JP2001133244A - 形状測定方法およびその装置 - Google Patents
形状測定方法およびその装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】60°以上の大きな傾斜角度を有する測定物であ
っても、配置を任意に変えることによって最大傾斜角度
が小さくなる測定物に対しては測定を可能若しくはより
高精度に測定することのできる形状測定方法およびその
装置を提供する。 【解決手段】任意に配置した測定物１の測定面１ａにお
ける設計式からずれているＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進
移動量とＸ，Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とを求める。任
意に配置した測定物１の測定面１ａの形状を測定用プロ
ーブ３による走査により測定する。その測定による測定
データを、予め求めたＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動
量とＸ，Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とに基づき座標変換
する。
っても、配置を任意に変えることによって最大傾斜角度
が小さくなる測定物に対しては測定を可能若しくはより
高精度に測定することのできる形状測定方法およびその
装置を提供する。 【解決手段】任意に配置した測定物１の測定面１ａにお
ける設計式からずれているＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進
移動量とＸ，Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とを求める。任
意に配置した測定物１の測定面１ａの形状を測定用プロ
ーブ３による走査により測定する。その測定による測定
データを、予め求めたＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動
量とＸ，Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とに基づき座標変換
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定面上で測定用
プローブをＸＹ座標方向に走査することにより、測定用
プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、
このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行
う方法およびその装置に関し、特に傾斜角度が急峻な測
定面の測定をも可能としたものである。
プローブをＸＹ座標方向に走査することにより、測定用
プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標データの列を求め、
このＺ座標データの列に基づいて測定面の形状測定を行
う方法およびその装置に関し、特に傾斜角度が急峻な測
定面の測定をも可能としたものである。
【０００２】
【従来の技術】本発明者らが先に開発した超高精度三次
元測定機は、測定面上を50ｍｇ以下の弱い測定圧の測定
用プローブをＸＹ座標方向に走査することにより、測定
用プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標の列を求め、測定
面の形状が設計式からどれだけずれているかを、このＺ
座標データの列から直接的に測定するものである。具体
的には、測定対象であるレンズやミラーの表面形状は、
一般式でＺ＝ｆ（Ｘ，Ｙ）という設計式で表され、測定
点のＸＹ座標におけるＺ測定値からこの設計式の値を差
し引いて誤差を算出している。ここで、測定圧を50ｍｇ
以下としたのは、10ｎｍ程度の高精度測定が必要であ
り、測定面に傷をつけてはいけないからである。
元測定機は、測定面上を50ｍｇ以下の弱い測定圧の測定
用プローブをＸＹ座標方向に走査することにより、測定
用プローブのＸＹ座標位置でのＺ座標の列を求め、測定
面の形状が設計式からどれだけずれているかを、このＺ
座標データの列から直接的に測定するものである。具体
的には、測定対象であるレンズやミラーの表面形状は、
一般式でＺ＝ｆ（Ｘ，Ｙ）という設計式で表され、測定
点のＸＹ座標におけるＺ測定値からこの設計式の値を差
し引いて誤差を算出している。ここで、測定圧を50ｍｇ
以下としたのは、10ｎｍ程度の高精度測定が必要であ
り、測定面に傷をつけてはいけないからである。
【０００３】さらに、本発明者らは、上記のような高精
度測定を実用化するために、非球面レンズなどの自由曲
面の形状測定や面粗さ或いは段差の形状測定などを高精
度に低測定圧で測定できる三次元測定用プローブ（特開
平6-265340号公報参照）を開発している。この三次元測
定用測定用プローブは、測定用プローブを搭載したＸＹ
ステージをＺ方向にフォーカスサーボをかけながらＸＹ
方向に移動させると、測定用プローブが測定物との測定
圧を常に一定に保ちながら三次元形状に沿って移動する
ものである。
度測定を実用化するために、非球面レンズなどの自由曲
面の形状測定や面粗さ或いは段差の形状測定などを高精
度に低測定圧で測定できる三次元測定用プローブ（特開
平6-265340号公報参照）を開発している。この三次元測
定用測定用プローブは、測定用プローブを搭載したＸＹ
ステージをＺ方向にフォーカスサーボをかけながらＸＹ
方向に移動させると、測定用プローブが測定物との測定
圧を常に一定に保ちながら三次元形状に沿って移動する
ものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記測
定用プローブは、測定物の傾斜角度が60°以上に大きく
なると、フォーカスサーボが追随しきれなくなるため
に、測定できないという課題を有している。具体例とし
て、図４に示すようなミラーを測定物１とする場合につ
いて説明する。この測定物１のミラー面である測定面１
ａは２点鎖線で示す設計式に基づいて製作されたもので
あり、その設計式の原点０は測定面１ａ上に存在してい
ないが、測定に際しては、測定物１を図示のように設計
式の座標系と略一致する配置に設置する必要がある。こ
のように配置された測定物１の測定面１ａは、60°以上
の傾斜角（接線とＸＹ方向との角度）を有することにな
り、フォーカスサーボが追随しきれないことから、測定
することができない。
定用プローブは、測定物の傾斜角度が60°以上に大きく
なると、フォーカスサーボが追随しきれなくなるため
に、測定できないという課題を有している。具体例とし
て、図４に示すようなミラーを測定物１とする場合につ
いて説明する。この測定物１のミラー面である測定面１
ａは２点鎖線で示す設計式に基づいて製作されたもので
あり、その設計式の原点０は測定面１ａ上に存在してい
ないが、測定に際しては、測定物１を図示のように設計
式の座標系と略一致する配置に設置する必要がある。こ
のように配置された測定物１の測定面１ａは、60°以上
の傾斜角（接線とＸＹ方向との角度）を有することにな
り、フォーカスサーボが追随しきれないことから、測定
することができない。
【０００５】また、傾斜角度が60°以下であっても、そ
の傾斜角度が60°に近い大きな角度になると、水平方向
の誤差成分が垂直方向に変換されてしまい、測定精度が
非常に悪くなる上に、走査速度を上げることができない
問題がある。さらに、測定に際しては、測定用プローブ
を設計式上の原点０までマニュアル移動して、測長系を
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）＝（０，０，０）にリセットする必要が
あるが、この場合、測定用プローブは、測定機自体の測
定領域を超えて移動させることができない。例えば、測
定領域がＸＹ方向にそれぞれ400 ｍｍである場合、原点
０までの移動量が400 ｍｍを超えるときには、測定原点
を設定できないことから、測定することができない。
の傾斜角度が60°に近い大きな角度になると、水平方向
の誤差成分が垂直方向に変換されてしまい、測定精度が
非常に悪くなる上に、走査速度を上げることができない
問題がある。さらに、測定に際しては、測定用プローブ
を設計式上の原点０までマニュアル移動して、測長系を
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）＝（０，０，０）にリセットする必要が
あるが、この場合、測定用プローブは、測定機自体の測
定領域を超えて移動させることができない。例えば、測
定領域がＸＹ方向にそれぞれ400 ｍｍである場合、原点
０までの移動量が400 ｍｍを超えるときには、測定原点
を設定できないことから、測定することができない。
【０００６】そこで、本発明は、上記従来の課題に鑑み
てなされたもので、60°以上の大きな傾斜角度を有する
測定物であっても、配置を任意に変えることによって最
大傾斜角度が小さくなる測定物に対しては測定を可能若
しくはより高精度に測定することのできる形状測定方法
およびその装置を提供することを目的とするものであ
る。
てなされたもので、60°以上の大きな傾斜角度を有する
測定物であっても、配置を任意に変えることによって最
大傾斜角度が小さくなる測定物に対しては測定を可能若
しくはより高精度に測定することのできる形状測定方法
およびその装置を提供することを目的とするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、測定面上で測定用プローブをＸＹ座標方
向に走査することにより、前記測定用プローブのＸＹ座
標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データ
の列に基づいて測定面の形状測定を行う形状測定手段に
おいて、任意に配置した測定物の測定面における設計式
からずれているＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量と
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とを求め、任意に配置し
た測定物の測定面の形状を前記測定用プローブによる走
査により測定し、前記測定による測定データを、前記求
めたＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量とＸ，Ｙ，Ｚの
各軸回りの回転量とに基づき座標変換するようにした。
に、本発明は、測定面上で測定用プローブをＸＹ座標方
向に走査することにより、前記測定用プローブのＸＹ座
標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データ
の列に基づいて測定面の形状測定を行う形状測定手段に
おいて、任意に配置した測定物の測定面における設計式
からずれているＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量と
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とを求め、任意に配置し
た測定物の測定面の形状を前記測定用プローブによる走
査により測定し、前記測定による測定データを、前記求
めたＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量とＸ，Ｙ，Ｚの
各軸回りの回転量とに基づき座標変換するようにした。
【０００８】この形状測定手段では、測定物を任意に配
置して測定面の形状測定を行ったのちに、その測定結果
の測定データを設計式からのずれ量で部表変換するよう
したので、特に傾斜角度が急峻な測定面を有する測定物
であっても、設計式の原点近くに配置を変えることで最
大傾斜角度を小さく設定できるものについては、測定を
可能若しくはより高精度に測定することができる。
置して測定面の形状測定を行ったのちに、その測定結果
の測定データを設計式からのずれ量で部表変換するよう
したので、特に傾斜角度が急峻な測定面を有する測定物
であっても、設計式の原点近くに配置を変えることで最
大傾斜角度を小さく設定できるものについては、測定を
可能若しくはより高精度に測定することができる。
【０００９】上記発明において、測定面の測定による測
定データを、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量とＸ，
Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とに基づき座標変換したのち
に、その座標変換した測定データにおけるＺ座標データ
の列を構成する各Ｚ座標値の設計値からの超過分の二乗
平均値がより小さくなるように前記Ｚ座標データの列を
座標変換することが好ましい。これにより、ＸＹ座標軸
を設計値のＸＹ座標軸とほぼ一致させた上で、測定値と
設計値との差を極めて正確に算出することができる。
定データを、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量とＸ，
Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とに基づき座標変換したのち
に、その座標変換した測定データにおけるＺ座標データ
の列を構成する各Ｚ座標値の設計値からの超過分の二乗
平均値がより小さくなるように前記Ｚ座標データの列を
座標変換することが好ましい。これにより、ＸＹ座標軸
を設計値のＸＹ座標軸とほぼ一致させた上で、測定値と
設計値との差を極めて正確に算出することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の一実施の形態に係る形状測定方法のアルゴリズムを示
すフローチャートであり、この測定方法は、図５に示す
ような形状測定機に適用することにより具現化されるの
で、一実施の形態の説明に先立って、上記形状測定機に
ついて説明する。
態について図面を参照しながら説明する。図１は本発明
の一実施の形態に係る形状測定方法のアルゴリズムを示
すフローチャートであり、この測定方法は、図５に示す
ような形状測定機に適用することにより具現化されるの
で、一実施の形態の説明に先立って、上記形状測定機に
ついて説明する。
【００１１】図５において、レーザー測長光学系２およ
び測定用プローブ３を搭載した移動体４は、Ｘステージ
７およびＹステージ８によりＸＹ座標方向に移動し、測
定用プローブ３は定盤９上に固定した測定物１０の測定
面１０ａに沿ってＺ座標方向に移動するようになってい
る。レーザー測長光学系２は、周知の光干渉法などによ
り測定用プローブ３のＺ座標方向の移動量を測定するも
のである。したがって、この形状測定機は、測定面１０
ａ上で測定用プローブ３をＸＹ座標方向に走査すること
により、測定用プローブ３のＸＹ座標位置でのＺ座標デ
ータの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定
面１０ａの形状測定を行う。
び測定用プローブ３を搭載した移動体４は、Ｘステージ
７およびＹステージ８によりＸＹ座標方向に移動し、測
定用プローブ３は定盤９上に固定した測定物１０の測定
面１０ａに沿ってＺ座標方向に移動するようになってい
る。レーザー測長光学系２は、周知の光干渉法などによ
り測定用プローブ３のＺ座標方向の移動量を測定するも
のである。したがって、この形状測定機は、測定面１０
ａ上で測定用プローブ３をＸＹ座標方向に走査すること
により、測定用プローブ３のＸＹ座標位置でのＺ座標デ
ータの列を求め、このＺ座標データの列に基づいて測定
面１０ａの形状測定を行う。
【００１２】つぎに、本発明の第１の実施の形態に係る
形状測定方法を、図２および図３を参照しながら、図１
のフローチャートに基づき説明する。この実施の形態で
は、図４に示したミラーを測定物１とする場合について
説明する。先ず、図３（ａ）に示すように、測定物１を
その最大傾斜角度がほぼ最小となり、且つ設計式の原点
０付近に配置する（ステップＳ１）。つぎに、上記配置
としたときの測定物１の設計式からのずれ量、つまり図
２に示すＸ，Ｙ，Ｚ方向への並進移動量と、Ｘ，Ｙ，Ｚ
の各軸回りの回転量α、β、γとを求めて、メモリに一
時記憶する（ステップＳ２）。
形状測定方法を、図２および図３を参照しながら、図１
のフローチャートに基づき説明する。この実施の形態で
は、図４に示したミラーを測定物１とする場合について
説明する。先ず、図３（ａ）に示すように、測定物１を
その最大傾斜角度がほぼ最小となり、且つ設計式の原点
０付近に配置する（ステップＳ１）。つぎに、上記配置
としたときの測定物１の設計式からのずれ量、つまり図
２に示すＸ，Ｙ，Ｚ方向への並進移動量と、Ｘ，Ｙ，Ｚ
の各軸回りの回転量α、β、γとを求めて、メモリに一
時記憶する（ステップＳ２）。
【００１３】つぎに、測定用プローブ３を、図３（ａ）
に示す配置とした測定物１の測定面１ａに接触させなが
らＸＹ座標方向に順次走査することにより、測定面１ａ
の形状を測定して、測定面１ａの（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ
を取得する（ステップＳ３）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）デー
タを得るには、設計式の原点０を測定原点として行う。
に示す配置とした測定物１の測定面１ａに接触させなが
らＸＹ座標方向に順次走査することにより、測定面１ａ
の形状を測定して、測定面１ａの（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データ
を取得する（ステップＳ３）。この（Ｘ，Ｙ，Ｚ）デー
タを得るには、設計式の原点０を測定原点として行う。
【００１４】続いて、（Ｘ，Ｙ，Ｚ）データに対して、
ステップＳ２において一時記憶した並進移動量および回
転量で座標変換して、（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ´）データを算
出する（ステップＳ４）。そののちに、上記（Ｘ，Ｙ，
Ｚ´）データにおけるＺ座標データＺK を設計式の設計
値Ｚk ´に置き換えた（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ´´）データを
算出する（ステップＳ５）。さらに、（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ
´）データのＺ座標データＺ´から（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ´
´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ座標データＺ
´´ の値を減算したＺｄを算出する（ステップＳ
６）。
ステップＳ２において一時記憶した並進移動量および回
転量で座標変換して、（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ´）データを算
出する（ステップＳ４）。そののちに、上記（Ｘ，Ｙ，
Ｚ´）データにおけるＺ座標データＺK を設計式の設計
値Ｚk ´に置き換えた（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ´´）データを
算出する（ステップＳ５）。さらに、（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ
´）データのＺ座標データＺ´から（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ´
´）データの同じＸＹ座標位置におけるＺ座標データＺ
´´ の値を減算したＺｄを算出する（ステップＳ
６）。
【００１５】つぎに、測定面１ａの形状測定データのＺ
座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk´とを比較して、次
の（１）式で示すような二乗平均値ＲＭＳ（Root Mean
Square）を算出する（ステップＳ７）。
座標Ｚｋと設計データのＺ座標Ｚk´とを比較して、次
の（１）式で示すような二乗平均値ＲＭＳ（Root Mean
Square）を算出する（ステップＳ７）。
【００１６】 続いて、周知の最小二乗法を用いて、上記ＲＭＳがより
小さくなるように（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ´）データを平行移
動および回転方向に座標変換する（ステップＳ８）。す
なわち、図３（ｂ）に示すように、（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ
´）データを、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸の方向への並進移動
と、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸を中心に回転する方向α，β，γ
に上記（１）式で示されるＲＭＳがより小さくなるよう
座標変換する。その座標変換を行ったのちに、Ｚ座標デ
ータの変化量が所定範囲内であるか否かを判別し（ステ
ップＳ９）、範囲内でない場合にはステップＳ６にリタ
ーンして、ステップＳ６〜Ｓ９の処理を、座標変換によ
るＺ座標データの変化量が所定範囲内となって最小であ
ると判別（ステップＳ９）されるまで、つまりＲＭＳが
最小であると判別されるまで繰り返す。
小さくなるように（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ´）データを平行移
動および回転方向に座標変換する（ステップＳ８）。す
なわち、図３（ｂ）に示すように、（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ
´）データを、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸の方向への並進移動
と、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸を中心に回転する方向α，β，γ
に上記（１）式で示されるＲＭＳがより小さくなるよう
座標変換する。その座標変換を行ったのちに、Ｚ座標デ
ータの変化量が所定範囲内であるか否かを判別し（ステ
ップＳ９）、範囲内でない場合にはステップＳ６にリタ
ーンして、ステップＳ６〜Ｓ９の処理を、座標変換によ
るＺ座標データの変化量が所定範囲内となって最小であ
ると判別（ステップＳ９）されるまで、つまりＲＭＳが
最小であると判別されるまで繰り返す。
【００１７】ＲＭＳが最小であると判別されると、Ｚｄ
はゼロに近い値となり、測定データは、そのＸＹ座標軸
が設計値のＸＹ座標軸とほぼ一致したものとなり、測定
面１ａの最終的な測定データを得ることができる（ステ
ップＳ１０）。これにより、従来において測定不可能若
しくは測定困難であった大きな傾斜角度を有する測定物
１であっても、測定物１の設置角度を任意に変えること
によって最大傾斜角度か小さくなる測定物については、
高精度な測定評価が可能となる。なお、上記の各ステッ
プＳ１〜Ｓ１０を実行する各手段は、例えば図５で説明
した形状測定機に搭載された制御用コンピュータ（図示
せず）のメモリに構築された実行形式のプログラムによ
り容易に具体化される。
はゼロに近い値となり、測定データは、そのＸＹ座標軸
が設計値のＸＹ座標軸とほぼ一致したものとなり、測定
面１ａの最終的な測定データを得ることができる（ステ
ップＳ１０）。これにより、従来において測定不可能若
しくは測定困難であった大きな傾斜角度を有する測定物
１であっても、測定物１の設置角度を任意に変えること
によって最大傾斜角度か小さくなる測定物については、
高精度な測定評価が可能となる。なお、上記の各ステッ
プＳ１〜Ｓ１０を実行する各手段は、例えば図５で説明
した形状測定機に搭載された制御用コンピュータ（図示
せず）のメモリに構築された実行形式のプログラムによ
り容易に具体化される。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明の形状測定方法お
よびその装置では、測定物を任意に配置して測定面の形
状測定を行ったのちに、その測定結果の測定データを設
計式からのずれ量で座標変換するようにしたので、特に
傾斜角度が急峻な測定面を有する測定物であっても、配
置を変えることで最大傾斜角度を小さく設定できるもの
については、測定を可能若しくはより高精度に測定する
ことができる。
よびその装置では、測定物を任意に配置して測定面の形
状測定を行ったのちに、その測定結果の測定データを設
計式からのずれ量で座標変換するようにしたので、特に
傾斜角度が急峻な測定面を有する測定物であっても、配
置を変えることで最大傾斜角度を小さく設定できるもの
については、測定を可能若しくはより高精度に測定する
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る形状測定方法
のアルゴリズムを示すフローチャート。
のアルゴリズムを示すフローチャート。
【図２】同上実施の形態における座標変換するときの各
座標軸の方向を示す説明図。
座標軸の方向を示す説明図。
【図３】（ａ），（ｂ）はそれぞれ同上実施の形態にお
ける座標変換の説明図。
ける座標変換の説明図。
【図４】同上実施の形態の比較のために示した従来の測
定方法の説明図。
定方法の説明図。
【図５】本発明の形状測定方法を具現化する形状測定機
の概略構成を示す斜視図。
の概略構成を示す斜視図。
１ 測定物 １ａ 測定面 ３ 測定用プローブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保 圭司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 吉住 恵一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F069 AA06 AA66 BB40 GG01 GG04 GG07 GG62 HH02 HH09 JJ04 LL03 MM04 NN26
Claims (4)
- 【請求項１】 測定面上で測定用プローブをＸＹ座標方
向に走査することにより、前記測定用プローブのＸＹ座
標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データ
の列に基づいて測定面の形状測定を行う方法において、 任意に配置した測定物の測定面における設計式からずれ
ているＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量とＸ，Ｙ，Ｚ
の各軸回りの回転量とを求め、 任意に配置した測定物の測定面の形状を前記測定用プロ
ーブによる走査により測定し、 前記測定による測定データを、前記求めたＸ，Ｙ，Ｚの
各軸方向の並進移動量とＸ，Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量
とに基づき座標変換することを特徴とする形状測定方
法。 - 【請求項２】 測定面の測定による測定データを、Ｘ，
Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量とＸ，Ｙ，Ｚの各軸回り
の回転量とに基づき座標変換したのちに、その座標変換
した測定データにおけるＺ座標データの列を構成する各
Ｚ座標値の設計値からの超過分の二乗平均値がより小さ
くなるように前記Ｚ座標データの列を座標変換するよう
にした請求項１に記載の形状測定方法。 - 【請求項３】 測定面上で測定用プローブをＸＹ座標方
向に走査することにより、前記測定用プローブのＸＹ座
標位置でのＺ座標データの列を求め、このＺ座標データ
の列に基づいて測定面の形状測定を行う形状測定装置に
おいて、 任意に配置した測定物の測定面における設計式からずれ
ているＸ，Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量とＸ，Ｙ，Ｚ
の各軸回りの回転量とを求める手段と、 任意に配置した測定物の測定面の形状を前記測定用プロ
ーブによる走査により測定する手段と、 前記測定による測定データを、前記Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方
向の並進移動量とＸ，Ｙ，Ｚの各軸回りの回転量とに基
づき座標変換する手段とを備えていることを特徴とする
形状測定装置。 - 【請求項４】 測定面の測定による測定データを、Ｘ，
Ｙ，Ｚの各軸方向の並進移動量とＸ，Ｙ，Ｚの各軸回り
の回転量とに基づき座標変換した測定データにおけるＺ
座標データの列を構成する各Ｚ座標値の設計値からの超
過分の二乗平均値がより小さくなるように前記Ｚ座標デ
ータの列を座標変換する手段を備えている請求項３に記
載の形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31236999A JP2001133244A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 形状測定方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31236999A JP2001133244A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 形状測定方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001133244A true JP2001133244A (ja) | 2001-05-18 |
Family
ID=18028438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31236999A Pending JP2001133244A (ja) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | 形状測定方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001133244A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR100997950B1 (ko) | 2010-08-16 | 2010-12-02 | 주식회사 덕인 | 스캐닝 프로브를 이용한 형상 스캐닝 방법 |
| US7880897B2 (en) | 2007-12-28 | 2011-02-01 | Fujinon Corporation | Light wave interferometer apparatus |
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1999
- 1999-11-02 JP JP31236999A patent/JP2001133244A/ja active Pending
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