JP2001074051A - 真空用エアベアリングインターロック - Google Patents

真空用エアベアリングインターロック

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JP2001074051A
JP2001074051A JP25396499A JP25396499A JP2001074051A JP 2001074051 A JP2001074051 A JP 2001074051A JP 25396499 A JP25396499 A JP 25396499A JP 25396499 A JP25396499 A JP 25396499A JP 2001074051 A JP2001074051 A JP 2001074051A
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JP
Japan
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vacuum
air
exhaust
air supply
stopping
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JP25396499A
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English (en)
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Kunihisa Sasada
国久 佐々田
Takeshi Kaminaga
武 神永
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02—Sliding-contact bearings
    • F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/72—Sealings
    • F16C33/74—Sealings of sliding-contact bearings
    • F16C33/741—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid
    • F16C33/748—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid flowing to or from the sealing gap, e.g. vacuum seals with differential exhaust
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
    • F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
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Abstract

(57)【要約】 【課題】従来の技術においては、上記真空用エアベアリ
ングを緊急停止させる際に真空度の劣化、排気用ポンプ
の損傷、真空チャンバの損傷を招く問題点があった。本
発明の目的は、このような従来技術の欠点を鑑み、真空
用エアベアリングの緊急停止時において、装置の損傷、
真空度の劣化を防止することにある。 【解決手段】請求項１の真空用エアベアリングインター
ロックは、気体を噴出することにより、相対的に移動可
能な2つの部材（固定部及び可動部）間に気体層を設け
て可動部を所定の間隔に維持し、固定部に気体を排気す
る為の機構を有し、気体層から気体が流出するのを防止
する真空用エアベアリング装置において、エアベアリン
グ装置を停止させる際に、可動部を動かすリニアモータ
を停止した後、固定部からの給気または排気箇所の気圧
の高い箇所から順に給気または排気を停止させることを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子線により半導
体基板上に微細なＬＳＩパターンを描画する電子線描画
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空チャンバ内で用いられるエア
ベアリングとしては、図１に示す構成のものがある。図
１は真空用エアベアリング装置の断面図である。同図に
おいて、1は固定部、2は可動部、31、32及び33は給気用
溝、給気用配管及び給気用バルブ、41、42及び43、51、
52及び53、はそれぞれ低真空圧、高真空圧の排気用溝、
排気用配管及び排気用バルブである。排気用配管42、52
はそれぞれドライポンプ、ターボ分子ポンプに接続され
ている。高圧の気体を噴出する給気溝31とこれらの気体
を差動排気によって排気する排気溝41、51を設けること
によって高真空中で使用される真空用エアベアリングが
提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術において
は、上記真空用エアベアリングを緊急停止させる際に真
空度の劣化、排気用ポンプの損傷、真空チャンバの損傷
を招く問題点があった。本発明の目的は、このような従
来技術の欠点を鑑み、真空用エアベアリングの緊急停止
時において、装置の損傷、真空度の劣化を防止すること
にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１の真空用エアベ
アリングインターロックは、気体を噴出することによ
り、相対的に移動可能な2つの部材（固定部及び可動
部）間に気体層を設けて可動部を所定の間隔に維持し、
固定部に気体を排気する為の機構を有し、気体層から気
体が流出するのを防止する真空用エアベアリング装置に
おいて、エアベアリング装置を停止させる際に、可動部
を動かすリニアモータを停止した後、固定部からの給気
または排気箇所の気圧の高い箇所から順に給気または排
気を停止させることを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１と図2とに従って、本発明の
実施形態の一例について説明する。電子線描画装置に図
１に示す構成の真空用エアベアリングを用いた場合につ
いて説明する。図１において可動部2は固定部1と5μm程
度の間隔を開けて対向している。給気溝31からは4気圧
程度の空気もしくは窒素を放出する。給気溝41、51はそ
れぞれベローズを通じてドライポンプ、ターボ分子ポン
プ接続されており、給気溝31から放出された気体を排気
する。可動部2にステージが固定されリニアモータを用
いてステージを移動させる。
【０００６】図２に従って、図１に示す構成の真空用エ
アベアリングを用いた場合に何らかのエラーが発生し電
子線描画装置のステージを停止させる際のエラー処理を
説明する。エラーが発生したとき、まず、給気用バルブ
33を閉鎖し、気体の放出を停止する。次に、排気用溝41
の真空度を測定し、真空度がある設定値に達したら排気
用バルブ43を閉鎖しドライポンプでの排気を停止する。
【０００７】
【発明の効果】請求項１の真空用エアベアリングインタ
ーロックは、気体を噴出することにより、相対的に移動
可能な2つの部材（固定部及び可動部）間に気体層を設
けて可動部を所定の間隔に維持し、固定部に気体を排気
する為の機構を有し、気体層から気体が流出するのを防
止する真空用エアベアリング装置において、エアベアリ
ング装置を停止させる際に、可動部を動かすリニアモー
タを停止した後、固定部からの給気または排気箇所の気
圧の高い箇所から順に給気または排気を停止させること
を特徴とする。
【０００８】従って、真空チャンバ内の真空度の劣化に
よる電子線描画装置の停止時間を、短縮することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】真空用エアベアリングの断面図を示す図であ
る。
【図２】エラー処理シーケンスを示す図
【符号の説明】
１ 真空用エアベアリング固定部 ２ 真空用エアベアリング可動部 ３１ 給気用溝 ３２ 給気用配管 ３３ 給気用バルブ ４１ 排気用溝 ４２ 排気用配管 ４３ 排気用バルブ ５１ 排気用溝 ５２ 排気用配管 ５３ 排気用バルブ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】気体を噴出することにより、相対的に移動
    可能な2つの部材（固定部及び可動部）間に気体層を設
    けて可動部を所定の間隔に維持し、固定部に気体を排気
    する為の機構を有し、気体層から気体が流出するのを防
    止する真空用エアベアリング装置において、エアベアリ
    ング装置を停止させる際に、可動部を動かすリニアモー
    タを停止した後、固定部からの給気または排気箇所の気
    圧の高い箇所から順に給気または排気を停止させること
    を特徴とする真空用エアベアリングインターロック。
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