JP2001115342A - 微細気相成長炭素繊維製造装置、微細気相成長炭素繊維の製造方法、微細気相成長炭素繊維付着防止装置及び微細気相成長炭素繊維 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 炉芯管内での閉塞事故を起こすことなく長期
間にわたる微細気相成長炭素繊維の連続生産可能な微細
気相成長炭素繊維製造装置及びその装置により製造され
た微細気相成長炭素繊維製造装置、微細気相成長炭素繊
維の製法、微細気相成長炭素繊維付着防止装置及び微細
気相成長炭素繊維の提供。 【解決手段】 炉芯管内に、炉芯管の一端に配置された
原料ガス供給ノズルの先端開口部に臨んで開口部が配置
されるように、排出管を、挿入配置して成る微細気相成
長炭素繊維製造装置、その装置を使用する微細気相成長
炭素繊維、特にカーボンナノファイバー及び／又はカー
ボンナノチューブの製造方法、前記炉心管の内壁に微細
気相成長炭素繊維等の炭素質物の付着を防止する装置、
及び前記装置を使用して製造されて成る微細気相成長炭
素繊維。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は微細気相成長炭素
繊維製造装置、微細気相成長炭素繊維の製造方法、微細
気相成長炭素繊維付着防止装置、及びこれらの装置又は
方法により製造される微細気相成長炭素繊維に関し、さ
らに詳しくいうと、炉芯管例えば縦型炉芯管内が閉塞し
難い構造を備えて成る微細気相成長炭素繊維製造装置、
この微細気相成長炭素繊維製造装置を利用して微細気相
成長炭素繊維を製造する方法、炉芯管例えば縦型炉芯管
の内壁に炭素質物の付着を防止する微細気相成長炭素繊
維付着防止装置、及びこれらの装置又は方法により製造
される微細気相成長炭素繊維に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、気相成長炭素繊維を製造する装置
として炉芯管例えば縦型炉芯管を有する製造装置が知ら
れている。

【０００３】この製造装置は、縦型炉芯管の上部に、キ
ャリヤーガス、触媒となる金属を含有する触媒金属源お
よび炭素源となる例えば炭化水素をガス状にして縦型炉
芯管内に導入する原料供給手段と、前記原料供給手段に
より供給されるガスを整流して前記縦型炉芯管内を下降
流通させるために設けられたガス整流手段と、前記縦型
炉芯管を囲繞するように配置され、前記縦型炉芯管の内
部を加熱する加熱手段とを有する。

【０００４】従来のこのような製造装置にあっては、加
熱手段で加熱されている縦型炉芯管内に触媒金属源のガ
スと炭化水素のガスとがキャリヤーガスと共に導入され
る。導入されたガスはガス整流手段により整流されて縦
型炉芯管内を流通する。加熱された炉芯管内で炭素繊維
が生成する。

【０００５】炉芯管内で炭素繊維が生成する機構につい
ては、いくつかのメカニズムが提案されていて、一つに
は、縦型炉心管内に導入された触媒金属源となる化合物
が分解して触媒金属が生成すると共に炭素源も分解し、
炭素繊維が生成するとする提案、又別に、縦型炉心管内
で触媒金属源が分解して溶融金属液滴が生成し、この溶
融金属液滴に炭素源が接触することにより炭素源が分解
し、分解した炭素が金属を芯にして長さ方向に成長して
炭素繊維が生成するとする提案等がある。

【０００６】炭素繊維が生成するメカニズムがどのよう
であれ、生成する炭素繊維が、整流となるように調整さ
れた気流に乗って縦型炉芯管内を下降する。下降する炭
素繊維は、キャリヤーガスと共に縦型炉芯管の下端開口
部を経由して炭素繊維収集手段（炭素繊維を収集する機
械・器具・装置であって、例えば炭素繊維収集槽、収集
箱、捕集箱などと称されている。）に落下する。

【０００７】しかしながら、このような構造を有する製
造装置においては以下のような問題があった。

【０００８】すなわち、縦型炉芯管内では気相中で生成
する溶融金属を核にして炭素繊維が気相で生成し、また
気相で炭素繊維を生成させるのが望ましいのであるが、
縦型炉芯管の内壁に繊維状物が付着するという問題であ
る。

【０００９】縦型炉心管の内壁に繊維状物が付着する原
因はいくつか考えられ、例えば、触媒金属源が分解して
生成する溶融金属が縦型炉心管の内壁に付着し、内壁に
付着した溶融金属を核にしていわば基板成長炭素繊維等
の繊維状物が生成すると言う説、触媒金属源が縦型炉心
管の内壁に付着し、縦型炉心管の内壁面上で触媒金属源
が分解して金属が生成し、その金属を核にして前記基板
成長炭素繊維等の繊維状物が生成すると言う説、縦型炉
心管内の気相で生成した炭素繊維が縦型炉心管の内壁に
付着して、そのまま長さ成長あるいは太さ成長をすると
言う説、あるいはこれらの組み合わせであると言う説な
どが考えられている。

【００１０】いずれの説によるにしても、一旦繊維状物
が管壁面に形成されると、上部から落下してくる気相成
長炭素繊維がその上に堆積し、太さ及び長さの不均一な
繊維状物が益々多く生成し、ついには反応管が閉塞して
しまう。反応管が閉塞すると、気相成長炭素繊維の製造
を停止して、閉塞した反応管内の清掃作業を行わねばな
らなくなり、これでは工業的な操業を実現することがで
きなくなる。

【００１１】さらに、管壁面に付着した炭素繊維及びそ
れに堆積した炭素繊維には、熱分解炭素層が形成され、
直径が大きくなると共に物性の劣る炭素繊維となる。

【００１２】なおここで、気相成長炭素繊維は、気相で
成長した炭素繊維と言う意味合いである。更に詳しく言
うと、気相成長炭素繊維は、炭素源となる化合物を原料
にして、遷移金属などの金属微粒子を核にして気相中で
成長した炭素繊維である。したがって、微細気相成長炭
素繊維は、一端に遷移金属等の超微粒子を含有し、中空
であり、黒鉛網面がＣ軸を繊維軸に直交させて年輪状に
積層して、つまり、黒鉛網面が繊維軸に平行に積層して
なる繊維である。この微細気相成長炭素繊維には、その
直径が数十ｎｍであるカーボンナノファイバーおよび直
径が数ｎｍであるカーボンナノチューブが含まれる。さ
らにまた、微細気相成長炭素繊維は、触媒金属粒子が溶
融しない程の低温度で生成されるところの、黒鉛網面が
繊維軸に数十度の角度を持った円錐積層状態で、しかも
その直径が百ｎｍ以下である中空繊維、および黒鉛網面
が繊維軸に対してほぼ直角であり、板状又はリボン状の
ような特殊な形状に形成されて成り、その長辺が百ｎｍ
以下の繊維状物をも、含む。

【００１３】前述した問題点は横置きの炉芯管にも発生
するのであるが、このような問題点を解消するために、
縦型炉心管の内壁に触媒金属源、溶融金属、あるいは炭
素繊維が付着しないように管壁に沿ってキャリヤーガス
を流通させるという工夫がなされた。しかしながら、管
壁で繊維状物が生成するのをある程度防止することがで
きるにはできたが、未だ完全であるとは言い難かった。

【００１４】そこで、管壁で発生する繊維状物を除去す
る手段として、例えば、炉内に耐熱セラミックスの球を
入れて炉を回転させる機構、或いは、間欠的に炉壁に付
着した繊維状物を除去するための、ヘラや熊手のような
形状をした各種の掻き落とし手段等が提案されている。

【００１５】耐熱セラミックスの球を用いる手段におい
ては、縦型炉芯管中を流通するガスの流線が乱されるの
みならず、この耐熱セラミックスの球に付着した繊維が
太さ成長してしまうことにより気相成長炭素繊維の特性
が劣化する。つまり、結晶性が高くて中空形状をした気
相成長炭素繊維を効率よく製造することができなくなる
という問題がある。

【００１６】前記掻き落とし手段を用いる場合、掻き落
とし手段を間欠的に動作実行させるので、炉壁に付着し
た繊維が太さ成長してしまい、また気相成長炭素繊維が
生成する部位に掻き落とし手段を常駐させると、ガスの
流線が乱されてしまい、かえって壁面への繊維状物の付
着量を増加させてしまうという新たな問題がある。

【００１７】したがって、従来の製造装置においては、
縦型炉芯管の内部に付着する炭素繊維等を除去する操作
を、定期的に、例えば数分毎に実施する必要があり、し
たがって、その度に製造装置を停止させなければならな
いから、炭素繊維の効率的な連続製造に支障を来してい
た。

【００１８】従来の製造装置においては別に以下のよう
な問題点を有していた。すなわち、炉芯管の一端には、
炭素源ガスと触媒金属源ガスとを導入する原料ガス供給
ノズルが配置されている。この原料ガス供給ノズル内
が、炉芯管を加熱する加熱手段によって、炉芯管内で炭
素源ガス及び触媒金属源ガスが分解する程度の温度に加
熱されると、原料ガス供給ノズル内で炭素源ガス及び触
媒金属源ガスが分解してしまい、分解した成分或いは反
応生成物が原料ガス供給ノズル内を閉塞させるという問
題が発生する可能性が大きいので、このような問題が生
じないように、つまり前記原料ガス供給ノズル内の温度
が炭素源ガスと触媒金属源ガスとが分解する温度に達し
ないように、何らかの手段を講じることにより、原料ガ
ス供給ノズル内が冷却されている。とすると、炉芯管内
の所定温度よりも低い温度になっている炭素源ガス及び
触媒金属源ガスが原料ガス供給ノズルから炉芯管に供給
されることになる。そうすると、炉芯管内で炭素源ガス
と触媒金属源ガスとが迅速に所定の温度に達しなくな
り、所望の微細気相成長炭素繊維を効率良く製造するこ
とができないと言う問題を生じていた。

【００１９】ところで、流動気相成長炭素繊維の中で
も、熱分解炭素層を有していないカーボンナノファイバ
ー、カーボンナノチューブは、特に黒鉛化しなくても黒
鉛化度が比較的に高く、導電性に優れているのである
が、太さ成長をせずに直径が小さいだけにその生産性が
低かったので、生産性の向上が望まれていた。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、炉
芯管内が炭素繊維、特にカーボンナノファイバー、カー
ボンナノチューブ、黒鉛網面が繊維軸と平行でない微細
な炭素繊維等の微細気相成長炭素繊維で閉塞されること
がなく、したがって、効率的に微細気相成長炭素繊維の
連続生産を実現することができ、しかも装置全体が大型
化することのない微細気相成長炭素繊維製造装置を提供
することにある。

【００２１】この発明の目的は、炉芯管の閉塞現象が極
力低減されることにより長期連続運転の可能な微細気相
成長炭素繊維製造装置を提供することにある。

【００２２】この発明の目的は、微細気相成長炭素繊
維、とりわけ流動気相成長炭素繊維の中でも特に直径の
小さなカーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ
を、連続的に効率良く製造する方法を提供することにあ
る。

【００２３】この発明の他の目的は、炉心管を用いて微
細気相成長炭素繊維例えば、カーボンナノファイバー、
カーボンナノチューブを製造する際に、炉心管の内壁に
微細気相成長炭素繊維が付着するのを防止する微細気相
成長炭素繊維付着防止装置を提供することにある。

【００２４】この発明の更に他の目的は、直径が約１０
０ｎｍ以下、さらには５０ｎｍ以下であり、その中心部
には中空コア部が繊維軸に沿って存在し、この中空コア
部を囲繞するように、単層又は複数層の黒鉛網面が年輪
状に平行に形成されたところの、カーボンナノチューブ
又はカーボンナノファイバーを含む微細気相成長炭素繊
維を提供することにある。

【００２５】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
のこの発明の手段は、炉芯管内に炭素源ガスと触媒金属
源ガスとを供給することができるように炉芯管の一端に
配置された、原料供給手段のノズルを備えた反応手段
と、前記ノズルの先端開口部に開口部が臨むように近接
して炉芯管内に配置された排出管を備えた排出手段と、
前記炉心管の他端から前記排出管の開口部へ流通し、次
いで前記排出管内に流通する案内ガスを供給する案内ガ
ス供給手段とを備えて成ることを特徴とする微細気相成
長炭素繊維製造装置であり、加熱された炉芯管の一端に
設けられた、原料供給手段のノズルから供給される炭素
源ガスと触媒金属源ガスとを、前記炉芯管内に挿入配置
された排出管の、前記ノズルの先端開口部に臨んで配置
された開口部内に、案内ガス供給手段により炉芯管と前
記排出管との間隙を流通する案内ガスと共に、取り込ん
で、前記炭素源ガスと触媒金属源ガスとから微細気相成
長炭素繊維を製造することを特徴とする微細気相成長炭
素繊維の製造方法であり、炉心管の一端から炭素源ガス
と触媒金属源ガスとを炉芯管内に供給する、原料供給手
段のノズルに近接して臨んで配置された開口部から前記
炭素源ガスと触媒金属源ガスとを取り込む排出管を有す
る排出手段と、前記炉芯管の他端から前記排出管の開口
部へと流通し、前記炭素源ガス及び触媒金属源ガスと共
に前記排出管内に流通する案内ガスを供給する案内ガス
供給手段とを備えて成ることを特徴とする微細気相成長
炭素繊維付着防止装置であり、加熱された炉芯管の一端
に設けられた、原料供給手段のノズルから供給される炭
素源ガスと触媒金属源ガスとを、前記炉芯管内に挿入配
置された排出管の、前記ノズルの先端開口部に臨んで近
接して配置された開口部内に、案内ガス供給手段により
炉芯管と前記排出管との間隙を上昇する案内ガスと共
に、取り込んで前記炭素源ガスと触媒金属源ガスとを分
解させることにより得られて成ることを特徴とする微細
気相成長炭素繊維である。

【００２６】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態における微
細気相成長炭素繊維製造装置においては、反応手段にお
ける炉芯管の一端にあるノズルからキャリヤーガスと共
に供給された触媒金属源と炭素源ガスとを、炉芯管にお
ける原料供給手段に臨んで近接状態で配置された排出管
内に導入する。加熱された炉芯管の輻射熱及び加熱され
た案内ガスにより排出管が、十分に加熱されているの
で、この十分に加熱された排出管内に導入された炭素源
ガスと触媒金属源ガスとが直ちに分解し、微細気相成長
炭素繊維を生成し、排出管から排出される。したがっ
て、ノズル内で炭素源ガス及び触媒金属源ガスが分解し
ない程度にノズル内が冷却されていても、ノズルから供
給される炭素源ガス及び触媒金属源ガスが炉芯管内での
加熱不足により微細気相成長炭素繊維が効率良く製造さ
れないと言う不具合がない。また、ノズルに臨み、かつ
ノズルに近接して排出管の開口部が配置されているの
で、ノズルから供給された炭素源ガス及び触媒金属源ガ
スが排出管内に直ちに吸い込まれるので、炭素源ガス及
び触媒金属源ガスが分解して生成する物質が炉芯管の内
壁に付着することがない。また、案内ガスが炉芯管の内
壁と排出管の外壁との間隙を流通し、前記炭素源ガスと
触媒金属源ガスとを包み込むようにして排出管内に取り
込むので、排出管内においても炭素源ガスと触媒金属源
ガスとの分解生成物或いは反応生成物が排出管の内壁に
付着することがない。さらに、排出管内で生成した微細
気相成長炭素繊維が、案内ガスと共に炉芯管外へと導出
されるので、微細気相成長炭素繊維の連続生産が可能に
成ると言った利点が、この発明に係る微細気相成長炭素
繊維製造装置に、ある。

【００２７】このように優れた利点を有する微細気相成
長炭素繊維製造装置の一例を図１に示す。なお、この発
明はこの図１に示される装置に限定されるものではな
い。

【００２８】図１に示される装置は、炉芯管が縦型炉芯
管であり、したがって反応手段も縦型反応手段である。

【００２９】図１において、１はこの発明の一例である
微細気相成長炭素繊維製造装置、２は炭素源及び触媒金
属源例えば有機金属化合物の混合物を収容する原料タン
ク、３は原料タンク内の混合物を吸引吐出し、その流量
を調節するポンプ、４は前記混合物を所定の温度に予熱
する予熱器、５は予熱された混合物をさらに加熱するこ
とにより気化させて、送られて来た混合物と同じ組成の
ガスを生成させる加熱気化器、６は気化した混合物と共
に流通させるキャリヤーガスの流量を調整する第１マス
フローコントローラ、７はこの発明に係る微細気相成長
炭素繊維製造装置における原料供給手段のノズルの一例
である原料ガス供給ノズルに取り付けられた冷却用ジャ
ケットに供給される冷却ガス例えば空気又は窒素の流量
を測定する流量計、８はキャリヤーガスの流量を調整す
る第２マスフローコントローラ、９は加熱された混合物
のガスを所定温度に維持するヒートチューブ、１０は縦
型炉芯管の頂部から内部に混合ガスを導入する円筒管状
の原料ガス供給ノズル、１１は縦型炉芯管、１２は前記
原料ガス供給ノズルを囲繞する冷却用ジャケット、１３
は冷却ガス供給口、１３Ａは前記冷却用ジャケット内に
供給された冷却用ガスを排出する冷却ガス排出口、１４
はキャリヤーガス供給ノズル、１４Ａは前記キャリヤー
ガス供給ノズルの先端部に装着されたガス整流手段、１
５は加熱手段である電気炉、１８は原料ガス供給ノズル
における原料ガス供給口、１９は配管、２０は配管、２
１はポンプから吐出された混合物を気化器に送り出す原
料供給管、２２は配管、２３は配管、３０は排出手段、
３１は排出管、３１Ａは排出管３１における開口部、３
２は駆動気体噴出ノズル、３３はエジェクター管、４０
は案内ガス供給手段、４１はガス均一供給槽、４２は案
内ガス供給管、４３はフロー調整部である。

【００３０】以下、この図１を参考にしてこの発明の好
適な態様についてさらに説明する。

【００３１】−縦型反応手段− 図１に示されるように、縦型反応手段は、好適には、軸
線に直交する方向における内部断面形状が軸線方向に沿
って同じに形成されてなる、例えば円筒状或いは角筒状
の縦型炉芯管を有する。

【００３２】この縦型炉芯管は、キャリヤーガスと共に
供給された触媒金属源と炭素源ガスとを熱分解させるよ
うに設計される。もっとも、この発明においては、縦型
炉芯管内で熱分解するとはいっても、原料ガス供給ノズ
ルから排出管の開口部までの間においても熱分解が幾分
か行われるであろうが、排出管の開口部を原料ガス供給
ノズルに近接して配置することにより排出管内で熱分解
が行われるように設計される。

【００３３】この縦型炉芯管は、後述するように炭素源
ガス及び触媒金属源ガスが分解するに必要な高温度に加
熱され、又キャリヤーガスとして例えば水素ガスが流通
するのであるから、高温水素脆性反応及び侵炭反応に耐
えることのできる材質、例えば炭化珪素、窒化ケイ素、
アルミナ、ムライト等のセラミックで形成されるのが好
ましい。

【００３４】ここで、触媒金属源は、熱分解により触媒
となる金属を発生させる物質乃至化合物であれば特に制
限がない。使用可能な触媒金属源としては、特開昭６０
−５４９９８号公報の第３頁左上欄第９行〜同頁右上欄
最下行に記載の有機遷移金属化合物、特開平９−３２４
３２５号公報の段落番号［００５９］に記載された有機
遷移金属化合物、特開平９−７８３６０号公報の段落番
号［００４９］に記載された有機遷移金属化合物等を挙
げることができる。

【００３５】好ましい触媒金属源としては、例えばフェ
ロセン、及びニッケロセン等の有機遷移金属化合物、あ
るいは鉄カルボニル等を含む金属カルボニル等の遷移金
属化合物を挙げることができる。触媒金属源は、一種単
独で使用することもできるし、また複数種を併用するこ
ともできる。

【００３６】また、触媒金属源は助触媒と共に使用する
こともできる。そのような助触媒として、前記触媒金属
源から発生する触媒金属と相互作用して微細気相成長炭
素繊維例えばカーボンナノファイバー、カーボンナノチ
ューブの生成を促進することのできるものであれば良
く、特開平９−７８３６０号公報の段落番号［００５
１］、並びに特開平９−３２４３２５号公報の段落番号
［００６１］に記載された含硫黄複素環式化合物及び硫
黄化合物を制限なく使用することができる。好適な助触
媒として、硫黄化合物特にチオフェン及び硫化水素等を
挙げることができる。

【００３７】炭素源ガスは、熱分解により炭素を発生さ
せて微細気相成長炭素繊維例えばカーボンナノファイバ
ー、カーボンナノチューブを生成させることができる化
合物であれば特に制限がない。使用可能な炭素源として
は、特公昭６０−５４９９８号公報の第２頁左下欄第４
行〜同頁右下欄第１０行に記載された炭素化合物、特開
平９−３２４３２５号公報の段落番号［００６０］に記
載された有機化合物、特開平９−７８３６０号公報の段
落番号［００５０］に記載された有機化合物等を挙げる
ことができる。各種の炭素源の中で好適例としてベンゼ
ン、トルエン等の芳香族炭化水素、ヘキサン、プロパ
ン、エタン、メタン等の脂肪族炭化水素、シクロヘキサ
ン等の脂環族炭化水素等を挙げることができる。なお、
炭素源はその一種単独を使用することもできるし、また
複数種を併用することもできる。カーボンナノファイバ
ー及びカーボンナノチューブ以外の微細気相成長炭素繊
維を製造するのに好適な炭素源として、一酸化炭素を挙
げることができる。

【００３８】縦型炉芯管内に投入される炭素源ガス及び
触媒金属源ガスの全混合ガスに占める割合は、好ましく
は、各々０〜４０％及び０．０１〜４０％、更に好まし
くは各々０．５〜１０％及び０．０５〜１０％である。
ここで、炭素源ガスの濃度が０でも良いのは、触媒金属
源である例えば有機金属化合物がその分子中に十分な炭
素を含有している場合には、必ずしも炭素源ガスを必要
としないという意味である。したがって、この発明にお
いては、炭素源と触媒金属源とが同一化合物であること
もある。

【００３９】また、微細気相成長炭素繊維が生成すると
きに太さ成長すると熱分解炭素が多く含有されることか
ら、熱分解炭素の析出のない、細かくて黒鉛化度の高い
微細気相成長炭素繊維、特にカーボンナノファイバー及
び／又はカーボンナノチューブを得るためには、炭素源
の濃度を低くし、触媒金属源の濃度を高くするのが良
い。

【００４０】前記キャリヤーガスも、微細気相成長炭素
繊維例えばカーボンナノファイバー、カーボンナノチュ
ーブ等の製造に使用される公知のガスを適宜に採用する
ことができ、好適例として水素を挙げることができる。

【００４１】さらにまた、特開昭６０−５４９９８号公
報に記載されたところの、キャリヤーガス、有機金属化
合物及び炭素源ガスを使用して、この発明に係る微細気
相成長炭素繊維製造装置で、微細気相成長炭素繊維を製
造することができる。

【００４２】縦型炉芯管の上部には、キャリヤーガス供
給ノズルと、触媒金属源ガス及び炭素源ガスを縦型炉芯
管の内部に供給する原料ガス供給ノズルとが設けられ
る。この原料ガス供給ノズルは、この発明における原料
供給手段のノズルであり、縦型炉芯管内にその上部から
キャリヤーガスと共に触媒金属源例えば有機金属化合物
のガスと炭素源ガスとを導入することができる限りその
構造につき制限がない。

【００４３】この発明においては、原料ガス供給ノズル
とキャリヤーガス供給ノズルとは、共に縦型炉芯管の頂
部に取り付けられる。

【００４４】更に具体的に言うと、図１に示されるよう
に、原料ガス供給ノズル１０の外周には冷却ジャケット
１２が装着されていて、冷却ジャケット１２に設けられ
た冷却ガス導入口１３から冷却ガスが冷却ジャケット１
２内に導入され、導入された冷却ガスは、原料ガス供給
ノズル１０の外周に接触しつ冷却ジャケット１２内を流
通した後に冷却ガス排出口１３Ａから冷却ジャケット１
２の外に出て行くようになっている。また、キャリヤー
ガス供給ノズル１４から導入されたキャリヤーガスは、
縦型炉心管１１の内壁と前記冷却ジャケット１２の外壁
との間を流れるようになっている。

【００４５】上述のように、この発明に係る好適な例と
しての微細気相成長炭素繊維製造装置においては、縦型
炉芯管の頂部から原料供給手段によりキャリヤーガスと
共に供給された炭素源及び触媒金属源例えば有機金属化
合物のガスを、縦型炉芯管内でピストンフローにして、
流通乃至流下させるガス整流手段が設けられる。このガ
ス整流手段としては、特開平９−３２４３２５号公報に
おける段落番号［００８９］に記載の第１整流手段、及
び［００９２］と［００９６］とに記載の整流筒、並び
に特開平９−７８３６０号公報における段落番号［００
２３］に記載の原料ガス用整流手段、［００３１］に記
載の第１整流手段、［００４０］に記載の第２整流手
段、［００７９］に記載のハニカム板等を挙げることが
できる。

【００４６】この縦型反応手段における縦型炉芯管の内
部が、炭素源ガスと触媒金属源、特に有機金属化合物と
の分解反応及び微細気相成長炭素繊維を生成させる反応
を行わせるために、加熱手段により加熱される。

【００４７】加熱手段としては、前記分解反応及び生成
反応を生じさせるに足る十分な温度に、縦型炉芯管内を
加熱することのできる手段が採用される。もっとも、ど
の様な加熱手段を採用するにしても、縦型炉芯管の内部
における頂部から下端部までを、均一に加熱することは
実際上非常に困難である。というのは、例えば縦型炉芯
管の一端から他端までを加熱手段で被ったとしても、縦
型炉芯管の端部においては放熱の比面積が縦型炉芯管の
中央部よりも大きいからである。

【００４８】例えば、縦型炉芯管の下端より所定の距離
にある位置から縦型炉芯管の上部より所定の距離にある
位置までの、縦型炉芯管の外周部に、加熱手段として電
熱ヒータを巻回してあるとする。換言すると、このよう
な通常の縦型炉芯管においては、その両端部における所
定領域に、加熱手段が設けられていない。しかも、縦型
炉芯管を加熱する加熱手段である電熱ヒータは、複数の
ブロックに分割されていることが、多い。その結果とし
て、縦型炉芯管の内部においては、縦型炉芯管の所定の
領域においては所定の温度にほぼ均一に加熱されている
反応領域（均熱領域とも称される。）が形成され、その
均熱領域から下流側に向かって温度が徐々に低下してい
く。この温度が徐々に低下していく領域を、温度低下部
あるいは温度低下領域とも称される。この発明において
は、前記反応領域内に排出管が配置され、しかも排出管
の開口部が原料ガス供給ノズルの先端開口部に臨んで配
置されている。

【００４９】加熱手段においては、以下の事項も考慮す
るのがよい。微細気相成長炭素繊維製造装置において
は、原料ガス供給ノズルから供給された原料ガスを排出
管内で分解して排出管内で微細気相成長炭素繊維を生成
する必要がある。したがって、原料ガス供給ノズルから
供給される原料ガス及びキャリヤガス供給ノズルから供
給されるキャリヤガスの整流が乱されない範囲で、排出
管の開口部に吸引される案内ガスの温度を高く維持して
おくことが望ましい。そのためには、縦型炉芯管の内壁
と排出管外壁との間を上昇してくる案内ガスの温度が高
くなるように加熱手段例えば電熱ヒータにより縦型炉芯
管を加熱しておくことが望ましい。但し、縦型炉芯管
の、排出管の排出口よりも上部に存在するガスの密度よ
りも排出管内のガスの密度が小さくなる温度にまで、案
内ガスを加熱することは好ましくない。案内ガスの密度
が縦型炉芯管上部に存在するガスの密度よりも大きくな
る限りにおいて、案内ガスの温度が高くなるように、加
熱手段で縦型炉芯管を加熱するのがよい。

【００５０】この発明に係る微細気相成長炭素繊維製造
装置によって、微細気相成長炭素繊維として、カーボン
ナノファイバー及び／又はカーボンナノチューブを製造
するのであれば、均熱領域における加熱温度として、よ
り正確にいうと、均熱領域に存在する排出管内の温度と
して流動気相成長炭素繊維を製造する際の公知の加熱温
度を採用することができる。

【００５１】また、微細気相成長炭素繊維の中でもカー
ボンナノファイバー及び／又はカーボンナノチューブ
は、触媒金属源が分解して生成する触媒金属の粒子が溶
融液滴状態であるときに生成する傾向がある。

【００５２】したがって、金属固体粒子の融点は金属固
体粒子の径が小さい程低下するから、形成される金属固
体粒子の直径に応じて加熱温度が決定される。使用され
る触媒金属源の種類、製造しようとする微細気相成長炭
素繊維の直径等に応じた融点よりも高い加熱温度範囲が
決定されるであろうから、一律に加熱温度を規定するわ
けにはいかないが、多くの場合、反応領域における加熱
温度は、９００〜１３００℃、特に１０００〜１２５０
℃、さらには１０５０〜１２００℃が好ましいとされ
る。反応領域における加熱温度が４００〜７００℃であ
るときには、触媒金属源から生成した金属が固体である
から、カーボンナノファイバーおよびカーボンナノチュ
ーブ以外の微細気相成長炭素繊維が生成することが多
い。

【００５３】縦型炉芯管、加熱手段及び原料供給手段を
備えた反応炉として、特開平９−７８３６０号公報、特
開平９−２２９９１８号公報及び特開平９−３２４３２
５号公報等における実施例に記載された反応炉を好適に
採用することができる。

【００５４】−排出手段− この排出手段は、前記反応手段により形成された微細気
相成長炭素繊維を、案内ガスと共に、開口部から取り込
んで炉芯管外に排出する排出管を備える。

【００５５】排出管を備えた排出手段の一具体例が図１
に示される。図１において、排出管３１の上部が縦型炉
芯管１１内に挿入され、原料ガス供給ノズル１０の先端
開口部に排出管３１の開口部が臨むように排出管３１が
位置決めされ、排出管３１の他端部は図示しない排気装
置及び収集装置に結合される。

【００５６】図１に示される排出管３１は、原料ガス供
給ノズル１０の中心線と排出管３１の中心線とが一致す
るように、縦型炉芯管１１の内部に配置される。なお、
この実施例においては、縦型炉芯管には１基の原料ガス
供給ノズルが配置されているから、縦型炉芯管の内部に
は１基の排出管が配置されている。もっとも、縦型炉芯
管の上部に配置された１基の原料ガス供給ノズルに対し
て複数の排出管を縦型炉芯管内に挿入し、各排出管の開
口部を１基の原料ガス供給ノズルに対して近接配置する
ようにしてもよい。一方、縦型炉芯管の上部に複数の原
料ガス供給ノズルが配置されているときには、その原料
ガス供給ノズル毎に１基の排出管を縦型炉芯管の内部に
配置し、したがって、原料ガス供給ノズルの設置個数と
同数の排出管が縦型炉芯管の内部に配設されるようにし
てもよい。

【００５７】原料供給手段のノズルである原料ガス供給
ノズルの先端開口部に対する排出管の開口部の位置は、
原料ガス供給ノズルから供給される原料ガスが前記開口
部に到達する時間が０．０５〜２秒、好ましくは０．１
〜１秒、さらに好ましくは０．２〜０．５秒となるよう
に設計される。したがって、原料ガス供給ノズルから供
給される原料ガスの流速に応じて排出管の開口部の位置
が決定されることになる。排出管の開口部の位置が前記
のようにして決定されていると、排出管と縦型炉芯管と
の間隙を下方からせり上がってくる案内ガスで原料ガス
が特に良好にくるまれた状態にして排出管内に原料ガス
を導入することができる。ここで、案内ガスで原料ガス
をくるんだ状態とは、概括的表現をするとすれば、排出
管内において排出管の中心部に原料ガスが存在し、その
周囲にキャリヤガスが存在し、更にその周囲に案内ガス
が存在するような状態であると、言える。

【００５８】排出管の中心軸線に直交する平面における
断面形状は、縦型炉芯管の中心軸線に直交する平面にお
ける断面形状と同形であるのが好ましい。通常の場合、
縦型炉芯管は円形の管体であり、したがって排出管も水
平断面が円形である管体である。

【００５９】排出管が開口部から後端部まで同じ直径を
有する直管であるときには、その排出管の開口部の内径
は、原料ガス供給ノズルの内径の１．３〜１０倍、好ま
しくは１．５〜８倍、さらに好ましくは１．７〜６倍で
あるのが、好ましい。排出管の開口部の内径が前記範囲
にあると、上部より供給される原料ガス及びキャリヤガ
スが、その乱れの少ない状態で、案内ガスで包まれなが
ら、排出管内に導入され、縦型炉芯管の内壁における繊
維生成が防止されると言う利点がある。

【００６０】また、排出管は直管であるに限らず、開口
部の直径と排出管の開口部以外のパイプ部分とが異なる
直径を有する管体であっても良い。

【００６１】この場合に、排出管における開口部以外の
挿入部位すなわちパイプ部分の内径が原料ガス供給ノズ
ルの内径の１．１〜１０倍、好ましくは１．３〜８倍、
もっとも好ましくは１．５〜６倍であるのが、望まし
い。このような比率にある排出管であると、排出管内に
おける気流線速度が好適になって、排出管内での気流が
乱されなくて済む。

【００６２】原料ガス供給ノズルから供給された原料ガ
ス、及びこの原料ガスの一部から生成した微細気相成長
炭素繊維を効率良く開口部から排出管内に吸い込むため
には、排出管の形状として、開口部における排出管中央
部（直管部とも称される。）から開口部の端縁に向かっ
て広がる形状を、漏斗状に形成するのが好ましい。ここ
で、漏斗状と称するのは、排出管の中央部内径よりも開
口部端縁部の内径が大きく形成された形状を意味し、例
えば図２に示されるように円錐形３１Ｂ、図３に示すよ
うにラッパ形３１Ｃ、図４に示すように椀形３１Ｄ等を
挙げることができる。つまり、開口部の端縁から排出管
の中央部に至る線が直線（このときは円錐形になる。）
であっても、曲線であってもよいのである。この漏斗状
に形成された部分をレジューサとも称される。

【００６３】排出管の開口部の端縁から排出管の中央部
に至る線が曲線である場合の好ましい形状は、風洞用収
縮ノズルとして知られている形状である。すなわち上流
の広い処から来る流れを下流で絞る際に、収縮変化部に
おいて断面内の流速を定常、平行で一様な分布とし、気
流の乱れの強さを少なくする形状である。（例えば、小
林陵二「風洞用収縮ノズルの設計について」；東北大学
高速力学研究所報告，第４６巻（１９８１），第４００
号，Ｐ１７〜Ｐ３７の第２図・第３図・第４図・第９図
中にＲ／Ｄ１と示される曲線形状である。）また、大き
い口径のガス配管を小さい口径のガス配管に溶接する際
に使用されるレジューサーの形状も同様にスムーズなガ
ス流速の変化を起こさせることができるので、好ましい
形状といえる。

【００６４】排出管は縦型炉芯管の内部に挿入されて反
応領域における加熱温度にまで加熱されるのであるか
ら、キャリヤーガスとして水素ガスが使用されるときに
は、高温水素脆性反応及び侵炭反応に耐えることのでき
る材質、例えば炭化珪素、窒化ケイ素、アルミナ、ムラ
イト等のセラミックで形成されるのが好ましい。

【００６５】この排出手段は、前記排出管内のガスを排
出する排気装置を備えると共に、排出管内に吸い込まれ
た微細気相成長炭素繊維を収集する収集装置に結合され
るのが好ましい。

【００６６】前記排気装置としては、排出管内で生成し
た微細気相成長炭素繊維を案内ガスと共に吸引搬送する
気流を形成することができるように形成されていれば良
く、例えば前記排出管の開口部から十分に離れた排出管
の内部或いは排出管の出口、さらには排出管の出口より
やや離れた位置に配置されたファン及びエジェクター等
を採用することができる。

【００６７】エジェクターは、外部から高速気流を排出
管内の気流に高速で導入し、この高速気流で排出管内の
気流を高速導搬する機能を発揮するように形成され、換
言すると、高速気流が排出管内の気流に合流する位置に
おける気圧を０〜−１００ｍｍ水柱、好ましくは−１〜
−５０ｍｍ水柱、特に好ましくは−３〜−３０ｍｍ水柱
の減圧が形成されるように構成され、例えば図１に示さ
れるように、下方開口部が内部に位置するように排出管
の下端部が挿入されたエジェクター本体と、このエジェ
クター本体の内部に挿入された高速気流導入管と、エジ
ェクター本体に、排出管と同心に、かつ排出管の下方開
口部に臨んで設けられた導出管とを備えて形成され、排
出管の下方開口部における気圧が前記範囲内にあるよう
に、排出管の内径、高速気流導入管から噴出する高速気
流の流速、導出管の内径等が設計される。実際の運転時
には、前記排出管の出口における気流は、生成した繊維
を含んでいるので、高速気流との合流点での圧力を測定
することは困難である。したがって、原料ガスを流さな
い状態で前記合流点での圧力と案内ガス均一供給槽の圧
力との関係を前もって測定しておき、案内ガス均一供給
槽の圧力にて代用する。

【００６８】前記収集装置は、前記排気装置がエジェク
ターであるときには、そのエジェクターよりも下流側に
設けられていてもよく、前記排気装置がファン等である
ときには、この排気装置の上流側に収集装置を設けるの
が、ファン等の保守の面から好ましい。この収集装置と
しては、微細な微細気相成長炭素繊維を収集することの
できる装置であれば種々の公知の機械・器具・装置等を
採用することができ、例えば、電気集塵機、バグフィル
ター、及びサイクロン等のドライタイプの収集装置、並
びに水もしくは有機液体を噴霧するウェットタイプの収
集装置を挙げることができる。

【００６９】−案内ガス供給手段− この発明における案内ガス供給手段は、排出管の一端か
ら排出管の開口部にまで案内ガスを、排出管の外周に沿
って旋回するように流れる気流例えば旋回流を形成する
ことなく、したがって、実質的には排出管の外周壁に沿
って流通するピストンフローにして流通させ、開口部の
縁辺全周にわたって均一に案内ガスを開口部内に供給す
るように形成される。この案内ガス供給手段において
は、排出管の中心軸線に直交する平面のいずれにおいて
も排出管の中心軸線に実質的に平行な気流となって均一
な流速で排出管の開口部に向かって案内ガスを流通させ
るフロー調整部と、外部から導入した案内ガスを貯留す
るガス均一供給槽とを備えてなる。

【００７０】案内ガス供給手段４０の一例は、図１に示
されるように、縦型炉芯管１１の内部に挿入配置された
縦型の排出管３１に組み合わされている。この案内ガス
供給手段４０は、ガス均一供給槽４１と、このガス均一
供給槽４１内に案内ガスを導入する案内ガス導入管４２
と、ガス均一供給槽４１内のガスを整流しつつ排出管３
１の開口部３１Ａに案内ガスを案内するフロー調整部４
３とを有する。

【００７１】このガス均一供給槽４１は、排出管３１の
中心軸に直交する平面における断面が矩形であっても、
円形であってもよい。また、このガス均一供給槽４１が
円筒形状であるときには、その内径が、縦型炉心管１１
の内径の１．１〜４倍、好ましくは１．３〜３倍、特に
好ましくは１．５〜２．５倍に設計されるのが望まし
い。ガス均一供給槽４１の内径が前記範囲に設定されて
いると、排出管の開口部に供給される案内ガス量が過剰
になって縦型炉心管内の気流を乱すこともなく、案内ガ
スを開口部の全周にわたって均一に供給することができ
る。

【００７２】また、案内ガスを開口部の全周にわたって
均一に供給するために、案内ガスの流量は、縦型炉心管
の上部から流れる原料ガス及びキャリヤーガスの全流量
の０．１〜１０倍、好ましくは０．３〜５倍、更に好ま
しくは０．５〜３倍に調節されるのも好ましい。

【００７３】この案内ガスの量及び縦型炉芯管を下降し
てくるガス量の最適値は、縦型炉芯管の内径、排出管の
直径、及び排出管の開口部の直径とに相互に関係するの
であるが、総合的に言うと、排出管の外周面と縦型炉芯
管の内壁との間の案内ガスの上昇線速度が、縦型炉芯管
内を下降してくるガスの平均下降線速度の０．１〜１０
倍、好ましくは０．３〜５倍、さらには０．５〜３倍
が、案内ガスが縦型炉芯管内をピストン流で降下してく
るガスの気流を乱さずに、また降下するガスが排出管の
開口部の外側を降下しないで、縦型炉芯管の内壁への繊
維付着を発生させないと言う点で、好ましい。

【００７４】フロー調整部４３は、ガス均一供給槽４１
に案内ガスの旋回流が発生しているときには、排出管の
開口部に流入する案内ガスを排出管の中心軸に平行な上
昇気流に調整する機能を有し、また、原料ガス供給ノズ
ル１０と排出管の開口部３１Ａとの間で反応ガス流に旋
回が生じているときには、その反応ガスの旋回を打ち消
して直下流が形成されるように案内ガスを旋回させる機
能を持たせることもできる。

【００７５】また、排出管３１の開口部３１Ａが縦型炉
心管１１の内部に挿入されている場合には、縦型炉心管
１１の内壁と排出管３１の外壁との間の空間がフロー調
整部と成り得る。フロー調整部４３によってより一層確
かに、排出管３１の中心軸線に直交する平面のいずれに
おいても均一な上昇気流を形成するときには、図５に示
されるように、縦型炉心管１１の内壁面と排出管３１の
外周面との間に整流板４４を設けるのがよい。この整流
板４４は、図６に示されるように、排出管３１の外周面
と縦型炉心管１１の内周面との間に形成される水平断面
環状の空間内に、排出管３１の中心軸線を中心にした放
射状となるように、配設されるのがよい。

【００７６】放射状に配設する整流板４４の数として
は、通常２〜８枚である。整流板４４の配設位置として
は、上記機能が全うされる限り特に制限がなく、例え
ば、図５に示されるように、整流板４４の上端部及び下
端部が排出管３１の中間部に位置するように整流板４４
を配設してもよく、また、図７に示されるように、整流
板４４の上端が開口部３１Ａの端縁に一致するように配
設してもよい。整流板４４の長さについても、中心軸線
に直交する平面のいずれにおいても実質的に同じ流速の
上昇気流が形成されるように設計される限り、特に制限
がない。

【００７７】また、ガス均一供給槽４１内で案内ガスの
旋回流が生じているときには、その旋回流がフロー調整
部に流入しないように、図７に示されるように、整流板
４４の下方に邪魔板４５を配設するのもよい。この邪魔
板４５は、例えば、図７に示されるように、縦型炉心管
１１の内周面に設けられた、下方に傾斜する環状の板
と、排出管３１の外周面に設けられた、下方に傾斜する
環状の板とを組み合わせて形成されることができる。

【００７８】この案内ガス供給手段で使用される案内ガ
スとしては、この発明の目的を達成することができる限
り、特に制限がないのであるが、反応領域において不活
性なガスが好ましい。不活性な案内ガスとしては、アル
ゴン等の希ガス及び窒素を挙げることができる。案内ガ
スの分子量とキャリヤガスの分子量との差が大きいと、
案内ガスが原料ガス及びキャリヤガスと殆ど混合せずに
これらを完全に包み込み、その結果として排出管の内壁
で炭素繊維が生成することのない状況が実現されること
ができる。この状況は、キャリヤガスとして水素、案内
ガスとして窒素を採用するときに、顕著である。案内ガ
スとキャリヤガスとを同じか、或いは近似組成にするの
が、ガスの回収及び再利用と言う点で、好ましい。

【００７９】なお、炉芯管が横置きの炉芯管すなわち横
型炉芯管である場合には、前記縦型炉芯管の場合と同様
にして、炉芯管及び排出管の内部におけるガスの流通が
整流であるように、ガス均一供給槽の内径、案内ガスの
流量、案内ガスの流通線速度等を決定することができ
る。

【００８０】−微細気相成長炭素繊維付着防止装置− 前記炭素繊維室物製造装置における排出手段及び案内ガ
ス供給手段の組み合わせが、この発明における微細気相
成長炭素繊維付着防止装置の一例となっている。

【００８１】−微細気相成長炭素繊維製造装置の運転− この微細気相成長炭素繊維製造装置は、例えば、以下の
ようにして運転される。図１に示されるように、案内ガ
ス導入管４２からガス均一供給槽４１内に導入すると、
ガス均一供給槽４１内では、その容積にもよるが、通
常、排出管３１を中心とする旋回流が発生することがあ
る。

【００８２】一方、エジェクター２３によって排出管３
１内のガスが排出管の下方開口部から排出されていく。
したがって、排出管３１の開口部３１Ａの外部から内部
へと気体が吸い込まれる。

【００８３】排出管３１の開口部３１Ａ近傍では開口部
３１Ａの内部に気体が吸い込まれるから、ガス均一供給
槽４１内の案内ガスが上方へと吸い上げられる。ガス均
一供給槽４１内の案内ガスが上昇する際にフロー調整部
４３により、旋回流が消失して排出管３１の中心軸線に
平行な上昇気流が形成される。

【００８４】一方、縦型炉芯管１１内が電気炉１５によ
り加熱される。この場合、電気炉１５による加熱によ
り、縦型炉芯管１１の中央部が反応領域となって均一な
高温度に維持され、その上部及び下部の領域では温度が
低下している。縦型炉芯管１１の上部に設けられた原料
ガス供給ノズル１０からキャリヤガスと共に炭素源ガス
及び触媒金属源ガスとが縦型炉芯管１１内に供給され
る。

【００８５】前記原料ガス供給ノズル１０は反応領域に
臨んで配置され、しかも前記原料ガス供給ノズルに臨ん
で排出管の開口部が配置されているので、前記原料ガス
供給ノズル１０から噴出した原料ガス中の炭素源ガス及
び触媒金属源ガスは、排出管３１の外周面と縦型炉芯管
１１の内周面との間隙をせり上がってきた案内ガスによ
り、排出管３１の開口部３１Ａから排出管３１内に引き
込まれる。

【００８６】排出管３１における、縦型炉芯管１１にお
ける反応領域内に挿入された部分の内部は、電気炉１５
により加熱された縦型炉芯管１１による輻射熱及び加熱
された案内ガスにより、反応領域と同等の温度に加熱さ
れている。

【００８７】開口部３１Ａから内部に引き込まれた原料
ガスは、直ちに分解して触媒金属を核とする微細気相成
長炭素繊維が排出管３１内の反応領域で生成する。

【００８８】つまり、原料ガス供給ノズル１０から冷却
ガスで冷却された原料ガスが縦型炉芯管１１内に噴出し
ても、原料ガス供給ノズルの先端開口部に近接して臨む
位置に排出管３１の開口部３１Ａが開口するので、冷却
されて温度の低い原料ガスが排出管内で一挙に反応温度
に迄加熱されることとなり、排出管３１内の反応領域で
効率的に微細気相成長炭素繊維が形成される。

【００８９】一方、キャリヤーガス供給ノズル１４から
キャリヤーガスが縦型炉芯管１１の内壁に沿って環状に
下降流通する。そして、排出管３１の開口部３１Ａか
ら、原料ガス及び案内ガスと共に、排出管３１内に引き
込まれる。キャリヤーガスとして水素ガスを使用し、ま
た、案内ガスとして窒素ガス等を使用するといったよう
に、キャリヤガスとは異なる種類のガスを案内ガスとし
て使用すると、このキャリヤガスが原料ガスを包み込
み、しかも原料ガスを包み込んだキャリヤガスを案内ガ
スが包み込んだ状態となって、排出管３１内に吸い込ま
れると推定される。もっとも、開口部３１Ａから内部に
引き込まれたキャリヤガス及び案内ガスが排出管３１を
流通する内に遂には混合してしまうかもしれないが、排
出管３１における、開口部３１Ａから排出管３１の内部
に向かう所定の領域、すなわち所定温度に加熱された反
応領域においては、少なくとも前記状態になっていると
推定される。つまり、キャリヤガスと案内ガスとが前記
反応領域では混合せずにキャリヤガスが原料ガスと案内
ガスとを仕切った状態になると考えられる。このような
状態が実現することにより、原料ガス及び生成する微細
気相成長炭素繊維が排出管の内壁に接触することがな
く、また排出管の内壁で炭素繊維が成長することもない
と言う利点がある。

【００９０】排出管３１の反応領域で形成された微細気
相成長炭素繊維は、排出管３１の中心部に集約されて、
排出管３１内を案内ガスと共に搬送され、最終的には収
集装置で収集される。

【００９１】ところで、排出管３１の反応領域で生成し
た微細気相成長炭素繊維は、殆ど太さ成長をすることな
く縦型炉芯管１１の外に排出されるから、カーボンナノ
ファイバー及びカーボンナノチューブのような微細なも
のとして収集される。

【００９２】ここで、カーボンナノチューブとカーボン
ナノファイバーとを、その繊維径から分類するのは困難
である。例えばカーボンナノチューブはその直径が１〜
１０ｎｍであるとする場合、その直径が１〜１５ｎｍで
あるとする場合がある。またカーボンナノファイバーは
その直径が１０〜１００ｎｍであるとする場合、その直
径が１５〜数百ｎｍであるとする場合がある。

【００９３】いずれにしてもこの発明における微細気相
成長炭素繊維は、気相法で生成された微細炭素繊維であ
って、好ましくは直径が約１００ｎｍ以下、さらには５
０ｎｍ以下であり、その中心部には中空コア部が繊維軸
に沿って存在し、この中空コア部を囲繞するように、単
層又は複数層の黒鉛網面が年輪状に平行に形成され、し
かもその格子面間隔ｄ₀₀₂が０．３３６〜０．３６０ｎ
ｍの範囲内にある構造を有する。したがって、微細気相
成長炭素繊維には、所謂カーボンナノチューブ及びカー
ボンナノファイバーを含む。

【００９４】以上において、この発明につき縦型炉芯管
を有する製造装置を中心にして説明をしたが、縦型炉芯
管の代わりに横型炉芯管を有する微細気相成長炭素繊維
製造装置である場合においても、炉芯管内及び排出管内
での対流発生を有効に防止する手段を講ずることによ
り、縦型炉芯管を備える場合と同様にして微細気相成長
炭素繊維が製造されることができる。

【００９５】

【実施例】（実施例１）図１に示される微細気相成長炭
素繊維製造装置を用いて、以下の条件でカーボンナノフ
ァイバーを製造した。

【００９６】（１）縦型炉芯管１１ 内径：９０ｍｍ、外径：１００ｍｍ、長さ：２ｍの炭化
珪素製パイプ。

【００９７】縦型炉芯管内温度分布： 上端〜６０ｃｍの温度：２５０〜１１２０℃の温度勾
配。

【００９８】６０〜１６０ｃｍの温度：１１２０℃でほ
ぼ均熱。

【００９９】１６０ｃｍ〜下端の温度：１１２０〜６０
０℃の温度勾配。

【０１００】（２）原料ガス供給ノズル１０ 内径が１４ｍｍであり、長さが１ｍであるＳＵＳ３０４
製の原料ガス供給ノズル１０の外側にＳＵＳ３０４製の
冷却用ジャケット１２が、同心円状に装着してなる二重
管構造を形成していた。冷却用ジャケット１２の外径は
４０ｍｍであった。原料ガス供給ノズル１０内を原料ガ
スが流れ、原料ガス供給ノズル１０の外周面と冷却ジャ
ケット１２の内周面との環状の空間を冷却ガス、例えば
空気または窒素が流通することによって原料ガス供給ノ
ズル１０内を流通する原料ガスの温度が約４００℃にな
るように制御された。なお、冷却ジャケット１２内を流
れる冷却ガスは、冷却ガス排出口１３Ａから排出され
た。冷却用ジャケット１２の外周面と炉芯管１１の内壁
との間には、整流用の耐熱金属ハニカムが装填された。

【０１０１】この原料ガス供給ノズル１０の先端が炉芯
管上端から６０ｃｍになるように、原料ガス供給ノズル
１０が縦型炉芯管１１に設置された。

【０１０２】（３）排出管３１ 直管部：内径４０ｍｍ、肉厚４ｍｍ、長さ２ｍの炭化珪
素製パイプ．排出管３１の上部に、上端内径が４３ｍｍ
であり、下端内径が４０ｍｍであり、長さが５０ｍｍで
ある炭化珪素製のレジューサーが、嵌合された。レジュ
ーサーには、その外側に、外径８８ｍｍである肉厚４ｍ
ｍの炭化珪素製の整流板４４（長さ５０ｍｍ）が、放射
状に、４枚取り付けられた。

【０１０３】原料ガス供給ノズル１０の先端から排出管
３１の上端までの距離：３０ｃｍ（縦型炉芯管上端から
９０ｃｍであった。）。

【０１０４】排出管３１は、縦型炉芯管１１の下端に直
結する案内ガス供給手段４０のガス均一供給槽４１の底
部から下に約６５ｃｍつき出た位置に、下端開口部が位
置するように、設置されて成る。

【０１０５】排出管３１の下端の周囲に設けられたエジ
ュクター３３に希釈用窒素１００リットル／分（２０
℃）を流しながら、大量の空気と共にバグフィルター型
集塵機（図示せず。）へ吸い出し、フィルター上にカー
ボンナノファイバーを得た。

【０１０６】（４）案内ガス供給手段４０ ガス均一供給槽４１の内径：２０ｃｍ、 ガス均一供給槽４１の容積：１５リットル、 案内ガス（窒素）の供給量：１６リットル／分（２０
℃） 案内ガス均一供給槽内の圧力：−６ｍｍ水柱。

【０１０７】（５）その他の条件 原料ガス組成：フェロセン０．１２モル％、チオフェン
０．１０モル％、トルエン５．８０モル％、水素９３．
９８モル％、 原料ガス供給ノズル１０からのガス供給量：２．６０リ
ットル／分（２０℃） キャリヤガス供給ノズル１４からのキャリヤガス（水素
ガス）のガス供給量：１２．０リットル／分（２０℃） 原料ガス供給ノズル１０からの吹き出し速度：６４．６
ｃｍ／秒（４００℃） （この速度で排出管１０の上端（３０ｃｍ）にガスが到
達すると仮定すると、ガスの滞在時間は０．４６秒であ
った。） 原料ガスとキャリアガスと案内ガスとを合計したガスの
排出管中の速度：１８６．６ｃｍ／秒（１１２０℃） この速度で均熱部（１００ｃｍ）をガスが通過すると仮
定すると、ガスの滞在時間は０．５４秒であった。した
がって、反応時間は合計１．００秒とされた。

【０１０８】上記条件の微細気相成長炭素繊維製造装置
を用いて、６時間の連続運転をした。その結果、直径が
１５〜２０ｎｍ、内径が４〜５ｎｍ、及びｄ₀₀₂が０．
３５ｎｍのカーボンナノファイバーを３０ｇ得ることが
できた。

【０１０９】（実施例２）実施例１と実質的に同様の装
置で、以下の条件のみを変更してカーボンナノファイバ
ーを製造した。

【０１１０】（１）縦型炉芯管１１ 縦型炉芯管１１の内部における温度分布： 上端〜６０ｃｍの温度：２７０〜１１８０℃の温度勾
配、 ６０〜１６０ｃｍの温度：１１８０℃でほぼ均熱、 １６０ｃｍ〜下端の温度：１１８０〜６５０℃の温度勾
配。

【０１１１】（３）排出管３１ 原料ガス供給ノズル１０の先端から排出管３１の上端ま
での距離：１０ｃｍ（縦型炉芯管１１の上端から排出管
３１の上端までの距離：７０ｃｍ）。

【０１１２】原料ガス供給ノズル１０からの吹き出し速
度：６４．６ｃｍ／秒（４００℃） この速度で排出管３１の上端（１０ｃｍ）にガスが到達
すると仮定すると、ガスの滞在時間は０．１５秒であっ
た。

【０１１３】原料ガスとキャリアガスと案内ガスとを合
計したガスの排出管中における速度：１９４．６ｃｍ／
秒（１１８０℃） この速度で均熱部（１００ｃｍ）を通過すると仮定する
と、ガスの滞在時間は０．５１秒であった。したがっ
て、反応時間は合計０．６６秒とされた。

【０１１４】上記条件の微細気相成長炭素繊維製造装置
を用いて、４時間の連続運転をした。その結果、直径が
８〜３０ｎｍであり、内径が２〜５ｎｍであり、及びｄ
₀₀₂が０．３６ｎｍであるカーボンナノファイバーを４
０ｇ得ることができた。

【０１１５】（実施例３）実施例１の微細気相成長炭素
繊維製造装置において、原料ガス供給ノズル１０及び排
出管３１が各３本であり、排出ガス回収装置を連結した
ことを主たる相違点とすることの外は前記実施例１にお
けるのと実質的に同様の微細気相成長炭素繊維製造装置
を使用して、以下の条件でカーボンナノファイバーを製
造した。

【０１１６】（１）縦型炉芯管 内径：９０ｍｍ、外径：１００ｍｍ、長さ：２ｍの炭化
珪素製パイプ。

【０１１７】縦型炉芯管の内部における温度分布： 上端〜６０ｃｍの温度：２３０〜１１５０℃の温度勾
配、 ６０〜１６０ｃｍの温度：１１５０℃でほぼ均熱、 １６０ｃｍ〜下端の温度：１１５０〜６５０℃の温度勾
配。

【０１１８】（２）原料ガス供給ノズル 内径が１２ｍｍであり、長さが８０ｃｍであるＳＵＳ３
０４製の原料ガス供給ノズルの外側にＳＵＳ３０４製の
冷却用ジャケット１２が、同心円状に装着してなる二重
管構造を形成していた。冷却用ジャケットの外径は３６
ｍｍであった。原料ガス供給ノズル内を原料ガスが流
れ、原料ガス供給ノズルの外周面と冷却用ジャケット１
２の内周面との環状の空間を冷却ガス、例えば空気また
は窒素が流通することによって原料ガス供給ノズル内を
流通する原料ガスの温度が約４００℃になるように制御
された。

【０１１９】このように原料ガス供給ノズル、及び冷却
用ジャケットとが一体となった二重管構造体を一組とし
て、三組の二重管構造体が、この二重管構造体相互の中
心線間の距離が３９ｍｍとなるように、かつ前記二重管
構造体の中心が正三角形の頂点となるように、縦型炉芯
管の頂部に配置された。また、縦型炉芯管の内壁と前記
二重管構造体における冷却用ジャケットの外周との間に
は、整流用の耐熱金属ハニカムが装填された。この耐熱
金属ハニカムの下端と三組の二重管構造体の下端とが一
致するように、耐熱金属ハニカムが設計された。この二
重管構造体の下端が、炉芯管上端から５０ｃｍになる様
に設置された。

【０１２０】（３）排出管 直管部：内径２８ｍｍ、肉厚３ｍｍ、長さ２ｍの炭化珪
素製パイプ． 排出管の上部に、上端内径が３１ｍｍであり、下端内径
が２８ｍｍであり、長さが５０ｍｍである炭化珪素製の
レジューサーが、嵌合された。レジューサーには、その
外側に、幅１５ｍｍであり、長さが５０ｍｍであり、肉
厚が４ｍｍである炭化珪素製の整流板が、放射状に、２
枚取り付けられた。

【０１２１】このような構造を有する３本の排出管が、
前記二重管構造体に、１：１対応で、縦型炉芯管内に配
設された。前記二重管構造体における原料ガス供給ノズ
ルの先端開口部と排出管の開口部との距離は２０ｃｍで
あり、縦型炉芯管の上端から排出管の開口部までの距離
は７０ｃｍであった。

【０１２２】排出管は、縦型炉芯管の下端に直結する案
内ガス供給手段のガス均一供給槽の底部から下に約４５
ｃｍの位置に、下端開口部が突き出るように、設置され
て成る。

【０１２３】この３本の排出管の下端は排出ガス回収装
置に結合される。この排出ガス回収装置は、３本の排出
管の下端が結合されたところの、密閉された２ｍ²のＳ
ＵＳ容器と、このＳＵＳ容器内であって、３本の排出管
の下より１０ｃｍの位置に配置された目開き約１ｍｍの
ＳＵＳメッシュ移動型フィルターと、このＳＵＳメッシ
ュ移動型フィルターの下方約１０ｃｍの位置に吸い出し
口を持つように設置された、２００リットル／分の排気
ファンと、微差圧計と連動する排気ファンと、この容器
を通過してから回収されるところの、未反応物を含むキ
ャリアガスと案内ガスとを回収するガス回収タンクとを
備えて成る。

【０１２４】カーボンナノファイバーの付着したＳＵＳ
メッシュ移動型フィルターは、ＳＵＳ容器における排出
管直下の位置から所定の場所に移動することができ、そ
の移動中にブラシでカーボンナノファイバーを掃き落と
してこのカーボンナノファイバーを回収し、回収後に再
び排気管直下の位置に戻ることができるように形成され
て成る。

【０１２５】（４）案内ガス供給手段 ガス均一供給槽４１の内径：２０ｃｍ、 ガス均一供給槽４１の容積：１５リットル、 案内ガス（窒素）の供給量：１６リットル／分（２０
℃） 案内ガス均一供給槽内の圧力：−６ｍｍ水柱。

【０１２６】（５）その他の条件 原料ガス組成：フェロセン０．０６モル％、チオフェン
０．０４モル％、トルエン５．９０モル％、水素９４．
００モル％、 原料ガス供給ノズルからのガス供給量：１．５０リット
ル／分、 キャリヤガス供給ノズルからのキャリヤガス（水素ガ
ス）のガス供給量：９．０リットル／分、 原料ガス供給ノズルからの吹き出し速度：５０．８ｃｍ
／秒（４００℃） この速度で排出管の上端にガスが到達すると仮定する
と、ガスの滞在時間は０．３９秒であった。原料ガスと
キャリアガスと案内ガスとを合計したガスの排出管中に
おける速度は１２４．７ｃｍ／秒（１１５０℃）であっ
た。

【０１２７】この速度でガスが均熱部（１００ｃｍ）を
通過すると仮定すると、そのガスの滞在時間は０．８０
秒であった。したがって、反応時間は合計１．１９秒と
された。

【０１２８】上記条件の微細気相成長炭素繊維製造装置
を用いて、３０分間の連続運転をした。その結果、直径
が５〜２０ｎｍであり、内径が２〜５ｎｍであり、ｄ
₀₀₂が０．３５ｎｍであるカーボンナノファイバーを１
０ｇ得ることができた。

【０１２９】（実施例４）図１に示される微細気相成長
炭素繊維製造装置を用いて、以下の条件でカーボンナノ
ファイバーを製造した。

【０１３０】（１）縦型炉芯管１１ 実施例１に同じ。

【０１３１】縦型炉芯管内温度分布： 上端〜６０ｃｍの温度：１００〜６００℃の温度勾配。

【０１３２】６０〜１６０ｃｍの温度：６００℃でほぼ
均熱。

【０１３３】１６０ｃｍ〜下端の温度：６００〜５００
℃の温度勾配。

【０１３４】（２）原料ガス供給ノズル１０ 実施例１におけるのと同様であり、原料ガス供給ノズル
１０から供給される原料ガスの温度が１００℃になるよ
うに制御された。

【０１３５】（３）排出管３１ バグフィルター型集塵機を用いる代わりに１００メッシ
ュ金網上に微細気相成長炭素繊維を捕集するようにした
外は、実施例１におけるのと同様である。

【０１３６】（４）案内ガス供給手段４０ 実施例１におけるのと同様である。

【０１３７】（５）その他の条件 原料ガス組成：鉄ペンタカルボニル１モル％、一酸化炭
素７５モル％、水素２４モル％、 原料ガス供給ノズル１０からのガス供給量：１．２リッ
トル／分（２０℃） キャリヤガス供給ノズル１４からのキャリヤガス（水素
ガス）のガス供給量：１０．８リットル／分（２０℃） 原料ガス供給ノズル１０からの吹き出し速度：１６．５
ｃｍ／秒（１００℃） （この速度で排出管１０の上端（３０ｃｍ）にガスが到
達すると仮定すると、ガスの滞在時間は１．８２秒であ
った。） 原料ガスとキャリアガスと案内ガスとを合計したガスの
排出管中の速度：８２．５ｃｍ／秒（６００℃） この速度で均熱部（１００ｃｍ）をガスが通過すると仮
定すると、ガスの滞在時間は１．２１秒であった。した
がって、反応時間は合計３．０３秒とされた。

【０１３８】上記条件の微細気相成長炭素繊維製造装置
を用いて、３０分間の連続運転をした。その結果、約２
ｇの微細気相成長炭素繊維が得られた。この微細気相成
長炭素繊維をＳＥＭ・ＴＥＭによる観察の結果、黒鉛網
面が繊維軸に直角でリボン状であり、長径が１０〜４０
ｎｍである炭素繊維を主として、外径３０ｎｍ前後で内
径が５〜８ｎｍであり、繊維軸に４５度の黒鉛網面を持
つ炭素繊維が数多く発見され。極僅かではあるが、黒鉛
網面が繊維軸に平行で、しかも中空であり、外径が１０
ｎｍ程度のカーボンナノチューブも観察された。このカ
ーボンナノチューブを含む微細気相成長炭素繊維をＸ線
回折により分析すると、ｄ₀₀₂が０．３４ｎｍであっ
た。

【０１３９】

【発明の効果】この発明の微細気相成長炭素繊維製造装
置によると、排出管の開口部が、縦型炉芯管における原
料ガス供給ノズルの先端開口部に臨むように、排出管が
縦型炉芯管内に挿入されているので、原料ガス供給ノズ
ルの外周部を冷却されることにより温度の低い原料ガス
が縦型炉心管の反応領域に供給されても、直ちに原料ガ
スが加熱され、分解されて、微細気相成長炭素繊維が効
率良く形成される。

【０１４０】この発明によると、縦型炉芯管の下方が炭
素繊維、特にカーボンナノファイバー等の微細気相成長
炭素繊維で閉塞されることがなく、したがって、効率的
に微細気相成長炭素繊維の連続生産を実現することがで
き、しかも装置全体が大型化することのない微細気相成
長炭素繊維製造装置を提供することができる。

【０１４１】この発明によると、縦型炉芯管の閉塞現象
が極力低減されることにより長期連続運転の可能な微細
気相成長炭素繊維製造装置を提供することができる。

【０１４２】この発明によると、微細気相成長炭素繊
維、特に黒鉛網面が年輪状の構造を有するところの、と
りわけて流動気相成長炭素繊維よりもさらに径の小さな
黒鉛網面が年輪状構造を有するカーボンナノファイバー
及び／又はカーボンナノチューブを、連続的に効率良く
製造する方法乃至装置を提供することができる。

【０１４３】この発明によると、微細気相成長炭素繊維
を製造する際に、縦型炉芯管内が内壁の付着物の堆積に
よる閉塞を防止することのできる微細気相成長炭素繊維
付着防止装置を提供することができる。

【０１４４】この発明によると、直径が約１００ｎｍ以
下、さらには５０ｎｍ以下であり、その中心部には中空
コア部が繊維軸に沿って存在し、この中空コア部を囲繞
するように、単層又は複数層の黒鉛網面が年輪状に平行
に形成され、しかもその格子面間隔ｄ₀₀₂が０．３３６
〜０．３６０ｎｍの範囲内にある構造を有するところ
の、所謂カーボンナノチューブ及びカーボンナノファイ
バーを含む微細気相成長炭素繊維を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の一実施例を示す概略説明図
である。

【図２】図２は、この発明の一実施例における排出管の
一例を示す概略説明図である。

【図３】図３は、この発明の一実施例における排出管の
他の例を示す概略説明図である。

【図４】図４は、この発明の一実施例における排出管の
その他の例を示す概略説明図である。

【図５】図５は、この発明の一実施例における整流板を
示す概略説明図である。

【図６】図６は、この発明の一実施例における整流板の
配置状態を示す概略説明図である。

【図７】図７は、この発明の一実施例における整流板の
他の例を示す概略説明図である。

【符号の説明】

１…気相成長炭素繊維製造装置、２…原料タンク、３…
ポンプ、４…気化器、５…ヒートブロック、６…第１マ
スフローコントローラ、７…流量計、８…第２マスフロ
ーコントローラ、９…ヒートチューブ、１０…原料ガス
供給ノズル、１１…縦型炉芯管、１２…冷却用ジャケッ
ト、１２Ａ…内筒管、１３…冷却ガス供給口、１３Ａ…
冷却ガス排出口、１４…キャリヤーガス供給ノズル、１
４Ａ…ガス整流手段、１５…電気炉、１８…原料ガス供
給口、１９…配管、２０…配管、２１…原料供給管、２
２…配管、２３…配管、３０…排出手段、３１…排出
管、３１Ａ…開口部、３２…駆動気体噴出ノズル、３３
…エジェクター管、４０…案内ガス供給手段、４１…ガ
ス均一供給槽、４２…案内ガス供給管、４３…フロー調
整部、４４…整流板。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】炉芯管内に炭素源ガスと触媒金属源ガスと
   を供給することができるように炉芯管の一端に配置され
   た、原料供給手段のノズルを備えた反応手段と、前記ノ
   ズルの先端開口部に開口部が近接して臨むように炉芯管
   内に配置された排出管を備えた排出手段と、前記炉心管
   の他端から前記排出管の開口部へ流通し、次いで前記排
   出管内に流通する案内ガスを供給する案内ガス供給手段
   とを備えて成ることを特徴とする微細気相成長炭素繊維
   製造装置。
2. 【請求項２】加熱された炉芯管の一端に設けられた、原
   料供給手段のノズルから供給される炭素源ガスと触媒金
   属源ガスとを、前記炉芯管内に挿入配置された排出管
   の、前記ノズルの先端開口部に臨んで配置された開口部
   内に、案内ガス供給手段により炉芯管と前記排出管との
   間隙を流通する案内ガスと共に、取り込んで、前記炭素
   源ガスと触媒金属源ガスとから微細気相成長炭素繊維を
   製造することを特徴とする微細気相成長炭素繊維の製造
   方法。
3. 【請求項３】炉心管の一端から炭素源ガスと触媒金属源
   ガスとを炉芯管内に供給する、原料供給手段のノズルに
   近接して臨んで配置された開口部から前記炭素源ガスと
   触媒金属源ガスとを取り込む排出管を有する排出手段
   と、前記炉芯管の他端から前記排出管の開口部へと流通
   し、前記炭素源ガス及び触媒金属源ガスと共に前記排出
   管内に流通する案内ガスを供給する案内ガス供給手段と
   を備えて成ることを特徴とする微細気相成長炭素繊維付
   着防止装置。
4. 【請求項４】加熱された炉芯管の一端に設けられた、原
   料供給手段のノズルから供給される炭素源ガスと触媒金
   属源ガスとを、前記炉芯管内に挿入配置された排出管
   の、前記ノズルの先端開口部に臨んで近接して配置され
   た開口部内に、案内ガス供給手段により炉芯管と前記排
   出管との間隙を上昇する案内ガスと共に、取り込んで前
   記炭素源ガスと触媒金属源ガスとを分解させることによ
   り得られて成ることを特徴とする微細気相成長炭素繊
   維。