JP2001129461A - 吐出方法及び吐出装置 - Google Patents
吐出方法及び吐出装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 連続吐出を行っても、吐出量の減少を抑え安
定した液状物質の吐出が行える吐出方法および吐出装置
を提供する。 【解決手段】 液状物質１が入った容器２ａの内部圧力
を加圧手段５によって上げて液状物質１を容器２ａの吐
出部３より一定量づつ押し出す吐出装置であって、液状
物質１が入った第１の容器２ａと加圧手段５との間に第
２の容器６を接続して加圧手段５の圧力が第１，第２の
容器に作用するように構成する。
定した液状物質の吐出が行える吐出方法および吐出装置
を提供する。 【解決手段】 液状物質１が入った容器２ａの内部圧力
を加圧手段５によって上げて液状物質１を容器２ａの吐
出部３より一定量づつ押し出す吐出装置であって、液状
物質１が入った第１の容器２ａと加圧手段５との間に第
２の容器６を接続して加圧手段５の圧力が第１，第２の
容器に作用するように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、容器の吐出部から
液状物質を安定に吐出する液状物質の吐出方法および吐
出装置に関するものである。
液状物質を安定に吐出する液状物質の吐出方法および吐
出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハを切断して切り離された個
々の半導体チップをリードフレームのダイパッドへ接続
するために使用する接着剤や、プリント基板の上に装着
された電子部品を保護するコーティング材などは、吐出
装置を用いて塗布される。図６〜図８は、従来の吐出装
置を示す。
々の半導体チップをリードフレームのダイパッドへ接続
するために使用する接着剤や、プリント基板の上に装着
された電子部品を保護するコーティング材などは、吐出
装置を用いて塗布される。図６〜図８は、従来の吐出装
置を示す。
【０００３】図６に示すように、接着剤やコーティング
材などの液状物質１は、先端部にノズル形状に細く絞ら
れた吐出部３を有する容器（シリンジ）２に保持され
る。液状物質１は、容器２の容積に近い量だけ貯蔵され
ている。容器２には、フレキシブルチューブからなるホ
ース４を介して加圧装置５が設けられている。
材などの液状物質１は、先端部にノズル形状に細く絞ら
れた吐出部３を有する容器（シリンジ）２に保持され
る。液状物質１は、容器２の容積に近い量だけ貯蔵され
ている。容器２には、フレキシブルチューブからなるホ
ース４を介して加圧装置５が設けられている。
【０００４】加圧装置５は、空気圧を一定値にするため
のレギュレータ７とホース４への加圧空気の送り込みを
オン−オフする電磁弁８とからなる。上記のように構成
された吐出装置では、加圧装置５のレギュレータ７で調
節された一定の空気元圧Ｐｓが一定時間Ｔｓだけ加えら
れると、容器２の内圧ＰはＰ（Ｔｓ）に上昇する。容器
２の内圧Ｐは、印加時間Ｔｓに依存する関数であるの
で、ここではＰ（Ｔｓ）と標記する。
のレギュレータ７とホース４への加圧空気の送り込みを
オン−オフする電磁弁８とからなる。上記のように構成
された吐出装置では、加圧装置５のレギュレータ７で調
節された一定の空気元圧Ｐｓが一定時間Ｔｓだけ加えら
れると、容器２の内圧ＰはＰ（Ｔｓ）に上昇する。容器
２の内圧Ｐは、印加時間Ｔｓに依存する関数であるの
で、ここではＰ（Ｔｓ）と標記する。
【０００５】容器２の内圧が上昇すると、吐出部３より
液滴状の液状物質１が一定量づつ外部へ押し出され、対
象物に滴下される。吐出後は電磁弁８が閉じ、それと同
時にその電磁弁８自体から加圧された空気が外部に逃れ
て容器２の内圧が加圧前の圧力に戻される。上記の工程
を１回として、以降、同様の動作が連続して繰り返され
る。
液滴状の液状物質１が一定量づつ外部へ押し出され、対
象物に滴下される。吐出後は電磁弁８が閉じ、それと同
時にその電磁弁８自体から加圧された空気が外部に逃れ
て容器２の内圧が加圧前の圧力に戻される。上記の工程
を１回として、以降、同様の動作が連続して繰り返され
る。
【０００６】このような吐出装置では、液状物質１の吐
出量は空気元圧Ｐｓと印加時間Ｔｓで設定され、空気元
圧Ｐｓと印加時間Ｔｓを固定とするオープンループ制御
となる。次に、１回の吐出工程における容器の内圧Ｐ
（ｔ）の過渡的変化について説明する。
出量は空気元圧Ｐｓと印加時間Ｔｓで設定され、空気元
圧Ｐｓと印加時間Ｔｓを固定とするオープンループ制御
となる。次に、１回の吐出工程における容器の内圧Ｐ
（ｔ）の過渡的変化について説明する。
【０００７】容器２内に流れ込む単位時間あたりの空気
量Ｉ（ｔ）は、下記式で示される。 Ｉ（ｔ）＝（Ｐｓ−Ｐ（ｔ））／Ｒ ここでＲは流れ込む空気量を制限する定数であり、ホー
ス４の形状にて決まる。
量Ｉ（ｔ）は、下記式で示される。 Ｉ（ｔ）＝（Ｐｓ−Ｐ（ｔ））／Ｒ ここでＲは流れ込む空気量を制限する定数であり、ホー
ス４の形状にて決まる。
【０００８】容器の内圧Ｐ（ｔ）は、下記式で示すよ
うに、空気量Ｉ（ｔ）を時間で積分することにより求ま
る。 Ｐ（ｔ）＝（１／Ｃ）×∫Ｉ（ｔ）ｄｔ ここで、Ｃは容器内の空気体積に比例する関数である。
上記式，式より、下記式が求められる。
うに、空気量Ｉ（ｔ）を時間で積分することにより求ま
る。 Ｐ（ｔ）＝（１／Ｃ）×∫Ｉ（ｔ）ｄｔ ここで、Ｃは容器内の空気体積に比例する関数である。
上記式，式より、下記式が求められる。
【０００９】 Ｐ（ｔ）＝Ｐｓ×（１−ｅｘｐ（−ｔ／ＣＲ）） 従って、加圧時間Ｔｓ後の容器の内圧Ｐ（Ｔｓ）は下記
式で求まる。 Ｐ（Ｔｓ）＝Ｐｓ×（１−ｅｘｐ（−Ｔｓ／ＣＲ）） 図７は、加圧時間と上記式に基づく容器内圧Ｐ（ｔ）
との関係を示す。初期の吐出時には、破線ａで示すよう
に容器内圧Ｐ（ｔ）は最初は急激に上昇するが、ある程
度の時間が経過すると変化が緩慢になる。
式で求まる。 Ｐ（Ｔｓ）＝Ｐｓ×（１−ｅｘｐ（−Ｔｓ／ＣＲ）） 図７は、加圧時間と上記式に基づく容器内圧Ｐ（ｔ）
との関係を示す。初期の吐出時には、破線ａで示すよう
に容器内圧Ｐ（ｔ）は最初は急激に上昇するが、ある程
度の時間が経過すると変化が緩慢になる。
【００１０】実際の吐出時間Ｔｓは、容器内圧Ｐ（ｔ）
が余り変化しなくなる適当な時期に設定されている。こ
れは、加圧時間Ｔｓが多少変動したとしても、それによ
って容器内圧がほとんど変化せず、液状物質１の吐出量
がほぼ一定に保たれるからである。
が余り変化しなくなる適当な時期に設定されている。こ
れは、加圧時間Ｔｓが多少変動したとしても、それによ
って容器内圧がほとんど変化せず、液状物質１の吐出量
がほぼ一定に保たれるからである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液状物
質１の吐出回数が増すに従い、容器２に貯蔵される液状
物質１が消費されてその分だけ空気で満たされた空気体
積に比例する関数Ｃが増大する。空気体積が増大する
と、空気体積に比例する関数Ｃが増大し、上記式から
明らかなように、液状物質１の吐出時の内圧Ｐ（Ｔｓ）
が変化して液状物質１の吐出量に影響する。
質１の吐出回数が増すに従い、容器２に貯蔵される液状
物質１が消費されてその分だけ空気で満たされた空気体
積に比例する関数Ｃが増大する。空気体積が増大する
と、空気体積に比例する関数Ｃが増大し、上記式から
明らかなように、液状物質１の吐出時の内圧Ｐ（Ｔｓ）
が変化して液状物質１の吐出量に影響する。
【００１２】すなわち実線ｂで示すように、加圧時間Ｔ
ｓにおける容器内圧Ｐ′（Ｔｓ）は、初期の容器内圧Ｐ
（Ｔｓ）よりもＰ２だけ低下する。このような容器内圧
の低下が発生すると、吐出回数が増えるに従って１回の
吐出量が減少するという問題が発生する。図８は、吐出
回数と上記式に基づいて計算した１回の吐出量との関
係を示す。
ｓにおける容器内圧Ｐ′（Ｔｓ）は、初期の容器内圧Ｐ
（Ｔｓ）よりもＰ２だけ低下する。このような容器内圧
の低下が発生すると、吐出回数が増えるに従って１回の
吐出量が減少するという問題が発生する。図８は、吐出
回数と上記式に基づいて計算した１回の吐出量との関
係を示す。
【００１３】実線ｍで示すように、吐出回数が増えるに
従って１回の吐出量は減少しており、ある回数が経過す
るとその吐出量は一定値に近づくが、初期の吐出量と数
回後の吐出量とではｔ２の差が生じる。これは吐出回数
が増えるに従って容器２内の液状物質１が減少して空気
体積に比例する関数Ｃが大きくなると、上述のように空
気元圧Ｐｓと加圧時間Ｔｓとが固定されているため容器
２の内部圧力Ｐ（ｔ）が徐々に減少し、液状物質１を外
部に吐出する能力が低下するためである。
従って１回の吐出量は減少しており、ある回数が経過す
るとその吐出量は一定値に近づくが、初期の吐出量と数
回後の吐出量とではｔ２の差が生じる。これは吐出回数
が増えるに従って容器２内の液状物質１が減少して空気
体積に比例する関数Ｃが大きくなると、上述のように空
気元圧Ｐｓと加圧時間Ｔｓとが固定されているため容器
２の内部圧力Ｐ（ｔ）が徐々に減少し、液状物質１を外
部に吐出する能力が低下するためである。
【００１４】このように連続吐出を重ねるに従って液状
物質１の吐出量が経時変化で極端に減少すると、安定し
た吐出量の確保が困難となり、その結果、例えばダイパ
ッド上の接着剤が不足して半導体チップの固定が不十分
となり信頼性が低下するなど歩留まりに大きな影響を与
えるなどの問題が生じる。本発明は前記問題点を解決
し、連続吐出を行っても、吐出量の減少を抑え安定した
液状物質の吐出が行える吐出方法および吐出装置を提供
することを目的とする。
物質１の吐出量が経時変化で極端に減少すると、安定し
た吐出量の確保が困難となり、その結果、例えばダイパ
ッド上の接着剤が不足して半導体チップの固定が不十分
となり信頼性が低下するなど歩留まりに大きな影響を与
えるなどの問題が生じる。本発明は前記問題点を解決
し、連続吐出を行っても、吐出量の減少を抑え安定した
液状物質の吐出が行える吐出方法および吐出装置を提供
することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の吐出装置は、液
状物質の入った第１の容器と加圧手段との間に第２の容
器を接続したことを特徴とする。この本発明によると、
液状物質の連続吐出を行っても第１の容器の内圧変化を
抑制して安定した液状物質の吐出が実現できる。
状物質の入った第１の容器と加圧手段との間に第２の容
器を接続したことを特徴とする。この本発明によると、
液状物質の連続吐出を行っても第１の容器の内圧変化を
抑制して安定した液状物質の吐出が実現できる。
【００１６】本発明の吐出方法は、総容量に対する第１
の容器の容積変化の割合を小さくして液状物質の吐出を
行うことを特徴とする。この本発明によると、安定した
液状物質の連続吐出が実現できる。
の容器の容積変化の割合を小さくして液状物質の吐出を
行うことを特徴とする。この本発明によると、安定した
液状物質の連続吐出が実現できる。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載の吐出装置
は、液状物質が入った容器の内部圧力を加圧手段によっ
て上げて前記液状物質を容器の吐出部より一定量づつ押
し出す吐出装置であって、前記液状物質が入った第１の
容器と加圧手段との間に第２の容器を接続して前記加圧
手段の圧力が第１，第２の容器に作用するように構成し
たことを特徴とする。
は、液状物質が入った容器の内部圧力を加圧手段によっ
て上げて前記液状物質を容器の吐出部より一定量づつ押
し出す吐出装置であって、前記液状物質が入った第１の
容器と加圧手段との間に第２の容器を接続して前記加圧
手段の圧力が第１，第２の容器に作用するように構成し
たことを特徴とする。
【００１８】本発明の請求項２記載の吐出装置は、請求
項１において、第２の容器に液状物質が保持された第１
の容器を複数接続したことを特徴とする。本発明の請求
項３記載の吐出装置は、請求項１において、第２の容器
の容積を第１の容器の容積の約１／２から約３倍とした
ことを特徴とする。本発明の請求項４記載の吐出装置
は、請求項２において、第２の容器の容積を複数設けた
第１の容器の容積の和の約１／２から約３倍としたこと
を特徴とする。
項１において、第２の容器に液状物質が保持された第１
の容器を複数接続したことを特徴とする。本発明の請求
項３記載の吐出装置は、請求項１において、第２の容器
の容積を第１の容器の容積の約１／２から約３倍とした
ことを特徴とする。本発明の請求項４記載の吐出装置
は、請求項２において、第２の容器の容積を複数設けた
第１の容器の容積の和の約１／２から約３倍としたこと
を特徴とする。
【００１９】本発明の請求項５記載の吐出方法は、液状
物質が入った容器の内圧を加圧手段にて上げて前記液状
物質を吐出部より一定量づつ吐出するに際し、前記液状
物質が入った第１の容器と加圧手段との間に第２の容器
を設けて前記加圧手段からみた前記第１，第２の容積の
和である総容積に対する前記第１の容器の容積変化の割
合を小さくして前記第１の容器の内部圧力の低下を抑制
して液状物質を吐出することを特徴とする。
物質が入った容器の内圧を加圧手段にて上げて前記液状
物質を吐出部より一定量づつ吐出するに際し、前記液状
物質が入った第１の容器と加圧手段との間に第２の容器
を設けて前記加圧手段からみた前記第１，第２の容積の
和である総容積に対する前記第１の容器の容積変化の割
合を小さくして前記第１の容器の内部圧力の低下を抑制
して液状物質を吐出することを特徴とする。
【００２０】以下、本発明の各実施の形態について、図
１〜図５を用いて説明する。なお、上記従来例を示す図
６〜図８と同様をなすものには同一の符号を付けて説明
する。（実施の形態１）図１〜図３は本発明の（実施の
形態１）を示す。
１〜図５を用いて説明する。なお、上記従来例を示す図
６〜図８と同様をなすものには同一の符号を付けて説明
する。（実施の形態１）図１〜図３は本発明の（実施の
形態１）を示す。
【００２１】この（実施の形態１）では、液状物質を安
定して吐出するために、液状物質の入った第１の容器と
加圧手段との間に第２の容器を接続した点で異なるが、
それ以外の基本的な構成は上記従来例を示す図５と同様
である。詳しくは、図１に示すように、液状物質１が入
った第１の容器２ａと加圧手段としての加圧装置５との
間に第２の容器６を接続する。
定して吐出するために、液状物質の入った第１の容器と
加圧手段との間に第２の容器を接続した点で異なるが、
それ以外の基本的な構成は上記従来例を示す図５と同様
である。詳しくは、図１に示すように、液状物質１が入
った第１の容器２ａと加圧手段としての加圧装置５との
間に第２の容器６を接続する。
【００２２】第２の容器６には空気のみが入っており、
その容積は第１の容器２ａの容積の約１／２から約３倍
とすることが好ましく、通常は第１の容器２ａと同等の
容積とするのが適当である。第２の容器６の容積があま
りに小さいと液状物質の安定した吐出が得られず、第２
の容器６の容積が大きくなりすぎると加圧装置５から第
２の容器６に空気を送り込む時間が長くなって、液状物
質１の吐出時間が長くなり生産性が低下する。
その容積は第１の容器２ａの容積の約１／２から約３倍
とすることが好ましく、通常は第１の容器２ａと同等の
容積とするのが適当である。第２の容器６の容積があま
りに小さいと液状物質の安定した吐出が得られず、第２
の容器６の容積が大きくなりすぎると加圧装置５から第
２の容器６に空気を送り込む時間が長くなって、液状物
質１の吐出時間が長くなり生産性が低下する。
【００２３】このように構成された吐出装置では、加圧
装置５のレギュレータ７で調節された一定の空気元圧Ｐ
ｓを一定時間Ｔｓだけ加えると、この圧力は第１の容器
２ａと第２の容器６に作用して第１の容器２ａの内圧Ｐ
（ｔ）がＰ（Ｔｓ）に上昇する。初期の吐出時には、図
２の破線ａで示すように、時間Ｔｓまで加圧したときの
内圧Ｐ（Ｔｓ）の時間変化は従来とほぼ同様である。
装置５のレギュレータ７で調節された一定の空気元圧Ｐ
ｓを一定時間Ｔｓだけ加えると、この圧力は第１の容器
２ａと第２の容器６に作用して第１の容器２ａの内圧Ｐ
（ｔ）がＰ（Ｔｓ）に上昇する。初期の吐出時には、図
２の破線ａで示すように、時間Ｔｓまで加圧したときの
内圧Ｐ（Ｔｓ）の時間変化は従来とほぼ同様である。
【００２４】しかしながら、この吐出装置では、上述の
ように第２の容器６が設けられているため、液状物質１
の吐出は、加圧装置５からみた第１，第２の容積の和で
ある総容積に対する第１の容器２ａの容積変化の割合を
小さくして第１の容器２ａの内部圧力の低下を抑制しな
がら行われる。従って、複数回の吐出を行った後の内圧
Ｐ（ｔ）は、上記式で示すように容器２ａ内の空気体
積に依存するが、この（実施の形態１）では、第１の容
器２ａの内部圧力の低下が抑制されて内圧Ｐ′（Ｔｓ）
は実線ｂで示すように変化し、破線ａで示す初期の吐出
時の内圧Ｐ（Ｔｓ）の時間変化に較べてその低下が小さ
くなり、Ｔｓ時間後の内圧Ｐ（Ｔｓ）とＰ′（Ｔｓ）の
値の差Ｐ１は上記従来例を示す図６の値Ｐ２よりもかな
り小さくなる。
ように第２の容器６が設けられているため、液状物質１
の吐出は、加圧装置５からみた第１，第２の容積の和で
ある総容積に対する第１の容器２ａの容積変化の割合を
小さくして第１の容器２ａの内部圧力の低下を抑制しな
がら行われる。従って、複数回の吐出を行った後の内圧
Ｐ（ｔ）は、上記式で示すように容器２ａ内の空気体
積に依存するが、この（実施の形態１）では、第１の容
器２ａの内部圧力の低下が抑制されて内圧Ｐ′（Ｔｓ）
は実線ｂで示すように変化し、破線ａで示す初期の吐出
時の内圧Ｐ（Ｔｓ）の時間変化に較べてその低下が小さ
くなり、Ｔｓ時間後の内圧Ｐ（Ｔｓ）とＰ′（Ｔｓ）の
値の差Ｐ１は上記従来例を示す図６の値Ｐ２よりもかな
り小さくなる。
【００２５】詳しくは、第２の容器６を設けることで、
第１の容器２ａに液状物質１がほぼその容積いっぱいに
満たされていても、見かけ上さらに第２の容器６の容積
が加わることになる。第２の容器６の容積が初期の液状
物質１の体積と比較して大きければ、液状物質１の連続
吐出によりほとんど消費されて第１の容器２ａが空にな
り、空気部分の体積が第２の容器６の容積と第１の容器
２ａの容積の和に増加しても、下記式で定義される体
積変化率は上記従来例よりも小さくなり、上記式また
は式のＣの変化が小さくなる。
第１の容器２ａに液状物質１がほぼその容積いっぱいに
満たされていても、見かけ上さらに第２の容器６の容積
が加わることになる。第２の容器６の容積が初期の液状
物質１の体積と比較して大きければ、液状物質１の連続
吐出によりほとんど消費されて第１の容器２ａが空にな
り、空気部分の体積が第２の容器６の容積と第１の容器
２ａの容積の和に増加しても、下記式で定義される体
積変化率は上記従来例よりも小さくなり、上記式また
は式のＣの変化が小さくなる。
【００２６】 体積変化率＝ （（第２の容器の容積＋第１の容器の容積）／第２の容器の容積） その結果、第１の容器２ａの内部圧力の低下が抑制され
る。このように内圧の低下が抑えられると、図３の実線
ｍで示すように、吐出回数を重ねても吐出量の変化は小
さくなり、吐出量の変化量ｔ１は、上記従来例を示す図
７の変化量ｔ２よりも大幅に低減される。
る。このように内圧の低下が抑えられると、図３の実線
ｍで示すように、吐出回数を重ねても吐出量の変化は小
さくなり、吐出量の変化量ｔ１は、上記従来例を示す図
７の変化量ｔ２よりも大幅に低減される。
【００２７】このように、液状物質１が入った第１の容
器２ａと加圧装置５との間に第２の容器６を接続するこ
とで、液状物質１の連続吐出を行っても第１の容器２ａ
の内圧低下を低減でき、安定した吐出が行える。なお、
上記説明では、ホース４としてフレキシブルチューブを
用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例
えばステンレス配管など一般の配管も使用できる。
器２ａと加圧装置５との間に第２の容器６を接続するこ
とで、液状物質１の連続吐出を行っても第１の容器２ａ
の内圧低下を低減でき、安定した吐出が行える。なお、
上記説明では、ホース４としてフレキシブルチューブを
用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例
えばステンレス配管など一般の配管も使用できる。
【００２８】また、上記説明では、第２の容器６に空気
を充填したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、気体であれば使用される液状物質によって適宜各種
のものが使用できる。なお、上記（実施の形態１）で
は、第１の容器２ａと加圧装置５との間に第２の容器６
を直列となるように介装したが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、例えば図４に示すように、第２の容
器６を並列となるように介装しても同様の効果が得られ
る。
を充填したが、本発明はこれに限定されるものではな
く、気体であれば使用される液状物質によって適宜各種
のものが使用できる。なお、上記（実施の形態１）で
は、第１の容器２ａと加圧装置５との間に第２の容器６
を直列となるように介装したが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、例えば図４に示すように、第２の容
器６を並列となるように介装しても同様の効果が得られ
る。
【００２９】（実施の形態２）図５は、本発明の（実施
の形態２）を示す。この（実施の形態２）では、液状物
質１の入った第１の容器２ａを複数設けた点で異なる
が、それ以外の基本的な構成は上記（実施の形態１）と
同様である。詳しくは、空気のみが入った第２の容器６
には、液状物質１の入った３個の第１の容器２ａ〜２ｃ
がホース４を介して設けられている。
の形態２）を示す。この（実施の形態２）では、液状物
質１の入った第１の容器２ａを複数設けた点で異なる
が、それ以外の基本的な構成は上記（実施の形態１）と
同様である。詳しくは、空気のみが入った第２の容器６
には、液状物質１の入った３個の第１の容器２ａ〜２ｃ
がホース４を介して設けられている。
【００３０】第２の容器６の容積は、上記（実施の形態
１）と同様に、第１の容器２ａ〜２ｃの容積の和の約１
／２〜約３倍程度にするのが好ましい。このように第１
の容器２ａ〜２ｃに第２の容器６を接続することで、連
続吐出を行っても第１の容器２ａ〜２ｃの内部圧力の低
下を低減でき安定した吐出が実現できる。
１）と同様に、第１の容器２ａ〜２ｃの容積の和の約１
／２〜約３倍程度にするのが好ましい。このように第１
の容器２ａ〜２ｃに第２の容器６を接続することで、連
続吐出を行っても第１の容器２ａ〜２ｃの内部圧力の低
下を低減でき安定した吐出が実現できる。
【００３１】また、第１の容器２ａ〜２ｃを複数設ける
ことで、リードフレームや半導体素子などに対して同時
に接着剤や樹脂などの吐出を行うことができ、生産性を
向上できる。さらに、第２の容器６を第１の容器２ａ〜
２ｃから離れたところに設けた場合にも有効であり、第
１の容器２ａ〜２ｃを小さい間隔で複数個並べて使用し
なければならないときには、装置の液状物質１の吐出部
分の設置場所の省スペース化が図れる。
ことで、リードフレームや半導体素子などに対して同時
に接着剤や樹脂などの吐出を行うことができ、生産性を
向上できる。さらに、第２の容器６を第１の容器２ａ〜
２ｃから離れたところに設けた場合にも有効であり、第
１の容器２ａ〜２ｃを小さい間隔で複数個並べて使用し
なければならないときには、装置の液状物質１の吐出部
分の設置場所の省スペース化が図れる。
【００３２】なお、上記説明では、第２の容器６に第１
の容器２ａを３つ接続させたが、その数は特に限定され
るものではない。また、上記説明では、第２の容器６に
複数の第１の容器２ａ〜２ｃを接続したが、本発明はこ
れに限定されるものではななく、第１の容器２ａ〜２ｃ
のそれぞれに第２の容器６を設けた構成としてもよい。
また、複数設けられた第２の容器６は１つの加圧装置５
に接続してもよく、あるいはそれぞれの第２の容器６に
個別に加圧装置５を設けた構成としてもよい。
の容器２ａを３つ接続させたが、その数は特に限定され
るものではない。また、上記説明では、第２の容器６に
複数の第１の容器２ａ〜２ｃを接続したが、本発明はこ
れに限定されるものではななく、第１の容器２ａ〜２ｃ
のそれぞれに第２の容器６を設けた構成としてもよい。
また、複数設けられた第２の容器６は１つの加圧装置５
に接続してもよく、あるいはそれぞれの第２の容器６に
個別に加圧装置５を設けた構成としてもよい。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明の吐出装置による
と、液状物質が入った第１の容器と加圧手段との間に第
２の容器を接続して前記加圧手段の圧力が第１，第２の
容器に作用するように構成することで、連続吐出を行っ
ても、吐出量の減少を抑え安定した液状物質の吐出を行
うことができる。
と、液状物質が入った第１の容器と加圧手段との間に第
２の容器を接続して前記加圧手段の圧力が第１，第２の
容器に作用するように構成することで、連続吐出を行っ
ても、吐出量の減少を抑え安定した液状物質の吐出を行
うことができる。
【００３４】また、本発明の液状物質の吐出方法による
と、液状物質が入った第１の容器と加圧手段との間に第
２の容器を設けて前記加圧手段からみた前記第１，第２
の容積の和である総容積に対する前記第１の容器の容積
変化の割合を小さくして前記第１の容器の内部圧力の低
下を抑制して液状物質を吐出することで、経時変化に伴
なう液状物質の吐出量変化を抑制する事ができる。
と、液状物質が入った第１の容器と加圧手段との間に第
２の容器を設けて前記加圧手段からみた前記第１，第２
の容積の和である総容積に対する前記第１の容器の容積
変化の割合を小さくして前記第１の容器の内部圧力の低
下を抑制して液状物質を吐出することで、経時変化に伴
なう液状物質の吐出量変化を抑制する事ができる。
【図１】本発明の（実施の形態１）における吐出装置の
概略図
概略図
【図２】本発明の（実施の形態１）における加圧時間と
第１の容器内圧との関係を示す図
第１の容器内圧との関係を示す図
【図３】本発明の（実施の形態１）における吐出回数と
液状物質の吐出量との関係を示す図
液状物質の吐出量との関係を示す図
【図４】本発明の（実施の形態１）とは別の吐出装置の
概略図
概略図
【図５】本発明の（実施の形態２）における吐出装置の
概略図
概略図
【図６】従来の吐出装置の概略図
【図７】従来の加圧時間と容器内圧との関係を示す図
【図８】従来の吐出回数と液状物質の吐出量との関係を
示す図
示す図
１ 液状物質 ２ａ 第１の容器 ５ 加圧装置 ６ 第２の容器
Claims (5)
- 【請求項１】液状物質が入った容器の内部圧力を加圧手
段によって上げて前記液状物質を容器の吐出部より一定
量づつ押し出す吐出装置であって、 前記液状物質が入った第１の容器と加圧手段との間に第
２の容器を接続して前記加圧手段の圧力が第１，第２の
容器に作用するように構成した吐出装置。 - 【請求項２】第２の容器に液状物質が保持された第１の
容器を複数接続した請求項１記載の吐出装置。 - 【請求項３】第２の容器の容積を第１の容器の容積の約
１／２から約３倍とした請求項１記載の吐出装置。 - 【請求項４】第２の容器の容積を複数設けた第１の容器
の容積の和の約１／２から約３倍とした請求項２記載の
吐出装置。 - 【請求項５】液状物質が入った容器の内圧を加圧手段に
て上げて前記液状物質を吐出部より一定量づつ吐出する
に際し、 前記液状物質が入った第１の容器と加圧手段との間に第
２の容器を設けて前記加圧手段からみた前記第１，第２
の容積の和である総容積に対する前記第１の容器の容積
変化の割合を小さくして前記第１の容器の内部圧力の低
下を抑制して液状物質を吐出する吐出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31045999A JP2001129461A (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 吐出方法及び吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31045999A JP2001129461A (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 吐出方法及び吐出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001129461A true JP2001129461A (ja) | 2001-05-15 |
Family
ID=18005516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31045999A Pending JP2001129461A (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 吐出方法及び吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001129461A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004237196A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Juki Corp | 接着剤塗布ヘッド及び接着剤塗布装置 |
| WO2014045436A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | 富士機械製造株式会社 | 粘性流体供給装置および粘性流体供給方法 |
| JP2021115491A (ja) * | 2020-01-22 | 2021-08-10 | 株式会社鈴木 | ボンド塗布装置 |
-
1999
- 1999-11-01 JP JP31045999A patent/JP2001129461A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004237196A (ja) * | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Juki Corp | 接着剤塗布ヘッド及び接着剤塗布装置 |
| WO2014045436A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2014-03-27 | 富士機械製造株式会社 | 粘性流体供給装置および粘性流体供給方法 |
| JPWO2014045436A1 (ja) * | 2012-09-24 | 2016-08-18 | 富士機械製造株式会社 | 粘性流体供給装置および粘性流体供給方法 |
| JP2021115491A (ja) * | 2020-01-22 | 2021-08-10 | 株式会社鈴木 | ボンド塗布装置 |
| JP7041698B2 (ja) | 2020-01-22 | 2022-03-24 | 株式会社鈴木 | ボンド塗布装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20041209 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050111 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050510 |