JP2001091854A - 簡易操作顕微装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的はジョイスティック的な直感的
操作のできる特徴を残しつつ、扱いやすく簡単に操作し
得る顕微装置を提供することである。 【解決手段】 本発明にかかる顕微装置は、被測定物を
載置するステージ４を備えた顕微鏡６を含む顕微装置２
において、ステージ４を駆動する駆動機構８と、駆動機
構８の動作を制御する制御手段１０と、顕微鏡６の画像
データを読み込む画像読み込み手段１２と、画像読み込
み手段１２により読み込まれた画像を表示する表示手段
１４と、ステージの動作を観察者が指示するためのステ
ージ動作指示手段とが備えられており、ステージ動作指
示手段は、表示手段１０に表示されたステージの移動方
向と移動スピードを一括して設定可能なコントローラ・
イメージ１６と、ステージの移動方向と移動スピードを
設定するための外部入力手段１８からなることを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はステージ操作の容易
な顕微装置、特に顕微装置のステージ操作において、被
測定物画像を観察しながらステージをコントロール可能
な顕微装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】被測定物の微小な部位を拡大観察できる
と共に様々な分析や測定、解析が行いうる顕微鏡は、鉱
物や生体を扱う学術や研究分野のみならず高分子材料や
無機材料、電気、電子材料などの産業分野でも用いられ
るなど非常に広範囲で利用されている。

【０００３】現在におけるこのような顕微鏡はステージ
上に被測定物が載置され、被測定物の観察部位の観察像
はその画像がビデオカメラなどで取り込まれ、ディスプ
レイ上に表示されるのが一般的である。

【０００４】そして、被測定物の観察部位を移動する際
には、様々な方法が採られていた。いくつか例を挙げる
と、ステージ上に位置座標を設定しておき、その位置座
標を数値入力することでその座標を中心とする被測定物
の観察像を表示する方法があった。さらに前後、左右、
上下方向の移動ボタンが備えられ、ボタン操作によっ
て、所望の位置の観察像を表示させるものもあった。ま
た便利なものとしてはジョイスティックなどがあり、移
動方向がレバーを倒した方向で、移動速度はレバーを倒
した大きさで設定されるものなどもあった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、座標入力によ
る方法では未観察部分の座標を入力しながら観察してい
くことは非常に煩雑な作業であり、また時間のかかる作
業となってしまっていた。さらに移動ボタンによる方法
では比較的縦または横方向のみの移動は容易であるが、
斜め方向は移動させるのが非常に難しいものであった。
また観察倍率が高いときなどには観察範囲が非常に広く
なり、観察画像を見ながらの直感的な操作ができず、思
うようにステージ移動ができないなどの問題が存在し
た。

【０００６】また、ジョイスティックは、使いやすいマ
ン−マシンインターフェースであるが、観察画像を見な
がらの微妙な操作にはレバー操作とステージの動きとの
連動が人間の感覚的に捕らえるのが難しく、ある程度の
慣れが必要とされると言う問題もあった。

【０００７】本発明は前記課題に鑑み為されたものであ
り、その目的はジョイスティック的な直感的操作のでき
る特徴を残しつつ、扱いやすく、簡単に操作し得る顕微
装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明にかかる顕微装置は、被測定物を載置するス
テージを備えた顕微鏡を含む顕微装置において、前記ス
テージを駆動する駆動機構と、前記駆動機構の動作を制
御する制御手段と、前記顕微鏡の画像データを読み込む
画像読み込み手段と、前記画像読み込み手段により読み
込まれた画像を表示する表示手段と、前記ステージの動
作を観察者が指示するためのステージ動作指示手段とが
備えられており、前記ステージ動作指示手段は、表示手
段に表示されたステージの移動方向と移動スピードを一
括して設定可能なコントローラ・イメージと、ステージ
の移動方向と移動スピードを設定するための外部入力手
段からなることを特徴とする。また本発明において、該
コントローラ・イメージが表示手段上に表示された被測
定物画像上に重ねて表示されていることが好適である。

【０００９】また本発明において、コントローラ・イメ
ージは、少なくともＸ−Ｙ方向用コントローラ・イメー
ジを備えており、Ｘ−Ｙ方向用コントローラ・イメージ
は、同心円の的状イメージとポインタからなり、ステー
ジが停止している状態では前記的状イメージの中心にポ
インタが存在し、ステージの駆動設定は、ステージを駆
動させたい方向に該外部入力手段によってポインタを的
状イメージ上で移動させることで、移動スピードは前記
ポインタと的状イメージの中心からの距離の大きさに比
例するように設定され、前記設定は制御手段に伝えら
れ、制御手段に伝えられた設定に基づいて駆動手段を駆
動することでステージをコントロールすることが好適で
ある。また本発明において、コントローラ・イメージ
は、少なくともＺ軸方向用コントローラ・イメージを備
えており、Ｚ軸方向用コントローラ・イメージは、直線
状イメージとポインタからなり、ステージが停止してい
る状態では前記直線状イメージの中心にポインタが存在
し、ステージの駆動設定は、ステージを駆動させたい方
向に該外部入力手段によってポインタを直線状イメージ
上で移動させることで、移動スピードは前記ポインタと
直線状イメージの中心からの距離の大きさに比例するよ
うに設定され、前記設定は制御手段に伝えられ、制御手
段に伝えられた設定に基づいて駆動手段を駆動すること
でステージをコントロールすることが好適である。

【００１０】また本発明において、該駆動手段によって
ステージが駆動可能な範囲に座標が設定されており、該
外部入力手段によって任意の位置座標を指定入力する
と、前記入力座標を中心とした被測定物画像を表示手段
上に表示するように制御手段が駆動手段を駆動させるこ
とで表示手段に指定座標位置の被測定物画像を表示する
ことが可能なことが好適である。また本発明において、
該駆動手段によってステージが駆動可能な範囲に座標が
設定されており、該外部入力手段によって表示手段に表
示中の被測定物画像との相対位置座標を指定入力する
と、入力座標から移動方向と距離が計算され、前記計算
結果に基づいて制御手段が駆動手段を駆動させることで
ステージをコントロールし、表示手段に指定座標位置を
中心とする被測定物画像を表示することが可能なことが
好適である。

【００１１】また本発明において、該駆動手段によって
ステージが駆動可能な範囲に座標が設定されており、該
表示手段には、Ｘ−Ｙ座標系の平面を表す座標系イメー
ジが表示され、前記座標系イメージには、表示手段に表
示中の被測定物画像の座標範囲が示されていると共に、
表示手段に被測定物画像としてすでに表示された座標範
囲が自動で記録されるオートマッピング機能を備えたこ
とが好適である。また本発明において、該顕微装置には
観察中の被測定物のスペクトルデータを採取するをスペ
クトルデータ採取手段が備えられており、該座標系イメ
ージ上の任意の位置に目印を付けることによって、目印
の付けられた座標に対応する被測定物位置のスペクトル
データを自動採取することが好適である。

【００１２】また本発明において、該顕微装置には観察
中の被測定物のスペクトルデータを採取するをスペクト
ルデータ採取手段が備えられており、被測定物の任意の
位置でスペクトルデータを採取すると、スペクトルデー
タを採取した位置の座標に対応する該座標系イメージ上
の位置に目印を付けることが好適である。また本発明に
おいて、該座標系イメージ上に付けられる目印が複数付
けられている場合、スペクトルデータ採取後に、任意の
目印を選択すると、その目印が付けられた位置に対応す
る座標の被測定物画像またはスペクトルデータ、あるい
は被測定物画像とスペクトルデータの両方を表示手段上
に表示することが好適である。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１に本発明の一実施形態である
顕微装置の概要図を示す。同図に示す顕微装置２は、被
測定物を載置するステージ４を備えた顕微鏡６を含む顕
微装置２において、前記ステージ４を駆動する駆動機構
８と、前記駆動機構８の動作を制御する制御手段１０
と、前記顕微鏡６の画像データを読み込む画像読み込み
手段１２と、前記画像読み込み手段１２により読み込ま
れた画像を表示する表示手段１４と、前記ステージ４の
動作を観察者が指示するためのステージ動作指示手段と
が備えられている。そして前記ステージ動作指示手段
は、表示手段に表示されたステージの移動方向と移動ス
ピードを一括して設定可能なコントローラ・イメージ１
６と、ステージの移動方向と移動スピードを設定するた
めの外部入力手段１８で構成されている。

【００１４】図１に示した一実施形態における顕微装置
２は、顕微鏡６とパーソナルコンピュータが組み合わせ
て構成されており、パーソナルコンピュータのＣＰＵ２
０によって統括制御されているから外部入力手段として
はキーボード２２、マウス２４などを使用することが可
能である。なお、外部入力手段としては、コンピュータ
に適用できる機器を接続することによって、前記以外の
入力手段を用いることも可能である。例を挙げれば、タ
ッチパネルやタッチペンなどであっても良い。

【００１５】このような構成によって、被測定物画像は
ＴＶコントローラ２６を通して画像読み込み手段１２に
よって取り込まれ、その情報をビデオインターフェイス
２８に送ることによって表示手段１４に被測定物画像が
表示され、さらにＣＰＵにその情報が送られることで、
ハードディスク３０やメモリ３２に重要な情報が保存さ
れ、記憶しておくことができる。

【００１６】また観察者は表示手段に表示された被測定
物画像を観察し、他の観察部位を表示手段上に表示させ
たいと所望する場合には、外部入力手段を用いてコント
ローラ・イメージを操作することによって、ステージの
移動方向と移動スピードが設定され、その設定が制御手
段に伝えられ、制御手段が駆動手段を駆動させることで
顕微鏡６のステージ４を駆動させ、表示手段上に所望す
る被測定物の観察部位を表示させることが可能である。

【００１７】図２（ａ）に表示画面上に表示された被測
定物の画像とコントローラ・イメージの表示例を示す。
同図に示すように、観察画像表示ウィンドウ２６には被
測定物の被測定物画像２８が表示されている。また、コ
ントローラ・イメージ１６はＺ軸方向用コントローラ・
イメージとＸ−Ｙ方向用コントローラ・イメージからな
っている。本発明の顕微装置において特徴的なことは、
このコントローラ・イメージによって、ステージをコン
トロールすることができることである。このようにコン
トローラ・イメージによってステージの駆動が可能であ
るため、本発明はステージの操作が非常に簡便である。

【００１８】さらに本実施形態において特徴的なこと
は、ステージの移動方向と移動スピードを設定するため
のコントローラ・イメージが表示手段上に表示された被
測定物画像上に重ねて表示する事ができることである。
図２（ｂ）に表示画面上に表示された被測定物の画像と
その上に重ねて表示されたコントローラ・イメージの表
示例を示す。

【００１９】同図に示す観察画像表示ウィンドウ２６に
は被測定物の被測定物画像２８が表示されており、本実
施形態においてもコントローラ・イメージ１６は観察画
像表示用ウィンドウ２６外に表示されたＺ軸方向用コン
トローラ・イメージと観察画像表示ウィンドウ２６内に
表示されたＸ−Ｙ方向用コントローラ・イメージからな
っている。そしてＸ−Ｙ方向用コントローラ・イメージ
は観察画像表示ウインドウ２６に表示された被測定物画
像２８と重ねて表示されている。

【００２０】本発明はこのように被測定物画像と重ねて
表示することにより、コントローラ・イメージを操作す
るために被測定物画像から目を離す必要がない上、ステ
ージの移動に伴う観察画像の動きが表示手段上に表示さ
れ、ステージの移動方向を確認しながら作業を行うこと
ができるなどの利点を有する。

【００２１】本実施形態のＸ−Ｙ方向用コントローラ・
イメージは、的状イメージ３０上で、ポインタ３２を移
動させることによってステージの移動方向とステージの
移動速度を設定することが可能である。その設定方法は
至って簡単であり、移動方向は表示画面上に表示された
マウスポインタ３４をコントローラ・イメージのポイン
タ３２に合わせてドラッグし、ステージを移動させたい
方向にポインタ３２を移動させることで、ステージの移
動方向が設定される。また移動スピードは的状イメージ
３０の中心からの距離で設定され、本実施形態において
は、中心からの距離が大きく離れるほど移動スピードを
早く設定することが可能である。

【００２２】図３に設定例をいくつか示す。ステージを
観察像に対して右方向にゆっくりと移動させたい場合
は、同図（ａ）に示すようにポインタ３２を的状イメー
ジの右方向に中心からの距離が近いところに移動させる
ことで設定される。またステージを観察像に対して下方
向に速く移動させたい場合は、同図（ｂ）に示すように
ポインタ３２を的状イメージの下方向に中心からの距離
が遠いところに移動させることで設定される。さらに縦
方向、横方向のみならず、図（ｃ）、（ｄ）に示すよう
な斜め方向に移動させることも可能である。

【００２３】そしてステージを停止させたいときは、マ
ウスのドラッグをはずすと、コントローラ・イメージの
ポインタ３２は的状イメージ３０の中心に自動で戻り、
ステージは停止するように設定されている。このコント
ローラ・イメージによる設定は、ポインタ３２を的状イ
メージ上で動かすことにより即座に制御手段に伝えら
れ、制御手段は伝えられた設定に基づいて駆動手段を駆
動させ、ステージを移動させるのである。

【００２４】このような構成によって、観察者は被測定
物画像を観察しながら、ステージを移動させることが可
能である。さらにコントローラ・イメージによる、直感
的なステージ駆動が実現できるため、観察者が顕微装置
を操作するのに熟練を必要としない。

【００２５】なお、本実施形態においてはポインタ３２
をドラッグしたまま、的状イメージ３０上からはずれて
しまった場合には、ポインタ３２は自動で的状イメージ
の中心部分に戻されるように安全設計されている。さら
にコントローラ・イメージを被測定物画像と重ねて表示
させる場合に、被測定物画像が見難いときなどには、コ
ントローラ・イメージを半透明状、あるいはその表示濃
度をさらに薄くするよう調整可能に構成されている。ま
た被測定物画像のみを観察し、ステージを動かす必要が
ない場合などにはコントローラ・イメージを完全に消し
てしまったり、消したコントローラ・イメージを再び被
測定物画像に重ねて表示することもできるように設定さ
れている。

【００２６】続いてＺ軸方向用コントローラ・イメージ
を再び図２を参照にしつつ説明する。Ｚ軸方向用コント
ローラ・イメージは、直線状イメージ３６とポインタ３
８からなりＺ軸方向用コントローラ・イメージのポイン
タ３８は、直線状イメージ３６上を一次元方向のみ移動
可能である点以外はＸ−Ｙ方向用コントローラ・イメー
ジと同様の操作方法によってステージ操作の設定を行う
ことが可能である。

【００２７】つまり、スーテジを駆動させたい方向に該
外部入力手段によってポインタを直線状イメージ上で移
動させることでステージの移動方向が設定され、移動ス
ピードは直線状イメージの中心からの距離によって設定
されるのである。また、ステージ移動の停止方法や直線
状イメージ３６上からポインタ３８がはずれてしまった
場合にはポインタ３８が自動で直線状イメージ３６の中
心に戻る設計もＸ−Ｙ方向用コントローラ・イメージと
同じである。

【００２８】なお図２（ｂ）に記載した本実施形態にお
いてはＺ軸方向用コントローラ・イメージを観察画像表
示用ウィンドウ２６外に配置したが、Ｚ軸方向用コント
ローラ・イメージをＸ−Ｙ軸方向用コントローラ・イメ
ージと同様に、観察画像表示用ウィンドウ２６内に配置
し、被測定物画像と重ねて表示してもいっこうに差し支
えない。

【００２９】本発明においては、駆動手段８によってス
テージが駆動可能な範囲に座標が設定されており、外部
入力手段１８によって任意の位置座標を指定入力すると
入力座標を中心とした被測定物画像を観察画像表示ウィ
ンドウ２６に表示するように制御手段が駆動手段を駆動
させることで表示手段に指定座標位置の被測定物画像を
表示することが可能となっている。これは一度観察した
場所を再び表示させたい場合などに、コントローラ・イ
メージによってステージを移動させ、被測定物の特定位
置画像を見つけだすよりも簡単に表示することを可能に
するものである。

【００３０】図２（ｂ）を参照にしつつ説明すると、任
意の座標Ｘ、Ｙ、Ｚをそれぞれ座標入力欄４０、４２、
４４に入力するとその座標を中心とした被測定物画像が
観察画像表示用ウィンドウ２６に表示される構成となっ
ている。このため観察者は、被測定物画像を観察し、特
徴のある場所を発見した際には、座標表示欄４６、４
８、５０で座標を確認し、記録しておくことで、再びそ
の位置の被測定物画像を表示させることができるのであ
る。

【００３１】なお本実施形態においては、通常の状態で
は表示中の被測定物画像の座標範囲が座標表示欄４６、
４８、５０に表示されるようになっており、特徴のある
特定部位を発見した場合、マウスポインタ３４をその部
位にあわせてクリックすると、座標表示欄４６、４８、
５０にクリックした部位の位置座標が表示されるように
なっている。そしてその部位を記憶しておきたい場合に
は、メモリ３２に一時記憶しておくこと、もしくはハー
ドディスク３０に書き込み記憶しておくことも可能であ
り、観察者が特徴ある部位の位置座標を忘れてしまって
も記憶装置から読み出すことが可能となっている。

【００３２】さらに本発明においては表示中の被測定物
画像の位置座標から相対位置座標を指定入力することに
よって、目標とする位置座標の被測定物画像を表示する
こともできる。これによって例えば特異な性質を示す部
位が、あるサイクルで現れることがわかった場合、表示
中の特異な性質を示す座標位置から次の特異な性質を示
す座標位置をいちいち絶対座標に変換しなくとも、その
まま入力することによって目的の部位を表示することが
可能となる。

【００３３】本実施形態においては、任意の相対座標
Ｘ、Ｙ、Ｚをそれぞれ座標入力欄４０、４２、４４に入
力すると入力座標から移動方向と距離が計算され、その
計算結果に基づいて制御手段が駆動手段を駆動させるこ
とでステージをコントロールし、目的の座標を中心とし
た被測定物画像が観察画像表示用ウィンドウ２６に表示
される構成となっている。

【００３４】なお、本実施形態においては入力座標が絶
対座標による指定であるか相対座標による指定であるか
を区別するために、チェック欄５２、５４を設けてい
る。観察者が座標入力によりにステージを駆動させる場
合、相対座標による指定であるか、絶対座標による指定
であるかもチェック欄に記入することによって両者を混
同することなく処理することが可能である。このように
本発明の顕微装置は通常であるとある程度の熟練を要す
る作業であるステージの操作を非常に簡単に行うことが
可能になる。

【００３５】しかしステージ操作が簡単であっても高倍
率で観察中の被測定物の中から観察目的部位を簡単に見
つけだせるとは限らない。顕微鏡で観察を行っていると
き、低倍率で観察を行っている場合には比較的視野も狭
く、被測定物の観察目的部位を見つけだすこともそう困
難なことではないが、高倍率で観察を行っているときに
は、視野が非常に広くなり、被測定物の観察目的部位を
なかなか見つけられないと言った事例がたびたび起こ
る。

【００３６】このような事態を回避するため本発明にお
ける顕微装置は、駆動手段によってステージが駆動可能
な範囲に設定された座標範囲をイメージ化し、その座標
範囲の中で表示手段に表示中の被測定物画像の座標範囲
を示して座標系中における現在の観察位置を観察者に知
らせると共に、表示手段に被測定物画像としてすでに表
示された座標範囲を自動で記録して行くことにより、観
察者が何度も同じ位置を観察することを防止することが
できる構成となっている。

【００３７】図４に表示画面に表示されたマップの表示
例を示す。同図に示すマップ５６は、Ｘ−Ｙ座標系の平
面を表すグレーに塗りつぶされた方形の座標系イメージ
５８が表示されている。この座標系イメージ５８上に
は、表示手段上に表示中の被測定物画像の位置座標に対
応する場所に、現在位置表示カーソル６０が点滅表示さ
れている。現在位置表示カーソル６０の大きさは、表示
手段に表示中の被測定物画像が占有する座標範囲に対応
しているから、観察倍率によって変化する。この現在位
置表示カーソル６０によって、観察者は自分が現在観察
可能領域全体のどの部分を観察しているのかを一目で確
認することができる。また一度観察画像表示ウィンドウ
２６に被測定物画像が表示された座標範囲に対応する部
分は、観察済み領域６２としてやはり座標系イメージ５
８上に記録されていくように構成されている。

【００３８】このような構成によって、ステージを駆動
させて表示手段に表示させる被測定物の観察位置が変更
されても、現在観察中の場所は全体の中のどこなのかが
たちどころに確認でき、また一度観察した場所が記録さ
れているから観察目的部位を探す際に何度も同じ位置を
観察してうろうろと迷うことも防止できる。

【００３９】なお、ここで言うＸ−Ｙ座標系の平面全体
を表す座標系イメージは、座標系全体を視覚的に捕らえ
ることが可能である程度のイメージでよく、その目的を
果たすことのできる簡単なイメージでよい。このため被
測定物画像を張り合わせて全体の被測定画像を表示する
ような被測定物像イメージマップを意味する物ではな
い。

【００４０】近年、顕微装置を用いた被測定物の観察
は、顕微鏡による拡大画像の観察だけでなく特徴的な部
位のスペクトルを採取、解析を行い、被測定物をより詳
しく分析することが一般的である。図１に示すように、
本発明の一実施形態である顕微装置においても被測定物
の特定部位からスペクトルを採取し、そのデータを取り
込むことが可能なスペクトルデータ採取手段６４と、ス
ペクトルデータ採取手段６４により採取されたデータを
整理し、解析可能なスペクトルデータ解析手段６６が備
えられている。そして、これらのスペクトルデータ採取
手段６４、スペクトルデータ解析手段６６により採取さ
れたスペクトルデータはＣＰＵ２０によって、ハードデ
ィスク３０などの記憶手段に記憶されるのである。

【００４１】本発明において特徴的なことは、表示手段
に表示されている被測定物の拡大画像を観察していて、
観察者がスペクトルデータを採取したいと思う部位、あ
るいはスペクトルを採取した部位が一目でわかるよう
に、前記座標系イメージ５８上に目印６８がつけられる
点である。この結果、観察者はマップ５６を見て一目で
被測定物のどの部位からスペクトルデータを採取するの
か、あるいはしたのかを知ることができる。

【００４２】本発明の装置においては、スペクトルデー
タを採取するための装置の動作方法は２つあり、１つ
は、被測定物の観察画像を観察していき、スペクトルデ
ータを採取したい場合には、どの部位のスペクトルデー
タを採取するのかという位置座標情報と、スペクトルを
採取する際に使用するアパーチャの設定情報を入力して
おき、一通り採取部位を決定してから自動で指定した部
位のスペクトル採取を行う方法であり、もう一つは、観
察しながら所望の部位のスペクトルを採取していく方法
である。

【００４３】第一の方法では、スペクトル採取部位の位
置座標情報と、アパーチャの設定情報を装置に入力する
と、前記マップ上で対応位置座標の場所にフラッグ型の
印が付けられる。そして、観察者が一通りスペクトル採
取希望位置の情報を入力し、スペクトル採取を開始させ
ると、目印の付けられた座標における被測定物位置のス
ペクトルデータを自動採取していくのである。このため
観察者は、あらかじめスペクトルデータを採取する位置
を入力するだけで、スペクトルデータを採取中には装置
についている必要がないため、スペクトル測定のために
拘束される時間が少なくなる。

【００４４】第二の方法では、スペクトル採取部位の位
置座標情報と、アパーチャの設定情報を装置に入力し、
その場でスペクトルデータを採取させると前記マップ上
でスペクトルデータを採取した位置座標に対応する場所
にフラッグ型の印が付けられるのである。

【００４５】そして、スペクトルデータを採取した位置
座標情報と、それに対応するマップ上に付けられた印、
及びその位置座標において採取されたスペクトルデータ
は、関連づけられてハードディスク３０に記憶されてお
り、スペクトルデータ採取後に、任意の目印にマウスカ
ーソルなどをあわせてクリックして選択すると、その目
印が付けられた位置に対応する座標の被測定物画像また
はスペクトルデータ、あるいは被測定物画像とスペクト
ルデータの両方を表示手段上に表示するのである。

【００４６】なお本形態において、前記した印を選択し
た際に表示される被測定物画像は、記憶されている位置
座標情報に基づいてステージを駆動させて表示させたリ
アルタイムの被測定物画像であるが、これに限られる物
ではなく、あらかじめ被測定物画像の情報も位置座標や
スペクトルデータなどの情報と共に関連づけて記憶させ
ておき、その画像データを再生させた物であっても良
い。

【００４７】また本形態における印は、フラッグ型の印
を用いており、スペクトルを採取する位置情報とアパー
チャの設定方法が入力され、まだスペクトル採取が行わ
れていない場所は黄色のフラッグが、スペクトルデータ
がすでに採取された場所は青のフラッグが、スペクトル
を採取中の場所には赤のフラッグがそれぞれつけられる
ように構成されているが、本発明の言う印はこのフラッ
グのみに限られる物ではなく、また印の色も限定する物
ではない。

【００４８】以上、説明したように本発明は、比較的操
作の難しい顕微装置を簡単に操作することが可能であ
る。以下、本発明の顕微装置を赤外分光光度計に適用し
た実施例を用いてさらに詳しく説明する。

【００４９】

【実施例】本発明を適用した赤外顕微鏡装置の概要図を
図５に示す。同図に示すように赤外顕微装置７０は、被
測定物を載置するステージ７２を備えた赤外顕微鏡７４
を含む顕微装置であって、前記ステージ７２はステップ
モータ（駆動機構）が備えられており、ステージを駆動
することが可能である。モータは制御手段を介してコン
ピュータ７６に接続されており、制御手段とコンピュー
タはステージの制御状態と観察者が指示したステージの
動作情報を双方向で情報を交換している。

【００５０】また顕微鏡７４の三眼ファインダ７８の上
方にはＴＶカメラコントローラを介してＣＣＤカメラ８
０（画像読み込み手段）が顕微鏡画像を取り込み可能に
接続されており、ＣＣＤカメラによって取り込まれた画
像情報は、ビデオインターフェースを介して表示手段で
あるＣＲＴ８２上に表示されると共にコンピュータ７６
に送られている。

【００５１】そして、ＣＲＴ８２上にはコンピュータ７
６によってステージの移動方向と移動スピードを一括し
て設定するためのコントローラ・イメージ８４が表示さ
れており、またコンピュータ７６には観察者が情報を入
力するための外部入力手段としてマウス８６及びキーボ
ード８８が接続されている。このような構成をもつ顕微
装置７０は、観察者がマウス８６によってコントローラ
・イメージ８４を操作することで顕微鏡７４のステージ
７２を操作することが可能である。

【００５２】また本発明の顕微装置７０には、被測定物
のスペクトル採取を可能にする赤外分光光度計（ＦＴＩ
Ｒ）９０（スペクトル採取手段）が備えられており、こ
の分光光度計９０もコンピュータ７６に接続され、その
測定結果からコンピュータによりスペクトルを解析する
ことが可能である。

【００５３】以下、ＰＰフィルムを試料として観察する
過程を通して、本顕微装置の動作を説明する。本顕微鏡
７４は赤外の透過測定及び反射測定の両方を行うことが
できるが本実施例においては透過測定を行うこととし
た。まず被測定物となる試料をステージ７２上に配置す
る。続いて透過測定の場合に必要になることは集光鏡の
位置調整である。

【００５４】図６にガセグレイン集光鏡の位置調整にお
いて用いられる顕微鏡７４の光学系の概要図を示す。同
図に示すように赤外分光光度計（ＦＴＩＲ）から顕微鏡
内に入射した赤外光９２は、ミラー９４、凹面鏡９６、
ミラー９８を経てガセグレイン鏡１００に至り、ガセグ
レイン鏡対１００、１０２の間で焦点を結ぶように集光
される。ガセグレイン集光鏡対１００、１０２を通過し
た光は凹面鏡１０６、レンズ１０８を経て検出器１１０
に入射され、その強度が検出される。そしてガセグレイ
ン鏡対１００、１０２のちょうど焦点に当たるところに
被測定物１０４が配置されるようになっている。ところ
がここに配置される被測定物１０４の厚さや屈折率によ
って被測定物１０４から焦点がずれてしまう場合があ
る。これを調整するためにガセグレイン鏡の位置調整が
必要になってくるのである。

【００５５】従来においてはこのガセグレイン集光鏡の
位置調整は、手動で行われていた。しかし本実施例の顕
微装置７０はこの作業も自動化している。ＦＴＩＲが動
作した状態で赤外光のインターフェログラムは、図７
（ａ）のようになる。インターフェログラムの中心付近
に現れるピークはセンターバーストと呼ばれ、ＦＴＩＲ
に使われるＨｅ−ＮｅレーザとＦＴＩＲ内の移動鏡によ
る干渉光の共鳴によってほんの短い時間だけ現れる信号
である。すると、このセンターバーストを除外すれば、
ほぼＤＣ成分の信号であると見なしても差し支えがなく
なる。そこで、顕微鏡７４内に照射されてきた図７
（ａ）のようなインターフェログラムを示す赤外光に図
６に示したようなチョッパー１１２等を用いて変調をか
けてやると、ガセグレイン鏡対１００、１０２を通過し
てきた光は凹面鏡１０６、レンズ１０８を経て、検出器
１１０によって図７（ｂ）のような信号が検出される。

【００５６】よって、ガセグレイン鏡１０２を被測定物
１０４にピントを合わせておき、この信号を検出器１１
０によって検出しながら、ガセグレイン鏡１００を上下
動させて検出される赤外光の検出信号の変調振幅が最大
になる位置にガセグレイン鏡１００を移動することによ
って位置調整することが可能である。

【００５７】そこで本実施例の顕微装置７０は、ガセグ
レイン鏡１００がモータによって移動可能に構成されて
おり、試料をステージ上に載置した後、アパーチャ１１
４を設定して、被測定物像を観察する際に使用するハー
フミラー１１６、１１８を光路上からはずして、透過ス
ペクトル測定を行うように光学系を調整した後、ガセグ
レイン鏡１００の自動位置調整を行うように指示を与え
ると、チョッパー１１２が光路上にセットされて作動
し、赤外光の変調信号を検出器１１０で測定しながらモ
ータ駆動によってガセグレイン鏡１００を赤外光の変調
信号の振幅が最大になる位置に移動するのである。

【００５８】なお本実施例において検出器１１０で用い
られる変調信号の検出方法は、チョッパーによる赤外光
の変調が重なったインターフェログラムを取り込み、そ
のインターフェログラムの最大振幅からチョッパーによ
る変調の振幅を見積もっている。ただし、インターフェ
ログラムのセンターバースト付近のデータは除外してい
る。

【００５９】また、赤外の変調方法としてはチョッパー
を用いたが、ガセグレイン鏡の位置調整中にＦＴＩＲ内
の移動鏡は通常通りに動作している状態であっても、動
作を止めている状態、またはセンターバーストから十分
離れた位置で微小に往復運動している状態のいずれの状
態であっても差し支えない。また、赤外光の変調周波数
は、データのサンプリング周波数の１／４以下であるこ
とが望ましい。

【００６０】このようにガセグレイン集光鏡の位置調整
が終了すると、光学系を図８のように切り替える。図８
において、図６と同じものには同じ番号を付している。
同図に示したように、被測定物像を観察する際は、ハー
フミラー１１８を光路中に挿入し、観察用光学系に光を
導入する。ガセグレイン鏡１０２を経た被測定物像は、
ハーフミラー１１８により反射され、ミラー１２０によ
りレンズ１２２に導入され、レンズ１２２によって平行
光に変換される。平行光に変換された被測定物像はレン
ズ１２４によって平面ｌ上に結像され、この結像された
被測定物像が接眼レンズ１２６を通して観察すされるの
である。この像を観察するには顕微鏡７４が備える三眼
ファインダ７８を用いても良いし、ＣＣＤカメラ８０に
よって取り込まれ、ＣＴＲ８２上に表示された被測定物
画像でも観察することが可能である。

【００６１】被測定物の観察をするに当たって、はじめ
は低倍率で被測定物の全体像を観察した。すると、被測
定物の全体の大きさは、本顕微装置のステージ駆動可能
範囲に設定されている座標範囲より小さいことがわかっ
た。前述したように本発明の顕微装置は、ステージ駆動
可能範囲全体に座標系が設定されている。そして、その
座標系がイメージ化されたマップが表示手段に表示され
ることとなる。現在は低倍率で被測定物像を観察してい
るため、被測定物の全体像を観察することが可能である
が、高倍率で観察する際には、マップがあるといえど
も、被測定物からはずれた場所に迷い込み、観察作業を
妨げる可能性がある。そのため本実施例においては、こ
のよう被測定物が座標範囲より小さい場合は、被測定物
の大きさに合わせた座標系イメージでマップを作成する
ことが可能となっている。

【００６２】図９はＣＴＲ８２上に表示された被測定物
の観察像である。この被測定物像１２８の大きさに合わ
せた座標系イメージを設定するには、まずマウスポイン
タ１３０を用いて、被測定物全体が含まれるような範囲
１３２を想定し、その範囲１３２の対角線１３４を定め
ることにより設定される。実際の設定は、観察者がマウ
スポインタ１３０をポイント１３６でクリックして一点
を定め、さらにポイント１３８をクリックすることで二
点が定められ、その二点１３６−１３８を結ぶ直線１３
４が設定される。二点が入力されると、コンピュータ７
６はその二点を結ぶ直線１３４を対角線とする長方形範
囲１３２を計算し、その長方形１３２を座標系イメージ
全体とするのである。つまりこの設定において観察者は
最適な二点を入力するだけである。

【００６３】座標系イメージの設定をした後、さらに倍
率をあげて被測定物の観察を行った。なお被測定物の観
察部位を変えるためのステージ操作はコントローラ・イ
メージによって行い、その操作方法は前記した通りであ
る。また本実施例においてもコントローラ・イメージは
被測定物画像と重ねて表示されており、観察画像を見な
がらにしてステージ操作が可能であることや、絶対座
標、および相対座標の入力によりステージ操作が可能で
あることも同様である。よって、ここでは説明を省略す
る。

【００６４】高倍率で、座標系イメージに記録されてい
ったマップを参考にしながら観察を進めていくとある部
位で被測定物であるＰＰフィルム上に汚れを発見した。
そこでこの汚れのスペクトル測定を行うこととした。本
発明においてスペクトル測定を行う方法は２通りあるこ
とは前記したとおりである。本実施例においてもどちら
の方法によっても測定することが可能であるが両方の作
業に共通して必要なことは、アパーチャの設定の入力
と、スペクトル測定位置の入力である。

【００６５】本実施例ではスペクトル測定を行いたいと
所望する場所を発見したら、ＣＴＲ８５上に表示された
被測定物像上でその部位をマウスポインタによりクリッ
クし、この場所でスペクトル測定するように入力する。
すると顕微装置７０のコンピュータ７６は、アパーチャ
の設定を入力するように表示画面上に表示するので、観
察者はその指示に従ってアパーチャを設定すればよい。

【００６６】本実施例における顕微装置７０はアパーチ
ャを設定する際に被測定物像のどの部位からスペクトル
を採取しているのかが視覚的に確かめられる光学配置を
適用している。再び図８を参照しつつ、本顕微鏡７４の
光学配置を説明する。

【００６７】通常、顕微鏡の光学系はスペクトルを採取
するための検出器と、被測定物像を観察する接眼レンズ
１２６は別々に配置されており、被測定物からの光をス
ペクトル採取中は検出器側に、被測定物像観察中は接眼
レンズ側にミラー等を用いて導入している。このような
構成であると観察者がアパーチャを設定する際、実際に
被測定物のどの位置のスペクトルを採取するのか確かめ
ることができない。そのため、アパーチャ１１４をはさ
んだ対物鏡１０２と反対側に照明光源１４０を設け、ア
パーチャ設定中は、この光源から光を照射してアパーチ
ャから被測定物方向に光を照射する。そしてこの光を被
測定物像と合成することによって、被測定物のどの部位
にどのような大きさのアパーチャが設定されているのか
を確かめながら設定を行うことができるのである。

【００６８】従来の装置においてはアパーチャからの光
と、被測定物像を合成するために様々な光学系が取られ
てきた。しかし従来の装置は２つの光学系を組み合わせ
て一つの像として結像させていたため、光学調整に手間
がかかるものであった。本実施例においては、光学調整
を容易に行える上に光学系を簡易化するために被測定物
像の光と、アパーチャからの光を平行光束に変換した後
両者を合成する方法を採っている。

【００６９】前記したように被測定物像は、ガセグレイ
ン鏡１０２を経た後、ハーフミラー１１８により反射さ
れ、ミラー１２０によりレンズ１２２に導入され、レン
ズ１２２によって平行光に変換される。そして平行光に
変換された被測定物像はレンズ１２４によって平面ｌ上
に結像され、この結像された被測定物像は接眼レンズ１
２６を通して観察する。

【００７０】またアパーチャ１１４を設定する際には検
出器１１０に被測定物からの光を導入するための凹面鏡
１０６を光路外に退避させておき、照明光源１４０を点
灯する。照明光源１４０からの光はアパーチャ１１４を
通過して、光路中に挿入されたハーフミラー１１６によ
って反射され、レンズ１４２に導入される。そしてレン
ズ１４２で平行光に変換され、そのままミラー１４４、
ハーフミラー１４６によって反射され、レンズ１２２に
よって平行光に変換された被測定像の光と合成される。
そして、この合成像はレンズ１２４によって平面ｌ上に
結像される。これによって接眼レンズ１２６を通して観
察すると被測定物像とアパーチャ像は合成されて観察さ
れるのである。

【００７１】なお肉眼で観察するときには可視光によっ
て被測定物像が観察されている。このため、照明光源１
４０から照射される光が白色光であると、せっかく合成
されたアパーチャ像が被測定物像に紛れてしまいよく観
察することができない。そこで従来装置ではアパーチャ
からの光に色ガラスやフィルターなどを通して着色を行
っていた。このため光学構成が複雑化していた。また照
明光源としては主としてハロゲンランプ等を使用してい
た。このためランプの寿命がくるとランプの交換が必要
となり、非常に煩雑な作業を行わなければならなかっ
た。

【００７２】この両者を解決するため本実施例において
は、照明光源１４０として高輝度発光ダイオード（ＬＥ
Ｄ）を使用している。高輝度発光ダイオードは赤、ある
いは緑などの色の光を発光するため、色ガラスやフィル
ターによる着色を必要とせず、フィラメントの寿命によ
るランプ交換も不要になるため、光学系の簡易化とそれ
に伴うコストダウンが実現できた。

【００７３】アパーチャ照明用光源１４０は、光源像、
つまりランプの像が観察されないように照明光源を配置
する位置を配慮することが必要である。光源像が観察さ
れる位置に配置してしまうと、被測定物像にランプの像
が重なって観察され、観察の妨げとなるからである。

【００７４】以上のように、被測定物の特定部位のスペ
クトルを測定するために、測定位置、アパーチャの設定
条件が設定されると、観察者はその場で測定するか、被
測定物の他の部位での測定位置、アパーチャの情報を入
力した後まとめて測定するのかを選択して入力すること
ができる。

【００７５】スペクトルの測定には、図１０に示したよ
うな光学系に切り替えた後行われる。なお図１０では、
図６、８と同じ部位には同じ番号が付されている。同図
に示すように観察用光学系に被測定物像を導入していた
ハーフミラー１１８は光路外に退避させられ、同様にア
パーチャ設定時にアパーチャ像を被測定物像と合成する
ために用いられたハーフミラー１１６も光路外に退避さ
せられている。またアパーチャ像を映し出すための照明
光源１４０も消灯され、アパーチャ設定時に退避されて
いた検出器１１０に光を導入するための凹面鏡１０６が
光路上にセットされる。また、ガセグレイン鏡１００の
位置調整の際に使用されたチョッパー１１２も光路外に
退避されている。このような光学系を用いることによっ
て、赤外分光光度計９０を作動させることによってスペ
クトルデータが採取され、採取されたデータはコンピュ
ータ７６に送られて、解析、整理され、観察者にスペク
トル情報を表示することが可能なのである。

【００７６】なおこのとき表示手段に表示されている座
標系イメージには、測定位置情報、アパーチャ設定情報
の入力が完了された位置、スペクトル測定が行われた位
置、スペクトル測定が行われている位置に、それぞれ異
なる色のフラッグ型イメージが、前記座標系イメージ上
の対応位置に付けられることは前記したとおりである。

【００７７】以上のような手順によって本実施例を用い
て、合計３カ所のＰＰフィルム上の汚れのスペクトルデ
ータを採取した。座標系イメージ上ではスペクトルデー
タが採取された位置に対応する場所にスペクトルデータ
採取済みのフラッグ型目印が付けられていた。本実施例
では、このフラッグ型目印の一つを選択してマウスポイ
ンタによってクリックすると、その位置で採取されたス
ペクトルデータと、被測定物画像を表示するようになっ
ている。

【００７８】図１１はフラッグ型目印の一つを選択され
た際に表示された表示画面を示すものである。同図に示
す表示画面１４８の左上部分には座標系イメージマップ
１５０が表示されており、イメージマップ中には被測定
物のスペクトルが採取された位置に対応した場所に目印
１５２、１５４、１５６がそれぞれ表示されている。

【００７９】そして観察画像表示画面には選択された目
印１５４に対応する座標の被測定物画像１５８が表示さ
れている。本実施例ではスペクトルが採取される際に同
時に画像データも取り込まれており、コンピュータのハ
ードディスクに保存されるため、被測定物画像１５８
は、このハードディスクから読み出され表示されている
が、スペクトルを採取する際に入力された位置情報に基
づいて、ステージを駆動させて実際の観察画像を表示さ
せるようにしても良い。

【００８０】さらに表示画面上方には、目印１５４に対
応する被測定物の座標において測定されたスペクトルデ
ータ１６０が表示されている。このように本実施例で
は、任意の目印が選択されると、その位置に対応する被
測定物の被測定物画像とスペクトルデータが表示される
ようになっている。

【００８１】なお本実施例においてはスペクトルデータ
と被測定物画像の両方を表示させる構成となっている
が、スペクトルデータ、あるいは被測定物画像のどちら
か一方であっても良い。

【００８２】また、本実施形態においては座標系イメー
ジ１５０の下に各フラッグの位置座標が表示されてお
り、どのフラッグがどこの位置にあるものかが数値的に
も確認することが可能である。この位置情報１６２は、
座標系イメージ上にフラッグが表示されると、表示され
るようになっており、必要のない場合は消去すること
も、消去した情報を再び表示させることもできる。ま
た、位置情報１６２の隣には、スペクトル採取決定チェ
ック欄１６４があり、あらかじめスペクトル採取位置を
決定しておき、後からまとめて測定する場合、スペクト
ル採取位置を指定してもいても、このチェック欄１６４
のチェックをはずしておくことでスペクトルの採取を取
りやめることができる。

【００８３】以上説明したように、本発明の顕微装置は
操作が非常に簡便である。本実施例を、モニター１０名
に実際の観察に使用して操作性について評価する調査を
行ったところ非常に使いやすいと言う評価を得ることが
できた。

【００８４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の顕微装置
はステージ操作を簡便にすることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施形態である顕微装置の概
要図である。

【図２】図２は表示画面上に表示された被測定物の画像
とコントローラ・イメージの表示例である。

【図３】図３はコントローラ・イメージの設定例であ
る。

【図４】図４は表示画面に表示されたマップの表示例で
ある。

【図５】図５は本発明を適用した赤外顕微鏡装置の概要
図である。

【図６】図６はガセグレイン集光鏡の位置調整において
用いられる顕微鏡７４の光学系の概要図である。

【図７】図７はＦＴＩＲのインターフェログラムと変調
をかけられたインターフェログラムである。

【図８】図８は被測定物像観察時において用いられる顕
微鏡７４の光学系の概要図である。

【図９】図９はＣＴＲ８２上に表示された被測定物の観
察像である。

【図１０】図１０はスペクトル測定時において用いられ
る顕微鏡７４の光学系の概要図である。

【図１１】図１１はフラッグ型目印の一つを選択された
際に表示された表示画面を示すものである。

【符号の説明】

２ 顕微装置 ４ ステージ ６ 顕微鏡 ８ 駆動機構 １０ 制御手段 １２ 画像読み込み手段 １４ 表示手段 １６ コントローラ・イメージ １８ 外部入力手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 裕 東京都八王子市石川町2967番地の５ 日本 分光株式会社内 (72)発明者 深沢 与四郎 東京都八王子市石川町2967番地の５ 日本 分光株式会社内 (72)発明者 千坂 高雅 東京都八王子市石川町2967番地の５ 日本 分光株式会社内 (72)発明者 峯尾 弘 東京都八王子市石川町2967番地の５ 日本 分光株式会社内 Ｆターム(参考） 2H052 AB06 AB24 AB25 AB26 AC05 AC13 AC27 AC33 AD19 AD20 AF07 AF13 AF14 AF22 AF23

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物を載置するステージを備えた顕
   微鏡を含む顕微装置において、 前記ステージを駆動する駆動機構と、 前記駆動機構の動作を制御する制御手段と、 前記顕微鏡の画像データを読み込む画像読み込み手段
   と、 前記画像読み込み手段により読み込まれた画像を表示す
   る表示手段と、 前記ステージの動作を観察者が指示するためのステージ
   動作指示手段と、が備えられており、 前記ステージ動作指示手段は、表示手段に表示されたス
   テージの移動方向と移動スピードを一括して設定可能な
   コントローラ・イメージと、ステージの移動方向と移動
   スピードを設定するための外部入力手段からなることを
   特徴とする顕微装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の装置において、該コント
   ローラ・イメージが表示手段上に表示された被測定物画
   像上に重ねて表示されていることを特徴とする顕微装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１または２のいずれかに記載の装
   置において、コントローラ・イメージは、少なくともＸ
   −Ｙ方向用コントローラ・イメージを備えており、 Ｘ−Ｙ方向用コントローラ・イメージは、同心円の的状
   イメージとポインタからなり、 ステージが停止している状態では前記的状イメージの中
   心にポインタが存在し、 ステージの駆動設定は、ステージを駆動させたい方向に
   該外部入力手段によってポインタを的状イメージ上で移
   動させることで、移動スピードは前記ポインタと的状イ
   メージの中心からの距離の大きさに比例するように設定
   され、 前記設定は制御手段に伝えられ、制御手段に伝えられた
   設定に基づいて駆動手段を駆動することでステージをコ
   ントロールすることを特徴とする顕微装置。
4. 【請求項４】 請求項１または２のいずれかに記載の装
   置において、コントローラ・イメージは、少なくともＺ
   軸方向用コントローラ・イメージを備えており、 Ｚ軸方向用コントローラ・イメージは、直線状イメージ
   とポインタからなり、 ステージが停止している状態では前記直線状イメージの
   中心にポインタが存在し、 ステージの駆動設定は、ステージを駆動させたい方向に
   該外部入力手段によってポインタを直線状イメージ上で
   移動させることで、移動スピードは前記ポインタと直線
   状イメージの中心からの距離の大きさに比例するように
   設定され、 前記設定は制御手段に伝えられ、制御手段に伝えられた
   設定に基づいて駆動手段を駆動することでステージをコ
   ントロールすることを特徴とする顕微装置。
5. 【請求項５】 請求項１または２のいずれかに記載の顕
   微装置において、 該駆動手段によってステージが駆動可能な範囲に座標が
   設定されており、 該外部入力手段によって任意の位置座標を指定入力する
   と、前記入力座標を中心とした被測定物画像を表示手段
   上に表示するように制御手段が駆動手段を駆動させるこ
   とで表示手段に指定座標位置の被測定物画像を表示する
   ことが可能なことを特徴とする顕微装置。
6. 【請求項６】 請求項１または２のいずれかに記載の顕
   微装置において、 該駆動手段によってステージが駆動可能な範囲に座標が
   設定されており、 該外部入力手段によって表示手段に表示中の被測定物画
   像との相対位置座標を指定入力すると、入力座標から移
   動方向と移動距離が計算され、前記計算結果に基づいて
   制御手段が駆動手段を駆動させることでステージをコン
   トロールし、表示手段に指定座標位置を中心とする被測
   定物画像を表示することが可能なことを特徴とする顕微
   装置。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の装置
   において、該駆動手段によってステージが駆動可能な範
   囲に座標が設定されており、 該表示手段には、Ｘ−Ｙ座標系の平面を表す座標系イメ
   ージが表示され、 前記座標系イメージには、表示手段に表示中の被測定物
   画像の座標範囲が示されていると共に、表示手段に被測
   定物画像としてすでに表示された座標範囲が自動で記録
   されるオートマッピング機能を備えたことを特徴とする
   顕微装置。
8. 【請求項８】請求項７記載の装置において、 該顕微装置には観察中の被測定物のスペクトルデータを
   採取するスペクトルデータ採取手段が備えられており、 該座標系イメージ上の任意の位置に目印を付けることに
   よって、目印の付けられた座標に対応する被測定物位置
   のスペクトルデータを自動採取することを特徴とする顕
   微装置。
9. 【請求項９】請求項７記載の装置において、 該顕微装置には観察中の被測定物のスペクトルデータを
   採取するをスペクトルデータ採取手段が備えられてお
   り、 被測定物の任意の位置でスペクトルデータを採取する
   と、スペクトルデータを採取した位置の座標に対応する
   該座標系イメージ上の位置に目印を付けることを特徴と
   する顕微装置。
10. 【請求項１０】 請求項８または９のいずれかに記載の
    装置において、 該座標系イメージ上に目印が付けられている場合、スペ
    クトルデータ採取後に、任意の目印を選択すると、その
    目印が付けられた位置に対応する座標の被測定物画像ま
    たはスペクトルデータ、あるいは被測定物画像とスペク
    トルデータの両方を表示手段上に表示することを特徴と
    する顕微装置。