JPH0722036Y2 - 高電圧電源 - Google Patents
高電圧電源Info
- Publication number
- JPH0722036Y2 JPH0722036Y2 JP1988108849U JP10884988U JPH0722036Y2 JP H0722036 Y2 JPH0722036 Y2 JP H0722036Y2 JP 1988108849 U JP1988108849 U JP 1988108849U JP 10884988 U JP10884988 U JP 10884988U JP H0722036 Y2 JPH0722036 Y2 JP H0722036Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- high voltage
- column
- voltage
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は電子顕微鏡等に使用される高電圧電源に関し、
特に高圧値を正確にモニターすることのできる高電圧電
源に関する。
特に高圧値を正確にモニターすることのできる高電圧電
源に関する。
［従来の技術］ 従来、電子顕微鏡等に使用される高電圧電源として第２
図に示すような構成の高電圧電源が知られている。第２
図において１は高周波発振器を含む高圧制御回路で、該
高圧制御回路１の出力は昇圧整流回路２で整流される。
該昇圧整流回路２の出力高圧は、フィルタ抵抗３とフィ
ルタコンデンサCf及び分割抵抗R1で構成される平滑回路
で平滑された後、電子顕微鏡のウエネルト電極５に供給
される。また、該平滑回路で平滑された高電圧はバイア
ス抵抗４を介して電子顕微鏡のフィラメント６に供給さ
れる。
図に示すような構成の高電圧電源が知られている。第２
図において１は高周波発振器を含む高圧制御回路で、該
高圧制御回路１の出力は昇圧整流回路２で整流される。
該昇圧整流回路２の出力高圧は、フィルタ抵抗３とフィ
ルタコンデンサCf及び分割抵抗R1で構成される平滑回路
で平滑された後、電子顕微鏡のウエネルト電極５に供給
される。また、該平滑回路で平滑された高電圧はバイア
ス抵抗４を介して電子顕微鏡のフィラメント６に供給さ
れる。
近年、電子顕微鏡において高倍率、高分解能が要求され
ているが、これらの要求を満たすためには極めて高い加
速電圧とその安定度、特にフィラメント電極に供給され
る高電圧値の高い安定度（安定度をΔＶとすると、ΔＶ
＝１×10-6V/分）が要求される。例えば、高電圧値1000
KVでΔＶ＝1V以下が要求される。そのため、前記バイア
ス抵抗４を介した高電圧を分割抵抗Reを用いて分圧し、
測定抵抗Rs、基準抵抗Re，基準電圧Es及び差動増幅器７
で構成される高電圧検出回路によって、その変動電圧が
検出され、該変動電圧を降圧制御回路１に入力して制御
することにより装置全体として負帰還ループを構成して
出力高電圧の安定化を図っている。
ているが、これらの要求を満たすためには極めて高い加
速電圧とその安定度、特にフィラメント電極に供給され
る高電圧値の高い安定度（安定度をΔＶとすると、ΔＶ
＝１×10-6V/分）が要求される。例えば、高電圧値1000
KVでΔＶ＝1V以下が要求される。そのため、前記バイア
ス抵抗４を介した高電圧を分割抵抗Reを用いて分圧し、
測定抵抗Rs、基準抵抗Re，基準電圧Es及び差動増幅器７
で構成される高電圧検出回路によって、その変動電圧が
検出され、該変動電圧を降圧制御回路１に入力して制御
することにより装置全体として負帰還ループを構成して
出力高電圧の安定化を図っている。
［考案が解決しようとする課題］ 上述したような構成による高電圧電源において高電圧の
安定度を測定する場合、次の２通りの方法で測定が行わ
れている。
安定度を測定する場合、次の２通りの方法で測定が行わ
れている。
分割抵抗R2の両端の電圧を測定する。
測定（検出）抵抗Rsの両端の電圧を測定する。
しかしながら、の場合に検出されるのはウエネルト電
位の安定度であり、フィラメント電位（−HT）の安定度
ではない。また、の場合は負帰還ループを構成する高
電圧検出回路内の基準電圧の安定度を測定しているだけ
に過ぎず、やはりフィラメント電位の安定度ではない。
このようにいずれの測定方法においても、フィラメント
に供給される高電圧の安定度を正確にモニターできない
ことが問題とされている。
位の安定度であり、フィラメント電位（−HT）の安定度
ではない。また、の場合は負帰還ループを構成する高
電圧検出回路内の基準電圧の安定度を測定しているだけ
に過ぎず、やはりフィラメント電位の安定度ではない。
このようにいずれの測定方法においても、フィラメント
に供給される高電圧の安定度を正確にモニターできない
ことが問題とされている。
本考案は、上述した問題点を考慮し、フィラメントに供
給される高電圧の安定度を正確にモニターすることので
きる高電圧電源を提供することを目的としている。
給される高電圧の安定度を正確にモニターすることので
きる高電圧電源を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ 本考案は、高圧制御回路と、該高圧制御回路の出力を昇
圧整流する昇圧整流回路と、該昇圧整流回路の出力に接
続されたフィルタ抵抗と、該フィルタ抵抗の出力に接続
されたフィルタコンデンサと分割抵抗からなる第１のカ
ラムと、第２及び第３のカラムとを備え、該第2,第３の
カラムの各々は基準抵抗とコンデンサが並列接続された
回路を複数個直列に接続して成ると共に、その一端は接
地電位とし、他端は前記フィルタ抵抗の出力にバイアス
抵抗を介して接続されており、前記第２のカラムの低圧
側に測定抵抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づいて
前記高電圧制御回路を安定化制御すると共に、前記第３
のカラムの低圧側に測定抵抗を設けて該測定抵抗の検出
信号に基づいて高圧値をモニターするようにしたことを
特徴とする。
圧整流する昇圧整流回路と、該昇圧整流回路の出力に接
続されたフィルタ抵抗と、該フィルタ抵抗の出力に接続
されたフィルタコンデンサと分割抵抗からなる第１のカ
ラムと、第２及び第３のカラムとを備え、該第2,第３の
カラムの各々は基準抵抗とコンデンサが並列接続された
回路を複数個直列に接続して成ると共に、その一端は接
地電位とし、他端は前記フィルタ抵抗の出力にバイアス
抵抗を介して接続されており、前記第２のカラムの低圧
側に測定抵抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づいて
前記高電圧制御回路を安定化制御すると共に、前記第３
のカラムの低圧側に測定抵抗を設けて該測定抵抗の検出
信号に基づいて高圧値をモニターするようにしたことを
特徴とする。
［作用］ 本考案による高電圧電源においては、基準抵抗とコンデ
ンサが並列接続された回路を複数個直列に接続し、その
一端を接地電位とし、他端を前記フィルタ抵抗の出力に
バイアス抵抗を介して接続した第２及び第３のカラムを
設け、前記第２のカラムの低圧側に測定抵抗を設けて該
測定抵抗の検出信号に基づいて前記高電圧制御回路を安
定化制御すると共に、前記第３のカラムの低圧側に測定
抵抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づいて高圧値を
モニターするようにしている。
ンサが並列接続された回路を複数個直列に接続し、その
一端を接地電位とし、他端を前記フィルタ抵抗の出力に
バイアス抵抗を介して接続した第２及び第３のカラムを
設け、前記第２のカラムの低圧側に測定抵抗を設けて該
測定抵抗の検出信号に基づいて前記高電圧制御回路を安
定化制御すると共に、前記第３のカラムの低圧側に測定
抵抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づいて高圧値を
モニターするようにしている。
［実施例］ 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本考案の一実施例を説明するための回路構成図であ
る。第１図において第２図と同一の構成要素には同一番
号を付すと共に説明を省略する。第１図に示す実施例が
従来例と異なるのは、基準抵抗とコンデンサが並列接続
された回路を複数個直列に接続し、その一端を接地電位
とし、他端を前記フィルタ抵抗の出力にバイアス抵抗を
介して接続した第２及び第３のカラムを設けた点と、該
第２及び第３カラムの最下段に測定抵抗及び該測定抵抗
間電圧を測定する測定端子（例えばBNC型コネクタ）を
設け、該第２及び第３のカラムの測定端子の一方の出力
を差動増幅器を介して高電圧制御回路に負帰還ループを
構成して出力高電圧の安定化を図ると共に、他方カラム
の測定端子の出力に基づいてフィラメントに供給される
高圧値の安定度を測定器（例えば、チャートレコーダ）
でモニターするようにした点である。
図は本考案の一実施例を説明するための回路構成図であ
る。第１図において第２図と同一の構成要素には同一番
号を付すと共に説明を省略する。第１図に示す実施例が
従来例と異なるのは、基準抵抗とコンデンサが並列接続
された回路を複数個直列に接続し、その一端を接地電位
とし、他端を前記フィルタ抵抗の出力にバイアス抵抗を
介して接続した第２及び第３のカラムを設けた点と、該
第２及び第３カラムの最下段に測定抵抗及び該測定抵抗
間電圧を測定する測定端子（例えばBNC型コネクタ）を
設け、該第２及び第３のカラムの測定端子の一方の出力
を差動増幅器を介して高電圧制御回路に負帰還ループを
構成して出力高電圧の安定化を図ると共に、他方カラム
の測定端子の出力に基づいてフィラメントに供給される
高圧値の安定度を測定器（例えば、チャートレコーダ）
でモニターするようにした点である。
第１図において９は高圧の安定度を決定するための高電
圧検出回路を構成するカラムである。該カラム９は20pp
m/℃程度の高精度の基準抵抗ReとコンデンサC1が並列接
続された回路が複数個直列に接続され、その一端が接地
電位に接続されると共に、他端がフィルタ抵抗３の出力
にバイアス抵抗４を介して接続されている。Re′は測定
抵抗で該抵抗の両端には測定端子b,cが設けられてい
る。前記測定端子ｂに接続されたEsは高圧を安定化制御
するための基準電圧で、該基準電圧を可変することによ
り高電圧値を所望の電圧に設定することができる。該高
電圧の安定化制御はバイアス抵抗４を介した高電圧を分
割抵抗Reを用いて分圧し、測定抵抗Re′、基準抵抗、基
準電圧Es及び差動増幅器７で構成される高電圧検出回路
によって、その変動電圧を検出し、該検出された変動電
圧を高圧制御回路１に入力して制御することにより負帰
還ループを構成して出力高電圧の安定化を図っている。
圧検出回路を構成するカラムである。該カラム９は20pp
m/℃程度の高精度の基準抵抗ReとコンデンサC1が並列接
続された回路が複数個直列に接続され、その一端が接地
電位に接続されると共に、他端がフィルタ抵抗３の出力
にバイアス抵抗４を介して接続されている。Re′は測定
抵抗で該抵抗の両端には測定端子b,cが設けられてい
る。前記測定端子ｂに接続されたEsは高圧を安定化制御
するための基準電圧で、該基準電圧を可変することによ
り高電圧値を所望の電圧に設定することができる。該高
電圧の安定化制御はバイアス抵抗４を介した高電圧を分
割抵抗Reを用いて分圧し、測定抵抗Re′、基準抵抗、基
準電圧Es及び差動増幅器７で構成される高電圧検出回路
によって、その変動電圧を検出し、該検出された変動電
圧を高圧制御回路１に入力して制御することにより負帰
還ループを構成して出力高電圧の安定化を図っている。
10はフィラメント６に供給される高電圧の安定度を測定
するためのカラムである。該カラム10もカラム９と同様
に、20ppm/℃程度の高精度の基準抵抗RmとコンデンサC2
が並列接続された回路が複数個直列に接続され、その一
端が接地電位とされると共に、他端がフィルタ抵抗３の
出力にバイアス抵抗４を介して接続されている。Rm′は
測定抵抗で該抵抗の両端には測定端子d,eが設けられて
いる。
するためのカラムである。該カラム10もカラム９と同様
に、20ppm/℃程度の高精度の基準抵抗RmとコンデンサC2
が並列接続された回路が複数個直列に接続され、その一
端が接地電位とされると共に、他端がフィルタ抵抗３の
出力にバイアス抵抗４を介して接続されている。Rm′は
測定抵抗で該抵抗の両端には測定端子d,eが設けられて
いる。
ここで、フィラメント６に供給される高電圧の安定度を
測定する場合は、前記負帰還ループとは別個に設けられ
たカラム10の最下段に設けられた測定抵抗Rm′及び該測
定抵抗間電圧を測定する測定端子ｅに、測定器（例え
ば、チャートレコーダ）11を接続することによりモニタ
ーすることができる。ここで、Ecは直流分キャンセル用
の電圧源である。
測定する場合は、前記負帰還ループとは別個に設けられ
たカラム10の最下段に設けられた測定抵抗Rm′及び該測
定抵抗間電圧を測定する測定端子ｅに、測定器（例え
ば、チャートレコーダ）11を接続することによりモニタ
ーすることができる。ここで、Ecは直流分キャンセル用
の電圧源である。
尚、上述した実施例は本考案の一実施例に過ぎず、本考
案は変形して実施することができる。上述した実施例で
は第３のカラムで高電圧の安定度を測定するようにした
が、第２のカラムに放電が発生するなどして第２のカラ
ムが不調な場合には、第３のカラムの測定端子に差動増
幅器及び基準電圧を接続して安定化制御を行うようにし
ても良い。また、上述した実施例では測定端子を設けた
が測定端子を用いずに直接測定器や制御回路に結線して
も良いし、上記切換えにあたって測定器と制御回路との
接続を切換える切換回路を介して接続するようにしても
良い。
案は変形して実施することができる。上述した実施例で
は第３のカラムで高電圧の安定度を測定するようにした
が、第２のカラムに放電が発生するなどして第２のカラ
ムが不調な場合には、第３のカラムの測定端子に差動増
幅器及び基準電圧を接続して安定化制御を行うようにし
ても良い。また、上述した実施例では測定端子を設けた
が測定端子を用いずに直接測定器や制御回路に結線して
も良いし、上記切換えにあたって測定器と制御回路との
接続を切換える切換回路を介して接続するようにしても
良い。
尚、上述した高電圧電源回路は、回路素子の精度を保つ
ために、温度変化を受けにくい容器内に収容されること
が望ましく、また、放電を防止するために該容器内には
絶縁ガスまたは絶縁オイルを充填することが望ましい。
ために、温度変化を受けにくい容器内に収容されること
が望ましく、また、放電を防止するために該容器内には
絶縁ガスまたは絶縁オイルを充填することが望ましい。
［考案の効果］ 以上の説明から明らかなように、本考案によれば、基準
抵抗とコンデンサが並列接続された回路を複数個直列に
接続し、その一端を接地電位とし、他端を前記フィルタ
抵抗の出力にバイアス抵抗を介して接続した第２及び第
３のカラムを設け、前記第２のカラムの低圧側に測定抵
抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づいて前記高電圧
制御回路を安定化制御すると共に、前記第３のカラムの
低圧側に測定抵抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づ
いて高圧値をモニターするようにしたことにより、正確
な高圧値の安定度をモニターすることができる高電圧電
源が実現された。そのため、電子顕微鏡のフィラメント
に供給される高電圧の安定度を正確にモニターすること
ができるので、電子顕微鏡の分解能評価を正確に行なう
ことができる。
抵抗とコンデンサが並列接続された回路を複数個直列に
接続し、その一端を接地電位とし、他端を前記フィルタ
抵抗の出力にバイアス抵抗を介して接続した第２及び第
３のカラムを設け、前記第２のカラムの低圧側に測定抵
抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づいて前記高電圧
制御回路を安定化制御すると共に、前記第３のカラムの
低圧側に測定抵抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づ
いて高圧値をモニターするようにしたことにより、正確
な高圧値の安定度をモニターすることができる高電圧電
源が実現された。そのため、電子顕微鏡のフィラメント
に供給される高電圧の安定度を正確にモニターすること
ができるので、電子顕微鏡の分解能評価を正確に行なう
ことができる。
第１図は本考案の実施例を説明するための回路構成図、
第２図は従来例を説明するための図である。 1:高圧制御回路、2:昇圧整流回路 3:フィルタ抵抗、4:バイアス抵抗 5:ウエネルト電極、6:フィラメント 7:差動増幅器、8:第１カラム 9:第２カラム、10:第３カラム 11:測定器 12:フィラメント饋電抵抗 Cf，Cf′：フィルタコンデンサ R1：分割抵抗 Re，Rm：分割抵抗 R2，Re′，Rm′：測定抵抗 Es：基準電圧 Ec：キャンセル電圧源
第２図は従来例を説明するための図である。 1:高圧制御回路、2:昇圧整流回路 3:フィルタ抵抗、4:バイアス抵抗 5:ウエネルト電極、6:フィラメント 7:差動増幅器、8:第１カラム 9:第２カラム、10:第３カラム 11:測定器 12:フィラメント饋電抵抗 Cf，Cf′：フィルタコンデンサ R1：分割抵抗 Re，Rm：分割抵抗 R2，Re′，Rm′：測定抵抗 Es：基準電圧 Ec：キャンセル電圧源
Claims (1)
- 【請求項１】高圧制御回路と、該高圧制御回路の出力を
昇圧整流する昇圧整流回路と、該昇圧整流回路の出力に
接続されたフィルタ抵抗と、該フィルタ抵抗の出力に接
続されたフィルタコンデンサと分割抵抗からなる第１の
カラムと、第２及び第３のカラムとを備え、該第2,第３
のカラムの各々は基準抵抗とコンデンサが並列接続され
た回路を複数個直列に接続して成ると共に、その一端は
接地電位とし、他端は前記フィルタ抵抗の出力にバイア
ス抵抗を介して接続されており、前記第２のカラムの低
圧側に測定抵抗を設けて該測定抵抗の検出信号に基づい
て前記高電圧制御回路を安定化制御すると共に、前記第
３のカラムの低圧側に測定抵抗を設けて該測定抵抗の検
出信号に基づいて高圧値をモニターするようにしたこと
を特徴とする高電圧電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988108849U JPH0722036Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 高電圧電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988108849U JPH0722036Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 高電圧電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0231058U JPH0231058U (ja) | 1990-02-27 |
| JPH0722036Y2 true JPH0722036Y2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=31344568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988108849U Expired - Lifetime JPH0722036Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | 高電圧電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722036Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4433524C2 (de) * | 1994-09-20 | 1999-01-28 | Jeol Ltd | Hochspannungs-Gleichstromgenerator |
| DE4433531C2 (de) * | 1994-09-20 | 1997-12-11 | Jeol Ltd | Hochspannungs-Gleichstromgenerator |
| JP4584015B2 (ja) * | 2005-04-28 | 2010-11-17 | 日本電子株式会社 | 電界放射型電子銃を用いた電子線装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246429A (en) * | 1975-10-09 | 1977-04-13 | Jeol Ltd | Direct current high voltage power source |
-
1988
- 1988-08-19 JP JP1988108849U patent/JPH0722036Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5246429A (en) * | 1975-10-09 | 1977-04-13 | Jeol Ltd | Direct current high voltage power source |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0231058U (ja) | 1990-02-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1052886A (en) | Capacitive thickness gauging | |
| US3932810A (en) | Temperature compensated combined current and voltage measuring apparatus | |
| JPS6237440B1 (ja) | ||
| JPH0794964B2 (ja) | 容量形測定装置及び方法 | |
| US4389646A (en) | Displacement converting circuit arrangement | |
| JPH0722036Y2 (ja) | 高電圧電源 | |
| US4992740A (en) | Apparatus which uses a simulated inductor in the measurement of an electrical parameter of a device under test | |
| JPH0118386B2 (ja) | ||
| JP2003075487A (ja) | インピーダンス検出装置及び静電容量検出装置 | |
| US4742294A (en) | Helix current sense system | |
| US3478256A (en) | Capacitor potentiometer | |
| DE2530723A1 (de) | Messeinrichtung zur messung von phasenverschiebungen an elektrischen vierpolen | |
| US4559507A (en) | Controlled hybrid microcircuit oscillator | |
| US4419660A (en) | Electric filter equipment | |
| JPS61110064A (ja) | 回路定数測定器 | |
| US4528498A (en) | Frequency compensating current circuit for a current comparator capacitance bridge | |
| US20230375640A1 (en) | Leak Detection Device And Associated Electrical Power Supply | |
| JP2724824B2 (ja) | 直流高電圧発生装置 | |
| US6259246B1 (en) | Load sensing apparatus and method | |
| JPS6412181B2 (ja) | ||
| JPH0733590Y2 (ja) | 高電圧電源 | |
| US4483013A (en) | X-Ray radiation control method and apparatus | |
| KR790001853B1 (ko) | 전해조의 내부 저항을 연속적으로 결정하는 방법 | |
| SU993365A1 (ru) | Устройство дл измерени внутреннего сопротивлени электрохимического источника тока | |
| SU1122984A1 (ru) | Устройство дл контрол электрических параметров трансформаторов |