JP2001127121A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
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- JP2001127121A JP2001127121A JP30808799A JP30808799A JP2001127121A JP 2001127121 A JP2001127121 A JP 2001127121A JP 30808799 A JP30808799 A JP 30808799A JP 30808799 A JP30808799 A JP 30808799A JP 2001127121 A JP2001127121 A JP 2001127121A
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- JP
- Japan
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- probe card
- tip
- substrate
- light
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェハプローバにおいて、ニードルの先端位置
を正確に特定することができるプローブカードを提供す
る。 【解決手段】プローブカードから下向きに固定されたニ
ードル１０は、斜め下方に延びる傾斜部１０ａと、ほぼ
鉛直下方に延びる鉛直部１０ｂと、傾斜部１０ａと鉛直
部１０ｂとを連結する湾曲部１０ｃとからなり、傾斜部
１０ａは光を反射しない表面を有している。このため、
光源からの光３６ａは鉛直部１０ｂにおいてのみ反射
し、ＣＣＤカメラ３７はニードル１０の先端としての鉛
直部１０ｂのみを撮影する。このようにして撮影された
画像に画像処理を施すことにより、ニードル１０の先端
位置を正確に特定することができる。
を正確に特定することができるプローブカードを提供す
る。 【解決手段】プローブカードから下向きに固定されたニ
ードル１０は、斜め下方に延びる傾斜部１０ａと、ほぼ
鉛直下方に延びる鉛直部１０ｂと、傾斜部１０ａと鉛直
部１０ｂとを連結する湾曲部１０ｃとからなり、傾斜部
１０ａは光を反射しない表面を有している。このため、
光源からの光３６ａは鉛直部１０ｂにおいてのみ反射
し、ＣＣＤカメラ３７はニードル１０の先端としての鉛
直部１０ｂのみを撮影する。このようにして撮影された
画像に画像処理を施すことにより、ニードル１０の先端
位置を正確に特定することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
過程において、ウェハ上に相互に連結して形成された複
数個の半導体装置を単体に分割する前に、各半導体装置
の検査を行うウェハプローバに用いるプローブカードに
関する。
過程において、ウェハ上に相互に連結して形成された複
数個の半導体装置を単体に分割する前に、各半導体装置
の検査を行うウェハプローバに用いるプローブカードに
関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェハ上に相互に連結して形成された複
数個の半導体装置を単体に分割する前に、各半導体装置
の検査を行う装置としてウェハプローバが知られてい
る。図１３に従来のウェハプローバの一例を示す。
数個の半導体装置を単体に分割する前に、各半導体装置
の検査を行う装置としてウェハプローバが知られてい
る。図１３に従来のウェハプローバの一例を示す。
【０００３】図７に示したウェハプローバ３０は、被検
査体としての半導体ウェハ３１を固定するウェハチャッ
ク３２と、下向きに固定された複数のニードル３３を有
するプローブカード３４と、プローブカード３４を水平
方向及び鉛直方向に移動させる移動機構３５と、ニード
ル３３に光を照射するＬＥＤや小型電球その他の光源３
６と、ニードル３３の先端を撮影するＣＣＤカメラ３７
と、ＣＣＤカメラ３７が撮影した画像に基づきニードル
３３の先端の位置を認識するとともに、移動機構３５の
移動方向及び移動距離を制御する画像認識手段３８と、
からなっている。
査体としての半導体ウェハ３１を固定するウェハチャッ
ク３２と、下向きに固定された複数のニードル３３を有
するプローブカード３４と、プローブカード３４を水平
方向及び鉛直方向に移動させる移動機構３５と、ニード
ル３３に光を照射するＬＥＤや小型電球その他の光源３
６と、ニードル３３の先端を撮影するＣＣＤカメラ３７
と、ＣＣＤカメラ３７が撮影した画像に基づきニードル
３３の先端の位置を認識するとともに、移動機構３５の
移動方向及び移動距離を制御する画像認識手段３８と、
からなっている。
【０００４】ニードル３３の先端位置の認識はＣＣＤカ
メラ３７を用いてニードル３３の先端を撮影することに
より行うため、ウェハプローバ３０全体は暗室の中に配
置されている。
メラ３７を用いてニードル３３の先端を撮影することに
より行うため、ウェハプローバ３０全体は暗室の中に配
置されている。
【０００５】以上のような構成を有するウェハプローバ
３０は以下のように作動する。
３０は以下のように作動する。
【０００６】先ず、光源３６がニードル３３に光を照射
し、ＣＣＤカメラ３７がニードル３３の先端を撮影す
る。ＣＣＤカメラ３７が撮影した画像は画像認識手段３
８に送られ、画像認識手段３８はその画像を解析し、ニ
ードル３３の先端位置を特定する。
し、ＣＣＤカメラ３７がニードル３３の先端を撮影す
る。ＣＣＤカメラ３７が撮影した画像は画像認識手段３
８に送られ、画像認識手段３８はその画像を解析し、ニ
ードル３３の先端位置を特定する。
【０００７】次いで、画像認識手段３８は、ニードル３
３の先端が半導体ウェハ３１上の半導体装置のパッドに
接触するように、移動機構３５の水平方向及び鉛直方向
における移動距離を算出し、その算出結果に応じて、移
動機構３５を作動させる。
３の先端が半導体ウェハ３１上の半導体装置のパッドに
接触するように、移動機構３５の水平方向及び鉛直方向
における移動距離を算出し、その算出結果に応じて、移
動機構３５を作動させる。
【０００８】このようにして、ニードル３３の先端が半
導体ウェハ３１上の半導体装置のパッドに接触すると、
プローブカード３４がその半導体装置の電気的検査を行
う。
導体ウェハ３１上の半導体装置のパッドに接触すると、
プローブカード３４がその半導体装置の電気的検査を行
う。
【０００９】以後、半導体ウェハ３１上の全ての半導体
装置に対して連続的にプローブカード３４による検査が
行われる。
装置に対して連続的にプローブカード３４による検査が
行われる。
【００１０】上記のウェハプローバ３０と同様な機構及
び機能により半導体ウェハの検査を行う装置として、例
えば、特許第２６６５９７９号公報（特開平３−８９１
０２号公報）、特開平５−３６７６７号公報、特開平５
−３２６６７５号公報、特公平６−８０７１７号公報
（特開昭６０−２１３０４０号公報）に記載された装置
がある。
び機能により半導体ウェハの検査を行う装置として、例
えば、特許第２６６５９７９号公報（特開平３−８９１
０２号公報）、特開平５−３６７６７号公報、特開平５
−３２６６７５号公報、特公平６−８０７１７号公報
（特開昭６０−２１３０４０号公報）に記載された装置
がある。
【００１１】一般に、プローブカードは、その構造に応
じて、水平ニードル型、垂直ニードル型及びメンブレン
型の３つのタイプに分類される。
じて、水平ニードル型、垂直ニードル型及びメンブレン
型の３つのタイプに分類される。
【００１２】水平ニードル型プローブカードは、図８
（Ａ）に示すように、基板４０と、基板４０から下向き
に延びる複数個のニードル４１と、からなっている。
（Ａ）に示すように、基板４０と、基板４０から下向き
に延びる複数個のニードル４１と、からなっている。
【００１３】図９はニードル４１の拡大図である。図９
に示すように、水平ニードル型プローブカードにおける
ニードル４１は、斜め下方に延びる傾斜部４１ａと、ほ
ぼ鉛直下方に延びる鉛直部４１ｂと、傾斜部４１ａと鉛
直部４１ｂとを連結する湾曲部４１ｃと、からなってい
る。
に示すように、水平ニードル型プローブカードにおける
ニードル４１は、斜め下方に延びる傾斜部４１ａと、ほ
ぼ鉛直下方に延びる鉛直部４１ｂと、傾斜部４１ａと鉛
直部４１ｂとを連結する湾曲部４１ｃと、からなってい
る。
【００１４】また、水平ニードル型プローブカードは、
ニードルの配置の形態に応じて、シングル測定用とマル
チ測定用とに分類される。
ニードルの配置の形態に応じて、シングル測定用とマル
チ測定用とに分類される。
【００１５】シングル測定用水平ニードル型プローブカ
ードは、図１０（Ａ）に示すように、基板４０上に複数
個の水平ニードル４１が１個の半導体装置を囲むように
配列されている。このシングル測定用水平ニードル型プ
ローブカードによれば、１個の半導体装置の全てのパッ
ドを測定することができる。
ードは、図１０（Ａ）に示すように、基板４０上に複数
個の水平ニードル４１が１個の半導体装置を囲むように
配列されている。このシングル測定用水平ニードル型プ
ローブカードによれば、１個の半導体装置の全てのパッ
ドを測定することができる。
【００１６】マルチ測定用水平ニードル型プローブカー
ドは、図１０（Ｂ）に示すように、基板４０上に複数個
の水平ニードル４１が列状に配列されている。このマル
チ測定用水平ニードル型プローブカードによれば、複数
個の半導体装置における１個又は２個以上のパッドを同
時に測定することができる。
ドは、図１０（Ｂ）に示すように、基板４０上に複数個
の水平ニードル４１が列状に配列されている。このマル
チ測定用水平ニードル型プローブカードによれば、複数
個の半導体装置における１個又は２個以上のパッドを同
時に測定することができる。
【００１７】垂直ニードル型プローブカードは、図８
（Ｂ）に示すように、基板４０と、基板４０からほぼ鉛
直下方に延びる複数個の同長の直線状のニードル４２
と、からなっている。
（Ｂ）に示すように、基板４０と、基板４０からほぼ鉛
直下方に延びる複数個の同長の直線状のニードル４２
と、からなっている。
【００１８】メンブレン型プローブカードは、図８
（Ｃ）に示すように、基板４０と、基板４０の下側表面
に取り付けられた複数個のバンプ４３と、からなってい
る。
（Ｃ）に示すように、基板４０と、基板４０の下側表面
に取り付けられた複数個のバンプ４３と、からなってい
る。
【００１９】また、図８（Ａ）に示した水平ニードル型
プローブカードにおけるニードル４１及び図８（Ｂ）に
示した垂直ニードル型プローブカードにおけるニードル
４２の先端は、その形状に応じて、フラット型、円弧又
は砲弾型、ポイント型の３種類に分類される。
プローブカードにおけるニードル４１及び図８（Ｂ）に
示した垂直ニードル型プローブカードにおけるニードル
４２の先端は、その形状に応じて、フラット型、円弧又
は砲弾型、ポイント型の３種類に分類される。
【００２０】フラット型では、図１１（Ａ）に示すよう
に、ニードル４１、４２の先端が平面形状に形成されて
いる。円弧又は砲弾型では、図１１（Ｂ）に示すよう
に、ニードル４１、４２の先端が縦断面が円弧になるよ
うに形成されている。ポイント型では、図１１（Ｃ）に
示すように、先端が錐状に形成されている。
に、ニードル４１、４２の先端が平面形状に形成されて
いる。円弧又は砲弾型では、図１１（Ｂ）に示すよう
に、ニードル４１、４２の先端が縦断面が円弧になるよ
うに形成されている。ポイント型では、図１１（Ｃ）に
示すように、先端が錐状に形成されている。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、図７に
示したウェハプローバ３０においては、ニードル３３の
先端の画像をＣＣＤカメラ３７で撮影し、その画像を画
像認識手段３８により解析することにより、ニードル３
３の先端の座標を決定している。このように、ＣＣＤカ
メラ３７による撮影を行う必要があることから、ウェハ
プローバ３０の内部は暗室にされており、ＣＣＤカメラ
３７による撮影の際には、光源３６がニードル３３を照
らし出す。
示したウェハプローバ３０においては、ニードル３３の
先端の画像をＣＣＤカメラ３７で撮影し、その画像を画
像認識手段３８により解析することにより、ニードル３
３の先端の座標を決定している。このように、ＣＣＤカ
メラ３７による撮影を行う必要があることから、ウェハ
プローバ３０の内部は暗室にされており、ＣＣＤカメラ
３７による撮影の際には、光源３６がニードル３３を照
らし出す。
【００２２】例えば、図８（Ａ）に示した水平ニードル
型プローブカードにおいては、図１２に示すように、ニ
ードル４１の鉛直部４１ｂのみならず、傾斜部４１ａに
おいても、光源３６からの光３６ａが反射してしまう。
その結果、ＣＣＤカメラ３７により撮影された画像は図
１３のようになる。図１３（Ａ）は、図１０（Ａ）に示
したシングル測定用水平ニードル型プローブカードにお
ける各ニードルの先端の画像であり、図１３（Ｂ）は、
図１０（Ｂ）に示したマルチ測定用水平ニードル型プロ
ーブカードにおける各ニードルの先端の画像である。
型プローブカードにおいては、図１２に示すように、ニ
ードル４１の鉛直部４１ｂのみならず、傾斜部４１ａに
おいても、光源３６からの光３６ａが反射してしまう。
その結果、ＣＣＤカメラ３７により撮影された画像は図
１３のようになる。図１３（Ａ）は、図１０（Ａ）に示
したシングル測定用水平ニードル型プローブカードにお
ける各ニードルの先端の画像であり、図１３（Ｂ）は、
図１０（Ｂ）に示したマルチ測定用水平ニードル型プロ
ーブカードにおける各ニードルの先端の画像である。
【００２３】画像認識手段３８は、画像の濃淡を判別す
る２値化処理によって画像認識を行っているが、図１３
（Ａ）及び（Ｂ）に示したように、ニードル４１の先端
としての鉛直部４１ｂのみならず、傾斜部４１ａも同様
に白く描き出されるため、ニードル４１の先端としての
鉛直部４１ｂを傾斜部４１ａと区別して正確に認識する
ことが不可能になる。
る２値化処理によって画像認識を行っているが、図１３
（Ａ）及び（Ｂ）に示したように、ニードル４１の先端
としての鉛直部４１ｂのみならず、傾斜部４１ａも同様
に白く描き出されるため、ニードル４１の先端としての
鉛直部４１ｂを傾斜部４１ａと区別して正確に認識する
ことが不可能になる。
【００２４】また、仮に、ニードル４１の傾斜部４１ａ
が白色と黒色の中間色としての灰色として写し出された
ような場合であっても、白色と灰色、黒色と灰色との間
では濃淡の差が少ないので、画像認識手段３８は何回も
画像認識処理を繰り返すことが必要となり、画像認識時
間の増加につながる。
が白色と黒色の中間色としての灰色として写し出された
ような場合であっても、白色と灰色、黒色と灰色との間
では濃淡の差が少ないので、画像認識手段３８は何回も
画像認識処理を繰り返すことが必要となり、画像認識時
間の増加につながる。
【００２５】本発明は、上記のような従来のウェハプロ
ーバにおける問題点に鑑みてなされたものであり、プロ
ーブカードのニードルの先端位置を正確に特定すること
ができる、ウェハプローバに用いるプローブカードを提
供することを目的とする。
ーバにおける問題点に鑑みてなされたものであり、プロ
ーブカードのニードルの先端位置を正確に特定すること
ができる、ウェハプローバに用いるプローブカードを提
供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明のうち、請求項１は、下向きに固定された少
なくとも一つのニードルを有するプローブカードと、プ
ローブカードと被検査体との間の相対的な移動を行う移
動機構と、ニードルに光を照射する光源と、ニードルの
先端を撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影された
画像に基づきニードルの先端の位置を認識する画像認識
手段と、からなるプローバにおけるプローブカードであ
って、ニードルは、斜め下方に延びる傾斜部と、傾斜部
の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部とからなり、ニ
ードルの傾斜部は光を反射しない表面を有しているもの
であることを特徴とするプローブカードを提供する。
め、本発明のうち、請求項１は、下向きに固定された少
なくとも一つのニードルを有するプローブカードと、プ
ローブカードと被検査体との間の相対的な移動を行う移
動機構と、ニードルに光を照射する光源と、ニードルの
先端を撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影された
画像に基づきニードルの先端の位置を認識する画像認識
手段と、からなるプローバにおけるプローブカードであ
って、ニードルは、斜め下方に延びる傾斜部と、傾斜部
の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部とからなり、ニ
ードルの傾斜部は光を反射しない表面を有しているもの
であることを特徴とするプローブカードを提供する。
【００２７】本請求項に係るプローバカードは図８
（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードである。
本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルの傾
斜部においては、光源からの光は反射しないため、光源
からの光は鉛直部においてのみ反射する。このため、撮
影手段は鉛直部のみ撮影することができ、ひいては、画
像認識手段はニードルの先端としての鉛直部の位置のみ
を画像認識することが可能になる。
（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードである。
本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルの傾
斜部においては、光源からの光は反射しないため、光源
からの光は鉛直部においてのみ反射する。このため、撮
影手段は鉛直部のみ撮影することができ、ひいては、画
像認識手段はニードルの先端としての鉛直部の位置のみ
を画像認識することが可能になる。
【００２８】請求項２は、下向きに固定された少なくと
も一つのニードルを有するプローブカードと、プローブ
カードと被検査体との間の相対的な移動を行う移動機構
と、ニードルに光を照射する光源と、ニードルの先端を
撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影された画像に
基づきニードルの先端の位置を認識する画像認識手段
と、からなるプローバにおけるプローブカードであっ
て、ニードルはほぼ鉛直下方に延びており、ニードルの
先端以外の部分は光を反射しない表面を有しているもの
であることを特徴とするプローブカードを提供する。
も一つのニードルを有するプローブカードと、プローブ
カードと被検査体との間の相対的な移動を行う移動機構
と、ニードルに光を照射する光源と、ニードルの先端を
撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影された画像に
基づきニードルの先端の位置を認識する画像認識手段
と、からなるプローバにおけるプローブカードであっ
て、ニードルはほぼ鉛直下方に延びており、ニードルの
先端以外の部分は光を反射しない表面を有しているもの
であることを特徴とするプローブカードを提供する。
【００２９】本請求項に係るプローバカードは図８
（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルの先
端以外の部分においては、光源からの光は反射しないた
め、光源からの光はニードルの先端においてのみ反射す
る。このため、撮影手段はニードルの先端のみ撮影する
ことができ、ひいては、画像認識手段はニードルの先端
位置を画像認識することが可能になる。
（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルの先
端以外の部分においては、光源からの光は反射しないた
め、光源からの光はニードルの先端においてのみ反射す
る。このため、撮影手段はニードルの先端のみ撮影する
ことができ、ひいては、画像認識手段はニードルの先端
位置を画像認識することが可能になる。
【００３０】請求項３は、基板と、基板に下向きに固定
された少なくとも一つのニードルと、を備えるプローブ
カードと、プローブカードと被検査体との間の相対的な
移動を行う移動機構と、ニードルに光を照射する光源
と、ニードルの先端を撮影する撮影手段と、撮影手段に
より撮影された画像に基づきニードルの先端の位置を認
識する画像認識手段と、からなるプローバにおけるプロ
ーブカードであって、ニードルは、斜め下方に延びる傾
斜部と、傾斜部の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部
とからなり、ニードルの傾斜部は光を反射しない表面を
有しており、基板は光を反射しない下側表面を有してい
ることを特徴とするプローブカードを提供する。
された少なくとも一つのニードルと、を備えるプローブ
カードと、プローブカードと被検査体との間の相対的な
移動を行う移動機構と、ニードルに光を照射する光源
と、ニードルの先端を撮影する撮影手段と、撮影手段に
より撮影された画像に基づきニードルの先端の位置を認
識する画像認識手段と、からなるプローバにおけるプロ
ーブカードであって、ニードルは、斜め下方に延びる傾
斜部と、傾斜部の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部
とからなり、ニードルの傾斜部は光を反射しない表面を
有しており、基板は光を反射しない下側表面を有してい
ることを特徴とするプローブカードを提供する。
【００３１】本請求項に係るプローバカードは図８
（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードである。
本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルの傾
斜部及び基板の下側表面においては、光源からの光は反
射しないため、光源からの光は鉛直部においてのみ反射
する。このため、撮影手段は鉛直部のみ撮影することが
でき、ひいては、画像認識手段はニードルの先端として
の鉛直部の位置のみを画像認識することが可能になる。
（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードである。
本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルの傾
斜部及び基板の下側表面においては、光源からの光は反
射しないため、光源からの光は鉛直部においてのみ反射
する。このため、撮影手段は鉛直部のみ撮影することが
でき、ひいては、画像認識手段はニードルの先端として
の鉛直部の位置のみを画像認識することが可能になる。
【００３２】請求項４は、基板と、基板に下向きに固定
された少なくとも一つのニードルと、備えるプローブカ
ードと、プローブカードと被検査体との間の相対的な移
動を行う移動機構と、ニードルに光を照射する光源と、
ニードルの先端を撮影する撮影手段と、撮影手段により
撮影された画像に基づきニードルの先端の位置を認識す
る画像認識手段と、からなるプローバにおけるプローブ
カードであって、ニードルはほぼ鉛直下方に延びてお
り、ニードルの先端以外の部分は光を反射しない表面を
有しており、基板は光を反射しない下側表面を有してい
ることを特徴とするプローブカードを提供する。
された少なくとも一つのニードルと、備えるプローブカ
ードと、プローブカードと被検査体との間の相対的な移
動を行う移動機構と、ニードルに光を照射する光源と、
ニードルの先端を撮影する撮影手段と、撮影手段により
撮影された画像に基づきニードルの先端の位置を認識す
る画像認識手段と、からなるプローバにおけるプローブ
カードであって、ニードルはほぼ鉛直下方に延びてお
り、ニードルの先端以外の部分は光を反射しない表面を
有しており、基板は光を反射しない下側表面を有してい
ることを特徴とするプローブカードを提供する。
【００３３】本請求項に係るプローバカードは図８
（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルの先
端以外の部分及び基板の下側表面においては、光源から
の光は反射しないため、光源からの光はニードルの先端
においてのみ反射する。このため、撮影手段はニードル
の先端のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手
段はニードルの先端位置を画像認識することが可能にな
る。
（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルの先
端以外の部分及び基板の下側表面においては、光源から
の光は反射しないため、光源からの光はニードルの先端
においてのみ反射する。このため、撮影手段はニードル
の先端のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手
段はニードルの先端位置を画像認識することが可能にな
る。
【００３４】請求項５は、基板と、基板の下側表面に取
り付けられた少なくとも一つのバンプと、備えるプロー
ブカードと、プローブカードと被検査体との間の相対的
な移動を行う移動機構と、バンプに光を照射する光源
と、バンプを撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影
された画像に基づきバンプの位置を認識する画像認識手
段と、からなるプローバにおけるプローブカードであっ
て、基板の下側表面は光を反射しない表面であることを
特徴とするプローブカードを提供する。
り付けられた少なくとも一つのバンプと、備えるプロー
ブカードと、プローブカードと被検査体との間の相対的
な移動を行う移動機構と、バンプに光を照射する光源
と、バンプを撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影
された画像に基づきバンプの位置を認識する画像認識手
段と、からなるプローバにおけるプローブカードであっ
て、基板の下側表面は光を反射しない表面であることを
特徴とするプローブカードを提供する。
【００３５】本請求項に係るプローバカードは図８
（Ｃ）に示したメンブレン型プローブカードである。本
請求項に係るプローバカードによれば、基板の下側表面
においては、光源からの光は反射しないため、光源から
の光はバンプにおいてのみ反射する。このため、撮影手
段はバンプのみ撮影することができ、ひいては、画像認
識手段はバンプの位置を画像認識することが可能にな
る。
（Ｃ）に示したメンブレン型プローブカードである。本
請求項に係るプローバカードによれば、基板の下側表面
においては、光源からの光は反射しないため、光源から
の光はバンプにおいてのみ反射する。このため、撮影手
段はバンプのみ撮影することができ、ひいては、画像認
識手段はバンプの位置を画像認識することが可能にな
る。
【００３６】請求項６に記載されているように、光を反
射しない表面は、塗装、ショットサンドブラスト加工、
メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つを
施すことにより、形成することができる。
射しない表面は、塗装、ショットサンドブラスト加工、
メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つを
施すことにより、形成することができる。
【００３７】請求項７に記載されているように、基板の
下側表面は、塗装、ショットサンドブラスト加工、メッ
キ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つが施さ
れている表面であることが好ましい。
下側表面は、塗装、ショットサンドブラスト加工、メッ
キ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つが施さ
れている表面であることが好ましい。
【００３８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の実施形態
に係るウェハプローバにおけるニードルとＣＣＤカメラ
とを示す。本実施形態に係るウェハプローバは、図８
（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードを有する
ウェハプローバである。
に係るウェハプローバにおけるニードルとＣＣＤカメラ
とを示す。本実施形態に係るウェハプローバは、図８
（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードを有する
ウェハプローバである。
【００３９】本実施形態に係るウェハプローバにおいて
は、図７に示したニードル３３に代えて、図１に示すニ
ードル１０が用いられる。ニードル１０以外の構造は図
７に示したウェハプローバと同じである。
は、図７に示したニードル３３に代えて、図１に示すニ
ードル１０が用いられる。ニードル１０以外の構造は図
７に示したウェハプローバと同じである。
【００４０】本実施形態におけるニードル１０は、図１
に示すように、斜め下方に延びる傾斜部１０ａと、ほぼ
鉛直下方に延びる鉛直部１０ｂと、傾斜部１０ａと鉛直
部１０ｂとを連結する湾曲部１０ｃとからなる。
に示すように、斜め下方に延びる傾斜部１０ａと、ほぼ
鉛直下方に延びる鉛直部１０ｂと、傾斜部１０ａと鉛直
部１０ｂとを連結する湾曲部１０ｃとからなる。
【００４１】ニードル１０の傾斜部１０ａ及び湾曲部１
０ｃの表面は光を反射しないように形成されている。
０ｃの表面は光を反射しないように形成されている。
【００４２】ニードル１０の材質は、抵抗性成分が少な
く、耐磨耗性を有する金属が選択される。本実施形態に
おいては、ニードル１０はタングステンから形成されて
いるが、タングステンに代えて、タングステンの合金又
はベリリウム−銅を用いることもできる。
く、耐磨耗性を有する金属が選択される。本実施形態に
おいては、ニードル１０はタングステンから形成されて
いるが、タングステンに代えて、タングステンの合金又
はベリリウム−銅を用いることもできる。
【００４３】傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面には
黒色の塗装が施されており、この黒色の塗装により、傾
斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面は光を反射しないよ
うになっている。
黒色の塗装が施されており、この黒色の塗装により、傾
斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面は光を反射しないよ
うになっている。
【００４４】塗装する色は黒色に限定されるものではな
く、反射を防ぐことのできる程度の濃い色であれば、ど
のような色であっても良い。また、光の反射をより一層
防止するため、表面に光沢がない塗装、いわゆる艶消し
の塗装であることが好ましい。
く、反射を防ぐことのできる程度の濃い色であれば、ど
のような色であっても良い。また、光の反射をより一層
防止するため、表面に光沢がない塗装、いわゆる艶消し
の塗装であることが好ましい。
【００４５】なお、ニードル１０の傾斜部１０ａ及び湾
曲部１０ｃの表面が光を反射しないように形成する方法
は塗装に限定されるものではない。
曲部１０ｃの表面が光を反射しないように形成する方法
は塗装に限定されるものではない。
【００４６】例えば、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの
表面にショットサンドブラスト加工を施しても良い。シ
ョットサンドブラスト加工を施すことにより、傾斜部１
０ａ及び湾曲部１０ｃの表面に微少な凹凸が形成される
ため、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面に照射され
た光源からの光は乱反射し、ＣＣＤカメラに到達する光
の量を最小にすることができる。
表面にショットサンドブラスト加工を施しても良い。シ
ョットサンドブラスト加工を施すことにより、傾斜部１
０ａ及び湾曲部１０ｃの表面に微少な凹凸が形成される
ため、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面に照射され
た光源からの光は乱反射し、ＣＣＤカメラに到達する光
の量を最小にすることができる。
【００４７】あるいは、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃ
の表面にメッキやエッチングなどの化学処理を施すこと
により、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面が光を反
射しないようにすることも可能である。
の表面にメッキやエッチングなどの化学処理を施すこと
により、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面が光を反
射しないようにすることも可能である。
【００４８】本実施形態に係るウェハプローバによれ
ば、ニードル１０の傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃにお
いては、光源３６からの光３６ａは反射しないため、光
源３６からの光３６ａは鉛直部１０ｂにおいてのみ反射
する。このため、ＣＣＤカメラ３７は鉛直部１０ｂのみ
撮影することができ、ひいては、画像認識手段３８はニ
ードル１０の先端としての鉛直部の位置１０ｂのみを画
像認識することが可能になる。
ば、ニードル１０の傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃにお
いては、光源３６からの光３６ａは反射しないため、光
源３６からの光３６ａは鉛直部１０ｂにおいてのみ反射
する。このため、ＣＣＤカメラ３７は鉛直部１０ｂのみ
撮影することができ、ひいては、画像認識手段３８はニ
ードル１０の先端としての鉛直部の位置１０ｂのみを画
像認識することが可能になる。
【００４９】本実施形態に係るウェハプローバにおける
ＣＣＤカメラ３７がとらえた画像を図２に示す。図２
（Ａ）は、図１０（Ａ）に示したシングル測定用水平ニ
ードル型プローブカードを用いた場合の各ニードルの先
端の画像であり、図２（Ｂ）は、図１０（Ｂ）に示した
マルチ測定用水平ニードル型プローブカードを用いた場
合の各ニードルの先端の画像である。
ＣＣＤカメラ３７がとらえた画像を図２に示す。図２
（Ａ）は、図１０（Ａ）に示したシングル測定用水平ニ
ードル型プローブカードを用いた場合の各ニードルの先
端の画像であり、図２（Ｂ）は、図１０（Ｂ）に示した
マルチ測定用水平ニードル型プローブカードを用いた場
合の各ニードルの先端の画像である。
【００５０】図２（Ａ）及び（Ｂ）に示したように、ニ
ードル１０の先端としての鉛直部１０ｂのみが白く写し
出されている。このため、画像の濃淡を判別する２値化
処理によって画像認識を行っている画像認識手段３８
は、ニードル１０の先端としての鉛直部１０ｂを傾斜部
１０ａ及び湾曲部１０ｃと区別して正確に認識すること
が可能になる。
ードル１０の先端としての鉛直部１０ｂのみが白く写し
出されている。このため、画像の濃淡を判別する２値化
処理によって画像認識を行っている画像認識手段３８
は、ニードル１０の先端としての鉛直部１０ｂを傾斜部
１０ａ及び湾曲部１０ｃと区別して正確に認識すること
が可能になる。
【００５１】なお、本実施形態においては、ニードル１
０の鉛直部１０ｂの先端は図８（Ａ）に示したフラット
型のものとして示したが、図８（Ｂ）に示した円弧又は
砲弾型、図８（Ｃ）に示したポイント型の何れであって
もよい。
０の鉛直部１０ｂの先端は図８（Ａ）に示したフラット
型のものとして示したが、図８（Ｂ）に示した円弧又は
砲弾型、図８（Ｃ）に示したポイント型の何れであって
もよい。
【００５２】図３は、本発明の第２の実施形態に係るウ
ェハプローバにおけるニードルとＣＣＤカメラとを示
す。本実施形態に係るウェハプローバは、図８（Ｂ）に
示した垂直ニードル型プローブカードを有するウェハプ
ローバである。
ェハプローバにおけるニードルとＣＣＤカメラとを示
す。本実施形態に係るウェハプローバは、図８（Ｂ）に
示した垂直ニードル型プローブカードを有するウェハプ
ローバである。
【００５３】本実施形態に係るウェハプローバにおいて
は、図７に示したニードル３３に代えて、図３に示すニ
ードル１１が用いられる。ニードル１１以外の構造は図
７に示したウェハプローバと同じである。
は、図７に示したニードル３３に代えて、図３に示すニ
ードル１１が用いられる。ニードル１１以外の構造は図
７に示したウェハプローバと同じである。
【００５４】本実施形態におけるニードル１１は、図３
に示すように、ほぼ鉛直下方に延びており、先端付近の
領域１１ａ以外の領域１１ｂの表面は光を反射しないよ
うに形成されている。
に示すように、ほぼ鉛直下方に延びており、先端付近の
領域１１ａ以外の領域１１ｂの表面は光を反射しないよ
うに形成されている。
【００５５】ニードル１１の材質及び領域１１ｂの表面
が光を反射しないように形成する方法は第１の実施形態
の場合と同じである。
が光を反射しないように形成する方法は第１の実施形態
の場合と同じである。
【００５６】本実施形態に係るウェハプローバによれ
ば、ニードルの先端付近の領域１１ｂ以外の領域１１ａ
においては、光源３６からの光３６ａは反射しないた
め、光源３６からの光３６ａはニードル１１の先端付近
の領域１１ｂにおいてのみ反射する。このため、ＣＣＤ
カメラ３７はニードル１１の先端領域１１ｂのみを撮影
することができ、ひいては、画像認識手段３８はニード
ル１１の先端位置を画像認識することが可能になる。
ば、ニードルの先端付近の領域１１ｂ以外の領域１１ａ
においては、光源３６からの光３６ａは反射しないた
め、光源３６からの光３６ａはニードル１１の先端付近
の領域１１ｂにおいてのみ反射する。このため、ＣＣＤ
カメラ３７はニードル１１の先端領域１１ｂのみを撮影
することができ、ひいては、画像認識手段３８はニード
ル１１の先端位置を画像認識することが可能になる。
【００５７】図４は、本発明の第３の実施形態に係るウ
ェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラと
を示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８
（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
ェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラと
を示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８
（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
【００５８】本実施形態に係るウェハプローバにおいて
は、図７に示したニードル３３に代えて、図１に示した
第１の実施形態に係るニードル１０が用いられる。さら
に、本実施形態におけるプローブカードの基板１２の表
面１２ａは光を反射しないように形成されている。ニー
ドル１０及び基板１２以外の構造は図７に示したウェハ
プローバと同じである。
は、図７に示したニードル３３に代えて、図１に示した
第１の実施形態に係るニードル１０が用いられる。さら
に、本実施形態におけるプローブカードの基板１２の表
面１２ａは光を反射しないように形成されている。ニー
ドル１０及び基板１２以外の構造は図７に示したウェハ
プローバと同じである。
【００５９】ニードル１０の材質及び傾斜部１０ａの表
面が光を反射しないように形成する方法は第１の実施形
態の場合と同じである。
面が光を反射しないように形成する方法は第１の実施形
態の場合と同じである。
【００６０】また、基板１２の表面１２ａが光を反射し
ないように形成する方法もニードル１０の傾斜部１０ａ
の場合と同様である。すなわち、基板１２の表面１２ａ
には、黒色その他濃色の塗装、ショットサンドブラスト
加工、メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか
一つが施されている。
ないように形成する方法もニードル１０の傾斜部１０ａ
の場合と同様である。すなわち、基板１２の表面１２ａ
には、黒色その他濃色の塗装、ショットサンドブラスト
加工、メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか
一つが施されている。
【００６１】本実施形態に係るウェハプローバによれ
ば、ニードル１０の傾斜部１０ａ及び基板１２の下側表
面１２ａにおいては、光源３６からの光３６ａは反射し
ないため、光源３６からの光３６ａはニードル１０の鉛
直部１０ｂにおいてのみ反射する。このため、ＣＣＤカ
メラ３７は鉛直部１０ｂのみ撮影することができ、ひい
ては、画像認識手段３８はニードル１０の先端としての
鉛直部１０ｂの位置のみを画像認識することが可能にな
る。
ば、ニードル１０の傾斜部１０ａ及び基板１２の下側表
面１２ａにおいては、光源３６からの光３６ａは反射し
ないため、光源３６からの光３６ａはニードル１０の鉛
直部１０ｂにおいてのみ反射する。このため、ＣＣＤカ
メラ３７は鉛直部１０ｂのみ撮影することができ、ひい
ては、画像認識手段３８はニードル１０の先端としての
鉛直部１０ｂの位置のみを画像認識することが可能にな
る。
【００６２】図５は、本発明の第４の実施形態に係るウ
ェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラと
を示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８
（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
ェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラと
を示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８
（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
【００６３】本実施形態に係るウェハプローバにおいて
は、図７に示したニードル３３に代えて、図３に示した
第２の実施形態に係るニードル１１が用いられる。さら
に、本実施形態におけるプローブカードの基板１２の表
面１２ａは光を反射しないように形成されている。ニー
ドル１１及び基板１２以外の構造は図７に示したウェハ
プローバと同じである。
は、図７に示したニードル３３に代えて、図３に示した
第２の実施形態に係るニードル１１が用いられる。さら
に、本実施形態におけるプローブカードの基板１２の表
面１２ａは光を反射しないように形成されている。ニー
ドル１１及び基板１２以外の構造は図７に示したウェハ
プローバと同じである。
【００６４】ニードル１１の材質及び先端領域１１ｂ以
外の領域１１ａの表面が光を反射しないように形成する
方法は第１の実施形態の場合と同じである。
外の領域１１ａの表面が光を反射しないように形成する
方法は第１の実施形態の場合と同じである。
【００６５】また、基板１２の表面１２ａが光を反射し
ないように形成する方法も前述の第３の実施形態の場合
と同様である。
ないように形成する方法も前述の第３の実施形態の場合
と同様である。
【００６６】本実施形態に係るウェハプローバによれ
ば、ニードル１１の先端領域１１ｂ以外の領域１１ａ及
び基板１２の下側表面１２ａにおいては、光源３６から
の光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６ａ
はニードル１１の先端領域１１ｂにおいてのみ反射す
る。このため、ＣＣＤカメラ３７はニードル１１の先端
領域１１ｂのみ撮影することができ、ひいては、画像認
識手段３８はニードル１１の先端位置を画像認識するこ
とが可能になる。
ば、ニードル１１の先端領域１１ｂ以外の領域１１ａ及
び基板１２の下側表面１２ａにおいては、光源３６から
の光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６ａ
はニードル１１の先端領域１１ｂにおいてのみ反射す
る。このため、ＣＣＤカメラ３７はニードル１１の先端
領域１１ｂのみ撮影することができ、ひいては、画像認
識手段３８はニードル１１の先端位置を画像認識するこ
とが可能になる。
【００６７】図６は、本発明の第５の実施形態に係るウ
ェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラと
を示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８
（Ｃ）に示したメンブレン型プローブカードである。
ェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラと
を示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８
（Ｃ）に示したメンブレン型プローブカードである。
【００６８】本実施形態に係るウェハプローバにおいて
は、図７に示したプローブカード３４に代えて、図６に
示すプローブカード１３が用いられる。プローブカード
１３以外の構造は図７に示したウェハプローバと同じで
ある。
は、図７に示したプローブカード３４に代えて、図６に
示すプローブカード１３が用いられる。プローブカード
１３以外の構造は図７に示したウェハプローバと同じで
ある。
【００６９】プローブカード１３は、基板１４と、基板
１４の下側表面１４ａに取り付けられた複数個のバンプ
１５とからなる。
１４の下側表面１４ａに取り付けられた複数個のバンプ
１５とからなる。
【００７０】プローブカード１３の基板１４の下側表面
１４ａは光を反射しないように形成されている。基板１
４の下側表面１４ａが光を反射しないように形成する方
法は前述の第３の実施形態の場合と同様である。
１４ａは光を反射しないように形成されている。基板１
４の下側表面１４ａが光を反射しないように形成する方
法は前述の第３の実施形態の場合と同様である。
【００７１】本実施形態に係るウェハプローバによれ
ば、基板１４の下側表面１４ａにおいては、光源３６か
らの光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６
ａはバンプ１５においてのみ反射する。このため、ＣＣ
Ｄカメラ３７はバンプ１５のみ撮影することができ、ひ
いては、画像認識手段３８はバンプ１５の位置を正確に
画像認識することが可能になる。
ば、基板１４の下側表面１４ａにおいては、光源３６か
らの光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６
ａはバンプ１５においてのみ反射する。このため、ＣＣ
Ｄカメラ３７はバンプ１５のみ撮影することができ、ひ
いては、画像認識手段３８はバンプ１５の位置を正確に
画像認識することが可能になる。
【００７２】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るプローバ又
はプローブカードによれば、光源からの光はニードルの
先端又はバンプにおいてのみ反射し、ニードルの先端以
外の領域及び基板の下側表面には反射しないので、撮影
手段はニードルの先端のみを撮影する。その結果、ニー
ドルの先端とそれ以外の部分との濃淡の差が明確に現れ
るので、２値化処理による画像認識を行う画像認識手段
はニードルの先端の位置を正確に特定することができ
る。
はプローブカードによれば、光源からの光はニードルの
先端又はバンプにおいてのみ反射し、ニードルの先端以
外の領域及び基板の下側表面には反射しないので、撮影
手段はニードルの先端のみを撮影する。その結果、ニー
ドルの先端とそれ以外の部分との濃淡の差が明確に現れ
るので、２値化処理による画像認識を行う画像認識手段
はニードルの先端の位置を正確に特定することができ
る。
【図１】本発明の第１の実施形態に係るウェハプローバ
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るウェハプローバ
により撮影した画像を画像処理した後の画像である。
により撮影した画像を画像処理した後の画像である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るウェハプローバ
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
【図４】本発明の第３の実施形態に係るウェハプローバ
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
【図５】本発明の第４の実施形態に係るウェハプローバ
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
【図６】本発明の第５の実施形態に係るウェハプローバ
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
におけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図であ
る。
【図７】従来のウェハプローバの構造を示す概略図であ
る。
る。
【図８】プローブカードにおけるニードルの配列の種類
を示す平面図であり、図８（Ａ）は水平ニードル型プロ
ーブカード、図８（Ｂ）は垂直ニードル型プローブカー
ド、図８（Ｃ）はメンブレン型プローブカードを示す。
を示す平面図であり、図８（Ａ）は水平ニードル型プロ
ーブカード、図８（Ｂ）は垂直ニードル型プローブカー
ド、図８（Ｃ）はメンブレン型プローブカードを示す。
【図９】水平ニードル型プローブカードにおける従来の
ニードルの拡大図である。
ニードルの拡大図である。
【図１０】水平ニードル型プローブカードにおけるニー
ドルの配列の種類を示す平面図であり、図１０（Ａ）は
シングル測定用水平ニードル型プローブカード、図１０
（Ｂ）はマルチ測定用用水平ニードル型プローブカード
を示す。
ドルの配列の種類を示す平面図であり、図１０（Ａ）は
シングル測定用水平ニードル型プローブカード、図１０
（Ｂ）はマルチ測定用用水平ニードル型プローブカード
を示す。
【図１１】ニードルの先端の種類を示す平面図であり、
図１１（Ａ）はフラット型、図１１（Ｂ）は円弧又は砲
弾型、図１１（Ｃ）はポイント型を示す。
図１１（Ａ）はフラット型、図１１（Ｂ）は円弧又は砲
弾型、図１１（Ｃ）はポイント型を示す。
【図１２】従来のニードルにおける光の反射状況を示す
平面図である。
平面図である。
【図１３】従来のウェハプローバにより撮影した画像を
画像処理した後の画像である。
画像処理した後の画像である。
１０ 第１の実施形態におけるニードル １０ａ 傾斜部 １０ｂ 鉛直部 １０ｃ 湾曲部 １１ 第２の実施形態におけるニードル １１ａ 先端付近の領域 １１ｂ 先端以外の領域 １２ 基板 １２ａ 基板の下側表面 １３ 第５の実施形態に係るプローブカード １４ 基板 １４ａ 基板の下側表面 １５ バンプ ３５ 移動機構 ３６ 光源 ３７ ＣＣＤカメラ ３８ 画像認識手段
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA03 BB05 CC00 FF42 HH12 JJ03 JJ07 JJ26 NN20 PP12 QQ04 QQ28 TT06 2G011 AA02 AA03 AA10 AA16 AA17 AC06 AC10 AC14 AE03 AF06 2G032 AE02 AE04 AF02 AK04 AL04 4M106 AA02 AD26 BA01 CA01 DD10 DD30 DJ20 9A001 BB06 HH23 JJ48 KK16 KK37 LL05
Claims (7)
- 【請求項１】 下向きに固定された少なくとも一つのニ
ードルを有するプローブカードと、 前記プローブカードと被検査体との間の相対的な移動を
行う移動機構と、 前記ニードルに光を照射する光源と、 前記ニードルの先端を撮影する撮影手段と、 前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニード
ルの先端の位置を認識する画像認識手段と、 からなるプローバにおける前記プローブカードであっ
て、 前記ニードルは、斜め下方に延びる傾斜部と、前記傾斜
部の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部とからなり、 前記ニードルの前記傾斜部は光を反射しない表面を有し
ているものであることを特徴とするプローブカード。 - 【請求項２】 下向きに固定された少なくとも一つのニ
ードルを有するプローブカードと、 前記プローブカードと被検査体との間の相対的な移動を
行う移動機構と、 前記ニードルに光を照射する光源と、 前記ニードルの先端を撮影する撮影手段と、 前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニード
ルの先端の位置を認識する画像認識手段と、 からなるプローバにおける前記プローブカードであっ
て、 前記ニードルはほぼ鉛直下方に延びており、 前記ニードルの先端以外の部分は光を反射しない表面を
有しているものであることを特徴とするプローブカー
ド。 - 【請求項３】 基板と、前記基板に下向きに固定された
少なくとも一つのニードルと、を備えるプローブカード
と、 前記プローブカードと被検査体との間の相対的な移動を
行う移動機構と、 前記ニードルに光を照射する光源と、 前記ニードルの先端を撮影する撮影手段と、 前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニード
ルの先端の位置を認識する画像認識手段と、 からなるプローバにおける前記プローブカードであっ
て、 前記ニードルは、斜め下方に延びる傾斜部と、前記傾斜
部の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部とからなり、 前記ニードルの前記傾斜部は光を反射しない表面を有し
ており、 前記基板は光を反射しない下側表面を有していることを
特徴とするプローブカード。 - 【請求項４】 基板と、前記基板に下向きに固定された
少なくとも一つのニードルと、備えるプローブカード
と、 前記プローブカードと被検査体との間の相対的な移動を
行う移動機構と、 前記ニードルに光を照射する光源と、 前記ニードルの先端を撮影する撮影手段と、 前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニード
ルの先端の位置を認識する画像認識手段と、 からなるプローバにおける前記プローブカードであっ
て、 前記ニードルはほぼ鉛直下方に延びており、 前記ニードルの先端以外の部分は光を反射しない表面を
有しており、 前記基板は光を反射しない下側表面を有していることを
特徴とするプローブカード。 - 【請求項５】 基板と、前記基板の下側表面に取り付け
られた少なくとも一つのバンプと、備えるプローブカー
ドと、 前記プローブカードと被検査体との間の相対的な移動を
行う移動機構と、 前記バンプに光を照射する光源と、 前記バンプを撮影する撮影手段と、 前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記バンプ
の位置を認識する画像認識手段と、 からなるプローバにおける前記プローブカードであっ
て、 前記基板の前記下側表面は光を反射しない表面であるこ
とを特徴とするプローブカード。 - 【請求項６】 前記光を反射しない表面は、塗装、ショ
ットサンドブラスト加工、メッキ及びエッチングのうち
の少なくとも何れか一つが施されている表面であること
を特徴とする請求項８乃至１１の何れか一項に記載のプ
ローブカード。 - 【請求項７】 前記基板の前記下側表面は、塗装、ショ
ットサンドブラスト加工、メッキ及びエッチングのうち
の少なくとも何れか一つが施されている表面であること
を特徴とする請求項１０乃至１２の何れか一項に記載の
プローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30808799A JP3623413B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30808799A JP3623413B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | プローブカード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001127121A true JP2001127121A (ja) | 2001-05-11 |
| JP3623413B2 JP3623413B2 (ja) | 2005-02-23 |
Family
ID=17976720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30808799A Expired - Fee Related JP3623413B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3623413B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008268196A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Japan Electronic Materials Corp | コンタクトプローブ及びコンタクトプローブの製造方法 |
| KR100910668B1 (ko) | 2006-05-31 | 2009-08-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 프로브선단의 검출 방법, 얼라인먼트 방법 및 이들방법들을 기록한 기억 매체, 및 프로브 장치 |
| US7579124B2 (en) * | 2003-12-03 | 2009-08-25 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter and manufacturing method thereof |
-
1999
- 1999-10-29 JP JP30808799A patent/JP3623413B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7579124B2 (en) * | 2003-12-03 | 2009-08-25 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter and manufacturing method thereof |
| KR100910668B1 (ko) | 2006-05-31 | 2009-08-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 프로브선단의 검출 방법, 얼라인먼트 방법 및 이들방법들을 기록한 기억 매체, 및 프로브 장치 |
| JP2008268196A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-11-06 | Japan Electronic Materials Corp | コンタクトプローブ及びコンタクトプローブの製造方法 |
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