JP2001051084A - ヒートシンク及びその製造方法 - Google Patents

ヒートシンク及びその製造方法

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JP2001051084A
JP2001051084A JP11229196A JP22919699A JP2001051084A JP 2001051084 A JP2001051084 A JP 2001051084A JP 11229196 A JP11229196 A JP 11229196A JP 22919699 A JP22919699 A JP 22919699A JP 2001051084 A JP2001051084 A JP 2001051084A
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solder
fin
plate
heat sink
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Shiro Matsumoto
史朗 松本
Hiroshi Ikami
浩 井神
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Nippon Aluminium Co Ltd
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Nippon Aluminium Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い放熱特性の要求に答えるためにフィン構
造を改良したヒートシンクを提供すること。 【解決手段】 銅製のベースプレート10の一面101
に、アルミニウム製の多数のプレートフィン21にアル
ミニウムパイプ22を貫通させて構成されたプレートフ
ィン並設体2が、各プレートフィン21の一端縁211
にてはんだ接合されることにより、構成されていること
を特徴とするヒートシンク1である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベースプレートの
一面に線接触する形態を有するフィンがベースプレート
の一面にはんだ接合されて構成されているヒートシン
ク、及び該ヒートシンクを製造する方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来技術及びその課題】ヒートシンクにおいて、フィ
ン構造は放熱特性の重要部分を占めるが、現在公知のプ
レートフィンやピンフィンでは、高い放熱特性の要求に
答えるのが困難な場合があった。
【0003】本発明は、高い放熱特性の要求に答えるた
めにフィン構造を改良したヒートシンク、及び該ヒート
シンクを製造する方法を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
銅製のベースプレートの一面に、アルミニウム製の多数
のプレートフィンにアルミニウムパイプを貫通させて構
成されたプレートフィン並設体が、各プレートフィンの
一端縁にてはんだ接合されることにより、構成されてい
ることを特徴とするヒートシンクである。
【0005】請求項2記載の発明は、銅製のベースプレ
ートの一面に、波形横断面を有するアルミニウム製の多
数のプレートフィンが、各プレートフィンの一端縁にて
はんだ接合されることにより、構成されていることを特
徴とするヒートシンクである。
【0006】請求項3記載の発明は、銅製のベースプレ
ートの一面に、アルミニウムワイヤが螺旋状に巻かれて
構成された螺旋フィンが、螺旋フィンのベースプレート
との当接箇所にてはんだ接合されることにより、構成さ
れていることを特徴とするヒートシンクである。
【0007】請求項4記載の発明は、銅製のベースプレ
ートの一面に、アルミニウム製の多数のプレートフィン
が、各プレートフィンの一端縁にてはんだ接合されるこ
とにより、構成されていることを特徴とするヒートシン
クである。
【0008】請求項5記載の発明は、銅製のベースプレ
ートの一面に線接触する形態を有するフィンを、ベース
プレートの一面に、フィンの線接触する箇所にてはんだ
接合させて、ヒートシンクを製造する方法において、フ
ィンの線接触する箇所を噴流式はんだ槽にて噴流してい
るはんだに接触させるとともに、噴流はんだに超音波を
印加して、線接触する箇所にはんだめっきを形成する工
程と、ベースプレートの一面を溶融はんだ中に浸漬させ
て、ベースプレート又は溶融はんだに超音波を印加し
て、ベースプレートの一面にはんだめっきを形成する工
程と、フィンの線接触する箇所のはんだめっきをベース
プレートの一面のはんだめっきに当接させ、両者を加圧
し且つ当接箇所に超音波を印加する工程とを有すること
を特徴としている。
【0009】請求項6記載の発明は、銅製のベースプレ
ートの一面に線接触する形態を有するフィンを、ベース
プレートの一面に、フィンの線接触する箇所にてはんだ
接合させて、ヒートシンクを製造する方法において、フ
ィンの線接触する箇所を噴流式はんだ槽にて噴流してい
るはんだに接触させるとともに、噴流はんだに超音波を
印加して、線接触する箇所にはんだめっきを形成する工
程と、ベースプレートの一面のフィンが線接触する箇所
を噴流式はんだ槽にて噴流しているはんだに接触させる
とともに、ベースプレート又は噴流はんだに超音波を印
加して、フィンが線接触する箇所にはんだめっきを形成
する工程と、フィンの線接触する箇所のはんだめっきを
ベースプレートの一面のフィンが線接触する箇所のはん
だめっきに当接させ、両者を加圧し且つ当接箇所に超音
波を印加する工程とを有することを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】(実施形態1)図1は本実施形態
のヒートシンクの正面図、図2は図1のII矢視図であ
る。このヒートシンク1は、銅製のベースプレート10
の一面101に、プレートフィン並設体2がはんだ接合
されて構成されている。プレートフィン並設体2は、ア
ルミニウム製の多数のプレートフィン21にアルミニウ
ムパイプ22を貫通させて構成されており、各プレート
フィン21の一端縁211にてベースプレート10の一
面101にはんだ接合されている。アルミニウムパイプ
22は2本が平行に設けられている。なお、プレートフ
ィン21の一端縁211は、ベースプレート10の一面
101に対して線接触した関係にある。
【0011】上記構成のヒートシンク1は、次のように
して製造する。まず、多数のプレートフィン21にアル
ミニウムパイプ22を貫通させてプレートフィン並設体
2を作製する。このとき、アルミニウムパイプ22が貫
通した各プレートフィン21の貫通孔周縁はかしめる。
【0012】次に、プレートフィン並設体2を、図3に
示すように、噴流式はんだ槽3上に配置し、各プレート
フィン21毎に一端縁211を噴流しているアルミニウ
ム用はんだ31に接触させるとともに、噴流式はんだ槽
3即ちはんだ31に超音波を印加し、これにより、プレ
ートフィン並設体2の全プレートフィン21の一端縁2
11にはんだめっき41を形成する。なお、噴流式はん
だ槽3は、槽32中にファン33及びノズル34を備え
ており、溶融状態のはんだ31をファン33で吹き上げ
てノズル34の先端から上方へ噴流させるようになって
いる。
【0013】一方、ベースプレート10の一面101の
全面を、別のはんだ槽中の溶融状態のアルミニウム用は
んだに浸漬させ、ベースプレート10又ははんだに超音
波を印加し、これにより、一面101の全面にはんだめ
っきを形成する。
【0014】そして、図4に示すように、プレートフィ
ン並設体2の全プレートフィン21の一端縁211のは
んだめっき41を、ベースプレート10の一面101に
形成されたはんだめっき42に当接させ、加圧機(図示
せず)によって上方又は下方から圧力を加えながら、更
に、当接箇所に側方から熱を加えながら、ベースプレー
ト10に超音波を印加する。これにより、図5に示すよ
うに、はんだめっき41,42が溶融して一体となり、
プレートフィン21の一端縁211とベースプレート1
0の一面101とがはんだ接合され、従って、プレート
フィン並設体2とベースプレート10とが一体となった
ヒートシンク1が得られる。
【0015】このような方法によれば、噴流式はんだ槽
3を用いるので、プレートフィン21の一端縁211に
はんだめっき41が良好に形成される。即ち、噴流式は
んだ槽3においては、はんだ31が噴流しているため、
はんだ31の表面に酸化皮膜が生じることがなく、それ
故、一端縁211に接触するはんだ31は常に反応性が
良好な状態にあり、従って、一端縁211には、はんだ
31が良好に付着してはんだめっき41が良好に形成さ
れる。
【0016】上記構成のヒートシンク1では、多数のプ
レートフィン21がベースプレート10の一面101に
はんだ接合されているので、プレートフィン並設体2に
おける熱拡散性が良好であり、それ故、放熱特性が優れ
ている。
【0017】なお、上記製造方法では、ベースプレート
10の一面101の全面にはんだめっき42を形成して
いるが、図6に示すように、ベースプレート10の一面
101には、プレートフィン並設体2の各プレートフィ
ン21の一端縁211が当接する箇所のみに、はんだめ
っき42を形成してもよい。この場合、はんだめっき4
2の形成は、噴流式はんだ槽3を用いて行う。即ち、ベ
ースプレート10の一面101の上記箇所のみを噴流し
ているはんだ31に接触させるとともに、はんだ31に
超音波を印加する。これによっても、上記製造方法の場
合と、同様の作用効果を奏する。
【0018】(実施形態2)図7は本実施形態のヒート
シンクの平面図、図8は図7のVIII矢視図である。な
お、図において、図1ないし図6と同一符号は同じ又は
相当するものを示す。このヒートシンク1Aは、銅製の
ベースプレート10の一面101に、波形横断面を有す
るアルミニウム製の多数のプレートフィン23が、各プ
レートフィン23の一端縁231にてはんだ接合され
て、構成されている。なお、プレートフィン23の一端
縁231は、ベースプレート10の一面101に対して
線接触した関係にある。
【0019】上記構成のヒートシンク1Aは、次のよう
にして製造する。まず、プレートフィン23を、図9に
示すように、噴流式はんだ槽3上に配置し、その一端縁
231を噴流しているはんだ31に接触させるととも
に、はんだ31に超音波を印加し、これにより、プレー
トフィン23の一端縁231にはんだめっき43を形成
する。
【0020】一方、ベースプレート10の一面101に
も、実施形態1の場合と同様にして、はんだめっきを形
成する。
【0021】そして、プレートフィン23の一端縁23
1のはんだめっき43を、ベースプレート10の一面1
01に形成されたはんだめっきに当接させ、加圧機(図
示せず)によって上方又は下方から圧力を加えながら、
更に、当接箇所に側方から熱を加えながら、ベースプレ
ート10に超音波を印加する。これにより、はんだめっ
き同士が溶融して一体となり、プレートフィン23の一
端縁231とベースプレート10の一面101とがはん
だ接合され、従って、プレートフィン23とベースプレ
ート10とが一体となったヒートシンク1Aが得られ
る。
【0022】このような方法によれば、実施形態1の場
合と同様に、噴流式はんだ槽3を用いるので、プレート
フィン23の一端縁231にはんだめっき43が良好に
形成される。
【0023】上記構成のヒートシンク1Aでは、プレー
トフィン23が波形横断面を有するので、プレートフィ
ン23の表面積が大きくなっており、それ故、プレート
フィン23における熱拡散性が良好であり、従って、放
熱特性が優れている。
【0024】なお、図6の場合と同様に、ベースプレー
ト10の一面101には、プレートフィン23の一端縁
231が当接する箇所のみに、はんだめっきを形成して
もよい。
【0025】(実施形態3)図10は本実施形態のヒー
トシンクの平面図、図11は図10のXI−XI断面矢視図
である。なお、図において、図1ないし図6と同一符号
は同じ又は相当するものを示す。このヒートシンク1B
は、銅製のベースプレート10の一面101に、アルミ
ニウムワイヤ241が螺旋状に巻かれて構成された螺旋
フィン24が、螺旋フィン24の一面101との当接箇
所242にてはんだ接合されることにより、構成されて
いる。なお、螺旋フィン24の当接箇所242は、ベー
スプレート10の一面101に対して線接触した関係に
ある。
【0026】上記構成のヒートシンク1Bは、次のよう
にして製造する。まず、螺旋フィン24を、図12に示
すように、噴流式はんだ槽3上に配置し、その当接箇所
242を噴流しているはんだ31に接触させるととも
に、はんだ31に超音波を印加し、これにより、螺旋フ
ィン24の当接箇所242にはんだめっきを形成する。
【0027】一方、ベースプレート10の一面101に
も、実施形態1の場合と同様にして、はんだめっきを形
成する。
【0028】そして、螺旋フィン24の当接箇所242
のはんだめっきを、ベースプレート10の一面101に
形成されたはんだめっきに当接させ、加圧機(図示せ
ず)によって上方又は下方から圧力を加えながら、更
に、当接箇所に側方から熱を加えながら、ベースプレー
ト10に超音波を印加する。これにより、はんだめっき
同士が溶融して一体となり、螺旋フィン24の当接箇所
242とベースプレート10の一面101とがはんだ接
合され、従って、螺旋フィン24とベースプレート10
とが一体となったヒートシンク1Bが得られる。
【0029】このような方法によれば、実施形態1の場
合と同様に、噴流式はんだ槽3を用いるので、螺旋フィ
ン24の当接箇所242にはんだめっきが良好に形成さ
れる。
【0030】上記構成のヒートシンク1Bでは、螺旋フ
ィン24における熱拡散性が良好であるので、放熱特性
が優れている。
【0031】なお、図6の場合と同様に、ベースプレー
ト10の一面101には、螺旋フィン24の当接箇所2
42が当接する箇所のみに、はんだめっきを形成しても
よい。
【0032】(実施形態4)図13は本実施形態のヒー
トシンクの正面図、図14は図13のXIV矢視図であ
る。このヒートシンク1Cは、銅製のベースプレート1
0の一面101に、アルミニウム製の多数のプレートフ
ィン21がその一端縁211にてはんだ接合されてい
る。なお、プレートフィン21の一端縁211は、ベー
スプレート10の一面101に対して線接触した関係に
ある。
【0033】上記構成のヒートシンク1Cは、次のよう
にして製造する。まず、図15に示すように、スペーサ
治具5を用いて、多数のプレートフィン21を並設して
なるプレートフィン並設体2Aを作製する。なお、スペ
ーサ治具5は多数のスペーサ51と保持具52とからな
っており、スペーサ51は隣接するプレートフィン21
間に挟まれており、保持具52はスペーサ52が挟まれ
たプレートフィン並設体2Aを両側から保持している。
【0034】次に、プレートフィン並設体2Aを、保持
具52で保持したまま、図15に示すように、噴流式は
んだ槽3上に配置し、各プレートフィン21毎に一端縁
211を噴流しているアルミニウム用はんだ31に接触
させるとともに、噴流式はんだ槽3即ちはんだ31に超
音波を印加し、これにより、プレートフィン並設体2A
の全プレートフィン21の一端縁211にはんだめっき
を形成する。
【0035】一方、ベースプレート10の一面101に
も、実施形態1の場合と同様にして、はんだめっきを形
成する。
【0036】そして、プレートフィン並設体2Aの全プ
レートフィン21の一端縁211のはんだめっきを、ベ
ースプレート10の一面101に形成されたはんだめっ
きに当接させ、加圧機によって上方又は下方から圧力を
加えながら、更に、当接箇所に側方から熱を加えなが
ら、ベースプレート10に超音波を印加する。これによ
り、プレートフィン21の一端縁211のはんだめっき
とベースプレート10の一面101に形成されたはんだ
めっきとが溶融して一体となり、プレートフィン21の
一端縁211とベースプレート10の一面101とがは
んだ接合され、従って、プレートフィン並設体2Aとベ
ースプレート10とが一体となったヒートシンク1Cが
得られる。
【0037】このような方法によれば、実施形態1の場
合と同様に、噴流式はんだ槽3を用いるので、プレート
フィン21の一端縁211にはんだめっきが良好に形成
される。
【0038】上記構成のヒートシンク1では、多数のプ
レートフィン21がベースプレート10の一面101に
はんだ接合されているので、プレートフィン並設体2A
における熱拡散性が良好であり、それ故、放熱特性が優
れている。
【0039】なお、図6の場合と同様に、ベースプレー
ト10の一面101には、プレートフィン21の一端縁
211が当接する箇所のみに、はんだめっきを形成して
もよい。
【0040】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、プレート
フィンにおける通風抵抗が小さく、且つ、ベースプレー
トが銅製であるために熱伝導性がよいので、放熱特性を
向上できる。
【0041】請求項2記載の発明によれば、プレートフ
ィンが波形横断面を有するためにプレートフィンの表面
積が大きく、且つ、ベースプレートが銅製であるために
熱伝導性がよいので、放熱特性を向上できる。
【0042】請求項3記載の発明によれば、螺旋フィン
における通風抵抗が小さく、且つ、ベースプレートが銅
製であるために熱伝導性がよいので、放熱特性を向上で
きる。
【0043】請求項4記載の発明によれば、プレートフ
ィンにおける通風抵抗が小さく、且つ、ベースプレート
が銅製であるために熱伝導性がよいので、放熱特性を向
上できる。
【0044】請求項5記載の発明によれば、銅製のベー
スプレートとベースプレートの一面に線接触する形態を
有するフィンとを備えたヒートシンクを、フィンの線接
触する箇所にてはんだ接合させて、確実に得ることがで
きる。従って、ベースプレートの良好な熱伝導性と相俟
って放熱特性を向上できる形態に改良されたフィンを備
えたヒートシンクを、確実に得ることができる。
【0045】請求項6記載の発明によれば、銅製のベー
スプレートとベースプレートの一面に線接触する形態を
有するフィンとを備えたヒートシンクを、フィンの線接
触する箇所にてはんだ接合させて、確実に得ることがで
きる。従って、ベースプレートの良好な熱伝導性と相俟
って放熱特性を向上できる形態に改良されたフィンを備
えたヒートシンクを、確実に得ることができる。しか
も、ベースプレートに用いるはんだの量を低減でき、製
作コストを安価にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施形態1のヒートシンクの正面図である。
【図2】 図1のII矢視図である。
【図3】 実施形態1における製造方法の一工程を示す
断面図である。
【図4】 図3に示す工程よりも後の工程を示す断面図
である。
【図5】 実施形態1のヒートシンクの拡大断面部分図
である。
【図6】 実施形態1における製造方法の変形例であっ
て、図4に相当する工程を示す断面図である。
【図7】 実施形態2のヒートシンクの平面図である。
【図8】 図7のVIII矢視図である。
【図9】 実施形態2における製造方法の一工程を示す
断面図である。
【図10】 実施形態3のヒートシンクの平面図であ
る。
【図11】 図10のXI−XI断面矢視図である。
【図12】 実施形態3における製造方法の一工程を示
す断面図である。
【図13】 実施形態4のヒートシンクの正面図であ
る。
【図14】 図13のXIV矢視図である。
【図15】 実施形態4における製造方法の一工程を示
す断面図である。
【符号の説明】
1,1A,1B,1C ヒートシンク 10 ベースプレート 101 一面 2,2A プレートフィン並設体 21,23 プレートフィン 211,231 一端縁 22 アルミニウムパイプ 24 螺旋フィン 241 アルミニウムワイヤ 3 噴流式はんだ槽 31 はんだ 41,42,43 はんだめっき

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 銅製のベースプレートの一面に、アルミ
    ニウム製の多数のプレートフィンにアルミニウムパイプ
    を貫通させて構成されたプレートフィン並設体が、各プ
    レートフィンの一端縁にてはんだ接合されることによ
    り、構成されていることを特徴とするヒートシンク。
  2. 【請求項2】 銅製のベースプレートの一面に、波形横
    断面を有するアルミニウム製の多数のプレートフィン
    が、各プレートフィンの一端縁にてはんだ接合されるこ
    とにより、構成されていることを特徴とするヒートシン
    ク。
  3. 【請求項3】 銅製のベースプレートの一面に、アルミ
    ニウムワイヤが螺旋状に巻かれて構成された螺旋フィン
    が、螺旋フィンのベースプレートとの当接箇所にてはん
    だ接合されることにより、構成されていることを特徴と
    するヒートシンク。
  4. 【請求項4】 銅製のベースプレートの一面に、アルミ
    ニウム製の多数のプレートフィンが、各プレートフィン
    の一端縁にてはんだ接合されることにより、構成されて
    いることを特徴とするヒートシンク。
  5. 【請求項5】 銅製のベースプレートの一面に線接触す
    る形態を有するフィンを、ベースプレートの一面に、フ
    ィンの線接触する箇所にてはんだ接合させて、ヒートシ
    ンクを製造する方法において、フィンの線接触する箇所
    を噴流式はんだ槽にて噴流しているはんだに接触させる
    とともに、噴流はんだに超音波を印加して、線接触する
    箇所にはんだめっきを形成する工程と、ベースプレート
    の一面を溶融はんだ中に浸漬させて、ベースプレート又
    は溶融はんだに超音波を印加して、ベースプレートの一
    面にはんだめっきを形成する工程と、フィンの線接触す
    る箇所のはんだめっきをベースプレートの一面のはんだ
    めっきに当接させ、両者を加圧し且つ当接箇所に超音波
    を印加する工程とを有することを特徴とするヒートシン
    クの製造方法。
  6. 【請求項6】 銅製のベースプレートの一面に線接触す
    る形態を有するフィンを、ベースプレートの一面に、フ
    ィンの線接触する箇所にてはんだ接合させて、ヒートシ
    ンクを製造する方法において、フィンの線接触する箇所
    を噴流式はんだ槽にて噴流しているはんだに接触させる
    とともに、噴流はんだに超音波を印加して、線接触する
    箇所にはんだめっきを形成する工程と、ベースプレート
    の一面のフィンが線接触する箇所を噴流式はんだ槽にて
    噴流しているはんだに接触させるとともに、ベースプレ
    ート又は噴流はんだに超音波を印加して、フィンが線接
    触する箇所にはんだめっきを形成する工程と、フィンの
    線接触する箇所のはんだめっきをベースプレートの一面
    のフィンが線接触する箇所のはんだめっきに当接させ、
    両者を加圧し且つ当接箇所に超音波を印加する工程とを
    有することを特徴とするヒートシンクの製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100358135C (zh) * 2004-02-27 2007-12-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 散热模组及其制备方法
CN102543219A (zh) * 2010-12-08 2012-07-04 昆山广禾电子科技有限公司 散热片模组的改良结构

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