JP2001093390A - 封止接点装置及びその製造方法 - Google Patents

封止接点装置及びその製造方法

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JP2001093390A
JP2001093390A JP27152199A JP27152199A JP2001093390A JP 2001093390 A JP2001093390 A JP 2001093390A JP 27152199 A JP27152199 A JP 27152199A JP 27152199 A JP27152199 A JP 27152199A JP 2001093390 A JP2001093390 A JP 2001093390A
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air supply
contact device
hole
air
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Mizuhito Ida
瑞人 井田
Hirotsugu Araki
宏嗣 荒木
Hiroyuki Okita
浩之 大北
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Matsushita Electric Works Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
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    • H01H50/02Bases; Casings; Covers
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 給気と排気とを同時にできて電気絶縁性ガス
封入が迅速にできるようにする。 【解決手段】 気密空間が形成されたハウジング16内
に固定接点2a,2bと可動接点12とが配置された封
止接点装置である。ハウジング16を構成する上蓋13
と下蓋1とを気密的に接合する。ハウジング16に電気
絶縁性ガスを供給するための給気孔14とハウジング1
6内の空気が排出されるための排気孔15を夫々独立し
て形成する。電気絶縁性ガスがハウジング16内に充填
された状態で給気孔14及び排気孔15を封止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電流を遮断する接点
を有すると共に水素のような電気絶縁性ガスが気密空間
に配置された封止接点装置及びこの封止接点装置を製造
する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の封止接点装置としては本
特許出願人が先に出願した特開平9−320411号公
報に開示されるものがある。これは図19に示すように
気密空間aが形成されたハウジングb内に固定接点cと
可動接点dとが配置された封止接点装置であって、ハウ
ジングbを構成するセラミック製の容器本体eの開口端
に金属蓋fが気密的に接合され、金属蓋fに給排気用孔
gが形成され、気密空間aに電気絶縁性ガスを封入した
後、給排気用孔gが封止されている。電気絶縁性ガスを
封入するときには給排気用孔gから電気絶縁性ガスを封
入すると共に給排気用孔gから内部の空気を排気し、内
部に所定の電気絶縁ガスを封入した後に給排気用孔gが
封止される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来例
にあっては、給排気用孔gが1箇所であるために電気絶
縁性ガスの給気や内部の空気の排気を個別に行わなけれ
ばならなく、電気絶縁性ガスの封入が迅速に行うことが
できないという問題がある。
【0004】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、給気と排気とを同時にできて電気絶縁性ガス封入
が迅速にできる封止接点装置及びその製造方法を提供す
ることを課題とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の請求項1の封止接点装置は、気密空間が形成
されたハウジング16内に固定接点2a,2bと可動接
点12とが配置された封止接点装置であって、ハウジン
グ16を構成する上蓋13と下蓋1とが気密的に接合さ
れ、ハウジング16に電気絶縁性ガスを供給するための
給気孔14とハウジング16内の空気が排出されるため
の排気孔15が夫々独立して形成され、電気絶縁性ガス
がハウジング16内に充填された状態で給気孔14及び
排気孔15が封止されたことを特徴とする。給気孔14
と排気孔15とが独立して形成されたことにより、電気
絶縁性ガスの給気と空気の排気とを同時に行うことがで
きて電気絶縁性ガスの封入が迅速にできる。
【0006】また本発明の請求項2の封止接点装置は、
請求項1において、給気孔14と排気孔15とに孔のな
い別部材の封止用部材が装着され、これが気密的に接合
されたことを特徴とする。別部材の封止用部材を用いる
ことで給気孔14や排気孔15が大きい孔でも気密溶接
して封止可能になる。
【0007】また本発明の請求項3の封止接点装置は、
請求項1において、給気孔14及び排気孔15が切り起
こし形状によって形成されたことを特徴とする。給気孔
14や排気孔15を封止するための部材が不用になる。
【0008】また本発明の請求項4の封止接点装置は、
請求項1において、給気孔14及び排気孔15がこれを
形成する面に垂直な方向に対して傾斜させて貫通され、
この傾斜した給気孔14及び排気孔15の上部が溶融さ
れることで封止されたことを特徴とする。容易に封止で
きて短時間で給気孔14及び排気孔15を封止すること
ができる。
【0009】また本発明の請求項5の封止接点装置は、
請求項1において、給気孔14と排気孔15とがハウジ
ング16の対向する面に配置されたことを特徴とする。
給気孔14から電気絶縁性ガスを給気すると共に排気孔
15からハウジング16内の空気を排出するときハウジ
ング16内の気体の流れが整流化され、給排気時間を短
縮することができる。
【0010】また本発明の請求項6の封止接点装置は、
請求項5において、複数個の給気孔14と複数個の排気
孔15を有することを特徴とする。複数個の給気孔14
から電気絶縁性ガスを給気すると共に複数個の排気孔1
5から空気を排出でき、給排気時間を短縮できる。
【0011】また本発明の請求項7の封止接点装置は、
請求項1において、給気孔14が上蓋13の側面上部ま
たは上面に配置され、排気孔15が上蓋13の側面の下
部に配置され、空気より軽い電気絶縁性ガスが封入され
たことを特徴とする。電気絶縁性ガスを給気孔14から
給気すると共に排気孔15からハウジング16内の空気
を排出するときハウジング16内で電気絶縁性ガスにて
空気が下方に押し下げられて排気孔15から排気でき、
給排気時間を短縮できる。
【0012】また本発明の請求項8の封止接点装置の製
造方法は、気密空間が形成されたハウジング16内に固
定接点2a,2bと可動接点12とが配置され、ハウジ
ング16を構成する上蓋13と下蓋1とが気密的に接合
され、ハウジング16に電気絶縁性ガスを供給するため
の給気孔14とハウジング16内の空気を排出するため
の排気孔15が夫々独立して形成され、電気絶縁性ガス
がハウジング16内に充填された状態で、給気孔14及
び排気孔15が封止された封止接点装置19を製造する
方法であって、ハウジング16に給気孔14と排気孔1
5を形成し、給気孔14を介して封止接点装置19内に
電気絶縁性ガスを給気し、排気孔15を介して封止接点
装置19内の空気を排気した後、給気孔14及び排気孔
15を塞いで封止することを特徴とする。電気絶縁性ガ
スの給気と空気の排気とを同時に行うことができて電気
絶縁性ガスの封入が迅速にできる。
【0013】また本発明の請求項9の封止接点装置の製
造方法は、請求項8において、単一の封入用容器でこの
容器内を封止接点装置19にて仕切り、封止用容器に封
止接点装置19で仕切られた給気用空間47と排気用空
間48とを形成し、給気用空間47から給気孔14を介
して給気すると共に排気孔15から排気用空間48を介
して排気を行うことを特徴とする。単一の封入用容器で
給排気を独立して行うことができ、設備が安価になる。
【0014】また本発明の請求項10の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、小容積の封入用容器が
封止接点装置16の給気孔14と排気孔15とに独立し
て配置されて給気孔14からの給気と排気孔15からの
排気が行われることを特徴とする。給排気する構造が単
純化でき、且つ使用する電気絶縁性ガスを減らすことが
できて省資源化を図ることができる。
【0015】また本発明の請求項11の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、レーザーを用いて給気
孔14及び排気孔15を加熱溶融させて封止することを
特徴とする。給気孔14及び排気孔15を加熱溶融させ
て封止する封止装置を給排気するチャンバー外に配置す
ることができてチャンバーが小型化できる。
【0016】また本発明の請求項12の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、上蓋13を下蓋1に溶
接する際に上蓋13の未溶接部分にて給気孔14と排気
孔15とを形成することを特徴とする。上蓋13に特別
に孔加工をしなくても給気孔14や排気孔15を形成す
ることができ、上蓋13が安価に製作できる。
【0017】また本発明の請求項13の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、上蓋13或いは下蓋1
の接合すべき部分の一部を折り曲げて曲げ起こし形状を
形成し、それ以外の部分を溶接することで給気孔14及
び排気孔15となる開口部を形成し、給排気完了後、曲
げ起こし部56、57を平らに戻して封止することを特
徴とする。封止するときの溶接長さを長くすることなく
給気孔14や排気孔15の開口面積を大きくできる。
【0018】また本発明の請求項14の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、電気絶縁性ガスを供給
する給気ポンプ27とハウジング16内の空気を排出す
る排気ポンプ29とを併用して電気絶縁性ガスを封入す
ることを特徴とする。電気絶縁性ガスの封入が高速でで
きる。
【0019】また本発明の請求項15の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、排気側に排気ポンプ2
9を配置し、ハウジング16内の空気を排出させると共
にその吸引力で電気絶縁性ガスを封止接点装置19内に
吸引することを特徴とする。電気絶縁性ガスを給気する
ための給気ポンプが不用になる。
【0020】また本発明の請求項16の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、給気側に給気ポンプ2
7を配置し、電気絶縁性ガスを供給すると共にその吐出
力でハウジング16内の空気を排出することを特徴とす
る。排気ポンプが不用になる。
【0021】また本発明の請求項17の封止接点装置の
製造方法は、請求項16において、給気管24内及び排
気管26内に回転軸62を同じくする回転翼61、63
を配置し、給気されるガスにより給気管24内の回転翼
61を回し、その動力にて排気管26内の回転翼63を
回転させ、排気方向への気流を生成することを特徴とす
る。給気と排気をスムーズにできて給気ポンプ27を小
型化できる。
【0022】また本発明の請求項18の封止接点装置の
製造方法は、請求項14または請求項16において、封
入用容器内に配設された圧力センサー31と、排気管2
6に配置されたバルブ28bを有し、封止接点装置19
内の空気を排気した後に排気管26のバルブ28bを閉
じて排気管26を遮断し、封止接点装置19内の電気絶
縁性ガスの圧力を圧力センサー31で検出しながら給気
ポンプ27にて電気絶縁性ガスを充填することを特徴と
する。電気絶縁性ガスを封入したときのハウジング16
内の圧力を任意に制御することができる。
【0023】また本発明の請求項19の封止接点装置の
製造方法は、請求項14または請求項16において、排
気管26に絞り弁64を配置し、絞り弁64で流量を調
整することにより封止接点装置19のハウジング16内
の電気絶縁性ガスの圧力を調整することを特徴とする。
安価な構成にてハウジング16内の圧力制御ができる。
【0024】また本発明の請求項20の封止接点装置の
製造方法は、請求項8または請求項13において、給気
孔14及び排気孔15を、切り起こし形状によって形成
するか、上蓋13或いは下蓋1の接合すべき部分の一部
を折り曲げて曲げ起こし形状を形成し、切り起こし部2
0または曲げ起こし部56,57の屈曲線にレーザーを
照射し、平坦に戻して封止することを特徴とする。切り
起こし部20や曲げ起こし部56,57の変形装置が封
止のための装置と兼ねられ、安価になる。
【0025】また本発明の請求項21の封止接点装置の
製造方法は、請求項8または請求項13において、給気
孔14及び排気孔15を、切り起こし形状によって形成
するか、上蓋13或いは下蓋1の接合すべき部分の一部
を折り曲げて曲げ起こし形状を形成し、切り起こし部2
0または曲げ起こし部56,57またはハウジング16
を形状記憶合金にて形成し、電気絶縁性ガスが封止接点
装置19に充填された後、本ガスの温度を変えて供給す
ることで平坦に戻すことを特徴とする。電気絶縁性ガス
の封入と同時に切り起こし部20や曲げ起こし部56,
57を戻すことができて封止時間を短縮できる。
【0026】また本発明の請求項22の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、タイマー67により電
気絶縁性ガスの封入を制御することを特徴とする。安価
な構成で、封止接点装置19内を所定のガス濃度に制御
できる。
【0027】また本発明の請求項23の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、排気の電気絶縁性ガス
の濃度を検知して電気絶縁性ガスの封入を制御すること
を特徴とする。給排気終了タイミングの最適化を図るこ
とができる。
【0028】また本発明の請求項24の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、排気の酸素の濃度を検
知して電気絶縁性ガスの封入を制御することを特徴とす
る。より短時間に高品質(低酸素濃度)の封止接点装置
19を製作できる。
【0029】また本発明の請求項25の封止接点装置の
製造方法は、請求項8において、排気孔15からの排気
が通る排気用容器25内に酸素吸収剤69を配置し、酸
素吸収剤69で酸素を吸入することを特徴とする。安価
な構成で短時間に高品質(低酸素濃度)の封止接点装置
19を製作できる。
【0030】
【発明の実施の形態】先ず、図1及び図2に示す第1の
実施の形態の例から述べる。これは請求項1、請求項
3、請求項8、請求項10、請求項11、請求項14、
請求項18及び請求項23に対応する例である。
【0031】封止接点装置19は次のように構成されて
いる。電気絶縁物質からなる下蓋1には、導電性を有す
る2本の固定接点2a,2bと、導電性を有する2本の
コイル端子3a,3bと、金属片4とがろう付けにより
気密的に接合されている。L型鉄製で下面に円形の穴を
有する継鉄5と、継鉄5の上に配置された樹脂製円筒形
状のコイル容器6と、コイル容器6に巻き付けられた銅
製のコイル線7と、コイル容器6の筒中を貫通して継鉄
5の穴部にかしめによって固着された鉄製の固定鉄心8
とが、金属片4と継鉄5が溶接されることで固着され、
コイル線7の両端がコイル端子3a,3bに接続されて
いる。継鉄5には、バネ性を有し、上部がコの字型の復
帰バネ9がかしめによって固着され、復帰バネ9のコの
字型部に電気絶縁物質の可動接点保持枠11と、可動接
点保持枠11に一部が埋め込まれた可動接点12が装着
されている。金属片4の周囲に、金属製の箱状で開口端
に鍔を有する上蓋13の鍔がレーザー溶接にて気密的に
溶接され、上蓋13と下蓋1とで内部が気密空間となる
ハウジング16が形成されている。上記上蓋13の上面
には切り起こし形状よりなる給気孔14と排気孔15と
が形成されている。
【0032】そしてこの封止接点装置19のハウジング
16内に電気絶縁性ガスを封入するにあたっては次のよ
うに行う。本例の場合、電気絶縁性ガスとしては水素ガ
スを封入するものである。金属製の給気管24とガラス
製の封止用窓23aを有する給気用容器22の開口端及
び、金属製の排気管26とガラス製の封止用窓23bを
有する排気用容器25の開口端が上記封止接点装置19
の給気孔14及び排気孔15を覆うように装着される。
本例の場合、小容積の封入用容器としての給気用容器2
2と排気用容器25とが封止接点装置19の給気孔14
と排気孔15とに独立して配置されている。給気管24
及び排気管26は、夫々給気ポンプ27及び排気ポンプ
29が接続されており、給気ポンプ27と排気ポンプ2
9を駆動すると、給気ポンプ27から電気絶縁性ガスと
しての水素ガスが給気孔14を介してハウジング16内
に供給される同時に、排気孔15からハウジング16に
残留している空気が排出されてハウジング16内に水素
ガスが封入される。また排気用容器25には水素濃度計
30及び圧力センサー31が配置されており、給気側の
管路及び排気側管路には電磁弁のようなバルブ28a,
28bが配置されており、上記のように水素ガスを給気
すると同時に空気を排出して水素ガスを封入している
際、所定の水素濃度になったことを水素濃度計30によ
り検知して排気側のバルブ28bを閉じ、さらに圧力セ
ンサー31により、所定の圧力になったことを検知して
給気側のバルブ28bを閉じるようになっている。この
後、レーザー照射機32により、給気孔14及び排気孔
15の図2(a)に示す切り起こし部20の周囲と孔周
囲部21にレーザーが照射され、切り起こし部20の周
囲と孔周囲部21が加熱溶融され、図2(b)に示すよ
うに結合部33が形成されることで封止され、水素ガス
が封入された封止接点装置19を得ることができる。
【0033】上記のように電気絶縁性ガスとしての水素
ガスの封入が行われるが、給気孔14と排気孔15とが
独立して形成されたことにより、水素ガスの給気と空気
の排気とを同時に行うことができて水素ガスの封入が迅
速にできる。また給気孔14及び排気孔15が切り起こ
し形状によって形成され、切り起こし部20の周囲と孔
周囲部21が加熱溶融され封止されるために上蓋13の
自身の溶融で封止されて封止のための材料が不用であ
る。また小容積の封入用容器しての給気用容器22及び
排気用容器25がハウジング16の給気孔14と排気孔
15とを独立して配置されて給気孔14からの給気と排
気孔15からの排気が同時に行われることにより、給排
気する構造が単純化でき、且つ使用する電気絶縁性ガス
を減らすことができて省資源化を図ることができる。ま
たレーザーを用いて給気孔14及び排気孔15を加熱溶
融させて封止することにより、給気孔14及び排気孔1
5を加熱溶融させて封止する封止装置を給排気するチャ
ンバーである給気用容器22及び排気用容器25の外に
配置することができて給気用容器22や排気用容器25
を小型化できる。また電気絶縁性ガスとしての水素ガス
を供給する給気ポンプ27とハウジング16内の空気を
排出する排気ポンプ29とを併用して水素ガスを封入す
ることにより、水素ガスの封入が高速でできる。また封
止接点装置19内の空気を排気した後に排気管26のバ
ルブ28bを閉じて排気管26を遮断し、封止接点装置
19内の電気絶縁性ガスとしての水素ガスの圧力を圧力
センサー31で検出しながら給気ポンプ27にて水素ガ
スを充填することにより、水素ガスを封入したときのハ
ウジング16内の圧力を任意に制御することができる。
また水素ガスを給気すると同時に空気を排出して水素ガ
スを封入している際、水素濃度計30により水素ガスの
濃度を検知して水素ガスの封入を制御することにより、
封止接点装置16内を任意の水素ガス濃度に設定でき、
また給排気終了タイミングの最適化を図ることができ
る。
【0034】次に図3に示す第2の実施の形態の例につ
いて述べる。これは請求項2に対応する実施の形態の例
である。なお、図3では排気用容器25の部分しか図示
していないが、給気用容器22の部分も同じ構造であ
る。
【0035】金属の円筒35の上端をガラス板36で閉
じ、円筒35の側面に吸引ポンプ39に繋がる小径のパ
イプ37を取り付けた部材保持装置38が、給気用容器
22及び排気用容器25にOリング40を介して気密性
を保持しながら摺動できるように取り付けられている。
この構造において、部材保持装置38によって封止部材
として金属部材34を吸着保持した状態で、給気用容器
22及び排気用容器25を封止接点装置19に装着し、
上記の例と同様に給排気を行って電気絶縁性ガスとして
水素ガスの封入を行った後、金属部材34の吸着を解除
して金属部材34を給気孔14及び排気孔15を塞ぐよ
うに置き、ガラス板36の上部に配置したレーザー照射
機32により金属部材34の周囲を溶融させて封止する
ようにしている。その他の構成は第1の実施の形態の例
と同じである。上記のように別部材の封止用部材として
の金属部材34を用いることで給気孔14や排気孔15
が大きい孔でも気密溶接して封止可能になる。
【0036】次に図4、図5に示す第3の実施の形態の
例について述べる。これは請求項4に対応する実施の形
態の例である。本例の場合も上蓋13に給気孔14や排
気孔15が形成されが、この給気孔14や排気孔15が
上蓋13の面に対して垂直な方向に対し、傾斜した角度
で貫通させている。その他の構成は第1の実施の形態の
例と同じである。本例の場合も給気孔14や排気孔15
から給排気して電気絶縁性ガスとしての水素ガスを封入
した後、レーザー照射機32からレーザーが照射される
ことで加熱溶融させて封止されるが、給気孔14及び排
気孔15が傾斜孔であるために給気孔14及び排気孔1
5の上部が溶融されることで図4(b)や図5(b)に
示すように封止され、レーザー照射が単一方向のみの移
動でよいので、容易に封止できて短時間で給気孔14及
び排気孔15を封止することができる。
【0037】次に図6に示す第4の実施の形態の例につ
いて述べる。これは請求項5及び請求項9に対応する実
施の形態の例である。封止接点装置19に設ける給気孔
14及び排気孔15が、上蓋13の側面で互いに対向す
るような位置で配置されている。上蓋13は鍔を有して
おらず、上蓋13の側面と下蓋1の側面とが同一面にな
るように接合されている。
【0038】電気絶縁性ガスとしての水素ガスを封入す
るために第1の実施の形態の例のような給気用容器22
及び排気用容器25を用いる代わりに封入用容器として
単一の給排気用容器43を用いている。給排気用容器4
3は単一の箱形状で、封止接点装置19の給気孔14及
び排気孔15のない面が内接する大きさで、その接触す
る側面及び下面にコの字状のゴム製のパッキン44が配
置されている。そして封止接点装置19を給排気容器4
3内にいれて装着し、パッキン44のコの字状を閉じる
ように連結するようなパッキン46を有する板状の容器
蓋45を被せて空気圧シリンダ等で固定すると、給排気
用容器43内に給気用空間47と排気用空間48が形成
されるようになっている。給排気用容器43の側面に
は、給気孔14及び排気孔15にレーザーが照射できる
ようにガラス窓49a,49bが配置されている。その
他の構成は第1の実施の形態の例と同じである。
【0039】電気絶縁性ガスとしての水素ガスを封止接
点装置19に封入する場合には、給気用空間47から給
気孔14を介して水素ガスを給気すると共にハウジング
16内の空気を排気孔15から排気用空間48を介して
排気するが、給気孔14と排気孔15とがハウジング1
6の対向する面に配置されたことにより、ハウジング1
6内の気体の流れが整流化され、給排気時間を短縮する
ことができる。また単一の封入用容器としての給排気用
容器43で給排気を独立して行うことができ、設備が安
価になる。
【0040】次に図7に示す第5の実施の形態の例につ
いて述べる。これは請求項6に対応する実施の形態の例
である。本例の場合、第4の実施の形態の例において、
封止接点装置19に設ける給気孔14や排気孔15が上
蓋13の側面に、互いに対向するような位置で複数個配
置されている。その他の構成については第4の実施の形
態の例と同じである。この場合、複数個の給気孔14か
ら電気絶縁性ガスとしての水素ガスを給気すると共に複
数個の排気孔15から空気を排出でき、給排気時間を短
縮できる。
【0041】次に図8に示す第6の実施の形態の例につ
いて述べる。これは請求項7に対応する実施の形態の例
である。本例の場合、給気孔14が上蓋13の上面に配
置され、排気孔15が上蓋13の側面の下部に配置され
ている。そして給気孔14から供給された電気絶縁性ガ
スとしての水素ガスは、封止接点装置19のハウジング
16内において上部より空気を下方に押し下げるように
滞留して行く。これにより空気は水素ガスの押し下げる
力と排気ポンプ29の吸引力により、排気孔15よりハ
ウジング16外に出て行く。その他の構成は第4の実施
の形態の例と同じである。
【0042】次に図9、図10に示す第7の実施の形態
の例について述べる。これは請求項12に対応する実施
の形態の例である。上記例のように給気孔14及び排気
孔15が形成されていない上蓋13を用い、上蓋13を
下蓋1に溶接する際に、未溶接部によって給気用開口部
53と排気用開口部54を形成するようになっている。
本例の場合、給気用開口部53が給気孔14となり、排
気用開口部54が排気孔15となる。その他の構成は第
1の実施の形態の例と同じである。本例の場合、上蓋1
3に特別に孔加工しなくても給気孔14や排気孔15を
形成することができ、上蓋13が安価に製作できる。
【0043】次に図11に示す第8の実施の形態の例に
ついて述べる。これは請求項13、請求項20に対応す
る実施の形態の例である。鍔の4つの角のうち、対向す
る2つを約30度程度折り曲げた給気用曲げ起こし部5
6及び排気用曲げ起こし部57を有する上蓋13を、給
気用曲げ起こし部56、排気用曲げ起こし部57以外の
部分について下蓋1に溶接してある。そして溶接してい
ない給気用曲げ起こし部56の部分に給気孔14を形成
すると共に溶接していない排気用曲げ起こし部57の部
分に排気孔15を形成してある。この給気用曲げ起こし
部56にて形成される給気孔14、排気用曲げ起こし部
57にて形成される排気孔15を用いて電気絶縁性ガス
として水素ガスを充填した後、給気用曲げ起こし部5
6、排気用曲げ起こし部57の屈曲部58a,58bに
レーザー照射機32によりレーザーを照射し、一部を溶
融させることで平坦に戻す。そしてこの状態でレーザー
照射機32により給気用曲げ起こし部56、排気用曲げ
起こし部57を溶融させて封止を行うようになってい
る。その他の構成については第1の実施の形態の例と同
じである。
【0044】上記のように給排気完了後、曲げ起こし部
56、57を平らに戻して封止することにより、封止す
るときの溶接長さを長くすることなく給気孔14や排気
孔15の開口面積を大きくできる。また曲げ起こし部5
6,57の屈曲線58a,58bにレーザーを照射し、
平坦に戻して封止することにより、曲げ起こし部56,
57の変形装置が封止のための装置と兼ねられ、安価に
なる。また第1の実施の形態の例のように切り起こし部
20にて給気孔14や排気孔15を形成した場合も、切
り起こし部20の屈曲線にレーザーを照射し、平坦に戻
して封止することにより、切り起こし部20の変形装置
が封止のための装置と兼ねられ、安価になる。
【0045】次に図12に示す第9の実施の形態の例に
ついて述べる。これは請求項15に対応する実施の形態
の例である。本例の場合、給気管24に電気絶縁性ガス
としての水素ガスを高圧で貯蔵するガスタンク59のみ
が取り付けられ、排気管26に取り付けられている排気
ポンプ29によって、排気用容器25内と封止接点装置
19内の空気を吸引することにより、ガスタンク59か
ら水素ガスが封止接点装置19内に導かれる。その他の
構成は第1の実施の形態の例と同じである。
【0046】上記のように排気側に排気ポンプ29を配
置し、ハウジング16内の空気を排出させると共にその
吸引力で水素ガスを封止接点装置19内に吸引すること
により、電気絶縁性ガスとしての水素ガスを給気するた
めの給気ポンプが不用になる。
【0047】次に図13に示す第10の実施の形態の例
について述べる。これは請求項16及び請求項17に対
応する実施の形態の例である。本例の場合、排気管26
に空気及び封止接点装置19を通過した水素ガスを貯蔵
するタンク60のみが取り付けられ、給気管24に取り
付けられている給気ポンプ27によって、給気孔14よ
り封止接点装置19内に水素ガスを供給すると共に、そ
の圧力で排気孔15より封止接点装置19内の空気が排
気され、タンク60に溜まるようになっている。
【0048】ここで、給気管24及び排気管26に同じ
回転軸62を有する給気側回転翼61及び排気側回転翼
63を配置し、給気ポンプ27から送られる水素ガスに
より給気側回転翼61及び排気側回転翼63を回転させ
る。この排気側回転翼63の回転により、空気及び封止
接点装置19内を通過した水素ガスがタンク60内に送
られるようになっている。その他の構成は第1の実施の
形態の例と同じである。
【0049】上記のように給気側に給気ポンプ27を配
置し、水素ガスを供給すると共にその吐出力でハウジン
グ16内の空気を排出することにより、排気ポンプが不
用になる。また給気される水素ガスにより給気管24内
の給気側回転翼61を回し、その動力にて排気管26内
の排気側回転翼63を回転させ、排気方向への気流を生
成することにより、給気と排気をスムーズにできて給気
ポンプ27を小型化できる。
【0050】次に図14に示す第11の実施の形態の例
について述べる。これは請求項19に対応する実施の形
態の例を示すものである。本例の場合、排気管26に圧
力センサー31の代わりに絞り弁64を配置し、所定の
水素濃度を水素濃度計30により検知して絞り弁64を
一定量絞り、排気管26を流れる空気または水素ガスの
流量を制限することで、封止接点装置19内の圧力を所
定の圧力に制御するよになっている。その他の構成は第
1の実施の形態の例と同じである。
【0051】上記のように排気管26に絞り弁64を配
置し、絞り弁64で流量を調整することで封止接点装置
19のハウジング16内の水素ガスの圧力を調整するこ
とにより、安価な構成にてハウジング16内の圧力制御
ができる。
【0052】次に図15に示す第12の実施の形態の例
について述べる。これは請求項21に対応する実施の形
態の例を示すものである。本例の場合、第8の実施の形
態で述べた形状を有する封止接点装置19に形状記憶合
金でできた上蓋13を用いている。給気管24には冷却
装置66を配置してあり、水素ガスを封止接点装置19
内に充填した後、水素ガスを冷却することで曲げ起こし
部56,57が戻る。この状態でレーザーを照射して封
止を行うようになっている。その他の構成は第1の実施
の形態の例と同じである。
【0053】この場合、電気絶縁性ガスとしての水素ガ
スの封入と同時に曲げ起こし部56,57を戻すことが
できて封止時間を短縮できる。また上記例では上蓋13
を形状記憶合金にて形成した例について述べたが、曲げ
起こし部56,57の部分だけを形状記憶合金にて形成
して同様に実施できる。また本例の場合、曲げ起こし部
56,57を設けた上蓋13の例について述べたが、第
1の実施の形態の例のように切り起こし部20を設けた
上蓋13でも同様に実施できる。
【0054】次に図16に示す第13の実施の形態の例
について述べる。これは請求項22に対応する実施の形
態の例を示す。本例の場合、排気用容器25内に水素濃
度計30を設ける代わりに、排気用容器25外に配置さ
れたタイマー67により、所定時間経過後に排気管26
のバルブ28bを閉じるようになっている。その他の構
成は第1の実施の形態の例と同じである。
【0055】上記のようにタイマー67にて電気絶縁性
ガスとしての水素ガスの封入を制御することにより、安
価な構成で、封止接点装置19内を所定のガス濃度に制
御できる。
【0056】次に図17に示す第14の実施の形態の例
について述べる。これは請求項24に対応する実施の形
態の例を示す。本例の場合、排気用容器25内に水素濃
度計30を配置すると共に酸素濃度計68を配置してあ
る。その他の構成は第1の実施の形態の例と同じであ
る。
【0057】この場合、排気の酸素の濃度を酸素濃度計
68にて検知して電気絶縁性ガスとしての水素ガスの封
入を制御することができ、より短時間に高品質(低酸素
濃度)の封止接点装置19を製作できる。
【0058】次に図18に示す第15の実施の形態の例
について述べる。これは請求項25に対応する実施の形
態の例を示す。本例の場合、排気用容器25内に、鉄を
主成分とする粉を酸素透過性容器に収納した酸素吸収剤
69を配置してある。その他の構成は第1の実施の形態
の例と同じである。
【0059】このように排気孔15からの排気が通る排
気用容器25内に酸素吸収剤69を配置し、酸素吸収剤
69で酸素を吸入することにより、安価な構成で短時間
に高品質(低酸素濃度)の封止接点装置19を製作でき
る。
【0060】
【発明の効果】本発明の請求項1の発明は、気密空間が
形成されたハウジング内に固定接点と可動接点とが配置
された封止接点装置であって、ハウジングを構成する上
蓋と下蓋とが気密的に接合され、ハウジングに電気絶縁
性ガスを供給するための給気孔とハウジング内の空気が
排出されるための排気孔が夫々独立して形成され、電気
絶縁性ガスがハウジング内に充填された状態で給気孔及
び排気孔が封止されたので、電気絶縁性ガスの封入を行
うとき給気孔から電気絶縁性ガスの給気を行うと共に排
気孔から空気の排気ができるものであって、電気絶縁性
ガスの給気と空気の排気とを同時に行うことができて電
気絶縁性ガスの封入が迅速にできるものである。
【0061】また本発明の請求項2の発明は、請求項1
において、給気孔と排気孔とに孔のない別部材の封止用
部材が装着され、これが気密的に接合されたので、別部
材の封止用部材を用いることで給気孔や排気孔が大きい
孔でも気密溶接して封止可能になるものである。
【0062】また本発明の請求項3の発明は、請求項1
において、給気孔及び排気孔が切り起こし形状によって
形成されたので、切り起こし部で閉塞して封止できて給
気孔や排気孔を封止するための部材が不用になるもので
ある。
【0063】また本発明の請求項4の発明は、請求項1
において、給気孔及び排気孔がこれを形成する面に垂直
な方向に対して傾斜させて貫通され、この傾斜した給気
孔及び排気孔の上部が溶融されることで封止されたの
で、容易に封止できて短時間で給気孔及び排気孔を封止
することができるものである。
【0064】また本発明の請求項5の発明は、請求項1
において、給気孔と排気孔とがハウジングの対向する面
に配置されたので、給気孔から電気絶縁性ガスを給気す
ると共に排気孔からハウジング内の空気を排出するとき
ハウジング内の気体の流れが整流化され、給排気時間を
短縮することができるものである。
【0065】また本発明の請求項6の発明は、請求項5
において、複数個の給気孔と複数個の排気孔を有するの
で、複数個の給気孔から電気絶縁性ガスを給気すると共
に複数個の排気孔から空気を排出でき、給排気時間を短
縮できるものである。
【0066】また本発明の請求項7の発明は、請求項1
において、給気孔が上蓋の側面上部または上面に配置さ
れ、排気孔が上蓋の側面の下部に配置され、空気より軽
い電気絶縁性ガスが封入されたので、電気絶縁性ガスを
給気孔から給気すると共に排気孔からハウジング内の空
気を排出するときハウジング内で電気絶縁性ガスにて空
気が下方に押し下げられて排気孔から排気でき、給排気
時間を短縮できるものである。
【0067】また本発明の請求項8の発明は、気密空間
が形成されたハウジング内に固定接点と可動接点とが配
置され、ハウジングを構成する上蓋と下蓋とが気密的に
接合され、ハウジングに電気絶縁性ガスを供給するため
の給気孔とハウジング内の空気を排出するための排気孔
が夫々独立して形成され、電気絶縁性ガスがハウジング
内に充填された状態で、給気孔及び排気孔が封止された
封止接点装置を製造する方法であって、ハウジングに給
気孔と排気孔を形成し、給気孔を介して封止接点装置内
に電気絶縁性ガスを給気し、排気孔を介して封止接点装
置内の空気を排気した後、給気孔及び排気孔を塞いで封
止するので、電気絶縁性ガスを封入するとき電気絶縁性
ガスの給気と空気の排気とを同時に行うことができて電
気絶縁性ガスの封入が迅速にできるものである。
【0068】また本発明の請求項9の発明は、請求項8
において、単一の封入用容器でこの容器内を封止接点装
置にて仕切り、封止用容器に封止接点装置で仕切られた
給気用空間と排気用空間とを形成し、給気用空間から給
気孔を介して給気すると共に排気孔から排気用空間を介
して排気を行うので、単一の封入用容器で給排気を独立
して行うことができ、設備が安価になるものである。
【0069】また本発明の請求項10の発明は、請求項
8において、小容積の封入用容器が封止接点装置の給気
孔と排気孔とに独立して配置されて給気孔からの給気と
排気孔からの排気が行われるので、給排気する構造が単
純化でき、且つ使用する電気絶縁性ガスを減らすことが
できて省資源化を図ることができるものである。
【0070】また本発明の請求項11の発明は、請求項
8において、レーザーを用いて給気孔及び排気孔を加熱
溶融させて封止するので、給気孔及び排気孔を加熱溶融
させて封止する封止装置を給排気するチャンバー外に配
置することができてチャンバーが小型化できるものであ
る。
【0071】また本発明の請求項12の発明は、請求項
8において、上蓋を下蓋に溶接する際に上蓋の未溶接部
分にて給気孔と排気孔とを形成するので、上蓋に特別に
孔加工をしなくても給気孔や排気孔を形成することがで
き、上蓋が安価に製作できるものである。
【0072】また本発明の請求項13の発明は、請求項
8において、上蓋或いは下蓋の接合すべき部分の一部を
折り曲げて曲げ起こし形状を形成し、それ以外の部分を
溶接することで給気孔及び排気孔となる開口部を形成
し、給排気完了後、曲げ起こし部を平らに戻して封止す
るので、封止するときの溶接長さを長くすることなく給
気孔や排気孔の開口面積を大きくできるものである。
【0073】また本発明の請求項14の発明は、請求項
8において、電気絶縁性ガスを供給する給気ポンプとハ
ウジング内の空気を排出する排気ポンプとを併用して電
気絶縁性ガスを封入するので、電気絶縁性ガスの封入が
高速でできるものである。
【0074】また本発明の請求項15の発明は、請求項
8において、排気側に排気ポンプを配置し、ハウジング
内の空気を排出させると共にその吸引力で電気絶縁性ガ
スを封止接点装置内に吸引するので、電気絶縁性ガスを
給気するための給気ポンプが不用になるものである。
【0075】また本発明の請求項16の発明は、請求項
8において、給気側に給気ポンプを配置し、電気絶縁性
ガスを供給すると共にその吐出力でハウジング内の空気
を排出するので、排気ポンプが不用になるものである。
【0076】また本発明の請求項17の発明は、請求項
16において、給気管内及び排気管内に回転軸を同じく
する回転翼を配置し、給気されるガスにより給気管内の
回転翼を回し、その動力にて排気管内の回転翼を回転さ
せ、排気方向への気流を生成するので、給気や排気をス
ムーズにできて給気ポンプを小型化できるものである。
【0077】また本発明の請求項18の発明は、請求項
14または請求項16において、封入用容器内に配設さ
れた圧力センサーと、排気管に配置されたバルブを有
し、封止接点装置内の空気を排気した後に排気管のバル
ブを閉じて排気管を遮断し、封止接点装置内の電気絶縁
性ガスの圧力を圧力センサーで検出しながら給気ポンプ
にて電気絶縁性ガスを充填するので、電気絶縁性ガスを
封入したときのハウジング内の圧力を任意に制御するこ
とができるものである。
【0078】また本発明の請求項19の発明は、請求項
14または請求項16において、排気管に絞り弁を配置
し、絞り弁で流量を調整することにより封止接点装置の
ハウジング内の電気絶縁性ガスの圧力を調整するので、
安価な構成にてハウジング内の圧力制御ができるもので
ある。
【0079】また本発明の請求項20の発明は、請求項
8または請求項13において、給気孔及び排気孔を、切
り起こし形状によって形成するか、上蓋或いは下蓋の接
合すべき部分の一部を折り曲げて曲げ起こし形状を形成
し、切り起こし部または曲げ起こし部の屈曲線にレーザ
ーを照射し、平坦に戻して封止するので、切り起こし部
や曲げ起こし部の変形装置が封止のための装置と兼ねら
れ、安価になるものである。
【0080】また本発明の請求項21の発明は、請求項
8または請求項13において、給気孔及び排気孔を、切
り起こし形状によって形成するか、上蓋或いは下蓋の接
合すべき部分の一部を折り曲げて曲げ起こし形状を形成
し、切り起こし部または曲げ起こし部またはハウジング
を形状記憶合金にて形成し、電気絶縁性ガスが封止接点
装置に充填された後、本ガスの温度を変えて供給するこ
とで平坦に戻すので、電気絶縁性ガスの封入と同時に切
り起こし部や曲げ起こし部を戻すことができて封止時間
を短縮できるものである。
【0081】また本発明の請求項22の発明は、請求項
8において、タイマーにより電気絶縁性ガスの封入を制
御するので、安価な構成で、封止接点装置内を所定のガ
ス濃度に制御できるものである。
【0082】また本発明の請求項23の発明は、請求項
8において、排気の電気絶縁性ガスの濃度を検知して電
気絶縁性ガスの封入を制御するので、給排気終了タイミ
ングの最適化を図ることができるものである。
【0083】また本発明の請求項24の発明は、請求項
8において、排気の酸素の濃度を検知して電気絶縁性ガ
スの封入を制御するので、より短時間に高品質(低酸素
濃度)の封止接点装置を製作できるものである。
【0084】また本発明の請求項25の発明は、請求項
8において、排気孔からの排気が通る排気用容器内に酸
素吸収剤を配置し、酸素吸収剤で酸素を吸入するので、
安価な構成で短時間に高品質(低酸素濃度)の封止接点
装置を製作できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の例を示す一部省略
断面図である。
【図2】同上の給気孔や排気孔を封止する構造を説明す
る斜視図であり、(a)は封止前の状態で、(b)は封
止後の状態である。
【図3】同上の第2の実施の形態の例の要部を示す断面
図である。
【図4】同上の第3の実施の形態の例の要部を示す斜視
図であり、(a)は封止前の状態で、(b)は封止後の
状態である。
【図5】(a)は図4(a)の断面図、(b)は図4
(b)の断面図である。
【図6】同上の第4の実施の形態の例を示す断面図であ
る。
【図7】同上の第5の実施の形態の例を示す断面図であ
る。
【図8】同上の第6の実施の形態の例を示す断面図であ
る。
【図9】同上の第7の実施の形態の例を示す断面図であ
る。
【図10】図9の斜視図である。
【図11】同上の第8の実施の形態の例を示す斜視図で
ある。
【図12】同上の第9の実施の形態の例を説明する概略
図である。
【図13】同上の第10の実施の形態の例を説明する概
略図である。
【図14】同上の第11の実施の形態の例を説明する概
略図である。
【図15】同上の第12の実施の形態の例を説明する概
略図である。
【図16】同上の第13の実施の形態の例を説明する概
略図である。
【図17】同上の第14の実施の形態の例を説明する要
部の断面図である。
【図18】同上の第15の実施の形態の例を説明する要
部の断面図である。
【図19】従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 下蓋 2a,2b 固定接点 12 可動接点 13 上蓋 14 給気孔 15 排気孔 16 ハウジング 19 封止接点装置 20 切り起こし部 22 給気用容器 25 排気用容器 27 給気ポンプ 28a,28b バルブ 29 排気ポンプ 30 水素濃度計 31 圧力センサー 33 結合部 34 金属部材 43 給排気用容器 47 給気用空間 48 排気用空間 56 給気用曲げ起こし部 57 排気用曲げ起こし部 58a,58b 屈曲部 61 給気側回転翼 62 回転軸 63 排気側回転翼 64 絞り弁 66 冷却装置 67 タイマー 68 酸素濃度計 69 酸素吸収剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大北 浩之 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 5G023 AA12 CA11 CA43 CA50

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 気密空間が形成されたハウジング内に固
    定接点と可動接点とが配置された封止接点装置であっ
    て、ハウジングを構成する上蓋と下蓋とが気密的に接合
    され、ハウジングに電気絶縁性ガスを供給するための給
    気孔とハウジング内の空気が排出されるための排気孔が
    夫々独立して形成され、電気絶縁性ガスがハウジング内
    に充填された状態で給気孔及び排気孔が封止されたこと
    を特徴とする封止接点装置。
  2. 【請求項2】 給気孔及び排気孔とに孔のない別部材の
    封止用部材が装着され、これが気密的に接合されたこと
    を特徴とする請求項1記載の封止接点装置。
  3. 【請求項3】 給気孔及び排気孔が切り起こし形状によ
    って形成されたことを特徴とする請求項1記載の封止接
    点装置。
  4. 【請求項4】 給気孔及び排気孔がこれを形成する面に
    垂直な方向に対して傾斜させて貫通され、この傾斜した
    給気孔及び排気孔の上部が溶融されることで封止された
    ことを特徴とする請求項1記載の封止接点装置。
  5. 【請求項5】 給気孔と排気孔とがハウジングの対向す
    る面に配置されたことを特徴とする請求項1記載の封止
    接点装置。
  6. 【請求項6】 複数個の給気孔と複数個の排気孔を有す
    ることを特徴とする請求項5記載の封止接点装置。
  7. 【請求項7】 給気孔が上蓋の側面上部または上面に配
    置され、排気孔が上蓋の側面の下部に配置され、空気よ
    り軽い電気絶縁性ガスが封入されたことを特徴とする封
    止接点装置。
  8. 【請求項8】 気密空間が形成されたハウジング内に固
    定接点と可動接点とが配置され、ハウジングを構成する
    上蓋と下蓋とが気密的に接合され、ハウジングに電気絶
    縁性ガスを供給するための給気孔とハウジング内の空気
    を排出するための排気孔が夫々独立して形成され、電気
    絶縁性ガスがハウジング内に充填された状態で、給気孔
    及び排気孔が封止された封止接点装置を製造する方法で
    あって、ハウジングに給気孔と排気孔を形成し、給気孔
    を介して封止接点装置内に電気絶縁性ガスを給気し、排
    気孔を介して封止接点装置内の空気を排気した後、給気
    孔及び排気孔を塞いで封止することを特徴とする封止接
    点装置の製造方法。
  9. 【請求項9】 単一の封入用容器でこの容器内を封止接
    点装置にて仕切り、封止用容器に封止接点装置で仕切ら
    れた給気用空間と排気用空間とを形成し、給気用空間か
    ら給気孔を介して給気すると共に排気孔から排気用空間
    を介して排気を行うことを特徴とする請求項8記載の封
    止接点装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 小容積の封入用容器が封止接点装置の
    給気孔と排気孔とに独立して配置されて給気孔からの給
    気と排気孔からの排気が行われることを特徴とする請求
    項8記載の封止接点装置の製造方法。
  11. 【請求項11】 レーザーを用いて給気孔及び排気孔を
    加熱溶融させて封止することを特徴とする請求項8記載
    の封止接点装置の製造方法。
  12. 【請求項12】 上蓋を下蓋に溶接する際に上蓋の未溶
    接部分にて給気孔と排気孔とを形成することを特徴とす
    る請求項8記載の封止接点装置の製造方法。
  13. 【請求項13】 上蓋或いは下蓋の接合すべき部分の一
    部を折り曲げて曲げ起こし形状を形成し、それ以外の部
    分を溶接することで給気孔及び排気孔となる開口部を形
    成し、給排気完了後、曲げ起こし部を平らに戻して封止
    することを特徴とする請求項8記載の封止接点装置の製
    造方法。
  14. 【請求項14】 電気絶縁性ガスを供給する給気ポンプ
    とハウジング内の空気を排出する排気ポンプとを併用し
    て電気絶縁性ガスを封入することを特徴とする請求項8
    記載の封止接点装置の製造方法。
  15. 【請求項15】 排気側に排気ポンプを配置し、ハウジ
    ング内の空気を排出させると共にその吸引力で電気絶縁
    性ガスを封止接点装置内に吸引することを特徴とする請
    求項8記載の封止接点装置の製造方法。
  16. 【請求項16】 給気側に給気ポンプを配置し、電気絶
    縁性ガスを供給すると共にその吐出力でハウジング内の
    空気を排出することを特徴とする請求項8記載の封止接
    点装置の製造方法。
  17. 【請求項17】 給気管内及び排気管内に回転軸を同じ
    くする回転翼を配置し、給気されるガスにより給気管内
    の回転翼を回し、その動力にて排気管内の回転翼を回転
    させ、排気方向への気流を生成することを特徴とする請
    求項16記載の封止接点装置の製造方法。
  18. 【請求項18】 封入用容器内に配設された圧力センサ
    ーと、排気管に配置されたバルブを有し、封止接点装置
    内の空気を排気した後に排気管のバルブを閉じて排気管
    を遮断し、封止接点装置内の電気絶縁性ガスの圧力を圧
    力センサーで検出しながら給気ポンプにて電気絶縁性ガ
    スを充填することを特徴とする請求項14または請求項
    16記載の封止接点装置の製造方法。
  19. 【請求項19】 排気管に絞り弁を配置し、絞り弁で流
    量を調整することにより封止接点装置のハウジング内の
    電気絶縁性ガスの圧力を調整することを特徴とする請求
    項14または請求項16記載の封止接点装置の製造方
    法。
  20. 【請求項20】 給気孔及び排気孔を、切り起こし形状
    によって形成するか、上蓋或いは下蓋の接合すべき部分
    の一部を折り曲げて曲げ起こし形状を形成し、切り起こ
    し部または曲げ起こし部の屈曲線にレーザーを照射し、
    平坦に戻して封止することを特徴とする請求項8または
    請求項13記載の封止接点装置の製造方法。
  21. 【請求項21】 給気孔及び排気孔を、切り起こし形状
    によって形成するか、上蓋或いは下蓋の接合すべき部分
    の一部を折り曲げて曲げ起こし形状を形成し、切り起こ
    し部または曲げ起こし部またはハウジングを形状記憶合
    金にて形成し、電気絶縁性ガスが封止接点装置に充填さ
    れた後、本ガスの温度を変えて供給することで平坦に戻
    すことを特徴とする請求項8または請求項13記載の封
    止接点装置の製造方法。
  22. 【請求項22】 タイマーにより電気絶縁性ガスの封入
    を制御することを特徴とする請求項8記載の封止接点装
    置の製造方法。
  23. 【請求項23】 排気の電気絶縁性ガスの濃度を検知し
    て電気絶縁性ガスの封入を制御することを特徴とする請
    求項8記載の封止接点装置の製造方法。
  24. 【請求項24】 排気の酸素の濃度を検知して電気絶縁
    性ガスの封入を制御することを特徴とする請求項8記載
    の封止接点装置の製造方法。
  25. 【請求項25】 排気孔からの排気が通る排気用容器内
    に酸素吸収剤を配置し、酸素吸収剤で酸素を吸入するこ
    とを特徴とする請求項8記載の封止接点装置の製造方
    法。
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