記（３）
式で示されるＲＭＳがより小さくなるよう座標変換す
る。その座標変換を行ったのちに、Ｚ座標データの変化
量が所定範囲内であるか否かを判別し（ステップＳ２
６）、範囲内でない場合にはステップＳ２３にリターン
して、ステップＳ２３〜Ｓ２６の処理を、座標変換によ
るＺ座標データの変化量が所定範囲内となって最小であ
ると判別（ステップＳ２６）されるまで、つまりＲＭＳ
が最小であると判別されるまで繰り返す。
小さくなるように（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを平行移動およ
び回転方向に座標変換する（ステップＳ２５）。すなわ
ち、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データについて、図４に示すよう
に、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸の方向への平行移動と、Ｘ，Ｙ，
Ｚの各軸を中心に回転する方向α，β，γに上記（３）
式で示されるＲＭＳがより小さくなるよう座標変換す
る。その座標変換を行ったのちに、Ｚ座標データの変化
量が所定範囲内であるか否かを判別し（ステップＳ２
６）、範囲内でない場合にはステップＳ２３にリターン
して、ステップＳ２３〜Ｓ２６の処理を、座標変換によ
るＺ座標データの変化量が所定範囲内となって最小であ
ると判別（ステップＳ２６）されるまで、つまりＲＭＳ
が最小であると判別されるまで繰り返す。
【００３３】ＲＭＳが最小であると判別されると、その
処理が３個の支持球２１の全てについて行われたか否か
を判別して（ステップＳ２７）、全ての支持球２１につ
いて処理が終わっていない場合には、ステップＳ２１に
リターンして、残りの支持球２１についても上述と同様
の処理を行う。これにより、Ｚｄはゼロに近い値とな
り、３個の支持球２１の各々の測定データは、その各座
標軸が設計値の各座標軸とほぼ一致したものとなる。つ
ぎに、この測定データに基づき、３個の支持球２１の各
々の頂点座標を算出する（ステップＳ２８）。この頂点
座標は、例えば、特開平2-254307号公報に記載された中
心出しの方法を用ることにより、容易に算出することが
できる。
処理が３個の支持球２１の全てについて行われたか否か
を判別して（ステップＳ２７）、全ての支持球２１につ
いて処理が終わっていない場合には、ステップＳ２１に
リターンして、残りの支持球２１についても上述と同様
の処理を行う。これにより、Ｚｄはゼロに近い値とな
り、３個の支持球２１の各々の測定データは、その各座
標軸が設計値の各座標軸とほぼ一致したものとなる。つ
ぎに、この測定データに基づき、３個の支持球２１の各
々の頂点座標を算出する（ステップＳ２８）。この頂点
座標は、例えば、特開平2-254307号公報に記載された中
心出しの方法を用ることにより、容易に算出することが
できる。
【００３４】つぎに、上記算出した３個の支持球２１の
各頂点座標を含む平面を算出する（ステップＳ２９）。
そののちに、レンズ金型１を、その金型ベース１ａの２
箇所の側面を位置決め部材２２に当接させた位置決め状
態で３個の支持球２１上に載置する（ステップＳ３
０）。これにより、レンズ金型１の底面１ｄは３個の支
持球２１上に正しく設置される。続いて、レンズ金型１
の金型転写面１ｃ上に測定用プローブ３を接触させなが
らＸＹ座標方向に順次走査することにより、金型転写面
１ｃの形状を測定して（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ、つまり三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ），（Ｘ2 ，
Ｙ2 ，Ｚ2 ），……，（ＸN ，ＹN ，ＺN ）を順次取得
する（ステップＳ３１）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを
得るには、金型転写面１ｃのＸＹ座標における測定原点
を設定する必要があり、ここでは、金型転写面１ｃのほ
ぼ中心と推測できる位置に測定用プローブ３を移動させ
るセンタリングを行い、その位置を仮りの測定原点とし
て金型転写面１ｃの形状を測定する。この金型転写面１
ｃは、その製作に際しての設計式を有しているが、上記
の金型転写面１ｃの測定による上記（Ｘ，Ｙ，Ｚ）デー
タは、仮りの測定原点による測定データであるから、設
計式によるデータとはＸＹ座標が異なっている。そのた
め、以下のようにして（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを設計式に
よるデータに座標変換する。
各頂点座標を含む平面を算出する（ステップＳ２９）。
そののちに、レンズ金型１を、その金型ベース１ａの２
箇所の側面を位置決め部材２２に当接させた位置決め状
態で３個の支持球２１上に載置する（ステップＳ３
０）。これにより、レンズ金型１の底面１ｄは３個の支
持球２１上に正しく設置される。続いて、レンズ金型１
の金型転写面１ｃ上に測定用プローブ３を接触させなが
らＸＹ座標方向に順次走査することにより、金型転写面
１ｃの形状を測定して（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ、つまり三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ），（Ｘ2 ，
Ｙ2 ，Ｚ2 ），……，（ＸN ，ＹN ，ＺN ）を順次取得
する（ステップＳ３１）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを
得るには、金型転写面１ｃのＸＹ座標における測定原点
を設定する必要があり、ここでは、金型転写面１ｃのほ
ぼ中心と推測できる位置に測定用プローブ３を移動させ
るセンタリングを行い、その位置を仮りの測定原点とし
て金型転写面１ｃの形状を測定する。この金型転写面１
ｃは、その製作に際しての設計式を有しているが、上記
の金型転写面１ｃの測定による上記（Ｘ，Ｙ，Ｚ）デー
タは、仮りの測定原点による測定データであるから、設
計式によるデータとはＸＹ座標が異なっている。そのた
め、以下のようにして（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを設計式に
よるデータに座標変換する。
【００３５】すなわち、上記（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データにお
けるＺ座標データＺK を設計式の設計値Ｚk ´に置き換
えた（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データ、つまり三次元のデータ列
である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ´），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ
2 ´），……，（ＸN ，ＹN ，Ｚ N ´）を算出する（ス
テップＳ３２）。さらに、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから
（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ
座標データＺ´の値を減算したＺｄを算出する、つまり
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同
じＸＹ座標位置におけるＺ座標データを値を減算した三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 −Ｚ1 ´），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 − Ｚ2 ´），……，（Ｘ N ，
ＹN ，ＺN −ＺN ´）を算出する（ステップＳ３３）。
けるＺ座標データＺK を設計式の設計値Ｚk ´に置き換
えた（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データ、つまり三次元のデータ列
である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 ´），（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ
2 ´），……，（ＸN ，ＹN ，Ｚ N ´）を算出する（ス
テップＳ３２）。さらに、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから
（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ
座標データＺ´の値を減算したＺｄを算出する、つまり
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データから（Ｘ，Ｙ，Ｚ´）データの同
じＸＹ座標位置におけるＺ座標データを値を減算した三
次元のデータ列である（Ｘ1 ，Ｙ1 ，Ｚ1 −Ｚ1 ´），
（Ｘ2 ，Ｙ2 ，Ｚ2 − Ｚ2 ´），……，（Ｘ N ，
ＹN ，ＺN −ＺN ´）を算出する（ステップＳ３３）。
【００３６】つぎに、金型転写面１ｃの形状測定データ
のＺ座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk ´とを比較し
て、次の（４）式で示すような二乗平均値ＲＭＳを算出
する（ステップＳ３４）。
のＺ座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk ´とを比較し
て、次の（４）式で示すような二乗平均値ＲＭＳを算出
する（ステップＳ３４）。
【００３７】 続いて、周知の最小二乗法を用いて、上記ＲＭＳがより
小さくなるように（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを平行移動およ
び回転方向に座標変換する（ステップＳ３５）。すなわ
ち、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データについて、図４に示すよう
に、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸の方向への平行移動と、Ｘ，Ｙ，
Ｚの各軸を中心に回転する方向α，β，γに上記（４）
式で示されるＲＭＳがより小さくなるよう座標変換す
る。その座標変換を行ったのちに、Ｚ座標データの変化
量が所定範囲内であるか否かを判別し（ステップＳ３
６）、範囲内でない場合にはステップＳ３３にリターン
して、ステップＳ３３〜Ｓ３６の処理を、座標変換によ
るＺ座標データの変化量が所定範囲内となって最小であ
ると判別（ステップＳ３６）されるまで、つまりＲＭＳ
が最小であると判別されるまで繰り返す。
小さくなるように（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データを平行移動およ
び回転方向に座標変換する（ステップＳ３５）。すなわ
ち、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データについて、図４に示すよう
に、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸の方向への平行移動と、Ｘ，Ｙ，
Ｚの各軸を中心に回転する方向α，β，γに上記（４）
式で示されるＲＭＳがより小さくなるよう座標変換す
る。その座標変換を行ったのちに、Ｚ座標データの変化
量が所定範囲内であるか否かを判別し（ステップＳ３
６）、範囲内でない場合にはステップＳ３３にリターン
して、ステップＳ３３〜Ｓ３６の処理を、座標変換によ
るＺ座標データの変化量が所定範囲内となって最小であ
ると判別（ステップＳ３６）されるまで、つまりＲＭＳ
が最小であると判別されるまで繰り返す。
【００３８】ＲＭＳが最小であると判別されると、Ｚｄ
はゼロに近い値となり、その各座標軸が設計値の各座標
軸とほぼ一致した金型転写面１ｃの形状の測定データを
得ることができる（ステップＳ３７）。続いて、レンズ
金型１の底面１ｄに対する金型転写面１ｃの傾きを算出
する（ステップＳ３８）。具体的には、ステップＳ２９
で算出した３個の支持球２１の各頂点座標を含む平面は
レンズ金型１の底面１ｄと平行であるから、この平面に
垂直な直交線と、ステップＳ３７で算出した金型転写面
１ｃの測定データの中心の垂線との角度から、レンズ金
型１の底面１ｄに対する金型転写面１ｃの傾き量を算出
する。なお、上記の各ステップＳ２１〜Ｓ３８を実行す
る各手段は、例えば図７で説明した形状測定機に搭載さ
れた制御用コンピュータ（図示せず）のメモリに構築さ
れた実行形式のプログラムにより容易に具体化される。
はゼロに近い値となり、その各座標軸が設計値の各座標
軸とほぼ一致した金型転写面１ｃの形状の測定データを
得ることができる（ステップＳ３７）。続いて、レンズ
金型１の底面１ｄに対する金型転写面１ｃの傾きを算出
する（ステップＳ３８）。具体的には、ステップＳ２９
で算出した３個の支持球２１の各頂点座標を含む平面は
レンズ金型１の底面１ｄと平行であるから、この平面に
垂直な直交線と、ステップＳ３７で算出した金型転写面
１ｃの測定データの中心の垂線との角度から、レンズ金
型１の底面１ｄに対する金型転写面１ｃの傾き量を算出
する。なお、上記の各ステップＳ２１〜Ｓ３８を実行す
る各手段は、例えば図７で説明した形状測定機に搭載さ
れた制御用コンピュータ（図示せず）のメモリに構築さ
れた実行形式のプログラムにより容易に具体化される。
【００３９】また、上記金型設置台２０は、図９に示す
ように、レンズ金型１の金型ベース１ａの表面に図３で
示したように３個の位置決め球１１を設置して、この各
位置決め球１１を下部固定具１２と上部固定具１３とに
より金型軸部１ｂに密着状態に固定した状態とし、この
状態で下部固定具１２の２箇所を位置決め部材２３に当
接させた位置決め状態で３個の支持球２４上に載置して
設置できるようになっている。これにより、第１の実施
の形態の測定方法をも併用して、金型ベース１ａに対す
る金型転写面１ｃの傾き量θ、レンズ金型１の中心に対
する金型転写面１ｃの中心の偏心量ｄおよびレンズ金型
１の底面１ｄに対する金型転写面１ｃの傾き量をそれぞ
れ算出することができる。
ように、レンズ金型１の金型ベース１ａの表面に図３で
示したように３個の位置決め球１１を設置して、この各
位置決め球１１を下部固定具１２と上部固定具１３とに
より金型軸部１ｂに密着状態に固定した状態とし、この
状態で下部固定具１２の２箇所を位置決め部材２３に当
接させた位置決め状態で３個の支持球２４上に載置して
設置できるようになっている。これにより、第１の実施
の形態の測定方法をも併用して、金型ベース１ａに対す
る金型転写面１ｃの傾き量θ、レンズ金型１の中心に対
する金型転写面１ｃの中心の偏心量ｄおよびレンズ金型
１の底面１ｄに対する金型転写面１ｃの傾き量をそれぞ
れ算出することができる。
【００４０】
【発明の効果】以上のように、第１の発明に係るレンズ
金型の傾きおよび偏心の測定手段では、レンズ金型の金
型軸部に密着状態で金型ベース上に載置した同一形状の
３個の位置決め球の測定データと設計データとの二乗平
均値が最小になるように座標変換を行ったのちに、その
測定データに基づいて３個の位置決め球の各々の頂点座
標を算出し、その各頂点座標に基づいて、この各頂点座
標を含む平面とレンズ金型の中心とを算出するようにし
たので、レンズ金型における設計式の存在しない金型ベ
ースの表面およびレンズ金型自体の中心を、設計式が存
在する３個の同一形状の位置決め球を介して測定するこ
とができ、従来において不可能であった金型ベースの表
面を基準とした金型転写面の傾き量およびレンズ金型の
中心に対する金型転写面の中心の偏心量を測定評価する
ことが可能となる。
金型の傾きおよび偏心の測定手段では、レンズ金型の金
型軸部に密着状態で金型ベース上に載置した同一形状の
３個の位置決め球の測定データと設計データとの二乗平
均値が最小になるように座標変換を行ったのちに、その
測定データに基づいて３個の位置決め球の各々の頂点座
標を算出し、その各頂点座標に基づいて、この各頂点座
標を含む平面とレンズ金型の中心とを算出するようにし
たので、レンズ金型における設計式の存在しない金型ベ
ースの表面およびレンズ金型自体の中心を、設計式が存
在する３個の同一形状の位置決め球を介して測定するこ
とができ、従来において不可能であった金型ベースの表
面を基準とした金型転写面の傾き量およびレンズ金型の
中心に対する金型転写面の中心の偏心量を測定評価する
ことが可能となる。
【００４１】また、第２の発明に係るレンズ金型の傾き
の測定手段では、３個の支持球の頂点座標を含む平面を
求めたのちに、その３個の支持球上に載置したレンズ金
型の金型転写面の形状を測定するようにしたので、レン
ズ金型における設計式の存在しない金型ベースの底面
を、設計式が存在する３個の同一形状の支持球を介して
測定できるので、従来において不可能であった金型ベー
スの底面を基準とした金型転写面の傾き量を測定評価す
ることが可能となる。
の測定手段では、３個の支持球の頂点座標を含む平面を
求めたのちに、その３個の支持球上に載置したレンズ金
型の金型転写面の形状を測定するようにしたので、レン
ズ金型における設計式の存在しない金型ベースの底面
を、設計式が存在する３個の同一形状の支持球を介して
測定できるので、従来において不可能であった金型ベー
スの底面を基準とした金型転写面の傾き量を測定評価す
ることが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るレンズ金型の
傾きおよび偏心の測定方法のアルゴリズムを示すフロー
チャート。
傾きおよび偏心の測定方法のアルゴリズムを示すフロー
チャート。
【図２】（ａ）は同上実施の形態における位置決め球の
測定状態を示す斜視図、（ｂ）は同上実施の形態におけ
る金型転写面の測定状態を示す斜視図。
測定状態を示す斜視図、（ｂ）は同上実施の形態におけ
る金型転写面の測定状態を示す斜視図。
【図３】（ａ），（ｂ）はそれぞれ同上実施の形態にお
ける各位置決め球を固定した状態を示す側面図および斜
視図。
ける各位置決め球を固定した状態を示す側面図および斜
視図。
【図４】同上実施の形態における座標変換するときの各
座標軸の方向を示す説明図。
座標軸の方向を示す説明図。
【図５】同上実施の形態における金型ベースの表面を基
準とした金型転写面の傾きの関係を示す説明図。
準とした金型転写面の傾きの関係を示す説明図。
【図６】（ａ），（ｂ）はそれぞれ同上実施の形態にお
ける金型ベースの中心に対する金型転写面の中心の偏心
の関係を示す説明図。
ける金型ベースの中心に対する金型転写面の中心の偏心
の関係を示す説明図。
【図７】本発明のレンズ金型の傾きおよび偏心の測定方
法を具現化する形状測定機の概略構成を示す斜視図。
法を具現化する形状測定機の概略構成を示す斜視図。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係るレンズ金型の
傾きの測定方法のアルゴリズムを示すフローチャート。
傾きの測定方法のアルゴリズムを示すフローチャート。
【図９】同上実施の形態に用いる金型設置台およびレン
ズ金型並びにレンズ金型の固定具を示す斜視図。
ズ金型並びにレンズ金型の固定具を示す斜視図。
【図１０】（ａ），（ｂ）はそれぞれ同上金型設置台を
示す平面図および正面図。
示す平面図および正面図。
１ レンズ金型 １ａ 金型ベース １ｂ 金型軸部 １ｃ 金型転写面 １ｄ レンズ金型の底面 ３ 測定用プローブ １１ 位置決め球 １４ 平面 １７ 垂直２等分線 １８ レンズ金型の中心 ２０ 金型設置台 ２１ 支持球 ２２ 位置決め部材 ２４ 支持球 θ 傾き量 ｄ 偏心量
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保 圭司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 吉住 恵一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA04 AA09 AA17 AA20 AA31 AA53 BB05 CC00 DD19 FF51 FF63 GG04 HH04 MM07 PP03 PP11 QQ00 QQ18 QQ25 QQ42 RR08 TT02 2F069 AA04 AA13 AA21 AA66 AA71 BB40 DD22 GG01 GG07 HH01 HH09 JJ07 MM02 MM04 NN00 NN17 NN26 PP01
Claims (4)
- 【請求項１】 同一形状の３個の位置決め球を、レンズ
金型の金型ベースの表面に載置し、且つ前記金型ベース
上の金型軸部に密着状態に固定し、 前記各位置決め球に対し測定用プローブのセンタリング
を行って仮りの測定原点を設定したのちに、前記プロー
ブをＸＹ座標方向に走査することにより、前記プローブ
のＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求めて前記各位
置決め球の形状を測定し、 前記各位置決め球の測定データと設計データとの二乗平
均値が最小になるように座標変換を行って各位置決め球
の各々の頂点座標を算出し、 ３つの前記頂点座標で形成される平面と各２つの前記頂
点座標の垂直２等分線に基づく前記レンズ金型の中心と
を算出し、 前記金型軸部の端面に形成された金型転写面上に前記プ
ローブをＸＹ座標方向に走査して、前記測定用プローブ
のＸＹ座標位置でのＺ座標データの列に基づいて前記金
型転写面の形状の測定データを求め、 前記平面を基準としたときの前記金型転写面の傾きと、
前記レンズ金型の中心に対する前記金型転写面の中心の
偏心とを算出するようにしたことを特徴とするレンズ金
型の傾きおよび偏心の測定方法。 - 【請求項２】 各々の頂点を同一平面上に位置決めして
設置した同一形状の３個の支持球に対し測定用プローブ
のセンタリングを行って仮りの測定原点を設定したのち
に、前記プローブをＸＹ座標方向に走査することによ
り、前記プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列
を求めて前記各支持球の形状を測定し、 前記各支持球の測定データと設計データとの二乗平均値
が最小になるように座標変換を行って各支持球の頂点座
標を算出し、 ３つの前記頂点座標で形成される平面を算出し、 前記各支持球上にレンズ金型を位置決め状態で載置し、 前記レンズ金型の金型ベース上の金型軸部の端面に形成
された金型転写面上に前記プローブをＸＹ座標方向に走
査して、前記プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データ
の列に基づいて前記金型転写面の形状の測定データを求
め、 前記平面を基準としたときの前記金型転写面の傾きを算
出するようにしたことを特徴とするレンズ金型の傾きの
測定方法。 - 【請求項３】 レンズ金型の金型ベースの表面に載置
し、且つ前記金型ベース上の金型軸部に密着状態に固定
する同一形状の３個の位置決め球と、 前記各位置決め球および前記レンズ金型の金型転写面に
対しそれぞれＸＹ座標方向に走査することにより形状の
測定を行う測定用プローブと、 前記各位置決め球の測定データと設計データとの二乗平
均値が最小になるように座標変換を行って各位置決め球
の頂点座標を算出する手段と、 ３つの前記頂点座標で形成される平面と各２つの前記頂
点座標の垂直２等分線に基づく前記レンズ金型の中心と
を算出する手段と、 前記平面を基準としたときの前記金型転写面の傾きと、
前記レンズ金型の中心に対する前記金型転写面の中心の
偏心とを算出する手段とを備えていることを特徴とする
レンズ金型の傾きおよび偏心の測定装置。 - 【請求項４】 各々の頂点を同一平面上に位置決めして
設置した同一形状の３個の支持球とこの各支持球上にレ
ンズ金型を位置決めして載置するための位置決め部材と
を有する金型設置台と、 前記各支持球および前記レンズ金型の金型転写面に対し
それぞれＸＹ座標方向に走査することにより形状の測定
を行う測定用プローブと、 前記各支持球の測定データと設計データとの二乗平均値
が最小になるように座標変換を行って各支持球の頂点座
標を算出する手段と、 ３つの前記頂点座標で形成される平面を算出する手段
と、 前記平面を基準としたときの前記金型転写面の傾きを算
出する手段とを備えていることを特徴とするレンズ金型
の傾きの測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31236899A JP3827493B2 (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | レンズ金型の傾き測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31236899A JP3827493B2 (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | レンズ金型の傾き測定方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001133239A true JP2001133239A (ja) | 2001-05-18 |
| JP2001133239A5 JP2001133239A5 (ja) | 2005-06-23 |
| JP3827493B2 JP3827493B2 (ja) | 2006-09-27 |
Family
ID=18028427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31236899A Expired - Fee Related JP3827493B2 (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | レンズ金型の傾き測定方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3827493B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005300248A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Mitsutoyo Corp | 載置テーブル、表面性状測定機および表面性状測定方法 |
| JP2008039455A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状測定方法及び測定用治具 |
| JP2009122125A (ja) * | 2003-03-10 | 2009-06-04 | Hoya Corp | レンズの偏心測定装置及びレンズの偏心測定方法 |
| KR100997950B1 (ko) | 2010-08-16 | 2010-12-02 | 주식회사 덕인 | 스캐닝 프로브를 이용한 형상 스캐닝 방법 |
| CN115031679A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-09-09 | 四川至臻光电有限公司 | 一种用于光学元件检测的调心方法、装置及系统 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7072990B2 (ja) | 2018-06-22 | 2022-05-23 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置および測定方法 |
-
1999
- 1999-11-02 JP JP31236899A patent/JP3827493B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JP2009122125A (ja) * | 2003-03-10 | 2009-06-04 | Hoya Corp | レンズの偏心測定装置及びレンズの偏心測定方法 |
| JP2005300248A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Mitsutoyo Corp | 載置テーブル、表面性状測定機および表面性状測定方法 |
| JP2008039455A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状測定方法及び測定用治具 |
| KR100997950B1 (ko) | 2010-08-16 | 2010-12-02 | 주식회사 덕인 | 스캐닝 프로브를 이용한 형상 스캐닝 방법 |
| CN115031679A (zh) * | 2022-08-09 | 2022-09-09 | 四川至臻光电有限公司 | 一种用于光学元件检测的调心方法、装置及系统 |
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| JP3827493B2 (ja) | 2006-09-27 |
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