JPH11142492A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
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- JPH11142492A JPH11142492A JP30277797A JP30277797A JPH11142492A JP H11142492 A JPH11142492 A JP H11142492A JP 30277797 A JP30277797 A JP 30277797A JP 30277797 A JP30277797 A JP 30277797A JP H11142492 A JPH11142492 A JP H11142492A
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- Japan
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- sensor
- magnetic sensor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】小型でダイナミックレンジが広く、また静磁場
のみならず交流磁場の測定も行なうことができる磁気セ
ンサを提供する。 【解決手段】圧電セラミックス１１上にコイル１２を形
成し、その圧電セラミックス１１でコイル１２を振動さ
せ、振動中のコイル１２に発生する電圧を電圧計１３で
測定する。
のみならず交流磁場の測定も行なうことができる磁気セ
ンサを提供する。 【解決手段】圧電セラミックス１１上にコイル１２を形
成し、その圧電セラミックス１１でコイル１２を振動さ
せ、振動中のコイル１２に発生する電圧を電圧計１３で
測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁界の強さを測定
する磁気センサに関する。
する磁気センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、磁界や磁束の測定方式には、 （ａ）小型の磁石に加わる磁気モーメントの平衡条件を
用いた方式 （ｂ）渦巻きばねと小型の磁石を組み合わせた方式 （ｃ）磁界の変化によるビスマスの抵抗値変化を用いた
方式 （ｄ）ホール素子を用いた方式 （ｅ）核磁気共鳴を用いた方式 （ｆ）回転するコイルに発生する電流量を測定する方式 等が採用されている。
用いた方式 （ｂ）渦巻きばねと小型の磁石を組み合わせた方式 （ｃ）磁界の変化によるビスマスの抵抗値変化を用いた
方式 （ｄ）ホール素子を用いた方式 （ｅ）核磁気共鳴を用いた方式 （ｆ）回転するコイルに発生する電流量を測定する方式 等が採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記（ａ）
の磁気モーメントの平衡条件を用いた方式、（ｂ）の渦
巻きばねと小型の磁石の組合せを用いた方式、および
（ｆ）の回転するコイルに発生する電流量を測定する方
式の場合、センサ部が大型であり、また機械的な平衡条
件を用いているため、外部からの振動に対して不安定で
ある。さらに、測定する磁界の大きさに応じたセンサを
使い分ける必要がある。また、実質的に静磁場の測定し
かできないという問題もある。
の磁気モーメントの平衡条件を用いた方式、（ｂ）の渦
巻きばねと小型の磁石の組合せを用いた方式、および
（ｆ）の回転するコイルに発生する電流量を測定する方
式の場合、センサ部が大型であり、また機械的な平衡条
件を用いているため、外部からの振動に対して不安定で
ある。さらに、測定する磁界の大きさに応じたセンサを
使い分ける必要がある。また、実質的に静磁場の測定し
かできないという問題もある。
【０００４】また、上記（ｃ）のビスマスの抵抗値変化
を用いた方式、（ｄ）のホール素子を用いた方式の場合
は、測定できる磁界の強さ範囲（ダイナミックレンジと
称する）が狭いこと等の問題がある。さらに上記（ｅ）
の核磁気共鳴を用いた方式の場合、測定システム自体が
大型でかつコストが高いという問題がある。
を用いた方式、（ｄ）のホール素子を用いた方式の場合
は、測定できる磁界の強さ範囲（ダイナミックレンジと
称する）が狭いこと等の問題がある。さらに上記（ｅ）
の核磁気共鳴を用いた方式の場合、測定システム自体が
大型でかつコストが高いという問題がある。
【０００５】本発明は、上記事情に鑑み、小型でダイナ
ミックレンジが広く、また静磁場のみならず交流磁場の
測定も行なうことができる磁気センサを提供することを
目的とする。
ミックレンジが広く、また静磁場のみならず交流磁場の
測定も行なうことができる磁気センサを提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の第１の磁気センサは、 （１）コイル （２）そのコイルを振動させる圧電素子もしくは電歪素
子 （３）振動中のコイルに発生する電圧を測定する電圧計 を備えたことを特徴とする。
明の第１の磁気センサは、 （１）コイル （２）そのコイルを振動させる圧電素子もしくは電歪素
子 （３）振動中のコイルに発生する電圧を測定する電圧計 を備えたことを特徴とする。
【０００７】本発明の第１の磁気センサでは、圧電素子
もしくは電歪素子の歪みまたは応力によりコイルが振動
し、振動したコイルが磁束を横断することにより発生す
る電圧に基づいて磁気を測定するものであるため、簡素
な構成で済み小型化が図られる。また、圧電素子もしく
は電歪素子を励振する周波数を適当に選択し、選択され
た周波数で振動するコイルからの電圧を測定することに
より、静磁場のみならず交流磁場も測定することができ
る。さらに、、強い磁界においてもホール素子のような
飽和状態にならず、従って広いダイナミックレンジを有
する磁気センサが得られる。
もしくは電歪素子の歪みまたは応力によりコイルが振動
し、振動したコイルが磁束を横断することにより発生す
る電圧に基づいて磁気を測定するものであるため、簡素
な構成で済み小型化が図られる。また、圧電素子もしく
は電歪素子を励振する周波数を適当に選択し、選択され
た周波数で振動するコイルからの電圧を測定することに
より、静磁場のみならず交流磁場も測定することができ
る。さらに、、強い磁界においてもホール素子のような
飽和状態にならず、従って広いダイナミックレンジを有
する磁気センサが得られる。
【０００８】ここで、上記コイルが、上記圧電素子もし
くは電歪素子上に形成されてなるものが好ましい。コイ
ルを、圧電素子もしくは電歪素子上に形成すると、磁気
センサが一層小型化される。また、上記目的を達成する
本発明の第２の磁気センサは、 （１）基体 （２）その基体に少なくとも一端が固定された梁形状の
振動体 （３）その振動体に形成されたコイル （４）振動中のコイルに発生する電圧を測定する電圧計 を備えたことを特徴とする。
くは電歪素子上に形成されてなるものが好ましい。コイ
ルを、圧電素子もしくは電歪素子上に形成すると、磁気
センサが一層小型化される。また、上記目的を達成する
本発明の第２の磁気センサは、 （１）基体 （２）その基体に少なくとも一端が固定された梁形状の
振動体 （３）その振動体に形成されたコイル （４）振動中のコイルに発生する電圧を測定する電圧計 を備えたことを特徴とする。
【０００９】本発明の第２の磁気センサでは、圧電素子
もしくは電歪素子の歪みまたは応力により片持ち梁形状
の振動体が振動し、振動した振動体に形成されたコイル
が磁束を横断することにより発生する電圧に基づいて磁
気を測定するものであるため、簡素な構成で済み小型化
が図られる。また、前述した本発明の第１の磁気センサ
と同様、静磁場のみならず交流磁場についても測定する
ことができ、広いダイナミックレンジを有する磁気セン
サが得られる。
もしくは電歪素子の歪みまたは応力により片持ち梁形状
の振動体が振動し、振動した振動体に形成されたコイル
が磁束を横断することにより発生する電圧に基づいて磁
気を測定するものであるため、簡素な構成で済み小型化
が図られる。また、前述した本発明の第１の磁気センサ
と同様、静磁場のみならず交流磁場についても測定する
ことができ、広いダイナミックレンジを有する磁気セン
サが得られる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、本発明の第１の磁気センサの一実施
形態を示す図である。図１に示す磁気センサ１０には、
圧電セラミックス１１と、その圧電セラミックス１１上
に形成されたコイル１２とからなるセンサ部１４が備え
られている。また、この磁気センサ１０には、コイル１
２に発生する電圧を測定する電圧計１３も備えられてい
る。
説明する。図１は、本発明の第１の磁気センサの一実施
形態を示す図である。図１に示す磁気センサ１０には、
圧電セラミックス１１と、その圧電セラミックス１１上
に形成されたコイル１２とからなるセンサ部１４が備え
られている。また、この磁気センサ１０には、コイル１
２に発生する電圧を測定する電圧計１３も備えられてい
る。
【００１１】この磁気センサ１０で磁界の強さを測定す
るには、測定したい場所にセンサ部１４を設置し、圧電
セラミックス１１に発振器１００から所定の周波数の信
号を入力する。すると、入力された信号に応じて圧電セ
ラミックス１１に歪みまたは応力が生じ、これにより圧
電セラミック１１上に形成されたコイル１２が振動し、
振動したコイル１２が磁束を横断し、コイル１２に電圧
が生じる。この電圧を電圧計１３で測定し、その測定さ
れた電圧に基づいて、センサ部１４が設置された場所に
おける磁界の強さを測定する。
るには、測定したい場所にセンサ部１４を設置し、圧電
セラミックス１１に発振器１００から所定の周波数の信
号を入力する。すると、入力された信号に応じて圧電セ
ラミックス１１に歪みまたは応力が生じ、これにより圧
電セラミック１１上に形成されたコイル１２が振動し、
振動したコイル１２が磁束を横断し、コイル１２に電圧
が生じる。この電圧を電圧計１３で測定し、その測定さ
れた電圧に基づいて、センサ部１４が設置された場所に
おける磁界の強さを測定する。
【００１２】本実施形態の磁気センサ１０では、センサ
部１４が圧電セラミックス１１とコイル１２とからなる
簡素な構成であるため、磁気センサ１０全体として小型
化が実現される。また、センサ部に機械的な平衡条件を
用いて磁気を測定するものと比較し、外部からの振動に
対して安定した測定結果が得られる。図２は、本発明の
第２の磁気センサの一実施形態を示す図である。
部１４が圧電セラミックス１１とコイル１２とからなる
簡素な構成であるため、磁気センサ１０全体として小型
化が実現される。また、センサ部に機械的な平衡条件を
用いて磁気を測定するものと比較し、外部からの振動に
対して安定した測定結果が得られる。図２は、本発明の
第２の磁気センサの一実施形態を示す図である。
【００１３】図２に示す磁気センサ２０には、基体２１
と、その基体２１に一端が固定された片持ち梁形状の振
動体２２が備えられている。この振動体２２にはコイル
２３が形成されている。また、振動体２２上の、その振
動体２２が固定された基体２１側に、圧電体２４が備え
られている。さらに、コイル２３に発生する電圧を測定
する電圧計２５が備えられている。尚、この磁気センサ
２０のセンサ部２６は、振動体２２，コイル２３，圧電
体２４から構成される。
と、その基体２１に一端が固定された片持ち梁形状の振
動体２２が備えられている。この振動体２２にはコイル
２３が形成されている。また、振動体２２上の、その振
動体２２が固定された基体２１側に、圧電体２４が備え
られている。さらに、コイル２３に発生する電圧を測定
する電圧計２５が備えられている。尚、この磁気センサ
２０のセンサ部２６は、振動体２２，コイル２３，圧電
体２４から構成される。
【００１４】磁気センサ２０で磁界の強さを測定するに
は、測定したい場所にセンサ部２６を設置し、圧電体２
４に発振器１００から所定の周波数の信号を入力する。
すると、入力された信号に応じて圧電体２４に歪みまた
は応力が生じ、これにより振動体２２の先端が、図２に
示す矢印方向に振動する。このような振動体２２の振動
に伴い、その振動体２２に形成されたコイル２３が磁束
を横断する。すると、コイル２３に電圧が生じる。この
電圧を電圧計２５で測定し、その測定した電圧に基づい
て、センサ部２６が設置された場所における磁界の強さ
を測定する。
は、測定したい場所にセンサ部２６を設置し、圧電体２
４に発振器１００から所定の周波数の信号を入力する。
すると、入力された信号に応じて圧電体２４に歪みまた
は応力が生じ、これにより振動体２２の先端が、図２に
示す矢印方向に振動する。このような振動体２２の振動
に伴い、その振動体２２に形成されたコイル２３が磁束
を横断する。すると、コイル２３に電圧が生じる。この
電圧を電圧計２５で測定し、その測定した電圧に基づい
て、センサ部２６が設置された場所における磁界の強さ
を測定する。
【００１５】本実施形態の磁気センサ２０では、センサ
部２６が、振動体２２，コイル２３，圧電体２４からな
る簡素な構成であるため、磁気センサ２０全体としての
小型化が実現される。また、センサ部に機械的な平衡条
件を用いて磁気を測定するものと比較し、外部からの振
動に対して安定した測定結果が得られる。尚、本実施形
態では、圧電素子を用いて磁気センサを構成した例で説
明したが、電歪素子を用いて磁気センサを構成してもよ
い。
部２６が、振動体２２，コイル２３，圧電体２４からな
る簡素な構成であるため、磁気センサ２０全体としての
小型化が実現される。また、センサ部に機械的な平衡条
件を用いて磁気を測定するものと比較し、外部からの振
動に対して安定した測定結果が得られる。尚、本実施形
態では、圧電素子を用いて磁気センサを構成した例で説
明したが、電歪素子を用いて磁気センサを構成してもよ
い。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。本
発明の一実施例として、以下に説明するようにして、図
１に示す磁気センサ１０を製造した。先ず、サイズ３０
ｍｍ×３０ｍｍ、厚み０．１７ｍｍで厚み方向に飽和分
極された、面広がりモードの振動に対する圧電定数ｄ31
＝−１６０×１０-12 の圧電セラミックス１１を用意し
た。次に、絶縁被覆された銅線（太さ０．１ｍｍ）を１
０ターン（図１では５ターンで例示されている）形成し
てコイル１２を得、そのコイル１２を圧電セラミックス
１１の表面に接着剤で貼り付けた。さらにコイル１２の
両端に電圧計１３を接続した。このようにして、磁気セ
ンサ１０を製造した。
発明の一実施例として、以下に説明するようにして、図
１に示す磁気センサ１０を製造した。先ず、サイズ３０
ｍｍ×３０ｍｍ、厚み０．１７ｍｍで厚み方向に飽和分
極された、面広がりモードの振動に対する圧電定数ｄ31
＝−１６０×１０-12 の圧電セラミックス１１を用意し
た。次に、絶縁被覆された銅線（太さ０．１ｍｍ）を１
０ターン（図１では５ターンで例示されている）形成し
てコイル１２を得、そのコイル１２を圧電セラミックス
１１の表面に接着剤で貼り付けた。さらにコイル１２の
両端に電圧計１３を接続した。このようにして、磁気セ
ンサ１０を製造した。
【００１７】次に、この磁気センサ１０の、周波数に対
する応答性を、以下のようにして測定した。図３は、図
１に示す磁気センサのセンサ部と永久磁石とを示す図、
図４は、図３に示すセンサ部と、そのセンサ部の、周波
数に対応する応答性を測定するための装置を示す図であ
る。
する応答性を、以下のようにして測定した。図３は、図
１に示す磁気センサのセンサ部と永久磁石とを示す図、
図４は、図３に示すセンサ部と、そのセンサ部の、周波
数に対応する応答性を測定するための装置を示す図であ
る。
【００１８】先ず、図３に示す永久磁石３１のＮ，Ｓ極
間のギャップＧを５ｍｍに設定し、その永久磁石３１の
Ｎ，Ｓ極間にセンサ部１４を設置した。次に、図４に示
すように、圧電セラミックス１１に発振器１００を接続
し、またコイル１２の両端に、そのコイル１２からの、
所定の周波数帯域の電圧のみを通過させて増幅するため
のプログラマブルフィルタ４１（バンドパス特性２ＫＨ
ｚ〜６ＫＨｚ，ゲイン２５００）の入力側を接続し、そ
のプログラマブルフィルタ４１の出力側をオシロスコー
プ４２に接続した。
間のギャップＧを５ｍｍに設定し、その永久磁石３１の
Ｎ，Ｓ極間にセンサ部１４を設置した。次に、図４に示
すように、圧電セラミックス１１に発振器１００を接続
し、またコイル１２の両端に、そのコイル１２からの、
所定の周波数帯域の電圧のみを通過させて増幅するため
のプログラマブルフィルタ４１（バンドパス特性２ＫＨ
ｚ〜６ＫＨｚ，ゲイン２５００）の入力側を接続し、そ
のプログラマブルフィルタ４１の出力側をオシロスコー
プ４２に接続した。
【００１９】次に、発振器１００により、振幅を４０Ｖ
に保持した状態で、周波数を３ＫＨｚ〜５．１ＫＨｚの
範囲で掃引して、圧電セラミックス１１を駆動し、永久
磁石３１のＮ，Ｓ極間における磁界内でコイル１２を振
動させることにより、そのコイル１２から発生する電圧
をプログラマブルフィルタ４１を介してオシロシコープ
４２で観測した。次に、永久磁石３１を取り除いて、上
記と同様にして、コイル１２から発生する電圧を、プロ
グラマブルフィルタ４１を介してオシロスコープ４２で
観測した。これらの観測結果を図５，図６に示す。
に保持した状態で、周波数を３ＫＨｚ〜５．１ＫＨｚの
範囲で掃引して、圧電セラミックス１１を駆動し、永久
磁石３１のＮ，Ｓ極間における磁界内でコイル１２を振
動させることにより、そのコイル１２から発生する電圧
をプログラマブルフィルタ４１を介してオシロシコープ
４２で観測した。次に、永久磁石３１を取り除いて、上
記と同様にして、コイル１２から発生する電圧を、プロ
グラマブルフィルタ４１を介してオシロスコープ４２で
観測した。これらの観測結果を図５，図６に示す。
【００２０】図５は、図４に示すセンサ部を有する磁気
センサの、永久磁石の磁界内における周波数と出力電圧
との関係を示すグラフａ，およびその磁気センサの、永
久磁石の磁界が取り除かれた状態における周波数と出力
電圧との関係を示すグラフｂである。また、図６は、図
５に示すグラフａにおける出力電圧とグラフｂにおける
出力電圧との差を示すグラフである。
センサの、永久磁石の磁界内における周波数と出力電圧
との関係を示すグラフａ，およびその磁気センサの、永
久磁石の磁界が取り除かれた状態における周波数と出力
電圧との関係を示すグラフｂである。また、図６は、図
５に示すグラフａにおける出力電圧とグラフｂにおける
出力電圧との差を示すグラフである。
【００２１】図６のグラフに示すように、磁気センサ１
０の感度は、約４．３ＫＨｚの周波数においてピークを
有することがわかる。このピークは、圧電セラミックス
１１の、コイル１２を含めた面広がり方向の共振点を示
している。このような共振点を示す周波数を用いて磁気
を測定することにより、良好な測定結果が得られるとと
もに、静磁場のみならず交流磁場の測定も可能である。
０の感度は、約４．３ＫＨｚの周波数においてピークを
有することがわかる。このピークは、圧電セラミックス
１１の、コイル１２を含めた面広がり方向の共振点を示
している。このような共振点を示す周波数を用いて磁気
を測定することにより、良好な測定結果が得られるとと
もに、静磁場のみならず交流磁場の測定も可能である。
【００２２】次に、図３に示す永久磁石３１のＮ，Ｓ極
間におけるギャップＧを７０ｍｍ〜５ｍｍの間で１０段
階に設定し、磁気センサ１０と、比較例としてのホール
素子それぞれで、各ギャップ間隔における磁界の強さを
測定した。尚、磁気センサ１０には、４．３ＫＨｚの周
波数で４０Ｖの振幅をもつ信号を入力した。結果を図７
に示す。
間におけるギャップＧを７０ｍｍ〜５ｍｍの間で１０段
階に設定し、磁気センサ１０と、比較例としてのホール
素子それぞれで、各ギャップ間隔における磁界の強さを
測定した。尚、磁気センサ１０には、４．３ＫＨｚの周
波数で４０Ｖの振幅をもつ信号を入力した。結果を図７
に示す。
【００２３】図７は、磁気センサとホール素子それぞれ
による、各ギャップ間隔における出力電圧を示すグラフ
である。図７に示すグラフの横軸には、ホール素子の出
力電圧が示されており、縦軸には磁気センサの出力電圧
（磁界有り無しの差分の電圧）が示されている。また、
グラフ中の各Ｘ点は、永久磁石３１のＮ，Ｓ極間の、７
０ｍｍ〜５ｍｍの間で１０段階に設定された各ギャップ
に対応している。例えば、グラフの左端のＸ点はギャッ
プ７０ｍｍにおける磁気センサ１０およびホール素子の
各出力電圧を示しており、具体的には、ホール素子の出
力電圧は横軸で示されるおよそ０．１Ｖであり、また磁
気センサ１０の出力電圧は縦軸で示されるおよそ０．１
５Ｖである。このグラフから明らかなように、ホール素
子の出力電圧は６．８５Ｖで飽和しているが、本実施例
の磁気センサ１０では、ホール素子の出力電圧が飽和し
た後でも、１．１Ｖ，１．５Ｖ，１．９Ｖというように
強い磁界においても測定ができることがわかった。この
ように、ダイナミックレンジの広い磁気センサ１０を得
ることができた。
による、各ギャップ間隔における出力電圧を示すグラフ
である。図７に示すグラフの横軸には、ホール素子の出
力電圧が示されており、縦軸には磁気センサの出力電圧
（磁界有り無しの差分の電圧）が示されている。また、
グラフ中の各Ｘ点は、永久磁石３１のＮ，Ｓ極間の、７
０ｍｍ〜５ｍｍの間で１０段階に設定された各ギャップ
に対応している。例えば、グラフの左端のＸ点はギャッ
プ７０ｍｍにおける磁気センサ１０およびホール素子の
各出力電圧を示しており、具体的には、ホール素子の出
力電圧は横軸で示されるおよそ０．１Ｖであり、また磁
気センサ１０の出力電圧は縦軸で示されるおよそ０．１
５Ｖである。このグラフから明らかなように、ホール素
子の出力電圧は６．８５Ｖで飽和しているが、本実施例
の磁気センサ１０では、ホール素子の出力電圧が飽和し
た後でも、１．１Ｖ，１．５Ｖ，１．９Ｖというように
強い磁界においても測定ができることがわかった。この
ように、ダイナミックレンジの広い磁気センサ１０を得
ることができた。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型でダイナミックレンジが広く、また静磁場のみなら
ず交流磁場の測定も行なうことができる磁気センサが得
られる。
小型でダイナミックレンジが広く、また静磁場のみなら
ず交流磁場の測定も行なうことができる磁気センサが得
られる。
【図１】本発明の第１の磁気センサの一実施形態を示す
図である。
図である。
【図２】本発明の第２の磁気センサの一実施形態を示す
図である。
図である。
【図３】図１に示す磁気センサのセンサ部と永久磁石と
を示す図である。
を示す図である。
【図４】図３に示すセンサ部と、そのセンサ部の、周波
数に対応する応答性を測定するための装置を示す図であ
る。
数に対応する応答性を測定するための装置を示す図であ
る。
【図５】図４に示すセンサ部を有する磁気センサの、永
久磁石の磁界内における周波数と出力電圧との関係を示
すグラフａ，およびその磁気センサの、永久磁石の磁界
が取り除かれた状態における周波数と出力電圧との関係
を示すグラフｂである。
久磁石の磁界内における周波数と出力電圧との関係を示
すグラフａ，およびその磁気センサの、永久磁石の磁界
が取り除かれた状態における周波数と出力電圧との関係
を示すグラフｂである。
【図６】図５に示すグラフａにおける出力電圧とグラフ
ｂにおける出力電圧との差を示すグラフである。
ｂにおける出力電圧との差を示すグラフである。
【図７】磁気センサとホール素子それぞれによる、各ギ
ャップ間隔における出力電圧を示すグラフである。
ャップ間隔における出力電圧を示すグラフである。
１０，２０ 磁気センサ １１ 圧電セラミックス １２，２３ コイル １３，２５ 電圧計 １４，２６ センサ部 ２１ 基体 ２２ 振動体 ２４ 圧電体 ３１ 永久磁石 ４１ プログラマブルフィルタ ４２ オシロスコープ １００ 発振器
Claims (3)
- 【請求項１】 コイルと、該コイルを振動させる圧電素
子もしくは電歪素子と、振動中のコイルに発生する電圧
を測定する電圧計とを備えたことを特徴とする磁気セン
サ。 - 【請求項２】 前記コイルが、前記圧電素子もしくは電
歪素子上に形成されてなるものであることを特徴とする
請求項１記載の磁気センサ。 - 【請求項３】 基体と、該基体に少なくとも一端が固定
された梁形状の振動体と、該振動体に形成されたコイル
と、該振動体を振動させる圧電素子もしくは電歪素子
と、振動中のコイルに発生する電圧を測定する電圧計と
を備えたことを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30277797A JPH11142492A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30277797A JPH11142492A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11142492A true JPH11142492A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17913004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30277797A Pending JPH11142492A (ja) | 1997-11-05 | 1997-11-05 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11142492A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100773685B1 (ko) | 2006-04-28 | 2007-11-05 | 엘지전자 주식회사 | 전압 검출용 센서 및 이를 이용한 전압 검출 장치 |
| JP2012152515A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Konica Minolta Holdings Inc | 磁気センサおよびそれを用いる生体磁気計測装置 |
| JP2012154789A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Ricoh Co Ltd | 磁気センサ制御装置 |
| RU2475769C1 (ru) * | 2011-06-16 | 2013-02-20 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" | Цифровой феррозондовый магнитометр |
| US8797023B2 (en) | 2011-03-07 | 2014-08-05 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Coercive force specifying apparatus |
| JP2016217729A (ja) * | 2015-05-14 | 2016-12-22 | 富士電機株式会社 | 測定装置 |
-
1997
- 1997-11-05 JP JP30277797A patent/JPH11142492A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100773685B1 (ko) | 2006-04-28 | 2007-11-05 | 엘지전자 주식회사 | 전압 검출용 센서 및 이를 이용한 전압 검출 장치 |
| JP2012154789A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Ricoh Co Ltd | 磁気センサ制御装置 |
| JP2012152515A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Konica Minolta Holdings Inc | 磁気センサおよびそれを用いる生体磁気計測装置 |
| US8797023B2 (en) | 2011-03-07 | 2014-08-05 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Coercive force specifying apparatus |
| RU2475769C1 (ru) * | 2011-06-16 | 2013-02-20 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" | Цифровой феррозондовый магнитометр |
| JP2016217729A (ja) * | 2015-05-14 | 2016-12-22 | 富士電機株式会社 | 測定装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020702 |