JPS63250549A - 薄膜引張り試験機 - Google Patents
薄膜引張り試験機Info
- Publication number
- JPS63250549A JPS63250549A JP8460787A JP8460787A JPS63250549A JP S63250549 A JPS63250549 A JP S63250549A JP 8460787 A JP8460787 A JP 8460787A JP 8460787 A JP8460787 A JP 8460787A JP S63250549 A JPS63250549 A JP S63250549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- thin
- testing machine
- moving device
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 71
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 25
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 claims description 10
- 238000009661 fatigue test Methods 0.000 abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 7
- 230000008602 contraction Effects 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、引張り試験機に関し、特に薄膜の引張り疲労
試験に加えてその振動疲労試験をも可能にした薄膜引張
り試験機に関するものである。
試験に加えてその振動疲労試験をも可能にした薄膜引張
り試験機に関するものである。
引張り試験機は、試験片の材質、大きさなどによって、
多種類のものが数多く製品化されているが、磁気テープ
や磁気ディスク媒体など薄膜用の引張り試験機は製品の
数も少ない。
多種類のものが数多く製品化されているが、磁気テープ
や磁気ディスク媒体など薄膜用の引張り試験機は製品の
数も少ない。
従来、このような磁気テープや磁気ディスクなどの機械
的特性を測定するに当り、その引張り疲労を試験すると
きは、作業者は、引張り専用の試験機に被試験薄膜を取
付けて試験を行う。
的特性を測定するに当り、その引張り疲労を試験すると
きは、作業者は、引張り専用の試験機に被試験薄膜を取
付けて試験を行う。
しかし、従来の薄膜用の引張り試験機は、装着した被試
験薄膜の引張り疲労を試験するためのものに留まり、こ
の引張り試験機で振動疲労耐久性試験を行うことはでき
ない。従って、振動疲労特性を測定したいときは、別途
、加振装置を備えた振動疲労試験機にその被試験薄膜を
装着し直し、振動疲労試験を行うことになる。
験薄膜の引張り疲労を試験するためのものに留まり、こ
の引張り試験機で振動疲労耐久性試験を行うことはでき
ない。従って、振動疲労特性を測定したいときは、別途
、加振装置を備えた振動疲労試験機にその被試験薄膜を
装着し直し、振動疲労試験を行うことになる。
本発明は、このような点に着目してなされたもので、一
台の試験機で引張り疲労試験と振動疲労試験を行えると
共に、前者の試験に加えて後者の試験が要求される場合
でもこれを迅速にしてかつ容易に行え、しかも構造も簡
単で価格も極めて安価にできる薄膜引張り試験機を提供
することを目的とする。
台の試験機で引張り疲労試験と振動疲労試験を行えると
共に、前者の試験に加えて後者の試験が要求される場合
でもこれを迅速にしてかつ容易に行え、しかも構造も簡
単で価格も極めて安価にできる薄膜引張り試験機を提供
することを目的とする。
本発明の″Ｒ膜引張り試験機は、
被試験薄膜の一端を取付けると共に、加振源により加振
する第１の薄膜取付部を備えた薄膜加振機構部と、 被試験薄膜の他端を取付ける第２の薄膜取付部と、この
第２の薄膜取付部に連結された荷重変換器と、この荷重
変換器を移動させる移動装置とを備えた薄膜引張り機構
部と、 前記移動装置による変位を測定する変位測定器と、 前記加振源の駆動制御、前記移動装置の駆動制御を行い
、前記荷重変換器、変位測定器からのデータを処理する
手段とを有することを特徴としている。
する第１の薄膜取付部を備えた薄膜加振機構部と、 被試験薄膜の他端を取付ける第２の薄膜取付部と、この
第２の薄膜取付部に連結された荷重変換器と、この荷重
変換器を移動させる移動装置とを備えた薄膜引張り機構
部と、 前記移動装置による変位を測定する変位測定器と、 前記加振源の駆動制御、前記移動装置の駆動制御を行い
、前記荷重変換器、変位測定器からのデータを処理する
手段とを有することを特徴としている。
被試験薄膜を取付ける取付部の一方の側は、加振源の駆
動により加振せしめられ、振動疲労試験時にはその一方
の取付部を介して被試験薄膜に振動が加えられる。この
ように振動疲労試験機能を引張り試験機に付加したこと
により、引張り疲労試験と振動疲労試験を一台の試験機
で行うことができ、しかも構造が簡単で極めて低価格に
でき、かつ、再試験が要求される場合には、被試験薄膜
は取付部から取外す必要はない。
動により加振せしめられ、振動疲労試験時にはその一方
の取付部を介して被試験薄膜に振動が加えられる。この
ように振動疲労試験機能を引張り試験機に付加したこと
により、引張り疲労試験と振動疲労試験を一台の試験機
で行うことができ、しかも構造が簡単で極めて低価格に
でき、かつ、再試験が要求される場合には、被試験薄膜
は取付部から取外す必要はない。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を説明するための全体斜視図
である。
である。
第１図に示す如く、本実施例の薄膜引張り試験機は、概
略、定盤１１の中央部に垂直に固定されている基板２と
、この基板２に設けられた薄膜加振機構部、薄膜引張り
機構部及び変位測定器９と、制御装置１２から成ってい
る。
略、定盤１１の中央部に垂直に固定されている基板２と
、この基板２に設けられた薄膜加振機構部、薄膜引張り
機構部及び変位測定器９と、制御装置１２から成ってい
る。
薄膜加振機構部は、加振源としての積層圧電素子１と継
手３と薄膜４の一端を取付は挟持する固定金具５とから
主に構成される。積層圧電素子１は下端を基板２に固定
し、上端は継手３の内面上端中央部に固定されている。
手３と薄膜４の一端を取付は挟持する固定金具５とから
主に構成される。積層圧電素子１は下端を基板２に固定
し、上端は継手３の内面上端中央部に固定されている。
継手３は、積層圧電素子ｌにだけ支持されており、継手
３の下端には、被試験薄膜４の上端を固定する固定金具
５を備えている。
３の下端には、被試験薄膜４の上端を固定する固定金具
５を備えている。
この固定金具５は、積層圧電素子１によって加振される
。
。
薄膜引張り機構部は、薄膜４の他端を取付は挟持する固
定金具７と荷重変換器６と直線移動装置８から主に構成
される。
定金具７と荷重変換器６と直線移動装置８から主に構成
される。
被試験薄膜４の下端は荷重変換器６の連結棒に支持され
た固定金具７により固定されている。荷重変換器６は、
直線移動装置８の上面移動板８０１に固定されており、
直線移動装置８の下面固定板８０２は基板２に固定され
ている。変位測定器９は、直線移動装置の移動変位を測
定するもので、図示の場合は、光学的なセンサで構成さ
れており、光の反射光量により変位を測定できる。変位
測定器９は、直線移動装置８の移動板８０１の端面に設
置されたミラー１０と適当な隙間を持ち、かつ垂直に基
板２に固定されている。
た固定金具７により固定されている。荷重変換器６は、
直線移動装置８の上面移動板８０１に固定されており、
直線移動装置８の下面固定板８０２は基板２に固定され
ている。変位測定器９は、直線移動装置の移動変位を測
定するもので、図示の場合は、光学的なセンサで構成さ
れており、光の反射光量により変位を測定できる。変位
測定器９は、直線移動装置８の移動板８０１の端面に設
置されたミラー１０と適当な隙間を持ち、かつ垂直に基
板２に固定されている。
制御装置１２には、積層圧電素子１と直線移動装置８と
荷重変換器６と変位測定器９とが接続されており、積層
圧電素子１の伸縮駆動制御と直線移動装置８の上下移動
制御と、荷重変換器６のデ−少入力処理と変位測定器９
のデータ入力処理とをこの制御装置１２により行う。こ
の制御装置１２には、直線移動装置駆動用、積層圧電素
子駆動用の各スタートスイッチ（図示せず）が設けられ
ている。
荷重変換器６と変位測定器９とが接続されており、積層
圧電素子１の伸縮駆動制御と直線移動装置８の上下移動
制御と、荷重変換器６のデ−少入力処理と変位測定器９
のデータ入力処理とをこの制御装置１２により行う。こ
の制御装置１２には、直線移動装置駆動用、積層圧電素
子駆動用の各スタートスイッチ（図示せず）が設けられ
ている。
上述の如く、本実施例の薄膜引張り試験機は、薄膜４の
一端を挟持し、積層圧電素子１により加振する挟持機構
を備えた薄膜加振機構部と、その加振可能な挟持部の下
方に備えられ、薄膜４の他端を挟持する挟持機構と、こ
の挟持機構に連結された荷重変換器６と、この荷重変換
器６を上下移動させる直線移動装置８とを備えた薄膜引
張り機構部と、直線移動装置８の移動変位を測定する変
位測定器９と、積層圧電素子１の駆動制御と直線移動装
置８の駆動制御と、荷重変換器６のデータ入力と変位測
定器９のデータ入力とを行う制御部とを備えている。
一端を挟持し、積層圧電素子１により加振する挟持機構
を備えた薄膜加振機構部と、その加振可能な挟持部の下
方に備えられ、薄膜４の他端を挟持する挟持機構と、こ
の挟持機構に連結された荷重変換器６と、この荷重変換
器６を上下移動させる直線移動装置８とを備えた薄膜引
張り機構部と、直線移動装置８の移動変位を測定する変
位測定器９と、積層圧電素子１の駆動制御と直線移動装
置８の駆動制御と、荷重変換器６のデータ入力と変位測
定器９のデータ入力とを行う制御部とを備えている。
次に、試験方法について説明する。
まず、薄膜の引張り疲労試験について説明する。
引張り疲労試験では、前記で説明した薄膜引張り機構部
を主に用いて行う。まず、被試験薄膜４を固定金具５お
よび７に固定する。続いて、制御装置１２の直線移動装
置８の駆動スタートスイッチをオンして、直線移動装置
８の移動板８０１を下降させる。この時の引張り荷重と
変位とについて荷重変換器６と変位測定器９によりデー
タを収集し、制御装置１２に人力する。各データの入力
が終了すると、直線移動装置８の移動板８０１を上昇さ
せ、引張り疲労試験のみの場合には、データ収集の終わ
ったその被試験薄膜４を取り外せばよい。
を主に用いて行う。まず、被試験薄膜４を固定金具５お
よび７に固定する。続いて、制御装置１２の直線移動装
置８の駆動スタートスイッチをオンして、直線移動装置
８の移動板８０１を下降させる。この時の引張り荷重と
変位とについて荷重変換器６と変位測定器９によりデー
タを収集し、制御装置１２に人力する。各データの入力
が終了すると、直線移動装置８の移動板８０１を上昇さ
せ、引張り疲労試験のみの場合には、データ収集の終わ
ったその被試験薄膜４を取り外せばよい。
次に、振動疲労測定について説明する。振動疲労測定は
前記で説明した薄膜加振機構部と薄膜引張り機構部を用
いて行う。まず、被試験薄膜４を固定金具５および７に
固定し、続いて、制御装置１２の直線移動装置８の駆動
スタートスイッチをオンして、直線移動装置８の移動板
８０１を下降させ、任意の張力を薄膜４に与えて停止さ
せておく。この時の引張り荷重と変位を荷重変換器６と
変位測定器９によりデータ収集し、制御装置１２にデー
タ入力しておく。続いて、制御装置１２の積層圧電素子
駆動用のスタートスイッチをオンして、積層圧電素子１
を駆動させる。積層圧電素子１に通電すると、特性上数
１０μ伸びる。また、応答周波数は数１０ｋＨｚである
ため通電のタイミングを周波数によって行えば、数Ｈｚ
から数十ｋＨｚまで振動数を可変することができる。こ
のようにして任意の周波数を設定すれば薄膜４の振動疲
労試験を行うことができる。振動試験が終われば直線移
動装置８の移動板８０１を上昇させ薄膜の取り替えを行
えばよい。
前記で説明した薄膜加振機構部と薄膜引張り機構部を用
いて行う。まず、被試験薄膜４を固定金具５および７に
固定し、続いて、制御装置１２の直線移動装置８の駆動
スタートスイッチをオンして、直線移動装置８の移動板
８０１を下降させ、任意の張力を薄膜４に与えて停止さ
せておく。この時の引張り荷重と変位を荷重変換器６と
変位測定器９によりデータ収集し、制御装置１２にデー
タ入力しておく。続いて、制御装置１２の積層圧電素子
駆動用のスタートスイッチをオンして、積層圧電素子１
を駆動させる。積層圧電素子１に通電すると、特性上数
１０μ伸びる。また、応答周波数は数１０ｋＨｚである
ため通電のタイミングを周波数によって行えば、数Ｈｚ
から数十ｋＨｚまで振動数を可変することができる。こ
のようにして任意の周波数を設定すれば薄膜４の振動疲
労試験を行うことができる。振動試験が終われば直線移
動装置８の移動板８０１を上昇させ薄膜の取り替えを行
えばよい。
同一の薄膜４に対して引張り疲労試験と振動疲労試験の
両者を行う必要がある場合には、被試験薄膜４は取り外
すことなく両試験を行えばよい。
両者を行う必要がある場合には、被試験薄膜４は取り外
すことなく両試験を行えばよい。
このように、この薄膜引張り試験機は、一台の試験機に
よって従来の引張り疲労試験に加えて薄膜４の振動疲労
試験を行うことができ、しかも引張り試験機に振動疲労
試験機を付加するに際し、引張り試験機の機構部分を有
効に活用して振動疲労試験機能を実現しており、構造が
簡単で、価格も極めて安価にできる。
よって従来の引張り疲労試験に加えて薄膜４の振動疲労
試験を行うことができ、しかも引張り試験機に振動疲労
試験機を付加するに際し、引張り試験機の機構部分を有
効に活用して振動疲労試験機能を実現しており、構造が
簡単で、価格も極めて安価にできる。
特に、共用された固定金具５．７の一方を加振可能に構
成してあり、従って、両試験が必要な場合でも、従来の
如く、加振装置を備えた振動疲労試験機側に薄膜を取付
は直すような手間をかけずに済み、取付けたままの状態
で、前述のように、本実施例では直線移動装置８を作動
させ、積層圧電素子ｌによって振動を加えればよく、効
率よく試験を行える。
成してあり、従って、両試験が必要な場合でも、従来の
如く、加振装置を備えた振動疲労試験機側に薄膜を取付
は直すような手間をかけずに済み、取付けたままの状態
で、前述のように、本実施例では直線移動装置８を作動
させ、積層圧電素子ｌによって振動を加えればよく、効
率よく試験を行える。
また１、加振装置に積層圧電素子１を用いてこれを一方
の挟持機構側に付加しているので、低周波から高周波ま
で広範囲の周波数帯域を満足させる従来の加振装置は構
造が複雑でしかも大きいため、たとえそのような加振装
置を備えた振動疲労試験機と引張り試験機とを単に組み
合わせても、形状寸法も大きく、かつ複雑で値段も高価
なものになるのに対し、第１図のものはそのようなこと
もない。
の挟持機構側に付加しているので、低周波から高周波ま
で広範囲の周波数帯域を満足させる従来の加振装置は構
造が複雑でしかも大きいため、たとえそのような加振装
置を備えた振動疲労試験機と引張り試験機とを単に組み
合わせても、形状寸法も大きく、かつ複雑で値段も高価
なものになるのに対し、第１図のものはそのようなこと
もない。
゛〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、薄膜取付部の一
方を加振源により加振可能とし引張り試験機に振動疲労
試験機能を実現して被試験薄膜の振動疲労測定をも行え
るので、引張り疲労試験と振動疲労試験を一台の試験機
で行うことができるようになり、しかも構造が簡単で極
めて低価格にでき、また、両試験が要求される場合でも
、これを効率よく行うことができるなどの効果がある。
方を加振源により加振可能とし引張り試験機に振動疲労
試験機能を実現して被試験薄膜の振動疲労測定をも行え
るので、引張り疲労試験と振動疲労試験を一台の試験機
で行うことができるようになり、しかも構造が簡単で極
めて低価格にでき、また、両試験が要求される場合でも
、これを効率よく行うことができるなどの効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す全体斜視図である。
１・・・積層圧電素子
２・・・基板
３・・・継手
４・・・薄膜
５．７・・・固定金具
６・・・荷重変換器
８・・・直線移動装置
９・・・変位測定器
１０・・・ミラー
１１・・・定盤
１２・・・制御装置
８０１・・・移動板
８０２・・・固定板
Claims (2)
- （１）被試験薄膜の一端を取付けると共に、加振源によ
り加振する第１の薄膜取付部を備えた薄膜加振機構部と
、 被試験薄膜の他端を取付ける第２の薄膜取付部と、この
第２の薄膜取付部に連結された荷重変換器と、この荷重
変換器を移動させる移動装置とを備えた薄膜引張り機構
部と、 前記移動装置による変位を測定する変位測定器と、 前記加振源の駆動制御、前記移動装置の駆動制御を行い
、前記荷重変換器、変位測定器からのデータを処理する
手段とを有することを特徴とする薄膜引張り試験機。 - （２）特許請求の範囲第１項に記載の薄膜引張り試験機
において、 前記加振源が、積層圧電素子であり、 前記第１及び第２の薄膜取付部が、被試験薄膜の一端及
び他端を挟持する第１及び第２の挟持機構であり、 前記薄膜引張り機構部は、前記第１の挟持機構の下方に
備えられ、かつ前記移動装置として荷重変換器を上下移
動させる直線移動装置を有する薄膜引張り機構部であり
、 前記変位測定器は、前記直線移動装置の移動変位を測定
することを特徴とする薄膜引張り試験機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8460787A JPS63250549A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 薄膜引張り試験機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8460787A JPS63250549A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 薄膜引張り試験機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63250549A true JPS63250549A (ja) | 1988-10-18 |
Family
ID=13835376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8460787A Pending JPS63250549A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | 薄膜引張り試験機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63250549A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277366A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Toppan Printing Co Ltd | フィルム試験機及び試験機測定データに基づいた真空成膜方法 |
| CN102564871A (zh) * | 2012-01-09 | 2012-07-11 | 西北工业大学 | 一种应用拉压法测量粘弹性材料力学参数的实验装置 |
| CN102879267A (zh) * | 2012-09-18 | 2013-01-16 | 华南理工大学 | 基于恒定应变速率的塑料薄膜单向拉伸试验方法与装置 |
| CN103712857A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-09 | 滨州医学院 | 智能型杨氏模量测量仪 |
| CN103884586A (zh) * | 2014-03-24 | 2014-06-25 | 上海交通大学 | 薄膜双轴拉伸试验机电液加载系统 |
| CN104034613A (zh) * | 2014-06-24 | 2014-09-10 | 天津三英精密仪器有限公司 | 一种用于x射线显微成像的材料振动加载试验系统 |
| CN104614240A (zh) * | 2015-01-29 | 2015-05-13 | 南京理工大学 | 薄膜材料拉伸试件 |
| CN106066288A (zh) * | 2016-08-15 | 2016-11-02 | 温州市八达光学有限公司 | 一种记忆金属中梁耐疲劳测试仪器 |
| JP2018136307A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-08-30 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 物質に張力をかけ、冷却するための試験装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5762980A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-16 | Schenck Ag Carl | Fluid pressure apparatus |
| JPS57125341A (en) * | 1981-01-28 | 1982-08-04 | Hitachi Maxell Ltd | Tensile test method of and apparatus for low elastic material |
| JPS596752B2 (ja) * | 1975-07-10 | 1984-02-14 | 株式会社東芝 | 接合方法 |
-
1987
- 1987-04-08 JP JP8460787A patent/JPS63250549A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS596752B2 (ja) * | 1975-07-10 | 1984-02-14 | 株式会社東芝 | 接合方法 |
| JPS5762980A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-16 | Schenck Ag Carl | Fluid pressure apparatus |
| JPS57125341A (en) * | 1981-01-28 | 1982-08-04 | Hitachi Maxell Ltd | Tensile test method of and apparatus for low elastic material |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277366A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-25 | Toppan Printing Co Ltd | フィルム試験機及び試験機測定データに基づいた真空成膜方法 |
| CN102564871A (zh) * | 2012-01-09 | 2012-07-11 | 西北工业大学 | 一种应用拉压法测量粘弹性材料力学参数的实验装置 |
| CN102879267A (zh) * | 2012-09-18 | 2013-01-16 | 华南理工大学 | 基于恒定应变速率的塑料薄膜单向拉伸试验方法与装置 |
| CN103712857A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-09 | 滨州医学院 | 智能型杨氏模量测量仪 |
| CN103884586A (zh) * | 2014-03-24 | 2014-06-25 | 上海交通大学 | 薄膜双轴拉伸试验机电液加载系统 |
| CN104034613A (zh) * | 2014-06-24 | 2014-09-10 | 天津三英精密仪器有限公司 | 一种用于x射线显微成像的材料振动加载试验系统 |
| CN104614240A (zh) * | 2015-01-29 | 2015-05-13 | 南京理工大学 | 薄膜材料拉伸试件 |
| CN106066288A (zh) * | 2016-08-15 | 2016-11-02 | 温州市八达光学有限公司 | 一种记忆金属中梁耐疲劳测试仪器 |
| JP2018136307A (ja) * | 2016-12-21 | 2018-08-30 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | 物質に張力をかけ、冷却するための試験装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3794236A (en) | Monitoring and control means for evaluating the performance of vibratory-type devices | |
| JP4573794B2 (ja) | プローブカードおよび微小構造体の検査装置 | |
| JPS63250549A (ja) | 薄膜引張り試験機 | |
| JP2009222437A (ja) | 振動試験装置 | |
| JP2008128665A (ja) | 振動試験方法、振動試験補助装置、及び振動試験システム | |
| JPS62105440A (ja) | 振動型ステ−ジ装置 | |
| JP7295433B2 (ja) | 磁歪測定装置および磁歪測定方法 | |
| JPH02502848A (ja) | 線形のばね変形性を実質的に有する弾性部材を試験するための方法及び装置 | |
| EP0105253A1 (en) | VIBRATORY APPARATUS WITH ANTI-PIVOTING BENDING SUPPORT. | |
| US5509298A (en) | Apparatus and method for measuring visco-elastic characteristics of a sample | |
| JP2002131174A (ja) | 防振装置の性能評価装置および性能評価方法 | |
| JPH06124982A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JPH05142090A (ja) | 振動検出装置 | |
| JP2000321016A (ja) | 振動試験用レーザ光変位計測装置 | |
| JP4707846B2 (ja) | 水平方向振動試験装置 | |
| CN111707350A (zh) | 一种测定mems压电执行器谐振频率的系统及方法 | |
| SU467254A1 (ru) | Виброрелаксометр | |
| JPH0886728A (ja) | 強度信頼性評価試験装置 | |
| JPH11142492A (ja) | 磁気センサ | |
| JPH02268248A (ja) | 薄膜引っ張り疲労試験機 | |
| SU1227979A1 (ru) | Устройство дл определени демпфирующих свойств листовых материалов в услови х плоского напр женного состо ни | |
| JP2005188951A (ja) | 動釣合試験機 | |
| SU668718A1 (ru) | Вибратор | |
| JPH09174373A (ja) | ステージシステム | |
| JPH01136047A (ja) | 繰返し疲労試験装置 |