JP2007240914A - 電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電気光学装置の表示面の異物付着よる影響を軽減する防塵ガラスを、表示面に接着する接着剤中に混在している気泡を排出する。
【解決手段】吸着ノズル３０の吸着面で、防塵ガラス１１２を真空吸着しつつ搬送し、予め接着剤１１４が滴下されている基板１０４上に一方の面を下にして載置する第１の工程と、吸着面で防塵ガラス１１２の他方の面を加圧して基板１０４と接着させる第２の工程と、を含む電気光学装置の製造方法において、上記第２の工程は、吸着面が、防塵ガラス１１２の外周線から所定の距離を隔てた領域を加圧する工程である。外周線から所定の距離を占める領域を加圧しないため、接着剤１１４中に混在する気泡が防塵ガラス１１２と基板１０４との界面から流出し易くなる。したがって、防塵ガラス１１２と基板１０４との間における気泡の残留が抑制される。
【選択図】図５

Description

本発明は、基板同士を接着剤で貼り合わせる工程を含む電気光学装置の製造方法、及び、かかる工程に用いる製造装置に関する。

電気光学装置の製造において、一方の基板を他の基板に接着剤で貼り合わせる工程では、一方の基板を先端に吸着面を備えた部材で真空吸着して他方の基板上に載置し、そのまま当該吸着面で加圧して接着することが一般的である。その場合当該吸着面は、特許文献１に記載するように対象となる基板からはみ出す事がない範囲内で極力大きなものが用いられる。

特開２００２−２０８７９９号公報

しかし、上述するような吸着面を用いた場合、対象となる基板の全面が同時に加圧されるため、接着剤中に混在していた気泡が接着面に残留し、あるいは、周辺から空気を取り込んでしまい気泡を発生させてしまう現象がある。その現象は、外縁部が他の部分に比べて厚い基板を接着する場合に特に顕著である。そして、上記接着面が電気光学装置の表示領域内にある場合、表示面の機能が損なわれる可能性があるという課題があった。

上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、上記第１の基板と上記第２の基板との間に狭持される電気光学物質と、上記第２の基板の上記電気光学物質と対向する面と反対側の面に、第１の面が接着される第３の基板と、上記第１の基板の表面に形成された上記電気光学物質を制御する制御素子と、を備え、上記電気光学物質を制御して得られるシャッター機能を利用して画像を形成する電気光学装置の製造方法であって、上記第２の基板の上記反対側の面に接着剤を供給する第１の工程と、上記第３の基板の、上記第１の面の反対側の面である第２の面上の、外縁の枠状領域を除く領域を、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材で吸着する第２の工程と、上記吸着面により上記第３の基板を加圧して、上記第３の基板を上記第２の基板に貼り合わせる第３の工程と、を順次実施する。

このような製造方法であれば、吸着面が、上記第３の基板の外縁の枠状領域に囲まれる中央の領域を加圧するので、当該領域にある接着剤、及び当該接着剤に混入している気泡を基板の外側方向へ押し出す力が発生する。一方で、当該外縁の枠状領域は加圧しないため、接着剤の基板の外側方向への流動は確保されている。したがって、かかる製造方法により、上記気泡は第２の基板と第３の基板の界面から押し出されることになり、画像を形成する面内における気泡の残留が抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、上記第１の基板と上記第２の基板との間に狭持される電気光学物質と、第１の面の外縁に枠状の凸部領域を有し、上記第２の基板の上記電気光学物質と対向する面と反対側の面に上記第１の面が接着される第３の基板と、上記第１の基板の表面に形成された上記電気光学物質を制御する制御素子と、を備え、上記電気光学物質を制御して得られるシャッター機能を利用して画像を形成する電気光学装置の製造方法であって、上記第２の基板の上記反対側の面に接着剤を供給する第１の工程と、上記第３の基板の上記枠状の凸部領域を、上記第１の面の反対側の面である第２の面に投影させて得られる第１の領域から内側に所定の距離離れている第２の領域を、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材で吸着する第２の工程と、上記吸着面により上記第３の基板を加圧して、上記第３の基板を上記第２の基板に貼り合わせる第３の工程と、を順次実施する。

このような製造方法であれば、上記吸着面は、第１の領域から所定の距離離れている第２の領域を加圧するため、第１の領域には圧力が加わりにくい。そのため。第２の領域の加圧により発生する、接着剤に混入している気泡を外側へ押し出す力は、上記凸部領域によって妨げられない。したがって、かかる製造方法により、気泡は第２の基板と第３の基板の界面から押し出されることになり、画像を形成する面内における気泡の残留が抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、上記第１の基板と上記第２の基板との間に狭持される電気光学物質と、上記第２の基板の上記電気光学物質と対向する面と反対側の面に、第１の面が接着される第３の基板と、上記第１の基板の表面に形成された上記電気光学物質を制御する制御素子と、を備え、上記電気光学物質を制御して得られるシャッター機能を利用して画像を形成する電気光学装置の製造方法であって、上記第２の基板の上記反対側の面に接着剤を供給する第１の工程と、上記第３の基板の、上記第１の面の反対側の面である第２の面の外縁の枠状領域を除く領域のうちの一部の領域を、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材で吸着する第２の工程と、上記吸着面により上記一部の領域を加圧する第３の工程と、上記枠状領域を除く領域における、加圧する領域を外縁方向に順次拡大し、最終的に上記枠状領域を除く領域の全てを加圧して、上記第３の基板を上記第２の基板に貼り合わせる第４の工程と、を順次実施する。

このような製造方法であれば、最初に、吸着面が上記第３の基板の外縁の枠状領域に囲まれる中央の領域のうちの一部分のみを加圧し、上記中央の領域の周辺はその後順次加圧するため、接着剤に混入している気泡を徐々に外側の領域に押し出されていくことになり、第２の基板と第３の基板の界面に気泡が取り残される可能性が減少する。したがって、かかる製造方法により、気泡は第２の基板と第３の基板の界面からより一層確実に押し出されることになり、画像を形成する面内における気泡の残留がより一層抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、第１の基板と、第２の基板と、上記第１の基板と上記第２の基板との間に狭持される電気光学物質と、第１の面の外縁に枠状の凸部領域を有し、上記第２の基板の上記電気光学物質と対向する面と反対側の面に上記第１の面が接着される第３の基板と、上記第１の基板の表面に形成された上記電気光学物質を制御する制御素子と、を備え、上記電気光学物質を制御して得られるシャッター機能を利用して画像を形成する電気光学装置の製造方法であって、上記第２の基板の上記反対側の面に接着剤を供給する第１の工程と、上記第３の基板の上記枠状の凸部領域を、上記第１の面の反対側の面である第２の面に投影させて得られる第１の領域から内側に所定の距離離れている第２の領域のうちの一部の領域を、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材で吸着する第２の工程と、上記吸着面により上記一部の領域を加圧する第３の工程と、上記第２の領域における、加圧する領域を外縁方向に順次拡大し、最終的に上記第２の領域の全てを加圧して、上記第３の基板を上記第２の基板に貼り合わせる第４の工程と、を順次実施する。

このような製造方法であれば、最初に、吸着面が、上記第３の基板の外縁の枠状領域に囲まれる中央の領域のうちの一部分のみを加圧し、上記中央の領域の周辺はその後順次加圧するため、接着剤に混入している気泡を徐々に外側の領域に押し出されていくことになる。また、上記吸着面は、第１の領域から所定の間隔を有する第２の領域を加圧するため、第１の領域には圧力が加わりにくく、接着剤の流動は妨げられない。したがって、かかる製造方法により、接着剤に混入している気泡は第２の基板と第３の基板の界面からより一層確実に押し出されることになり、画像を形成する面内における気泡の残留がより一層抑制された電気光学装置を得ることができる。

好ましくは、上記外縁の枠状領域の内周線は、上記第３の基板の外周線から４ｍｍ以上離れている。

また、好ましくは、上記所定の距離は４ｍｍ以上である。

このような製造方法であれば、上記吸着面の加圧による圧力が第３の基板の外縁までは及びにくい。そのため、接着剤の流動は確保しつつ第３の基板に強い圧力を印加できる。したがって、かかる製造方法により、接着剤に混入している気泡は第２の基板と第３の基板の界面からより一層確実に押し出されることになり、画像を形成する面内における気泡の残留がより一層抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、好ましくは、前述の加圧する領域を順次拡大する手段は、上記吸着加圧部材が、上記吸着面を有する第１の部材と、上記第３の基板を加圧する方向に動作可能な１または２以上の第２の部材と、からなり、上記第１の部材による加圧を継続しつつ上記第２の部材を動作させ、上記第３の基板を加圧することである。

このような製造方法であれば、吸着加圧部材に、部品の吸着には用いずに加圧のみに用いる第２の部材を組み込むことにより、上記基板を加圧可能な面積を簡単に変更できる。したがってかかる構成により、大きさの異なる複数種の電気光学装置の基板接着工程を１台の装置で処理可能となり、製造コストの増加を抑制しつつ、気泡の残留が抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、好ましくは、上記第１の部材による加圧は上記第３の基板の略中央の領域に対して実施し、上記第２の部材による加圧は上記略中央の領域の全周囲を囲む領域に対して実施をする。

このような製造方法であれば、接着剤に混入している気泡を、上記略中央の領域から外縁に向かう全方向に追い出していくことができるため、上記気泡を一層確実に押し出すことが可能となり、画像を形成する面内における気泡の残留がより一層抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、好ましくは、上記第３の工程の実施後に上記接着剤を加熱して硬化させる第４の工程をさらに実施する。

このような製造方法であれば、上記接着剤を硬化させることにより、上記第２の基板と第３の基板との界面に気泡が再度侵入することを抑制できるので、かかる製造方法により気泡の残留がより一層抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、表面に予め接着剤が供給されており、対向する第１の基板との間に電気光学物質を狭持している第２の基板の、上記第１の基板と対向している面の反対側の面上に第３の基板を加圧して接着するための、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材を備えた電気光学装置の製造装置であって、上記吸着面が、上記第３の基板の外周線から４ｍｍ以上の距離を隔てた領域内に収まる形状であることを特徴とする。

このような製造装置であれば、上記第３の基板の外縁部分を加圧しないため、加圧される中央の領域と、その周辺の加圧されない領域が生じる。その結果、上記吸着面の加圧により、加圧される中央の領域からその周辺の加圧されない領域へ上記接着剤が流動し易くなり、接着剤に混入している気泡の、第２の基板と第３の基板の界面からの排出が促進される。したがってかかる製造装置により、上記板状の部品と上記基板との間における気泡の残留が抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、表面に予め接着剤が供給されており、対向する第１の基板との間に電気光学物質を狭持している第２の基板の、上記第１の基板と対向している面の反対側の面上に、第１の面の外縁に枠状の凸部領域を有する第３の基板を、当該第１の面を下にして載置し加圧する、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材を備えた電気光学装置の製造装置であって、上記吸着面が、上記枠状の凸部領域を、上記第３の基板の上記第１の面の反対側の面に投影した領域から所定の距離を隔てた枠内に収まる形状である。

このような製造装置であれば、上記第３の基板の外縁に枠状の凸部領域上を直接に加圧せず、さらに隣接する所定の間隔の領域も加圧しないため、上記凸部領域により接着剤の流動が妨げられない。その結果、加圧される中央の領域からその周辺の加圧されない領域へ上記接着剤が流動し易くなり、接着剤に混入している気泡の、第２の基板と第３の基板の界面からの排出が促進される。したがってかかる製造装置により、上記板状の部品と上記基板との間における気泡の残留が抑制された電気光学装置を得ることができる。

好ましくは、上記所定の距離は４ｍｍ以上である。

このような製造装置であれば、上記吸着面の加圧による圧力が第３の基板の外縁までは及びにくい。そのため、接着剤の流動を確保しつつ第３の基板に強い圧力を印加できる。したがってかかる製造装置により、上記板状の部品と上記基板との間における気泡の残留がより一層抑制された電気光学装置を得ることができる。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の製造装置は、表面に予め接着剤が供給されており、対向する第１の基板との間に電気光学物質を狭持している第２の基板の、上記第１の基板と対向している面の反対側の面上に第３の基板を加圧して接着するための、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材を備えた電気光学装置の製造装置であって、上記第３の基板を真空吸着し、上記第２の基板上に載置して加圧する第１の部材と、上記第１の部材が上記第３の基板を加圧する方向に移動して、上記第３の基板を加圧する１、又は２以上の第２の部材と、を有する吸着加圧部材を備える。

このような製造装置であれば、基板を吸着する第１の部材の周囲に加圧のみに用いる部材を組み込むことにより、基板の形状等に合せて加圧する面積を簡単に変更できる。また中央部からその周辺部へと段階的に加圧して接着剤を徐々に第２の基板と第３の基板との界面からその外部へと排出できる。したがってかかる製造装置により、製造コストの増加を抑制しつつ、上記第２の基板と上記第３の基板との間の気泡の残留が抑制された電気光学装置を得ることができる。

以下、本発明に係る電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置の実施形態について、図面を参照して説明する。各実施形態に入る前に、対象となる電気光学装置及びその製造工程について、従来技術の課題も含め、図１〜３を用いて説明する。そして、図４を用いて各実施形態に用いる電子部品搭載装置について概説する。

本実施形態の対象となる電気光学装置は液晶パネルであり、当該パネル上に形成された画像を拡大して投影する投射型の表示装置に用いるものである。駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶表示装置であり、投射型表示装置のシャッターとして用いられるものである。一方の面から入射した光を、表示面にマトリクス状に形成されている液晶シャッターで変調し、他方の面からスクリーン等に拡大投射して画像を形成する。

上述の使用態様においては、異物の影響が問題となる。液晶パネルの表示面に異物が付着すると、当該異物も拡大投射されるため表示画像の画質の劣化が著しい。そこで上記影響を低減するために、投射型表示装置に用いる液晶表示装置は、少なくとも一方の面に透光性の基板（以下、「防塵ガラス」と称する。）を接着して、デフォーカス作用により異物の付着による影響を低減している。

図１に、液晶パネルの概略と防塵ガラスの接着の態様を示す。液晶パネル１０は素子基板１０２と、素子基板１０２にシ−ル材１０６を介して接合される対向基板１０４、及び素子基板１０２とシ−ル材１０６と対向基板１０４とで形成される空間に封入される液晶等から成る。シール材１０６の外側の領域には、図示しないデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給することにより当該データ線を駆動するデータ線駆動回路１０８、及び外部回路との接続のための外部接続端子１１０が素子基板１０２の一辺に沿って設けられている。

素子基板１０２上には、図示しない画素を構成する画素電極と当該電極を制御するスイッチング素子とがマトリクス状に配置されている。一方、対向基板１０４の、素子基板１０２と対面する側の面には、図示しないＩＴＯ（酸化インジウム・すず合金）からなる対向電極、及びポリイミド系の配向膜が形成されている。上記対向電極との間に電圧を印加して上記液晶を制御し、液晶分子の配向や秩序を変化させ、図示しない光源から照射される光を変調して画像を形成する。

防塵ガラス１１２は厚さ以外は対向基板１０４と略同一の形状であり、全面が対向基板１０４に密着するように接着される。図示しない吸着加圧部材（以下、「吸着ノズル」と称する。）で吸着した防塵ガラス１１２を図１に示す矢印方向に移動させ、予め接着剤１１４が供給されている対向基板１０４上に載置し、そのまま加圧して接着剤１１４を防塵ガラス１１２と対向基板１０４の界面に均一に広げる。そして接着剤を硬化させることにより固着させる。

なお、図１は単体の液晶パネル上に防塵ガラスを接着する態様を示している。一般的な液晶パネルの製造工程では、１枚の大きなマザー基板上に素子基板をマトリクス状に形成し、個々の素子基板上に対向基板、及び防塵ガラスをそれぞれ接着することが多い。しかし、防塵ガラスの接着の態様は、マザー基板と単体の液晶パネルとで違いはない。そこで、本実施形態においては単体の液晶パネル上に防塵ガラスを接着する態様を示す。

図２は、上記界面の態様を示すものである。上述したように液晶パネル１０は、表示領域に形成された画像に光源から照射される光を照射して拡大するが、その際、表示領域の周縁部、特にシール材１０６が形成されている部分は光源からの光を常時透過させるので、表示性能を劣化させてしまう。その対策として、防塵ガラス１１２の周縁部には、図２（ａ）に示すように、Ａｌ、Ｃｒ等の金属からなる遮光層（以下、「見切り」と称する。）２０２を形成し、表示領域の周縁部から光が漏れることを防止している。そのため、防塵ガラス１１２と対向基板１０４とは、周縁部に見切り２０２を介して接着される。

図２（ｂ）は、対向基板１０４に接着された防塵ガラス１１２を見切り２０２を含めて示した斜視図であり、図２（ｃ）は、図２（ｂ）のＡ−Ａ´線における断面図である。見切り２０２の厚さは５００ｎｍ程であり、接着剤１１４は、防塵ガラス１１２と対向基板１０４と見切り２０２とで形成される非常に狭い空間に存在している。

ところで上述する防塵ガラスと対向基板を接着する接着剤には、通常は微細な（１０μｍ〜２０μｍ程の）気泡が混入している。上述した表示面にマトリクス状に形成されている液晶シャッターの一辺の寸法は５μｍほどであり、上記気泡が１個でも表示領域に存在すると表示性能が大きく損なわれる。そこで防塵ガラス１１２の接着工程では、上記接着剤を使用（対向基板上への供給）前に攪拌等によりできる限り脱泡するとともに、防塵ガラス１１２と対向基板１０４とを接着する際に上記真空ノズルで防塵ガラス１１２を加圧することにより、上記空間内に気泡が残留することを抑制している。

上述したように、見切りの厚さ、すなわち上記空間の高さは５００ｎｍほどで、気泡の寸法よりも小さい。したがって一般的には、防塵ガラスを充分に加圧することにより、気泡を上記空間から外部ヘ排出できる。しかし、防塵ガラス１１２を吸着して移動させる真空ノズルの形状によっては、以下に記すように気泡が残留して表示性能を劣化させることになる。

図３は、従来の真空ノズルの形状と、当該ノズルを用いて防塵ガラスを吸着するときの態様を示すものである。図３（ａ）は、接着剤１１４が供給された対向基板１０４上に、防塵ガラス１１２を吸着した吸着ノズル３０を矢印の方向に移動させるときの態様を示す。また、図３（ｂ）は見切り２０２と吸着ノズル３０の吸着面とが重なる領域を示す。

図３（ａ）に示すように、吸着面の寸法形状が防塵ガラス１１２より僅かに小さいだけの場合真空ノズルは見切り２０２の領域も、対向基板１０４に対して加圧する。図３（ｂ）で示す環状領域３５が、上述する見切りが加圧される領域である。吸着面の外周線が見切り２０２内にあるため、吸着面と見切り２０２が重なる領域が発生する。環状領域３５では、見切り２０２と対向基板１０４の界面に圧力がかかるので、接着剤等の流動が妨げられる。したがって、吸着ノズル３０で防塵ガラス１１２をいくら加圧しても、上記空間内から外部への排出は起こらなくなる。そのため、対向基板１０４上に供給された接着剤中に気泡が存在する場合、上述したように上記空間内に気泡が残留して表示性能を劣化させる。本発明は上記現象を回避すべく、ノズルの構成等に変更している。

図４は、各実施形態に用いる電子部品搭載装置４の全体構造を示すものである。電子部品を吸着する吸着ノズル３０はＸ−Ｙ駆動部４０２により水平面内を移動可能であり、主昇降駆動部４０６で上下動される主昇降軸４０４によりＺ方向の移動も可能である。そして吸着ノズル３０は、図示しない負圧供給源と導通している主軸４０８と連結している第１の部材としてのノズル中央部３１と、補助昇降駆動部４２０で上下動される補助昇降軸４２１によりＺ方向に移動可能な第２の部材としてのノズル外周部３４とからなっている。なお、補助昇降駆動部４２０で上下動される補助昇降軸４２１は１組に限定されるものではない。ノズル外周部を２組以上設けた場合は、昇降駆動部等もそれに合せて２組以上備えることができる。

中央部３１で防塵ガラス１１２を真空吸着し、水平、及び垂直方向を移動させ、素子基板１０２と組み合わされ、接着剤１１４が供給されている対向基板１０４上に載置し、中央部３１とノズル外周部３４とで加圧できる。なお、具体的なノズルの形状等は各実施形態で述べる。

（第１の実施形態）
図５に、本発明の第１の実施形態にかかるノズル形状等を示す。図５（ａ）は防塵ガラス１１２を吸着した吸着ノズル３０を矢印の方向に移動させ、素子基板１０２と組み合わせ、接着剤１１４が供給されている対向基板１０４上に、防塵ガラス１１２を載置する態様を示す斜視図である。そして図５（ｂ）は、見切り２０２と、吸着ノズル３０による防塵ガラス１１２の加圧領域と、を示す図である。

本実施形態の吸着ノズル３０は、中央部と外周部に分かれてはおらず、単体構造である。つまり、防塵ガラス１１２を吸着した面が、そのまま加圧する面になる。そして、上記吸着する面の形状は図３に示す従来のノズルとは異なり、吸着の対象物である防塵ガラス１１２に比べて相対的に小さく、見切り２０２の内周線よりも小さい。

したがって図５（ｂ）に示すように、ノズル吸着面の外周線で囲まれる領域、すなわち加圧領域６０は見切り２０２の内周線の内側にあり、吸着ノズル３０の加圧する面と見切り２０２の領域とは重ならない。つまり、防塵ガラス１１２を加圧する際に、見切り２０２の領域は加圧されないため、見切り２０２と対向基板１０４の界面における接着剤の移動は、従来のノズルを用いた場合に比べて容易になる。

そして、防塵ガラス１１２は若干の弾力性を有するため、見切り２０２で囲まれた領域の加圧により、当該領域から上記界面へ向かう方向に接着剤を押しやる力が生じる。したがって本実施形態にかかるノズルの使用により、見切りの内周線近傍に存在している接着剤中に混在していた気泡は、見切り２０２と対向基板１０４の界面を通り抜けて上記空間の外部へ移動する。その結果、見切り２０２に囲まれた表示面内の気泡の残留による表示性能の劣化を抑制できる。

なお、接着剤１１４は加圧工程の後に熱で硬化するので、気泡が再度侵入することはない。また、ノズル吸着面の外周線と見切り２０２の内周線の間の環状領域の幅は略４ｍｍあれば気泡は充分排出できる。また、本実施形態で加圧する面の形状を円形にしたが、四角形でも見切り２０２と重ならないようであれば同様の効果が得られる。

（第２の実施形態）
図６に、本発明の第２の実施形態にかかるノズルの態様、及び防塵ガラスを対向基板上に載置する態様を示す。図６（ａ）は初期加圧している状態を示す斜視図、図６（ｂ）は初期加圧時の加圧面と見切りの関係を示す模式図、図６（ｃ）は最終加圧している状態を示す斜視図、図６（ｄ）は最終加圧時の加圧面と見切りの関係を示す模式図である。

本実施形態に用いる吸着ノズル３０は、第１の部材としてのノズル中央部（以下、「ノズル中央部」と称する。）３１と、第２の部材としての第１のノズル外周部（以下、「第１のノズル外周部」と称する。）３２、および第２の部材としての第２のノズル外周部（以下、「第２のノズル外周部」と称する。）３３に分かれており、三重の同心円構造となっている。上述する双方のノズル外周部は、補助昇降駆動部４２０（図４参照）で上下動される第１の補助昇降軸４２２、および第２の補助昇降軸４２４により、所定の範囲内において、ノズル中央部３１に対して独立して上下動可能である。そして双方のノズル外周部を最大限下降させた時に、ノズル中央部３１の底面と、第１のノズル外周部３２および第２のノズル外周部３３の底面とが同一平面上に位置する。

ノズル中央部３１の底面が初期加圧面６１、第１のノズル外周部３２の底面が中間加圧面６２、そして第２のノズル外周部３３の底面が最終加圧面６３である。そして、初期加圧面６１と中間加圧面６２と最終加圧面６３の３つの面により加圧される領域が、図６（ｂ）に示す加圧領域６０である。

ノズル中央部３１は、図示しない負圧供給源と導通している主軸４０８により、対象物（防塵ガラス１１２）を吸着して搬送し、対向基板１０４上に載置して、そのまま加圧する事ができる。ノズル中央部３１の底面である吸着面がそのまま初期加圧面６１になる。一方、第１のノズル外周部３２と第２のノズル外周部３３の底面には吸着機能がなく、対向基板１０４上に載置された防塵ガラス１１２を加圧するのみである。つまり、本実施形態に用いる吸着ノズル３０は、対向基板１０４上に載置された防塵ガラス１１２を、初期加圧面６１のみの加圧と、初期加圧面６１プラス中間加圧面６２の加圧と、最終加圧面６３も加えての加圧領域６０の全域の加圧の、３段階にわたって加圧することができる。

本実施形態に示す防塵ガラスの接着工程は、載置段階、初期加圧段階、中間加圧段階、最終加圧段階、の４つの段階がある。まず載置段階では、ノズル中央部３１で防塵ガラス１１２を吸着した吸着ノズル３０を、ＸＹ駆動部４０２（図４参照）で接着剤が供給された対向基板１０４上に位置させ、そのまま下降させ、防塵ガラス１１２を対向基板１０４上に載置する。

次の初期加圧段階では、そのままノズル中央部３１の底面で防塵ガラス１１２を加圧する。図６（ｂ）に示すように、破線で示す第１のノズル外周部３２の底面である中間加圧面６２、および第２のノズル外周部３３の底面である最終加圧面６３は防塵ガラス１１２に接触しておらずノズル中央部３１の底面である初期加圧面６１でしか加圧されない。上記加圧により、初期加圧面６１の領域にあった気泡が、その外側の領域へ移る。

次の中間加圧段階では、第１の補助昇降軸４２２を駆動して、中間加圧面６２が初期加圧面６１と同一平面に位置するまで第１のノズル外周部３２を下降させる。その結果、中間加圧面６２が加圧されて、中間加圧面６２の領域にあった気泡が、その外側の領域へ移動する。そして最終加圧段階では、第２の補助昇降軸４２４を駆動して、最終加圧面６３が初期加圧面６１と同一平面に位置するまで第２のノズル外周部３３を下降させる。その結果、加圧領域６０全域で防塵ガラス１１２を加圧することになり、気泡がさらに外側に移動する。気泡を、防塵ガラス１１２の中心から外側に向けて同心円状に押し出していくので、単体構造のノズルで加圧する方法よりも、確実に気泡を排出できる。なお、加圧領域６０全域を加圧した後、接着剤１１４を硬化させる点は上記第１の実施形態と同様である。

初期加圧面６１と中間加圧面６２と最終加圧面６３とからなる加圧領域６０は、見切り２０２の内周線の内側にあり、見切り２０２を加圧しないので、防塵ガラス１１２と見切り２０２との界面は接着剤の流動が可能である。したがって上記加圧により、最終加圧面６３にあった気泡が余剰の接着剤と共に防塵ガラス１１２と見切り２０２に界面を通り抜けて、防塵ガラス１１２と、見切り２０２と対向基板１０４とで形成される空間の外部ヘ排出される。その結果、上記空間の気泡の残留が抑制された液晶表示装置を得ることができる。なお、第１の実施形態と同様、加圧領域６０の外周線と見切り２０２の内周線の間の環状領域の幅は４ｍｍあれば気泡は充分排出できる。

（第３の実施形態）
図７に、本発明の第３の実施形態にかかるノズルの態様、及び防塵ガラスを対向基板上に載置する態様を示す。図７（ａ）は初期加圧している状態を示す斜視図、図７（ｂ）は初期加圧時の加圧面と見切りの関係を示す模式図、図７（ｃ）は最終加圧している状態を示す斜視図、図７（ｄ）は最終加圧時の加圧面と見切りの関係を示す模式図である。

本実施形態に用いる吸着ノズル４０は、底面が一列に並ぶ５つ長方形となる部材で構成されている。中央に位置するのが第１の部材としてのノズル中央部（以下、「ノズル中央部」と称する。）４１、その外側にノズル中央部４１を挟んで位置するのが第２の部材としての第１のノズル外周部（以下、「第１のノズル外周部」と称する。）４２、そして更にその外側に位置するのが同じく第２の部材としての第２のノズル外周部（以下、「第２のノズル外周部」と称する。）４３である。上記３種類の部材の底面を並べると図７（ｂ）に示す加圧領域７０となり、見切り２０２の内周線よりも内側を占める。

ノズル中央部４１は、図示しない負圧供給源と導通している主軸４０８により、対象物（防塵ガラス）を吸着して搬送し、任意の場所に載置できる。そして、その底面は図示しない負圧供給孔を除くと平滑で、載置した防塵ガラス１１２をそのまま加圧する事ができる。

第１のノズル外周部４２は第１の補助昇降軸４２２に、第２のノズル外周部４３は第２の補助昇降軸４２４にそれぞれ連結され、補助駆動部４２０（図４参照）により、ノズル中央部４１の底面を下限とする所定の範囲内において、ノズル中央部４１、及び隣接する他のノズル外周部に対して独立して上下動可能である。第１のノズル外周部４２、及び第２のノズル外周部４３の底面はノズル中央部４１の底面と同様に平滑で防塵ガラス１１２を傷つけることなく加圧できる。ノズル中央部４１の底面は初期加圧面７１、第１のノズル外周部４２の底面は中間加圧面７２、そして第２のノズル外周部４３の底面は最終加圧面７３である。上述したように第１のノズル外周部４２、及び第２のノズル外周部４３は独立して上下動可能なので、加圧する面積を段階的に増減できる。

本実施形態にかかる吸着ノズル４０による防塵ガラス１１２の載置、及び加圧は下記のように行われる。

まず、防塵ガラス１１２をノズル中央部４１で吸着する。その際第１のノズル外周部４２、及び第２のノズル外周部４３を上記下限よりも上昇させておく。そしてＸ−Ｙ駆動装置４０２により、予め所定の位置に保持され、上面に接着剤が供給されている対向基板１０４の上方まで移送する。

次に、主昇降駆動部４０６を駆動して、主昇降軸４０４を下降させ、吸着ノズル４０のノズル中央部４１で吸着されている防塵ガラス１１２を接着剤上に載置し、そのままノズル中央部４１で加圧する。図７（ｄ）に示す初期加圧面７１に示す領域が加圧される。当該領域において防塵ガラス１１２と対向基板１０４に挟まれている接着剤に圧力が加わることにより、気泡がその周囲へ流動して、初期加圧面７１から気泡が抜ける。

次に補助昇降駆動部４２０（図４参照）を駆動して第１の補助昇降軸４２２を下降させ、中間加圧面７２が、初期加圧面７１と同一平面に位置するまで第１のノズル外周部４２を下降させる。前段階で既に気泡が抜けていた初期加圧面７１に加えて、図７（ｄ）に示す中間加圧面７２からも気泡が抜ける。

そして最後に、図７（ｃ）に示すように、第２の補助昇降軸４２４を下降させ、第２のノズル外周部４３の底面である最終加圧面７３が、中間加圧面７２、及び初期加圧面７１と同一平面に位置するまで、第２のノズル外周部４３を下降させる。吸着ノズル４０を形成する全ての部材が下降することにより、図７（ｄ）に示すように最終加圧面７３を含めて、図７（ｂ）に示す加圧面７０の全てが加圧される。

図７（ｂ）に示すように加圧面と見切り２０２との間にはどちらにも属さない、すなわち、加圧もされず見切りでもない環状の領域があるので、加圧領域７０が全て加圧されても防塵ガラスと見切り２０２に界面は流動が可能である。したがって、上記加圧により、加圧面７０にあった気泡が余剰の接着剤と共に防塵ガラスと見切り２０２に界面を通り抜けて、防塵ガラス１１２と、見切り２０２と対向基板１０４とで形成される空間の外部ヘ排出される。また、加圧領域７０の形状が防塵ガラス１１２の形状と同様に方形なので、上述する環状の領域も方形にでき、その内側は全て加圧できる。その結果、上記空間に気泡が残留しておらず、表示性能が損なわれていない液晶表示装置を得ることができる。

なお、加圧領域７０全域を加圧した後、接着剤１１４を硬化させるのは上記第１の実施形態と同様である。また、上記の加圧もされず見切りでもない環状の領域の幅は４ｍｍあれば充分である点は、第１、第２の実施形態と同様である。

（変形例）
上記各実施形態では接着剤を熱硬化させているが、紫外線で硬化する接着剤を用いることも可能である。硬化に要する時間が短縮でき、生産性を向上させる効果がある。

液晶パネルの概略と防塵ガラスの接着の態様を示す図。 防塵ガラスと対向基板との界面を示す図。 従来の真空ノズルの形状と、当該ノズルを用いて防塵ガラスを吸着するときの態様を示す図。 電子部品搭載装置の全体構造を示す図。 本発明の第１の実施形態にかかるノズル形状等を示す図。 本発明の第２の実施形態にかかるノズルの態様、及び防塵ガラスを対向基板上に載置する態様を示す図。 本発明の第３の実施形態にかかるノズルの態様、及び防塵ガラスを対向基板上に載置する態様を示す図。

符号の説明

４…電子部品搭載装置、１０…液晶パネル、３０…吸着加圧部材としての吸着ノズル、３１…第１の部材としてのノズル中央部、３２…第２の部材としての第１のノズル外周部、３３…第２の部材としての第２の外周部、３４…第２の部材としてのノズル外周部、３５…環状領域、４０…吸着加圧部材としての吸着ノズル、４１…第１の部材としてのノズル中央部、４２…第２の部材としての第１のノズル外周部、４３…第２の部材としての第２のノズル外周部、６０…加圧領域、６１…初期加圧面、６２…中間加圧面、６３…最終加圧面、７０…加圧領域、７１…初期加圧面、７２…中間加圧面、７３…最終加圧面、１０２…素子基板、１０４…対向基板、１０６…シ−ル材、１０８…データ線駆動回路、１１０…外部接続端子、１１２…防塵ガラス、１１４…接着剤、２０２…見切り、４０４…主昇降軸、４０２…Ｘ−Ｙ駆動部、４０６…主昇降駆動部、４０８…主軸、４２０…補助昇降駆動部、４２１…補助昇降軸、４２２…第１の補助昇降軸、４２４…第２の補助昇降軸。

Claims (13)

1. 第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に狭持される電気光学物質と、前記第２の基板の前記電気光学物質と対向する面と反対側の面に、第１の面が接着される第３の基板と、前記第１の基板の表面に形成された前記電気光学物質を制御する制御素子と、を備え、前記電気光学物質を制御して得られるシャッター機能を利用して画像を形成する電気光学装置の製造方法であって、
   前記第２の基板の前記反対側の面に接着剤を供給する第１の工程と、
   前記第３の基板の、前記第１の面の反対側の面である第２の面上の、外縁の枠状領域を除く領域を、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材で吸着する第２の工程と、
   前記吸着面により前記第３の基板を加圧して、前記第３の基板を前記第２の基板に貼り合わせる第３の工程と、を順次実施することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
2. 第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に狭持される電気光学物質と、第１の面の外縁に枠状の凸部領域を有し、前記第２の基板の前記電気光学物質と対向する面と反対側の面に前記第１の面が接着される第３の基板と、前記第１の基板の表面に形成された前記電気光学物質を制御する制御素子と、を備え、前記電気光学物質を制御して得られるシャッター機能を利用して画像を形成する電気光学装置の製造方法であって、
   前記第２の基板の前記反対側の面に接着剤を供給する第１の工程と、
   前記第３の基板の前記枠状の凸部領域を、前記第１の面の反対側の面である第２の面に投影させて得られる第１の領域から内側に所定の距離離れている第２の領域を、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材で吸着する第２の工程と、
   前記吸着面により前記第３の基板を加圧して、前記第３の基板を前記第２の基板に貼り合わせる第３の工程と、を順次実施することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
3. 第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に狭持される電気光学物質と、前記第２の基板の前記電気光学物質と対向する面と反対側の面に、第１の面が接着される第３の基板と、前記第１の基板の表面に形成された前記電気光学物質を制御する制御素子と、を備え、前記電気光学物質を制御して得られるシャッター機能を利用して画像を形成する電気光学装置の製造方法であって、
   前記第２の基板の前記反対側の面に接着剤を供給する第１の工程と、
   前記第３の基板の、前記第１の面の反対側の面である第２の面の外縁の枠状領域を除く領域のうちの一部の領域を、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材で吸着する第２の工程と、
   前記吸着面により前記一部の領域を加圧する第３の工程と、
   前記枠状領域を除く領域における、加圧する領域を外縁方向に順次拡大し、最終的に前記枠状領域を除く領域の全てを加圧して、前記第３の基板を前記第２の基板に貼り合わせる第４の工程と、を順次実施することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
4. 第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に狭持される電気光学物質と、第１の面の外縁に枠状の凸部領域を有し、前記第２の基板の前記電気光学物質と対向する面と反対側の面に前記第１の面が接着される第３の基板と、前記第１の基板の表面に形成された前記電気光学物質を制御する制御素子と、を備え、前記電気光学物質を制御して得られるシャッター機能を利用して画像を形成する電気光学装置の製造方法であって、
   前記第２の基板の前記反対側の面に接着剤を供給する第１の工程と、
   前記第３の基板の前記枠状の凸部領域を、前記第１の面の反対側の面である第２の面に投影させて得られる第１の領域から内側に所定の距離離れている第２の領域のうちの一部の領域を、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材で吸着する第２の工程と、
   前記吸着面により前記一部の領域を加圧する第３の工程と、
   前記第２の領域における、加圧する領域を外縁方向に順次拡大し、最終的に前記第２の領域の全てを加圧して、前記第３の基板を前記第２の基板に貼り合わせる第４の工程と、を順次実施することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
5. 前記外縁の枠状領域の内周線は、前記第３の基板の外周線から４ｍｍ以上離れていることを特徴とする請求項１、又は３に記載の電気光学装置の製造方法。
6. 前記所定の距離は４ｍｍ以上であることを特徴とする請求項２、又は４に記載の電気光学装置の製造方法。
7. 前述の加圧する領域を順次拡大する手段は、前記吸着加圧部材が、前記吸着面を有する第１の部材と、前記第３の基板を加圧する方向に動作可能な１または２以上の第２の部材と、からなり、前記第１の部材による加圧を継続しつつ前記第２の部材を動作させ、前記第３の基板を加圧することであることを特徴とする請求項３〜６のうちのいずれかの１項に記載の電気光学装置の製造方法。
8. 前記第１の部材による加圧は前記第３の基板の略中央の領域に対して実施し、前記第２の部材による加圧は前記略中央の領域の全周囲を囲む領域に対して実施をすることを特徴とする請求項３〜７のうちのいずれかの１項に記載の電気光学装置の製造方法。
9. 前記第３の工程の実施後に前記接着剤を加熱して硬化させる第４の工程をさらに実施することを特徴とする請求項１〜７のうちのいずれかの１項に記載の電気光学装置の製造方法。
10. 表面に予め接着剤が供給されており、対向する第１の基板との間に電気光学物質を狭持している第２の基板の、前記第１の基板と対向している面の反対側の面上に第３の基板を加圧して接着するための、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材を備えた電気光学装置の製造装置であって、
    前記吸着面が、前記第３の基板の外周線から４ｍｍ以上の距離を隔てた領域内に収まる形状であることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
11. 表面に予め接着剤が供給されており、対向する第１の基板との間に電気光学物質を狭持している第２の基板の、前記第１の基板と対向している面の反対側の面上に、第１の面の外縁に枠状の凸部領域を有する第３の基板を、当該第１の面を下にして載置し加圧する、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材を備えた電気光学装置の製造装置であって、
    前記吸着面が、前記枠状の凸部領域を、前記第３の基板の前記第１の面の反対側の面に投影した領域から所定の距離を隔てた枠内に収まる形状であることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
12. 前記所定の距離は４ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置の製造装置。
13. 表面に予め接着剤が供給されており、対向する第１の基板との間に電気光学物質を狭持している第２の基板の、前記第１の基板と対向している面の反対側の面上に第３の基板を加圧して接着するための、負圧により基板を吸着する吸着面を有する吸着加圧部材を備えた電気光学装置の製造装置であって、
    前記第３の基板を真空吸着し、前記第２の基板上に載置して加圧する第１の部材と、
    前記第１の部材が前記第３の基板を加圧する方向に移動して、前記第３の基板を加圧する１、又は２以上の第２の部材と、
    を有する吸着加圧部材を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
    

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