JP2001068526A - 基板ピッチ変換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリアに収納された基板を、そこでの収納
ピッチよりも小さいピッチで別の基板保持手段に保持さ
せるために保持ピッチを変換できるものでありながら、
キャリアを小型化できるようにする。 【解決手段】 基板受け渡し具を設けた第１の支持ブラ
ケットに、第３のエアシリンダを介して基板の並列載置
方向に移動出退可能に基板保持部材２０を設け、基板保
持部材２０を退避させた状態では、キャリアの下部開口
を通過できるようにする。基板保持部材２０に、それぞ
れ基板を保持する第１および第２の基板保持部２１ａ，
２１ｂを付設し、突出状態において、第１および第２の
基板保持部２１ａ，２１ｂのいずれかに一枚の基板Ｗを
保持できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや液
晶装置製造用のガラス基板などの電子部品製造用の基板
に、各種薬液や純水などの処理液により浸漬して洗浄処
理するなど、各種の処理を施すに際して、キャリアに収
納された基板の並列ピッチよりも小さなピッチで基板を
取り扱えるようにする基板ピッチ変換装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の装置としては、従来、特開平１
０−３０８４３２号公報に記載されているものがあっ
た。この公報例によれば、所定ピッチで複数の基板を収
納したキャリアをキャリア載置ユニットに載置し、その
キャリア載置ユニットと、前洗浄部、後洗浄部および乾
燥部を備えた洗浄処理ユニットとにわたって基板搬送ロ
ボット（本願発明の基板保持手段に相当する）を移動さ
せ、キャリア内の基板を洗浄処理し、その洗浄処理後の
基板をキャリア内に戻すように構成されている。

【０００３】キャリア載置ユニットのキャリアと基板搬
送ロボットとの間で基板の受渡しを行うときに、基板を
保持するピッチを変換し、基板搬送ロボットは、キャリ
ア内に収納される基板のピッチの半分のピッチで基板を
保持し、第１のキャリアと第２のキャリアの２個分の基
板を保持できるように構成されている。

【０００４】保持ピッチの変換動作は、次の通りであ
る。なお、ここでは、本願発明と対比しやすくするため
に、各部材等の名称に付いて、公報の説明とは異なり、
本願発明で用いた名称を用いている。また、キャリア内
には、通常２５枚の基板が収納されるが、わかりやすく
するために３枚の基板で説明する。

【０００５】図３２に示すように、移動台０１上に回転
可能に２個の回転台０２が設けられ、その回転台０２に
第１のキャリアＣ１と第２のキャリアＣ２とが載置さ
れ、第１のキャリアＣ１内に第１の基板Ｗ１群が、そし
て、第２のキャリアＣ２内に第２の基板Ｗ２群がそれぞ
れ所定ピッチで収納されている。

【０００６】第１および第２のキャリアＣ１，Ｃ２が反
対方向に90°回転され、収納状態での鏡面の向きが、第
１の基板Ｗ１群と第２の基板Ｗ２群とで正反対になるよ
うにして静止されている。

【０００７】第１のキャリアＣ１の下方に基板受け渡し
具０３が昇降可能に設けられ、移動台０１および回転台
０２に設けられた開口（図示せず）と第１のキャリアＣ
１の下部開口（図示せず）を通じて昇降し、第１のキャ
リアＣ１（または第２のキャリアＣ２）と図３３に示す
基板保持手段０４とにわたって、第１の基板Ｗ１群（ま
たは第２の基板Ｗ２群）を受け渡すようになっている。

【０００８】基板保持手段０４は、回転可能な一対の保
持ロッド０５それぞれに周方向に順に所定の基板保持溝
（溝が無いものをも含む）を形成して構成され、基板に
作用せずに通過させる非作用領域Ｐと、第２の基板Ｗ２
群は通過させるものの第１の基板Ｗ１群の通過を阻止し
て第１の基板Ｗ１群を保持する第１の保持領域Ｍ１，Ｎ
１と、第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群のいず
れの通過をも阻止して第１の基板Ｗ１群および第２の基
板Ｗ２群を保持する第２の保持領域Ｍ２，Ｎ２，Ｓとが
備えられている。

【０００９】先ず、図３３に示すように、基板保持手段
０４を非作用領域Ｐにしておき［図３３の（ｂ）］、そ
の状態で基板受け渡し具０３を突き上げて第１のキャリ
アＣ１内の第１の基板Ｗ１群を基板受け渡し具０３に保
持させ［図３３の（ａ）］、更に、図３４に示すよう
に、基板受け渡し具０３を基板保持手段０４の上方まで
突き上げ［図３４の（ａ）］、その状態で基板保持手段
０４を第１の保持領域Ｍ１に切り替える［図３４の
（ｂ）］。

【００１０】次いで、図３５の（ａ）に示すように、基
板受け渡し具０３を下降し、基板受け渡し具０３に保持
させていた第１の基板Ｗ１群を基板保持手段０４の第１
の保持領域Ｍ１に受け渡して保持させる［図３５の
（ｂ）］。

【００１１】その後、図３６の（ａ）に示すように、移
動台０１を移動するとともに、基板受け渡し具０３を、
第１の基板Ｗ１群のピッチの半分（以下ハーフピッチＨ
Ｐと称する）だけ移動台０１と同じ方向に移動し、第２
の基板Ｗ２群それぞれを基板保持手段０４に保持された
第１の基板Ｗ１群［図３６の（ｂ）］に対して前記ハー
フピッチＨＰずつズレさせておく。

【００１２】しかる後、基板受け渡し具０３を突き上げ
て第２のキャリアＣ２内の第２の基板Ｗ２群を基板受け
渡し具０３に保持させ［図３７の（ａ）および
（ｂ）］、更に、基板受け渡し具０３を基板保持手段０
４の上方まで突き上げ［図３８の（ａ）］、先に基板保
持手段０４に保持されていた第１の基板Ｗ１群も基板受
け渡し具０３に保持させ、その状態で基板保持手段０４
を第２の保持領域Ｍ２に切り替える［図３８の
（ｂ）］。

【００１３】次いで、図３９の（ａ）に示すように、基
板受け渡し具０３を下降し、基板受け渡し具０３に保持
させていた第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を
基板保持手段０４の第２の保持領域Ｍ２に受け渡して保
持させ［図３９の（ｂ）］、更に、基板受け渡し具０３
を移動台０１の下方位置まで下降し［図４０の（ａ）お
よび（ｂ）］、ピッチ変換を終了する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来例
の場合、次のような欠点があった。図３８の（ａ）に示
すように、基板受け渡し具０３を突き上げて第２のキャ
リアＣ２内の第２の基板Ｗ２群を基板受け渡し具０３に
保持させ、基板受け渡し具０３を基板保持手段０４の上
方まで突き上げ、先に基板保持手段０４に保持されてい
た第１の基板Ｗ１群を基板受け渡し具０３に保持させる
ときに、第１の基板Ｗ１群において一方の端に位置する
１枚の第１の基板Ｗ１が第２の基板Ｗ２群よりも基板の
並列載置方向の外方に位置することになる。

【００１５】その１枚の第１の基板Ｗ１を基板受け渡し
具０３に保持させるために、基板受け渡し具０３の基板
の並列載置方向における長さを、前記ハーフピッチＨＰ
分だけ長くせざるを得ない。

【００１６】上述のような基板受け渡し具０３を第２の
キャリアＣ２の下部開口を通じて昇降するには、第２の
キャリアＣ２の端の第２の基板Ｗ２と、それに対向する
第２のキャリアＣ２の内周壁面との間に、前記ハーフピ
ッチＨＰ分以上の隙間が必要になり、キャリアを小型化
できない欠点があった。

【００１７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、キャリアに収納された基板を、そこで
の収納ピッチよりも小さいピッチで別の基板保持手段に
保持させるために保持ピッチを変換できるものでありな
がら、キャリアを小型化できるようにすることを目的と
する。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、複数の基板を所定ピッチ
で整立収納する第１のキャリアから基板を抜き出し、前
記第１のキャリアと同じピッチで複数の基板を整立収納
する第２のキャリアから基板を抜き出し、第１のキャリ
アから抜き出した第１の基板群の基板間の各隙間に、第
２のキャリアから抜き出した第２の基板群を、相互に接
触しない状態で挿入して、第３の基板群を形成するよう
にした基板ピッチ変換装置であって、第１の基板群が上
昇通過するのを許容する第１の状態と、第１の基板群が
下降するのを受け止めて載置保持し、第２の基板群が上
昇通過するのを許容する第２の状態と、第１の基板群お
よび第２の基板群が下降するのを受け止めて、前記第３
の基板群を形成するようにして基板を載置保持する第３
の状態とに切り替え可能で、基板を整立姿勢で水平方向
に並列載置保持する基板保持手段と、基板を立姿勢で収
納し、基板を出し入れする上部開口を上向きにした第１
または第２のキャリアの上方に前記基板保持手段を位置
させた状態で、第１または第２のキャリアの下部に設け
られた下部開口を通じて上昇し、第１または第２のキャ
リア内の基板を突き上げ保持して前記基板保持手段に受
け渡す基板受け渡し具と、基板を立姿勢で収納し、基板
を出し入れする上部開口を上向きにした第２のキャリア
を、前記基板保持手段および前記基板受け渡し具に対し
て、前記第１のキャリアと前記第２のキャリアの間隔だ
け相対移動する第１の位置合わせ機構と、第２のキャリ
アおよび前記基板受け渡し具を前記基板保持手段に対し
て第３の基板群のピッチだけ相対移動する第２の位置合
わせ機構と、前記基板受け渡し具に付設されて、基板の
並列載置方向に出退し、その退避状態では前記第２のキ
ャリアの下部開口を通過可能で、かつ、突出状態では前
記基板保持手段に載置保持されている第１の基板群にお
いて端に位置する基板を受け止め保持する基板保持部材
と、を備えたことを特徴としている。

【００１９】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の基板ピッチ変換装置において、前記基板受け渡
し具が、基板を保持する第１の基板受け渡し部材と、基
板を保持する第２の基板受け渡し部材とから成り、前記
第１および第２の基板受け渡し部材を択一的にかつ背反
的に作用状態に切り換える選択機構を備え、かつ、基板
保持部材にその出退方向に複数の基板保持部を設け、前
記選択機構に連係して基板を保持すべき前記基板保持部
を前記基板保持部材の出退量によって切り換え可能に構
成するものである。

【００２０】

【作用】本発明の作用は次のとおりである。すなわち、
請求項１に記載の発明は、基板受け渡し具を上昇させる
ことにより第１のキャリア内の基板を突き上げ保持して
第１の基板群を抜き出し、その上方の第１の状態の基板
保持手段を通過して上昇させ、基板保持手段を第２の状
態に切り替えた後に基板受け渡し具を下降し、第１の基
板群を基板保持手段に受け止めて載置保持する。

【００２１】その後、基板保持手段および基板受け渡し
具に対して第２のキャリアを相対移動するとともに、基
板保持手段に対して第２のキャリアおよび基板受け渡し
具を相対移動し、基板保持部材を退避させた状態で基板
受け渡し具を上昇させることにより第２のキャリア内の
基板を突き上げ保持して第２の基板群を抜き出す。

【００２２】第２のキャリアと基板保持手段との中間位
置で、基板受け渡し具から基板保持部材を突出させ、そ
の突出状態で基板受け渡し具を上昇させ、第２の基板群
を上昇するとともに、第１の基板群の基板間の各隙間に
相互に接触しない状態で挿入して、先に基板保持手段に
載置保持されていた第１の基板群を基板受け渡し具と基
板保持部材とに保持させて第３の基板群を形成し、その
状態で基板保持手段を通過して上昇させる。

【００２３】基板保持手段を第３の状態に切り替えた後
に基板受け渡し具を下降し、第３の基板群を基板保持手
段に受け止めて載置保持させる。その下降の際に、第３
の基板群を基板保持手段に受け渡した後の第２のキャリ
アと基板保持手段との中間位置で、基板受け渡し具から
基板保持部材を退避させ、その退避状態で基板受け渡し
具を下降させ、第２のキャリアならびにその下部開口を
通過させて第２のキャリアの下方に位置させ、第１およ
び第２のキャリアから基板保持手段に基板ピッチを変換
した状態で基板を受け渡すことができる。

【００２４】また、請求項２に記載の発明は、第３の基
板群を形成してそれら第３の基板群を保持するときに、
例えば、洗浄などの処理前には、第２の基板受け渡し部
材と、複数の基板保持部のうちのひとつの基板保持部と
によって第３の基板群を保持する。処理後には、基板保
持部材の出退量を変え、第１の基板受け渡し部材と、複
数の基板保持部のうちの別の基板保持部とによって第３
の基板群を保持する。

【００２５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例を図面を用
いて詳細に説明する。図１は、本発明に係る基板ピッチ
変換装置を用いた基板処理装置の実施例を示す全体斜視
図であり、基板処理装置１が、複数の基板Ｗを所定ピッ
チで整立収納したキャリアＣを載置するキャリア載置ユ
ニット２と、基板Ｗを洗浄処理する洗浄処理ユニット３
と、キャリア載置ユニット２と洗浄処理ユニット３との
間で基板Ｗの保持ピッチを変換する基板ピッチ変換装置
４とから構成されている。

【００２６】キャリア載置ユニット２には、装置外部か
ら搬入されるキャリアＣを載置するキャリア載置部５
と、キャリアＣを移載するキャリア移載ロボット６と、
キャリアＣを洗浄するキャリア洗浄部７とが備えられて
いる。

【００２７】洗浄処理ユニット３には、前工程の洗浄処
理を行う前洗浄部３ａと、後工程の洗浄処理を行う２つ
の後洗浄部３ｂと、洗浄処理後の基板Ｗを乾燥処理する
乾燥部３ｃとが備えられ、基板Ｗを前洗浄部３ａ、いず
れか一方の後洗浄部３ｂ、乾燥部３ｃと順に搬送して処
理するようになっている。

【００２８】基板ピッチ変換装置４は、キャリアＣに収
納される基板Ｗのピッチの半分のピッチ、いわゆるハー
フピッチＨＰで、基板Ｗを整列した立姿勢（整立姿勢と
略称する）で水平方向に並列載置保持する保持する基板
保持手段８と、図２の斜視図に示すように、２個のキャ
リアＣを回転および水平方向に移動可能に載置する移動
台９と、移動台９の下方から昇降してキャリアＣと基板
保持手段８との間で基板Ｗの受け渡しを行う基板受け渡
し具１０とから構成されている。

【００２９】移動台９は、図示しないが、電動モータと
ボールネジによる駆動機構によって移動可能に構成さ
れ、基板保持手段８および基板受け渡し具１０に対し
て、基板を出し入れするキャリアＣを交換するために移
動するとともに、更に、基板保持手段８に対して、基板
受け渡し具１０とともにハーフピッチＨＰだけ移動でき
るようになっている。

【００３０】上述のキャリアＣの交換のために移動する
構成が、特許請求の範囲に記載の「第１の位置合わせ機
構」に相当する。この第１の位置合わせ機構としては、
基板保持手段８および基板受け渡し具１０をキャリアＣ
に対して移動するように構成するものでも良い。また、
上記ハーフピッチＨＰだけ移動する構成が、後述する第
１のエアシリンダ１５によって基板受け渡し具１０を移
動する構成と併せて、特許請求の範囲に記載の「第２の
位置合わせ機構」に相当する。この第２の位置合わせ機
構としては、基板保持手段８をキャリアＣおよび基板受
け渡し具１０に対して移動するように構成するものでも
良い。

【００３１】基板保持手段８は、図３の斜視図および図
４の正面図に示すように、回転可能な一対の保持ロッド
１１それぞれに周方向に順に所定の基板保持溝（溝が無
いものをも含む）を形成して６通りの基板保持状態が得
られるように構成されている。

【００３２】すなわち、基板に作用せずに通過させる非
作用領域Ｐどうしを対向させることにより、後述する第
１の基板Ｗ１群が上昇通過するのを許容する第１の状態
が得られるようになっている。

【００３３】キャリアＣに収納される基板Ｗのピッチと
同じピッチで基板を保持する溝を形成した第１の保持領
域Ｍ１，Ｎ１どうしを対向させることにより、後述する
第２の基板Ｗ２群が上昇通過するのを許容するものの第
１の基板Ｗ１群が下降するのを受け止めて第１の基板Ｗ
１群を保持する第２の状態が得られるようになってい
る。ここで、一方の第１の保持領域Ｍ１を対向させると
きは、処理前の第１の基板Ｗ１群を保持する場合であ
り、他方の第１の保持領域Ｎ１を対向させるときは、処
理後の第１の基板Ｗ１群を保持する場合である。

【００３４】前記ハーフピッチＨＰで基板を保持する溝
を形成した第２の保持領域Ｍ２，Ｎ２，Ｓどうしを対向
させることにより、後述する第１の基板Ｗ１群および第
２の基板Ｗ２群が下降するのを受け止めて第３の基板群
を形成するようにして基板を載置保持する第３の状態が
得られるようになっている。ここで、一方の第２の保持
領域Ｍ２を対向させるときは、処理前の第１の基板Ｗ１
群および第２の基板Ｗ２群を保持する場合であり、他方
の第２の保持領域Ｎ２を対向させるときは、処理後の第
１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を保持する場合
であり、更に、別の第２の保持領域Ｓを対向させるとき
は、前述した前洗浄部３ａで処理した後、乾燥部３ｃま
で搬送するときに第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ
２群を保持する場合である。

【００３５】図５の縦断側面図に示すように、基板受け
渡し具１０は、図示しない電動モータとボールネジによ
る昇降機構によって昇降される支持フレーム１２に、処
理後の基板を保持する第１の基板受け渡し部材１３と、
処理前の基板を保持する第２の基板受け渡し部材１４と
を設けて構成されている。第１および第２の基板受け渡
し部材１３，１４それぞれには、前述のハーフピッチＨ
Ｐを隔てて基板保持溝が形成されている。

【００３６】支持フレーム１２に、第１のエアシリンダ
１５を介して、前述のハーフピッチＨＰだけ水平方向に
移動可能に第１の支持ブラケット１６が設けられ、その
第１の支持ブラケット１６に第１の基板受け渡し部材１
３が取り付けられている。

【００３７】また、第１の支持ブラケット１６に、選択
機構としての第２のエアシリンダ１７を介して昇降可能
に第２の支持ブラケット１８が設けられ、その第２の支
持ブラケット１８に第２の基板受け渡し部材１４が取り
付けられ、第１の基板受け渡し部材１３よりも上方に突
出して基板を保持する作用位置と、第１の基板受け渡し
部材１３よりも下方に退避して第１の基板受け渡し部材
１３に基板を保持させる非作用位置とに変位できるよう
に、すなわち、第１および第２の基板受け渡し部材１
３，１４を択一的にかつ背反的に作用状態に切り換える
ように構成されている。

【００３８】第１の支持ブラケット１６に、第３のエア
シリンダ１９を介して前記第１または第２の基板受け渡
し部材１３，１４による基板の並列載置方向に移動出退
可能に基板保持部材２０が設けられている。これによ
り、図７の（ａ）に示すように、基板保持部材２０を退
避させた状態では、キャリアＣの下部開口を通過できる
ようになっている。

【００３９】基板保持部材２０には、それぞれ基板を保
持する第１および第２の基板保持部２１ａ，２１ｂが付
設され、図７の（ｂ）または（ｃ）に示すように、突出
状態において、第１および第２の基板保持部２１ａ，２
１ｂのいずれかに一枚の基板Ｗを保持できるようになっ
ている。

【００４０】第３のエアシリンダ１９と前記選択機構と
しての第２のエアシリンダ１７とが連係され、第１の基
板受け渡し部材１３が作用状態のときには、基板保持部
材２０を大きく突出させて第１の基板保持部２１ａに基
板を保持させ［図７の（ｃ）］、第２の基板受け渡し部
材１４が作用状態のときには、基板保持部材２０を少し
突出させて第２の基板保持部２１ｂに基板を保持させる
ように構成されている［図７の（ｂ）］。

【００４１】次に、上記基板ピッチ変換装置の動作につ
いて説明する。なお、キャリア内には、通常２５枚の基
板が収納されるが、わかりやすくするために３枚の基板
で説明する。

【００４２】図８に示すように、移動台９上に回転可能
に２個の回転台２２が設けられ、その回転台２２に第１
のキャリアＣ１と第２のキャリアＣ２とが上部開口を上
向きにした状態で載置され、第１のキャリアＣ１内に第
１の基板Ｗ１群が、そして、第２のキャリアＣ２内に第
２の基板Ｗ２群がそれぞれ所定ピッチで収納されてい
る。

【００４３】図９に示すように、第１および第２のキャ
リアＣ１，Ｃ２を反対方向に90°回転し、収納状態での
鏡面の向きが、第１の基板Ｗ１群と第２の基板Ｗ２群と
で正反対になるとともに、第１のキャリアＣ１の下方に
基板受け渡し具１０が位置するようにして静止する。

【００４４】図１０に示すように、基板保持手段８を非
作用領域Ｐにしておき［図１０の（ｂ）］、その状態で
移動台９および回転台２２に設けられた開口（図示せ
ず）と第１のキャリアＣ１の下部開口（図示せず）を通
じ、第２の基板受け渡し部材１４を作用状態にした基板
受け渡し具１０を突き上げて第１のキャリアＣ１内の第
１の基板Ｗ１群を第２の基板受け渡し部材１４に保持さ
せ［図１０の（ａ）］、更に、図１１に示すように、基
板受け渡し具１０を基板保持手段８の上方まで突き上げ
［図１１の（ａ）］、その状態で基板保持手段８を第１
の保持領域Ｍ１に切り替える［図１１の（ｂ）］。

【００４５】次いで、図１２の（ａ）に示すように、基
板受け渡し具１０を下降し、第２の基板受け渡し部材１
４に保持させていた第１の基板Ｗ１群を基板保持手段８
の第１の保持領域Ｍ１に受け渡して保持させる［図１２
の（ｂ）］。更に、図１３の（ａ）および（ｂ）に示す
ように、基板受け渡し具１０を移動台９の下方まで下降
しておく。

【００４６】その後、第１および第２の位置合わせ機構
により、移動台９を移動するとともに、基板受け渡し具
１０を、第１の基板Ｗ１群のピッチの半分（以下ハーフ
ピッチＨＰと称する）だけ移動台９と同じ方向に移動
し、第２の基板Ｗ２群それぞれを基板保持手段８に保持
された第１の基板Ｗ１群［図１４の（ｂ）］に対して前
記ハーフピッチＨＰずつズレさせておく。

【００４７】しかる後、基板受け渡し具１０を突き上げ
て第２のキャリアＣ２内の第２の基板Ｗ２群を第２の基
板受け渡し部材１４に保持させる［図１５の（ａ）およ
び（ｂ）］。

【００４８】第２のキャリアＣ２と基板保持手段８との
中間位置で、基板受け渡し具１０から基板保持部材２０
を少し突出させ、第２の基板保持部２１ｂに基板を保持
可能にし［図１６の（ａ）および（ｂ）］、その突出状
態で基板受け渡し具１０を上昇させ、第２の基板Ｗ２群
を上昇するとともに、第１の基板Ｗ１群の基板間の各隙
間に相互に接触しない状態で挿入して、先に基板保持手
段８に載置保持されていた第１の基板Ｗ１群を第２の基
板受け渡し部材１４と第２の基板保持部２１ｂとに保持
させて第３の基板群を形成し、その状態で基板保持手段
８を通過して基板保持手段８の上方まで突き上げ、その
状態で基板保持手段８を第２の保持領域Ｍ２に切り替え
る［図１７の（ａ）および（ｂ）］。このとき、第２の
基板保持部２１ｂには、第１の基板Ｗ１群のうちの一方
の端の１枚の基板Ｗ１が保持される。

【００４９】次いで、図１８の（ａ）に示すように、基
板受け渡し具１０を下降し、第２の基板受け渡し部材１
４および第２の基板保持部２１ｂに保持させていた第１
の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を基板保持手段８
の第２の保持領域Ｍ２に受け渡して保持させる［図１８
の（ｂ）］。

【００５０】図１９の（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、第２のキャリアＣ２と基板保持手段８との中間位置
で、基板受け渡し具１０から基板保持部材２０を退避さ
せ、基板保持部材２０が第２のキャリアＣ２に当たらな
い状態にしてから、図２０の（ａ）および（ｂ）に示す
ように、基板受け渡し具１０を移動台９の下方位置まで
下降するとともに、第２の基板受け渡し部材１４を非作
用状態に切り換えて第１の基板受け渡し部材１３を作用
状態にし、ハーフピッチＨＰへのピッチ変換を終了す
る。

【００５１】第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群
を保持した基板保持手段８は、前洗浄部３ａに移動し、
昇降台２３ａの上昇により第１の基板Ｗ１群および第２
の基板Ｗ２群を昇降台２３ａに受け渡し、昇降台２３ａ
を上昇させた状態で、基板保持手段８を非作用領域Ｐど
うしが対向するように切り替え、その後に下降して第１
の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を前洗浄部３ａで
処理する。

【００５２】前洗浄部３ａでの処理が済むと、昇降台２
３ａを基板保持手段８の上方まで上昇させ、その状態
で、基板保持手段８を第２の保持領域Ｓどうしが対向す
るように切り替え、その後に昇降台２３ａを下降して第
１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を基板保持手段
８に受け渡す。

【００５３】その後、同様にして後洗浄部３ｂと基板保
持手段８との間で第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ
２群を受け渡すとともに、基板保持手段８から乾燥部３
ｃに第１の基板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を受け渡
す。

【００５４】乾燥部３ｃでの乾燥処理後は、基板保持手
段８を第２の保持領域Ｎ２どうしが対向するように切り
替え、その第２の保持領域Ｎ２により第１の基板Ｗ１群
および第２の基板Ｗ２群を保持し、第２のキャリアＣ２
の上方箇所に搬送する。上述の基板処理の間に、第１お
よび第２のキャリアＣ１，Ｃ２はカセット洗浄部７に搬
送して洗浄処理しておく。

【００５５】一方、基板受け渡し具１０において、第１
の基板受け渡し部材１３を作用状態にしておき、その状
態で基板受け渡し具１０を上昇する［図２１の（ａ）お
よび（ｂ）］。第２のキャリアＣ２と基板保持手段８と
の中間位置で、基板受け渡し具１０から基板保持部材２
０を大きく突出させ、第１の基板保持部２１ａに基板を
保持可能にし［図２２の（ａ）および（ｂ）］、その突
出状態で基板受け渡し具１０を更に上昇させ、第１の基
板Ｗ１群および第２の基板Ｗ２群を第１の基板受け渡し
部材１３および第１の基板保持部２１ａに保持させると
ともに、基板保持手段８を第１の保持領域Ｎ１どうしが
対向するように切り替える［図２３の（ａ）および
（ｂ）］。

【００５６】その後、基板受け渡し具１０を下降し、第
１の基板受け渡し部材１３および第１の基板保持部２１
ａに保持させていた第１の基板Ｗ１群を基板保持手段８
に保持させる［図２４の（ａ）および（ｂ）］。

【００５７】次いで、図２５の（ａ）および（ｂ）に示
すように、第２のキャリアＣ２と基板保持手段８との中
間位置で、基板保持部材２０を退避させ、基板保持部材
２０が第２のキャリアＣ２に当たらない状態にしてか
ら、図２６の（ａ）および（ｂ）に示すように、基板受
け渡し具１０を移動台９の下方位置まで下降し、第１の
基板受け渡し部材１３に保持された第２の基板Ｗ２群を
第２のキャリアＣ２内に収納する。

【００５８】その後、図２７の（ａ）および（ｂ）に示
すように、第１および第２の位置合わせ機構により、移
動台９を移動するとともに、基板受け渡し具１０を、ハ
ーフピッチＨＰだけ移動台９と同じ方向に移動し、基板
保持手段８に保持された第１の基板Ｗ１群の下方の所定
位置に第１のキャリアＣ１を位置させる。

【００５９】しかる後、図２８の（ａ）および（ｂ）に
示すように、基板受け渡し具１０を第１のキャリアＣ１
を通じて上昇させ、更に、図２９の（ａ）および（ｂ）
に示すように、基板保持手段８の上方まで上昇させ、基
板保持手段８に保持されていた第１の基板Ｗ１群を第１
の基板受け渡し部材１３に保持させるとともに、基板保
持手段８を非作用領域Ｐどうしが対向するように切り替
える。

【００６０】図３０の（ａ）および（ｂ）に示すよう
に、基板保持手段８を通過して基板受け渡し具１０を下
降し、図３１に示すように、第１の基板受け渡し部材１
３に保持された第１の基板Ｗ１群を第１のキャリアＣ１
内に収納し、一連の洗浄処理を完了する。

【００６１】その後、洗浄処理を完了した基板Ｗを収納
したキャリアＣは、キャリア移載ロボット６によってキ
ャリア載置部５に搬送し、別のキャリア移載ロボットな
どによって装置外に搬出し、次の処理工程に搬送する。

【００６２】上記実施例によれば、洗浄処理前の基板
は、第２の基板受け渡し部材１４、第２の基板保持部２
１ｂ、基板保持手段８の第１および第２の保持領域Ｍ
１，Ｍ２によって保持させ、一方、洗浄処理後の基板
は、第１の基板受け渡し部材１３、第１の基板保持部２
１ａ、基板保持手段８の第１および第２の保持領域Ｎ
１，Ｎ２によって保持させ、洗浄処理したキャリアに収
納していくため、基板から保持部に転移したパーティク
ルが洗浄処理後の基板に再付着することを良好に防止で
きる利点を有している。

【００６３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の発明によれば、第３の基板群を形成するとき
に、第２のキャリアから第２の基板群を抜き出した後
で、基板受け渡し具から基板保持部材を突出させ、その
基板保持部材によって第１の基板群の端の基板を保持さ
せ、第１および第２のキャリアを通過するときには、基
板受け渡し具から基板保持部材を退避させるので、第３
の基板群の形成時に第１の基板群の端の基板を保持させ
る構成に起因して必要としていた、キャリア内に収納さ
れた端の基板と、それに対向するキャリアの内周壁面と
の間の隙間を不要にでき、キャリアに収納された基板
を、そこでの収納ピッチよりも小さいピッチで別の基板
保持手段に保持させるために保持ピッチを変換できるも
のでありながら、キャリアを小型化できる。このような
キャリアの小型化は、例えば、基板を収納したキャリア
を薬液などに浸漬して処理するような場合に、処理槽を
小型化できるとともに処理薬液の消費量を減少でき、極
めて経済的である。

【００６４】また、請求項２に記載の発明によれば、例
えば、洗浄などの処理前に第３の基板群に接触した箇所
を処理後の第３の基板群に接触させないので、パーティ
クルの再付着による汚染を回避できる。しかも、第３の
基板群を形成してその基板群の端の基板を保持する基板
保持部材において、複数の基板保持部を設けてその出退
量を変えるだけで済むから、前述した基板ピッチ変換の
ための出退構成をそのまま利用でき、極めて簡単に構成
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板ピッチ変換装置を用いた基板
処理装置の実施例を示す全体斜視図である。

【図２】キャリアを載置した移動台の斜視図である。

【図３】基板保持手段の斜視図である。

【図４】基板保持手段の正面図である。

【図５】基板受け渡し具の縦断側面図である。

【図６】基板受け渡し具の一部切欠正面図である。

【図７】基板保持部材の要部の断面図である。

【図８】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側
面図である。

【図９】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略側
面図である。

【図１０】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１１】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１２】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１３】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１４】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１５】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１６】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１７】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１８】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図１９】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２０】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２１】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２２】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２３】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２４】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２５】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２６】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２７】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２８】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図２９】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図３０】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図および概略背面図である。

【図３１】基板ピッチ変換装置の動作説明に供する概略
側面図である。

【図３２】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図である。

【図３３】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図および概略背面図である。

【図３４】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図および概略背面図である。

【図３５】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図および概略背面図である。

【図３６】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図および概略背面図である。

【図３７】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図および概略背面図である。

【図３８】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図および概略背面図である。

【図３９】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図および概略背面図である。

【図４０】従来例の基板ピッチ変換動作の説明に供する
概略側面図および概略背面図である。

【符号の説明】

４…基板ピッチ変換装置 ８…基板保持手段 １０…基板受け渡し具 １３…第１の基板受け渡し部材 １４…第２の基板受け渡し部材 １７…第２のエアシリンダ（選択機構） ２０…基板保持部材 ２１ａ…第１の基板保持部 ２１ｂ…第２の基板保持部 Ｃ１…第１のキャリア Ｃ２…第２のキャリア Ｗ１…第１の基板 Ｗ２…第２の基板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板を所定ピッチで整立収納する
   第１のキャリアから基板を抜き出し、 前記第１のキャリアと同じピッチで複数の基板を整立収
   納する第２のキャリアから基板を抜き出し、 第１のキャリアから抜き出した第１の基板群の基板間の
   各隙間に、第２のキャリアから抜き出した第２の基板群
   を、相互に接触しない状態で挿入して、第３の基板群を
   形成するようにした基板ピッチ変換装置であって、 第１の基板群が上昇通過するのを許容する第１の状態
   と、第１の基板群が下降するのを受け止めて載置保持
   し、第２の基板群が上昇通過するのを許容する第２の状
   態と、第１の基板群および第２の基板群が下降するのを
   受け止めて、前記第３の基板群を形成するようにして基
   板を載置保持する第３の状態とに切り替え可能で、基板
   を整立姿勢で水平方向に並列載置保持する基板保持手段
   と、 基板を立姿勢で収納し、基板を出し入れする上部開口を
   上向きにした第１または第２のキャリアの上方に前記基
   板保持手段を位置させた状態で、第１または第２のキャ
   リアの下部に設けられた下部開口を通じて上昇し、第１
   または第２のキャリア内の基板を突き上げ保持して前記
   基板保持手段に受け渡す基板受け渡し具と、 基板を立姿勢で収納し、基板を出し入れする上部開口を
   上向きにした第２のキャリアを、前記基板保持手段およ
   び前記基板受け渡し具に対して、前記第１のキャリアと
   前記第２のキャリアの間隔だけ相対移動する第１の位置
   合わせ機構と、 第２のキャリアおよび前記基板受け渡し具を前記基板保
   持手段に対して第３の基板群のピッチだけ相対移動する
   第２の位置合わせ機構と、 前記基板受け渡し具に付設されて、基板の並列載置方向
   に出退し、その退避状態では前記第２のキャリアの下部
   開口を通過可能で、かつ、突出状態では前記基板保持手
   段に載置保持されている第１の基板群において端に位置
   する基板を受け止め保持する基板保持部材と、 を備えたことを特徴とする基板ピッチ変換装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板ピッチ変換装置に
   おいて、 前記基板受け渡し具が、基板を保持する第１の基板受け
   渡し部材と、基板を保持する第２の基板受け渡し部材と
   から成り、 前記第１および第２の基板受け渡し部材を択一的にかつ
   背反的に作用状態に切り換える選択機構を備え、 かつ、基板保持部材にその出退方向に複数の基板保持部
   を設け、前記選択機構に連係して基板を保持すべき前記
   基板保持部を前記基板保持部材の出退量によって切り換
   え可能に構成してある基板ピッチ変換装置。