JP2001085619A - 半導体集積回路およびそのテスト方法 - Google Patents

半導体集積回路およびそのテスト方法

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JP2001085619A
JP2001085619A JP25686399A JP25686399A JP2001085619A JP 2001085619 A JP2001085619 A JP 2001085619A JP 25686399 A JP25686399 A JP 25686399A JP 25686399 A JP25686399 A JP 25686399A JP 2001085619 A JP2001085619 A JP 2001085619A
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test
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pin
scan test
semiconductor integrated
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Hiroshi Horiguchi
浩 堀口
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Abstract

(57)【要約】 【課題】外部ピンの増加を抑えたまま、IDDQテスト
の故障検出率が高められた半導体集積回路およびそのテ
スト方法を提供する。 【解決手段】スキャンテストピン11に‘H’レベルの
信号Aを入力して内部回路12をスキャンテストモード
に切り換えるとともに、オア回路13により内部ピン1
4aを経由してセル14の定常電流パスをオフ状態に
し、スキャンテスト用のテストパターンを内部回路12
に印加してIDDQテストを行なうことにより故障検出
率を高める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路お
よびそのテスト方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、半導体集積回路(以下、LS
Iと記述する場合がある)のテスト方法として、スキャ
ンテストが広く用いられている。スキャンテストは、L
SIチップ内部のフリップフロップをスキャン可能なシ
フトレジスタ構成にし、このシフトレジスタのシフトに
よりテストデータを内部に送り込み、あるいは内部のデ
ータをこのシフトレジスタに取り込んでシフトにより送
り出すという動作を行なうことによりLSIの故障を検
出するテストである。スキャンテストを行なうために
は、LSIチップの内部回路をスキャンテストモードと
通常動作モードとに切り換えるためのスキャンテストピ
ンと、スキャンテストモードにおけるシフト動作モード
とキャプチャ動作モードとに切り換えるためのスキャン
イネーブルピンとが外部ピンとして必要である。スキャ
ンテストは内部回路の制御性がよく、スキャンテスト用
のテストパターンは内部回路の各ノードに対して論理レ
ベルが反転する確率が高い、いわゆる高トグル率を有す
るテストパターンである。また、テストパターンを自動
生成するATPGツールが普及しており、このATPG
ツールを用いることによりスキャンテスト用のテストパ
ターンを簡単に得ることができる。
【0003】また、半導体集積回路のテスト方法とし
て、IDDQテストも広く用いられている。IDDQテ
ストは、LSIチップの電源VddとグラウンドGND
との間の、静止時における電源電流を測定することによ
り、LSIチップ内部の、リーク電流に基づく故障を検
出するテストである。このIDDQテストでは、高トグ
ル率のテストパターンを用いることにより故障検出率を
高めることができる。
【0004】ここで、半導体集積回路に備えられた、例
えばメモリセル,アナログセル,その他特殊なマクロセ
ルの中には、定常電流パスを持つセルがある。一般に、
定常電流パスを持つセルは、そのセルの定常電流を遮断
するモードを有し、そのセル内部の特定のピンの論理を
固定することにより定常電流を遮断することができる。
また、例えば定常電流パスを持つ他のセルとして、プル
アップ/プルダウン素子付きI/Oセルがある。このよ
うなI/Oセルの中には、IDDQテストのために、プ
ルアップ/プルダウン素子からの定常電流を遮断するこ
とができるものがある。このようなセルも、そのセル内
部の特定のピンの論理を固定することにより、プルアッ
プ/プルダウン素子からの定常電流を遮断することがで
きる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、スキ
ャンテスト用のテストパターンは高トグル率を有し、こ
のスキャンテスト用のテストパターンはATPGツール
により簡単に得られる。一方、IDDQテストにおいて
故障検出率を高めるためには、高トグル率のテストパタ
ーンが必要とされる。そこで、スキャンテスト用のテス
トパターンをIDDQテスト用のテストパターンとして
使用することにより、IDDQテストの故障検出率を高
めることが考えられる。
【0006】しかし、IDDQテストは、静止時におけ
る電源電流を測定するものであるため、半導体集積回路
に定常電流パスを持つセルが存在する場合、そのセルの
定常電流を遮断するようにテストパターンを作成する必
要がある。定常電流を遮断するように、高トグル率のテ
ストパターンを作成することは困難であり、定常電流パ
スを持つセルが多くなればそのテストパターンの作成の
困難度も一層増すこととなる。従って、定常電流パスを
持つセルが存在する半導体集積回路において、スキャン
テスト用のテストパターンをIDDQテスト用のテスト
パターンとして使用すると、テストパターン長が膨大に
なったり、またATPGツールでのテストパターン作成
が困難になるという問題が発生する。この問題を解決す
るために、半導体集積回路に、定常電流を遮断するため
の専用ピンを外部ピンとして持たせることが考えられる
が、半導体集積回路の外部ピンの数が増加するという問
題が新たに発生する。
【0007】本発明は、上記事情に鑑み、外部ピンの増
加を抑えたまま、IDDQテストの故障検出率が高めら
れた半導体集積回路およびそのテスト方法を提供するこ
とを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の半導体集積回路は、スキャンテストモードと通常の
動作モードとを切り換えるためのスキャンテストピン
と、スキャンテストモードにおけるシフト動作モードと
キャプチャ動作モードとを切り換えるためのスキャンイ
ネーブルピンとを外部ピンとして持つ半導体集積回路に
おいて、上記スキャンテストピンあるいは上記スキャン
イネーブルピンに印加される信号に応じて、スキャンテ
ストモードにあるとき、あるいは、スキャンテストモー
ド中のシフト動作モードあるいはキャプチャ動作モード
にあるときに、定常電流パスを持つセルの定常電流を遮
断する回路を備えたことを特徴とする。
【0009】本発明の半導体集積回路は、スキャンテス
トピンあるいはスキャンイネーブルピンに所定の論理の
信号が入力されると、上記回路により、定常電流パスを
持つセルの定常電流が遮断される。このため、定常電流
を遮断するための外部ピンを増設する必要もなく、高い
トグル率を有するスキャンテスト用のテストパターンを
使用してIDDQテストを行なうことができる。従っ
て、IDDQテストの故障検出率を高めることができ
る。
【0010】また、上記目的を達成する本発明の半導体
集積回路のテスト方法は、スキャンテストモードと通常
の動作モードとを切り換えるためのスキャンテストピン
と、スキャンテストモードにおけるシフト動作モードと
キャプチャ動作モードとを切り換えるためのスキャンイ
ネーブルピンとを外部ピンに持ち、上記スキャンテスト
ピンあるいは上記スキャンイネーブルピンに印加される
信号に応じて、スキャンテストモードにあるとき、ある
いは、スキャンテストモード中のシフト動作モードある
いはキャプチャ動作モードにあるときに、定常電流パス
を持つセルの定常電流を遮断する回路を備えた半導体集
積回路のテスト方法であって、同一のテストパターンを
使用してスキャンテストとIDDQテストとの双方を行
なうことを特徴とする。
【0011】本発明の半導体集積回路のテスト方法は、
スキャンテストピンあるいはスキャンイネーブルピンに
所定の論理の信号を入力し、上記回路で定常電流パスを
持つセルの定常電流を遮断して、高いトグル率を有する
スキャンテスト用のテストパターンを使用してIDDQ
テストを行なうことができる。従って、IDDQテスト
の故障検出率を高めることができるとともに、IDDQ
テスト用のテストパターン作成の手間が削減される。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
【0013】図1は、本発明の第1実施形態の半導体集
積回路のブロック図である。
【0014】図1に示す半導体集積回路10には、スキ
ャンテストピン11と、内部回路12と、オア回路13
と、セル14とが備えられている。
【0015】スキャンテストピン11は、スキャンテス
トモードと通常の動作モードとを切り換えるためのピン
であり、半導体集積回路10の外部ピンとして備えられ
ている。このスキャンテストピン11に‘H’レベルの
信号Aが入力されると内部回路12がスキャンテストモ
ードに切り換えられ、一方スキャンテストピン11に
‘L’レベルの信号Aが入力されると内部回路12が通
常の動作モードに切り換えられる。
【0016】内部回路12は、スキャンテスト用のテス
トパターンを使用してIDDQテストが行なわれる論理
回路である。
【0017】セル14は、定常電流パスを持つセルであ
る。このセル14は、内部ピン14aを有する。
【0018】オア回路13は、スキャンテストピン11
に‘H’レベルの信号Aが入力されて内部回路12がス
キャンテストモードにあるときに、内部ピン14aを経
由してセル14の定常電流を遮断する。一方、スキャン
テストピン11に‘L’レベルの信号Aが入力されて内
部回路12が通常の動作モードにあるときに、内部ピン
14aを経由してセル14の電流を定常的に流す。
【0019】このように構成された半導体集積回路10
では、スキャンテスト用のテストパターンを使用して内
部回路12のIDDQテストが、以下のようにして行な
われる。
【0020】先ず、スキャンテストピン11に‘H’レ
ベルの信号Aが入力される。すると、内部回路12がス
キャンテストモードに切り換えられる。また、この
‘H’レベルの信号Aはオア回路13に入力され、その
オア回路13から‘H’レベルの信号Bが出力される。
出力された‘H’レベルの信号Bは、内部ピン14aを
経由してセル14に入力される。セル14では‘H’レ
ベルの信号Bが入力されたことを受けて、定常電流パス
をオフ状態にする。このようにして、半導体集積回路1
0におけるセル14の定常電流が遮断される。
【0021】次いで、このような定常電流遮断状態にお
いて、スキャンテスト用のテストパターンが内部回路1
2に印加されてその内部回路12のIDDQテストが行
なわれる。印加されるスキャンテスト用のテストパター
ンは、ATPGツールにより簡単に作成されてなる高ト
グル率のテストパターンである。
【0022】このように本実施形態の半導体集積回路1
0では、オア回路13によりセル14の定常電流が遮断
された状態で高トグル率のスキャンテスト用のテストパ
ターンを使用してIDDQテストが行なわれるため、セ
ル14の定常電流を遮断するための外部ピンを増設する
必要もなく、IDDQテストの故障検出率を高めること
ができる。また、IDDQテスト用のテストパターンを
作成する手間が削減される。
【0023】図2は、本発明の第2実施形態の半導体集
積回路のブロック図である。
【0024】図2に示す半導体集積回路20には、スキ
ャンイネーブルピン21と、内部回路22と、オア回路
23_1,23_2,23_3,23_4と、セル24
_1,24_2,24_3,24_4とが備えられてい
る。
【0025】スキャンイネーブルピン21は、スキャン
テストモードにおけるシフト動作モードとキャプチャ動
作モードとを切り換えるためのピンであり、半導体集積
回路20の外部ピンとして備えられている。
【0026】内部回路22は、スキャンテスト用のテス
トパターンを使用してIDDQテストが行なわれる論理
回路である。
【0027】セル24_1,24_2,24_3,24
_4は、それぞれ、定常電流パスを持つセルである。
【0028】オア回路23_1,23_2,23_3,
23_4は、それぞれ、スキャンイネーブルピン21に
印加される信号に応じて、スキャンテストモード中のシ
フト動作モードあるいはキャプチャ動作にあるときに、
セル24_1,24_2,24_3,24_4の定常電
流を遮断する。
【0029】また、半導体集積回路20には、入力側が
入力ピン25_1に接続され出力側が内部回路22に接
続された入力バッファ26_1と、電源Vddと入力バ
ッファ26_1の出力側に直列接続された抵抗素子27
およびトランジスタ28_1とからなるプルアップ素子
付きI/Oセルが備えられている。さらに、半導体集積
回路20には、入力側が入力ピン25_2に接続され出
力側が内部回路22に接続された入力バッファ26_2
と、入力バッファ26_2の出力側とグラウンドGND
との間に配置されたトランジスタ28_2とからなるプ
ルダウン素子付きI/Oセルも備えられている。トラン
ジスタ28_1,28_2の各ゲートはスキャンイネー
ブルピン21に接続されている。
【0030】このように構成された半導体集積回路20
では、図示しないスキャンテストピンの信号に応じて内
部回路22がスキャンテストモードに切り換えられる。
さらに、スキャンイネーブルピン21に‘H’レベルの
信号が入力される。すると、トランジスタ28_1,2
8_2のゲートにおける信号E,Fが‘H’レベルとな
り、これによりトランジスタ28_1,28_2の電流
が遮断される。また、スキャンイネーブルピン21に入
力された‘H’レベルの信号はオア回路23_1,23
_2,23_3,23_4に入力され、それらオア回路
23_1,23_2,23_3,23_4から‘H’レ
ベルの信号A,B,C,Dが出力される。出力された
‘H’レベルの信号A,B,C,Dは、セル24_1,
24_2,24_3,24_4に入力される。セル24
_1,24_2,24_3,24_4では‘H’レベル
の信号A,B,C,Dが入力されたことを受けて、定常
電流を遮断する。このようにして、I/Oセルを構成す
るトランジスタ28_1,28_2およびセル24_
1,24_2,24_3,24_4の定常電流が全て遮
断される。
【0031】次いで、スキャンテスト用のテストパター
ンが内部回路22に印加されてその内部回路22のID
DQテストが行なわれる。この第2実施形態において
も、前述した第1実施形態と同様に、印加されるスキャ
ンテスト用のテストパターンは、ATPGツールにより
簡単に作成されてなる高トグル率のテストパターンであ
り、従ってIDDQテストの故障検出率を高めることが
でき、またテストパターン作成の手間が削減される。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
外部ピンの増加を抑えたまま、IDDQテストの故障検
出率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の半導体集積回路のブロ
ック図である。
【図2】本発明の第2実施形態の半導体集積回路のブロ
ック図である。
【符号の説明】
10,20 半導体集積回路 11 スキャンテストピン 12,22 内部回路 13,23_1,23_2,23_3,23_4 オ
ア回路 14,24_1,24_2,24_3,24_4 セ
ル 14a 内部ピン 21 スキャンイネーブルピン 25_1,25_2 入力ピン 26_1,26_2 入力バッファ 27 抵抗素子 28_1,28_2 トランジスタ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スキャンテストモードと通常の動作モー
    ドとを切り換えるためのスキャンテストピンと、スキャ
    ンテストモードにおけるシフト動作モードとキャプチャ
    動作モードとを切り換えるためのスキャンイネーブルピ
    ンとを外部ピンとして持つ半導体集積回路において、 前記スキャンテストピンあるいは前記スキャンイネーブ
    ルピンに印加される信号に応じて、スキャンテストモー
    ドにあるとき、あるいは、スキャンテストモード中のシ
    フト動作モードあるいはキャプチャ動作モードにあると
    きに、定常電流パスを持つセルの定常電流を遮断する回
    路を備えたことを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 スキャンテストモードと通常の動作モー
    ドとを切り換えるためのスキャンテストピンと、スキャ
    ンテストモードにおけるシフト動作モードとキャプチャ
    動作モードとを切り換えるためのスキャンイネーブルピ
    ンとを外部ピンに持ち、前記スキャンテストピンあるい
    は前記スキャンイネーブルピンに印加される信号に応じ
    て、スキャンテストモードにあるとき、あるいは、スキ
    ャンテストモード中のシフト動作モードあるいはキャプ
    チャ動作モードにあるときに、定常電流パスを持つセル
    の定常電流を遮断する回路を備えた半導体集積回路のテ
    スト方法であって、 同一のテストパターンを使用してスキャンテストとID
    DQテストとの双方を行なうことを特徴とする半導体集
    積回路のテスト方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012127911A (ja) * 2010-12-17 2012-07-05 Toyota Motor Corp 半導体集積回路
KR20130128424A (ko) * 2010-12-23 2013-11-26 인텔 코포레이션 테스트, 검증, 및 디버그 아키텍처

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012127911A (ja) * 2010-12-17 2012-07-05 Toyota Motor Corp 半導体集積回路
KR20130128424A (ko) * 2010-12-23 2013-11-26 인텔 코포레이션 테스트, 검증, 및 디버그 아키텍처
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