JP2001059680A - 表面処理装置における製品乾燥用又は製品メッキ処理用の流体ノズルシステム - Google Patents

表面処理装置における製品乾燥用又は製品メッキ処理用の流体ノズルシステム

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JP2001059680A JP11233741A JP23374199A JP2001059680A JP 2001059680 A JP2001059680 A JP 2001059680A JP 11233741 A JP11233741 A JP 11233741A JP 23374199 A JP23374199 A JP 23374199A JP 2001059680 A JP2001059680 A JP 2001059680A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フラットな製品表面部だけでなく小径スルー
ホール等の穴内の水分も強制的に吸引し乾燥できるよう
にする表面処理装置における製品乾燥用の流体ノズルシ
ステムを提供する。 【解決手段】 乾燥処理される製品W表面近くにブロワ
ー4の吐出側に接続された吐出ノズル2の吐出口5と前
記ブロワーの吸い込み側に接続された吸引ノズル3の吸
引口6をそれぞれ配設し、前記吐出ノズル2から噴出さ
れて前記製品表面に到達した製品表面近くでの空気流体
の吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズル3から吸
引される吸引流速が勝るように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気メッキやその
他の薬液処理後の乾燥処理工程でスルーホール等の穴を
有したプリント基板などの平板製品を乾燥処理する製品
乾燥用の流体ノズルシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】電気メッキやその他の薬液処理後の乾燥
工程で、プリント基板やパッケージ基板等の小径スルー
ホールやVIRホール(行き止まりの穴)などがあるも
のは、これらのスルーホールやVIRホールの穴の中か
ら効果的に水分を除去しきれず乾燥処理が不十分になり
易いものであった。従来は、(a)水切り用のエアーノ
ズルによって水分及び水滴を除去する工程、(b)吸水
ローラーによって残留水分を除去する工程、(c)電気
ヒーターによって乾燥する工程、という3段階の乾燥処
理工程で構成され、これら3段階の乾燥処理工程を製品
を通過させて乾燥処理している。しかしながら、これら
3段階の乾燥処理工程によるものでは、通常30秒以上
の乾燥処理時間がかかり、乾燥工程の設置長さも通常1
m以上になって設置スペースの増大につながっている。
また、電気ヒーターによる乾燥工程では温度制御が必要
になり、イニシャルコストやランニングコストが高額に
なる。また、吸水ローラーの汚れのため製品不良が発生
しやすく稼動時間の短縮化を図りにくいことや定期的な
メンテナンスを行う必要がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような実
状に鑑み開発されたものであり、前記した従来の3段階
の乾燥処理工程中、(b)吸水ローラーによって残留水
分を除去する工程、(c)電気ヒーターによって乾燥す
る工程、という2つの乾燥処理工程を省略でき、フラッ
トな製品表面部だけでなく小径スルーホールやVIRホ
ール(行き止まりの穴)等の穴内の水分も強制的に吸引
し乾燥することができるようにしたメッキ処理装置にお
ける製品乾燥用の流体ノズルシステムを提供しようとす
るものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の表面処理装置における製品乾燥用の流体ノ
ズルシステムは、ブロワーの吸い込み側に接続された吸
引ノズルの吸引口を乾燥処理される製品表面近くに配設
し、前記ブロワーの吐出側に接続された吐出ノズルの吐
出口より噴出された空気流体を前記製品表面に到達後、
近くに配設された前記吸引口よりブロワーの吸い込み側
に戻るように構成したことを特徴としている。前記吐出
口と吸引口の配置と口径を工夫することにより、ノズル
と製品表面間の空気流体の流れをコントロールできるよ
うにし、製品表面部だけでなく小径スルーホールやVI
Rホール(行き止まりの穴)等の穴内の水分も強制的に
吸引し乾燥することができるようにした。
【0005】すなわち、本発明の表面処理装置における
製品乾燥用の流体ノズルシステムは、表面処理装置の製
品乾燥処理手段において、乾燥処理される製品表面近く
にブロワーの吐出側に接続された吐出ノズルの吐出口と
前記ブロワーの吸い込み側に接続された吸引ノズルの吸
引口をそれぞれ配設し、前記吐出ノズルから噴出されて
前記製品表面に到達した製品表面近くでの空気流体の吐
出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズルから吸引され
る吸引流速が勝るように前記吐出ノズルの吐出口径より
前記吸引ノズルの吸引口径を大きく構成した。
【0006】また、本発明の表面処理装置における製品
乾燥用の流体ノズルシステムは、表面処理装置の製品乾
燥処理手段において、乾燥処理される製品表面近くにブ
ロワーの吐出側に接続された吐出ノズルの吐出口と前記
ブロワーの吸い込み側に接続された吸引ノズルの吸引口
をそれぞれ配設し、前記吐出ノズルから噴出されて前記
製品表面に到達した製品表面近くでの空気流体の吐出流
速をこの吐出流速より前記吸引ノズルから吸引される吸
引流速が勝るように前記吐出ノズルの吐出口より前記吸
引ノズルの吸引口を乾燥処理される前記製品表面近くに
配設した。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照しながら説明する。図1から図3は本発明のメッ
キ処理装置などの表面処理装置における製品乾燥用の流
体ノズルシステムを示し、図1は本流体ノズルシステム
の全概略を示す縦断正面図、図2は概略側面図、図3は
ノズル先端部(ノズル頭部)の平面図をそれぞれ示して
いる。図中、1は吐出ノズル2と吸引ノズル3を備えた
乾燥用ノズル、4はブロワー、Wは乾燥処理されるプリ
ント基板などの製品をそれぞれ示し、前記製品Wは上下
に配置された前記乾燥用ノズル1,1の間を通過する過
程で乾燥処理されるように構成されている。前記乾燥用
ノズル1は、前記ブロワー4の吐出側に接続され、乾燥
処理される製品W表面近くに吐出口5を配設される吐出
ノズル2と、前記ブロワー4の吸い込み側に接続され、
乾燥処理される前記製品W表面近くに吸引口6を配設さ
れる吸引ノズル3とを備えている。この乾燥用ノズル1
の前記吐出ノズル2と前記吸引ノズル3の前記製品W表
面に対向する先端部に、製品W表面に向けて噴出される
空気流体に直進性を与え且つ噴出される空気流体に圧縮
性を与えるように噴出口を絞られた縦長の吐出ノズル細
孔7を多数形成すると共にこれらの吐出ノズル細孔7の
ほぼ中心位置に前記吸引ノズル3の吸引口6を形成した
ノズル頭部8を取り付け、前記吐出ノズル2から噴出さ
れて前記製品W表面に到達した製品表面近くでの空気流
体の吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズル3から
吸引される吸引流速が勝るように前記吐出ノズル細孔7
の各吐出口径より前記吸引ノズル3の吸引口径を大きく
構成してある。また、前記吐出ノズル2に、縦長の吐出
ノズル細孔7を多数形成した前記ノズル頭部8と前記ブ
ロワー4から供給された空気流体を受け入れる受け入れ
口9との間に、前記受け入れ口9から流入された空気流
体を分流する複数の分流口10を形成した分流壁部11
と、前記分流口10から分流されて流入された空気流体
に圧縮性を与えるようにノズル先端部方向に進むにした
がい先細状に傾斜された先細傾斜面部12が形成された
流体導入室13を構成してある。
【0008】前記乾燥用ノズル1の先端部に形成された
前記ノズル頭部8は、前記乾燥用ノズル1の間を通過さ
れる製品Wの全幅より広い長さに形成され、図3に示す
ように多数の吐出ノズル細孔7が形成され、これらの吐
出ノズル細孔7の中心位置に前記吸引ノズル3の細長い
吸引口6が形成されている。前記吐出ノズル細孔7の各
吐出口径は1mm程度に形成され、この吐出ノズル細孔
7の各吐出口径より大きな吸引口径に構成した前記吸引
ノズル3の吸引口径は図1の断面口径を2mm程度に形
成してある。前記吸引ノズル3は、前記ノズル頭部8に
形成されている前記吸入口6、この吸入口6から吸入さ
れた空気流体を吸入する前記吐出ノズル2の前記流体導
入室13内に配設された吸入配管14、この吸入配管1
4の一方の端部に形成され、前記吐出ノズル2の側壁部
から突出された接続口15から成り、この接続口15と
前記ブロワー4の吸い込み側とを接続配管や接続ホース
を用いて接続している。
【0009】図1乃至図3に示した本発明の製品乾燥用
の流体ノズルシステムは、前記ブロワー4の吐出側より
前記吐出ノズル2の受け入れ口9に流入された空気流体
は、複数の分流口10を形成されている分流壁部11に
より分流され、前記分流口10から流体導入室13内に
流入され、前記先細傾斜面部12によって乱流される。
そのため、空気流体は前記ノズル頭部8に形成された特
定の吐出ノズル細孔7だけから噴出されることはなく平
均的に噴出される。また、前記流体導入室13内に導入
された空気流体は摩擦と圧縮作用により不充分ながら多
少の温度上昇を伴う。そして、多少の温度上昇された空
気流体は、前記吐出ノズル細孔7を通過するときの摩擦
と圧縮作用により、製品乾燥に充分な必要温度まで上昇
された熱風となる。前記吐出ノズル細孔7を通過して吐
出口5から噴出される熱風は、製品表面に向けて噴出さ
れる空気流体に直進性を与えるように形成されている前
記吐出ノズル細孔7によって製品表面に向けて直進さ
れ、比較的小さい径のスルーホール基板にも有効であ
る。前記吐出ノズル2の吐出口5から製品表面に向けて
噴出された製品乾燥に充分な必要温度まで上昇された空
気流体は、製品表面に到達後近くにある吸引ノズル3の
吸引口6から吸引され前記吸入配管14から前記ブロワ
ー4の吸い込み側に強制的に戻される。このことによ
り、乾燥ヒーターを設置しなくても製品を充分乾燥でき
る温度、風圧及び風量の空気流体が前記吐出ノズル2の
吐出口5より噴出され、製品に到達後近くにある吸引ノ
ズル3の吸引口6から強制的に吸引されることにより、
製品表面及び小径スルーホール内にフレッシュエアーが
供給されやすくなり、乾燥時間の短縮化の実現と吸水ロ
ーラーを使用しないため乾燥汚れや乾燥むらを防止でき
製品の品質の低下を防止できる。また、戻りの暖められ
た空気流体により温度上昇が助けられる。
【0010】図4は図1に示した前記乾燥用ノズル1の
他の実施形態を一部破断して示した縦断正面図である。
この実施形態では、前記吐出ノズル2から噴出されて前
記製品W表面に到達した製品表面近くでの空気流体の吐
出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズル3から吸引さ
れる吸引流速が勝るように前記吐出ノズル細孔7の吐出
口5より前記吸引ノズル3の吸引口6を乾燥処理される
前記製品W表面近くに配設したことを特徴としている。
この実施形態では、図1の実施形態のように、前記吐出
ノズル細孔7の各吐出口径より前記吸引ノズル3の吸引
口径を大きく構成する、という限定は必要がない。図4
のその他の説明は図1乃至図3の説明と同様である。
【0011】
【実施例】前記ブロワー4から供給される空気流体を受
け入れる前記吐出ノズル2の受け入れ口9の開口面積を
100とした場合、前記分流壁部11に形成された複数
の分流口10の合計開口面積を300、前記吐出ノズル
細孔7(吐出口5)の合計開口面積を20から30とす
ることにより、吐出ノズル2から噴出される空気流体の
温度は60℃程度まで上昇される。
【0012】本発明の流体ノズルシステムは、吐出口と
吸引口の口径を前記した製品乾燥用のノズルに比べて大
きくし、摩擦抵抗を減少させるとメッキ溶液中でも使用
することができる。すなわち、製品メッキ処理用の流体
ノズルシステムとして、メッキ液中に入れられてメッキ
処理される製品表面近くにポンプの吐出側に接続された
吐出ノズルの吐出口と前記ポンプの吸い込み側に接続さ
れた吸引ノズルの吸引口をそれぞれ配設し、前記吐出ノ
ズルから噴出されて前記製品表面に到達した製品表面近
くでのメッキ液流体の吐出流速をこの吐出流速より前記
吸引ノズルから吸引される吸引流速が勝るように構成す
る。前記吐出ノズルから噴出されて前記製品表面に到達
した製品表面近くでのメッキ液流体の吐出流速をこの吐
出流速より前記吸引ノズルから吸引される吸引流速が勝
るように前記吐出ノズルの吐出口径より前記吸引ノズル
の吸引口径を大きく構成する。また、前記吐出ノズルか
ら噴出されて前記製品表面に到達した製品表面近くでの
メッキ液流体の吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノ
ズルから吸引される吸引流速が勝るように前記吐出ノズ
ルの吐出口より前記吸引ノズルの吸引口をメッキ処理さ
れる製品表面近くに配設する。
【0013】さらに、製品メッキ処理用の流体ノズルシ
ステムとして、該流体ノズルシステムを、ポンプの吐出
側に接続され、メッキ液中に入れられてメッキ処理され
る製品表面近くに吐出口を配設される吐出ノズルと、前
記ポンプの吸い込み側に接続され、メッキ液中に入れら
れてメッキ処理される前記製品表面近くに吸引口を配設
される吸引ノズルと、を備えたメッキ用ノズルで構成
し、このメッキ用ノズルの前記吐出ノズルと前記吸引ノ
ズルの前記製品表面に対向する先端部に、製品表面に向
けて噴出されるメッキ液流体に直進性を与える縦長の吐
出ノズル孔を多数形成すると共にこれらの吐出ノズル孔
のほぼ中心位置に前記吸引ノズルの吸引口を形成したノ
ズル頭部を取り付け、前記吐出ノズルから噴出されて前
記製品表面に到達した製品表面近くでのメッキ液流体の
吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズルから吸引さ
れる吸引流速が勝るように前記吐出ノズルの吐出口径よ
り前記吸引ノズルの吸引口径を大きく構成する。さら
に、製品メッキ処理用の流体ノズルシステムとして、該
流体ノズルシステムを、ポンプの吐出側に接続され、メ
ッキ液中に入れられてメッキ処理される製品表面近くに
吐出口を配設される吐出ノズルと、前記ポンプの吸い込
み側に接続され、メッキ液中に入れられてメッキ処理さ
れる前記製品表面近くに吸引口を配設される吸引ノズル
と、を備えたメッキ用ノズルで構成し、このメッキ用ノ
ズルの前記吐出ノズルと前記吸引ノズルの前記製品表面
に対向する先端部に、製品表面に向けて噴出されるメッ
キ液流体に直進性を与える縦長の吐出ノズル孔を多数形
成すると共にこれらの吐出ノズル孔のほぼ中心位置に前
記吸引ノズルの吸引口を形成したノズル頭部を取り付
け、前記吐出ノズルから噴出されて前記製品表面に到達
した製品表面近くでのメッキ液流体の吐出流速をこの吐
出流速より前記吸引ノズルから吸引される吸引流速が勝
るように前記吐出ノズルの吐出口より前記吸引ノズルの
吸引口をメッキ処理される製品表面近くに配設する。さ
らに、前記吐出ノズルに、縦長の吐出ノズル孔を多数形
成した前記ノズル頭部と前記ポンプから供給されたメッ
キ液流体を受け入れる受け入れ口との間に、前記受け入
れ口から流入されたメッキ液流体を分流する複数の分流
口を形成した分流壁部と、前記分流口から分流されて流
入されたメッキ液流体が前記ノズル頭部に形成された吐
出ノズル孔に導入されるようにノズル先端部方向に進む
にしたがい先細状に傾斜された先細傾斜面部が形成され
た流体導入室を構成する。
【0014】上記した本発明の製品メッキ処理用の流体
ノズルシステムによれば、製品表面を噴流による攪拌を
しながら吸引もするため、例えば電気メッキであれば製
品表面のみならずスルーホール内のメッキ液の交換も激
しく行われ、また陰極から発生する水素ガスも強制的に
除去される。また陰極電流密度を上げても陽イオンの供
給は充分に行われ、その空間のメッキ膜厚は高速でしか
も均一に電着される。また、本発明の製品メッキ処理用
の流体ノズルシステムを利用することにより、容量の比
較的小さいポンプを使うことが可能になる。
【0015】
【発明の効果】本発明の製品乾燥用の流体ノズルシステ
ムを利用すれば、空気流体が圧縮されることにより製品
乾燥に充分な必要温度まで上昇された空気流体が吐出ノ
ズルの吐出口より噴出され、この空気流体は製品に到達
後近くにある吸引ノズルの吸引口から強制的に吸引され
ることにより、製品表面及び小径スルーホール内にフレ
ッシュエアが供給されやすくなり、乾燥時間の短縮化の
実現と吸水ローラーを使用しないため乾燥汚れや乾燥む
らを防止でき製品の品質の低下を防止できる。また、電
気ヒーターや蒸気等の熱源を使用しないのも特徴であ
る。また、水切り用エアーノズルや吸水ローラーを使用
し通常1m以上必要であった従来の乾燥工程の設置長さ
を1/10以下にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の流体ノズルシステムの全概略を示す
縦断正面図である。
【図2】 本発明の流体ノズルシステムの概略側面図で
ある。
【図3】 本発明の流体ノズルシステムのノズル先端部
(ノズル頭部)の平面図である
【図4】 本発明の流体ノズルシステムの他の実施形態
の全概略を示す縦断正面図である。
【符号の説明】
1 乾燥用ノズル 2 吐出ノズル 3 吸引ノズル 4 ブロワー W 製品 5 吐出口 6 吸引口 7 吐出ノズル細孔 8 ノズル頭部 9 受け入れ口 10 分流口 11 分流壁部 12 先細傾斜面部 13 流体導入室 14 吸入配管 15 接続口

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面処理装置の製品乾燥処理手段におい
    て、乾燥処理される製品表面近くにブロワーの吐出側に
    接続された吐出ノズルの吐出口と前記ブロワーの吸い込
    み側に接続された吸引ノズルの吸引口をそれぞれ配設
    し、前記吐出ノズルから噴出されて前記製品表面に到達
    した製品表面近くでの空気流体の吐出流速をこの吐出流
    速より前記吸引ノズルから吸引される吸引流速が勝るよ
    うに構成したことを特徴とする表面処理装置における製
    品乾燥用の流体ノズルシステム。
  2. 【請求項2】 前記吐出ノズルから噴出されて前記製品
    表面に到達した製品表面近くでの空気流体の吐出流速を
    この吐出流速より前記吸引ノズルから吸引される吸引流
    速が勝るように前記吐出ノズルの吐出口径より前記吸引
    ノズルの吸引口径を大きく構成したことを特徴とする請
    求項1記載の表面処理装置における製品乾燥用の流体ノ
    ズルシステム。
  3. 【請求項3】 前記吐出ノズルから噴出されて前記製品
    表面に到達した製品表面近くでの空気流体の吐出流速を
    この吐出流速より前記吸引ノズルから吸引される吸引流
    速が勝るように前記吐出ノズルの吐出口より前記吸引ノ
    ズルの吸引口を乾燥処理される前記製品表面近くに配設
    したことを特徴とする請求項1記載の表面処理装置にお
    ける製品乾燥用の流体ノズルシステム。
  4. 【請求項4】 表面処理装置の製品乾燥用の流体ノズル
    システムにおいて、該流体ノズルシステムを、ブロワー
    の吐出側に接続され、乾燥処理される製品表面近くに吐
    出口を配設される吐出ノズルと、前記ブロワーの吸い込
    み側に接続され、乾燥処理される前記製品表面近くに吸
    引口を配設される吸引ノズルと、を備えた乾燥用ノズル
    で構成し、この乾燥用ノズルの前記吐出ノズルと前記吸
    引ノズルの前記製品表面に対向する先端部に、製品表面
    に向けて噴出される空気流体に直進性を与え且つ噴出さ
    れる空気流体に圧縮性を与えるように噴出口を絞られた
    縦長の吐出ノズル細孔を多数形成すると共にこれらの吐
    出ノズル細孔のほぼ中心位置に前記吸引ノズルの吸引口
    を形成したノズル頭部を取り付け、前記吐出ノズルから
    噴出されて前記製品表面に到達した製品表面近くでの空
    気流体の吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズルか
    ら吸引される吸引流速が勝るように前記吐出ノズル細孔
    の各吐出口径より前記吸引ノズルの吸引口径を大きく構
    成したことを特徴とする表面処理装置における製品乾燥
    用の流体ノズルシステム。
  5. 【請求項5】 表面処理装置の製品乾燥用の流体ノズル
    システムにおいて、該流体ノズルシステムを、ブロワー
    の吐出側に接続され、乾燥処理される製品表面近くに吐
    出口を配設される吐出ノズルと、前記ブロワーの吸い込
    み側に接続され、乾燥処理される前記製品表面近くに吸
    引口を配設される吸引ノズルと、を備えた乾燥用ノズル
    で構成し、この乾燥用ノズルの前記吐出ノズルと前記吸
    引ノズルの前記製品表面に対向する先端部に、製品表面
    に向けて噴出される空気流体に直進性を与え且つ噴出さ
    れる空気流体に圧縮性を与えるように噴出口を絞られた
    縦長の吐出ノズル細孔を多数形成すると共にこれらの吐
    出ノズル細孔のほぼ中心位置に前記吸引ノズルの吸引口
    を形成したノズル頭部を取り付け、前記吐出ノズルから
    噴出されて前記製品表面に到達した製品表面近くでの空
    気流体の吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズルか
    ら吸引される吸引流速が勝るように前記吐出ノズル細孔
    の吐出口より前記吸引ノズルの吸引口を乾燥処理される
    前記製品表面近くに配設したことを特徴とする表面処理
    装置における製品乾燥用の流体ノズルシステム。
  6. 【請求項6】 前記吐出ノズルに、縦長の吐出ノズル細
    孔を多数形成した前記ノズル頭部と前記ブロワーから供
    給された空気流体を受け入れる受け入れ口との間に、前
    記受け入れ口から流入された空気流体を分流する複数の
    分流口を形成した分流壁部と、前記分流口から分流され
    て流入された空気流体に圧縮性を与えるようにノズル先
    端部方向に進むにしたがい先細状に傾斜された先細傾斜
    面部が形成された流体導入室を構成したことを特徴とす
    る請求項4又は5記載の表面処理装置における製品乾燥
    用の流体ノズルシステム。
  7. 【請求項7】 メッキ液中に入れられてメッキ処理され
    る製品表面近くにポンプの吐出側に接続された吐出ノズ
    ルの吐出口と前記ポンプの吸い込み側に接続された吸引
    ノズルの吸引口をそれぞれ配設し、前記吐出ノズルから
    噴出されて前記製品表面に到達した製品表面近くでのメ
    ッキ液流体の吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズ
    ルから吸引される吸引流速が勝るように構成したことを
    特徴とする表面処理装置における製品メッキ処理用の流
    体ノズルシステム。
  8. 【請求項8】 前記吐出ノズルから噴出されて前記製品
    表面に到達した製品表面近くでのメッキ液流体の吐出流
    速をこの吐出流速より前記吸引ノズルから吸引される吸
    引流速が勝るように前記吐出ノズルの吐出口径より前記
    吸引ノズルの吸引口径を大きく構成したことを特徴とす
    る請求項7記載の表面処理装置における製品メッキ処理
    用の流体ノズルシステム。
  9. 【請求項9】 前記吐出ノズルから噴出されて前記製品
    表面に到達した製品表面近くでのメッキ液流体の吐出流
    速をこの吐出流速より前記吸引ノズルから吸引される吸
    引流速が勝るように前記吐出ノズルの吐出口より前記吸
    引ノズルの吸引口をメッキ処理される製品表面近くに配
    設したことを特徴とする請求項7記載の表面処理装置に
    おける製品メッキ処理用の流体ノズルシステム。
  10. 【請求項10】 表面処理装置の製品メッキ処理用の流
    体ノズルシステムにおいて、該流体ノズルシステムを、
    ポンプの吐出側に接続され、メッキ液中に入れられてメ
    ッキ処理される製品表面近くに吐出口を配設される吐出
    ノズルと、前記ポンプの吸い込み側に接続され、メッキ
    液中に入れられてメッキ処理される前記製品表面近くに
    吸引口を配設される吸引ノズルと、を備えたメッキ用ノ
    ズルで構成し、このメッキ用ノズルの前記吐出ノズルと
    前記吸引ノズルの前記製品表面に対向する先端部に、製
    品表面に向けて噴出されるメッキ液流体に直進性を与え
    る縦長の吐出ノズル孔を多数形成すると共にこれらの吐
    出ノズル孔のほぼ中心位置に前記吸引ノズルの吸引口を
    形成したノズル頭部を取り付け、前記吐出ノズルから噴
    出されて前記製品表面に到達した製品表面近くでのメッ
    キ液流体の吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズル
    から吸引される吸引流速が勝るように前記吐出ノズルの
    吐出口径より前記吸引ノズルの吸引口径を大きく構成し
    たことを特徴とする表面処理装置における製品メッキ処
    理用の流体ノズルシステム。
  11. 【請求項11】 表面処理装置の製品メッキ処理用の流
    体ノズルシステムにおいて、該流体ノズルシステムを、
    ポンプの吐出側に接続され、メッキ液中に入れられてメ
    ッキ処理される製品表面近くに吐出口を配設される吐出
    ノズルと、前記ポンプの吸い込み側に接続され、メッキ
    液中に入れられてメッキ処理される前記製品表面近くに
    吸引口を配設される吸引ノズルと、を備えたメッキ用ノ
    ズルで構成し、このメッキ用ノズルの前記吐出ノズルと
    前記吸引ノズルの前記製品表面に対向する先端部に、製
    品表面に向けて噴出されるメッキ液流体に直進性を与え
    る縦長の吐出ノズル孔を多数形成すると共にこれらの吐
    出ノズル孔のほぼ中心位置に前記吸引ノズルの吸引口を
    形成したノズル頭部を取り付け、前記吐出ノズルから噴
    出されて前記製品表面に到達した製品表面近くでのメッ
    キ液流体の吐出流速をこの吐出流速より前記吸引ノズル
    から吸引される吸引流速が勝るように前記吐出ノズルの
    吐出口より前記吸引ノズルの吸引口をメッキ処理される
    製品表面近くに配設したことを特徴とする表面処理装置
    における製品メッキ処理用の流体ノズルシステム。
  12. 【請求項12】 前記吐出ノズルに、縦長の吐出ノズル
    孔を多数形成した前記ノズル頭部と前記ポンプから供給
    されたメッキ液流体を受け入れる受け入れ口との間に、
    前記受け入れ口から流入されたメッキ液流体を分流する
    複数の分流口を形成した分流壁部と、前記分流口から分
    流されて流入されたメッキ液流体が前記ノズル頭部に形
    成された吐出ノズル孔に導入されるようにノズル先端部
    方向に進むにしたがい先細状に傾斜された先細傾斜面部
    が形成された流体導入室を構成したことを特徴とする請
    求項10又は11記載の表面処理装置における製品メッ
    キ処理用の流体ノズルシステム。
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