JP2001075650A - 位置決め制御装置および位置決め制御方法 - Google Patents

位置決め制御装置および位置決め制御方法

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JP2001075650A JP25305899A JP25305899A JP2001075650A JP 2001075650 A JP2001075650 A JP 2001075650A JP 25305899 A JP25305899 A JP 25305899A JP 25305899 A JP25305899 A JP 25305899A JP 2001075650 A JP2001075650 A JP 2001075650A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 サーホ゛モータの位置決めを行なう制御系におい
て、速度フィート゛フォワート゛ 補償のみでは不十分だった インホ゜シ
゛ションチェック時間の短縮を実現する。 【解決手段】 図1の制御系1では、演算器2が、速度
指令信号に相当する値として予め設定された相当信号v
を出力する。相当信号vは、フィート゛フォワート゛制御部20を介
して比較器19に入力される。フィート゛フォワート゛制御部20
は、目標位置信号rの変化が有る状態からその変化がな
くなった状態に移行したときに、相当信号vをONに
し、それから一定時間経過したかまたは位置偏差量が一
定量以下になると、相当信号vをOFFにする。比較器
19には、出力信号xと相当信号vとが入力され、それ
らの内の大きい方が出力される。このような制御系によ
れば、目標位置信号rの変化がなくなり出力信号xが小
さくなった後も、相当信号vがフィート゛フォワート゛ されるの
で、インホ゜シ゛ションチェック 時間を短縮することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、サーボモータの位
置決め制御装置およびその位置決め制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、サーボモータの位置決め時間
を短くするために位置制御のループにフィードフォワー
ドを入れる方法が取られている。図5はその制御系の一
例を示すブロック図である。
【0003】この制御系21は、演算器2から出力され
た目標位置信号rに追従するようモータ4を回転させ、
ボールネジおよびナットなどにて構成される機械可動部
6を所望の位置に移動させるサーボ系である。モータ4
はその回転位置を検出するためのエンコーダ8を備えて
おり、これによる検出結果がフィードバックされ、加算
器10にて目標位置信号rから減算され、速度指令とし
てサーボアンプ12に出力される。
【0004】これだけでは速やかな位置決めが期待でき
ないため、目標位置信号rを微分器14にて微分して速
度指令を生成し、これをフィードフォワードして加算器
10の出力した速度指令と加算器16にて加算する。こ
うすることにより速度指令信号のかさ上げをし、速やか
な位置決めを図っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術によれば、位置決め終了時のインポジションチェ
ック(モータ4の回転位置が正しいか否かのチェック)
の時点では目標位置信号rはないのでフィードフォワー
ドが実質的に掛からない。このため位置決めに時間が掛
かってしまう。
【0006】この様子を示したのが図6である。図6
(a)は速度指令(微分器14の出力波形)を実線で示
し、比較のためにエンコーダ8からの位置フィードバッ
ク信号を微分してなる信号(速度フィードバック)を示
す一点鎖線と重ねたグラフである。
【0007】このように、速度指令が時刻t1 でゼロに
なった(一般には、目標位置信号rが変化しなくなっ
た)後も、制御系21に位置ループが含まれているた
め、実際の速度は速度指令に対して遅れた形となる。サ
ーボアンプ12への速度指令をグラフ化したのが図6
(b)である。速度指令が時刻t1 でゼロになると、実
質的にフィードフォワードが働かなくなり、インポジシ
ョンチェック時間を有効に短縮することができない。
【0008】本発明は係る課題に鑑みなされたもので、
請求項1、2に記載の位置決め制御装置および請求項
8、9に記載の位置決め制御方法は、インポジションチ
ェック時間を短縮することを目的としている。また、請
求項3に記載の位置決め制御装置および請求項10に記
載の位置決め制御方法は、インポジションチェック時間
を様々な速度に応じて短縮することを目的としている。
【0009】また更に、請求項4に記載の位置決め制御
装置および請求項11に記載の位置決め制御方法は、本
来の速度指令信号に影響を与えることなくインポジショ
ンチェック時間の短縮を行なうことを目的としている。
そして請求項5に記載の位置決め制御装置および請求項
12に記載の位置決め制御方法は、インポジションチェ
ック時間の短縮が有効に行なわれるようにすることを目
的としている。
【0010】請求項6に記載の位置決め制御装置および
請求項13に記載の位置決め制御方法は、オーバーシュ
ートなどの制御不良が起きないようにすることを目的と
している。請求項7に記載の位置決め制御装置および請
求項14に記載の位置決め制御方法は、サーボアンプへ
の入力信号の過大化を防ぐことを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】かかる目
的を達成するためになされた本発明の請求項1に記載の
位置決め制御装置は、少なくともサーボモータの位置信
号と目標位置信号とから速度指令信号を生成する速度指
令生成手段を備え、少なくとも該速度指令生成手段によ
り出力された速度指令信号をサーボアンプに入力してサ
ーボモータの位置決め制御を行なう位置決め制御装置に
おいて、前記速度指令信号に相当する値として予め設定
された相当信号を生成する相当信号生成手段と、該相当
信号生成手段により生成された前記相当信号を、フィー
ドフォワードして前記サーボアンプに入力するととも
に、前記目標位置信号の変化がなくなった後に該フィー
ドフォワードを停止するフィードフォワード制御手段
と、を備えたことを特徴とする。
【0012】このような位置決め制御装置では、たとえ
目標位置信号の変化がなくなった状態においても、代わ
りに相当信号がフィードフォワード制御手段によってフ
ィードフォワードされるので、位置決めに掛かる時間が
短縮される。そして更にフィードフォワード制御手段
は、このフィードフォワードを、目標位置信号の変化が
なくなった後に停止させるので、相当信号によってサー
ボモータの回転位置に偏差が生じる、といったこともな
い。
【0013】従って請求項1に記載の位置決め制御装置
によれば、インポジションチェック時間を短縮すること
ができる。なお、この請求項では微分器14(図5参
照)等により生成した速度指令のフィードフォワードを
必須要件としていないが、このフィードフォワードを備
えない制御系に相当信号生成手段およびフィードフォワ
ード制御手段を適用しても、速度指令の代わりに相当信
号をフィードフォワードし、それを目標位置信号の変化
がなくなった後に停止させるので、インポジションチェ
ック時間の短縮は実現される。
【0014】速度指令のフィードフォワードを行なう制
御系に適用することを明示したのが請求項2に記載の位
置決め制御装置である。すなわち請求項2に記載の本発
明は、請求項1に記載の位置決め制御装置において、前
記速度指令生成手段が、前記サーボモータの位置信号お
よび前記目標位置信号に加え、前記サーボモータの目標
位置信号の微分値に比例した値に基づいて前記速度指令
信号を生成するものであることを特徴とする。
【0015】このように速度指令のフィードフォワード
を行なう制御系では前述のように、目標位置信号が変化
しなくなるとフィードフォワードが働かなくなるので、
そうした状態においても、相当信号生成手段により生成
された相当信号をフィードフォワードするフィードフォ
ワード制御手段を備えたこの位置決め制御装置によれ
ば、インポジションチェック時間の短縮を実現すること
ができる。
【0016】請求項3に記載の本発明は、請求項1また
は2に記載の位置決め制御装置において、前記相当信号
生成手段が、前記目標位置信号の変化が大きくなるほど
大きな値の前記相当信号を生成するものであることを特
徴とする。これは、速度指令の大きさが大きいほど、相
当信号を大きさを大きくすることに対応している。これ
に反し、速度指令の大きさに関わらず相当信号の大きさ
を一定にすると、速度信号が大きいときに相当信号のフ
ィードフォワードが十分に働かなかったり、速度信号が
小さいときに相当信号によってサーボモータがオーバー
シュートを起こしてしまったりする虞がある。また、様
々な速度に対応できる最適な相当信号の大きさを設定す
るのが困難、という事態も発生しうる。逆に、速度指令
が大きくなるほど相当信号を小さくすると、これらの不
具合が発生する可能性が高くなる。
【0017】この点、請求項3に記載の位置決め制御装
置によれば、インポジションチェック時間の短縮を様々
な速度において有効に実現することができる。請求項4
に記載の本発明は、請求項1から3にいずれか記載の位
置決め制御装置において、前記フィードフォワード制御
手段が、前記目標位置信号の変化がなくなったときに前
記相当信号のフィードフォワードを開始し、その後、該
フィードフォワードを停止するものであることを特徴と
する。
【0018】こうすると、目標位置信号の変化が有る状
態(例えば、図6(a)においてはt1 までの期間)に
おいては、フィードフォワード制御手段によって出力さ
れる相当信号はサーボアンプに全く入力されないことに
なる。そして目標位置信号の変化がなくなったとき(図
6(a)における時刻t1 )に相当信号のフィードフォ
ワードが開始される。
【0019】また、フィードフォワード制御手段が相当
信号のフィードフォワードを開始するのは目標位置信号
の変化がなくなったとき、すなわち本来の速度指令信号
に影響を与えない範囲の内の最も早い時短で行なうた
め、相当信号をフィードフォワードする期間を確保し易
い。
【0020】従って、請求項4に記載の位置決め制御装
置によれば、本来の速度指令信号に相当信号が影響を一
切与えることなく、インポジションチェック時間の短縮
を行なうことができる。請求項5に記載の本発明は、請
求項4に記載の位置決め制御装置において、前記フィー
ドフォワード制御手段が、前記相当信号のフィードフォ
ワードを開始してから予め定められた時間が経過した後
に該フィードフォワードを停止するものであることを特
徴とする。
【0021】こうすれば、相当信号のフィードフォワー
ドを、予め定められた時間分だけ確実に行なうことがで
きるので、インポジションチェック時間の短縮が有効に
行なわれる。請求項6に記載の本発明は、請求項1から
5にいずれか記載の位置決め制御装置において、前記フ
ィードフォワード制御手段が、前記目標位置信号の変化
がなくなり、かつ前記サーボモータの位置偏差量が予め
定められた値以下になったら前記相当信号のフィードフ
ォワードを停止するものであることを特徴とする。
【0022】これに反し、位置偏差量が十分小さくなっ
ているにも拘わらず、相当信号のフィードフォワードを
続行すると、モータの回転位置がオーバーシュートを起
こすなどの制御不良を生じる虞がある。この点、請求項
6に記載の位置決め制御装置によれば、こうした制御不
良が起きないようにすることができる。
【0023】請求項7に記載の本発明は、請求項1から
6にいずれか記載の位置決め制御装置において、前記相
当信号、および前記速度指令信号の入力を受けて、これ
らの内の大きい方のみを出力して前記サーボアンプに入
力する比較手段を備えたことを特徴とする。
【0024】これに反し、サーボアンプに、相当信号、
および速度指令信号を単純加算して入力すると、入力信
号が過大化する可能性がある。そこで、請求項7では比
較手段を備えており、これにて、これらの信号の内の大
きい方のみをサーボアンプに入力している。このような
位置決め制御装置によれば、サーボアンプへの入力信号
の過大化を防ぐことができる。
【0025】なお、請求項1、2、3、4、5、6、7
の位置決め制御装置を位置決め制御方法として構成した
のが、それぞれ請求項8、9、10、11、12、1
3、14に記載の本発明であり、それぞれ対応する位置
決め制御装置と同様の効果を奏することができる。
【0026】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
と共に説明する。まず、図1は本発明を適用した制御系
1のブロック図である。なお、図5に示した制御系21
と同じ名称の構成については同じ符号を付している。
【0027】この制御系1は、制御系21と同様、演算
器2から出力された目標位置信号rに追従するようモー
タ4を回転させることにより機械可動部6を所望の位置
に移動させるサーボ系である。この制御系1において
も、モータ4の備えるエンコーダ8による検出結果はフ
ィードバックされ、加算器10にて目標位置信号rから
減算され、後述する比較器19を介してサーボアンプ1
2へ入力される速度指令指令となる。そして目標位置信
号rを微分器14にて微分し、これをフィードフォワー
ドして加算器10の出力した速度指令信号と加算器16
にて加算する。ここで加算器16が本発明の速度指令生
成手段に相当する。
【0028】また演算器2は、目標位置信号rだけでな
く、速度指令信号に相当する値として予め設定された相
当信号vも出力する。つまり演算器2は、本発明の相当
信号生成手段に相当する。なお、制御系1において相当
信号vは、目標位置信号rやその微分値などの大きさに
関わらず一定値となっている。
【0029】相当信号vは、スイッチ動作を行なうフィ
ードフォワード制御部20を介して比較器19に入力さ
れる。フィードフォワード制御部20では、相当信号v
を比較器19に出力するか否かのON/OFF制御が行
なわれる。ONになる条件は、目標位置信号rの変化が
有る状態から、その変化がなくなった状態に移行したこ
とである。制御系1では微分器14の出力がゼロになっ
たことを検出することにより、この相当信号vはONさ
れ、比較器19に入力される。
【0030】一方、OFF条件は2つあり、次の内のい
ずれかが成立するとOFFになる。すなわち、その1つ
は相当信号vがONされてから一定時間経過したことで
あり、他方は、位置偏差量が一定量以下になったことで
ある。これらの内の一方が成立すると、相当信号vはO
FFされる。
【0031】比較器19には、加算器16からの出力信
号xと相当信号v(フィードフォワード制御部20がO
N状態になっている場合)とが入力され、それらの内の
大きい方が出力される。従って、フィードフォワード制
御部20がOFF状態になっていれば、加算器16から
の出力信号xが出力される。つまり比較器19は本発明
の比較手段に相当する。
【0032】この制御系1は例えば図2に示すように構
成される。所望の順序で機械可動部6を稼働させるNC
(数値制御)プログラムが予め記録されたフロッピーデ
ィスクをフロッピーディスクドライブ(本図ではFDD
と記載)23に読み取らせると、そのNCプログラムが
FDDコントローラ24を介してCPU27に解釈され
る。そのNCプログラム中にある、テーブル25を目標
位置に位置決めする命令に基づき、その目標位置から目
標速度の時系列データ(これが図4(a)の速度指令に
相当)をCPU27が算出し、RAM29内に展開す
る。それに基づいて、モータ4、サーボアンプ12から
なる制御対象のインポジションチェック時間を短縮すべ
く、更にCPU27が適切な制御信号を算出してインタ
フェース(本図ではI/Fと記載)31からD/A変換
器33に出力する。こうした一連の処理を行なうソフト
ウェアはROM35に予め格納されている。D/A変換
器33では、I/F31から受け取ったデジタル信号が
アナログ化され、サーボアンプ12に入力される。する
とモータ4が稼働してボールネジ39を回転させ、ナッ
ト41とともにテーブル25が移動される。なお、符号
43は、CPU27などからなる制御ユニット45の処
理タイミングや後述するタイマーの基準となるクロック
信号を発する水晶発信子である。
【0033】演算器2、加算器10、微分器14、加算
器16、フィードフォワード制御部20、比較器19は
ソフトウェアとしてROM35に記憶されており、CP
U27がこのソフトウェアを実行することにより実現さ
れる。このCPU27にて実行されるソフトウェアの
内、フィードフォワード制御部20としての処理のフロ
ーチャートを図3に示す。本処理は所定時間(例えば2
msec)毎に起動される。
【0034】本処理が起動されるとまずステップ(以
下、Sと記す)100にて指令速度、すなわち微分器1
4の出力がゼロか否かを判定する。ゼロであればS11
0に進み、前回、本処理を起動したときの指令速度がゼ
ロでなかったか否かを判定する。Yes、すなわちゼロ
でなかったときにはS120に移行し、フィードフォワ
ード制御部20のスイッチをONにする。実際にはこの
スイッチはソフトウェアで実現されているため、正確に
はこれは、相当信号vを比較器19における比較対象と
する、というべきである。そして、S130にてタイマ
ーをスタートさせ、S140に進む。なお、S100に
てNOと判定された場合、またはS110にてNOと判
定された場合にはS140に直行する。
【0035】S140ではフィードフォワード制御部2
0のスイッチがON、すなわち相当信号vが比較器19
における比較の対象となっているか否かを判定する。比
較の対象になっていればS150に移行し、タイマーの
計測値が予め設定された時間よりも大きいか否か、つま
り相当信号vが比較器19における比較の対象に成って
から設定時間だけ経過したかどうかを判定する。経過し
ていればS160に進み、スイッチOFF、すなわち相
当信号vが比較器19に出力されないようにし、S17
0でタイマーの計測値をゼロに戻し(本図ではリセット
と記載)本処理を終了する。S150にてNOと判定さ
れた場合は、S180に移行し、位置偏差量が予め設定
された偏差量以下になっているか否かを判定する。この
判定の結果がYesであればS160に移行し、Noで
あれば本処理を終了する。またS140にてNOと判定
された場合にはそのまま本処理を終了する。
【0036】図1、2のように構成され、図3に示した
処理をはじめとする処理を行なう制御系1において、図
6(a)に示した速度指令と同じ指令パターンを与えた
ときの速度フィードバック、比較器19の出力信号(制
御系21におけるサーボアンプ12への速度指令に相
当)を示したのが図2(a)、図2(b)である。
【0037】すなわち、図6(a)で演算器2に発生さ
せたのと同じ目標位置信号rを演算器2に発生させる
と、速度指令は当然同じとなる。速度フィードバック
も、速度指令がゼロになるまでは同じである。時刻t1
で速度指令がゼロになると、フィードフォワード制御部
20がONになり、相当信号vが比較器19に入力され
るようになる。この結果、図2(b)に示すように比較
器19からは一定の相当信号vが出力されることとな
る。これにより速度フィードバックは、図2(a)に一
点鎖線で示すように、図6(a)に示した速度フィード
バックよりも大きな値を呈する。この結果、図6に示し
た時刻t2 よりも早い時刻t3 にてモータ4が正しい回
転位置に到達し、インポジションチェック時間は短縮さ
れる。なお、ここで相当信号vは、位置偏差が一定量以
下になったためにOFFにされているものとする。この
ため、速度フィードバックもオーバーシュートや振動を
呈することなくインポジションチェック時間が短縮され
る、という望ましい制御結果が得られている。ここでは
最高速度を50m/minとし、相当信号vはONされ
てから50msec経過したか、または位置偏差が10
0パルス以下になったらOFFされるようにして実験を
行なった。
【0038】目標位置信号rの与え方によっては、相当
信号vのOFFが、ONされてから一定時間が経過した
ために行なわれることもある。その場合にも、その一定
時間分、相当信号vのフィードフォワードが行なわれる
ので、インポジションチェック時間の短縮が図られる。
また、この一定時間の途中で位置偏差が小さくなった場
合には相当信号vはOFFされるので、相当信号vのO
N期間が長すぎて、望ましい制御結果が得られない、と
いうこともない。
【0039】以上、本発明の一実施の形態として、制御
系1について説明してきたが、本発明はこの実施の形態
に何等限定されるものではなく様々な態様で実施しう
る。例えば、制御系1において相当信号vは一定値とし
たが、目標位置信号rやその微分値などに応じて変化さ
せても良い。その一例として、目標位置信号rの変化が
大きくなるほど(つまり速度指令が大きくなるほど)大
きな値の相当信号vが大きくなるようにしておけば、速
度信号が大きいときに相当信号のフィードフォワードが
十分に働かなかったり、速度信号が小さいときに相当信
号によってサーボモータがオーバーシュートを起こす、
といった事態を防ぐことができる。
【0040】また、フィードフォワード制御部20にお
ける相当信号vのOFF条件を、位置偏差が一定量以下
になったことのみ(つまりS150を削除する)にして
も良いし、フィードフォワード制御部20がONになっ
てから一定時間が経過しかことのみ(S180を削除す
ることに相当)にしても良い。一方、相当信号vのON
条件を速度指令がゼロになったときではなく、それより
も前の時点(例えば、速度指令が減少し始めた時点)と
してもよい。このようにしても、比較器19により、出
力信号x、相当信号vの大きい方がサーボアンプ12に
入力されるので、適切な速度指令がサーボアンプ12に
入力される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態である制御系1のブロッ
ク図である。
【図2】 制御系1の構成の概略を示す説明図である。
【図3】 CPU27にて実行される、フィードフォワ
ード制御手段に相当する処理のフローチャートである。
【図4】 制御系1における速度フィードバック、サー
ボアンプ12への速度指令信号の変化を表すグラフであ
る。
【図5】 従来の位置決め制御系の一例である制御系2
1のブロック図である。
【図6】 制御系21における速度フィードバック、サ
ーボアンプ12への速度指令信号の変化を表すグラフで
ある。
【符号の説明】
1…制御系 2…演算器 4…モータ 6…機械可動部 8…エンコーダ 10、16…加算器 12…サーボアンプ 14…微分器 19…比較器 20…フィードフォワード制御部 21…従来の制御系 27…CPU r…目標位置信号 v…相当信号 x…出力信号

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくともサーボモータの位置信号と目
    標位置信号とから速度指令信号を生成する速度指令生成
    手段を備え、少なくとも該速度指令生成手段により出力
    された速度指令信号をサーボアンプに入力してサーボモ
    ータの位置決め制御を行なう位置決め制御装置におい
    て、 前記速度指令信号に相当する値として予め設定された相
    当信号を生成する相当信号生成手段と、 該相当信号生成手段により生成された前記相当信号を、
    フィードフォワードして前記サーボアンプに入力すると
    ともに、前記目標位置信号の変化がなくなった後に該フ
    ィードフォワードを停止するフィードフォワード制御手
    段と、 を備えたことを特徴とする位置決め制御装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の位置決め制御装置にお
    いて、 前記速度指令生成手段が、 前記サーボモータの位置信号および前記目標位置信号に
    加え、前記サーボモータの目標位置信号の微分値に比例
    した値に基づいて前記速度指令信号を生成するものであ
    ることを特徴とする位置決め制御装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の位置決め制御
    装置において、 前記相当信号生成手段が、 前記目標位置信号の変化が大きくなるほど大きな値の前
    記相当信号を生成するものであることを特徴とする位置
    決め制御装置。
  4. 【請求項4】 請求項1から3にいずれか記載の位置決
    め制御装置において、 前記フィードフォワード制御手段が、 前記目標位置信号の変化がなくなったときに前記相当信
    号のフィードフォワードを開始し、その後、該フィード
    フォワードを停止するものであることを特徴とする位置
    決め制御装置。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の位置決め制御装置にお
    いて、 前記フィードフォワード制御手段が、 前記相当信号のフィードフォワードを開始してから予め
    定められた時間が経過した後に該フィードフォワードを
    停止するものであることを特徴とする位置決め制御装
    置。
  6. 【請求項6】 請求項1から5にいずれか記載の位置決
    め制御装置において、 前記フィードフォワード制御手段が、 前記目標位置信号の変化がなくなり、かつ前記サーボモ
    ータの位置偏差量が予め定められた値以下になったら前
    記相当信号のフィードフォワードを停止するものである
    ことを特徴とする位置決め制御装置。
  7. 【請求項7】 請求項1から6にいずれか記載の位置決
    め制御装置において、 前記相当信号、および前記速度指令信号の入力を受け
    て、これらの内の大きい方のみを出力して前記サーボア
    ンプに入力する比較手段を備えたことを特徴とする位置
    決め制御装置。
  8. 【請求項8】 少なくとも、サーボモータの位置信号と
    目標位置信号とから生成される速度指令信号、をサーボ
    アンプに入力してサーボモータの位置決め制御を行なう
    位置決め制御方法において、 前記速度指令信号に相当する値として予め設定された相
    当信号を、フィードフォワードして前記サーボアンプに
    入力するとともに、前記目標位置信号の変化がなくなっ
    た後に該フィードフォワードを停止することを特徴とす
    る位置決め制御方法。
  9. 【請求項9】 請求項8に記載の位置決め制御方法にお
    いて、 前記速度指令信号が、 前記サーボモータの位置信号および前記目標位置信号に
    加え、前記サーボモータの目標位置信号の微分値に比例
    した値に基づいて生成されることを特徴とする位置決め
    制御方法。
  10. 【請求項10】 請求項8または9に記載の位置決め制
    御方法において、 前記相当信号が、 前記目標位置信号の変化が大きくなるほど値が大きくさ
    れることを特徴とする位置決め制御方法。
  11. 【請求項11】 請求項8から10にいずれか記載の位
    置決め制御方法において、 前記相当信号のフィードフォワードが、 前記目標位置信号の変化がなくなったときに開始され、
    その後、停止されることを特徴とする位置決め制御方
    法。
  12. 【請求項12】 請求項11に記載の位置決め制御方法
    において、 前記相当信号のフィードフォワードが、 該フィードフォワードが開始されてから予め定められた
    時間が経過した後に停止されることを特徴とする位置決
    め制御方法。
  13. 【請求項13】 請求項8から12にいずれか記載の位
    置決め制御方法において、 前記相当信号のフィードフォワードが、 前記目標位置信号の変化がなくなり、かつ前記サーボモ
    ータの位置偏差量が予め定められた値以下になったら停
    止されることを特徴とする位置決め制御方法。
  14. 【請求項14】 請求項8から13にいずれか記載の位
    置決め制御方法において、 前記サーボアンプに、前記相当信号、前記速度指令信号
    の内の大きい方が入力されることを特徴とする位置決め
    制御方法。
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