JP2001124825A - オートハンドラ用ハンド - Google Patents
オートハンドラ用ハンドInfo
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- JP2001124825A JP2001124825A JP30737299A JP30737299A JP2001124825A JP 2001124825 A JP2001124825 A JP 2001124825A JP 30737299 A JP30737299 A JP 30737299A JP 30737299 A JP30737299 A JP 30737299A JP 2001124825 A JP2001124825 A JP 2001124825A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハンドを時間をかけて位置調整しなくとも、
ＩＣをＩＣソケットに確実に接続できるオートハンドラ
用ハンドを提供する。 【解決手段】 ＩＣソケット２はＩＣ１をＩＣテスタ２
に接続する。ハンド４はＩＣ１を吸着する吸着部７を有
し、吸着部７で吸着するＩＣ１をＩＣソケット２に押し
付けることによりＩＣ１をＩＣソケット２に接続させ
る。ハンド４はＩＣソケット２に向けて案内する位置決
めガイド３を備える。ハンド４は、吸着部７を有し位置
決めガイド３により案内されるハンド本体５と、ハンド
本体５を支持する支持部６とを備える。ハンド本体５
は、係合板９を有する一方、支持部６は、係合板９と係
合可能なフランジ部１１を形成する。前記押し付け方向
と反対方向の力がハンド本体５に作用したときに、係合
板９とフランジ部１１が遊動自在に係合する。
ＩＣをＩＣソケットに確実に接続できるオートハンドラ
用ハンドを提供する。 【解決手段】 ＩＣソケット２はＩＣ１をＩＣテスタ２
に接続する。ハンド４はＩＣ１を吸着する吸着部７を有
し、吸着部７で吸着するＩＣ１をＩＣソケット２に押し
付けることによりＩＣ１をＩＣソケット２に接続させ
る。ハンド４はＩＣソケット２に向けて案内する位置決
めガイド３を備える。ハンド４は、吸着部７を有し位置
決めガイド３により案内されるハンド本体５と、ハンド
本体５を支持する支持部６とを備える。ハンド本体５
は、係合板９を有する一方、支持部６は、係合板９と係
合可能なフランジ部１１を形成する。前記押し付け方向
と反対方向の力がハンド本体５に作用したときに、係合
板９とフランジ部１１が遊動自在に係合する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣテスタと接続
されるオートハンドラ用ハンドに関するものである。詳
細には、被測定デバイスを移送すると共に、移送した被
測定デバイスをＩＣソケットに接触させる吸着ハンドに
関する。
されるオートハンドラ用ハンドに関するものである。詳
細には、被測定デバイスを移送すると共に、移送した被
測定デバイスをＩＣソケットに接触させる吸着ハンドに
関する。
【０００２】
【従来の技術】組立完了したＩＣ（被測定デバイス）の
電気的特性を測定するＩＣテストシステムは、オートハ
ンドラとＩＣテスタ（テスタ）とを接続して構成され
る。従来のＩＣテストシステムは、例えば、図３に示す
ように、オートハンドラ３０Ａ側に吸着ハンド２０を有
し、ＩＣテスタ３０Ｂ側にＩＣソケット（ソケット）２
や位置決めガイド（案内手段）３を有している。吸着ハ
ンド２０は回転機構部２７に取り付けられる。吸着ハン
ド２０は回転機構部２７により鉛直線を軸心とする回転
方向に回転自在に保持されると共に、鉛直方向に直動自
在に保持される。即ち、吸着ハンド２０は正面視略Ｌ字
状のアングル２１の水平板に取り付けられ、アングル２
１は直動ガイド２８に沿って鉛直方向に摺動自在に保持
される。直動ガイド２８は回転ベース２２の外側面に設
けられる。回転ベース２２は軸線を鉛直方向とする回転
ベアリング２６により基部２３に対して回転自在に保持
される。また、基部２３の外周面にはカム溝２４が形成
される。カム溝２４に沿って摺動自在なカムフォロア２
５がアングル２１に接続される。図４に示すように、吸
着ハンド２０はＩＣ１を吸着する吸着部（吸着手段）７
を備えると共に、位置決めガイド３と係合するガイドピ
ン８を備える。ＩＣソケット２は、吸着ハンド２０の旋
回軌道の直下に配置される。ＩＣ１がＩＣソケット２に
接続された状態において、ＩＣ１とＩＣテスタ３０Ｂと
が電気的に接続される。
電気的特性を測定するＩＣテストシステムは、オートハ
ンドラとＩＣテスタ（テスタ）とを接続して構成され
る。従来のＩＣテストシステムは、例えば、図３に示す
ように、オートハンドラ３０Ａ側に吸着ハンド２０を有
し、ＩＣテスタ３０Ｂ側にＩＣソケット（ソケット）２
や位置決めガイド（案内手段）３を有している。吸着ハ
ンド２０は回転機構部２７に取り付けられる。吸着ハン
ド２０は回転機構部２７により鉛直線を軸心とする回転
方向に回転自在に保持されると共に、鉛直方向に直動自
在に保持される。即ち、吸着ハンド２０は正面視略Ｌ字
状のアングル２１の水平板に取り付けられ、アングル２
１は直動ガイド２８に沿って鉛直方向に摺動自在に保持
される。直動ガイド２８は回転ベース２２の外側面に設
けられる。回転ベース２２は軸線を鉛直方向とする回転
ベアリング２６により基部２３に対して回転自在に保持
される。また、基部２３の外周面にはカム溝２４が形成
される。カム溝２４に沿って摺動自在なカムフォロア２
５がアングル２１に接続される。図４に示すように、吸
着ハンド２０はＩＣ１を吸着する吸着部（吸着手段）７
を備えると共に、位置決めガイド３と係合するガイドピ
ン８を備える。ＩＣソケット２は、吸着ハンド２０の旋
回軌道の直下に配置される。ＩＣ１がＩＣソケット２に
接続された状態において、ＩＣ１とＩＣテスタ３０Ｂと
が電気的に接続される。
【０００３】次に、上記吸着ハンド２０の動作を説明す
る。
る。
【０００４】図３に示すように、吸着ハンド２０は供給
・収容位置でキャリア２９内のＩＣ１を吸着した後、回
転ベース２２上で回転し、吸着したＩＣ１をＩＣソケッ
ト２と対向する位置に移送する。次に、吸着ハンド２０
は、図示省略のハンド押さえの押圧により、下降して、
吸着したＩＣ１をＩＣソケット２に押し付け、ＩＣ１を
ＩＣソケット２に接続させる。その際に、吸着ハンド２
０のガイドピン８が位置決めガイド３に案内されて、吸
着ハンド２０がＩＣソケット２に対して位置決めされ
る。ＩＣ１がＩＣソケット２に接続された状態におい
て、ＩＣテスタ３０ＢによりＩＣ１の電気的特性が測定
され、測定が完了したら、吸着ハンド２０は上昇し、測
定済みのＩＣ１をＩＣソケット２から離脱させる。次に
吸着ハンド２０は回転ベース２２上で回転し、測定済み
のＩＣ１をキャリア２９に移送してＩＣ１をキャリア２
９に引き渡す。その後、吸着ハンド２０は、次に測定す
るＩＣ１を再び供給・収容位置で吸着し、上記一連の動
作を繰り返す。
・収容位置でキャリア２９内のＩＣ１を吸着した後、回
転ベース２２上で回転し、吸着したＩＣ１をＩＣソケッ
ト２と対向する位置に移送する。次に、吸着ハンド２０
は、図示省略のハンド押さえの押圧により、下降して、
吸着したＩＣ１をＩＣソケット２に押し付け、ＩＣ１を
ＩＣソケット２に接続させる。その際に、吸着ハンド２
０のガイドピン８が位置決めガイド３に案内されて、吸
着ハンド２０がＩＣソケット２に対して位置決めされ
る。ＩＣ１がＩＣソケット２に接続された状態におい
て、ＩＣテスタ３０ＢによりＩＣ１の電気的特性が測定
され、測定が完了したら、吸着ハンド２０は上昇し、測
定済みのＩＣ１をＩＣソケット２から離脱させる。次に
吸着ハンド２０は回転ベース２２上で回転し、測定済み
のＩＣ１をキャリア２９に移送してＩＣ１をキャリア２
９に引き渡す。その後、吸着ハンド２０は、次に測定す
るＩＣ１を再び供給・収容位置で吸着し、上記一連の動
作を繰り返す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のＩＣテストシステムでは、吸着ハンド２０がオート
ハンドラ３０Ａ側に設けられ、ＩＣソケット２がＩＣテ
スタ３０Ｂ側に設けられていたため、オートハンドラ３
０ＡとＩＣテスタ３０Ｂとを接続する度に、ＩＣソケッ
ト２に対して吸着ハンド２０を正確に位置決めしなけれ
ばならず、その調整作業には、非常に時間がかかるとい
う問題点がある。例えば、ＩＣソケット２に対する吸着
ハンド２０の位置に僅かでもずれがある場合には、吸着
ハンド２０のガイドピン８を位置決めガイド３に挿入す
るときに、ガイドピン８が位置決めガイド３に阻止さ
れ、ＩＣ１をＩＣソケット２に接続させることができな
いといった不具合を生じる。
来のＩＣテストシステムでは、吸着ハンド２０がオート
ハンドラ３０Ａ側に設けられ、ＩＣソケット２がＩＣテ
スタ３０Ｂ側に設けられていたため、オートハンドラ３
０ＡとＩＣテスタ３０Ｂとを接続する度に、ＩＣソケッ
ト２に対して吸着ハンド２０を正確に位置決めしなけれ
ばならず、その調整作業には、非常に時間がかかるとい
う問題点がある。例えば、ＩＣソケット２に対する吸着
ハンド２０の位置に僅かでもずれがある場合には、吸着
ハンド２０のガイドピン８を位置決めガイド３に挿入す
るときに、ガイドピン８が位置決めガイド３に阻止さ
れ、ＩＣ１をＩＣソケット２に接続させることができな
いといった不具合を生じる。
【０００６】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたもので、測定部における吸着ハンドを時間をかけ
て位置調整しなくとも、被測定デバイスをソケットに確
実に接続できるオートハンドラ用ハンドを提供すること
を目的とする。
されたもので、測定部における吸着ハンドを時間をかけ
て位置調整しなくとも、被測定デバイスをソケットに確
実に接続できるオートハンドラ用ハンドを提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、例えば、図１に示すよう
に、被測定デバイス（例えば、ＩＣ１など）をテスタ
（ＩＣテスタ）に接続するソケット（例えば、ＩＣソケ
ット２など）と、被測定デバイスを着脱する吸着手段
（例えば、吸着部７など）を有し、前記吸着手段で保持
する被測定デバイスを前記ソケットに移送すると共に、
前記ソケットに移送した被測定デバイスを前記ソケット
に押し付けることにより被測定デバイスを前記ソケット
に接続させるハンド（４）と、前記ハンドを前記ソケッ
トに向けて案内する案内手段（例えば、位置決めガイド
３など）とを備えるＩＣテストシステムであって、前記
ハンドは、前記吸着手段を有し、前記案内手段により案
内されるハンド本体（５）と、前記ハンド本体を支持す
る支持部（６）とを備え、前記ハンド本体は、係合部
（例えば、係合板９など）を有する一方、前記支持部
は、前記係合部と係合可能な被係合部（例えば、フラン
ジ部１１など）を有し、前記ソケットに被測定デバイス
を押し付ける方向と反対方向の力が前記ハンド本体に作
用したときに、前記係合部と前記被係合部とが遊動自在
に係合する構成とした。
め、請求項１記載の発明は、例えば、図１に示すよう
に、被測定デバイス（例えば、ＩＣ１など）をテスタ
（ＩＣテスタ）に接続するソケット（例えば、ＩＣソケ
ット２など）と、被測定デバイスを着脱する吸着手段
（例えば、吸着部７など）を有し、前記吸着手段で保持
する被測定デバイスを前記ソケットに移送すると共に、
前記ソケットに移送した被測定デバイスを前記ソケット
に押し付けることにより被測定デバイスを前記ソケット
に接続させるハンド（４）と、前記ハンドを前記ソケッ
トに向けて案内する案内手段（例えば、位置決めガイド
３など）とを備えるＩＣテストシステムであって、前記
ハンドは、前記吸着手段を有し、前記案内手段により案
内されるハンド本体（５）と、前記ハンド本体を支持す
る支持部（６）とを備え、前記ハンド本体は、係合部
（例えば、係合板９など）を有する一方、前記支持部
は、前記係合部と係合可能な被係合部（例えば、フラン
ジ部１１など）を有し、前記ソケットに被測定デバイス
を押し付ける方向と反対方向の力が前記ハンド本体に作
用したときに、前記係合部と前記被係合部とが遊動自在
に係合する構成とした。
【０００８】請求項１記載の発明によれば、ソケットに
被測定デバイスを押し付ける方向と反対方向の力がハン
ド本体に作用したときに、係合部と被係合部とが遊動自
在に係合する構成としたので、例えば、ソケットに対す
るハンドの位置に多少のずれがあっても、ハンド本体が
案内手段により円滑に案内される。即ち、ハンド本体が
案内手段に阻止されるときには、ハンド本体と案内手段
との間に生じる抵抗により、前記押し付け方向と反対方
向の力がハンド本体に作用して、係合部と被係合部とが
離間し、係合部と被係合部との間に隙間が形成される。
その結果、支持部に対してハンド本体が移動可能とな
り、前記阻止が解消される。従って、ハンドを時間をか
けて位置調整しなくとも、被測定デバイスをソケットに
確実に接続できる。
被測定デバイスを押し付ける方向と反対方向の力がハン
ド本体に作用したときに、係合部と被係合部とが遊動自
在に係合する構成としたので、例えば、ソケットに対す
るハンドの位置に多少のずれがあっても、ハンド本体が
案内手段により円滑に案内される。即ち、ハンド本体が
案内手段に阻止されるときには、ハンド本体と案内手段
との間に生じる抵抗により、前記押し付け方向と反対方
向の力がハンド本体に作用して、係合部と被係合部とが
離間し、係合部と被係合部との間に隙間が形成される。
その結果、支持部に対してハンド本体が移動可能とな
り、前記阻止が解消される。従って、ハンドを時間をか
けて位置調整しなくとも、被測定デバイスをソケットに
確実に接続できる。
【０００９】例えば、上記係合部と上記被係合部の中、
一方は、貫通孔（１０）を有する係合板（９）により構
成され、他方は、前記貫通孔を介して係合板を貫通する
シャフト（１２）の先端に設けられるフランジ部（１
１）により構成される。
一方は、貫通孔（１０）を有する係合板（９）により構
成され、他方は、前記貫通孔を介して係合板を貫通する
シャフト（１２）の先端に設けられるフランジ部（１
１）により構成される。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載のオ
ートハンドラ用ハンドにおいて、例えば、図１に示すよ
うに、前記支持部と前記ハンド本体との間に伸縮自在な
弾性部材（例えば、圧縮コイルばね１４など）を介装
し、前記押し付ける方向と逆の方向に前記ハンド本体に
力が付勢される構成とした。
ートハンドラ用ハンドにおいて、例えば、図１に示すよ
うに、前記支持部と前記ハンド本体との間に伸縮自在な
弾性部材（例えば、圧縮コイルばね１４など）を介装
し、前記押し付ける方向と逆の方向に前記ハンド本体に
力が付勢される構成とした。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、前記押し付
け方向に伸縮自在な弾性部材を支持部とハンド本体との
間に介装したので、係合部と被係合部とが離間した状態
においても、弾性部材により支持部とハンド本体との初
期の状態が復帰できる。
け方向に伸縮自在な弾性部材を支持部とハンド本体との
間に介装したので、係合部と被係合部とが離間した状態
においても、弾性部材により支持部とハンド本体との初
期の状態が復帰できる。
【００１２】請求項３記載の発明は、例えば、図１に示
すように、被測定デバイス（例えば、ＩＣ１など）をテ
スタ（ＩＣテスタ）に接続するソケット（例えば、ＩＣ
ソケット２など）と、被測定デバイスを着脱する吸着手
段（例えば、吸着部７など）を有し、前記吸着手段で保
持する被測定デバイスを前記ソケットに移送すると共
に、前記ソケットに移送した被測定デバイスを前記ソケ
ットに押し付けることにより被測定デバイスを前記ソケ
ットに接続させるハンド（４）と、前記ハンドを前記ソ
ケットに向けて案内する案内手段（例えば、位置決めガ
イド３など）とを備えるＩＣテストシステムにおいて、
前記ハンドは、前記吸着手段を有し、前記案内手段によ
り案内されるハンド本体（５）と、前記ハンド本体を支
持する支持部（６）とを備え、前記ハンド本体と前記支
持部とが弾性部材（例えば、圧縮コイルばね１４など）
を介して連結する構成とした。
すように、被測定デバイス（例えば、ＩＣ１など）をテ
スタ（ＩＣテスタ）に接続するソケット（例えば、ＩＣ
ソケット２など）と、被測定デバイスを着脱する吸着手
段（例えば、吸着部７など）を有し、前記吸着手段で保
持する被測定デバイスを前記ソケットに移送すると共
に、前記ソケットに移送した被測定デバイスを前記ソケ
ットに押し付けることにより被測定デバイスを前記ソケ
ットに接続させるハンド（４）と、前記ハンドを前記ソ
ケットに向けて案内する案内手段（例えば、位置決めガ
イド３など）とを備えるＩＣテストシステムにおいて、
前記ハンドは、前記吸着手段を有し、前記案内手段によ
り案内されるハンド本体（５）と、前記ハンド本体を支
持する支持部（６）とを備え、前記ハンド本体と前記支
持部とが弾性部材（例えば、圧縮コイルばね１４など）
を介して連結する構成とした。
【００１３】請求項３記載の発明によれば、弾性部材を
介して支持部とハンド本体とを連結したので、例えば、
案内手段がハンド本体を案内するときに、ソケットに対
するハンドの位置に多少のずれがあって、ハンド本体が
案内手段に阻止されたとしても、弾性部材の変形により
前記阻止を解消する方向にハンド本体が移動されて、被
測定デバイスをソケットに接続できる。従って、ハンド
を時間をかけて位置調整しなくとも、被測定デバイスを
ソケットに確実に接続できる。
介して支持部とハンド本体とを連結したので、例えば、
案内手段がハンド本体を案内するときに、ソケットに対
するハンドの位置に多少のずれがあって、ハンド本体が
案内手段に阻止されたとしても、弾性部材の変形により
前記阻止を解消する方向にハンド本体が移動されて、被
測定デバイスをソケットに接続できる。従って、ハンド
を時間をかけて位置調整しなくとも、被測定デバイスを
ソケットに確実に接続できる。
【００１４】具体的には、弾性部材として、例えば、前
記押し付け方向に伸縮自在な圧縮コイルばねなどが挙げ
られる。
記押し付け方向に伸縮自在な圧縮コイルばねなどが挙げ
られる。
【００１５】請求項４記載の発明は、請求項２又は３に
記載のオートハンドラ用ハンドにおいて、例えば、図１
に示すように、前記弾性部材は前記押し付け方向に伸縮
自在である一方、前記ハンド本体は、前記支持部に対し
て前記押し付け方向に移動可能に保持され、前記支持部
は、前記弾性部材が所要量圧縮されたときに前記ハンド
本体に当接する当接部（例えば、上板１３など）を有
し、該当接部が前記ハンド本体に当接した状態におい
て、前記当接部から前記ハンド本体に押圧力を伝達でき
る構成とした。
記載のオートハンドラ用ハンドにおいて、例えば、図１
に示すように、前記弾性部材は前記押し付け方向に伸縮
自在である一方、前記ハンド本体は、前記支持部に対し
て前記押し付け方向に移動可能に保持され、前記支持部
は、前記弾性部材が所要量圧縮されたときに前記ハンド
本体に当接する当接部（例えば、上板１３など）を有
し、該当接部が前記ハンド本体に当接した状態におい
て、前記当接部から前記ハンド本体に押圧力を伝達でき
る構成とした。
【００１６】請求項４記載の発明によれば、弾性部材が
圧縮されて当接部がハンド本体に当接した状態におい
て、当接部からハンド本体に押圧力が伝達される。つま
り、弾性部材の押圧力以上の力を支持部からハンド本体
に伝達できる。
圧縮されて当接部がハンド本体に当接した状態におい
て、当接部からハンド本体に押圧力が伝達される。つま
り、弾性部材の押圧力以上の力を支持部からハンド本体
に伝達できる。
【００１７】請求項５記載の発明は、請求項４記載のオ
ートハンドラ用ハンドにおいて、例えば、図１に示すよ
うに、前記ハンド本体は、前記当接部に当接可能な当接
ブロック（１５）を有し、前記当接部に対向する前記当
接ブロックの端面又は前記当接ブロックに対向する前記
当接部の端面を略球面状に突出した状態に形成する構成
とした。
ートハンドラ用ハンドにおいて、例えば、図１に示すよ
うに、前記ハンド本体は、前記当接部に当接可能な当接
ブロック（１５）を有し、前記当接部に対向する前記当
接ブロックの端面又は前記当接ブロックに対向する前記
当接部の端面を略球面状に突出した状態に形成する構成
とした。
【００１８】請求項５記載の発明によれば、当接部に対
向する当接ブロックの端面又は当接ブロックに対向する
当接部の端面は、略球面状に突出するように形成されて
いるので、支持部とハンド本体とが点接触する。従っ
て、支持部とハンド本体とが当接した状態において、ハ
ンド本体の水平方向の移動が自在となる。
向する当接ブロックの端面又は当接ブロックに対向する
当接部の端面は、略球面状に突出するように形成されて
いるので、支持部とハンド本体とが点接触する。従っ
て、支持部とハンド本体とが当接した状態において、ハ
ンド本体の水平方向の移動が自在となる。
【００１９】請求項６記載の発明は、請求項１又は２に
記載のオートハンドラ用ハンドにおいて、例えば、図１
に示すように、前記係合部と前記被係合部の内、一方は
貫通孔（１０）を有する係合板（９）により構成され、
他方は前記貫通孔を介して前記係合板を貫通し、先端に
フランジ部（１１）を形成するシャフト（１２）により
構成され、前記フランジ部には、前記係合板と近接する
方向に向けて外径が小さくなるように傾斜面が形成さ
れ、前記貫通孔の内周面は前記フランジ部と密着する傾
斜面が形成される構成とした。
記載のオートハンドラ用ハンドにおいて、例えば、図１
に示すように、前記係合部と前記被係合部の内、一方は
貫通孔（１０）を有する係合板（９）により構成され、
他方は前記貫通孔を介して前記係合板を貫通し、先端に
フランジ部（１１）を形成するシャフト（１２）により
構成され、前記フランジ部には、前記係合板と近接する
方向に向けて外径が小さくなるように傾斜面が形成さ
れ、前記貫通孔の内周面は前記フランジ部と密着する傾
斜面が形成される構成とした。
【００２０】請求項６記載の発明によれば、フランジ部
には、係合板と近接する方向に向けて外径が小さくなる
ように傾斜面が形成され、係合板の貫通孔の内周面に
は、フランジ部と密着する傾斜面が形成されているの
で、ハンド本体が遊動自在の状態から初期の状態に現状
復帰できる。
には、係合板と近接する方向に向けて外径が小さくなる
ように傾斜面が形成され、係合板の貫通孔の内周面に
は、フランジ部と密着する傾斜面が形成されているの
で、ハンド本体が遊動自在の状態から初期の状態に現状
復帰できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１及び図２の図面を参照しながら説明する。
て、図１及び図２の図面を参照しながら説明する。
【００２２】図１は本発明を適用した一例としてのＩＣ
テストシステムに備わる測定部を示す図で、図１（ａ）
は側面図、図１（ｂ）は平面図、図１（ｃ）は縦断面図
である。図２は、図１のハンドが位置決めガイドにより
案内されるときの状態を示す縦断面図である。
テストシステムに備わる測定部を示す図で、図１（ａ）
は側面図、図１（ｂ）は平面図、図１（ｃ）は縦断面図
である。図２は、図１のハンドが位置決めガイドにより
案内されるときの状態を示す縦断面図である。
【００２３】ＩＣテストシステムは、オートハンドラ側
にハンド４を有し、ＩＣテスタ（テスタ）側にＩＣソケ
ット（ソケット）２や位置決めガイド（案内手段）３を
有している。ハンド４は回転機構部（図３参照）に取り
付けられ、回転機構部により鉛直線を軸心とする回転方
向に回転自在に保持されると共に、鉛直方向に直動自在
に保持される。ハンド４は、ハンド本体５と、ハンド本
体５を支持する支持部６とにより概略構成される。ハン
ド４はＩＣの品種により他のハンドと交換できる。
にハンド４を有し、ＩＣテスタ（テスタ）側にＩＣソケ
ット（ソケット）２や位置決めガイド（案内手段）３を
有している。ハンド４は回転機構部（図３参照）に取り
付けられ、回転機構部により鉛直線を軸心とする回転方
向に回転自在に保持されると共に、鉛直方向に直動自在
に保持される。ハンド４は、ハンド本体５と、ハンド本
体５を支持する支持部６とにより概略構成される。ハン
ド４はＩＣの品種により他のハンドと交換できる。
【００２４】図１に示すように、ハンド本体５は、その
下端中央に、ＩＣ１（被測定デバイス）を吸着する吸着
部（吸着手段）７を有し、吸着部７を挟んで両側に、位
置決めガイド３と係合するガイドピン８を有している。
図１（ｃ）に示すように、吸着部７は下方向に突出する
形で設けられ、その先端中央には、吸着パッド７ａが配
置される。吸着パッド７ａは、吸着ノズル７ｂの先端に
取り付けられ、吸着ノズル７ｂは、チューブ７ｃを介し
て真空ポンプ（図示省略）に接続される。即ち、吸着パ
ッド７ａをＩＣ１の上面に当接させた状態で、真空ポン
プが空気を吸引することにより、ＩＣ１が吸着パッド７
ａに吸着される。また、吸着部７の端面は、ＩＣ１の上
面とほぼ同じ形状とされ、吸着パッド７ａで吸着するＩ
Ｃ１の上面全体をＩＣソケット２に向けて均等な力で押
し付けることができる。
下端中央に、ＩＣ１（被測定デバイス）を吸着する吸着
部（吸着手段）７を有し、吸着部７を挟んで両側に、位
置決めガイド３と係合するガイドピン８を有している。
図１（ｃ）に示すように、吸着部７は下方向に突出する
形で設けられ、その先端中央には、吸着パッド７ａが配
置される。吸着パッド７ａは、吸着ノズル７ｂの先端に
取り付けられ、吸着ノズル７ｂは、チューブ７ｃを介し
て真空ポンプ（図示省略）に接続される。即ち、吸着パ
ッド７ａをＩＣ１の上面に当接させた状態で、真空ポン
プが空気を吸引することにより、ＩＣ１が吸着パッド７
ａに吸着される。また、吸着部７の端面は、ＩＣ１の上
面とほぼ同じ形状とされ、吸着パッド７ａで吸着するＩ
Ｃ１の上面全体をＩＣソケット２に向けて均等な力で押
し付けることができる。
【００２５】また、ハンド本体５は、その上端に、支持
部６のフランジ部（被係合部）１１と係合可能な係合板
（係合部）９を有し、係合板９の上面中央に、当接ブロ
ック１５を有している。係合板９は、その四隅部に貫通
孔１０を形成する。貫通孔１０の内周面には、フランジ
部１１と近接する方向（下方向）に向けて内径が大きく
なるように傾斜面が形成されている。当接ブロック１５
は、その上端面が略球面状に突出した状態に形成され、
支持部６の上板（当接部）１３と点接触する。即ち、当
接ブロック１５と上板１３とが当接した状態において、
ハンド本体５の水平方向の移動が自在となる。
部６のフランジ部（被係合部）１１と係合可能な係合板
（係合部）９を有し、係合板９の上面中央に、当接ブロ
ック１５を有している。係合板９は、その四隅部に貫通
孔１０を形成する。貫通孔１０の内周面には、フランジ
部１１と近接する方向（下方向）に向けて内径が大きく
なるように傾斜面が形成されている。当接ブロック１５
は、その上端面が略球面状に突出した状態に形成され、
支持部６の上板（当接部）１３と点接触する。即ち、当
接ブロック１５と上板１３とが当接した状態において、
ハンド本体５の水平方向の移動が自在となる。
【００２６】支持部６は、上板１３とシャフト１２など
により構成される。図３のアングルに、上板１３が取り
付けられ、上板１３の下面四隅部には、鉛直下方向に向
けてシャフト１２が下設される。各シャフト１２は、貫
通孔１０を介して係合板９を貫通した状態に設けられ、
各シャフト１２の先端には、係合板９と係合可能なフラ
ンジ部１１が形成される。フランジ部１１は、係合板９
と近接する方向（上方向）に向けて外径が小さく、貫通
孔１０の内壁と密着する傾斜面が形成される。また、シ
ャフト１２の軸部外径は、貫通孔１０の上側開口部にお
ける内径よりも小さく設定されている。そのため、係合
板９とフランジ部１１との係合が解除された状態におい
て、図２に示すように、支持部６に対してハンド本体５
の水平方向の移動を自在にできる。また、上板１３と係
合板９と間には、上板１３から係合板９を離間する方向
に力を付勢する弾性部材となる圧縮コイルばね（以下ば
ねと略称する）１４が各シャフト１２に巻回された状態
で配置される。
により構成される。図３のアングルに、上板１３が取り
付けられ、上板１３の下面四隅部には、鉛直下方向に向
けてシャフト１２が下設される。各シャフト１２は、貫
通孔１０を介して係合板９を貫通した状態に設けられ、
各シャフト１２の先端には、係合板９と係合可能なフラ
ンジ部１１が形成される。フランジ部１１は、係合板９
と近接する方向（上方向）に向けて外径が小さく、貫通
孔１０の内壁と密着する傾斜面が形成される。また、シ
ャフト１２の軸部外径は、貫通孔１０の上側開口部にお
ける内径よりも小さく設定されている。そのため、係合
板９とフランジ部１１との係合が解除された状態におい
て、図２に示すように、支持部６に対してハンド本体５
の水平方向の移動を自在にできる。また、上板１３と係
合板９と間には、上板１３から係合板９を離間する方向
に力を付勢する弾性部材となる圧縮コイルばね（以下ば
ねと略称する）１４が各シャフト１２に巻回された状態
で配置される。
【００２７】つまり、図１（ｃ）に示すように、常時
は、ハンド本体５の自重とばね１４による付勢力によ
り、フランジ部１１と係合板９の貫通孔１０が密着した
状態となっている。一方、例えば、ＩＣ１をＩＣソケッ
ト２に押し付けるときや、ガイドピン８が位置決めガイ
ド３に動きを阻止されたときなどには、前記押し付け方
向と反対方向の力がハンド本体５に作用して、図２に示
すように、係合板９とフランジ部１１との結合が解除さ
れ、ハンド本体５は遊動自在となる。また、ばね１４が
所要量圧縮されたところで、当接ブロック１５と上板１
３とが当接する。
は、ハンド本体５の自重とばね１４による付勢力によ
り、フランジ部１１と係合板９の貫通孔１０が密着した
状態となっている。一方、例えば、ＩＣ１をＩＣソケッ
ト２に押し付けるときや、ガイドピン８が位置決めガイ
ド３に動きを阻止されたときなどには、前記押し付け方
向と反対方向の力がハンド本体５に作用して、図２に示
すように、係合板９とフランジ部１１との結合が解除さ
れ、ハンド本体５は遊動自在となる。また、ばね１４が
所要量圧縮されたところで、当接ブロック１５と上板１
３とが当接する。
【００２８】ＩＣソケット２は、ハンド４の旋回軌道の
直下に配置される。ＩＣソケット２は、上方が開口した
中空部を有し、その中空部内には、ＩＣ１のリードに接
触してＩＣ１とＩＣテスタとの間の電気的に接続する複
数の接触子を備える。また、ＩＣソケット２を挟んで両
側には、ガイドピン８を挿入することにより、ハンド本
体５をＩＣソケット２に向けて案内する位置決めガイド
３（案内手段）が設けられている。
直下に配置される。ＩＣソケット２は、上方が開口した
中空部を有し、その中空部内には、ＩＣ１のリードに接
触してＩＣ１とＩＣテスタとの間の電気的に接続する複
数の接触子を備える。また、ＩＣソケット２を挟んで両
側には、ガイドピン８を挿入することにより、ハンド本
体５をＩＣソケット２に向けて案内する位置決めガイド
３（案内手段）が設けられている。
【００２９】次に、上記ハンド４の動作を説明する。
【００３０】先ず、ハンド４は、キャリアで搬送された
ＩＣ１を吸着した後、回転ベース上で回転し、吸着した
ＩＣ１をＩＣソケット２と対向する位置に移送する。こ
のとき、係合板９とフランジ部１１とは、図１（ｃ）に
示すように、密着した状態となっている。
ＩＣ１を吸着した後、回転ベース上で回転し、吸着した
ＩＣ１をＩＣソケット２と対向する位置に移送する。こ
のとき、係合板９とフランジ部１１とは、図１（ｃ）に
示すように、密着した状態となっている。
【００３１】次に、ハンド４は、図示省略のハンド押さ
えの押圧により、下降する。その際に、ハンド４のガイ
ドピン８が位置決めガイド３に挿入されて、ハンド本体
５が位置決めガイド３により案内される。ここで、例え
ば、ＩＣソケット２に対するハンド４の位置に僅かなず
れがあって、ガイドピン８が位置決めガイド３に阻止さ
れるときには、ガイドピン８と位置決めガイド３との間
に生じる抵抗により、前記押し付け方向と反対方向（上
方向）の力がハンド本体５に作用して、図２に示すよう
に、ばね１４が圧縮されると共に、係合板９がフランジ
部１１から離間して、フランジ部１１及びシャフト１２
の外周面と貫通孔１０の内周面との間に隙間ができる。
その結果、支持部６に対してハンド本体５は遊動自在と
なり、ガイドピン８が位置決めガイド３の穴に入る。
えの押圧により、下降する。その際に、ハンド４のガイ
ドピン８が位置決めガイド３に挿入されて、ハンド本体
５が位置決めガイド３により案内される。ここで、例え
ば、ＩＣソケット２に対するハンド４の位置に僅かなず
れがあって、ガイドピン８が位置決めガイド３に阻止さ
れるときには、ガイドピン８と位置決めガイド３との間
に生じる抵抗により、前記押し付け方向と反対方向（上
方向）の力がハンド本体５に作用して、図２に示すよう
に、ばね１４が圧縮されると共に、係合板９がフランジ
部１１から離間して、フランジ部１１及びシャフト１２
の外周面と貫通孔１０の内周面との間に隙間ができる。
その結果、支持部６に対してハンド本体５は遊動自在と
なり、ガイドピン８が位置決めガイド３の穴に入る。
【００３２】その後、ハンド４はＩＣ１をＩＣソケット
２に押し付け、ＩＣ１をＩＣソケット２に接続させる。
このとき、係合板９とフランジ部１１とが離間して、当
接ブロック１５と上板１３とが点接触し、該当接点から
ハンド本体５に押圧力が伝達される。なお、図１では当
接ブロック１５が上板１３に点接触しているが、当接ブ
ロック１５を上板１３に取り付け、当接ブロック１５が
係合板９に点接触する構成でもよい。
２に押し付け、ＩＣ１をＩＣソケット２に接続させる。
このとき、係合板９とフランジ部１１とが離間して、当
接ブロック１５と上板１３とが点接触し、該当接点から
ハンド本体５に押圧力が伝達される。なお、図１では当
接ブロック１５が上板１３に点接触しているが、当接ブ
ロック１５を上板１３に取り付け、当接ブロック１５が
係合板９に点接触する構成でもよい。
【００３３】ＩＣ１の電気的特性の測定が完了したら、
ハンド４は、上昇して、測定済みのＩＣ１をＩＣソケッ
ト２から離脱させる。このとき、ばね１４が伸張して、
係合板９とフランジ部１１とが再び係合する。なお、フ
ランジ部１１には、係合板９と近接する方向に向けて外
径が小さくなるように傾斜面が形成された、いわゆる円
錐体であり、一方、係合板９の貫通孔１０の内周面は、
フランジ部１１と近接する方向に向けて前記円錐体の密
着する円錐面が形成されているので、支持部６に対して
ハンド本体５が初期の状態（ＩＣソケット２に押圧する
前の状態）に現状復帰する。その後、ハンド４は、回転
ベース上で回転し、測定済みのＩＣ１をキャリアに移送
して、ＩＣ１をキャリアに引き渡す。そして、ハンド４
は、次に測定するＩＣ１をキャリアより受け取り、上記
一連の動作を繰り返す。
ハンド４は、上昇して、測定済みのＩＣ１をＩＣソケッ
ト２から離脱させる。このとき、ばね１４が伸張して、
係合板９とフランジ部１１とが再び係合する。なお、フ
ランジ部１１には、係合板９と近接する方向に向けて外
径が小さくなるように傾斜面が形成された、いわゆる円
錐体であり、一方、係合板９の貫通孔１０の内周面は、
フランジ部１１と近接する方向に向けて前記円錐体の密
着する円錐面が形成されているので、支持部６に対して
ハンド本体５が初期の状態（ＩＣソケット２に押圧する
前の状態）に現状復帰する。その後、ハンド４は、回転
ベース上で回転し、測定済みのＩＣ１をキャリアに移送
して、ＩＣ１をキャリアに引き渡す。そして、ハンド４
は、次に測定するＩＣ１をキャリアより受け取り、上記
一連の動作を繰り返す。
【００３４】以上のように、この実施の形態のオートハ
ンドラ用ハンドによれば、ＩＣ１をＩＣソケット２に押
し付ける方向と反対方向の力がハンド本体５に作用した
ときに、係合板（係合部）９とフランジ部（被係合部）
１１とが遊動自在に係合する構成としたので、例えば、
ＩＣソケット２に対するハンド４の位置に多少のずれが
あっても、ガイドピン８が位置決めガイド３に円滑に挿
入される。従って、ハンド４を時間をかけて位置調整し
なくとも、ＩＣ１をＩＣソケット２に確実に接続でき
る。
ンドラ用ハンドによれば、ＩＣ１をＩＣソケット２に押
し付ける方向と反対方向の力がハンド本体５に作用した
ときに、係合板（係合部）９とフランジ部（被係合部）
１１とが遊動自在に係合する構成としたので、例えば、
ＩＣソケット２に対するハンド４の位置に多少のずれが
あっても、ガイドピン８が位置決めガイド３に円滑に挿
入される。従って、ハンド４を時間をかけて位置調整し
なくとも、ＩＣ１をＩＣソケット２に確実に接続でき
る。
【００３５】なお、本発明は、この実施の形態のオート
ハンドラ用ハンドに限定されるものではなく、その他の
装置に適用することも可能である。また、この実施の形
態では、支持部側にフランジ部を設け、ハンド本体側に
係合板を設けるようにしたが、ハンド本体側にフランジ
部を設け、支持部側に係合板を設けることも可能であ
る。また、弾性部材の種類や取付位置、或いは吸着手段
の構造など、その他、具体的な細部構造等についても本
発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更可能であるこ
とは勿論である。
ハンドラ用ハンドに限定されるものではなく、その他の
装置に適用することも可能である。また、この実施の形
態では、支持部側にフランジ部を設け、ハンド本体側に
係合板を設けるようにしたが、ハンド本体側にフランジ
部を設け、支持部側に係合板を設けることも可能であ
る。また、弾性部材の種類や取付位置、或いは吸着手段
の構造など、その他、具体的な細部構造等についても本
発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更可能であるこ
とは勿論である。
【００３６】
【発明の効果】本発明に係るオートハンドラ用ハンドに
よれば、被測定デバイスをソケットに押し付ける方向と
反対方向の力がハンド本体に作用したときに、係合部と
被係合部とが遊動自在に係合する構成としたので、例え
ば、ソケットに対するハンドの位置に多少のずれがあっ
ても、ハンド本体が案内手段により円滑に案内される。
したがって、ハンドを時間をかけて位置調整しなくと
も、被測定デバイスをソケットに確実に接続できる。
よれば、被測定デバイスをソケットに押し付ける方向と
反対方向の力がハンド本体に作用したときに、係合部と
被係合部とが遊動自在に係合する構成としたので、例え
ば、ソケットに対するハンドの位置に多少のずれがあっ
ても、ハンド本体が案内手段により円滑に案内される。
したがって、ハンドを時間をかけて位置調整しなくと
も、被測定デバイスをソケットに確実に接続できる。
【図１】本発明を適用した一例としてのオートハンドラ
に備わるハンドを示す図である。
に備わるハンドを示す図である。
【図２】図１の状態変化図である。
【図３】従来のオートハンドラ用ハンドの要部構成図で
ある。
ある。
【図４】図３のオートハンドラに備わるハンドを示す図
である。
である。
１ ＩＣ（被測定デバイス） ２ ＩＣソケット（ソケット） ３ 位置決めガイド（案内手段） ４ ハンド ５ ハンド本体 ６ 支持部 ７ 吸着部（吸着手段） ８ ガイドピン ９ 係合板（係合部） １０ 貫通孔 １１ フランジ部（被係合部） １２ シャフト １３ 上板（当接部） １４ 圧縮コイルばね（弾性部材） １５ 当接ブロック
Claims (6)
- 【請求項１】被測定デバイスをテスタに接続するソケッ
トと、 被測定デバイスを着脱する吸着手段を有し、前記吸着手
段で保持する被測定デバイスを前記ソケットに移送する
と共に、前記ソケットに移送した被測定デバイスを前記
ソケットに押し付けることにより被測定デバイスを前記
ソケットに接続させるハンドと、 前記ハンドを前記ソケットに向けて案内する案内手段と
を備えるＩＣテストシステムであって、 前記ハンドは、 前記吸着手段を有し、前記案内手段により案内されるハ
ンド本体と、 前記ハンド本体を支持する支持部とを備え、 前記ハンド本体は、係合部を有する一方、 前記支持部は、前記係合部と係合可能な被係合部を有
し、 前記ソケットに被測定デバイスを押し付ける方向と反対
方向の力が前記ハンド本体に作用したときに、前記係合
部と前記被係合部とが遊動自在に係合することを特徴と
するオートハンドラ用ハンド。 - 【請求項２】前記支持部と前記ハンド本体との間に伸縮
自在な弾性部材を介装し、前記押し付ける方向と逆の方
向に前記ハンド本体に力が付勢されることを特徴とする
請求項１記載のオートハンドラ用ハンド。 - 【請求項３】被測定デバイスをテスタに接続するソケッ
トと、 被測定デバイスを着脱する吸着手段を有し、前記吸着手
段で保持する被測定デバイスを前記ソケットに移送する
と共に、前記ソケットに移送した被測定デバイスを前記
ソケットに押し付けることにより被測定デバイスを前記
ソケットに接続させるハンドと、 前記ハンドを前記ソケットに向けて案内する案内手段と
を備えるＩＣテストシステムであって、 前記ハンドは、 前記吸着手段を有し、前記案内手段により案内されるハ
ンド本体と、 前記ハンド本体を支持する支持部とを備え、 前記ハンド本体と前記支持部とを弾性部材を介して連結
していることを特徴とするオートハンドラ用ハンド。 - 【請求項４】前記弾性部材は前記押し付ける方向に伸縮
自在である一方、 前記ハンド本体は、前記支持部に対して前記押し付ける
方向に移動可能に保持され、 前記支持部は、前記弾性部材が所要量圧縮されたときに
前記ハンド本体に当接する当接部を有し、該当接部が前
記ハンド本体に当接した状態において、前記当接部から
前記ハンド本体に押圧力を伝達することを特徴とする請
求項２又は３に記載のオートハンドラ用ハンド。 - 【請求項５】前記ハンド本体は、前記当接部に当接可能
な当接ブロックを有し、 前記当接部に対向する前記当接ブロックの端面又は前記
当接ブロックに対向する前記当接部の端面を略球面状に
突出した状態に形成することを特徴とする請求項４記載
のオートハンドラ用ハンド。 - 【請求項６】前記係合部と前記被係合部の内、一方は貫
通孔を有する係合板により構成され、他方は前記貫通孔
を介して前記係合板を貫通し、先端にフランジ部を形成
するシャフトにより構成され、 前記フランジ部には、前記係合板と近接する方向に向け
て外径が小さくなるように傾斜面が形成され、 前記貫通孔の内周面は、前記フランジ部と密着する傾斜
面が形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載
のオートハンドラ用ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30737299A JP2001124825A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | オートハンドラ用ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30737299A JP2001124825A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | オートハンドラ用ハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124825A true JP2001124825A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17968280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30737299A Pending JP2001124825A (ja) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | オートハンドラ用ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001124825A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003262660A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-19 | Seiko Epson Corp | 試験装置用ハンド及び試験装置 |
| KR100411298B1 (ko) * | 2002-01-17 | 2003-12-24 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 장착용 포켓 |
| WO2008032396A1 (fr) * | 2006-09-15 | 2008-03-20 | Advantest Corporation | Plateau d'essai et dispositif d'essai de composant électronique ainsi équipé |
| WO2008050443A1 (fr) * | 2006-10-27 | 2008-05-02 | Advantest Corporation | Plateau client et appareil de test de composant électronique |
| KR100942479B1 (ko) | 2007-03-13 | 2010-02-12 | 가부시키가이샤 테섹 | 오토 핸들러 |
-
1999
- 1999-10-28 JP JP30737299A patent/JP2001124825A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100411298B1 (ko) * | 2002-01-17 | 2003-12-24 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 장착용 포켓 |
| JP2003262660A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-19 | Seiko Epson Corp | 試験装置用ハンド及び試験装置 |
| WO2008032396A1 (fr) * | 2006-09-15 | 2008-03-20 | Advantest Corporation | Plateau d'essai et dispositif d'essai de composant électronique ainsi équipé |
| WO2008050443A1 (fr) * | 2006-10-27 | 2008-05-02 | Advantest Corporation | Plateau client et appareil de test de composant électronique |
| KR100942479B1 (ko) | 2007-03-13 | 2010-02-12 | 가부시키가이샤 테섹 | 오토 핸들러 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041001 |