JPH0215588Y2 - - Google Patents
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- JPH0215588Y2 JPH0215588Y2 JP1983027093U JP2709383U JPH0215588Y2 JP H0215588 Y2 JPH0215588 Y2 JP H0215588Y2 JP 1983027093 U JP1983027093 U JP 1983027093U JP 2709383 U JP2709383 U JP 2709383U JP H0215588 Y2 JPH0215588 Y2 JP H0215588Y2
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- Japan
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- pressure
- dispensing
- solenoid valve
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- dispensing nozzle
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L2224/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、液体材料を定量的に分配・分注する
デイスペンサーに関するものである。
デイスペンサーに関するものである。
液体材料を定量的に分配・分注する従来のデイ
スペンサーは、第１図に示すようなものが代表的
なものである。この従来デイスペンサーは、圧縮
気体源１より供給される圧縮気体を一定圧力に減
圧する減圧弁２と、前記減圧された気体が流れる
管路３と、管路３に連結され前記気体の通過量を
制御するタイマー４により制御される電磁弁５
と、電磁弁５を経て供給される前記気体によつて
前記材料を分配・分注する分注ノズル７との組合
わせよりなるものである。
スペンサーは、第１図に示すようなものが代表的
なものである。この従来デイスペンサーは、圧縮
気体源１より供給される圧縮気体を一定圧力に減
圧する減圧弁２と、前記減圧された気体が流れる
管路３と、管路３に連結され前記気体の通過量を
制御するタイマー４により制御される電磁弁５
と、電磁弁５を経て供給される前記気体によつて
前記材料を分配・分注する分注ノズル７との組合
わせよりなるものである。
また、前記液体材料として導電性接着剤を用い
るケースでは、この接着剤にて集積回路チツプを
リードフレームに接着する時に使用する超精密用
デイスペンサーもある。このデイスペンサーの場
合、集積回路チツプをリードフレームに接着する
ときの導電性接着剤の量は、チツプの形状に応じ
て多様であるが、0.001〜0.0005Ω程度の場合が
多く、しかも分配・分注量は極めて精確に制御さ
れる必要がある。
るケースでは、この接着剤にて集積回路チツプを
リードフレームに接着する時に使用する超精密用
デイスペンサーもある。このデイスペンサーの場
合、集積回路チツプをリードフレームに接着する
ときの導電性接着剤の量は、チツプの形状に応じ
て多様であるが、0.001〜0.0005Ω程度の場合が
多く、しかも分配・分注量は極めて精確に制御さ
れる必要がある。
ところが、前記各従来デイスペンサーはこの精
確さが不十分であつた。すなわち、分配・分注量
が不足すると、チツプの剥離あるいは導通不良を
きたし、また、その量が過剰であると、チツプと
リードフレームとの接着面からチツプの周辺に押
し出された過剰の導電性接着剤がチツプをとりま
いてしまい、そこに設けられている導線を短絡す
るなど、過不足何れの場合も不良原因となる。
確さが不十分であつた。すなわち、分配・分注量
が不足すると、チツプの剥離あるいは導通不良を
きたし、また、その量が過剰であると、チツプと
リードフレームとの接着面からチツプの周辺に押
し出された過剰の導電性接着剤がチツプをとりま
いてしまい、そこに設けられている導線を短絡す
るなど、過不足何れの場合も不良原因となる。
従来、かかる接着剤の分配・分注に過不足がな
いようにするために、前記減圧弁、電磁弁、タイ
マーの精度向上について種々工夫がされてきた
が、未だ充分には満足されていないのが現状であ
つた。
いようにするために、前記減圧弁、電磁弁、タイ
マーの精度向上について種々工夫がされてきた
が、未だ充分には満足されていないのが現状であ
つた。
本考案の目的は、前記従来のデイスペンサーの
有する欠点を除去・改善したデイスペンサーを提
供するところにある。
有する欠点を除去・改善したデイスペンサーを提
供するところにある。
上掲の目的を実現する本考案の要旨構成は、
圧縮気体源より供給される圧縮気体を減圧する
減圧弁と、前記減圧された気体の通過量を制御す
るタイマー付きの電磁弁と、前記電磁弁を経て供
給される前記気体によつてノズル内に収容した液
体材料を定量的に分配・分注する分注ノズルとを
具え、前記圧縮空気にて分注ノズル内に収容した
液体材料の液面を直接加圧することにより、定量
の該液体材料を吐出させるようにしたデイスペン
サーにおいて、 前記減圧弁より電磁弁に至る管路の途中に、前
記分注ノズルの内容積よりも大きい容積をもつ圧
縮気体を貯路するバツフアータンクを設けたこと
を特徴とする超精密用デイスペンサー、 である。
減圧弁と、前記減圧された気体の通過量を制御す
るタイマー付きの電磁弁と、前記電磁弁を経て供
給される前記気体によつてノズル内に収容した液
体材料を定量的に分配・分注する分注ノズルとを
具え、前記圧縮空気にて分注ノズル内に収容した
液体材料の液面を直接加圧することにより、定量
の該液体材料を吐出させるようにしたデイスペン
サーにおいて、 前記減圧弁より電磁弁に至る管路の途中に、前
記分注ノズルの内容積よりも大きい容積をもつ圧
縮気体を貯路するバツフアータンクを設けたこと
を特徴とする超精密用デイスペンサー、 である。
なお、前記バツフアータンクの容積は、分注ノ
ズルの内容積の10〜100倍の大きさが好適である。
ズルの内容積の10〜100倍の大きさが好適である。
本考案者らは、集積回路チツプをリードフレー
ムに接着させるためデイスペンサーを用いて、各
チツプを接着する都度、接着剤を所定量でけ精確
に分配・分注するためには、分注ノズルに供給さ
れる気体の圧力の精度と、前記気体の圧力が分注
ノズルに加えられている時間の精度とのそれぞれ
の精度の確保が重要であると考えた。後者の時間
の精度の向上については、例えば従来のアナログ
タイマーをデジタルタイマーに変える等の改善案
が知られているので、本考案者らは、前者の気体
の圧力の精度の向上について検討した。
ムに接着させるためデイスペンサーを用いて、各
チツプを接着する都度、接着剤を所定量でけ精確
に分配・分注するためには、分注ノズルに供給さ
れる気体の圧力の精度と、前記気体の圧力が分注
ノズルに加えられている時間の精度とのそれぞれ
の精度の確保が重要であると考えた。後者の時間
の精度の向上については、例えば従来のアナログ
タイマーをデジタルタイマーに変える等の改善案
が知られているので、本考案者らは、前者の気体
の圧力の精度の向上について検討した。
第１図に示す従来のデイスペンサーの不作動状
態においては、分注ノズル７のシリンジ８内に貯
留されている接着剤９に圧力を加える空間１０は
大気に開放されている。電磁弁５を作動させて、
管路３と６を連絡し、空間１０を大気から遮断す
ると空間１０内は管路３からの流入気体により大
気圧よりも高い圧力となる。しかし管路３の内径
は小さく長さも短く、内容積は小さいので、管路
３内の圧力は空間１０内の大気圧よりも高くなつ
た前記圧力にまで大巾かつ急激に低下する。この
低下を補償するために減圧弁２は作動を開始する
が、圧力の回復には時間遅れがあつて、圧力の経
時変化は第２図ａ曲線のようになり、所定圧力
Psに回復するまでに要する時間はTaとなる。こ
のように変化する圧力に応じてある程度の流量誤
差を有するまま接着剤９は、微細孔を有する例え
ば0.2mm角孔のノズル１１より押し出される。電
磁弁５がタイマー４によりＴ秒後に切替えられる
と、空間１０は大気に開放され、管路３と６は連
絡が絶縁され以前の不作動状態に戻り、ノズル１
１よりの接着剤９の押し出しは直ちに止まる。そ
れぞれのチツプ接着が進むにつれ、シリンジ８中
の接着剤９の貯留量が減少し、空間１０の容積が
大きくなる。この容積の拡大につれて、それぞれ
のチツプの接着ごとに空間１０および管路３の圧
力は低くなり、この時の圧力回復の経時変化は第
２図ｂ曲線のようになり、低下した圧力が所定の
圧力Psに回復するに要する時間はTbとなる。も
し、タイマー４の作動時間ＴがTbよりも小さい
時には、接着剤の分配・分注は圧力がPbの時に
打ち切られ、それまでの低圧力の経時変化の影響
も受けて、ノズル１１からの接着剤の分配・分注
量は減少する。このようにシリンジ８内の接着剤
９の量の減少は、接着剤の分配・分注量の減少を
招き、接着の品質管理上の不利はますます増大す
る。前記不利を除去するためには、シリンジ８中
の接着剤９に作用する気体の圧力をできるだけ一
定に保ことが望ましいが、従来かかる希望は達成
されていなかつた。
態においては、分注ノズル７のシリンジ８内に貯
留されている接着剤９に圧力を加える空間１０は
大気に開放されている。電磁弁５を作動させて、
管路３と６を連絡し、空間１０を大気から遮断す
ると空間１０内は管路３からの流入気体により大
気圧よりも高い圧力となる。しかし管路３の内径
は小さく長さも短く、内容積は小さいので、管路
３内の圧力は空間１０内の大気圧よりも高くなつ
た前記圧力にまで大巾かつ急激に低下する。この
低下を補償するために減圧弁２は作動を開始する
が、圧力の回復には時間遅れがあつて、圧力の経
時変化は第２図ａ曲線のようになり、所定圧力
Psに回復するまでに要する時間はTaとなる。こ
のように変化する圧力に応じてある程度の流量誤
差を有するまま接着剤９は、微細孔を有する例え
ば0.2mm角孔のノズル１１より押し出される。電
磁弁５がタイマー４によりＴ秒後に切替えられる
と、空間１０は大気に開放され、管路３と６は連
絡が絶縁され以前の不作動状態に戻り、ノズル１
１よりの接着剤９の押し出しは直ちに止まる。そ
れぞれのチツプ接着が進むにつれ、シリンジ８中
の接着剤９の貯留量が減少し、空間１０の容積が
大きくなる。この容積の拡大につれて、それぞれ
のチツプの接着ごとに空間１０および管路３の圧
力は低くなり、この時の圧力回復の経時変化は第
２図ｂ曲線のようになり、低下した圧力が所定の
圧力Psに回復するに要する時間はTbとなる。も
し、タイマー４の作動時間ＴがTbよりも小さい
時には、接着剤の分配・分注は圧力がPbの時に
打ち切られ、それまでの低圧力の経時変化の影響
も受けて、ノズル１１からの接着剤の分配・分注
量は減少する。このようにシリンジ８内の接着剤
９の量の減少は、接着剤の分配・分注量の減少を
招き、接着の品質管理上の不利はますます増大す
る。前記不利を除去するためには、シリンジ８中
の接着剤９に作用する気体の圧力をできるだけ一
定に保ことが望ましいが、従来かかる希望は達成
されていなかつた。
本考案者らは、前記希望達成のためには、前記
管路３の途中に分注ノズル内の容積以上、好まし
くは該分注ノズル内容積の10〜100倍の容積のバ
ツフアータンク１２を挿入すれば、電磁弁５が気
体を分注ノズル７へ供給するように作動した瞬間
に、圧力が不足勝ちな管路３内に気体を補つてバ
ツフアータンク１２に貯留してある気体が管路３
および６を経て、空間１０を満たして加圧し、そ
の圧力の経時変化は第２図ｃ曲線の如く、ほぼ一
定圧力Psのままであることを種々試験の結果新
規に知見して、本考案を完成するに至つた。
管路３の途中に分注ノズル内の容積以上、好まし
くは該分注ノズル内容積の10〜100倍の容積のバ
ツフアータンク１２を挿入すれば、電磁弁５が気
体を分注ノズル７へ供給するように作動した瞬間
に、圧力が不足勝ちな管路３内に気体を補つてバ
ツフアータンク１２に貯留してある気体が管路３
および６を経て、空間１０を満たして加圧し、そ
の圧力の経時変化は第２図ｃ曲線の如く、ほぼ一
定圧力Psのままであることを種々試験の結果新
規に知見して、本考案を完成するに至つた。
すなわち、このバツフアータンク１２は、圧縮
気体（エア）を貯留しておくタンクであり、液体
定量吐出のために、シリンジ８内液体に加えるパ
ルス状に送り出す気体を安定させ、また減圧弁２
の振動により流動する気体の脈動を抑えて、精密
吐出を実現する上で有効に働くものである。この
ような作用を確実にするために、本考案は、シリ
ンジ８の内容積よりも大きな内容積のバツフアー
タンクを、管路３内に設置することとした。
気体（エア）を貯留しておくタンクであり、液体
定量吐出のために、シリンジ８内液体に加えるパ
ルス状に送り出す気体を安定させ、また減圧弁２
の振動により流動する気体の脈動を抑えて、精密
吐出を実現する上で有効に働くものである。この
ような作用を確実にするために、本考案は、シリ
ンジ８の内容積よりも大きな内容積のバツフアー
タンクを、管路３内に設置することとした。
例えば、PH調整剤の如き薬液を注入するシリン
ジ（内容積１〜５cm3）、銀ペースト用シリンジ
（内容積５〜10cm3）クリームハンダ・接着剤用シ
リンジ（内容積30〜50cm3）の場合のそれぞれの前
記バツフアータンク１２の容積は50〜200cm3であ
り、各シリンジよりも相対的に大きなもの、より
好ましくは上述したようにはるかに大きいものを
使う方が効果的である。
ジ（内容積１〜５cm3）、銀ペースト用シリンジ
（内容積５〜10cm3）クリームハンダ・接着剤用シ
リンジ（内容積30〜50cm3）の場合のそれぞれの前
記バツフアータンク１２の容積は50〜200cm3であ
り、各シリンジよりも相対的に大きなもの、より
好ましくは上述したようにはるかに大きいものを
使う方が効果的である。
本考案の態様を示すそれぞれの図面について以
下詳細に説明する。
下詳細に説明する。
実施例
第３図は、本考案の装置の実施例についての構
成部材の組合わせを示すブロツク図であつて、分
注ノズルのみは縦断面図である。
成部材の組合わせを示すブロツク図であつて、分
注ノズルのみは縦断面図である。
１は圧縮気体を詰めた容器あるいは気体圧縮機
よりの圧縮気体源、２は圧縮気体源１よりの圧縮
気体の圧力を所定の圧力に減圧する減圧弁、１２
は本考案の特徴とするバツフアータンク、３は減
圧弁２により減圧された気体が流れる管路、４は
管路３に連結された電磁弁５が作動している時間
を制御するタイマーである。管路６を介して電磁
弁５に分注ノズル７が連結されている。分注ノズ
ル７はシリンジ８とノズル１１とを有し、シリン
ジ８中に貯留されている接着剤９は、その上方に
ある空間１０にバツフアータンク１２および管路
３内の圧力気体が電磁弁５、管路６を経て供給さ
れることにより、ノズル１１より押し出される。
よりの圧縮気体源、２は圧縮気体源１よりの圧縮
気体の圧力を所定の圧力に減圧する減圧弁、１２
は本考案の特徴とするバツフアータンク、３は減
圧弁２により減圧された気体が流れる管路、４は
管路３に連結された電磁弁５が作動している時間
を制御するタイマーである。管路６を介して電磁
弁５に分注ノズル７が連結されている。分注ノズ
ル７はシリンジ８とノズル１１とを有し、シリン
ジ８中に貯留されている接着剤９は、その上方に
ある空間１０にバツフアータンク１２および管路
３内の圧力気体が電磁弁５、管路６を経て供給さ
れることにより、ノズル１１より押し出される。
次に実施例の装置の操作について説明する。
圧力が３Kg／cm2程度の圧縮気体源１よりの圧縮
気体を、減圧弁２により0.3〜1.0Kg／cm2範囲内程
度の一定圧力に減圧するように調整して、電磁弁
５を作動させると、バツフアータンク１２および
管路３内の圧縮気体が空間１０に流入して接着剤
９に圧力を加え、接着剤９をノズル１１より押し
出す。タイマー４により所定時間後電磁弁５を切
り替え、空間１０の圧力を大気に開放し、管路３
と６との連絡を絶縁して、接着剤９の定量的分
配・分注の１サイクルを終わる。この場合、本考
案によれば、バツフアータンク１２が管路３の内
容積が小さいことによる空間１０内の気体の圧力
の低下を補償するように作動することにより、従
来の装置においては達成できなかつた超精密分
配・分注が確実に達成される。
気体を、減圧弁２により0.3〜1.0Kg／cm2範囲内程
度の一定圧力に減圧するように調整して、電磁弁
５を作動させると、バツフアータンク１２および
管路３内の圧縮気体が空間１０に流入して接着剤
９に圧力を加え、接着剤９をノズル１１より押し
出す。タイマー４により所定時間後電磁弁５を切
り替え、空間１０の圧力を大気に開放し、管路３
と６との連絡を絶縁して、接着剤９の定量的分
配・分注の１サイクルを終わる。この場合、本考
案によれば、バツフアータンク１２が管路３の内
容積が小さいことによる空間１０内の気体の圧力
の低下を補償するように作動することにより、従
来の装置においては達成できなかつた超精密分
配・分注が確実に達成される。
以上に述べたように、本考案のデイスペンサー
は、従来のデイスペンサーよりも分配・分注され
る接着剤の押し出し量が、接着作業の全工程を通
じて極めて均一となり、本考案のデイスペンサー
を用いて生産される製品の不良率を大巾に減少さ
せることができる。
は、従来のデイスペンサーよりも分配・分注され
る接着剤の押し出し量が、接着作業の全工程を通
じて極めて均一となり、本考案のデイスペンサー
を用いて生産される製品の不良率を大巾に減少さ
せることができる。
本考案のデイスペンサーは、前述の説明に引用
した集積回路チツプをリードフレームに接着させ
る場合の使用に限定されるものではなく、種々の
液体材料を分配・分注するデイスペンサーとして
使用することもできることは勿論である。なお、
液体材料としては、接着剤のほか粘性がある高分
子化合物、あるいは粘性のない液体の分配・分注
にも使用することができる。
した集積回路チツプをリードフレームに接着させ
る場合の使用に限定されるものではなく、種々の
液体材料を分配・分注するデイスペンサーとして
使用することもできることは勿論である。なお、
液体材料としては、接着剤のほか粘性がある高分
子化合物、あるいは粘性のない液体の分配・分注
にも使用することができる。
第１図は、従来のデイスペンサーについての構
成部材の組合わせを示すブロツク図、第２図は、
減圧弁と電磁弁とを結ぶ管路内の気体圧力の経時
変化を示すグラフ、第３図は、本考案の装置の実
施例についての構成部材の組合わせを示すブロツ
ク図である。 １……圧縮気体源、２……減圧弁、３……減圧
された気体が流れる管路、４……タイマー、５…
…電磁弁、６……管路、７，７ａ……分注ノズ
ル、８……シリンジ、９……接着剤、１０……空
間、１１……ノズル、１２……バツフアータン
ク。
成部材の組合わせを示すブロツク図、第２図は、
減圧弁と電磁弁とを結ぶ管路内の気体圧力の経時
変化を示すグラフ、第３図は、本考案の装置の実
施例についての構成部材の組合わせを示すブロツ
ク図である。 １……圧縮気体源、２……減圧弁、３……減圧
された気体が流れる管路、４……タイマー、５…
…電磁弁、６……管路、７，７ａ……分注ノズ
ル、８……シリンジ、９……接着剤、１０……空
間、１１……ノズル、１２……バツフアータン
ク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 圧縮気体源より供給される圧縮気体を減圧す
る減圧弁と、前記減圧された気体の通過量を制
御するタイマー付きの電磁弁と、前記電磁弁を
経て供給される前記気体によつてノズル内に収
容した液体材料を定量的に分配・分注する分注
ノズルとを具え、前記圧縮空気にて分注ノズル
内に収容した液体材料の液面を直接加圧するこ
とにより、定量の該液体材料を吐出させるよう
にしたデイスペンサーにおいて、 前記減圧弁より電磁弁に至る管路の途中に、
前記分注ノズルの内容積よりも大きい容積をも
つ圧縮気体を貯留するバツフアータンクを設け
たことを特徴とする超精密用デイスペンサー。 ２ 前記バツフアータンクの容積が、分注ノズル
の内容積の10〜100倍の大きさである実用新案
登録請求の範囲第１項記載の超精密用デイスペ
ンサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2709383U JPS59135170U (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 超精密用デイスペンサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2709383U JPS59135170U (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 超精密用デイスペンサ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59135170U JPS59135170U (ja) | 1984-09-10 |
| JPH0215588Y2 true JPH0215588Y2 (ja) | 1990-04-26 |
Family
ID=30157988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2709383U Granted JPS59135170U (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 超精密用デイスペンサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59135170U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010140607A1 (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-09 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体定量吐出方法および装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5666278B2 (ja) * | 2010-12-14 | 2015-02-12 | キヤノンマシナリー株式会社 | 液体供給装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6020447Y2 (ja) * | 1980-12-02 | 1985-06-19 | パイオニア株式会社 | 接着剤塗布装置 |
| JPS57161465U (ja) * | 1981-04-02 | 1982-10-09 |
-
1983
- 1983-02-28 JP JP2709383U patent/JPS59135170U/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010140607A1 (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-09 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体定量吐出方法および装置 |
| JP2010279867A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Musashi Eng Co Ltd | 液体定量吐出方法および装置 |
| US8770439B2 (en) | 2009-06-03 | 2014-07-08 | Musashi Engineering, Inc. | Method and device for discharging a fixed amount of liquid |
| EP2438998A4 (en) * | 2009-06-03 | 2017-11-08 | Musashi Engineering, Inc. | Method and device for discharging a fixed amount of liquid |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59135170U (ja) | 1984-09-10 |
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