JPH03186608A - 動圧気体軸受 - Google Patents
動圧気体軸受Info
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- JPH03186608A JPH03186608A JP32428789A JP32428789A JPH03186608A JP H03186608 A JPH03186608 A JP H03186608A JP 32428789 A JP32428789 A JP 32428789A JP 32428789 A JP32428789 A JP 32428789A JP H03186608 A JPH03186608 A JP H03186608A
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Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、モータや気体タービンにより駆動される回
転スリーブを固定軸に対して非接触で保持する動圧気体
軸受、特にレーザビームプリンタ等に使用される ポリ
ゴン旦う−を駆動するための小型の動圧気体軸受に関す
る。
転スリーブを固定軸に対して非接触で保持する動圧気体
軸受、特にレーザビームプリンタ等に使用される ポリ
ゴン旦う−を駆動するための小型の動圧気体軸受に関す
る。
従来のポリゴンミラー駆動用モータに使用される小型の
動圧気体軸受について説明する。第３図は従来の動圧気
体軸受の断面図である。 円筒の上下両端部にへの字状溝を円周にわたり形成し、
一端に第１のフランジ３を有する固定軸ｌと、前記第１
のフランジ３と接する面に第２のフランジ５を有し、前
記固定軸ｌに狭い隙間を保ってはめ合わされる中空円筒
状の回転スリーブ４とから動圧気体軸受が構成される。 前記第２のフランジ５の前記第１のフランジ３と接する
面には、回転スリーブ４の回転方向に応して第４図に示
すスパイラル状溝６を刻んである。 回転スリーブ４の第２のフランジ５と反対側の端面には
、ポリゴンミラー７が取り付けられていて、回転スリー
ブ４とともに回転する。また回転スリーブ４の外周には
着磁されたリング状の磁性体からなるロータ８が取り付
けられており、これと対向するステータ９から発生する
回転磁界の作用により、前記回転スリーブ４を回転させ
る。 回転スリーブ４が第５のポリゴンミラー７の上から見て
反時計方向に回転すると、固定軸ｌの円筒外周面に形成
されたハの字状溝２のポンピング作用により、周囲の気
体がこのハの字状溝２に沿って吸引されるため、ハの字
状溝２の中心部１２の気体圧力が周囲の気体圧力に対し
て上昇し、その結果回転スリーブ４は固定軸１に対して
非接触に保持され、前記上部ラジアル軸受部１１と下部
ラジアル軸受部１２とは、ラジアル軸受として作用する
。 また回転スリーブ４が第３図のポリゴンミラー７の上か
ら見て株時計方向に回転すると、回転スリーブ４の第２
のフランジ５の表面に生成されたスパイラル状溝６のポ
ンピング作用により、周囲の気体がこのスパイラル状溝
６に沿って吸引されるため、スパイラル状溝６の中心に
近い部分の気体圧力が周囲の気体圧力に対して上昇し、
その結果第２のフランジ５は第１のフランジ３に対して
非接触に保持される。従って回転スリーブ４が固定軸Ｉ
に沿って持ち上げられスラスト軸受となる。
動圧気体軸受について説明する。第３図は従来の動圧気
体軸受の断面図である。 円筒の上下両端部にへの字状溝を円周にわたり形成し、
一端に第１のフランジ３を有する固定軸ｌと、前記第１
のフランジ３と接する面に第２のフランジ５を有し、前
記固定軸ｌに狭い隙間を保ってはめ合わされる中空円筒
状の回転スリーブ４とから動圧気体軸受が構成される。 前記第２のフランジ５の前記第１のフランジ３と接する
面には、回転スリーブ４の回転方向に応して第４図に示
すスパイラル状溝６を刻んである。 回転スリーブ４の第２のフランジ５と反対側の端面には
、ポリゴンミラー７が取り付けられていて、回転スリー
ブ４とともに回転する。また回転スリーブ４の外周には
着磁されたリング状の磁性体からなるロータ８が取り付
けられており、これと対向するステータ９から発生する
回転磁界の作用により、前記回転スリーブ４を回転させ
る。 回転スリーブ４が第５のポリゴンミラー７の上から見て
反時計方向に回転すると、固定軸ｌの円筒外周面に形成
されたハの字状溝２のポンピング作用により、周囲の気
体がこのハの字状溝２に沿って吸引されるため、ハの字
状溝２の中心部１２の気体圧力が周囲の気体圧力に対し
て上昇し、その結果回転スリーブ４は固定軸１に対して
非接触に保持され、前記上部ラジアル軸受部１１と下部
ラジアル軸受部１２とは、ラジアル軸受として作用する
。 また回転スリーブ４が第３図のポリゴンミラー７の上か
ら見て株時計方向に回転すると、回転スリーブ４の第２
のフランジ５の表面に生成されたスパイラル状溝６のポ
ンピング作用により、周囲の気体がこのスパイラル状溝
６に沿って吸引されるため、スパイラル状溝６の中心に
近い部分の気体圧力が周囲の気体圧力に対して上昇し、
その結果第２のフランジ５は第１のフランジ３に対して
非接触に保持される。従って回転スリーブ４が固定軸Ｉ
に沿って持ち上げられスラスト軸受となる。
以上のように従来装置では、回転開始時と回転停止時に
おいて一時的に第１のフランジ３と第２のフランジ５と
の対向面は直接接触するので、強い回転力により摩擦作
用を受ける。そのため、第１のフランジ３と第２のフラ
ンジ５の対向する面が焼付したり、液体や粉体等の異物
の混入をきらうこの種ポリゴンミラー回転用動圧気体軸
受へ摩耗粉が浸入するという問題があった。 この発明は、回転開始時と回転停止時に第１のフランジ
と第２のフランジとの接触面の摩擦を少なくするように
した動圧気体軸受を提供することを目的とする。
おいて一時的に第１のフランジ３と第２のフランジ５と
の対向面は直接接触するので、強い回転力により摩擦作
用を受ける。そのため、第１のフランジ３と第２のフラ
ンジ５の対向する面が焼付したり、液体や粉体等の異物
の混入をきらうこの種ポリゴンミラー回転用動圧気体軸
受へ摩耗粉が浸入するという問題があった。 この発明は、回転開始時と回転停止時に第１のフランジ
と第２のフランジとの接触面の摩擦を少なくするように
した動圧気体軸受を提供することを目的とする。
上記目的は固定軸の第１のフランジが前記回転スリーブ
の第２のフランジに対向する面に、硬質コーティングま
たは低摩擦コーティングのうちいづれか一方のコーティ
ングを施し、前記回転スリーブの前記第２のフランジが
前記固定軸の前記第１のフランジと対向する面に、他方
のコーティングを施した動圧気体軸受によって達成され
る。但しここで硬質コーティングとは、Ｔｉ Ｎコーテ
ィング、Ｔｉｃ：２−ティング、Ｎｉ −Ｃｒ ’：１
−ティングのいずれか一種、また低摩擦コーティングと
は４フン化エチレン−Ｎｉコーティング、Ｍｏ５ｔコー
テイングのいずれか一種とする。
の第２のフランジに対向する面に、硬質コーティングま
たは低摩擦コーティングのうちいづれか一方のコーティ
ングを施し、前記回転スリーブの前記第２のフランジが
前記固定軸の前記第１のフランジと対向する面に、他方
のコーティングを施した動圧気体軸受によって達成され
る。但しここで硬質コーティングとは、Ｔｉ Ｎコーテ
ィング、Ｔｉｃ：２−ティング、Ｎｉ −Ｃｒ ’：１
−ティングのいずれか一種、また低摩擦コーティングと
は４フン化エチレン−Ｎｉコーティング、Ｍｏ５ｔコー
テイングのいずれか一種とする。
ＴｉＮコーティング、Ｔｉ Ｃコーティング、 Ｎ
ｉ−Ｃｒコーティングといった硬質コーティングは硬度
が高くコーティングを施した面は摩擦しない。 また４７フ化エチレン−Ｎｉコーティング、Ｍ。 Ｓ２コーテイングといった低摩擦コーティングは摩擦係
数が小さくコーティングを施した面は摩擦しない。よっ
て第１のフランジと第２のフランジとの接触面の一方に
上記のうちいずれかの硬質コーティングを、他方に上記
のうちいずれかの低摩擦コーティングを施せば、回転開
始時と回転停止時の動圧気体軸受の摩耗を低減すること
ができる。
ｉ−Ｃｒコーティングといった硬質コーティングは硬度
が高くコーティングを施した面は摩擦しない。 また４７フ化エチレン−Ｎｉコーティング、Ｍ。 Ｓ２コーテイングといった低摩擦コーティングは摩擦係
数が小さくコーティングを施した面は摩擦しない。よっ
て第１のフランジと第２のフランジとの接触面の一方に
上記のうちいずれかの硬質コーティングを、他方に上記
のうちいずれかの低摩擦コーティングを施せば、回転開
始時と回転停止時の動圧気体軸受の摩耗を低減すること
ができる。
以下図面に基づいてこの発明の詳細な説明する。第１図
はこの発明の第１の実施例による動圧気体軸受の断面図
である。第１図において第３図と同じ部位は同じ番号を
付しである。 第１図において、動圧気体軸受は、支軸の円筒の上部に
ハの字状溝２を円周にわたり形成した上部ラジアル軸受
部１１と、円筒の下部にハの字状溝溝２を円周にわたり
形成した下部ラジアル軸受部１２と、前記円筒の下端に
固定された第１のフランジ３とを有する固定軸ｌと、前
記第１のフランジ３の上部に位置し前記第１のフランジ
３と接する面にスパイラル状の溝を形成する第２のフラ
ンジ５と、この第２のフランジ５に固定され前記固定軸
ｌに狭い隙間を保ってはめ合わされる中空円筒状の回転
スリーブ４とからなる。 この回転スリーブ４の上部にポリゴンミラー７が取り付
けられ、回転スリーブ４の外周に着磁されたリング状の
磁性体からなるロータ８が取り付けられていて、このロ
ータ８と対向するステータ９から発生する回転磁界の作
用により回転スリーブ４を回転させる。回転スリーブ４
が第１図のポリゴンミラー７の上方から見て反時計方向
に回転すると、固定軸１の外周面に形成されたハの字状
溝２のポンピング作用により、周囲の気体がこのハの字
状溝２に沿って吸収されるため、への字状溝２の中心部
即ち上部ラジアル軸受部１１と下部ラジアル軸受部１２
の気体圧力が周囲の気体圧力に対して上昇し、その結果
回転スリーブ４は固定軸１に対して被接触に保持され、
前記上部ラジアル軸受部１１と下部ラジアル軸受部１２
とは、ラジアル軸受として作用する。 また回転スリーブ４が第１図のポリゴンミラー７の上か
ら見て反時計方向に回転すると、回転スリーブ４の第２
のフランジ５の表面に形成されたスパイラル状溝６のポ
ンピング作用により、周囲の気体がこのスパイラル状溝
６に沿って吸引されるため、スパイラル状溝６の中心に
近い部分の気体圧力が周囲の気体圧力に対して上昇し、
その結果第２のフランジ５は第１のフランジ３に対して
被接触に保持される。従って回転スリーブ４が固定軸１
に沿って持ち上げられスラスト軸受となる。 さらに、回転スリーブ４の上部ラジアル軸受部１１に対
向する上端に、複数の貫通穴２２−■を設け、下部ラジ
アル軸受１２の近くに複数の貫通穴２２−２を設ける。 貫通穴２２−１．２２−２は回転スリーブの回転により
外部気体が吸収される方向に貫通されている。このため
回転に伴い外部気体が回転スリーブ４へ吸引され上部ラ
ジアル軸受部１１及び下部ラジアル軸受部１２に供給さ
れ、これらの部分の剛性が増す。 第１図において、固定軸１の第１のフランジ３が前記回
転スリーブ４の第２のフランジ５に対向する面に、Ｔｉ
Ｎ硬質コーティング１４をイオンブレーティングによ
り１０μｍ以下の適当な厚さで均一に蒸着する。一方、
回転スリーブ４の第２のフランジ５が固定軸１の第１の
フランジ３と対向する面に４フン化エチレン−Ｎｉの低
摩擦コーティング１３を複合めっきにより１０μｍ以下
の適当な厚さで均一にめっきする。４フッ化エチレン−
Ｎｉは液体でＮｉの中に４フッ化エチレンが分散してお
り、Ｎｉが電気泳動してめっきされる際、４７フ化エチ
レンの粒子もＮｉに引きづられて動き、一種の不純物と
して付着する。 第２図は動圧気体軸受のフランジ面表面処理種別と起動
停止可能回数との関係を示す図である。 第２図において、Ａは固定軸の第１のフランジ及び回転
スリーブの第２のフランジ共に表面処理を施さないもの
、Ｂは固定軸の第１のフランジにＴｉＮ硬質コーティン
グを施し回転スリーブの第２のフランジに表面処理をほ
どこさないもの、Ｃは固定軸の第１のフランジにＴｉ
Ｎ硬質コーティングを施し回転スリーブの第２のフラン
ジに４フン化エチレン−Ｎｉの低摩擦コーティングをほ
どこしたものである。 Ａは起動停止可能回数１０回、Ｂは起動停止可能回数３
５回でありそれ以上は接触面の焼きっけを起こし回転不
能となる。しかし、この発明にょるＣの場合には、１０
００回以上の起動停止に耐えることが確認されている。 第２の実施例として固定軸１の第１のフランジ３が前記
回転スリーブ４の第２のフランジ５に対向する面に、Ｎ
ｉ−Ｃｒ硬質コーティングをめっきにより１０ａｍ以下
の適当な厚さで均一にめっきする。Ｎｉ−Ｃｒのめっき
は、先ずＮｉをめっきし、次にＣｒをめっきする２層め
っきである。−方、回転スリーブ４の第２のフランジ５
が固定軸１の第１のフランジ３と対向する面にテフロン
−Ｎｉの低摩擦コーティング１３を複合めっきにより１
０μｍ以下の適当な厚さで均一にめっきする。 第３の実施例は、第１の実施例の逆で固定軸１の第１の
フランジ３が前記回転スリーブ４の第２のフランジ５に
対向する面に、４７フ化エチレン−Ｎｉ の低摩擦コー
ティング１３を複合めっきにより１０μｍ以下の適当な
厚さで均一にめっきする。一方、回転スリーブ４の第２
のフランジ５が固定軸ｌの第１のフランジ３と対向する
面にＴｉＮの硬質コーティング１４をイオンブレーティ
ングにより１０μｍ以下の適当な厚さで均一に蒸着する
。 第４の実施例は第２の実施例の逆であり、固定軸ｌの第
１のフランジ３が前記回転スリーブ４の第２のフランジ
５に対向する面に、４７ノ化エチレン−Ｎｉの低摩擦コ
ーティング１３を複合めっきにより１０μｍ以下の適当
な厚さで均一にめっきする。一方、回転スリーブ４の第
２のフランジ５が固定軸１の第１のフランジ３と対向す
る面にＮｉ−Ｃｒ硬質コーティングをめっきにより１０
μｍ以下の適当な厚さで均一にめっきする。 第２の実施例、第３の実施例及び第４の実施例はともに
摩擦を減らす効果はほぼ同じである。 また、硬質コーティングとしてＴｉＣコーティング、低
摩擦コーティングとしてＭｏＳ２コーティングを採用し
た場合も、上記各実施例に近い効果を得られる。
はこの発明の第１の実施例による動圧気体軸受の断面図
である。第１図において第３図と同じ部位は同じ番号を
付しである。 第１図において、動圧気体軸受は、支軸の円筒の上部に
ハの字状溝２を円周にわたり形成した上部ラジアル軸受
部１１と、円筒の下部にハの字状溝溝２を円周にわたり
形成した下部ラジアル軸受部１２と、前記円筒の下端に
固定された第１のフランジ３とを有する固定軸ｌと、前
記第１のフランジ３の上部に位置し前記第１のフランジ
３と接する面にスパイラル状の溝を形成する第２のフラ
ンジ５と、この第２のフランジ５に固定され前記固定軸
ｌに狭い隙間を保ってはめ合わされる中空円筒状の回転
スリーブ４とからなる。 この回転スリーブ４の上部にポリゴンミラー７が取り付
けられ、回転スリーブ４の外周に着磁されたリング状の
磁性体からなるロータ８が取り付けられていて、このロ
ータ８と対向するステータ９から発生する回転磁界の作
用により回転スリーブ４を回転させる。回転スリーブ４
が第１図のポリゴンミラー７の上方から見て反時計方向
に回転すると、固定軸１の外周面に形成されたハの字状
溝２のポンピング作用により、周囲の気体がこのハの字
状溝２に沿って吸収されるため、への字状溝２の中心部
即ち上部ラジアル軸受部１１と下部ラジアル軸受部１２
の気体圧力が周囲の気体圧力に対して上昇し、その結果
回転スリーブ４は固定軸１に対して被接触に保持され、
前記上部ラジアル軸受部１１と下部ラジアル軸受部１２
とは、ラジアル軸受として作用する。 また回転スリーブ４が第１図のポリゴンミラー７の上か
ら見て反時計方向に回転すると、回転スリーブ４の第２
のフランジ５の表面に形成されたスパイラル状溝６のポ
ンピング作用により、周囲の気体がこのスパイラル状溝
６に沿って吸引されるため、スパイラル状溝６の中心に
近い部分の気体圧力が周囲の気体圧力に対して上昇し、
その結果第２のフランジ５は第１のフランジ３に対して
被接触に保持される。従って回転スリーブ４が固定軸１
に沿って持ち上げられスラスト軸受となる。 さらに、回転スリーブ４の上部ラジアル軸受部１１に対
向する上端に、複数の貫通穴２２−■を設け、下部ラジ
アル軸受１２の近くに複数の貫通穴２２−２を設ける。 貫通穴２２−１．２２−２は回転スリーブの回転により
外部気体が吸収される方向に貫通されている。このため
回転に伴い外部気体が回転スリーブ４へ吸引され上部ラ
ジアル軸受部１１及び下部ラジアル軸受部１２に供給さ
れ、これらの部分の剛性が増す。 第１図において、固定軸１の第１のフランジ３が前記回
転スリーブ４の第２のフランジ５に対向する面に、Ｔｉ
Ｎ硬質コーティング１４をイオンブレーティングによ
り１０μｍ以下の適当な厚さで均一に蒸着する。一方、
回転スリーブ４の第２のフランジ５が固定軸１の第１の
フランジ３と対向する面に４フン化エチレン−Ｎｉの低
摩擦コーティング１３を複合めっきにより１０μｍ以下
の適当な厚さで均一にめっきする。４フッ化エチレン−
Ｎｉは液体でＮｉの中に４フッ化エチレンが分散してお
り、Ｎｉが電気泳動してめっきされる際、４７フ化エチ
レンの粒子もＮｉに引きづられて動き、一種の不純物と
して付着する。 第２図は動圧気体軸受のフランジ面表面処理種別と起動
停止可能回数との関係を示す図である。 第２図において、Ａは固定軸の第１のフランジ及び回転
スリーブの第２のフランジ共に表面処理を施さないもの
、Ｂは固定軸の第１のフランジにＴｉＮ硬質コーティン
グを施し回転スリーブの第２のフランジに表面処理をほ
どこさないもの、Ｃは固定軸の第１のフランジにＴｉ
Ｎ硬質コーティングを施し回転スリーブの第２のフラン
ジに４フン化エチレン−Ｎｉの低摩擦コーティングをほ
どこしたものである。 Ａは起動停止可能回数１０回、Ｂは起動停止可能回数３
５回でありそれ以上は接触面の焼きっけを起こし回転不
能となる。しかし、この発明にょるＣの場合には、１０
００回以上の起動停止に耐えることが確認されている。 第２の実施例として固定軸１の第１のフランジ３が前記
回転スリーブ４の第２のフランジ５に対向する面に、Ｎ
ｉ−Ｃｒ硬質コーティングをめっきにより１０ａｍ以下
の適当な厚さで均一にめっきする。Ｎｉ−Ｃｒのめっき
は、先ずＮｉをめっきし、次にＣｒをめっきする２層め
っきである。−方、回転スリーブ４の第２のフランジ５
が固定軸１の第１のフランジ３と対向する面にテフロン
−Ｎｉの低摩擦コーティング１３を複合めっきにより１
０μｍ以下の適当な厚さで均一にめっきする。 第３の実施例は、第１の実施例の逆で固定軸１の第１の
フランジ３が前記回転スリーブ４の第２のフランジ５に
対向する面に、４７フ化エチレン−Ｎｉ の低摩擦コー
ティング１３を複合めっきにより１０μｍ以下の適当な
厚さで均一にめっきする。一方、回転スリーブ４の第２
のフランジ５が固定軸ｌの第１のフランジ３と対向する
面にＴｉＮの硬質コーティング１４をイオンブレーティ
ングにより１０μｍ以下の適当な厚さで均一に蒸着する
。 第４の実施例は第２の実施例の逆であり、固定軸ｌの第
１のフランジ３が前記回転スリーブ４の第２のフランジ
５に対向する面に、４７ノ化エチレン−Ｎｉの低摩擦コ
ーティング１３を複合めっきにより１０μｍ以下の適当
な厚さで均一にめっきする。一方、回転スリーブ４の第
２のフランジ５が固定軸１の第１のフランジ３と対向す
る面にＮｉ−Ｃｒ硬質コーティングをめっきにより１０
μｍ以下の適当な厚さで均一にめっきする。 第２の実施例、第３の実施例及び第４の実施例はともに
摩擦を減らす効果はほぼ同じである。 また、硬質コーティングとしてＴｉＣコーティング、低
摩擦コーティングとしてＭｏＳ２コーティングを採用し
た場合も、上記各実施例に近い効果を得られる。
この発明は、固定軸の第１のフランジが回転スリーブの
第２のフランジに対向する面に、硬質コーティング（Ｔ
ｉ Ｎ、Ｔｉ Ｃ，Ｎｉ −Ｃｒ コーティングのいず
れか）または低摩擦コーティング（４フッ化エチレン−
Ｎｉ 、Ｍｏ Ｓｚココ−ィングのいずれか）のうちい
づれか一方のコーティングを施し、回転スリーブの第２
のフランジが固定軸の第１のフランジと対向する面に、
他方のコーティングを施したので、硬質化と低摩擦係数
化の両件用により、摩耗、焼付を防止し、動圧気体軸受
けの起動停止寿命を大幅に増すことができる。
第２のフランジに対向する面に、硬質コーティング（Ｔ
ｉ Ｎ、Ｔｉ Ｃ，Ｎｉ −Ｃｒ コーティングのいず
れか）または低摩擦コーティング（４フッ化エチレン−
Ｎｉ 、Ｍｏ Ｓｚココ−ィングのいずれか）のうちい
づれか一方のコーティングを施し、回転スリーブの第２
のフランジが固定軸の第１のフランジと対向する面に、
他方のコーティングを施したので、硬質化と低摩擦係数
化の両件用により、摩耗、焼付を防止し、動圧気体軸受
けの起動停止寿命を大幅に増すことができる。
第１図はこの発明の第１の実施例による動圧気体軸受の
断面図、第２図は動圧気体軸受のフランジ面表面処理種
別と起動停止可能回数との関係を示す図、第３図は従来
例による動圧気体軸受の断面図、第４図はスパイラル状
溝を示す図である。 １：固定軸、２：ハの字状溝、３：第１のフランジ、４
：回転スリーブ、５：第２のフランジ、６：スパイラル
状溝、ｌｌｌ二部ラジアル軸受部、１２：下部ラジアル
軸受部、１３：４フッ化エチレン−Ｎｉ低摩擦コーティ
ング、１４：ＴｉＮ硬質コーティング、２２−１．２２
−２：貫通穴。 代私弁理士駒田喜英 箪 図 Ｂ フク゛ノン面表面処理 才１１ 別 笛 図 箪 図 箪 図
断面図、第２図は動圧気体軸受のフランジ面表面処理種
別と起動停止可能回数との関係を示す図、第３図は従来
例による動圧気体軸受の断面図、第４図はスパイラル状
溝を示す図である。 １：固定軸、２：ハの字状溝、３：第１のフランジ、４
：回転スリーブ、５：第２のフランジ、６：スパイラル
状溝、ｌｌｌ二部ラジアル軸受部、１２：下部ラジアル
軸受部、１３：４フッ化エチレン−Ｎｉ低摩擦コーティ
ング、１４：ＴｉＮ硬質コーティング、２２−１．２２
−２：貫通穴。 代私弁理士駒田喜英 箪 図 Ｂ フク゛ノン面表面処理 才１１ 別 笛 図 箪 図 箪 図
Claims (1)
- １）立軸の円筒の上部にハの字状溝を円周にわたり形成
した上部ラジアル軸受部と、前記円筒の下部にハの字状
溝を円周にわたり形成した下部ラジアル軸受部と、前記
円筒の下端に固定された第１のフランジとを有する固定
軸と、前記第１のフランジの上部に位置し、前記第１の
フランジと接する面にスパイラル状溝を形成する第２の
フランジと、この第２のフランジに固定され前記固定軸
に狭い隙間を保ってはめ合わされる中空円筒状の回転ス
リーブとからなり、前記回転スリーブの回転に伴う前記
ハの字状溝及び前記スパイラル状溝のポンピング作用に
より、前記固定軸と前記回転軸とを被接触に保持する動
圧気体軸受において、前記固定軸の前記第１のフランジ
が前記回転スリーブの前記第２のフランジに対向する面
に、硬質コーティングまたは低摩擦コーティングのうち
いづれか一方のコーティングを施し、前記回転スリーブ
の前記第２のフランジが前記固定軸の前記第１のフラン
ジと対向する面に、他方のコーティングを施したことを
特徴とする動圧気体軸受。但しここで硬質コーティング
とは、ＴｉＮコーティング、ＴｉＣコーティング、Ｎｉ
−Ｃｒコーティングのいずれか一種、また低摩擦コーテ
ィングとは４フッ化エチレン−Ｎｉコーティング、Ｍｏ
Ｓ＿２コーティングのいずれか一種とする。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32428789A JPH03186608A (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | 動圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32428789A JPH03186608A (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | 動圧気体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03186608A true JPH03186608A (ja) | 1991-08-14 |
Family
ID=18164123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32428789A Pending JPH03186608A (ja) | 1989-12-14 | 1989-12-14 | 動圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03186608A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994016233A1 (en) * | 1993-01-08 | 1994-07-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Combination bearing construction |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS612915A (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-08 | Canon Inc | 回転装置 |
| JPS63235719A (ja) * | 1987-03-20 | 1988-09-30 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 動圧気体軸受装置 |
-
1989
- 1989-12-14 JP JP32428789A patent/JPH03186608A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS612915A (ja) * | 1984-06-15 | 1986-01-08 | Canon Inc | 回転装置 |
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| WO1994016233A1 (en) * | 1993-01-08 | 1994-07-21 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Combination bearing construction |
| US5675201A (en) * | 1993-01-08 | 1997-10-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Composite bearing structure |
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