JP2001089176A - 基板の切断方法及び支持台、切断装置並びに電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の静電気の発生を防止し、基板及びそれ
を用いた電気光学装置の静電気に起因する種々の不良の
発生を防止し、製造工程に係る時間を短縮し、製造コス
トの低減を図ることのできる基板の切断方法及び支持
台、切断装置並びに電気光学装置の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 本発明は、表面３２ａに溝３３が形成さ
れ、この溝３３に水分を含む弾性部材３４が表面３２ａ
から突出するように設けられた支持台３１上に切断され
る基板を載置する工程と、この基板の自重により弾性部
材３４を押圧し弾性部材３４よりしみ出る水分により基
板の一主面が濡れた状態で基板を切断する工程とを有す
ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板の切断方法及
び支持台、切断装置並びに電気光学装置の製造方法に関
し、特に、基板の切断時に静電気の発生を防止し得る技
術に関する。

【０００２】

【従来の技術】代表的な電気光学装置である液晶表示装
置は、一対の基板の間に液晶等の電気光学材料を封入す
ることによって形成される液晶表示パネルに、液晶駆動
用回路、照明装置、支持体等の付帯要素を組み合わせる
ことにより構成されている。

【０００３】例えば、電気光学装置の一実施形態である
液晶表示装置に使用される液晶パネルは、図１１に符号
１１で示したように、一対の基板１ａ、１ｂを互いに対
向して貼り合わせ、それら基板１ａ、１ｂの間に形成さ
れる微小間隙内に液晶３を封入することによって構成さ
れる。

【０００４】上記のような２枚の基板を対向させて張り
合わせた構造の電気光学装置には、液晶装置のほかにエ
レクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディス
プレイ等がある。

【０００５】ここで、液晶装置を例に挙げてそれに使用
する液晶パネルの製造方法を説明する。図１１に示すよ
うな液晶パネル１１は、図１２に示すような液晶パネル
母材１６から得られる。即ち、一対の基板母材５１ａ、
５１ｂの表面の、液晶基板領域４ａ、４ｂにそれぞれの
必要な要素を構成した後、それらの基板母材５１ａ、５
１ｂを微小間隙をもって互いに貼り合わせて液晶パネル
母材１６とし、その後液晶パネル母材１６の各基板母材
５１ａ、５１ｂをそれぞれ所定の形状に切断することに
より得られる。

【０００６】ここで、「基板母材」とは液晶パネルを構
成するための素材である基板材料を意味する。また、
「液晶パネル母材」とは、液晶パネルの構成に必要な各
構成要素を搭載した２枚の基板を張り合わせたものを意
味する。また、「液晶基板領域」とは、基板上の液晶パ
ネルの構成に必要な各構成要素を搭載すべき領域を指
す。

【０００７】１枚の液晶パネル母材には、ただ１個の液
晶基板領域を含む場合と、複数個の液晶基板領域を含む
場合がある。

【０００８】液晶パネル母材の切断方法は、先ず一方の
基板母材５１ｂの表面の液晶基板領域４ｂの外周に沿っ
た所定位置にスクライブ溝Ｌ_Aを設けた後、このスクラ
イブ溝Ｌ_Aを形成した部分を基板母材５１ｂの反対側
（すなわち基板母材５１ａ側）から押圧し、これにより
スクライブ溝を起点として発生する亀裂を進行させるこ
とにより、基板母材５１ｂの切断を行なう。次いで、も
う一方の基板母材５１ａの表面の液晶基板領域４ａに沿
った所定位置に、上記と同様の方法でスクライブ溝Ｌ_B
を設け、スクライブ溝Ｌ_Bを設けた部分を基板母材５１
ａの反対側（すなわち基板母材５１ｂ側）から押圧し、
これによりスクライブ溝Ｌ_Bを起点として発生する亀裂
を進行させることにより、基板母材５１ａの切断を行な
う。

【０００９】スクライブ溝を形成する場合、図１３
（ａ）に示すような線状溝形成装置７を使用する。この
線状溝形成装置７は、外周先端が円周方向の全域で尖っ
ている硬質物質からなる円盤状のスクライブ・ローラー
９と、スクライブ・ローラー９を図１３（ａ）の矢印方
向（Ｂ−Ｂ’）に上下させる昇降装置２１と、スクライ
ブ・ローラー９および昇降装置２１の全体を紙面垂直方
向に往復直線移動させるための直線移動装置２２から構
成されている。

【００１０】ここでは、先ず、切断する液晶パネル母材
１６を基板母材５１ｂを上側にして処理ステージ５２上
の所定のスクライブ溝Ｌ_Aの切断位置に搬送し、ついで
昇降駆動装置２１を作動させてスクライブ・ローラー９
を基板母材５１ｂの表面に所定圧力で押し付ける。この
状態で直線移動装置２２を作動させてスクライブ・ロー
ラー９を紙面垂直方向へ往復運動させる。これによりス
クライブ・ローラー９が基板母材５１ｂの表面を転がり
ながら移動し、その結果基板母材５１ｂ表面の所定の適
所に符号Ｌ_Aで示す直線状の溝、いわゆるスクライブ溝
５４が形成される。

【００１１】また、スクライブ溝５４を形成した部分を
基板の反対側から押圧するには、図１３（ｂ）に示すよ
うな押圧装置８を使用する。この押圧装置８は、機枠２
３によって支持された昇降駆動装置２４と、先端部が硬
質ゴムによって構成された押圧子２６とから構成され
る。

【００１２】上記の通りスクライブ溝Ｌ_Aが形成された
液晶パネル母材１６を反転させ、スクライブ溝Ｌ_Aが形
成された裏側（基板母材５１ａ側）に押圧装置８の押圧
子２６を当て、昇降駆動装置２４を駆動させて、例えば
所定の短時間だけ基板母材を叩くように作用させる。こ
れによりスクライブ溝Ｌ_Aを起点として亀裂が生じ、基
板母材５１ｂが所定のスクライブ溝Ｌ_Aに沿って切断さ
れる。

【００１３】上記のような切断工程を各基板母材５１
ａ、５１ｂの表示領域４に沿った所定の位置に適用する
ことにより、図１２に示す液晶パネル母材１６から、図
１１に示す液晶パネル１１が得られる。

【００１４】また、液晶パネル１１が小さい場合には、
生産効率を上げるため、図１４に示すような大きな液晶
パネル母材１６を切断することにより得ている。

【００１５】即ち、一対の基板母材５１ａ、５１ｂの表
面にそれぞれ複数個の液晶基板領域４に必要な要素を構
成した後、それらの複数個の液晶基板領域４を重ね合わ
せて基板母材５１ａ、５１ｂを微小間隙をもって互いに
貼り合わせる。その後、個々の液晶基板領域４の外周に
沿って基板母材５１ａ、５１ｂを所定の形状に切断す
る。切断方法は、前述のとおりスクライブ溝を形成した
後押圧する方法を採用する。

【００１６】図１４では１枚の基板母材上に４個の液晶
基板領域を配置してある。図１４に示すような大型の液
晶パネル母材１６を、先ず図１５に示すように半分に切
断して中型の液晶パネル母材１７とし、次いで各液晶パ
ネル母材１７をさらに半分に切断して図１６に示すよう
な４枚の所定の大きさの液晶パネル１１を得る。図１４
において、切断線Ｌ_A、Ｌ_Bは基板母材５１ｂの切断線、
Ｌ_Cは基板母材５１ａの切断線である。また、図１５に
おいて、切断線Ｌ_Dは基板母材５１ｂの切断線、Ｌ_Eは基
板母材５１ａの切断線である。

【００１７】この結果、切断線Ｌ_Bと切断線Ｌ_Cは重な
り、２枚とも切断される。切断線Ｌ_Aの部分は基板母材
５１ｂだけなので端材１８が切り落とされる。

【００１８】図１５においても、同様にして、各液晶パ
ネル母材１７を半分に切断し、端材１８を切り落として
図１６に示す所定の大きさの液晶パネル１１を得る。

【００１９】ここで端材１８を切り落とした部分は端子
部分１５となる。

【００２０】上述した液晶パネル母材１６の切断方法に
おいては、切断時に液晶パネル母材１６に静電気が発生
するために、切断により得られた液晶パネル１１も静電
気が帯電したものとなる。この液晶パネル１１が帯電し
た状態で次工程に運ばれた場合、静電気に起因する種々
の不良が発生する虞がある。そこで、イオナイザー等の
イオン発生手段によりイオン化した空気を液晶パネル母
材１６に吹き付けつつ切断することにより、この液晶パ
ネル母材１６に発生する静電気を中和する方法が採られ
ている。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の液晶パネル母材１６の切断方法においては、イオン
化した空気を液晶パネル母材１６に吹き付けつつ切断す
ることにより、この液晶パネル母材１６に発生する静電
気を中和しているが、この方法では、静電気を完全に中
和するまでには、一定の時間の経過が必要とされるため
に、切断後直ちに次工程を実施することはできない。

【００２２】特に、切断工程がインライン装置に組み込
まれている様な場合、液晶パネル母材１６の静電気が完
全に中和されず、得られた液晶パネル１１も静電気が帯
電している状態で次の工程に移るために、液晶パネル１
１から静電気を完全に除去することは非常に難しく、静
電気に起因する種々の不良の発生を完全に防止すること
は困難である。

【００２３】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であって、基板の静電気の発生を防止し、基板及びそれ
を用いた電気光学装置の静電気に起因する種々の不良の
発生を防止し、製造工程に係る時間を短縮し、製造コス
トの低減を図ることを目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】本発明の基板の切断方法
は、表面に溝が形成され該溝に水分を含む弾性部材が該
表面から突出するように設けられた支持台上に切断され
る基板を載置する工程と、該基板の自重により前記弾性
部材を押圧し該弾性部材よりしみ出る水分により前記基
板の一主面が濡れた状態で該基板を切断する工程とを有
することを特徴とする。

【００２５】本発明の基板の切断方法によれば、支持台
の溝に設けられた水分を含む弾性部材により前記基板の
一主面が濡れた状態で該基板を切断するので、切断時に
前記基板に静電気が帯電する虞が無くなり、前記基板に
おける静電気の発生を防止することができる。したがっ
て、静電気が帯電することの無い所定形状の基板を得る
ことができる。

【００２６】また、基板に静電気が帯電していないの
で、切断後直ちに次工程を実施することが可能になり、
製造工程に掛かる時間の短縮、製造コストの削減を図る
ことができる。

【００２７】特に、基板の切断工程がインラインに組み
込まれている様な場合においても、静電気の帯電の無い
基板を速やかに次工程に送ることができるので、静電気
に起因する種々の不良の発生を防止することができる。

【００２８】本発明の基板の切断方法は、前記基板の一
主面が濡れた状態で、該基板の他方の主面に断面Ｖ溝状
のスクライブラインを形成し、該基板を反転させて該基
板の一主面の前記スクライブラインの溝に対応する位置
に切断用工具の刃先を押し付け、この状態で該工具に振
動を与え該基板を切断することが好ましい。

【００２９】この方法によれば、最も静電気が発生し易
い部分である基板上のスクライブラインに対応する位置
が常に濡れた状態となるので、切断時における静電気の
発生が効率良く抑制される。したがって、基板切断時に
おける静電気の発生を効率的に防止することができる。

【００３０】本発明の支持台は、切断される基板を支持
するための支持台であって、表面に溝が形成され、該溝
に水分を含む弾性部材が該表面から突出するように設け
られていることを特徴とする。

【００３１】本発明の支持台によれば、表面の溝に、水
分を含む弾性部材を該表面から突出するように設けたの
で、切断される基板を支持台上に載置した際に、基板の
自重により前記弾性部材が押圧されて該弾性部材より水
分がしみ出し基板の一主面が濡れた状態となり、切断時
における静電気の発生を防止する。

【００３２】前記弾性部材は、前記溝にその弾性力に抗
して押入されている構成としてもよい。

【００３３】また、前記弾性部材は、多孔性高分子材料
により構成してもよい。

【００３４】また、前記表面には、前記溝が複数本、所
定の間隔をおいて形成され、少なくとも１本または２本
以上の前記溝に前記弾性部材が押入されている構成とし
てもよい。

【００３５】本発明の基板の切断装置は、請求項３、
４、５または６記載の支持台と、該支持台に支持される
基板を切断するための切断用工具と、該切断用工具に振
動を与える振動体と、前記切断用工具を駆動させる駆動
手段と、前記振動体を振動させる発振手段とを備えたこ
とを特徴とする。

【００３６】本発明の基板の切断装置によれば、切断す
る基板を前記支持台に載置し、その基板の一主面が濡れ
た状態で前記切断用工具を用いて切断するので、切断時
において前記基板に発生する静電気を除去することが可
能になる。したがって、切断時における基板の静電気の
発生を防止することができる。

【００３７】本発明の電気光学装置の製造方法は、シー
ル材により接合された一対の基板を有する電気光学装置
の製造方法において、前記一対の基板をシール材を用い
て接合し、この接合状態の基板を、表面に溝が形成され
該溝に水分を含む弾性部材が該表面から突出するように
設けられた支持台上に載置し、この接合状態の基板の自
重により前記弾性部材を押圧し、該弾性部材よりしみ出
る水分により該接合状態の基板の一方の基板の一主面が
濡れた状態で他方の基板を切断することを特徴とする。

【００３８】本発明の電気光学装置の製造方法によれ
ば、切断時に前記基板に静電気が帯電する虞が無くな
り、切断時に前記基板における静電気の発生を防止する
ことができる。これにより、切断後直ちに次工程を実施
することができ、電気光学装置の製造工程に掛かる時間
の短縮、製造コストの削減を図ることができる。

【００３９】特に、基板の切断工程が電気光学装置のイ
ンラインに組み込まれている様な場合においても、静電
気の帯電の無い基板を速やかに次工程に送ることができ
るので、静電気に起因する種々の不良の発生を防止した
電気光学装置を作製することができる。

【００４０】本発明の電気光学装置の製造方法は、前記
電気光学材料を液晶とし、前記電気光学パネルを液晶パ
ネルとした構成としてもよい。

【００４１】

【発明の実施の形態】本発明の一実施形態について図面
に基づき説明する。

【００４２】まず、電気光学装置の一つである液晶装置
に使用される液晶パネルの場合を例に挙げて説明する。

【００４３】この液晶パネルはＴＦＤ構造のもので、こ
の液晶パネルに液晶駆動用回路、照明装置、支持体等の
付帯要素を装着することにより液晶装置が得られ、さら
に付帯する必要な部品を実装することにより最終製品で
ある電子機器となる。

【００４４】まず、この液晶パネルの製造方法について
説明する。

【００４５】ここでは、図１に示す大型の液晶パネル母
材１６から、図７に示す液晶パネル１１を４枚作る場合
を例に挙げて説明する。

【００４６】この液晶パネル１１は、シール材２によっ
て互いに対向するように貼り付けられた一対の透光性の
基板１ａ、１ｂを有する。１ａはＴＦＤ素子を搭載する
ための素子基板、１ｂはその素子基板１ａに対向する対
向基板である。素子基板１ａと対向基板１ｂとの間に電
気光学物質である液晶３が封入されている。

【００４７】上述した液晶パネル母材１６としては、先
ず面積の大きな一対の透光性を有する素子基板母材５１
ａ及びこれに対向する対向基板母材５１ｂを準備する。
これらの透光性を有する基板母材５１ａ、５１ｂには、
例えば、厚さ０．４ｍｍの透光性ガラス基板を使用す
る。この素子基板母材５１ａは液晶パネル１１の素子基
板１ａを形成するための基板母材であって、その母材中
には複数個（本実施形態では４個）の液晶基板領域４ａ
が含まれている。また、対向基板母材５１ｂは液晶パネ
ル１１の対向基板１ｂを形成するための基板母材であっ
て、その母材中にも複数個の液晶基板領域４ｂが含まれ
ている。

【００４８】この素子基板母材５１ａの各液晶基板領域
４ａの内側表面に、直線状の配線１２を互いに平行に複
数個配列し、それら配線１２の間に非線形抵抗素子とし
てのＴＦＤ素子１３を形成し、この上に個々のＴＦＤ素
子１３に対応して、スパッタリングによってインジウム
錫酸化物（Indium Tin Oxide、以下、ＩＴＯと略称す
る）膜を形成し、透光性の画素電極１４とする。

【００４９】次に、各液晶基板領域４ａ内の全域に配向
膜を形成し、さらにそれら液晶基板領域４ａの周辺部分
に、スクリーン印刷法によってシール材２を環状に印刷
する。この環状のシール材２の一部を開口２ａとし液晶
の注入口とする。

【００５０】一方、対向基板母材５１ｂについては、各
液晶基板領域４ｂの内側表面に、周知の成膜手段を用い
てカラーフィルター（図示せず）を形成する。次いで、
その上にスパッタリングによってＩＴＯ膜を形成し、さ
らにフォトリソグラフィーによりパターニングを施して
ストライプ状の透光性電極を形成する。さらにその透光
性電極の上に、配向膜を形成する。

【００５１】このように、各基板母材５１ａ、５１ｂに
上記の処理を施した後、いずれか一方の基板母材の電極
面上にビーズ状のスペーサを分散させ、両方の基板母材
５１ａ、５１ｂの電極面が対向するように両基板母材５
１ａ、５１ｂを互いに重ね合わせて貼り合わせる。この
ようにして、図１に示す大型の液晶パネル母材１６を作
製することができる。

【００５２】その後、このようにして作製された液晶パ
ネル母材１６を、図２及び図３に示す切断処理ステージ
（支持台）３１にセットして、液晶パネル母材１６の切
断処理を行う。

【００５３】この切断処理ステージ３１は、矩形状の板
体３２の表面３２ａに複数本（図では６本）の溝３３が
所定の間隔をおいて互いに平行に形成され、これら溝３
３各々には、水分を含んだ弾性部材３４が、その上端部
が表面３２ａから突出するように押入されている。

【００５４】この弾性部材３４は、例えば、スポンジ等
のような吸水性の多孔性高分子材料からなるもので、そ
の形状は、例えば、断面が三角形状の長尺の部材とされ
ている。弾性部材３４が吸収・保持する水分の量は、切
断される液晶パネル母材１６を該切断処理ステージ上に
載置した際に、液晶パネル母材１６の自重により弾性部
材３３が押圧されて該弾性部材３３よりしみ出し前記液
晶パネル母材１６の表面を濡らす程度の量が少なくとも
必要である。この水分の量が少なすぎると、液晶パネル
母材１６の表面を十分に濡らすことができず、切断時に
おける静電気の発生を防止することができない。

【００５５】この弾性部材３４は、その弾性力により溝
３３の側面を押圧することで該溝３３内に保持されてい
るので、少なくとも液晶パネル母材１６の切断が完了す
るまでは、該溝３３内で移動したりあるいは該溝３３か
ら離脱したり等のおそれはない。

【００５６】この切断処理ステージ３１を備えた切断装
置により液晶パネル母材１６の切断を行う。

【００５７】まず、図４（ａ）に示すように、切断する
液晶パネル母材１６を基板母材５１ｂを上側にして切断
処理ステージ３１の表面３２ａの所定のスクライブ溝５
４の切断位置に搬送する。弾性部材３４は、液晶パネル
母材１６の自重により押圧されて垂直方向に圧縮される
ので、該弾性部材３４の保水量を上回る量の水分が該弾
性部材３４よりしみ出し、液晶パネル母材１６の表面を
濡らすこととなる。

【００５８】この状態で、昇降駆動装置２１を作動させ
てスクライブ・ローラー９を基板母材５１ｂの表面に所
定圧力で押し付け、この状態で直線移動装置２２を作動
させてスクライブ・ローラー９を紙面垂直方向へ往復運
動させる。これによりスクライブ・ローラー９が基板母
材５１ｂの表面を転がりながら移動し、基板母材５１ｂ
表面の所定の位置にスクライブ溝５４を形成する。

【００５９】このようにして、 図５に示すように、基
板母材５１ｂの表面の液晶基板領域４の外周に切断線Ｙ
１に沿って直線状のスクライブ溝Ｌ_Bが、切断線Ｙ２に
沿って直線状のスクライブ溝Ｌ_Aがそれぞれ形成され
る。

【００６０】次いで、図４（ｂ）に示すように、スクラ
イブ溝５４が形成された液晶パネル母材１６を反転さ
せ、スクライブ溝５４が形成された裏側（基板母材５１
ａ側）に押圧装置８の押圧子２６を当て、昇降駆動装置
２４を駆動させて、例えば所定の短時間だけ基板母材を
叩くように作用させる。これにより、スクライブ溝５４
を起点として亀裂が生じ、基板母材５１ｂが所定のスク
ライブ溝Ｌ_B（Ｌ_A）に沿って切断される。この結果、液
晶パネル母材１６は、図６に示す２枚の中型の液晶パネ
ル母材１７となる。

【００６１】この際、切断線Ｙ２は液晶を注入する開口
２ａを横切るように形成される。液晶注入用の開口２ａ
の連なった中型の液晶パネル母材１７の段階で液晶の注
入を行うと、作業効率が良く好都合である。なお、図６
中符号１８は端材として除去される部分である。

【００６２】再度、図４（ａ）及び（ｂ）に示す切断方
法を用いて中型の液晶パネル母材１７を更に切断する。

【００６３】すなわち、上記で得られた中型の液晶パネ
ル母材１７の所定位置にスクライブ溝を形成し、この中
型の液晶パネル母材１７を反転し、素子基板母材５１ａ
を上にして切断処理ステージ３１の所定位置にセット
し、図６の切断線Ｚ１、Ｚ２に沿って直線状に切断す
る。その結果、図６に示す２枚の中型の液晶パネル母材
１７は、図７に示す２枚の所定の大きさの液晶パネル母
材１１となり、結局、図１に示す１枚の大型の液晶パネ
ル母材１６から、図７に示す４枚の所定の大きさの液晶
パネル母材１１が得られたことになる。

【００６４】この切断処理ステージ３１を備えた切断装
置の一例として、図８に示すインライン装置について説
明する。

【００６５】このインライン装置は、液晶パネル母材１
６の搬送方向（図中左から右へ向かう方向）に沿って、
液晶パネル母材１６をカセットより取り出す取り出し用
ロボット４１と、切断処理ステージ３１を備えガイドに
沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向共に移動可能な第１のスク
ライバー４２と、スクライブ溝５４が形成された液晶パ
ネル母材１６を反転させる第１の反転ロボット４３と、
ガイドに沿ってＹ軸方向にのみ移動可能な第１のブレー
カー４４と、切断処理ステージ３１を備えガイドに沿っ
てＸ軸方向及びＹ軸方向共に移動可能な第２のスクライ
バー４５と、搬送されてきた液晶パネル母材１６を反転
させる第２の反転ロボット４６と、ガイドに沿ってＹ軸
方向にのみ移動可能な第２のブレーカー４７と、この切
断工程により得られた液晶パネル母材１１を取り出し次
工程に送る送り用ロボット４８とにより概略構成されて
いる。

【００６６】このインライン装置では、取り出し用ロボ
ット４１により液晶パネル母材１６をカセットより取り
出し、この液晶パネル母材１６を搬送方向に送る。

【００６７】第１のスクライバー４２では、搬送されて
きた液晶パネル母材１６を基板母材５１ｂを上側にして
切断処理ステージ３１上の切断位置に載置し、基板母材
５１ｂ表面の所定の位置にスクライブ溝５４を形成す
る。

【００６８】第１の反転ロボット４３では、スクライブ
溝５４が形成された液晶パネル母材１６を基板母材５１
ａが上側になるように反転させる。

【００６９】第１のブレーカー４４では、反転した液晶
パネル母材１６を基板母材５１ａ側からスクライブ溝５
４に沿って切断し、液晶パネル母材１６を２枚の中型の
液晶パネル母材１７とする。

【００７０】第２のスクライバー４５では、２枚の中型
の液晶パネル母材１７を基板母材５１ａを上側にして切
断処理ステージ３１上の切断位置に載置し、基板母材５
１ａ表面の所定の位置にスクライブ溝５４を形成する。

【００７１】第２の反転ロボット４６では、スクライブ
溝５４が形成された液晶パネル母材１６を基板母材５１
ｂが上側になるように反転させる。

【００７２】第２のブレーカー４７では、反転した液晶
パネル母材１６を基板母材５１ｂ側からスクライブ溝５
４に沿って切断し、液晶パネル母材１６を４枚の液晶パ
ネル母材１１とする。

【００７３】このインライン装置により、切断工程の一
連の動作を連続して行うことができる。しかも、第１の
スクライバー４２及び第２のスクライバー４５において
は、切断処理ステージ３１により切断時に液晶パネル母
材１６に発生する静電気を効率良く除去し帯電を防ぐ。
これにより、液晶パネル母材１６から静電気を除去する
ことができ、得られた液晶パネル母材１１においても静
電気を除去することができる。したがって、液晶パネル
１１から静電気を完全に除去することができ、該液晶パ
ネル母材１１が静電気が帯電している状態で次の工程に
搬送されるおそれも無い。

【００７４】本実施形態によれば、切断時における液晶
パネル母材１６への静電気の発生を防止することがで
き、切断後直ちに次工程を実施した場合においても静電
気の帯電に起因する不良等の発生を防止することができ
る。したがって、液晶装置の信頼性を向上させることが
でき、この液晶装置の製造工程に掛かる時間の短縮、製
造コストの削減を図ることができる。

【００７５】本実施形態では、ＴＦＤ構造の液晶パネル
を例示したが、液晶表示方式はＴＦＤ構造に限らず、単
純マトリックス方式や、アクティブマトリックス方式の
液晶表示方式、例えば、ＴＦＴ方式の液晶表示方式にも
適用可能である。

【００７６】さらに、本実施形態では液晶パネルについ
て説明したが、本発明は液晶パネルに限らず、エレクト
ロルミネッセンスパネル（ＥＬＰ）、プラズマディスプ
レイ（ＰＤ）等にも適用可能である。

【００７７】次に、本発明により得られた液晶パネル母
材を用いて作製された液晶パネルを使用した電子機器に
ついて説明する。

【００７８】本発明により得られた液晶パネル母材を用
いて作製された液晶パネルを表示装置として使用した電
子機器の例を図９に示す。

【００７９】図９（ａ）は携帯電話の例を示す斜視図で
ある。１０００は携帯電話本体を示し、そのうち１００
１は液晶パネルである。

【００８０】図９（ｂ）は腕時計型電子機器の例を示す
斜視図である。１１００は時計本体を示し、１１０１が
液晶パネルである。

【００８１】図９（ｃ）はワープロ、パソコン等の携帯
型情報処理装置の例を示す斜視図である。図中１２００
は情報処理装置を示し、１２０２はキーボード等の入力
部、１２０４は情報処理装置本体、１２０６は液晶パネ
ルである。

【００８２】本発明により得られた液晶パネルを使用す
れば、静電気の帯電に起因する不良等の発生を防止する
ことができ、液晶パネルの信頼性を向上させることがで
き、この液晶パネルの製造工程に掛かる時間の短縮、製
造コストの削減を図ることができる。

【００８３】他の電子機器の例として、本発明により得
られた液晶パネルを光変調装置として使用した、プロジ
ェクタ（投射型表示装置）の例を図１０に示す。

【００８４】本例のプロジェクタは、システム光軸Ｌに
沿って配置した光源部１１０、インテグレータレンズ１
２０、変更変換素子１３０から概略構成される偏光照明
装置１００、偏光照明装置１００から出射されたＳ偏光
光束をＳ偏光光束反射面２０１により反射させる偏光ビ
ームスプリッタ２００、偏光ビームスプリッタ２００の
Ｓ偏光反射面２０１から反射された光のうち青色光
（Ｂ）の成分を分離するダイクロイックミラー４１２、
分離された青色光（Ｂ）を変調する反射型液晶光変調装
置３００Ｂ、青色光が分離された後の光束のうち赤色光
（Ｒ）の成分を反射させて分離するダイクロイックミラ
ー４１３、分離された赤色光（Ｒ）を変調する反射型液
晶光変調装置３００Ｒ、ダイクロイックミラー４１３を
透過した残りの緑色光（Ｇ）を変調する反射型液晶光変
調装置３００Ｇ、３つの反射型液晶光変調装置３００
Ｂ、３００Ｒ、３００Ｇにて変調された光をダイクロイ
ックミラー４１２、４１３、偏光ビームスプリッタ２０
０にて合成し、この合成光をスクリーン６００に投射す
る投射レンズからなる投射光学系５００から構成されて
いる。

【００８５】上記３つの反射型液晶光変調装置３００
Ｒ、３００Ｇ、３００Ｂには、それぞれ本発明により得
られた液晶パネルが使用されている。この液晶パネルを
使用することにより、静電気の帯電に起因する不良等の
発生を防止することができ、液晶パネルの信頼性を向上
させることができ、この液晶パネルの製造工程に掛かる
時間の短縮、製造コストの削減を図ることができる。

【００８６】

【発明の効果】本発明によれば、切断時における基板へ
の静電気の発生を防止することができる。したがって、
切断後直ちに次工程を実施することができ、製造工程に
掛かる時間の短縮、製造コストの削減を図ることができ
る。

【００８７】特に、基板の切断工程が電気光学装置のイ
ンラインに組み込まれている様な場合においては、静電
気の帯電の無い基板を速やかに次工程に送ることができ
るので、静電気に起因する種々の不良の発生を防止する
ことができ、信頼性の高い電気光学装置を作製すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態の液晶パネルの製造方法
の一工程を説明するための斜視図である。

【図２】 本発明の一実施形態の切断処理ステージを示
す斜視図である。

【図３】 図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【図４】 本発明の一実施形態の切断装置の一例を示す
説明図である。

【図５】 本発明の一実施形態の液晶パネルの製造方法
の一工程を説明するための斜視図である。

【図６】 本発明の一実施形態の液晶パネルの製造方法
の一工程を説明するための斜視図である。

【図７】 本発明の一実施形態の液晶パネルの製造方法
の一工程を説明するための斜視図である。

【図８】 本発明の一実施形態の切断装置の一例である
インライン装置を示す平面図である。

【図９】 本発明の製造方法により得られた液晶パネル
を備えた電気光学装置を使用した電子機器の例を示す図
である。

【図１０】 本発明の製造方法により得られた液晶パネ
ルを備えた電気光学装置を使用した電子機器の他の例を
示す図である。

【図１１】 従来の液晶パネルの一例を示す図である。

【図１２】 従来の液晶パネルの製造方法の一工程を説
明するための斜視図である。

【図１３】 従来の液晶パネルの製造方法の切断装置の
一例を示す説明図である。

【図１４】 従来の液晶パネルの他の製造方法の一工程
を説明するための斜視図である。

【図１５】 従来の液晶パネルの他の製造方法の他の一
工程を説明するための斜視図である。

【図１６】 従来の液晶パネルの他の製造方法のさらに
他の一工程を説明するための斜視図である。

【符号の説明】

１ａ・・・素子基板 １ｂ・・・対向基板 ２・・・シール材 ３・・・液晶 ４・・・液晶基板領域 ５・・・表示領域 ７・・・線形溝形成装置 ８・・・押圧装置 ９・・・スクライブ・ローラー １１・・・液晶パネル １２・・・配線 １３・・・ＴＦＤ素子 １４・・・画素電極 １５・・・端子部分 １６・・・液晶パネル母材（大型） １７・・・液晶パネル母材（中型） １８・・・端材 １９・・・液晶パネル母材 ２１・・・昇降駆動装置 ２２・・・直線移動装置 ２３・・・機枠 ２４・・・昇降駆動装置 ２６・・・押圧子 ３１・・・切断処理ステージ ３２・・・板体 ３２ａ・・・表面 ３３・・・溝 ３４・・・弾性部材 ４１・・・取り出し用ロボット ４２・・・第１のスクライバー ４３・・・第１の反転ロボット ４４・・・第１のブレーカー ４５・・・第２のスクライバー ４６・・・第２の反転ロボット ４７・・・第２のブレーカー ４８・・・送り用ロボット ５１ａ・・・素子基板母材 ５１ｂ・・・対向基板母材 ５２・・・処理ステージ５４・・・線状溝 １０００・・・携帯電話 １１００・・・腕時計 １２００・・・ノートパソコン １００・・・偏光照明装置 ２００・・・偏光ビームスプリッタ ３００・・・液晶光変調装置 ４１２・・・ダイクロイックミラー ５００・・・集光レンズ ６００・・・スクリーン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA04 FA06 FA07 FA24 FA30 HA08 HA12 MA20 2H090 JC13 LA03 LA04 LA15 4G015 FA03 FA04 FB02 FC02 FC11 5G435 AA17 BB12 BB16 BB17 CC12 DD02 DD05 EE33 FF00 FF05 GG01 GG02 GG04 GG28 GG32 GG46 KK05 KK10 LL07 LL10 LL15

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面に溝が形成され該溝に水分を含む弾
   性部材が該表面から突出するように設けられた支持台上
   に切断される基板を載置する工程と、 該基板の自重により前記弾性部材を押圧し該弾性部材よ
   りしみ出る水分により前記基板の一主面が濡れた状態で
   該基板を切断する工程とを有することを特徴とする基板
   の切断方法。
2. 【請求項２】 前記基板の一主面が濡れた状態で、該基
   板の他方の主面に断面Ｖ溝状のスクライブラインを形成
   し、該基板を反転させて該基板の一主面の前記スクライ
   ブラインの溝に対応する位置に切断用工具の刃先を押し
   付け、この状態で該工具に振動を与え該基板を切断する
   ことを特徴とする請求項１記載の基板の切断方法。
3. 【請求項３】 切断される基板を支持するための支持台
   であって、 表面に溝が形成され、該溝に水分を含む弾性部材が該表
   面から突出するように設けられていることを特徴とする
   支持台。
4. 【請求項４】 前記弾性部材は、前記溝にその弾性力に
   抗して押入されていることを特徴とする請求項３記載の
   支持台。
5. 【請求項５】 前記弾性部材は、多孔性高分子材料から
   なることを特徴とする請求項３または４記載の支持台。
6. 【請求項６】 前記表面には、前記溝が複数本、所定の
   間隔をおいて形成され、少なくとも１本または２本以上
   の前記溝に前記弾性部材が押入されていることを特徴と
   する請求項３、４または５記載の支持台。
7. 【請求項７】 請求項３、４、５または６記載の支持台
   と、該支持台に支持される基板を切断するための切断用
   工具と、該切断用工具に振動を与える振動体と、前記切
   断用工具を駆動させる駆動手段と、前記振動体を振動さ
   せる発振手段とを備えたことを特徴とする基板の切断装
   置。
8. 【請求項８】 シール材により接合された一対の基板を
   有する電気光学装置の製造方法において、 前記一対の基板をシール材を用いて接合し、 この接合状態の基板を、表面に溝が形成され該溝に水分
   を含む弾性部材が該表面から突出するように設けられた
   支持台上に載置し、 この接合状態の基板の自重により前記弾性部材を押圧
   し、該弾性部材よりしみ出る水分により該接合状態の基
   板の一方の基板の一主面が濡れた状態で他方の基板を切
   断することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
9. 【請求項９】 前記電気光学材料は液晶であり、前記電
   気光学パネルは液晶パネルであることを特徴とする請求
   項８記載の電気光学装置の製造方法。