JP2001124061A - 動圧気体軸受装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 信頼性が高く、高精度な動圧気体軸受装置を
低コストで提供するとともに、無電解ニッケルめっき皮
膜形成後の表面仕上げ加工を不要にした動圧気体軸受装
置及びその製造方法を得ることを目的とする。 【解決手段】 動圧気体軸受装置において、軸及びスリ
ーブがＡｌ−Ｍｇ系のアルミニウム合金により構成さ
れ、軸の外周面又はスリーブの内周面のうち何れか一方
には動圧発生溝が形成され、軸の外周面及びスリーブの
内周面のそれぞれには無電解ニッケルめっき皮膜が形成
され、そして軸の外周面又はスリーブの内周面のうち少
なくとも一方の無電解ニッケルめっき皮膜内には潤滑性
材料が分散されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばデジタル
複写機やレーザープリンタに適するポリゴンミラー回転
駆動装置や回転磁気ヘッド装置等に使用可能な動圧気体
軸受装置及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、デジタル複写機やレーザープリン
タにおいては、データ転送の高速化及び画像の高品質化
が要求されている。その要求に答えて、デジタル複写機
やレーザープリンタに設けられているポリゴンミラー回
転駆動装置においては、高速回転と高精度が求められて
いる。このような求めに応じて、ポリゴンミラー回転駆
動装置には、非接触型の軸受として動圧気体軸受装置が
多用され始めている。

【０００３】この種の従来の動圧気体軸受装置において
は、回転起動時や停止時に軸の外周面とスリーブの内周
面との接触によって、軸受の摺動面に引っかき傷が生じ
るかじりを起こしたり、焼き付いたりして、回転不能に
なりやすいという問題があった。このような問題を解決
するために、例えば特開昭５９−８９８２３号公報に記
載されているように、軸の外周面とスリーブの内周面に
ＴｉＣ（チタンカーボン）等の超硬質複合材料をイオン
プレーティングによりコーティングし、これらの摺動面
の耐摩耗性を高める第１の処理方法があった。さらに、
軸の外周面とスリーブの内周面に高精度な被膜を形成す
る方法としては、被膜形成後の軸外周面とスリーブ内周
面の表面粗さを整えるためにホーニング加工やダイヤモ
ンドバイトによる切削加工等による表面仕上げを施す第
２の処理方法があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
第１の処理を方法においては、軸外周面とスリーブ内周
面の両方に耐摩耗性を高めるためのコーティング処理を
施しているため、回転起動時や停止時に両者が接触する
と、互いに両者の表面を傷付けて摩耗粉が発生する。こ
の摩耗粉が摺動面に存在すると、従来の動圧気体軸受装
置においては、回転異常を起こすという問題があった。
また、上記第２の処理を施したものにあっては、高い軸
受性能を得るために高精度な軸受すきまを形成する必要
がある。しかし、このような高精度な軸受すきまを形成
しようとすると、軸外周面及びスリーブ内周面の面粗度
を精度高く仕上げるための仕上げ工程が必要となり、製
造工程数が多くなりコスト高を招くという問題があっ
た。

【０００５】本発明は、かかる従来の問題点を解消する
ためになされたものであり、軸外周面とスリーブ内周面
とのかじりや焼き付きの起こりにくい、高精度の動圧気
体軸受装置を低コストで提供すると共に、仕上げ加工を
不要にした低コストの動圧気体軸受装置の製造方法を実
現することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明に係る動圧気体軸受装置は、回転中心に軸受
用の孔を有し、Ａｌ−Ｍｇ系のアルミニウム合金で形成
されたスリーブ状部と、前記スリーブ状部の前記孔に所
定の隙間を有して相対的に回転可能に挿入され、Ａｌ−
Ｍｇ系のアルミニウム合金で形成された軸とを有し、前
記軸の外周面及び前記スリーブ状部の内周面のうち何れ
か一方に動圧発生溝が形成されており、前記軸の外周面
及び前記スリーブ状部の内周面のそれぞれに無電解ニッ
ケルめっき被膜が形成されており、前記軸の外周面及び
前記スリーブ状部の内周面のうち少なくとも何れか一方
の無電解ニッケルめっき被膜内に潤滑性材料が分散され
ている。このように構成された本発明の動圧気体軸受装
置は、軸の外周面とスリーブ状部の内周面とのかじりや
焼き付きの起こりにくい、高精度の動圧気体軸受装置を
低コストで提供することが可能となる。

【０００７】本発明に係る動圧気体軸受装置の製造方法
は、Ａｌ−Ｍｇ系のアルミニウム合金製の軸及びスリー
ブ状部の素材において、軸素材の外周面及びスリーブ状
部素材の内周面のうち何れか一方に動圧発生溝を形成す
る工程、前記軸素材の外周面及びスリーブ状部素材の内
周面のそれぞれに無電解ニッケルめっき被膜を形成する
工程、前記軸素材の外周面及びスリーブ状部素材の内周
面に形成された無電解ニッケルめっき被膜の少なくとも
何れか一方に潤滑性材料を分散する工程、前記軸素材と
前記スリーブ状部素材をはめ合わせて軸受を構成する工
程、とを有する。このように構成された本発明の動圧気
体軸受装置の製造方法は、仕上げ加工を不要にした製造
コストの低い動圧気体軸受装置を製造することが可能と
なる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る動圧気体軸受
装置の好ましい実施の形態について、添付の図面を用い
て説明する。

【０００９】《実施の形態１》図１は本発明に係る実施
の形態１の動圧気体軸受装置を示す断面図である。図２
は実施の形態１の動圧気体軸受装置における軸（ａ）と
スリーブ（ｂ）を示している。図１及び図２に示すよう
に、実施の形態１においては、軸の外周面に動圧発生溝
を施した例を示している。図３は実施の形態１の動圧気
体軸受装置を製造するための表面処理方法を示すフロー
チャートである。

【００１０】実施の形態１の動圧気体軸受装置は、デジ
タル複写機やレーザープリンタに設けられているポリゴ
ンミラー回転駆動装置に設けられている。図１におい
て、実施の形態１の動圧気体軸受装置は、軸受孔２ａを
有する回転型のスリーブ２と、そのスリーブ２の軸受孔
２ａを貫通するよう配置された固定型の軸１とを具備し
ている。スリーブ２にはその外周部分にフランジ状のミ
ラー取付部２ｂが形成されている。このミラー取付部２
ｂにはポリゴンミラー３が固着され、スリーブ２に連結
されたモータ（図示なし）の回転によりポリゴンミラー
３が回転するよう構成されている。軸１及びスリーブ２
はアルミニウム合金により形成されている。

【００１１】図２の（ａ）は、実施の形態１における軸
１の一部を破断して示した正面図である。図２の（ａ）
に示すように、略円柱状の軸１の外周表面には無電解ニ
ッケルめっき被膜４が形成されている。この無電解ニッ
ケルめっき被膜４は、潤滑性材料が分散した無電解ニッ
ケルめっき液によりめっきした被膜である。実施の形態
１においては潤滑性材料としてフッ素樹脂であるポリテ
トラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の粒子（テフロン粒
子）を用いている。無電解ニッケルめっき被膜４の厚み
は数μｍ程度であり、実施の形態１においては約３μｍ
であった。また、軸１の外周面１ａには深さ数μｍ程度
の動圧発生溝５が形成されている。この動圧発生溝５
は、軸１の外周面１ａにラジアルおよびスラスト方向の
負荷を受ける動圧を発生させるためのジグザグ状の溝で
ある。

【００１２】図２の（ｂ）は、実施の形態１におけるス
リーブ２の断面図である。図２の（ｂ）に示すように、
スリーブ２にはその中央を実質的に貫通する軸受孔２ａ
が形成されており、この軸受孔２ａの中心軸はスリーブ
２の回転中心軸である。軸受孔２ａの内周面には無電解
ニッケルめっき被膜６が形成されている。この無電解ニ
ッケルめっき被膜６には、潤滑性材料は含まれていな
い。軸受孔２ａには前記軸１が所定の微小すきまを有し
て挿入される。また、スリーブ２の外周部分にはフラン
ジ状のミラー取付部２ｂが形成されており、ポリゴンミ
ラー３が取り付けられる。

【００１３】実施の形態１においては、軸１の外周面１
ａに潤滑性材料が分散された無電解ニッケルめっき被膜
４が形成されており、スリーブ２の内周面２ｃには潤滑
性材料が含まれていない無電解ニッケルめっき被膜６が
形成されている。しかし、本発明はこの構成に限定され
るものではなく、軸１の無電解ニッケルめっき被膜４及
びスリーブ２の無電解ニッケルめっき被膜６の何れか一
方に、又は両方に潤滑性材料が分散された構成であれば
よい。また、上記実施の形態１においては、スリーブ２
の中央に貫通した軸受孔２ａを形成した例で示したが、
スリーブに形成される孔は貫通孔でなく有底状の穴に軸
が支持される構成でも良い。

【００１４】以下、実施の形態１の動圧気体軸受装置に
おける軸受け動作について説明する。動圧気体軸受装置
において、軸１はスリーブ２の軸受孔２ａに回転自在に
はめ合わされている。そして、スリーブ２はポリゴンミ
ラー３とともにモータ（図示なし）により回転駆動され
ている。スリーブ２の回転により、軸１の動圧発生溝５
のポンピング作用により軸１とスリーブ２との隙間空間
において、空気圧が外気圧より局部的に高くなる。この
高くなった空気圧により、スリーブ２は軸１のラジアル
方向に支持される。また、動圧発生溝５のパターンは、
そのジグザグ形状の頂点を通るラジアル方向の線に対し
て非対称に形成されている。これにより生じるポンピン
グ作用によって、スリーブ２内の隙間空間を下から上へ
流れる空気流が生じる。その結果、スリーブ２は軸１に
対してスラスト方向に浮上する。このようにして、スリ
ーブ２は軸１に非接触で支持されて回転する。

【００１５】次に、実施の形態１の動圧気体軸受装置の
製造方法について説明する。図３は実施の形態１におけ
る動圧気体軸受装置の製造方法における素材表面処理工
程を示すフローチャートである。図３は無電解ニッケル
めっきの処理方法の一例を示すものである。無電解ニッ
ケルめっきの処理方法は、クリーニング→エッチング→
酸洗→亜鉛置換→酸洗→亜鉛置換→めっき→乾燥の各工
程により実行される。クリーニング工程（ステップ１０
１）は素材表面の油を除去するための洗浄である。実施
の形態１のクリーニング工程においては、素材を４５℃
のクリーニング液に５分間浸しつつ、例えば２８ｋＨ
ｚ、４５ｋＨｚ、１００ｋＨｚの高周波を順次与えて素
材を振動させることによりクリーニングを行った。次の
エッチング工程（ステップ１０２）において、アルミニ
ウム合金表面の酸化被膜が除去される。エッチング工程
の次の１回目の酸洗工程（ステップ１０３）において、
アルミニウム合金表面の焼けが取り除かれる。

【００１６】次に、１回目の亜鉛置換工程（ステップ１
０４）、２回目の酸洗工程（ステップ１０５）、２回目
の亜鉛置換工程（ステップ１０６）が順次実行される。
無電解ニッケルめっきの処理において、クリーニング工
程（ステップ１０１）から２回目の亜鉛置換工程（ステ
ップ１０６）までが前処理工程である。この前処理工程
において、１回目の亜鉛置換工程（ステップ１０４）か
ら２回目の亜鉛置換工程（ステップ１０６）までは、素
材がアルミニウム合金の場合にのみ行われる前処理工程
である。この前処理は、ニッケルめっきが直接アルミニ
ウム合金に付きにくいので、アルミニウム合金の表面に
Ｚｎを付けるための工程である。上記のように、前処理
を行った後、ニッケルめっき工程（ステップ１０７）を
実行する。このニッケルめっき工程において、ニッケル
めっき液中には潤滑性材料が混入され撹拌されて所定の
比率に分散されている。ニッケルめっき処理後、潤滑性
材料はニッケルめっきの被膜内に所定の比率で分散され
る。ニッケルめっきに対する潤滑性材料の好ましい含有
比率としては、４０重量％以下である。この含有比率が
４０重量％以上になると、潤滑性材料が摩耗し高精度な
被膜表面を構成できなくなるという問題がある。我々の
実験によれば、潤滑性材料の含有比率が３５重量％にお
いて好ましい結果が得られた。最後に、乾燥工程（ステ
ップ１０８）が実行されて素材表面処理は終了する。

【００１７】図２の（ａ）に示した実施の形態１におけ
る軸１の素材としては、軽量、加工性の容易さ、及び優
れた耐食性の観点からアルミニウム合金を用いている。
例えば、図３に示した無電解ニッケルめっきの工程にお
いては、エッチング処理が素材の表面を荒らしやすい。
このため、軸１の素材としては、耐食性に優れた特性を
有して素材表面の荒れを抑えることが可能なＡｌ−Ｍｇ
系のアルミニウム合金を用いた。また、図２の（ｂ）に
示したスリーブ２の軸受面となる内周面２ｃにも、前述
の無電解ニッケルめっきの処理方法により無電解ニッケ
ルめっき被膜６が形成されている。実施の形態１のスリ
ーブ２の素材としては、軸１の場合と同様の理由によ
り、Ａｌ−Ｍｇ系のアルミニウム合金が用いられてい
る。上記のように、実施の形態１における軸１の外周表
面には動圧発生溝５が形成されて、潤滑性材料が分散さ
れた無電解ニッケルめっき被膜４が施されている。ま
た、スリーブ２の内周面２ｃには無電解ニッケルめっき
被膜６が形成されている。このように構成されたスリー
ブ２の軸受孔２ａ内に軸１が挿入され、実施の形態１の
動圧気体軸受装置が構成されている。

【００１８】上記のように、実施の形態１の動圧気体軸
受装置は、軸１の外周面１ａ及びスリーブ２の内周面２
ｃに、それぞれ無電解ニッケルめっき被膜４、６が形成
されている。また、軸１の外周面１ａに形成された無電
解ニッケルめっき被膜４内には、潤滑性材料、例えばポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の粒子（テフロ
ン粒子）が分散されている。ニッケルめっき工程（ステ
ップ１０７）において、素材として耐食性に優れたＡｌ
−Ｍｇ系のアルミニウム合金が用いられているため、所
定の表面粗さ以下に無電解ニッケルめっき被膜が形成さ
れる。耐食性に優れたＡｌ−Ｍｇ系のアルミニウム合金
を使用し、これにニッケルめっき被膜を形成することに
より、軽量化が図られると共に、ニッケルめっき工程中
のエッチングの影響を受けることなく高精度な被膜表面
を得ることができる。また、軸１の外周面１ａ及びスリ
ーブ２の内周面２ｃのうち少なくとも何れか一方の無電
解ニッケルめっき被膜内に潤滑性材料を分散させること
により、超高速で回転させた場合においても焼き付きや
かじりが生じ難くなり、軸受の信頼性が向上するという
効果を有する。上記の実施の形態１においては、回転型
のスリーブと固定型の軸を用いた例で説明したが、本発
明はこのような構成に限定されるものではなく、固定型
のスリーブに回転型の軸を用いる構成でも同様の効果を
有する。

【００１９】《実施の形態２》次に、本発明に係る実施
の形態２の動圧気体軸受装置について図面を参照しつつ
説明する。以下の実施の形態２の説明において、前述の
実施の形態１の動圧気体軸受装置における機能と同じ機
能を有するものには同じ符号を付してその説明は省略す
る。図４は実施の形態２の動圧気体軸受装置における軸
１又はスリーブ２を形成するための素材を拡大して示し
た断面図である。図４の（ａ）は、素材８の表面の無電
解ニッケルめっき被膜７において粒径の大きな潤滑性材
料９が分散された状態を示す断面図である。図４の
（ｂ）は、素材１１の表面の無電解ニッケルめっき被膜
１０において粒径の小さな潤滑性材料１２が分散された
状態を示す断面図である。

【００２０】図４において、素材８、１１はそれぞれ軸
１又はスリーブ２を形成するための素材であり、Ａｌ−
Ｍｇ系のアルミニウム合金により構成されている。それ
ぞれの素材８、１１上に形成された無電解ニッケルめっ
き被膜７、１０は、前述の実施の形態１において説明し
たように、無電解ニッケルめっきの処理方法により形成
される。それぞれの無電解ニッケルめっき被膜７、１０
内に分散されている潤滑性材料１２はポリテトラフロオ
ロエチレン粒子である。図４の（ａ）に示す潤滑性材料
９の平均粒径は約２μｍである。図４の（ｂ）に示す潤
滑性材料１２の平均粒径は約０.５μｍである。

【００２１】動圧気体軸受装置において、軸とスリーブ
との間には数μｍ単位以下の所定間隔を有する高精度な
軸受すきまを形成する必要がある。このような高精度な
軸受すきまを形成するためには、軸１の外周面とスリー
ブ２の内周面は、無電解ニッケルめっきの表面処理によ
り、それらの表面の粗さを０.５μｍＲｚ（十点平均粗
さ）以下に抑えることが好ましい。しかし、図４の
（ａ）に示すように、無電解ニッケルめっき被膜７中に
分散している潤滑性材料９であるポリテトラフルオロエ
チレン粒子の粒径が大きい（例えば、平均粒径は約２μ
ｍ以上）場合、被膜形成後の無電解ニッケルめっき被膜
７の表面にはポリテトラフルオロエチレン粒子が大きく
突出する可能性がある。したがって、上記のような大き
な粒径のポリテトラフルオロエチレン粒子を有する無電
解ニッケルめっき被膜７は、ニッケルめっき処理のみで
被膜表面を所望の値（０.５μｍＲｚ）以下の表面粗さ
に形成することはできない。

【００２２】一方、図４の（ｂ）に示すように、粒径
０.５μｍ以下の潤滑性材料１２であるポリテトラフル
オロエチレン粒子を用いれば、無電解ニッケルめっき被
膜１０の形成後において、被膜表面には大きな突出部分
が生じることがなく、確実に表面粗さを所望の値、例え
ば０.５μｍＲｚ（十点平均粗さ）に抑えることが可能
となる。したがって、実施の形態２の動圧気体軸受装置
においては、粒径０.５μｍ以下の潤滑性材料１２をの
性能を大きく左右する軸受すきまをμｍ単位で保持する
ことができる。

【００２３】このように実施の形態２の動圧気体軸受装
置においては、図４の（ｂ）のように形成された素材１
１を用いて軸１及びスリーブ２の何れか一方、または両
方を形成している。すなわち、実施の形態２における軸
１及びスリーブ２の少なくとも何れか一方は、無電解ニ
ッケルめっき被膜１０中に粒径０.５μｍ以下の潤滑性
材料１２を分散させて、無電解ニッケルめっき被膜形成
後の表面粗さを０.５μｍＲｚ以下に構成した。この結
果、実施の形態２によれば、優れた潤滑性が得られると
同時に軸受すきまをμｍ単位に高精度に保持することが
でき、高性能な動圧気体軸受装置を得ることができる。

【００２４】上記のように構成された実施の形態２の動
圧気体軸受装置は、信頼性が高く、高精度な動圧気体軸
受を低コストの装置で提供することができると共に、無
電解ニッケルめっき被膜形成後の表面仕上げ加工を不要
にした低コストの製造方法を実現することができる。

【００２５】

【発明の効果】以上、実施の形態について詳細に説明し
たところから明らかなように、本発明は次の効果を有す
る。本発明に係る動圧気体軸受装置は、軸及びスリーブ
をＡｌ−Ｍｇ系のアルミニウム合金により形成するとと
もに、軸の外周面及びスリーブの内周面にそれぞれ無電
解ニッケルめっき被膜を形成し、軸の外周面及びスリー
ブの内周面のうち少なくとも一方の無電解ニッケルめっ
き被膜内に潤滑性材料を分散させるよう構成した。この
ため、本発明の動圧気体軸受装置は、軽量化が図れると
共に、超高速で回転させた場合においても焼き付きやか
じりが生じ難く、軸受の信頼性が飛躍的に向上してい
る。

【００２６】また、本発明に係る動圧気体軸受装置は、
潤滑性材料として、粒径０.５μｍ以下のポリテトラフ
ルオロエチレン粒子を用いているので、軸の外周面及び
スリーブの内周面を共に所望の表面粗さ以下の滑らかな
面に形成することができ、軸受すきまをμｍ単位の高精
度に保持することができる。このため、本発明の動圧気
体軸受装置は、軸の外周面とスリーブの内周面との摩擦
を小さく抑えることが可能となり、軸受の性能と信頼性
が飛躍的に向上している。さらに、本発明に係る動圧気
体軸受装置の製造方法によれば、軸の外周面及びスリー
ブの内周面に無電解ニッケルめっき被膜を形成すること
により、別に表面仕上げ処理を改めて行う必要がなく、
生産性の優れた動圧気体軸受装置を得ることができる。
また、本発明に係る動圧気体軸受装置の製造方法によれ
ば、量産効率を高めることが可能となり、高性能な動圧
気体軸受装置を低コストで製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施の形態１の動圧気体軸受装置
における軸１及びスリーブ２の構成を示す断面図であ
る。

【図２】本発明に係る実施の形態１における要部を示す
図であり、（ａ）は軸を示す一部破断して示した平面図
であり、（ｂ）はスリーブを示す断面図である。

【図３】本発明の動圧気体軸受装置の製造方法における
素材表面処理工程を示すフローチャートである。

【図４】本発明に係る実施の形態２の動圧気体軸受装置
における素材の断面図であり、（ａ）は素材８の表面の
無電解ニッケルめっき被膜７において粒径の大きな潤滑
性材料９が分散された状態を示す断面図であり、（ｂ）
は素材１１の表面の無電解ニッケルめっき被膜１０にお
いて粒径の小さな潤滑性材料１２が分散された状態を示
す断面図である。

【符号の説明】

１ 軸 ２ スリーブ ２ａ 軸受孔 ２ｂ ミラー取付部 ２ｃ 内周面 ３ ポリゴンミラー ４ 無電解ニッケルめっき被膜 ５ 動圧発生溝 ７、１０ 無電解ニッケルめっき被膜 ８、１１ 素材 ９、１２ 潤滑性材料

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅田 隆文 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 松本 才明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3J011 AA04 AA20 BA02 CA02 CA05 DA02 QA03 SB04 SB20 SC04 SE04

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転中心に軸受用の孔を有し、Ａｌ−Ｍ
   ｇ系のアルミニウム合金で形成されたスリーブ状部と、 前記スリーブ状部の前記孔に所定の隙間を有して相対的
   に回転可能に挿入され、Ａｌ−Ｍｇ系のアルミニウム合
   金で形成された軸とを有し、 前記軸の外周面及び前記スリーブ状部の内周面のうち何
   れか一方に動圧発生溝が形成されており、前記軸の外周
   面及び前記スリーブ状部の内周面のそれぞれに無電解ニ
   ッケルめっき被膜が形成されており、前記軸の外周面及
   び前記スリーブ状部の内周面のうち少なくとも何れか一
   方の無電解ニッケルめっき被膜内に潤滑性材料が分散さ
   れていることを特徴とする動圧気体軸受装置。
2. 【請求項２】 前記潤滑性材料が粒径０.５μｍ以下の
   フッ素樹脂粒子であることを特徴とする請求項１記載の
   動圧気体軸受装置。
3. 【請求項３】 Ａｌ−Ｍｇ系のアルミニウム合金製の軸
   及びスリーブ状部の素材において、軸素材の外周面及び
   スリーブ状部素材の内周面のうち何れか一方に動圧発生
   溝を形成する工程、 前記軸素材の外周面及びスリーブ状部素材の内周面のそ
   れぞれに無電解ニッケルめっき被膜を形成する工程、 前記軸素材の外周面及びスリーブ状部素材の内周面に形
   成された無電解ニッケルめっき被膜の少なくとも何れか
   一方に潤滑性材料を分散する工程、 前記軸素材と前記スリーブ状部素材をはめ合わせて軸受
   を構成する工程、とを有することを特徴とする動圧気体
   軸受装置の製造方法。
4. 【請求項４】 前記潤滑性材料が粒径０.５μｍ以下の
   フッ素樹脂粒子であることを特徴とする請求項３記載の
   動圧気体軸受装置の製造方法。