JP2001050704A - 導電性物体の端部検出装置 - Google Patents
導電性物体の端部検出装置Info
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- JP2001050704A JP2001050704A JP11164754A JP16475499A JP2001050704A JP 2001050704 A JP2001050704 A JP 2001050704A JP 11164754 A JP11164754 A JP 11164754A JP 16475499 A JP16475499 A JP 16475499A JP 2001050704 A JP2001050704 A JP 2001050704A
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Abstract
極への挿入量を検出する装置を提供する。 【解決手段】 導電性物体1の端部の移動方向に対し平
行に配置された送信電極2と、導電性物体1を挟んで送
信電極2に対向して配置された受信電極3と、送信電極
2に周波数f1の交流信号S1と周波数f2の交流信号
S2を印加する電源4と、受信電極3に発生する周波数
f1の電流I1と周波数f2の電流I2より導電性物体
1の端部の送信電極2と受信電極3の間への挿入量を検
出する検出手段と、を備え、交流信号S1により発生す
る電気力線は導電性物体1の端部移動方向に連続的にか
つ単調増加する密度分布であり、交流信号S2により発
生する電気力線は交流信号S1により発生する電気力線
の密度分布と逆形状の密度分布である。
Description
導電性物体、例えば金属の端部が検出装置を構成する電
極部に入り込む量を検出する装置に関する。
する目的のために、様々な手法が考案され、用いられて
きた。例えば、光電的に検出するもの、画像情報を用い
るもの、電磁的に検出するもの等がある。これらはそれ
ぞれ得失があるため用途に応じて使い分けられてきた。
る方法に静電容量もしくはこれを媒介として得られる情
報の変化を評価する手法がある。原理的に、静電容量を
用いた手法は更に2種類に分類される。第1の方法は静
電容量の変化そのものを評価する方法であり、その例を
図1に示す。交流電源101を導電性帯状体100と電
極102との間に印加し電極102間に挿入された導電
性帯状体100の挿入量Xによって変化する静電容量を
同調コイル104とともに形成される共振周波数の変化
として捕らえ共振電流の変化を増幅器103で増幅し挿
入量Xを検出する。
信号、例えば高周波電圧が静電容量に挿入された導電性
物体によって変調される度合いを評価する方法である。
図2は第2の方法の一例を示す。交流電源101を送信
電極102aに印加し送信電極102aと受信電極10
2b間に挿入された導電性帯状体100の挿入量Xによ
って変化する電流を増幅器103で増幅し挿入量Xを検
出する。
ち、両者の間に定義される関数の出力を導電性物体の挿
入位置によって変化させるものである。第2の方法を簡
単化した式で示す。 Y=K・X …(1) ここにY:出力値,例えば電圧、K:係数、X:導電性
物体の電極への挿入量
に属するもので、以降第2の方法を「静電式3端子型」
と呼ぶことにする。静電式3端子型の系で用いる励振電
源は高周波の交流を用いることが多く、本発明でもこれ
を用いるが、これは単に実用的性能の実現のし易さから
選択されるものであり、0を越えるいかなる周波数を用
いても本発明は実現可能である。
すように、関数は導電性物体の電極への挿入量のみに感
受性をもつことが望ましい。しかし、実際には各種の要
因が介在し、係数に漂動が起る。次に示す(2)式は
(1)式を実体に近い式にしたものである。 Y=(1+α)・K・X …(2) ここにα:係数の漂動 αは、例えば、空間の誘電率が温度や湿度、気圧などで
複雑に変化したり、入出力電極間の物理的距離が変動し
たりすること、あるいは周囲の電気的反射や漏洩などで
変化する。しかし、従来は、αの変動が無いかあるいは
微小であるとして(2)式を用いていた。いうまでもな
くこのことは実用上の大きな制限事項となり、応用範囲
や利便性を損ねていた。
もので、周囲の状況に影響されないで導電性物体の電極
への挿入量を検出する装置を提供することを目的とす
る。
念は、(2)式のα、即ち各種の不都合が検出装置の物
理的専有空間内では等分に起るであろうとの予測の上に
成り立っている。解決手段を説明するにあたり、先ず静
電式3端子型の共通基本原理を説明する。図3はこの原
理を説明する図である。対向して設けられた送信電極2
と受信電極3の間には導電性物体1がxだけ挿入され
る。交流電源4より交流電圧が送信電極2に印加され両
電極2,3の間には電気力線が形成される。ここでは一
次近似についてのみ言及し静電容量の縁辺効果や電気力
線の湾曲などについては説明の簡単化のため無視する。
気力線は電極全体について等密度で分布する。図3に示
すように、電気力線は収束して電流となって負荷抵抗5
に流れる。もし静電容量を形成する部分のインピーダン
スが負荷抵抗値に比し十分大きいなら、負荷抵抗5に生
成される電圧は、受信電極3に集約される電気力線の総
数に比例する。図3では電気力線は2つのグループに別
れ、それぞれ抵抗負荷5と測定対象である導電性物体1
に集約される様子を示す。電気力線の密度は、電界傾度
に依存するため、受信電極3に流れるaグループと導電
性物体1に流れるbグループでは密度が異なるが、この
システムで評価の対象となるのは、aグループの電気力
線であるため、このことが測定に不都合を与えることは
ない。結局、負荷抵抗5に流れる電流は導電性物体1の
挿入量xに依存し、その関係は第一次近似として直線的
で、次の式で表される。
数、数字の1:両電極の長さ(導電性物体1の挿入方向
の長さ)を1として表す。なお、aグループの電気力線
の密度に影響を与えるあらゆる外乱要素は測定誤差の要
因になるので、これを解決するのが本発明の目的であ
る。
生成される電気力線に関し、ただ1つの周波数だけが存
在する場合を述べたが、ここで複数の周波数成分をもつ
電気力線が混在している場合を考察する。特に周波数成
分の数が2つ、f1 ,f2 から成る場合で、それらの周
波数の電気力線の密度が一次元的に次のような分布をな
しているとする。 EMf1X=x …(3) EMf2X=(1−x)…(4) ここで、EMf1X:x点における周波数f1 の電気力線
密度、EMf2X:x点における周波数f2 の電気力線密
度、x:導電性物体の電極への挿入量、数字の1:両電
極の長さ(導電性物体1の挿入方向の長さ)を1として
表す。
置き換えて表した図で、実線は(3)式で示す周波数f
1 の電気力線密度を示し、破線は周波数f2 の電気力線
密度を示す。負荷抵抗5を流れる電流は図3に示すよう
に導電性物体1で遮断されないで受信電極に到達する電
気力線の積分に比例する。xの範囲を(0<x<1)と
し、積分範囲をxから1までとすると、電流は次の式で
表される。 IL f1X =∫EMf1Xdx=1/2・k(1−x2 ) =1/2・k(1−x)(1+x) IL f2X =∫EMf2Xdx=1/2・k(1−x)2 =1/2・k(1−x)(1ーx) ここでIL f1X は周波数f1 の電気力線により負荷抵抗
5を流れる電流であり、IL f2X は周波数f2 の電気力
線により負荷抵抗5を流れる電流である。
ると次式で表される。 IL f2X /IL f1X =(1−x)/(1+x)…(5) この比は1から極限値としての0までの連続した値をと
る。
示す。縦軸が電流比IL f2X /ILf1X を示し、横軸が
正規化された挿入量xを示す。図5は理論計算結果であ
り、x=1となる極限値では0/0の不定形となるが、
xがとり得る最大値を制限する(例えば0 .8)ことによ
り、実用上の問題はない。この電流の比が決まれば、x
の値は一意に決まるので、xに対する測定系が成立し、
電導性物体の電極への挿入量xを検出できる。ここで特
筆すべきは、両周波数成分の電流の比を求めることによ
り、kの項目が消去されたことである。すなわち、kに
影響を与える諸要素、例えば、励振電源電圧、空間誘電
率、送信電極と受信電極間距離、電気力線総数に影響を
与える電極寸法などは、一次近似としては測定値に影響
を与えない。なお、図5の非直線性が問題になるような
応用では、直線化手段、例えば非線形増幅器やルックア
ップテーブル等を適用することにより修正可能である。
IL f1X とIL f2X との和ILAを求める。 ILA=1/2・k(1−x)(( 1+x)+(1−x))=
k(1−x) また、IL f1X とIL f2X との差ILDを求める。 ILD=IL f1X −IL f2X =1/2・k(1−x)(( 1+x)−(1−x)) =k(1−x)x
を導入すれば、vを増幅器の増幅率としたとき ILA=vk(1−x) となる。vを適宜調整することによりILAを常に任意に
定めた固定値Cに保つようにすると、k(1−x)=C
より電流の差ILDは、 ILD=C・x x=ILD/C…(6)
の電極への挿入量xは直接比例関係を保つことができ、
しかもkに依存しない系が構成される。この場合もxが
1となる極限状態ではILAをCに保つためのvは発散す
るので、xの最大値は具体的な設計上の許し得る範囲、
例えば0 .8以下に制限することが望ましい。
電極と受信電極間に生成する電気力線の密度分布を図4
に示すように電極端部から単調増加するものと、この逆
の分布をするものとを発生させ、電極端部から導電性物
体をx挿入したときに受信電極に発生する電流を演算処
理することにより、環境定数に依存せず、常に安定した
測定値xを得ることができる。
ρは次式に示すように、電極間の電圧e、電極間の距離
L、及び電極間に存在する空間の誘電率εに依存する。 ρ=keε/L…(7) そこで、電気力線を所望の密度で分布させることは、こ
れらの要素e,ε,Lを調整することにより実現され
る。
説明する。図6は本発明の第1実施形態の構成を示す図
である。導電性物体1の挿入方向に平行に送信電極2と
受信電極3が対向して設けられている。送信電極2は第
1電極2aと第2電極2bからなり、並行して配置さ
れ、実質的に等しい形状をなし、抵抗体もしくは使用周
波数において有効なインピーダンスを呈する物体、例え
ばインダクタンスで構成されている。受信電極3は導体
で構成され、どの部分の電位も実質的に一様であり、受
信電極3に集約される電気力線による電流は電気力線の
積分に比例する。受信電極3には負荷抵抗5が接続さ
れ、この負荷抵抗5より出力電圧を取り出す。なお、受
信電極3の構成は以降の実施形態でも同じである。周波
数f1の交流信号S1を発生する第1電源4aは第1電
極2aの導電性物体1が挿入される側(以下挿入端と称
する)の反対端(以下反対端と称する)に接続され、挿
入端は接地されている。周波数f2の交流信号S2を発
生する第2電源4bは第2電極2bの挿入端に接続さ
れ、反対端は接地されている。また、交流信号S1とS
2の電圧E1とE2は互いに等しくEtに設定される。
端で0、反対端でEtとなる直線的に変化する電圧分布
が得られる。また、第2電極2bでは挿入端でEt、反
対端で0となる直線的に変化する電圧分布が得られる。
この電圧の変化形状は送信電極2の抵抗もしくはインピ
ーダンス(以降、インピーダンスとは純抵抗も含めるも
のとする)分布に依存することは明らかであり、送信電
極2のインピーダンス分布が一様であるならば、電気力
線の密度分布は図4に示した分布と等しくなる。本構成
は本発明の根本的要件である電気力線の密度分布を意図
にかなった形状にするという目的を達成している。本実
施形態では受信電極3から取り出される信号のf1成分
とf2成分の合成は空間及び受信電極3で行われる。第
1電極2a、第2電極2bの幾何学的相似性及び第1電
極2a、第2電極2bのそれぞれに対する受信電極3の
対面の公平性は重要である。
第2電極2bのインピーダンス分布を意図的に制御され
た状態に置くならば、図4に相当する電気力線の密度分
布に非直線性を持たせられることは明らかである。そこ
でインピーダンス分布を図5の出力特性((5)式に示
す電流比)を補整するように設定することによって、爾
後の信号処理における既述の非線形補整は不必要となり
便利である。
ための要件を概念的に説明する図である。軸1の縦目盛
りは導電性物体1の電極への挿入量xの基準化された位
置を示し、その他の軸の目盛りはこの位置と対応して示
される。軸2は送信電極2の基準化したインピーダンス
分布を示し、直線的に変化するから、目盛りは軸1と同
じである。軸3は、無処理時の基準化出力((5)式に
示す電流比)を示す。なお、軸1は図5の横軸を示し、
軸3は縦軸を示す。導電性物体1の電極への挿入量xと
基準化出力pとは、(5)式と同じ関係が成り立つ。 p=(1−x)/(1+x) この式から任意のpに対するxの位置は次の式で表され
る。 x=(1−p)/(1+p)
な出力特性を得るためには、軸2のような直線的インピ
ーダンス分布に代えて軸5に示すインピーダンス分布に
すればよいことがわかる。このような非線形インピーダ
ンス分布を作り出す実際の手法は、電極材料やインピー
ダンス作成の具体的手法に依存し、本発明の主旨とは無
関係ではあるが、例えば、電極材料に抵抗体を使うので
あれば、電極の厚みを変化させることによって単位長さ
当りの抵抗値を変えたり、インピーダンスの作成にイン
ダクタンスを使うのであれば、その巻き線ピッチを場所
によって変えるなど、格別の困難はない。本件の実施は
実際の設計において、送信電極に非線形インピーダンス
分布を持たせることと、非線形補整手段を装着すること
との経済性を比較して決定すればよい。
る構成を示す。受信電極3に集約された電流は増幅器1
1により実用的な電圧に変換される。次に周波数f1に
同調したバンドパスフィルタ12a、周波数f2に同調
したバンドパスフィルタ12bを通して、f1成分とf
2成分に分離され、整流器13a、整流器13bによっ
て直流信号に変換され、アナログ割算器14に導かれ、
(5)式で示した方法で導電性物体1の電極2,3への
挿入量xが検出される。その後必要に応じて図5で示し
た非線形を非線形補正器15で線形に補正して最終出力
とする。
ル素子で処理する装置を示す。整流器13a,13bま
では図8と同じで、その後A/D変換器16a,16b
でデジタルデータに変換し、デジタル割算器17に導か
れ、導電性物体1の電極2,3への挿入量xが算出され
る。その後必要に応じて出力をルックアップテーブル1
8を用いて直線に補正して最終出力とする。
いて、デジタル割算器17とルックアップテーブル18
を1つの2ポート型ルックアップテーブルに置き換える
ことにより、より簡単化した回路例を示す。このルック
アップテーブル19は2つのポートの信号のあらゆる組
合せに対し、任意の信号に変換して出力できるので、図
9の2つのブロック17,18で行なう演算を1個のブ
ロックに置き換えることができる。ルックアップテーブ
ル19のサイズについては、A/D変換後のデータを8
ビットとすれば、アドレスビット数16、即ち64キロ
バイト=512キロビットのROMで実現でき、十分に
実用的である。なお、ルックアップテーブル19は割算
のみの機能を持つものでもよい。また、図9,図10の
回路では、A/D変換後の処理はコンピュータなどのソ
フトウエア的手法を用いることによってこれに代えるこ
とができる。
実施形態の図8〜図10に示す装置では導電性物体1の
電極への挿入量xを(5)式に基づいて電流比から求め
たが、第2実施形態では、電流の和と差を求め(6)式
に基づき挿入量xを求める。図11は第2実施形態の構
成を示す図である。受信電極3に発生した電流は可変増
幅率増幅器21で増幅され、バンドパスフィルタ22
a,22bにより周波数f1とf2の成分に分離され、
それぞれ整流器23a,23bで整流された後、減算器
24と加算器25で減算および加算される。制御信号発
生器26は加算器25の出力と固定値設定器27で設定
された固定値Cが一致するように可変増幅率増幅器21
の増幅率を決定する。減算器24の出力が導電性物体1
の電極への挿入量xとなるべき最終出力である。
両者の差に基づいた制御信号で可変増幅率増幅器21の
増幅率が制御される結果、加算器25の出力は常に一定
値に保たれる。このとき、減算器24の出力は(6)式
に示すように導電性物体1の電極への挿入量xに直接比
例する。制御信号発生器26の出力は加算器25の出力
と固定値Cとの差に基づき作成されるが、その手法は任
意であり、例えば、P動作、PI動作、PID動作など
が用いられる。本実施形態はフィードバック制御を用い
ているが、他の制御方法も可能である。すなわち周波数
f1とf2の検出信号の和の値が評価可能でさえあれ
ば、これによって差の値を後段で再評価し導電性物体1
の電極への挿入量xを知るフィードフォワード処理も可
能である。
実施形態であり、図11に示す実施形態の拡張で、実質
的には図11の装置に含まれる装置である。受信電極3
に発生した電流は増幅器11で増幅され、バンドパスフ
ィルタ22a,22bにより周波数f1とf2の電流に
分離され、それぞれ整流器23a,23bで整流された
後、減算器24と加算器25で減算および加算される。
加算器25の出力は反転器28で逆数が算出されこの逆
数と減算器24の出力が掛算器29で掛算され、この値
が導電性物体1の電極への挿入量xとなる。
する。第3実施形態は送信電極2を1個のインピーダン
スで構成し、反対端に第1電源4aの電圧Etを印加
し、挿入端に第2電源4bの電圧Etを印加する。これ
により挿入量xの位置での周波数f1の電圧はxEt、
周波数f2の電圧は(1−x)Etとなり、電気力線の
密度分布は図4に示した実線と破線の成分を合成したも
のが得られる。本実施形態におけるf1成分とf2成分
の合成は送信電極内で行われる。本実施形態においても
電気力線密度を意図にかなった形状で分布させるという
目的に合致する。さらに本実施形態においても、図7で
説明したように、送信電極2のインピーダンスの変化曲
線を出力特性の非直線性を補整するように分布させるこ
とにより非線形補整回路が不要になることは明らかであ
る。なお、受信電極3以降の構成は、図8〜図12の何
れかの構成が用いられる。
して説明する。第4実施形態は(7)式において、電極
間の距離Lを調整して電気力線の密度分布を所望の分布
にする方法である。導電性物体1の挿入方向に平行に受
信電極3が設けられている。送信電極2は第1電極2a
と第2電極2bからなり、第1電極2aは受信電極3と
の距離が挿入端で離れ反対端で近づくように直線状に傾
斜し、第2電極2bは受信電極3に対して第1電極2a
と反対の形状に配置されている。両電極2a,2bは、
実質的に等しい形状をなし、導体で構成されている。受
信電極3は導体で構成され、どの部分の電位も実質的に
一様である。第1電極2aには第1電源4aより周波数
f1の電圧Etが印加され、第2電極2bには第2電源
4bより周波数f2の電圧Etが印加されており、両電
極2a,2bのどの位置の電圧も電源電圧Etとなって
いる。なお、受信電極3以降の構成は、図8〜図12の
何れかの構成が用いられる。
の成分の電気力線の密度分布は図4に準じた分布が得ら
れる。ただし送信電極2と受信電極3との距離Lの変化
に対し電気力線密度分布は直線的ではなく、直角双曲線
の一部をなして変化するので、受信電極3で得られる電
流の比は図5に示す曲線とは異なる傾向を示す。
電極2b)と受信電極3との距離を平面的に表してい
る。導電性物体1の電極2,3への挿入量xにおける周
波数f1とf2の電気力線密度、EMf1XとEMf2Xは
y=1−xとして次の式で表される。 EMf1X=k/L1=k/(py+G) EMf2X=k/L2=k/(px+G) ここでkは係数で周囲環境の影響を受けて変動する。従
って導電性物体1によって遮断される電気力線の積分は
次のようになる。 (k/p)log(py+G) (k/p)log(px+G) 導電性物体1が挿入されないときの電気力線の積分は、
周波数f1とf2の電気力線とも同一で(k/p)log
(p+G)である。従ってxだけ遮蔽したときの残留電
気力線の積分は次のようになる。 (k/p)log(p+G)−(k/p)log(py+G) (k/p)log(p+G)−(k/p)log(px+G) 両者の比ILDは次のようになる。
な検出ができる。ただし本実施形態においてはpとGが
単独で変動することは許されない。受信電極3に発生す
る電流の比ILDは(8)式で示すように対数曲線となり
直線とはならない。しかし図6、図13に示した実施形
態における処置に準じ、これを補整するような曲率を持
つ電極を用いて解決できる。なお、本実施形態において
は交流信号S1,S2を電気的に混合した後に送信する
ならば、受信電極と送信電極は互いに交換可能である。
て説明する。第5実施形態は(7)式において、電極間
の誘電率εを調整して電気力線の密度分布を所望の分布
にする。導電性物体1の挿入方向に平行に送信電極2と
受信電極3が対向して設けられている。送信電極2は第
1電極2aと第2電極2bからなり、並行して配置さ
れ、実質的に等しい形状をなし、導体で構成されてい
る。周波数f1の交流信号S1を発生する第1電源4a
は第1電極2aに接続され、第1電極2aを周波数f
1、電圧Etで駆動する。周波数f2の交流信号S2を
発生する第2電源4bは第2電極2bに接続され、第2
電極2bを周波数f2、電圧Etで駆動する。
変化体6の構造を示す。誘電率変化体6は、例えば、誘
電率の異なる複数の誘電体の粉末を長さ方向に合成誘電
率が直線状に変化するように分布させながら混合し焼成
することによって得られる。図17の誘電率変化体6は
黒丸により誘電率の高い誘電体の分布を模式的に表した
ものである。図17Aは第1電極2aと受信電極3の間
に誘電率変化体6を配置した状態を示す。誘電率変化体
6はその誘電率が挿入端で低く、反対端で高くなるよう
に配置される。図17Bは第2電極2bと受信電極3の
間に誘電率変化体6を配置した状態を示す。誘電率変化
体6の配置を第1電極2aの場合と逆にしたもので、そ
の誘電率が挿入端で高く、反対端で低くなるように配置
される。なお誘電率変化体6は送信電極2と受信電極3
の間に配置され、導電性物体1に当たらないよういずれ
かの電極2,3に近づけて、または接触させて配置され
る。かかる構成により送信電極2と受信電極3との間に
図4に示した密度分布の電気力線を発生することができ
る。
をくさび状に加工したもので、長さ方向に合成誘電率が
直線状に変化するようにしたものである。図18Aは第
1電極2aと受信電極3の間に誘電率変化体6を配置し
た状態を示す。誘電率変化体6は第1くさび6aと第2
くさび6bからなり、両者は同一形状のくさびよりな
る。第1くさび6aは誘電率の高い誘電体で構成され、
第2くさび6bは誘電率の低い誘電体で構成されてい
る。この組み合わせによって、誘電率変化体6はその合
成変化率が挿入端で低く、反対端で高くなる。両くさび
6a,6bは図18Aに示すように向かい合せ厚みが同
じになるように結合されている。図18Bは第2電極2
bと受信電極3の間に誘電率変化体6を配置した状態を
示す。誘電率変化体6の配置を第1電極2aの場合と逆
にしたもので、その合成誘電率が挿入端で高く、反対端
で低くなるように配置される。かかる構成により送信電
極2と受信電極3との間に図4に示した密度分布の電気
力線を発生することができる。なお、上の説明では2個
のくさびを組み合わせて用いたが、いずれか一方のくさ
びのみを用いてもよい。
する。第1〜5実施形態ではいずれも励振源として2つ
の周波数f1とf2を同時に、つまり1つの時間帯で用
いたが、第6実施形態では1つの周波数を2つの時間帯
で用いる。この方法はいずれの実施形態にも適用可能で
あるが、図13に示した第3実施形態に適用した場合を
説明する。
1を発生する第1電源4aに転換スイッチ7を接続し、
この転換スイッチ7を送信電極2に接続する。これによ
り送信電極2の一端を第1電源4aに接続し、他端を接
地する接続と、この逆の接続を転換スイッチ7により行
なうことができる。受信電極3には増幅器11、A/D
変換器16、メモリ30、デジタル割算器17が接続さ
れている。
ると、送信電極2と受信電極3間には図4の実線(また
は破線)で示す電気力線の密度分布が得られる。この時
収集されたデータはA/D変換された後、一旦メモリ3
0に蓄えられる。その後転換スイッチ7を転換すると、
電気力線密度分布は図4の破線(または実線)で示すよ
うになる。このときのデータをA/D変換しメモリ30
に蓄えられたデータとともにデジタル割算器17で処理
することにより、導電性物体1の電極2,3への挿入量
xを算出することができる。本実施形態は、電源、バン
ドパスフィルタ、A/D変換器はそれぞれ1個でよいの
で、経済的に優れており、また現在一般的となったコン
ピュータでの信号処理にも向いている。
る極限状態では基本的に演算が実施困難であり、xの範
囲を、例えば、0<x<0 .8となるように制限すべきで
あると説明した。このことは実用上決定的な問題点とは
ならないが、できれば改良されることが望ましい。図2
0はこの問題点を解決した実施形態の1つである。電極
2,3は図13で説明した装置が用いられており、送信
電極2の反対端にバイアスインピーダンス8を介して第
1電源4aが接続されている。このバイアスインピーダ
ンス8の値を、送信電極2の2つの給電点間のインピー
ダンスの例えば1/4に設定する。これにより図4に相
当する電気力線密度分布は図21に示す1点鎖線より下
の部分だけが生成される。一方受信電極3に発生した電
流は増幅器11で実用的な電圧に変換される。次に周波
数f1に同調したバンドパスフィルタ12a、周波数f
2に同調したバンドパスフィルタ12bを通して、f1
成分とf2成分に分離され、整流器13a、整流器13
bによって直流信号に変換され、それぞれ加算器31
a,31bに導かれ、B1,B2なる固定電圧が加算さ
れる。このB1,B2の値はそれぞれ図21の1点鎖線
より上の部分の実線及び破線で示した電気力線の積分に
相当する値に設定してある。この加算したそれぞれの値
を割算器14で割算することより、挿入量xが得られ
る。この構成では、見掛け上、導電性物体1を電極2の
最深部まで挿入されたとしても、構成全体の信号処理の
流れからみれば、x<0 .8の条件が保たれているため、
導電性物体1のいかなる挿入位置においても演算が困難
または不可能になることはない。xがとることを許され
る最大値(今までの説明では0 .8)は主に、実際のシス
テムが遭遇する信号と雑音の比から決定するとよい。
によれば、静電式3端子型導電性物体端部検出装置が持
つ、本質的な不安定性、即ち、電圧、電極間距離、誘電
率等の変化に代表される外部要因による測定値の変動を
解消した装置を構成することが可能になる。なお、信号
源として実施形態では2つの周波数による構成例を示し
たが、実用上、2を越える周波数を用いてもよい。
出する装置の基本回路図である。
出する装置の基本回路図である。
である。
示す図である。
関係を示す理論的曲線を示す図である。
信電極に対する要件を説明する図である。
である。
して処理するブロック図である。
ルックアップテーブルを1個のルックアップテーブルに
置き換えたブロック図である。
得られる電流の和と差から挿入量xを検出するブロック
図である。
ある。
である。
に変化させる方法を示す図である。
に変化させる別の方法を示す図である。
域を回避する方法を示す図である。
を示す図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 導電性物体の端部の移動方向に対し平行
に配置された送信電極と、前記導電性物体を挟んで前記
送信電極に対向して配置された受信電極と、前記送信電
極に周波数f1の交流信号S1と周波数f2の交流信号
S2を印加する電源と、前記受信電極に発生する周波数
f1の電流I1と周波数f2の電流I2より前記導電性
物体の端部の前記送信電極と前記受信電極の間への挿入
量を検出する検出手段と、を備え、前記交流信号S1に
より発生する電気力線は導電性物体の端部移動方向に連
続的にかつ単調増加する密度分布であり、前記交流信号
S2により発生する電気力線は交流信号S1により発生
する電気力線の密度分布と逆形状の密度分布であること
を特徴とする導電性物体の端部検出装置。 - 【請求項2】 前記検出手段は前記電流I1と前記電流
I2との比から前記導電性物体の端部の挿入量を検出す
ることを特徴とする請求項1記載の導電性物体の端部検
出装置。 - 【請求項3】 前記検出手段は前記電流I1と前記電流
I2とをデジタルデータに変換しテーブルにより両者の
比を求め、この比から前記導電性物体の端部の挿入量を
検出することを特徴とする請求項1記載の導電性物体の
端部検出装置。 - 【請求項4】 前記検出手段は前記電流I1と前記電流
I2との和が常に一定値となるように両電流I1,I2
を共通の増幅率で増幅し得られた電流I1vと電流I2
vの差から前記導電性物体の端部の挿入量を検出するこ
とを特徴とする請求項1記載の導電性物体の端部検出装
置。 - 【請求項5】 前記送信電極は、前記交流信号S1を一
端に印加され他端は接地されており抵抗で構成された第
1電極と、該第1電極に並んで設けられ前記交流信号S
2を前記第1電極と反対端に印加され他端は接地されて
おり抵抗で構成された第2電極とからなることを特徴と
する請求項1記載の導電性物体の端部検出装置。 - 【請求項6】 前記送信電極は前記交流信号S1を印加
される導体よりなる第1電極と、前記交流信号S2を印
加される導体よりなる第2電極とで構成され、前記第1
電極と前記受信電極との距離は前記導電性物体の挿入方
向に変化し、前記第2電極と前記受信電極との距離は前
記導電性物体の挿入方向に前記第1電極の場合と逆に変
化していることを特徴とする請求項1記載の導電性物体
の端部検出装置。 - 【請求項7】 前記送信電極は前記交流信号S1を印加
される導体よりなる第1電極と、前記交流信号S2を印
加される導体よりなる第2電極とで構成され、前記第1
電極の前面に合成誘電率の大きさが前記導電性物体の移
動方向に変化する第1誘電率変化体を設け、前記第2電
極の前面に合成誘電率の大きさが前記導電性物体の移動
方向に第1電極と逆に変化する第2誘電率変化体を設け
たことを特徴とする請求項1記載の導電性物体の端部検
出装置。 - 【請求項8】 前記送信電極は、前記周波数f1とf2
を同一または異なった周波数とし、前記交流信号S1と
S2とを送信する時間を異なった時間とし、前記検出手
段は、最初に送信した信号に基づく電流I1を後から送
信した信号に基づく電流I2が得られるまで保持し、両
電流I1,I2より前記導電性物体の端部の挿入量を検
出することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記
載の導電性物体の端部検出装置。 - 【請求項9】 前記送信電極は、前記交流信号S1を一
端に印加され他端に前記交流信号S2を印加され、抵抗
よりなる1個の電極で構成されていることを特徴とする
請求項1記載の導電性物体の端部検出装置。 - 【請求項10】 前記送信電極は、前記周波数f1とf
2を同一または異なった周波数とし、前記交流信号S1
とS2とを送信する時間を異なった時間とし、交流信号
S1を送信するときは交流信号S2を印加する端部は接
地し、交流信号S2を送信するときは交流信号S1を印
加する端部は接地し、前記検出手段は、最初に送信した
信号に基づく電流I1を後から送信した信号に基づく電
流I2が得られるまで保持し、両電流I1,I2より前
記導電性物体の端部の挿入量を検出することを特徴とす
る請求項9に記載の導電性物体の端部検出装置。
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JP11-155907 | 1999-06-03 | ||
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ID=26483798
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007108142A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | エレベータのかご位置検出装置 |
JP2009282031A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Postech Academy-Industry Foundation | 機械的ガイドを有する面積変化型静電容量式センサ |
JP2012506190A (ja) * | 2008-10-17 | 2012-03-08 | フォルシア ブロック アバン | 自動車両のための物体検出装置 |
WO2013021467A1 (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-14 | トヨタ自動車株式会社 | 変位量モニタ電極の構造 |
WO2013030907A1 (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-07 | トヨタ自動車株式会社 | 変位量モニタ電極の構造 |
JP5621936B2 (ja) * | 2011-08-09 | 2014-11-12 | トヨタ自動車株式会社 | 変位量モニタ電極の構造 |
DE102020132814A1 (de) * | 2019-12-10 | 2021-06-10 | Knowles Electronics, Llc | Kraftrückkopplungsaktuator für einen mems-wandler |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2426235A1 (de) * | 1974-05-29 | 1975-12-11 | Hartmann & Braun Ag | Kapazitiver stellungsgeber |
JPS55136901A (en) * | 1979-04-14 | 1980-10-25 | Mishima Kosan Co Ltd | Device for detecting lateral displacement of plate |
JPS58153103A (ja) * | 1982-03-08 | 1983-09-12 | Nippon Steel Corp | 金属材料の位置、形状検出装置 |
JPH01127909A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-19 | Taiko Denki Seisakusho:Kk | 静電容量式ストロークセンサ |
JP2001056201A (ja) * | 1999-06-08 | 2001-02-27 | Nireco Corp | 導電性物体の端部検出装置 |
-
1999
- 1999-06-11 JP JP16475499A patent/JP3982948B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2426235A1 (de) * | 1974-05-29 | 1975-12-11 | Hartmann & Braun Ag | Kapazitiver stellungsgeber |
JPS55136901A (en) * | 1979-04-14 | 1980-10-25 | Mishima Kosan Co Ltd | Device for detecting lateral displacement of plate |
JPS58153103A (ja) * | 1982-03-08 | 1983-09-12 | Nippon Steel Corp | 金属材料の位置、形状検出装置 |
JPH01127909A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-19 | Taiko Denki Seisakusho:Kk | 静電容量式ストロークセンサ |
JP2001056201A (ja) * | 1999-06-08 | 2001-02-27 | Nireco Corp | 導電性物体の端部検出装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4722666B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2011-07-13 | 三菱電機株式会社 | エレベータのかご位置検出装置 |
JP2007108142A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | エレベータのかご位置検出装置 |
JP2009282031A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Postech Academy-Industry Foundation | 機械的ガイドを有する面積変化型静電容量式センサ |
US8779782B2 (en) | 2008-10-17 | 2014-07-15 | Faurecia Bloc Avant | Object detection device for an automotive vehicle |
JP2012506190A (ja) * | 2008-10-17 | 2012-03-08 | フォルシア ブロック アバン | 自動車両のための物体検出装置 |
WO2013021467A1 (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-14 | トヨタ自動車株式会社 | 変位量モニタ電極の構造 |
JP5621936B2 (ja) * | 2011-08-09 | 2014-11-12 | トヨタ自動車株式会社 | 変位量モニタ電極の構造 |
JP5293896B1 (ja) * | 2011-08-26 | 2013-09-18 | トヨタ自動車株式会社 | 変位量モニタ電極の構造 |
WO2013030907A1 (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-07 | トヨタ自動車株式会社 | 変位量モニタ電極の構造 |
US8991252B2 (en) | 2011-08-26 | 2015-03-31 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Displacement amount monitoring electrode arrangement |
DE102020132814A1 (de) * | 2019-12-10 | 2021-06-10 | Knowles Electronics, Llc | Kraftrückkopplungsaktuator für einen mems-wandler |
DE102020132814B4 (de) | 2019-12-10 | 2021-12-30 | Knowles Electronics, Llc | Kraftrückkopplungsaktuator für einen mems-wandler |
US11516597B2 (en) | 2019-12-10 | 2022-11-29 | Knowles Electronics, Llc | Force feedback actuator for a MEMS transducer |
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