JP2001102280A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4418665B2 (ja) * 2003-11-28 2010-02-17 キヤノン株式会社 測定装置、並びに、それを利用した露光装置
KR100717907B1 (ko) 2005-07-01 2007-05-14 삼성전기주식회사 진동형 틸팅장치

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3888562A (en) * 1973-02-06 1975-06-10 Westinghouse Electric Corp Oscillating scanner
JPH0810124B2 (ja) * 1987-07-03 1996-01-31 株式会社ニコン 露光装置
DE4317948C2 (de) * 1993-05-28 1996-07-25 Werner Dr Schmidt Monochromator für Spektrometer
US5835560A (en) 1994-05-24 1998-11-10 Canon Kabushiki Kaisha Exposure apparatus
JP3167077B2 (ja) 1994-05-24 2001-05-14 キヤノン株式会社 露光装置とこれを用いたデバイス製造方法
US5930324A (en) * 1996-04-03 1999-07-27 Canon Kabushiki Kaisha Exposure apparatus and device manufacturing method using the same
JP3679549B2 (ja) * 1997-04-11 2005-08-03 キヤノン株式会社 シンクロトロン放射光強度測定器および該強度測定器を備えたｘ線露光装置
JPH1184098A (ja) * 1997-07-11 1999-03-26 Canon Inc Ｘ線照明装置およびｘ線照明方法、ｘ線露光装置ならびにデバイス製造方法
JPH11233436A (ja) * 1997-12-10 1999-08-27 Canon Inc Ｘ線照明装置及び方法、並びにこれを用いたｘ線露光装置やデバイス製造方法
US6107770A (en) * 1998-01-27 2000-08-22 Lockheed Martin Corporation Control system for counter-oscillating masses
JPH11295031A (ja) * 1998-04-08 1999-10-29 Canon Inc 位置決めステージ装置とその位置計測方法および位置決めステージ装置を備えた露光装置ならびにデバイス製造方法

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