JP2001124640A - トルク検出装置 - Google Patents
トルク検出装置Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
- G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
- G01L3/101—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
- G01L3/105—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving inductive means
Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明は、応答性の高いトルク検出装置を
得る。 【解決手段】 この発明に係わるトルク検出装置は、磁
性素１１〜１３及びヨーク２２ａ〜２２ｄの厚さは、次
式で算出される表皮厚さδの２倍以下である。 【数１】
得る。 【解決手段】 この発明に係わるトルク検出装置は、磁
性素１１〜１３及びヨーク２２ａ〜２２ｄの厚さは、次
式で算出される表皮厚さδの２倍以下である。 【数１】
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、自動車のパワー
ステアリング機構等、回転軸に外力が印加された際のト
ルクを非接触で検出するためのトルク検出装置に関する
ものである。
ステアリング機構等、回転軸に外力が印加された際のト
ルクを非接触で検出するためのトルク検出装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】自動車のパワーステアリング機構におい
ては、パワーアシストの量を決定するために、操舵輪に
加わるトルクを検出する必要がある。このためのトルク
検出装置が例えば特開平６−１７４５６９号公報に開示
されている。この装置の構造を図８に基づいて説明す
る。このトルク検出装置は、ケース４と、操舵輪（図示
せず）が取付けられた第１の軸１及び操舵機構のピニオ
ンギア（図示せず）が取付けられた第２の軸２の中心軸
上に設けられているとともに、第１の軸１と第２の軸２
とを周方向（捩れ方向）に弾性的に接続する弾性部材で
あるトーションバー３と、ケース４と第１の軸１との間
に設けられ第１の軸１を回転自在に支持したベアリング
５と、第１の軸１に固着された非磁性体からなる第１の
スリーブ１４ａと、第２の軸２に固着された非磁性体か
らなる第２のスリーブ１４ｂと、第１のスリーブ１４ａ
に固着された、軟磁性材料からなる第１の磁性素子１１
及び第２の磁性素子１２と、第２のスリーブ１４ｂに固
着された、軟磁性材料からなる第３の磁性素子１３とを
備えている。第１の磁性素子１１には第２の磁性素子１
２に対向した歯部１１ａが形成されている。第２の磁性
素子１２及び第３の磁性素子１３にはそれぞれ互いに対
向して歯部１２ａ及び１３ａが形成されている。
ては、パワーアシストの量を決定するために、操舵輪に
加わるトルクを検出する必要がある。このためのトルク
検出装置が例えば特開平６−１７４５６９号公報に開示
されている。この装置の構造を図８に基づいて説明す
る。このトルク検出装置は、ケース４と、操舵輪（図示
せず）が取付けられた第１の軸１及び操舵機構のピニオ
ンギア（図示せず）が取付けられた第２の軸２の中心軸
上に設けられているとともに、第１の軸１と第２の軸２
とを周方向（捩れ方向）に弾性的に接続する弾性部材で
あるトーションバー３と、ケース４と第１の軸１との間
に設けられ第１の軸１を回転自在に支持したベアリング
５と、第１の軸１に固着された非磁性体からなる第１の
スリーブ１４ａと、第２の軸２に固着された非磁性体か
らなる第２のスリーブ１４ｂと、第１のスリーブ１４ａ
に固着された、軟磁性材料からなる第１の磁性素子１１
及び第２の磁性素子１２と、第２のスリーブ１４ｂに固
着された、軟磁性材料からなる第３の磁性素子１３とを
備えている。第１の磁性素子１１には第２の磁性素子１
２に対向した歯部１１ａが形成されている。第２の磁性
素子１２及び第３の磁性素子１３にはそれぞれ互いに対
向して歯部１２ａ及び１３ａが形成されている。
【０００３】また、トルク検出装置は、第１の磁性素子
１１及び第２の磁性素子１２を周回して設けられた第１
のコイル２１ａと、第１のコイル２１ａの外側を囲むよ
うにしてケース４に固定されているとともに内フランジ
を有する第１のヨーク２２ａと、第２の磁性素子１２及
び第３の磁性素子１３を周回して設けられた第２のコイ
ル２１ｂと、第２のコイル２１ｂの外側を囲むようにし
てケース４に固定されているとともに内フランジを有す
る第２のヨーク２２ｂとを備えている。
１１及び第２の磁性素子１２を周回して設けられた第１
のコイル２１ａと、第１のコイル２１ａの外側を囲むよ
うにしてケース４に固定されているとともに内フランジ
を有する第１のヨーク２２ａと、第２の磁性素子１２及
び第３の磁性素子１３を周回して設けられた第２のコイ
ル２１ｂと、第２のコイル２１ｂの外側を囲むようにし
てケース４に固定されているとともに内フランジを有す
る第２のヨーク２２ｂとを備えている。
【０００４】第１〜第３の磁性素子１１〜１３及び第１
のヨーク２２ａ、第２のヨーク２２ｂは、構造上の強度
を保たせるために、厚さ１〜２ｍｍの金属磁性体、或い
は、厚さ３〜５ｍｍのフェライトで作られる。電気伝導
度の低いフェライトを使用すれば、磁気特性に関して
は、高周波数まで高感度の周波数特性が得られるが、強
度的に脆く、かつ高価なので、量産品への適用が難し
い。従って、通常は、機械的強度が高く、低価格の金属
磁性体である電磁ステンレス鋼が用いられている。
のヨーク２２ａ、第２のヨーク２２ｂは、構造上の強度
を保たせるために、厚さ１〜２ｍｍの金属磁性体、或い
は、厚さ３〜５ｍｍのフェライトで作られる。電気伝導
度の低いフェライトを使用すれば、磁気特性に関して
は、高周波数まで高感度の周波数特性が得られるが、強
度的に脆く、かつ高価なので、量産品への適用が難し
い。従って、通常は、機械的強度が高く、低価格の金属
磁性体である電磁ステンレス鋼が用いられている。
【０００５】次に、上記トルク検出装置の動作について
説明する。第１の軸１に操舵輪からのトルクが印加され
ると、トーションバー３に捻り変形が発生し、第１の軸
１と第２の軸２との間に周方向に相対角度のずれが発生
する。すると、第１のスリーブ１４ａを介して第１の軸
１に固着された第２の磁性素子１２と、第２のスリーブ
１４ｂを介して固着された第３の磁性素子１３との間に
周方向の相対変位が発生し、第２の磁性素子１２の歯部
１２ａと第３の磁性素子１３の歯部１３ａとの対向面積
が変化する。第２のコイル２１ｂに交流駆動電流を流す
ことにより生じた磁束は、ヨーク２２ｂ、第２の磁性素
子１２、第３の磁性素子１３で構成された磁気回路を通
るが、磁路となる、歯部１２ａと歯部１３ａとの対向面
積が変化することで、この磁気回路の磁気抵抗が変化
し、第２のコイル２１ｂのインダクタンスが変化する。
このインダクタンスの変化を検出回路（図示せず）によ
って検出することでトルクが求められる。
説明する。第１の軸１に操舵輪からのトルクが印加され
ると、トーションバー３に捻り変形が発生し、第１の軸
１と第２の軸２との間に周方向に相対角度のずれが発生
する。すると、第１のスリーブ１４ａを介して第１の軸
１に固着された第２の磁性素子１２と、第２のスリーブ
１４ｂを介して固着された第３の磁性素子１３との間に
周方向の相対変位が発生し、第２の磁性素子１２の歯部
１２ａと第３の磁性素子１３の歯部１３ａとの対向面積
が変化する。第２のコイル２１ｂに交流駆動電流を流す
ことにより生じた磁束は、ヨーク２２ｂ、第２の磁性素
子１２、第３の磁性素子１３で構成された磁気回路を通
るが、磁路となる、歯部１２ａと歯部１３ａとの対向面
積が変化することで、この磁気回路の磁気抵抗が変化
し、第２のコイル２１ｂのインダクタンスが変化する。
このインダクタンスの変化を検出回路（図示せず）によ
って検出することでトルクが求められる。
【０００６】第２のコイル２１ｂは、磁性素子やヨーク
に渦電流を発生させるため、渦電流の発生のない、理想
的な磁性素子やヨークを使用したと仮定した場合に比
べ、インダクタンスが低下している。この低下度合い
は、磁性素子やヨークの透磁率が一定で有れば、抵抗率
が低いほど大きい。金属材料の抵抗率は、特殊な場合を
除いて、高温ほど高いので、低温になれば抵抗率が下が
り、渦電流の影響が大きくなる。従って、渦電流の影響
度合いは、温度によって異なるので、温度変動の有る環
境で使用する場合には、温度補償を行う必要がある。第
１の磁性素子１１及び第２の磁性素子１２は、どちらも
第１のスリーブ１４ａを介して第１の軸１に固着されて
いるので、トルクの印加によっても第１の磁性素子１１
と第２の磁性素子１２との間での相対角度は変化せず、
第１の磁性素子１１及び第２の磁性素子１２の中間位置
を周回するように設けられた第１のコイル２１ａのイン
ダクタンスは変化しない。しかし、第２のコイル２１ｂ
と同様に温度変化により第１のコイル２１ａのインダク
タンスは変化するので、第１のコイル２１ａと第２のコ
イル２１ｂとのインダクタンスの差を検出することによ
って、温度に影響されず、トルクだけに比例した出力を
得ることができる。
に渦電流を発生させるため、渦電流の発生のない、理想
的な磁性素子やヨークを使用したと仮定した場合に比
べ、インダクタンスが低下している。この低下度合い
は、磁性素子やヨークの透磁率が一定で有れば、抵抗率
が低いほど大きい。金属材料の抵抗率は、特殊な場合を
除いて、高温ほど高いので、低温になれば抵抗率が下が
り、渦電流の影響が大きくなる。従って、渦電流の影響
度合いは、温度によって異なるので、温度変動の有る環
境で使用する場合には、温度補償を行う必要がある。第
１の磁性素子１１及び第２の磁性素子１２は、どちらも
第１のスリーブ１４ａを介して第１の軸１に固着されて
いるので、トルクの印加によっても第１の磁性素子１１
と第２の磁性素子１２との間での相対角度は変化せず、
第１の磁性素子１１及び第２の磁性素子１２の中間位置
を周回するように設けられた第１のコイル２１ａのイン
ダクタンスは変化しない。しかし、第２のコイル２１ｂ
と同様に温度変化により第１のコイル２１ａのインダク
タンスは変化するので、第１のコイル２１ａと第２のコ
イル２１ｂとのインダクタンスの差を検出することによ
って、温度に影響されず、トルクだけに比例した出力を
得ることができる。
【０００７】ところで、第２のコイル２１ｂに交流駆動
電流を流すことによって第２のコイル２１ｂに発生する
電圧は駆動電流の周波数に同期した交流電圧であり、ト
ルク検出装置からＡＤ変換器への出力は、トルクに比例
した直流電圧、または直流電流にする必要があるので、
交流駆動電流の周波数に同期したリップルを除去し、出
力を滑らかな直流にするためのローパスフィルタが必要
である。第２のコイル２１ｂの駆動周波数は数ｋＨｚ程
度なので、このローパスフィルタの時定数は数百Ｈｚ程
度以下にする必要がある。従って、トルク出力の応答性
は、ローパスフィルタの時定数である数百Ｈｚより速く
することができない。
電流を流すことによって第２のコイル２１ｂに発生する
電圧は駆動電流の周波数に同期した交流電圧であり、ト
ルク検出装置からＡＤ変換器への出力は、トルクに比例
した直流電圧、または直流電流にする必要があるので、
交流駆動電流の周波数に同期したリップルを除去し、出
力を滑らかな直流にするためのローパスフィルタが必要
である。第２のコイル２１ｂの駆動周波数は数ｋＨｚ程
度なので、このローパスフィルタの時定数は数百Ｈｚ程
度以下にする必要がある。従って、トルク出力の応答性
は、ローパスフィルタの時定数である数百Ｈｚより速く
することができない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】近年、自動車のパワー
ステアリング機構においては、応答性を向上させるた
め、トルク検出装置には、従来よりも１桁ほど速い、数
ｋＨｚの応答性を求められるようになってきた。この要
求に応えるためには、駆動電流の周波数は、それより１
桁高い、数十ｋＨｚ〜１００ｋＨｚにする必要がある。
ところが、従来のトルク検出装置では、駆動電流の周波
数を高くすると、第２のコイル２１ｂのインダクタンス
やインダクタンスのトルク感度が渦電流の影響で低くな
ってしまい、このため応答性を早くすることができない
という問題点があった。また、渦電流に起因する温度特
性の悪さとそのばらつきのため、広い温度範囲で使用す
る場合には、必ずしも完全に温度補償を行うことが難し
いという問題点があった。
ステアリング機構においては、応答性を向上させるた
め、トルク検出装置には、従来よりも１桁ほど速い、数
ｋＨｚの応答性を求められるようになってきた。この要
求に応えるためには、駆動電流の周波数は、それより１
桁高い、数十ｋＨｚ〜１００ｋＨｚにする必要がある。
ところが、従来のトルク検出装置では、駆動電流の周波
数を高くすると、第２のコイル２１ｂのインダクタンス
やインダクタンスのトルク感度が渦電流の影響で低くな
ってしまい、このため応答性を早くすることができない
という問題点があった。また、渦電流に起因する温度特
性の悪さとそのばらつきのため、広い温度範囲で使用す
る場合には、必ずしも完全に温度補償を行うことが難し
いという問題点があった。
【０００９】この発明は、このような問題点を解決する
ことを課題とするものであって、応答性が速く、温度特
性の優れたトルク検出装置を得ることを目的とする。
ことを課題とするものであって、応答性が速く、温度特
性の優れたトルク検出装置を得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１及び
２に係るトルク検出装置では、磁性素子及びヨークの厚
さは、次式で算出される表皮厚さδの２倍以下である
２に係るトルク検出装置では、磁性素子及びヨークの厚
さは、次式で算出される表皮厚さδの２倍以下である
【００１１】
【数３】
【００１２】この発明の請求項３に係るトルク検出装置
では、ヨークは、ヨークは、周方向に、複数の構成要素
に分離され、コイルの発生する磁束の通る部分では、そ
れら構成要素は、相互に電気的に絶縁されている。
では、ヨークは、ヨークは、周方向に、複数の構成要素
に分離され、コイルの発生する磁束の通る部分では、そ
れら構成要素は、相互に電気的に絶縁されている。
【００１３】この発明の請求項４に係るトルク検出装置
では、磁性素子は、周方向に、複数の構成要素に分離さ
れ、コイルの発生する磁束の通る部分では、それら構成
要素は、相互に電気的に絶縁されている。
では、磁性素子は、周方向に、複数の構成要素に分離さ
れ、コイルの発生する磁束の通る部分では、それら構成
要素は、相互に電気的に絶縁されている。
【００１４】この発明の請求項５に係るトルク検出装置
では、磁性素子は、周方向に、複数の構成要素に分離さ
れ、コイルの発生する磁束の通る部分では、それら構成
要素は、相互に電気的に絶縁されている。
では、磁性素子は、周方向に、複数の構成要素に分離さ
れ、コイルの発生する磁束の通る部分では、それら構成
要素は、相互に電気的に絶縁されている。
【００１５】この発明の請求項６に係るトルク検出装置
では、磁性素子、ヨークは、厚さ８０μｍ以下の、軟磁
性材料よりなる板で構成されている。
では、磁性素子、ヨークは、厚さ８０μｍ以下の、軟磁
性材料よりなる板で構成されている。
【００１６】この発明の請求項７に係るトルク検出装置
では、磁性素子、ヨークは、アモルファス金属板で構成
されている。
では、磁性素子、ヨークは、アモルファス金属板で構成
されている。
【００１７】この発明の請求項８に係るトルク検出装置
では、磁性素子、ヨークの主要部は、導電性の部材と密
着させない。
では、磁性素子、ヨークの主要部は、導電性の部材と密
着させない。
【００１８】この発明の請求項９に係るトルク検出装置
では、磁性素子と第１、第２の軸との間には導電性材
料、または、高透磁率材料よりなる磁気シールドが介在
している。
では、磁性素子と第１、第２の軸との間には導電性材
料、または、高透磁率材料よりなる磁気シールドが介在
している。
【００１９】この発明の請求項１０に係るトルク検出装
置では、磁性素子の中間部が、径方向外側に最も大きく
変位したときには、磁性素子の中間部がドーナツ状のヨ
ークの内端面よりも外径側に位置するようになってい
る。
置では、磁性素子の中間部が、径方向外側に最も大きく
変位したときには、磁性素子の中間部がドーナツ状のヨ
ークの内端面よりも外径側に位置するようになってい
る。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図に基づいて説明するが、各図において、従来例で
ある図８と同一または相当の部材及び部位には、同一符
号を付して説明する。
いて図に基づいて説明するが、各図において、従来例で
ある図８と同一または相当の部材及び部位には、同一符
号を付して説明する。
【００２１】実施の形態１．図１はこの発明の実施の形
態１によるトルク検出装置の正面一部断面図である。こ
のトルク検出装置は、ケース４と、操舵輪（図示せず）
が取付けられた第１の軸１及び操舵機構のピニオンギア
（図示せず）が取付けられた第２の軸２の中心軸上に設
けられているとともに、第１の軸１と第２の軸２とを周
方向（捩れ方向）に弾性的に接続した弾性部材であるト
ーションバー３と、ケース４と第１の軸１との間に設け
られ第１の軸１を回転自在に支持したベアリング５と、
第１の軸１に固着された銅製円筒状の第１の磁気シール
ド１５ａと、第２の軸２に固着された銅製円筒状の第２
の磁気シールド１５ｂと、第１の磁気シールド１５ａの
外周に固着された非磁性体である樹脂製円筒状の第１の
スリーブ１４ａと、第２の磁気シールド１５ｂの外周に
固着された非磁性体である樹脂製円筒状の第２のスリー
ブ１４ｂと、第１のスリーブ１４ａに固着された厚さ２
０μｍのコバルト系アモルファス金属からなる第１の磁
性素子１１及び第２の磁性素子１２と、第２のスリーブ
１４ｂに固着された、同じくアモルファス金属からなる
第３の磁性素子１３とを備えている。第１の磁性素子１
１には第２の磁性素子１２に対向した歯部１１ａが形成
されている。第２の磁性素子１２及び第３の磁性素子１
３にはそれぞれ互いに対向して歯部１２ａ及び１３ａが
形成されている。なお、図中では第１の磁性素子１１及
び第２の磁性素子１２と、第１のスリーブ１４ａとを区
別するため、また第３の磁性素子１３と第２のスリーブ
１４ｂとを区別するために間隔を空けて示されている
が、実際には密着している。
態１によるトルク検出装置の正面一部断面図である。こ
のトルク検出装置は、ケース４と、操舵輪（図示せず）
が取付けられた第１の軸１及び操舵機構のピニオンギア
（図示せず）が取付けられた第２の軸２の中心軸上に設
けられているとともに、第１の軸１と第２の軸２とを周
方向（捩れ方向）に弾性的に接続した弾性部材であるト
ーションバー３と、ケース４と第１の軸１との間に設け
られ第１の軸１を回転自在に支持したベアリング５と、
第１の軸１に固着された銅製円筒状の第１の磁気シール
ド１５ａと、第２の軸２に固着された銅製円筒状の第２
の磁気シールド１５ｂと、第１の磁気シールド１５ａの
外周に固着された非磁性体である樹脂製円筒状の第１の
スリーブ１４ａと、第２の磁気シールド１５ｂの外周に
固着された非磁性体である樹脂製円筒状の第２のスリー
ブ１４ｂと、第１のスリーブ１４ａに固着された厚さ２
０μｍのコバルト系アモルファス金属からなる第１の磁
性素子１１及び第２の磁性素子１２と、第２のスリーブ
１４ｂに固着された、同じくアモルファス金属からなる
第３の磁性素子１３とを備えている。第１の磁性素子１
１には第２の磁性素子１２に対向した歯部１１ａが形成
されている。第２の磁性素子１２及び第３の磁性素子１
３にはそれぞれ互いに対向して歯部１２ａ及び１３ａが
形成されている。なお、図中では第１の磁性素子１１及
び第２の磁性素子１２と、第１のスリーブ１４ａとを区
別するため、また第３の磁性素子１３と第２のスリーブ
１４ｂとを区別するために間隔を空けて示されている
が、実際には密着している。
【００２２】また、このトルク検出装置は、それぞれ第
１と第２の磁性素子１１、１２の中間位置及び第２と第
３の磁性素子１２、１３の中間位置を周回する様に設け
られた、樹脂製の第１、第２のボビン２３ａ、２３ｂ
と、それぞれのボビンに巻装された第１、第２のコイル
２１ａ、２１ｂと、第１のボビン２３ａ及び第２のボビ
ン２３ｂの側面に周方向に沿って設けられたアモルファ
ス金属からなるドーナツ状のヨーク２２ａ〜２２ｃと、
ヨーク２２ａ〜２２ｃの外周端面に固着しヨーク２２ａ
〜２２ｃを覆うアモルファス金属からなる円筒状のヨー
ク２２ｄと、内壁面にヨーク２２ｄが固着され外壁面が
ケース４に固着された樹脂製円筒状の第３のスリーブ２
４とを備えている。磁気回路を構成する、ヨーク２２ａ
〜ヨーク２２ｄ、磁性素子１１〜１３は厚さが同じ２０
μｍのアモルファス金属で構成されている。
１と第２の磁性素子１１、１２の中間位置及び第２と第
３の磁性素子１２、１３の中間位置を周回する様に設け
られた、樹脂製の第１、第２のボビン２３ａ、２３ｂ
と、それぞれのボビンに巻装された第１、第２のコイル
２１ａ、２１ｂと、第１のボビン２３ａ及び第２のボビ
ン２３ｂの側面に周方向に沿って設けられたアモルファ
ス金属からなるドーナツ状のヨーク２２ａ〜２２ｃと、
ヨーク２２ａ〜２２ｃの外周端面に固着しヨーク２２ａ
〜２２ｃを覆うアモルファス金属からなる円筒状のヨー
ク２２ｄと、内壁面にヨーク２２ｄが固着され外壁面が
ケース４に固着された樹脂製円筒状の第３のスリーブ２
４とを備えている。磁気回路を構成する、ヨーク２２ａ
〜ヨーク２２ｄ、磁性素子１１〜１３は厚さが同じ２０
μｍのアモルファス金属で構成されている。
【００２３】次に、上記構成のトルク検出装置の動作に
ついて説明する。基本動作は、従来例と全く同様であ
る。第１の軸１に操舵輪からのトルクが印加されると、
トーションバー３に捻り変形が発生し、第１の軸１と第
２の軸２との間に周方向に相対角度のずれが発生する。
すると、磁気シールド１５ａ、第１のスリーブ１４ａを
介して第１の軸１に固着された第２の磁性素子１２と、
磁気シールド１５ｂ、第２のスリーブ１４ｂを介して固
着された第３の磁性素子１３との間に周方向の相対変位
が発生し、第２の磁性素子１２の歯部１２ａと第３の磁
性素子１３の歯部１３ａとの対向面積が変化する。第２
のコイル２１ｂに交流駆動電流を流すことにより生じた
磁束は、ヨーク２２ｂ、ヨーク２２ｄ、ヨーク２２ｃ、
ヨーク２２ｄ、第２の磁性素子１２、第３の磁性素子１
３で構成された磁気回路を通るが、磁路となる、歯部１
２ａと歯部１３ａとの対向面積が変化することで、この
磁気回路の磁気抵抗が変化し、第２のコイル２１ｂのイ
ンダクタンスが変化する。このインダクタンスの変化を
検出回路（図示せず）によって検出することでトルクが
求められる。
ついて説明する。基本動作は、従来例と全く同様であ
る。第１の軸１に操舵輪からのトルクが印加されると、
トーションバー３に捻り変形が発生し、第１の軸１と第
２の軸２との間に周方向に相対角度のずれが発生する。
すると、磁気シールド１５ａ、第１のスリーブ１４ａを
介して第１の軸１に固着された第２の磁性素子１２と、
磁気シールド１５ｂ、第２のスリーブ１４ｂを介して固
着された第３の磁性素子１３との間に周方向の相対変位
が発生し、第２の磁性素子１２の歯部１２ａと第３の磁
性素子１３の歯部１３ａとの対向面積が変化する。第２
のコイル２１ｂに交流駆動電流を流すことにより生じた
磁束は、ヨーク２２ｂ、ヨーク２２ｄ、ヨーク２２ｃ、
ヨーク２２ｄ、第２の磁性素子１２、第３の磁性素子１
３で構成された磁気回路を通るが、磁路となる、歯部１
２ａと歯部１３ａとの対向面積が変化することで、この
磁気回路の磁気抵抗が変化し、第２のコイル２１ｂのイ
ンダクタンスが変化する。このインダクタンスの変化を
検出回路（図示せず）によって検出することでトルクが
求められる。
【００２４】第２のコイル２１ｂのインダクタンスは、
従来のトルク検出装置よりも影響度は格段に小さいもの
の、温度によっても変化するため、高い精度を要求する
場合には、温度補償を行う必要がある。第１の磁性素子
１１及び第２の磁性素子１２は、どちらも第１のスリー
ブ１４ａ、磁気シールド１５ａを介して第１の軸１に固
着されているので、トルクの印加によっても第１の磁性
素子１１と第２の磁性素子１２との間での相対角度は変
化せず、第１の磁性素子１１及び第２の磁性素子１２の
中間位置を周回するようにに設けられた第１のコイル２
１ａのインダクタンスは変化しない。しかし、第２のコ
イル２１ｂと同様に温度変化により第１のコイル２１ａ
のインダクタンスは変化するので、第１のコイル２１ａ
と第２のコイル２１ｂとのインダクタンスの差を検出す
ることによって、温度に影響されず、トルクだけに比例
した出力を得ることができる。従来のトルク検出装置に
比べて、個々のコイルの元々の温度特性が良いため、よ
り高精度な温度補償が可能である。
従来のトルク検出装置よりも影響度は格段に小さいもの
の、温度によっても変化するため、高い精度を要求する
場合には、温度補償を行う必要がある。第１の磁性素子
１１及び第２の磁性素子１２は、どちらも第１のスリー
ブ１４ａ、磁気シールド１５ａを介して第１の軸１に固
着されているので、トルクの印加によっても第１の磁性
素子１１と第２の磁性素子１２との間での相対角度は変
化せず、第１の磁性素子１１及び第２の磁性素子１２の
中間位置を周回するようにに設けられた第１のコイル２
１ａのインダクタンスは変化しない。しかし、第２のコ
イル２１ｂと同様に温度変化により第１のコイル２１ａ
のインダクタンスは変化するので、第１のコイル２１ａ
と第２のコイル２１ｂとのインダクタンスの差を検出す
ることによって、温度に影響されず、トルクだけに比例
した出力を得ることができる。従来のトルク検出装置に
比べて、個々のコイルの元々の温度特性が良いため、よ
り高精度な温度補償が可能である。
【００２５】ところで、一般に、磁性体に高周波数の交
番磁界が印加された場合、磁束が通るのは実質的には磁
性体の表面だけである。この、磁束が通る部分の厚さ
は、表皮厚さδと呼ばれ、次式で表されることが知られ
ている。
番磁界が印加された場合、磁束が通るのは実質的には磁
性体の表面だけである。この、磁束が通る部分の厚さ
は、表皮厚さδと呼ばれ、次式で表されることが知られ
ている。
【００２６】
【数４】
【００２７】磁性体の表面からの深さが表皮厚さδ付近
の場所では、交番磁界を打ち消す方向の、大きな渦電流
が発生し、それより深い場所にはほとんど磁界は及ばな
い。従って、磁性体が板状の場合、表裏の面から磁束が
浸入するので、板厚が２δ以上になると、渦電流の影響
によって、磁束の通る有効面積が小さくなる。
の場所では、交番磁界を打ち消す方向の、大きな渦電流
が発生し、それより深い場所にはほとんど磁界は及ばな
い。従って、磁性体が板状の場合、表裏の面から磁束が
浸入するので、板厚が２δ以上になると、渦電流の影響
によって、磁束の通る有効面積が小さくなる。
【００２８】この実施の形態では、磁気回路を構成す
る、ヨーク２２ａ〜ヨーク２２ｄ、磁性素子１１〜１３
は厚さ２０μｍのアモルファス金属で構成されている。
このアモルファス金属の物性は、比透磁率μs＝１００
００、比抵抗ρ＝１３６μΩcｍであるので、（１）式
より周波数Ｆ＝１００ｋＨzにおける表皮厚さδを求め
ると、δ＝１９μｍとなる。この実施の形態では、アモ
ルファス金属の厚さは２０μｍであり、２δよりも十分
薄いので、渦電流の影響を大幅に低減することができ
る。
る、ヨーク２２ａ〜ヨーク２２ｄ、磁性素子１１〜１３
は厚さ２０μｍのアモルファス金属で構成されている。
このアモルファス金属の物性は、比透磁率μs＝１００
００、比抵抗ρ＝１３６μΩcｍであるので、（１）式
より周波数Ｆ＝１００ｋＨzにおける表皮厚さδを求め
ると、δ＝１９μｍとなる。この実施の形態では、アモ
ルファス金属の厚さは２０μｍであり、２δよりも十分
薄いので、渦電流の影響を大幅に低減することができ
る。
【００２９】また、磁性素子１１〜１３及びヨーク２２
ａ〜２２ｄは、導電性の無い樹脂製のスリーブ１４ａ、
１４ｂ及びボビン２３ａ、２３ｂによって導電性の構造
物から絶縁しているので、導電性の構造物に渦電流が流
れ、インダクタンスを低下させるのを防いでいる。
ａ〜２２ｄは、導電性の無い樹脂製のスリーブ１４ａ、
１４ｂ及びボビン２３ａ、２３ｂによって導電性の構造
物から絶縁しているので、導電性の構造物に渦電流が流
れ、インダクタンスを低下させるのを防いでいる。
【００３０】また、磁性素子１１〜１３及びヨーク２２
ａ〜２２ｄは、アモルファス金属で構成されているの
で、機械的強度も大きいため、耐久性が高い。
ａ〜２２ｄは、アモルファス金属で構成されているの
で、機械的強度も大きいため、耐久性が高い。
【００３１】また、磁性素子１１〜１３と、第１及び第
２の軸１、２との間には、銅製の磁気シールド１５ａ、
１５ｂを備えたので、磁気回路からの漏れ磁束が第１及
び第２の軸１、２を通る割合が小さく、従って第１の軸
１、第２の軸２の素材に、安価ではあるが磁気特性の温
度特性が悪い炭素鋼を用いても、出力の温度特性に与え
る悪影響を低減することができる。
２の軸１、２との間には、銅製の磁気シールド１５ａ、
１５ｂを備えたので、磁気回路からの漏れ磁束が第１及
び第２の軸１、２を通る割合が小さく、従って第１の軸
１、第２の軸２の素材に、安価ではあるが磁気特性の温
度特性が悪い炭素鋼を用いても、出力の温度特性に与え
る悪影響を低減することができる。
【００３２】なお、上記実施の形態では、磁気回路を構
成する部材としてアモルファス金属を用いたが、他の軟
磁性材料を用いても良い。例えば、磁性材を一般的な電
磁ステンレス鋼で構成した場合、電磁ステンレス鋼の比
透磁率μsを８５０、比抵抗ρを５７μΩｃｍとする
と、磁界の周波数Ｆが１００ｋＨzでは、表皮厚さδは
約４０μmであり、２δは８０μｍとなる。電磁ステン
レス鋼よりも高性能で、透磁率の高い磁性材を使用した
場合には、２δはさらに薄くなるので、板厚は８０μｍ
以下にする必要が有る。また、上記実施の形態では、高
精度な温度補償を行うために、１対のコイルを用いた
が、温度補償のためのコイル２１ａおよびその周囲の磁
気回路を省略し、１本のコイル２１ｂのみからトルクを
求めても良い。コイルの温度特性が良いため、動作温度
範囲が狭い場合や、さほどの精度を要求しない場合に
は、温度補償用のコイルは無くても十分である。また、
上記実施の形態では、磁性素子及びヨークには、駆動周
波数１００ｋＨｚ時の２δ、３８μｍに対して、約半分
の厚さの２０μｍのアモルファス金属の板を用いたが、
２δに対して、さらに薄い板を用いても良い。例えば、
前記電磁ステンレス鋼を用いて、駆動周波数を３ｋＨｚ
とした場合、２δ＝４８０μｍとなるが、それよりもず
っと薄い、例えば板厚８０μｍとすることで、温度特性
はさらに良くなる。ただし、板厚を極端に薄くした場
合、磁路の断面積が小さくなるので、駆動電流を大きく
すると、磁化が飽和するので、駆動電流は、磁化が飽和
しない範囲に制限する必要がある。
成する部材としてアモルファス金属を用いたが、他の軟
磁性材料を用いても良い。例えば、磁性材を一般的な電
磁ステンレス鋼で構成した場合、電磁ステンレス鋼の比
透磁率μsを８５０、比抵抗ρを５７μΩｃｍとする
と、磁界の周波数Ｆが１００ｋＨzでは、表皮厚さδは
約４０μmであり、２δは８０μｍとなる。電磁ステン
レス鋼よりも高性能で、透磁率の高い磁性材を使用した
場合には、２δはさらに薄くなるので、板厚は８０μｍ
以下にする必要が有る。また、上記実施の形態では、高
精度な温度補償を行うために、１対のコイルを用いた
が、温度補償のためのコイル２１ａおよびその周囲の磁
気回路を省略し、１本のコイル２１ｂのみからトルクを
求めても良い。コイルの温度特性が良いため、動作温度
範囲が狭い場合や、さほどの精度を要求しない場合に
は、温度補償用のコイルは無くても十分である。また、
上記実施の形態では、磁性素子及びヨークには、駆動周
波数１００ｋＨｚ時の２δ、３８μｍに対して、約半分
の厚さの２０μｍのアモルファス金属の板を用いたが、
２δに対して、さらに薄い板を用いても良い。例えば、
前記電磁ステンレス鋼を用いて、駆動周波数を３ｋＨｚ
とした場合、２δ＝４８０μｍとなるが、それよりもず
っと薄い、例えば板厚８０μｍとすることで、温度特性
はさらに良くなる。ただし、板厚を極端に薄くした場
合、磁路の断面積が小さくなるので、駆動電流を大きく
すると、磁化が飽和するので、駆動電流は、磁化が飽和
しない範囲に制限する必要がある。
【００３３】実施の形態２．図２はこの発明の実施の形
態２によるトルク検出装置を示す正面断面図である。図
３は図２の矢印Ａ方向から視た断面図、図４は図２の矢
印Ｂ方向から視た断面図で、第１の軸１と第２の軸２と
の間で、矢印Ｃの方向にトルクが印加されたときの状態
を示している。このトルク検出装置では、ボビン２３
ａ、２３ｂの側面には、アモルファス金属からなるドー
ナツ状のヨーク２２ａ〜２２ｄが設けられ、またこのヨ
ーク２２ａ〜２２ｄの外周にはアモルファス金属からな
る円筒状のヨーク２２ｅ、２２ｆが設けられている。コ
イル２１ａ、２１ｂ、ボビン２３ａ、２３ｂ及びヨーク
２２ａ〜２２ｆは、樹脂製のスリーブ２４をスリーブ２
４を介してケース４に固着されている。
態２によるトルク検出装置を示す正面断面図である。図
３は図２の矢印Ａ方向から視た断面図、図４は図２の矢
印Ｂ方向から視た断面図で、第１の軸１と第２の軸２と
の間で、矢印Ｃの方向にトルクが印加されたときの状態
を示している。このトルク検出装置では、ボビン２３
ａ、２３ｂの側面には、アモルファス金属からなるドー
ナツ状のヨーク２２ａ〜２２ｄが設けられ、またこのヨ
ーク２２ａ〜２２ｄの外周にはアモルファス金属からな
る円筒状のヨーク２２ｅ、２２ｆが設けられている。コ
イル２１ａ、２１ｂ、ボビン２３ａ、２３ｂ及びヨーク
２２ａ〜２２ｆは、樹脂製のスリーブ２４をスリーブ２
４を介してケース４に固着されている。
【００３４】第２の軸２の端面には断面円弧状のアルミ
ニウム製の第１及び第２の支持部材３２ａ、３２ｂの左
端面が固定されている。この第１及び第２の支持部材３
２ａ、３２ｂは、ベアリング５ａの左側の第１の軸１の
延長部１ａを覆い、先端部がヨーク２２ａの右側まで延
びている。第１の軸１の延長部１ａの外周面には支持部
材３３ａ〜３３ｄが固定されている。支持部材３２ａの
片側には磁性素子１１ａの一端部が固定され、この磁性
素子１１ａの他端部は支持部材３３ａに固定されてい
る。支持部材３２ｂの片側には磁性素子１１ｂの一端部
が固定され、この磁性素子１１ｂの他端部は支持部材３
３ｂに固定されている。また、支持部材３２ａの片側に
は磁性素子１１ｃの一端部が固定され、この磁性素子１
１ｃの他端部は支持部材３３ｃに固定されている。支持
部材３２ｂの片側には磁性素子１１ｄの一端部が固定さ
れ、この磁性素子１１ｄの他端部は支持部材３３ｄに固
定されている。そして、磁性素子１１ａ〜１１ｄ、及び
ヨーク２２ａ〜２２ｆは、１００ｋＨzにおける表皮厚
さδの２倍より十分薄いコバルト系のアモルファス金属
で構成されている。また、トルクの印加によって、磁性
素子１１ａ〜１１ｄの中間部が、径方向外側に最も大き
く変位したときには、磁性素子１１ａ〜１１ｄの中間部
がドーナツ状のヨーク２２ａ〜２２ｄの内端面よりも外
径側に位置するようになっている。
ニウム製の第１及び第２の支持部材３２ａ、３２ｂの左
端面が固定されている。この第１及び第２の支持部材３
２ａ、３２ｂは、ベアリング５ａの左側の第１の軸１の
延長部１ａを覆い、先端部がヨーク２２ａの右側まで延
びている。第１の軸１の延長部１ａの外周面には支持部
材３３ａ〜３３ｄが固定されている。支持部材３２ａの
片側には磁性素子１１ａの一端部が固定され、この磁性
素子１１ａの他端部は支持部材３３ａに固定されてい
る。支持部材３２ｂの片側には磁性素子１１ｂの一端部
が固定され、この磁性素子１１ｂの他端部は支持部材３
３ｂに固定されている。また、支持部材３２ａの片側に
は磁性素子１１ｃの一端部が固定され、この磁性素子１
１ｃの他端部は支持部材３３ｃに固定されている。支持
部材３２ｂの片側には磁性素子１１ｄの一端部が固定さ
れ、この磁性素子１１ｄの他端部は支持部材３３ｄに固
定されている。そして、磁性素子１１ａ〜１１ｄ、及び
ヨーク２２ａ〜２２ｆは、１００ｋＨzにおける表皮厚
さδの２倍より十分薄いコバルト系のアモルファス金属
で構成されている。また、トルクの印加によって、磁性
素子１１ａ〜１１ｄの中間部が、径方向外側に最も大き
く変位したときには、磁性素子１１ａ〜１１ｄの中間部
がドーナツ状のヨーク２２ａ〜２２ｄの内端面よりも外
径側に位置するようになっている。
【００３５】次に、上記構成のトルク検出装置の動作に
ついて説明する。第１の軸１に操舵輪からのトルクが印
加されると、トーションバー３に捻り変形が発生し、第
１の軸１と第２の軸２との間に周方向に相対角度のずれ
が発生する。第１の軸１に固定された支持部材３３ａ〜
３３ｄと、第２の軸２に固定された支持部材３２ａ、３
２ｂとの間に周方向の相対変位が発生すると、図３に示
すように、磁性素子１１ａ、１１ｂは、中間部が径外側
方向に撓み変形し、また、同時に磁性素子１１ｃ、１１
ｄは、図４に示すように中間部が径内側方向に変位す
る。
ついて説明する。第１の軸１に操舵輪からのトルクが印
加されると、トーションバー３に捻り変形が発生し、第
１の軸１と第２の軸２との間に周方向に相対角度のずれ
が発生する。第１の軸１に固定された支持部材３３ａ〜
３３ｄと、第２の軸２に固定された支持部材３２ａ、３
２ｂとの間に周方向の相対変位が発生すると、図３に示
すように、磁性素子１１ａ、１１ｂは、中間部が径外側
方向に撓み変形し、また、同時に磁性素子１１ｃ、１１
ｄは、図４に示すように中間部が径内側方向に変位す
る。
【００３６】第１のコイル２１ａによって発生する磁束
は、ヨーク２２ｂ、２２ｅ、２２ａ、磁性素子１１ｃ及
び１１ｄを構成する磁気回路を通り、第２のコイル２１
ｂによって発生する磁束は、ヨーク２２ｄ、２２ｆ、２
２ｃ、磁性素子１１ａ及び１１ｂを構成する磁気回路を
通る。ヨーク２２ａ〜２２ｆ、磁性素子１１ａ〜１１ｄ
は軟磁性材料であるコバルト系のアモルファス金属で構
成されており、磁気抵抗が非常に小さいため、これらの
磁気回路の磁気抵抗は、主にヨーク２２ａ〜２２ｄと磁
性素子１１ａ〜１１ｄとの間のエアギャップの大きさに
よって決まる。従って、第１の軸１に操舵輪からのトル
クが印加されると、第２のコイル２１ｂの磁束が通る磁
気回路ではエアギャップが小さく、磁気抵抗が小さいた
め、インダクタンスが大きくなり、第１のコイル２１ａ
の磁束が通る磁気回路ではエアギャップが大きく、磁気
抵抗が大きいため、インダクタンスが小さくなる。この
インダクタンス変化を電気的に検出することによって、
トーションバー３の捻れ量、ひいてはトルクの大きさを
知ることができる。
は、ヨーク２２ｂ、２２ｅ、２２ａ、磁性素子１１ｃ及
び１１ｄを構成する磁気回路を通り、第２のコイル２１
ｂによって発生する磁束は、ヨーク２２ｄ、２２ｆ、２
２ｃ、磁性素子１１ａ及び１１ｂを構成する磁気回路を
通る。ヨーク２２ａ〜２２ｆ、磁性素子１１ａ〜１１ｄ
は軟磁性材料であるコバルト系のアモルファス金属で構
成されており、磁気抵抗が非常に小さいため、これらの
磁気回路の磁気抵抗は、主にヨーク２２ａ〜２２ｄと磁
性素子１１ａ〜１１ｄとの間のエアギャップの大きさに
よって決まる。従って、第１の軸１に操舵輪からのトル
クが印加されると、第２のコイル２１ｂの磁束が通る磁
気回路ではエアギャップが小さく、磁気抵抗が小さいた
め、インダクタンスが大きくなり、第１のコイル２１ａ
の磁束が通る磁気回路ではエアギャップが大きく、磁気
抵抗が大きいため、インダクタンスが小さくなる。この
インダクタンス変化を電気的に検出することによって、
トーションバー３の捻れ量、ひいてはトルクの大きさを
知ることができる。
【００３７】この実施の形態では、磁性素子１１ａ〜１
１ｄ、及びヨーク２２ａ〜２２ｆは、１００ｋＨzにお
ける表皮厚さδの２倍より十分薄いアモルファス金属で
構成されているので、高周波数域においても渦電流の影
響を受けにくい。
１ｄ、及びヨーク２２ａ〜２２ｆは、１００ｋＨzにお
ける表皮厚さδの２倍より十分薄いアモルファス金属で
構成されているので、高周波数域においても渦電流の影
響を受けにくい。
【００３８】図５は実施の形態２のトルク検出装置と従
来例のトルク検出装置とにおける、コイルのインダクタ
ンスの変化率を実測したときの図である。図から、従来
例のトルク検出装置では、高周波数領域ではトルク感度
が大きく低下し、１００ｋＨzではほとんど感度が無く
なるのに対し、実施の形態２のトルク検出装置では、感
度の絶対値も大きく、また１００ｋＨzまでほぼ一定で
あることが分かる。
来例のトルク検出装置とにおける、コイルのインダクタ
ンスの変化率を実測したときの図である。図から、従来
例のトルク検出装置では、高周波数領域ではトルク感度
が大きく低下し、１００ｋＨzではほとんど感度が無く
なるのに対し、実施の形態２のトルク検出装置では、感
度の絶対値も大きく、また１００ｋＨzまでほぼ一定で
あることが分かる。
【００３９】磁気回路の磁気抵抗は、主にヨーク２２ａ
〜２２ｄと磁性素子１１ａ〜１１ｄとの間のエアギャッ
プの大きさによって決まる。磁性素子の軸線方向の幅が
ヨーク間の間隔よりも大きいときには、トルクの印加に
よって、磁性素子の中間部が、径方向外側に最も大きく
撓み変形したときでもヨークの内径側に位置するととも
に、磁性素子がヨークの軸線方向の外側へ突出してい
る。従って、磁性素子の中間部がヨークの内径に近づい
たときの第１のコイルのインダクタンスの変化率が、磁
性素子が径方向の内側に変位したときの第１のコイルの
インダクタンスの変化率に比べて大きくなりすぎ、リニ
アリティが損なわれる。
〜２２ｄと磁性素子１１ａ〜１１ｄとの間のエアギャッ
プの大きさによって決まる。磁性素子の軸線方向の幅が
ヨーク間の間隔よりも大きいときには、トルクの印加に
よって、磁性素子の中間部が、径方向外側に最も大きく
撓み変形したときでもヨークの内径側に位置するととも
に、磁性素子がヨークの軸線方向の外側へ突出してい
る。従って、磁性素子の中間部がヨークの内径に近づい
たときの第１のコイルのインダクタンスの変化率が、磁
性素子が径方向の内側に変位したときの第１のコイルの
インダクタンスの変化率に比べて大きくなりすぎ、リニ
アリティが損なわれる。
【００４０】この実施の形態では、トルクの印加によっ
て、磁性素子１１ａ〜１１ｄの中間部が、径方向外側に
最も大きく変位したときには、磁性素子１１ａ〜１１ｄ
の中間部がドーナツ状のヨーク２２ａ〜２２ｄの内端面
よりも外径側に位置するようになっているので、磁性素
子１１ａ〜１１ｄが径方向の外側に最も大きく変位した
ときでもヨーク１１ａ〜１１ｄに近づきすぎることが無
く、リニアリティが向上する。
て、磁性素子１１ａ〜１１ｄの中間部が、径方向外側に
最も大きく変位したときには、磁性素子１１ａ〜１１ｄ
の中間部がドーナツ状のヨーク２２ａ〜２２ｄの内端面
よりも外径側に位置するようになっているので、磁性素
子１１ａ〜１１ｄが径方向の外側に最も大きく変位した
ときでもヨーク１１ａ〜１１ｄに近づきすぎることが無
く、リニアリティが向上する。
【００４１】実施の形態３．実施の形態１及び実施の形
態２では、周方向に延設された部材、即ちボビンの側面
に沿うドーナツ状のヨーク及び全体を覆う円筒状のヨー
クで磁路を構成したが、周方向に間隔をおいて複数配置
されたヨーク２２の構成要素で磁気回路を構成するよう
にしてもよい。図６は実施の形態３によるトルク検出装
置の要部斜視図である。ヨーク２２は、平面形状がＥ字
型の厚さ２０μｍのコバルト系アモルファス金属からな
る構成要素を周方向に等間隔に絶縁部材（図示せず）を
介して一体化されたものである。図６に示すヨーク２２
と実施の形態１のヨークとの関係は、ヨーク２２の右端
の突起部はヨーク２２ａ、中央の突起部はヨーク２２
ｂ、左端の突起部はヨーク２２ｃに、連結部はヨーク２
２ｄにそれぞれ対応している。
態２では、周方向に延設された部材、即ちボビンの側面
に沿うドーナツ状のヨーク及び全体を覆う円筒状のヨー
クで磁路を構成したが、周方向に間隔をおいて複数配置
されたヨーク２２の構成要素で磁気回路を構成するよう
にしてもよい。図６は実施の形態３によるトルク検出装
置の要部斜視図である。ヨーク２２は、平面形状がＥ字
型の厚さ２０μｍのコバルト系アモルファス金属からな
る構成要素を周方向に等間隔に絶縁部材（図示せず）を
介して一体化されたものである。図６に示すヨーク２２
と実施の形態１のヨークとの関係は、ヨーク２２の右端
の突起部はヨーク２２ａ、中央の突起部はヨーク２２
ｂ、左端の突起部はヨーク２２ｃに、連結部はヨーク２
２ｄにそれぞれ対応している。
【００４２】コイルを構成する導線は軸線を周回するよ
うに巻装されているので、コイルの駆動電流によってヨ
ーク２２に誘起される渦電流は周方向に流れる駆動電流
を打ち消す方向に流れようとする。従って、ヨーク２２
は複数の構成要素を周方向に間隔をおいて構成されてい
るので、渦電流を遮断することができ、渦電流損失を大
幅に低減することができる。実施の形態３では、構造は
複雑になるが、実施の形態１、２と比較して、特性的に
は非常に優れており、温度特性も良く、駆動電流の周波
数を高くし、応答性の速いトルク検出装置を得ることが
できる。
うに巻装されているので、コイルの駆動電流によってヨ
ーク２２に誘起される渦電流は周方向に流れる駆動電流
を打ち消す方向に流れようとする。従って、ヨーク２２
は複数の構成要素を周方向に間隔をおいて構成されてい
るので、渦電流を遮断することができ、渦電流損失を大
幅に低減することができる。実施の形態３では、構造は
複雑になるが、実施の形態１、２と比較して、特性的に
は非常に優れており、温度特性も良く、駆動電流の周波
数を高くし、応答性の速いトルク検出装置を得ることが
できる。
【００４３】実施の形態４．実施の形態１では、周方向
に延設した部材で磁性素子を構成したが、周方向に等分
間隔で配置された磁性素子の構成要素を用いてもよい。
図７に実施の形態４によるトルク検出装置の要部斜視図
である。この実施の形態４では、第２の磁性素子１２が
周方向に等分間隔で配置された複数の構成要素で構成さ
れ、第３の磁性素子１３が周方向に等分間隔で配置され
た複数の構成要素で構成されている点が実施の形態１と
異なる。第２の磁性素子１２及び第３の磁性素子１３は
厚さ２０μmのコバルト系アモルファス金属で構成され
ている。この実施の形態４でも、実施の形態３と同様
に、磁性素子１２、１３を流れる周方向の渦電流を遮断
するので、温度特性も良く、駆動電流の周波数を高く
し、応答性の速いトルク検出装置を得ることができる。
なお、周方向に等分間隔で配置された磁性素子の構成要
素とともに、ヨークも実施の形態３と同様の構成要素を
用いてもよい。
に延設した部材で磁性素子を構成したが、周方向に等分
間隔で配置された磁性素子の構成要素を用いてもよい。
図７に実施の形態４によるトルク検出装置の要部斜視図
である。この実施の形態４では、第２の磁性素子１２が
周方向に等分間隔で配置された複数の構成要素で構成さ
れ、第３の磁性素子１３が周方向に等分間隔で配置され
た複数の構成要素で構成されている点が実施の形態１と
異なる。第２の磁性素子１２及び第３の磁性素子１３は
厚さ２０μmのコバルト系アモルファス金属で構成され
ている。この実施の形態４でも、実施の形態３と同様
に、磁性素子１２、１３を流れる周方向の渦電流を遮断
するので、温度特性も良く、駆動電流の周波数を高く
し、応答性の速いトルク検出装置を得ることができる。
なお、周方向に等分間隔で配置された磁性素子の構成要
素とともに、ヨークも実施の形態３と同様の構成要素を
用いてもよい。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の請求項
１及び２に係るトルク検出装置では、磁性素子及びヨー
クの厚さは、次式で算出される表皮厚さδの２倍以下で
あるので、渦電流の影響を低く抑えることができ、温度
特性も良く、コイルの駆動電流の周波数を高くして応答
性が速いトルク検出装置を得ることができる。
１及び２に係るトルク検出装置では、磁性素子及びヨー
クの厚さは、次式で算出される表皮厚さδの２倍以下で
あるので、渦電流の影響を低く抑えることができ、温度
特性も良く、コイルの駆動電流の周波数を高くして応答
性が速いトルク検出装置を得ることができる。
【００４５】
【数５】
【００４６】また、この発明の請求項３に係るトルク検
出装置では、ヨークは、周方向に間隔をおいて複数配置
された構成要素で構成されているので、ヨークの渦電流
損を大幅に低減することができ、温度特性も良く、コイ
ルの駆動電流の周波数を高くして応答性が速いトルク検
出装置を得ることができる。
出装置では、ヨークは、周方向に間隔をおいて複数配置
された構成要素で構成されているので、ヨークの渦電流
損を大幅に低減することができ、温度特性も良く、コイ
ルの駆動電流の周波数を高くして応答性が速いトルク検
出装置を得ることができる。
【００４７】また、この発明の請求項４に係るトルク検
出装置では、磁性素子は、周方向に間隔をおいて複数配
置された構成要素で構成されているので、磁性素子の渦
電流損を大幅に低減することができ、温度特性も良く、
コイルの駆動電流の周波数を高くして応答性が速いトル
ク検出装置を得ることができる。
出装置では、磁性素子は、周方向に間隔をおいて複数配
置された構成要素で構成されているので、磁性素子の渦
電流損を大幅に低減することができ、温度特性も良く、
コイルの駆動電流の周波数を高くして応答性が速いトル
ク検出装置を得ることができる。
【００４８】また、この発明の請求項５に係るトルク検
出装置では、磁性素子は、周方向に間隔をおいて複数配
置された構成要素で構成されており、またヨークは、周
方向に間隔をおいて複数配置された構成要素で構成され
ているので、磁性素子及びヨークの渦電流損を大幅に低
減することができ、温度特性も良く、コイルの駆動電流
の周波数を高くして応答性が速いトルク検出装置を得る
ことができる。
出装置では、磁性素子は、周方向に間隔をおいて複数配
置された構成要素で構成されており、またヨークは、周
方向に間隔をおいて複数配置された構成要素で構成され
ているので、磁性素子及びヨークの渦電流損を大幅に低
減することができ、温度特性も良く、コイルの駆動電流
の周波数を高くして応答性が速いトルク検出装置を得る
ことができる。
【００４９】また、この発明の請求項６に係るトルク検
出装置では、磁性素子、ヨークは、厚さが最大限８０μ
ｍの電磁ステンレス鋼で構成されているので、温度特性
も良く、コイルの駆動電流の周波数を高くして応答性が
速いトルク検出装置を安価に得ることができる。
出装置では、磁性素子、ヨークは、厚さが最大限８０μ
ｍの電磁ステンレス鋼で構成されているので、温度特性
も良く、コイルの駆動電流の周波数を高くして応答性が
速いトルク検出装置を安価に得ることができる。
【００５０】また、この発明の請求項７に係るトルク検
出装置では、磁性素子、ヨークは、透磁率、比抵抗が極
めて高く、また機械的強度も非常に高いアモルファス金
属板で構成されているので、厚みを極力薄くしても、機
械的強度を確保することができる。
出装置では、磁性素子、ヨークは、透磁率、比抵抗が極
めて高く、また機械的強度も非常に高いアモルファス金
属板で構成されているので、厚みを極力薄くしても、機
械的強度を確保することができる。
【００５１】また、この発明の請求項８に係るトルク検
出装置では、磁性素子、ヨークの主要部は、導電性の部
材と密着していないので、導電性の部材に渦電流が流れ
てコイルのインダクタンスが低下するのを防止できる。
出装置では、磁性素子、ヨークの主要部は、導電性の部
材と密着していないので、導電性の部材に渦電流が流れ
てコイルのインダクタンスが低下するのを防止できる。
【００５２】また、この発明の請求項９に係るトルク検
出装置では、磁性素子と第１、第２の軸との間には磁気
シールドが介在しているので、磁気回路からの漏れ磁束
が第１及び第２の軸１、２を通る割合が小さく、従って
第１の軸１、第２の軸２の素材に、安価ではあるが磁気
特性の温度特性が悪い炭素鋼を用いても、出力の温度特
性に与える悪影響を低減することができる。
出装置では、磁性素子と第１、第２の軸との間には磁気
シールドが介在しているので、磁気回路からの漏れ磁束
が第１及び第２の軸１、２を通る割合が小さく、従って
第１の軸１、第２の軸２の素材に、安価ではあるが磁気
特性の温度特性が悪い炭素鋼を用いても、出力の温度特
性に与える悪影響を低減することができる。
【００５３】また、この発明の請求項１０に係るトルク
検出装置では、磁性素子の中間部が、径方向外側に最も
大きく変位したときには、磁性素子の中間部がドーナツ
状のヨークの内端面よりも外径側に位置するようになっ
ているので、磁性素子とヨークとの間の空隙が小さくな
り過ぎて出力特性が非線形性になるのを防止することが
できる。
検出装置では、磁性素子の中間部が、径方向外側に最も
大きく変位したときには、磁性素子の中間部がドーナツ
状のヨークの内端面よりも外径側に位置するようになっ
ているので、磁性素子とヨークとの間の空隙が小さくな
り過ぎて出力特性が非線形性になるのを防止することが
できる。
【図１】 この発明の実施の形態１のトルク検出装置の
正面一部断面図である。
正面一部断面図である。
【図２】 この発明の実施の形態２のトルク検出装置の
正面一部断面図である。
正面一部断面図である。
【図３】 図２の矢印Ａ方向から視た断面図である。
【図４】 図２に矢印Ｂ方向から視た断面図である。
【図５】 コイルのインダクタンスのトルク感度の周波
数特性を示す実測図である。
数特性を示す実測図である。
【図６】 この発明の実施の形態３の要部斜視図であ
る。
る。
【図７】 この発明の実施の形態４の要部斜視図であ
る。
る。
【図８】 従来のトルク検出装置を示す正面一部断面図
である。
である。
１ 第１の軸、２ 第２の軸、３ トーションバー、
１１ 磁性素子、１２磁性素子、１３ 磁性素子、１４
スリーブ、１５ 磁気シールド、２１ コイル、２２
ヨーク、２４ スリーブ。
１１ 磁性素子、１２磁性素子、１３ 磁性素子、１４
スリーブ、１５ 磁気シールド、２１ コイル、２２
ヨーク、２４ スリーブ。
Claims (10)
- 【請求項１】 第１の軸と第２の軸との間に設けられ第
１の軸及び第２の軸相互間に作用するトルクに応じて、
第１及び第２の軸間に捻れ変位を生じさせる弾性部材
と、 前記第１の軸及び前記第２の軸にそれぞれ固着され第１
の軸及び第２の軸相互間の捻れ変位によって互いに周方
向に変位する磁性素子と、 前記磁性素子の周囲に巻装されたコイルと、 このコイルを囲って設けられコイルに交流駆動電流を流
すことにより生じた磁束を前記磁性素子に導くヨークと
を備えたトルク検出装置であって、 前記磁性素子及び前記ヨークの厚さは、次式で算出され
る表皮厚さδの２倍以下であるトルク検出装置。 【数１】 - 【請求項２】 第１の軸と第２の軸との間に設けられ第
１の軸及び第２の軸相互間に作用するトルクに応じて、
第１及び第２の軸間に捻れ変位を生じさせる弾性部材
と、 前記第１の軸及び前記第２の軸に両端部がそれぞれ支持
されて円弧状をなし、第１の軸及び第２の軸間の相対捻
れ角に応じて、両端部間の距離の変化に応じて弧の曲率
を変化させ、その中央部を径方向に変位させる、軟磁性
材料よりなる磁性素子と、 前記磁性素子の周囲に巻装されたコイルと、 このコイルを囲って設けられコイルに交流駆動電流を流
すことにより生じた磁束を前記磁性素子に導くヨークと
を備えたトルク検出装置であって、 前記磁性素子及び前記ヨークの厚さは、次式で算出され
る表皮厚さδの２倍以下であるトルク検出装置。 【数２】 - 【請求項３】 第１の軸と第２の軸との間に設けられ第
１の軸及び第２の軸相互間に作用するトルクに応じて、
第１の軸及び第２の軸間に捻れ変位を生じさせる弾性部
材と、 前記第１の軸及び前記第２の軸にそれぞれ固着され第１
の軸及び第２の軸相互間の捻れ変位によって互いに周方
向に変位する磁性素子と、 前記磁性素子の周囲に巻装されたコイルと、 このコイルを囲って設けられコイルに交流駆動電流を流
すことにより生じた磁束を前記磁性素子に導くヨークと
を備えたトルク検出装置であって、 前記ヨークは、周方向に、複数の構成要素に分離され、
コイルの発生する磁束の通る部分では、それら構成要素
は、相互に電気的に絶縁されたトルク検出装置。 - 【請求項４】 第１の軸と第２の軸との間に設けられ第
１の軸及び第２の軸相互間に作用するトルクに応じて、
第１の軸及び第２の軸間に捻れ変位を生じさせる弾性部
材と、 前記第１の軸及び前記第２の軸にそれぞれ固着され第１
の軸及び第２の軸相互間の捻れ変位によって互いに周方
向に変位する磁性素子と、 前記磁性素子の周囲に巻装されたコイルと、 このコイルを囲って設けられコイルに交流駆動電流を流
すことにより生じた磁束を前記磁性素子に導くヨークと
を備えたトルク検出装置であって、 前記磁性素子は、周方向に、複数の構成要素に分離さ
れ、コイルの発生する磁束の通る部分では、それら構成
要素は、相互に電気的に絶縁されたトルク検出装置。 - 【請求項５】 磁性素子は、周方向に、複数の構成要素
に分離され、コイルの発生する磁束の通る部分では、そ
れら構成要素は、相互に電気的に絶縁された請求項３に
記載のトルク検出装置。 - 【請求項６】 磁性素子、ヨークは、厚さ８０μｍ以下
の、軟磁性材料よりなる板で構成された請求項１ないし
請求項５の何れかに記載のトルク検出装置。 - 【請求項７】 磁性素子、ヨークは、アモルファス金属
板で構成された請求項１ないし請求項６の何れかに記載
のトルク検出装置。 - 【請求項８】 磁性素子、ヨークの主要部は、導電性の
部材と密着させない請求項１、３、４、５、６及び７の
何れかに記載のトルク検出装置。 - 【請求項９】 磁性素子と第１、第２の軸との間には導
電性材料、または、高透磁率材料よりなる磁気シールド
が介在している請求項１、３、４、５、６、７及び８の
何れかに記載のトルク検出装置。 - 【請求項１０】 磁性素子の中間部が、径方向外側に最
も大きく変位したときには、磁性素子の中間部がドーナ
ツ状のヨークの内端面よりも外径側に位置するようにな
っている請求項２、６及び７の何れかに記載のトルク検
出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30893199A JP3583671B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | トルク検出装置 |
| US09/552,247 US6341535B1 (en) | 1999-10-29 | 2000-04-19 | Torque detection assembly |
| DE10027095A DE10027095B4 (de) | 1999-10-29 | 2000-05-31 | Drehmomentdetektoranordnung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30893199A JP3583671B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | トルク検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124640A true JP2001124640A (ja) | 2001-05-11 |
| JP3583671B2 JP3583671B2 (ja) | 2004-11-04 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30893199A Expired - Fee Related JP3583671B2 (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | トルク検出装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6341535B1 (ja) |
| JP (1) | JP3583671B2 (ja) |
| DE (1) | DE10027095B4 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016129572A1 (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 日本精工株式会社 | トルクセンサ及びそれを搭載した電動パワーステアリング装置 |
| JP7447751B2 (ja) | 2020-09-18 | 2024-03-12 | 株式会社プロテリアル | 磁歪式トルクセンサ |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10222118B4 (de) * | 2001-05-18 | 2006-10-05 | Denso Corp., Kariya | Drehmomentsensor und elektrisches Servolenkungssystem mit Drehmomentsensor |
| JP2004038331A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-02-05 | Toshiba Corp | 情報処理装置および同装置への電源供給方法 |
| JP4516281B2 (ja) * | 2003-04-02 | 2010-08-04 | 本田技研工業株式会社 | トルクセンサ |
| US7409878B2 (en) * | 2005-04-08 | 2008-08-12 | Honeywell International Inc. | Torqueshaft magnetic field measurement systems for gas turbine engines |
| JP2007121149A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Jtekt Corp | トルク検出装置 |
| US7836862B2 (en) * | 2008-04-11 | 2010-11-23 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Systems and methods for predicting engine delta friction torque using both coolant and oil temperature |
| JP5101561B2 (ja) * | 2009-04-17 | 2012-12-19 | 本田技研工業株式会社 | 磁歪式トルクセンサ及び電動パワーステアリング装置 |
| JP2013205102A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Jtekt Corp | トルク検出装置、および同装置を備える電動パワーステアリング装置 |
| US10302710B2 (en) * | 2014-09-26 | 2019-05-28 | Bourns, Inc. | System and method for active balancing/cancellation of magnetic interference in a magnetic sensor |
| CN108489641B (zh) * | 2018-03-20 | 2020-06-02 | 重庆交通大学 | 一种预应力钢绞线应力测量装置及方法 |
| EP3778123B1 (en) * | 2018-04-10 | 2023-03-01 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Signal processing apparatus and electric tool |
| CN113176017B (zh) * | 2021-04-29 | 2023-07-25 | 重庆交通大学 | 钢绞线体内预应力分布监测方法、监测系统及其使用方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4446890A (en) * | 1981-10-05 | 1984-05-08 | Lockheed Corporation | Continuity actuated isolation valve assembly |
| US4907460A (en) * | 1987-10-30 | 1990-03-13 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Torque sensor |
| US5046371A (en) * | 1990-01-08 | 1991-09-10 | Kronberg James W | In-line rotating capacitive torque sensor |
| DE4231646A1 (de) * | 1992-02-11 | 1993-08-12 | A B Elektronik Gmbh | Messanordnung zur bestimmung der torsion und eines anliegenden torsionsmomentes |
| JP3173903B2 (ja) | 1992-12-04 | 2001-06-04 | 光洋精工株式会社 | トルクセンサの異常検出装置および異常検出方法 |
| US5578767A (en) * | 1995-03-06 | 1996-11-26 | Nsk Ltd. | Torque sensor |
| JP3278772B2 (ja) * | 1995-09-05 | 2002-04-30 | 高巣 周平 | トルクセンサ |
| JP3692494B2 (ja) * | 1996-04-17 | 2005-09-07 | 高巣 周平 | トルクセンサ |
| JPH11264779A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-09-28 | Shuhei Takasu | トルク・スラスト検出装置 |
| US6223608B1 (en) * | 1998-06-02 | 2001-05-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Torque detector |
| JP2000028450A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-01-28 | Mitsubishi Electric Corp | トルク検出装置 |
-
1999
- 1999-10-29 JP JP30893199A patent/JP3583671B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2000
- 2000-04-19 US US09/552,247 patent/US6341535B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-05-31 DE DE10027095A patent/DE10027095B4/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016129572A1 (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 日本精工株式会社 | トルクセンサ及びそれを搭載した電動パワーステアリング装置 |
| JPWO2016129572A1 (ja) * | 2015-02-10 | 2017-05-25 | 日本精工株式会社 | トルクセンサ及びそれを搭載した電動パワーステアリング装置 |
| JP7447751B2 (ja) | 2020-09-18 | 2024-03-12 | 株式会社プロテリアル | 磁歪式トルクセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10027095B4 (de) | 2007-03-08 |
| US6341535B1 (en) | 2002-01-29 |
| DE10027095A1 (de) | 2001-05-10 |
| JP3583671B2 (ja) | 2004-11-04 |
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