JP3623413B2

JP3623413B2 - プローブカード

Info

Publication number: JP3623413B2
Application number: JP30808799A
Authority: JP
Inventors: 智昭田村
Original assignee: NEC Electronics Corp
Current assignee: NEC Electronics Corp
Priority date: 1999-10-29
Filing date: 1999-10-29
Publication date: 2005-02-23
Anticipated expiration: 2019-10-29
Also published as: JP2001127121A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造過程において、ウェハ上に相互に連結して形成された複数個の半導体装置を単体に分割する前に、各半導体装置の検査を行うウェハプローバに用いるプローブカードに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハ上に相互に連結して形成された複数個の半導体装置を単体に分割する前に、各半導体装置の検査を行う装置としてウェハプローバが知られている。図１３に従来のウェハプローバの一例を示す。
【０００３】
図７に示したウェハプローバ３０は、被検査体としての半導体ウェハ３１を固定するウェハチャック３２と、下向きに固定された複数のニードル３３を有するプローブカード３４と、プローブカード３４を水平方向及び鉛直方向に移動させる移動機構３５と、ニードル３３に光を照射するＬＥＤや小型電球その他の光源３６と、ニードル３３の先端を撮影するＣＣＤカメラ３７と、ＣＣＤカメラ３７が撮影した画像に基づきニードル３３の先端の位置を認識するとともに、移動機構３５の移動方向及び移動距離を制御する画像認識手段３８と、からなっている。
【０００４】
ニードル３３の先端位置の認識はＣＣＤカメラ３７を用いてニードル３３の先端を撮影することにより行うため、ウェハプローバ３０全体は暗室の中に配置されている。
【０００５】
以上のような構成を有するウェハプローバ３０は以下のように作動する。
【０００６】
先ず、光源３６がニードル３３に光を照射し、ＣＣＤカメラ３７がニードル３３の先端を撮影する。ＣＣＤカメラ３７が撮影した画像は画像認識手段３８に送られ、画像認識手段３８はその画像を解析し、ニードル３３の先端位置を特定する。
【０００７】
次いで、画像認識手段３８は、ニードル３３の先端が半導体ウェハ３１上の半導体装置のパッドに接触するように、移動機構３５の水平方向及び鉛直方向における移動距離を算出し、その算出結果に応じて、移動機構３５を作動させる。
【０００８】
このようにして、ニードル３３の先端が半導体ウェハ３１上の半導体装置のパッドに接触すると、プローブカード３４がその半導体装置の電気的検査を行う。
【０００９】
以後、半導体ウェハ３１上の全ての半導体装置に対して連続的にプローブカード３４による検査が行われる。
【００１０】
上記のウェハプローバ３０と同様な機構及び機能により半導体ウェハの検査を行う装置として、例えば、特許第２６６５９７９号公報（特開平３−８９１０２号公報）、特開平５−３６７６７号公報、特開平５−３２６６７５号公報、特公平６−８０７１７号公報（特開昭６０−２１３０４０号公報）に記載された装置がある。
【００１１】
一般に、プローブカードは、その構造に応じて、水平ニードル型、垂直ニードル型及びメンブレン型の３つのタイプに分類される。
【００１２】
水平ニードル型プローブカードは、図８（Ａ）に示すように、基板４０と、基板４０から下向きに延びる複数個のニードル４１と、からなっている。
【００１３】
図９はニードル４１の拡大図である。図９に示すように、水平ニードル型プローブカードにおけるニードル４１は、斜め下方に延びる傾斜部４１ａと、ほぼ鉛直下方に延びる鉛直部４１ｂと、傾斜部４１ａと鉛直部４１ｂとを連結する湾曲部４１ｃと、からなっている。
【００１４】
また、水平ニードル型プローブカードは、ニードルの配置の形態に応じて、シングル測定用とマルチ測定用とに分類される。
【００１５】
シングル測定用水平ニードル型プローブカードは、図１０（Ａ）に示すように、基板４０上に複数個の水平ニードル４１が１個の半導体装置を囲むように配列されている。このシングル測定用水平ニードル型プローブカードによれば、１個の半導体装置の全てのパッドを測定することができる。
【００１６】
マルチ測定用水平ニードル型プローブカードは、図１０（Ｂ）に示すように、基板４０上に複数個の水平ニードル４１が列状に配列されている。このマルチ測定用水平ニードル型プローブカードによれば、複数個の半導体装置における１個又は２個以上のパッドを同時に測定することができる。
【００１７】
垂直ニードル型プローブカードは、図８（Ｂ）に示すように、基板４０と、基板４０からほぼ鉛直下方に延びる複数個の同長の直線状のニードル４２と、からなっている。
【００１８】
メンブレン型プローブカードは、図８（Ｃ）に示すように、基板４０と、基板４０の下側表面に取り付けられた複数個のバンプ４３と、からなっている。
【００１９】
また、図８（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードにおけるニードル４１及び図８（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードにおけるニードル４２の先端は、その形状に応じて、フラット型、円弧又は砲弾型、ポイント型の３種類に分類される。
【００２０】
フラット型では、図１１（Ａ）に示すように、ニードル４１、４２の先端が平面形状に形成されている。円弧又は砲弾型では、図１１（Ｂ）に示すように、ニードル４１、４２の先端が縦断面が円弧になるように形成されている。ポイント型では、図１１（Ｃ）に示すように、先端が錐状に形成されている。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】
前述のように、図７に示したウェハプローバ３０においては、ニードル３３の先端の画像をＣＣＤカメラ３７で撮影し、その画像を画像認識手段３８により解析することにより、ニードル３３の先端の座標を決定している。このように、ＣＣＤカメラ３７による撮影を行う必要があることから、ウェハプローバ３０の内部は暗室にされており、ＣＣＤカメラ３７による撮影の際には、光源３６がニードル３３を照らし出す。
【００２２】
例えば、図８（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードにおいては、図１２に示すように、ニードル４１の鉛直部４１ｂのみならず、傾斜部４１ａにおいても、光源３６からの光３６ａが反射してしまう。その結果、ＣＣＤカメラ３７により撮影された画像は図１３のようになる。図１３（Ａ）は、図１０（Ａ）に示したシングル測定用水平ニードル型プローブカードにおける各ニードルの先端の画像であり、図１３（Ｂ）は、図１０（Ｂ）に示したマルチ測定用水平ニードル型プローブカードにおける各ニードルの先端の画像である。
【００２３】
画像認識手段３８は、画像の濃淡を判別する２値化処理によって画像認識を行っているが、図１３（Ａ）及び（Ｂ）に示したように、ニードル４１の先端としての鉛直部４１ｂのみならず、傾斜部４１ａも同様に白く描き出されるため、ニードル４１の先端としての鉛直部４１ｂを傾斜部４１ａと区別して正確に認識することが不可能になる。
【００２４】
また、仮に、ニードル４１の傾斜部４１ａが白色と黒色の中間色としての灰色として写し出されたような場合であっても、白色と灰色、黒色と灰色との間では濃淡の差が少ないので、画像認識手段３８は何回も画像認識処理を繰り返すことが必要となり、画像認識時間の増加につながる。
【００２５】
本発明は、上記のような従来のウェハプローバにおける問題点に鑑みてなされたものであり、プローブカードのニードルの先端位置を正確に特定することができる、ウェハプローバに用いるプローブカードを提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明のうち、請求項１は、少なくとも一つのニードルを有するプローブカードと、前記ニードルに光を照射する光源と、前記ニードルを撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニードルの先端の位置を認識する画像認識手段と、前記画像認識手段による認識結果に基づき、前記ニードルの先端を被検査体に接触させるべく該被検査体と前記プローブカードとを相対的に移動させる移動機構と、を備えるプローバにおける前記プローブカードであって、前記画像認識手段により前記ニードルの先端部のみを画像認識できるように、前記ニードルは、該ニードルの前記先端部以外の部分の表面は光を反射しないように構成されている一方で、前記先端部のみは表面は光を反射するように構成されていることを特徴とするプローブカードを提供する。
【００２７】
本請求項に係るプローブカードによれば、ニードルの先端部以外の部分においては、光源からの光は反射しないため、光源からの光はニードルの先端部においてのみ反射する。このため、撮影手段はニードルの先端部のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段はニードルの先端部の位置のみを画像認識することが可能になる。
【００２８】
請求項２は、前記ニードルは、斜め下方に延びる傾斜部と、該傾斜部の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部とからなり、該鉛直部により当該ニードルの前記先端部が構成されていることを特徴とするプローブカードを提供する。本請求項に係るプローブカードは図８（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードである。本請求項に係るプローブカードによれば、ニードルの傾斜部においては、光源からの光は反射しないため、光源からの光は先端部を構成する鉛直部においてのみ反射する。このため、撮影手段は先端部を構成する鉛直部のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段はニードルの先端部としての鉛直部の位置のみを画像認識することが可能になる。
【００２９】
請求項３は、前記ニードルは、ほぼ鉛直下方に延びるように形成されていることを特徴とするプローブカードを提供する。本請求項に係るプローブカードは図８（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。本請求項に係るプローブカードによれば、ニードルの先端部以外の部分においては、光源からの光は反射しないため、光源からの光はニードルの先端部においてのみ反射する。このため、撮影手段はニードルの先端部のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段はニードルの先端部の位置を画像認識することが可能になる。
【００３０】
請求項４は、基板と、前記基板に下向きに固定された少なくとも一つのニードルと、を有するプローブカードと、前記ニードルに光を照射する光源と、前記ニードルを撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニードルの先端の位置を認識する画像認識手段と、前記画像認識手段による認識結果に基づき、前記ニードルの先端を被検査体に接触させるべく該被検査体と前記プローブカードとを相対的に移動させる移動機構と、を備えるプローバにおける前記プローブカードであって、前記画像認識手段により前記ニードルの先端部のみを画像認識できるように、前記ニードルは、該ニードルの前記先端部以外の部分の表面は光を反射しないように構成されている一方で、前記先端部のみは表面は光を反射するように構成され、前記基板の下側表面において、前記ニードルが取り付けられていない部分は光を反射しないように構成されていることを特徴とするプローブカードを提供する。
【００３１】
本請求項に係るプローブカードによれば、ニードルにおいて先端部以外の部分、並びに、基板の下側表面においてニードルが取り付けられていない部分においては、光源からの光は反射しないため、光源からの光はニードルの先端部においてのみ反射する。このため、撮影手段はニードルの先端部のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段はニードルの先端部の位置のみを画像認識することが可能になる。
【００３２】
請求項５は、前記ニードルは、前記基板より斜め下方に延びる傾斜部と、該傾斜部の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部とからなり、該鉛直部により当該ニードルの前記先端部が構成されていることを特徴とするプローブカードを提供する。本請求項に係るプローバカードは図８（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードである。本請求項に係るプローバカードによれば、ニードルにおいて先端部以外の部分、並びに、基板の下側表面においてニードルが取り付けられていない部分においては、光源からの光は反射しないため、光源からの光はニードルの先端部においてのみ反射する。このため、撮影手段はニードルの先端部のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段はニードルの先端部の位置のみを画像認識することが可能になる。
【００３３】
請求項６は、前記ニードルは、前記基板よりほぼ鉛直下方に延びるように形成されていることを特徴とするプローブカードを提供する。本請求項に係るプローバカードは図８（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。本請求項に係るプローブカードによれば、ニードルにおいて先端部以外の部分、並びに、基板の下側表面においてニードルが取り付けられていない部分においては、光源からの光は反射しないため、光源からの光はニードルの先端部においてのみ反射する。このため、撮影手段はニードルの先端部のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段はニードルの先端部位置を画像認識することが可能になる。
【００３４】
請求項７は、基板と、前記基板の下側表面に取り付けられた少なくとも一つのバンプと、を有するプローブカードと、前記バンプに光を照射する光源と、前記バンプを撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記バンプの位置を認識する画像認識手段と、前記画像認識手段による認識結果に基づき、前記バンプを被検査体に接触させるべく該被検査体と前記プローブカードとを相対的に移動させる移動機構と、を備えるプローバにおける前記プローブカードであって、前記画像認識手段により前記バンプのみを画像認識できるように、前記基板の前記下側表面において、前記バンプが取り付けられていない部分は光を反射しないように構成されていることを特徴とするプローブカードを提供する。
【００３５】
本請求項に係るプローバカードは図８（Ｃ）に示したメンブレン型プローブカードである。本請求項に係るプローバカードによれば、基板の下側表面においてバンプが取り付けられていない部分においては、光源からの光は反射しないため、光源からの光はバンプにおいてのみ反射する。このため、撮影手段はバンプのみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段はバンプの位置を画像認識することが可能になる。
【００３６】
請求項８に記載されているように、前記ニードルにおいて先端部以外の部分の表面は、塗装、ショットサンドブラスト加工、メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つを施すことにより、光を反射しないように構成することができる。
【００３７】
請求項９に記載されているように、前記基板の下部表面において光を反射しないように構成されている部分は、塗装、ショットサンドブラスト加工、メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つを施すことにより、光を反射しないように構成することができる。
【００３８】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るウェハプローバにおけるニードルとＣＣＤカメラとを示す。本実施形態に係るウェハプローバは、図８（Ａ）に示した水平ニードル型プローブカードを有するウェハプローバである。
【００３９】
本実施形態に係るウェハプローバにおいては、図７に示したニードル３３に代えて、図１に示すニードル１０が用いられる。ニードル１０以外の構造は図７に示したウェハプローバと同じである。
【００４０】
本実施形態におけるニードル１０は、図１に示すように、斜め下方に延びる傾斜部１０ａと、ほぼ鉛直下方に延びる鉛直部１０ｂと、傾斜部１０ａと鉛直部１０ｂとを連結する湾曲部１０ｃとからなる。
【００４１】
ニードル１０の傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面は光を反射しないように形成されている。
【００４２】
ニードル１０の材質は、抵抗性成分が少なく、耐磨耗性を有する金属が選択される。本実施形態においては、ニードル１０はタングステンから形成されているが、タングステンに代えて、タングステンの合金又はベリリウム−銅を用いることもできる。
【００４３】
傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面には黒色の塗装が施されており、この黒色の塗装により、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面は光を反射しないようになっている。
【００４４】
塗装する色は黒色に限定されるものではなく、反射を防ぐことのできる程度の濃い色であれば、どのような色であっても良い。また、光の反射をより一層防止するため、表面に光沢がない塗装、いわゆる艶消しの塗装であることが好ましい。
【００４５】
なお、ニードル１０の傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面が光を反射しないように形成する方法は塗装に限定されるものではない。
【００４６】
例えば、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面にショットサンドブラスト加工を施しても良い。ショットサンドブラスト加工を施すことにより、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面に微少な凹凸が形成されるため、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面に照射された光源からの光は乱反射し、ＣＣＤカメラに到達する光の量を最小にすることができる。
【００４７】
あるいは、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面にメッキやエッチングなどの化学処理を施すことにより、傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃの表面が光を反射しないようにすることも可能である。
【００４８】
本実施形態に係るウェハプローバによれば、ニードル１０の傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃにおいては、光源３６からの光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６ａは鉛直部１０ｂにおいてのみ反射する。このため、ＣＣＤカメラ３７は鉛直部１０ｂのみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段３８はニードル１０の先端としての鉛直部の位置１０ｂのみを画像認識することが可能になる。
【００４９】
本実施形態に係るウェハプローバにおけるＣＣＤカメラ３７がとらえた画像を図２に示す。図２（Ａ）は、図１０（Ａ）に示したシングル測定用水平ニードル型プローブカードを用いた場合の各ニードルの先端の画像であり、図２（Ｂ）は、図１０（Ｂ）に示したマルチ測定用水平ニードル型プローブカードを用いた場合の各ニードルの先端の画像である。
【００５０】
図２（Ａ）及び（Ｂ）に示したように、ニードル１０の先端としての鉛直部１０ｂのみが白く写し出されている。このため、画像の濃淡を判別する２値化処理によって画像認識を行っている画像認識手段３８は、ニードル１０の先端としての鉛直部１０ｂを傾斜部１０ａ及び湾曲部１０ｃと区別して正確に認識することが可能になる。
【００５１】
なお、本実施形態においては、ニードル１０の鉛直部１０ｂの先端は図８（Ａ）に示したフラット型のものとして示したが、図８（Ｂ）に示した円弧又は砲弾型、図８（Ｃ）に示したポイント型の何れであってもよい。
【００５２】
図３は、本発明の第２の実施形態に係るウェハプローバにおけるニードルとＣＣＤカメラとを示す。本実施形態に係るウェハプローバは、図８（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードを有するウェハプローバである。
【００５３】
本実施形態に係るウェハプローバにおいては、図７に示したニードル３３に代えて、図３に示すニードル１１が用いられる。ニードル１１以外の構造は図７に示したウェハプローバと同じである。
【００５４】
本実施形態におけるニードル１１は、図３に示すように、ほぼ鉛直下方に延びており、先端付近の領域１１ａ以外の領域１１ｂの表面は光を反射しないように形成されている。
【００５５】
ニードル１１の材質及び領域１１ｂの表面が光を反射しないように形成する方法は第１の実施形態の場合と同じである。
【００５６】
本実施形態に係るウェハプローバによれば、ニードルの先端付近の領域１１ｂ以外の領域１１ａにおいては、光源３６からの光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６ａはニードル１１の先端付近の領域１１ｂにおいてのみ反射する。このため、ＣＣＤカメラ３７はニードル１１の先端領域１１ｂのみを撮影することができ、ひいては、画像認識手段３８はニードル１１の先端位置を画像認識することが可能になる。
【００５７】
図４は、本発明の第３の実施形態に係るウェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラとを示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
【００５８】
本実施形態に係るウェハプローバにおいては、図７に示したニードル３３に代えて、図１に示した第１の実施形態に係るニードル１０が用いられる。さらに、本実施形態におけるプローブカードの基板１２の表面１２ａは光を反射しないように形成されている。ニードル１０及び基板１２以外の構造は図７に示したウェハプローバと同じである。
【００５９】
ニードル１０の材質及び傾斜部１０ａの表面が光を反射しないように形成する方法は第１の実施形態の場合と同じである。
【００６０】
また、基板１２の表面１２ａが光を反射しないように形成する方法もニードル１０の傾斜部１０ａの場合と同様である。すなわち、基板１２の表面１２ａには、黒色その他濃色の塗装、ショットサンドブラスト加工、メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つが施されている。
【００６１】
本実施形態に係るウェハプローバによれば、ニードル１０の傾斜部１０ａ及び基板１２の下側表面１２ａにおいては、光源３６からの光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６ａはニードル１０の鉛直部１０ｂにおいてのみ反射する。このため、ＣＣＤカメラ３７は鉛直部１０ｂのみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段３８はニードル１０の先端としての鉛直部１０ｂの位置のみを画像認識することが可能になる。
【００６２】
図５は、本発明の第４の実施形態に係るウェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラとを示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８（Ｂ）に示した垂直ニードル型プローブカードである。
【００６３】
本実施形態に係るウェハプローバにおいては、図７に示したニードル３３に代えて、図３に示した第２の実施形態に係るニードル１１が用いられる。さらに、本実施形態におけるプローブカードの基板１２の表面１２ａは光を反射しないように形成されている。ニードル１１及び基板１２以外の構造は図７に示したウェハプローバと同じである。
【００６４】
ニードル１１の材質及び先端領域１１ｂ以外の領域１１ａの表面が光を反射しないように形成する方法は第１の実施形態の場合と同じである。
【００６５】
また、基板１２の表面１２ａが光を反射しないように形成する方法も前述の第３の実施形態の場合と同様である。
【００６６】
本実施形態に係るウェハプローバによれば、ニードル１１の先端領域１１ｂ以外の領域１１ａ及び基板１２の下側表面１２ａにおいては、光源３６からの光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６ａはニードル１１の先端領域１１ｂにおいてのみ反射する。このため、ＣＣＤカメラ３７はニードル１１の先端領域１１ｂのみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段３８はニードル１１の先端位置を画像認識することが可能になる。
【００６７】
図６は、本発明の第５の実施形態に係るウェハプローバにおけるプローブカードとＣＣＤカメラとを示す。本実施形態におけるプローブカードは、図８（Ｃ）に示したメンブレン型プローブカードである。
【００６８】
本実施形態に係るウェハプローバにおいては、図７に示したプローブカード３４に代えて、図６に示すプローブカード１３が用いられる。プローブカード１３以外の構造は図７に示したウェハプローバと同じである。
【００６９】
プローブカード１３は、基板１４と、基板１４の下側表面１４ａに取り付けられた複数個のバンプ１５とからなる。
【００７０】
プローブカード１３の基板１４の下側表面１４ａは光を反射しないように形成されている。基板１４の下側表面１４ａが光を反射しないように形成する方法は前述の第３の実施形態の場合と同様である。
【００７１】
本実施形態に係るウェハプローバによれば、基板１４の下側表面１４ａにおいては、光源３６からの光３６ａは反射しないため、光源３６からの光３６ａはバンプ１５においてのみ反射する。このため、ＣＣＤカメラ３７はバンプ１５のみ撮影することができ、ひいては、画像認識手段３８はバンプ１５の位置を正確に画像認識することが可能になる。
【００７２】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係るプローバ又はプローブカードによれば、光源からの光はニードルの先端又はバンプにおいてのみ反射し、ニードルの先端以外の領域及び基板の下側表面には反射しないので、撮影手段はニードルの先端のみを撮影する。その結果、ニードルの先端とそれ以外の部分との濃淡の差が明確に現れるので、２値化処理による画像認識を行う画像認識手段はニードルの先端の位置を正確に特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るウェハプローバにおけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るウェハプローバにより撮影した画像を画像処理した後の画像である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るウェハプローバにおけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係るウェハプローバにおけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図である。
【図５】本発明の第４の実施形態に係るウェハプローバにおけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図である。
【図６】本発明の第５の実施形態に係るウェハプローバにおけるプローブカード及びＣＣＤカメラの平面図である。
【図７】従来のウェハプローバの構造を示す概略図である。
【図８】プローブカードにおけるニードルの配列の種類を示す平面図であり、図８（Ａ）は水平ニードル型プローブカード、図８（Ｂ）は垂直ニードル型プローブカード、図８（Ｃ）はメンブレン型プローブカードを示す。
【図９】水平ニードル型プローブカードにおける従来のニードルの拡大図である。
【図１０】水平ニードル型プローブカードにおけるニードルの配列の種類を示す平面図であり、図１０（Ａ）はシングル測定用水平ニードル型プローブカード、図１０（Ｂ）はマルチ測定用用水平ニードル型プローブカードを示す。
【図１１】ニードルの先端の種類を示す平面図であり、図１１（Ａ）はフラット型、図１１（Ｂ）は円弧又は砲弾型、図１１（Ｃ）はポイント型を示す。
【図１２】従来のニードルにおける光の反射状況を示す平面図である。
【図１３】従来のウェハプローバにより撮影した画像を画像処理した後の画像である。
【符号の説明】
１０第１の実施形態におけるニードル
１０ａ傾斜部
１０ｂ鉛直部
１０ｃ湾曲部
１１第２の実施形態におけるニードル
１１ａ先端付近の領域
１１ｂ先端以外の領域
１２基板
１２ａ基板の下側表面
１３第５の実施形態に係るプローブカード
１４基板
１４ａ基板の下側表面
１５バンプ
３５移動機構
３６光源
３７ＣＣＤカメラ
３８画像認識手段

Claims

少なくとも一つのニードルを有するプローブカードと、
前記ニードルに光を照射する光源と、
前記ニードルを撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニードルの先端の位置を認識する画像認識手段と、
前記画像認識手段による認識結果に基づき、前記ニードルの先端を被検査体に接触させるべく該被検査体と前記プローブカードとを相対的に移動させる移動機構と、
を備えるプローバにおける前記プローブカードであって、
前記画像認識手段により前記ニードルの先端部のみを画像認識できるように、
前記ニードルは、該ニードルの前記先端部以外の部分の表面は光を反射しないように構成されている一方で、前記先端部のみは表面は光を反射するように構成されていることを特徴とするプローブカード。
前記ニードルは、斜め下方に延びる傾斜部と、該傾斜部の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部とからなり、該鉛直部により当該ニードルの前記先端部が構成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
前記ニードルは、ほぼ鉛直下方に延びるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
基板と、前記基板に下向きに固定された少なくとも一つのニードルと、を有するプローブカードと、
前記ニードルに光を照射する光源と、
前記ニードルを撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記ニードルの先端の位置を認識する画像認識手段と、
前記画像認識手段による認識結果に基づき、前記ニードルの先端を被検査体に接触させるべく該被検査体と前記プローブカードとを相対的に移動させる移動機構と、
を備えるプローバにおける前記プローブカードであって、
前記画像認識手段により前記ニードルの先端部のみを画像認識できるように、
前記ニードルは、該ニードルの前記先端部以外の部分の表面は光を反射しないように構成されている一方で、前記先端部のみは表面は光を反射するように構成され、
前記基板の下側表面において、前記ニードルが取り付けられていない部分は光を反射しないように構成されていることを特徴とするプローブカード。
前記ニードルは、前記基板より斜め下方に延びる傾斜部と、該傾斜部の先端からほぼ鉛直下方に延びる鉛直部とからなり、該鉛直部により当該ニードルの前記先端部が構成されていることを特徴とする請求項４に記載のプローブカード。
前記ニードルは、前記基板よりほぼ鉛直下方に延びるように形成されていることを特徴とする請求項４に記載のプローブカード。
基板と、前記基板の下側表面に取り付けられた少なくとも一つのバンプと、を有するプローブカードと、
前記バンプに光を照射する光源と、
前記バンプを撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された画像に基づき前記バンプの位置を認識する画像認識手段と、
前記画像認識手段による認識結果に基づき、前記バンプを被検査体に接触させるべく該被検査体と前記プローブカードとを相対的に移動させる移動機構と、
を備えるプローバにおける前記プローブカードであって、
前記画像認識手段により前記バンプのみを画像認識できるように、
前記基板の前記下側表面において、前記バンプが取り付けられていない部分は光を反射しないように構成されていることを特徴とするプローブカード。
前記ニードルにおいて先端部以外の部分の表面は、塗装、ショットサンドブラスト加工、メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つを施すことにより、光を反射しないように構成されていることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項に記載のプローブカード。
前記基板の下部表面において光を反射しないように構成されている部分は、塗装、ショットサンドブラスト加工、メッキ及びエッチングのうちの少なくとも何れか一つを施すことにより、光を反射しないように構成されていることを特徴とする請求項４乃至７の何れか一項に記載のプローブカード。