JP2001043641A - ヘッドの微小移動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ヘッドの微小移動機構を備えるヘッドアクチ
ュエータの、記録媒体を挟むキャリッジアーム間距離を
短くして配線を簡素化し、コストを下げる。 【解決手段】 揺動型ヘッドアクチュエータのヘッドサ
スペンション74の基部とキャリッジアーム72の先端部と
の間に位置するヘッドの微小移動機構10を、キャリッジ
アーム72の先端部に固定されるアクチュエータベース30
と、ヘッドサスペンション74の基部に取り付けられるヒ
ンジプレート40、及び、アクチュエータベース30とヒン
ジプレート40の対向する面との間に介装される剪断型の
圧電素子31とから構成し、アクチュエータベース30の先
端部35に段差部34を設けることにより、この圧電素子31
をキャリッジアーム72の厚さ部分に位置させることによ
り、アクチュエータベース30と圧電素子31の厚さがキャ
リッジアーム72の上面側に突出しないようにし、ヘッド
アクチュエータの高さを低減する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はヘッドの微小移動機
構に関し、特に、ディスク装置のヘッドアクチュエータ
の先端部近傍において、圧電素子の剪断変形を利用して
ヘッドを微小移動させる機構に関するものである。近
年、情報機器の精密化が進んでおり、微小な移動距離が
必要なアクチュエータの需要が高まっている。例えば、
光学系の焦点補正や傾角制御、プリンタの印字装置、磁
気ディスク装置のヘッドアクチュエータなどでは、微小
距離を移動制御することができるアクチュエータが必要
となっている。

【０００２】このような情報機器の中でも、磁気ディス
ク装置は、近年急激に市場拡大を遂げているマルチメデ
ィア機器のキーデバイスの１つである。マルチメディア
機器では、画像や音声等をより大量に、かつ高速に取り
扱うため、より記憶容量の多い装置の開発が望まれてい
る。磁気ディスク装置の大容量化は一般に、ディスク１
枚当たりの記憶容量を増加させることで実現する。しか
し、磁気ディスク装置を高記録密度化するためには、単
位長さ当たりのトラックの数（ＴＰＩ）を大きくする、
つまり、トラックの幅を狭くすることが不可欠である。
そして、記憶密度を急激に増加させるとトラックピッチ
が急激に狭まるため、記録トラックに対する読み書きを
行うヘッド素子の位置決めをヘッドアクチュエータによ
って如何に正確に行うかが技術的な問題となっている。
このため、通常はＶＣＭと呼ばれるモータによって揺動
するヘッドアクチュエータの先端部に、ＶＣＭによる駆
動とは独立にヘッドを微小に移動させることができるヘ
ッドの微小移動機構を備えたヘッドアクチュエータが実
用化されており、このヘッドの微小移動機構の小型化が
望まれている。

【０００３】

【従来の技術】図１は本出願人が既に提案したヘッドの
微小移動機構７０を備えたディスク装置のヘッドアクチ
ュエータ８０の原理的な構成を示すものである（特開平
１１−３１３６８号公報参照）。図１において７２はヘ
ッドアクチュエータ８０のキャリッジアーム７２であ
り、このキャリッジアーム７２の先端部に、ヘッドの微
小移動機構７０を介して、先端部にヘッドスライダ７１
が取り付けられたヘッドサスペンション７４の基部が取
り付けられる。ヘッドの微小移動機構７０は、剪断型の
圧電素子３１と可動部材４０とから構成されており、ヘ
ッドサスペンション７４の基部は可動部材４０の一端に
取り付けられる。そして、圧電素子３１の厚さ方向に電
圧を印加すると、圧電素子３１が剪断変形し、可動部材
４０が変位することによってヘッドサスペンション７４
の先端部にあるヘッドスライダ７１が微小に変位する。

【０００４】可動部材４０には、実際にはヘッドサスペ
ンション７４の変位量を大きくするための移動量拡大機
構が設けられている。この例を図２(a) に示す。この例
においてキャリッジアーム７２の上に取り付けられる剪
断型圧電素子３１は２個であり、圧電素子３１に記載さ
れた点線の矢印は２つの圧電素子３１の分極方向を示し
ている。２つの圧電素子３１の分極方向は、素子の厚さ
方向と垂直で、互いに逆向きになっている。キャリッジ
アーム７２の上には圧電素子３１に電圧を印加するため
の電極２１と配線パターン２２，２３が設けられてい
る。

【０００５】この２つの圧電素子３１の上に取り付けら
れる可動部材４０には、移動量拡大機構として、２つの
圧電素子３１の間の空間の位置に対応する第１の切欠４
１と、この第１の切欠４２に直交する方向に可動部材４
０の両端から設けられた第２の切欠４２とがあり、第１
の切欠４１と第２の切欠４２とが交差する部分にヒンジ
４５が形成されている。そして、第２の切欠４２によっ
て仕切られた可動部材４０の先端側が移動量拡大部４４
となっており、ヘッドスライダ７１を先端部に備えたヘ
ッドサスペンション７４の基部は、この移動量拡大部４
４に取り付けられている。固定部材４０は圧電素子３１
の一方の電極となっており、固定部材４０に電位を印加
するために、固定部材４０の一部がリード線３７によっ
て配線パターン２３に接続される。

【０００６】この例のヘッドの微小移動機構７０では、
電極２１と可動部材４０との間に電圧を印加することに
より、ヘッドスライダ７１を矢印Ｕ，ＵＣの方向に変位
させることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１１−３１３６８号公報に構成されたヘッドの微小移動
機構では、キャリッジアーム（ヘッドアーム）７２の電
極２１の上に圧電素子３１を取り付け、その上に可動部
材４０を介してヘッドサスペンション（スプリングアー
ム）７４を取り付けた３層構造となっているので、従来
のヘッドマウンティングブロックのみの厚さと比較して
キャリッジアーム７２からヘッドサスペンション７４ま
での厚みが増えてしまい、ヘッドアクチュエータ８０の
薄型化に適さなくなるという問題点があった。更に、こ
の厚みの増加によってディスク面間隔が広くなってしま
い、ディスク装置に搭載できるディスクの枚数を減らし
てしまうことになり、同じ高さのディスク装置に比べて
記憶容量を小さくしてしまうという問題点があった。

【０００８】また、磁気ディスク装置のヘッドサスペン
ションはヘッドの記録再生信号へのノイズを低減するた
めに電気的にグランドに接続しなければならない。ヘッ
ドの微小移動機構が設けられていない通常のヘッドアク
チュエータでは一般に、キャリッジアームがグランドに
接続されており、このキャリッジアームに対してカシメ
接合されているヘッドサスペンションもグランドとなっ
ている。ところが、ヘッドの微小移動機構が組み込まれ
たヘッドアクチュエータの場合は、キャリッジアームと
ヘッドサスペンションとの間に圧電素子が挟まれた構造
であるため、ヘッドサスペンションをグランドにつなぐ
ための線と、圧電アクチュエータを駆動するための線が
必要である。

【０００９】しかしながら、特開平１１−３１３６８号
公報に構成されたヘッドの微小移動機構では、圧電素子
３１がキャリッジアーム７２と可動部材（ヒンジプレー
ト）４０とに挟まれた形状であるため、電極からの配線
の引き出しが困難であった。さらに、キャリッジアーム
７２と可動部材４０には、ステンレス鋼（ＳＵＳ）材を
使用しており、半田による銅線の接続性が極めて悪いた
め、上述の配線の引回しを一層困難にしていた。

【００１０】一方、図３（特開平１１−３１３６８号公
報の第１７図）のように、中継フレキシブル回路基板
（中継ＦＰＣ）２４を折り曲げて可動部材４０に直に付
けることも考えられているが、中継ＦＰＣ２４を付ける
作業はキャリッジアーム２０に、圧電素子３１と可動部
材４０を取り付けてから行われるため、折り曲げられた
中継ＦＰＣ２４を取り付けるためのスペースが確保しに
くく、中継ＦＰＣ２４の取付作業が煩雑で困難であっ
た。

【００１１】本発明の第１の目的は、ヘッドの微小移動
機構が設けられた磁気ディスク装置のヘッドアクチュエ
ータにおいて、狭いディスク間隔に適するヘッドの微小
移動機構を提供することである。また、本発明の第２の
目的は、ヘッドの微小移動機構を駆動するための配線、
ならびにヘッドサスペンションをグランドに接続するた
めの配線を簡単化し、コストを低減することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の第１の形態は、揺動型ヘッドアクチュエータにおけ
る、ヘッドを先端部に備えたヘッドサスペンションの基
部と、回転軸を中心にして揺動するキャリッジアームの
先端部との間に設けられるヘッドの微小移動機構であっ
て、キャリッジアームの先端部に固定される固定部材
と、ヘッドサスペンションの基部に取り付けられる可動
部材、及び、固定部材の自由端側の所定領域の面とこれ
に対向する可動部材の自由端側の所定領域の面との間に
介装されると共に、その厚さ方向に電圧を印加すること
によって底面に対して上面が変位する変位部材とから構
成され、この変位部材は、固定部材のキャリッジアーム
の先端部への取付面、及び、可動部材の前記ヘッドサス
ペンションの基部への取付面に対して、ヘッドがアクセ
スする記録媒体の反対側に位置していることを特徴とし
ている。

【００１３】第１の形態において、固定部材のキャリッ
ジアームの先端部への取付面に隣接する部位が、記録媒
体側にクランク状に折り曲げられることによって、固定
部材の自由端側の所定領域の面と可動部材の自由端側の
所定領域の面との間にスペースが形成され、変位部材が
このスペース内に収容されるようにしても良い。また、
第１の形態において、可動部材のヘッドサスペンション
の基部への取付面に隣接する部位が、記録媒体側にクラ
ンク状に折り曲げられることによって、可動部材の自由
端側の所定領域の面と固定部材の自由端側の所定領域の
面との間にスペースが形成され、変位部材がこのスペー
ス内に収容されるようにしても良い。

【００１４】更に、以下のようにすることが可能であ
る。変位部材への電圧の印加は、変位部材の上下面にそ
れぞれ設けられたシート状の電極部材によって行われる
と共に、電極部材と固定部材との間、及び、電極部材と
可動部材との間には絶縁部材が介装されており、各電極
部材には電源に接続するリード線との接続端子部が設け
られている。

【００１５】キャリッジアームがグランドに接続されて
おり、固定部材は導体で構成され、キャリッジアームの
先端に電気的に導通するように固定されており、固定部
材と変位部材との間には、絶縁層と導体層、及び、電源
に接続するリード線との接続端子部を備えた電極部材が
導体層を変位部材側にして設けられており、可動部材は
導体で構成され、ヘッドサスペンションの基部に電気的
に導通するように取付られており、可動部材は導体によ
り固定部材に接続されている。

【００１６】キャリッジアームがグランドに接続されて
おり、固定部材は導体で構成され、キャリッジアームの
先端に電気的に導通するように固定されており、固定部
材と変位部材との間には、絶縁層と導体層、及び、電源
に接続するリード線との接続端子部を備えた電極部材が
導体層を変位部材側にして設けられており、可動部材は
導体で構成され、ヘッドサスペンションの基部に電気的
に導通するように取付られていると共に、変位部材に直
接重ね合わされており、ヘッドサスペンションが導体に
より固定部材に接続されている。

【００１７】可動部材は導体で構成され、可動部材の変
位部材と反対側の面の基部側には絶縁層と導体層からな
る電極部材が固定されると共に、この電極部材には外部
の配線に接続する配線引出部が設けられており、電極部
材の導体層と可動部材の間は導電体により接続されてい
る。キャリッジアームがグランドに接続されており、絶
縁層と導体層、及び外部のリード線との接続端子部とを
備えた電極部材が、その導体部を変位部材の可動部材側
の面に接触させて設けられ、変位部材の固定部材側の面
は、導体で構成された固定部材を通じてキャリッジアー
ムに電気的に接続されており、ヘッドサスペンションが
取り付けられた可動部材は、導体から構成されると共
に、導体により固定部材に接続されている。

【００１８】キャリッジアームがグランドに接続されて
おり、絶縁層と導体層、及び外部のリード線との接続端
子部とを備えた電極部材が、その導体部を変位部材の可
動部材側の面に接触させて設けられ、変位部材の固定部
材側の面は、導体で構成された固定部材を通じてキャリ
ッジアームに電気的に接続されており、可動部材は導体
で構成され、ヘッドサスペンションの基部に電気的に導
通するように取付られていると共に、変位部材に直接重
ね合わされており、ヘッドサスペンションが導体により
固定部材に接続されている。

【００１９】更にまた、以下の構成も可能である。電極
部材がステンレス鋼製の薄板、ポリイミド、銅箔をこの
順に積層して構成される、或いは、電極部材が柔軟な印
刷回路基板から構成され、この印刷回路基板と、圧電素
子、可動部材、及び、固定部材の接合は、それぞれ接着
されている。

【００２０】導体がヘッドサスペンションの一部であ
る。電極部材の配線引出部がキャリッジアームの側面に
沿うように折り曲げられている。可動部材には、ヘッド
サスペンションの可動範囲を広げるためのヒンジ部が設
けられていると共に、電極部材にはヒンジを有する可動
部材のヒンジ形状に合わせた切り込みがある。

【００２１】可動部材のヘッドサスペンションの取付面
と固定部材のキャリッジアームへの取付面と反対側の面
が面一となるように構成されている。導体が導電性接着
剤である。また、前記目的を達成する本発明の第２の形
態は、揺動型ヘッドアクチュエータにおける、ヘッドを
先端部に備えたヘッドサスペンションの基部と、回転軸
を中心にして揺動するキャリッジアームの先端部との間
に設けられるヘッドの微小移動機構であって、キャリッ
ジアームの先端部に固定される固定部材と、ヘッドサス
ペンションの基部に取り付けられる可動部材、固定部材
の自由端側の所定領域の面とこれに対向する可動部材の
自由端側の所定領域の面との間に介装されると共に、そ
の厚さ方向に電圧を印加することによって底面に対して
上面が変位する変位部材、及び、この変位部材の上下面
の少なくとも一方の面に配置される、絶縁層と導体層と
からなるシート状の電極部材とから構成され、電極部材
には外部の配線に接続する配線引出部が設けられてお
り、この配線引出部が前記キャリッジアームの側面に沿
うように折り曲げられていることを特徴としている。

【００２２】本発明によれば、ヘッドの微小移動機構が
設けられた磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータに
おいて、狭いディスク間隔に適するヘッドの微小移動機
構の構造を達成することができると共に、ヘッドの微小
移動機構を駆動するための配線、ならびにヘッドサスペ
ンションをグランドに接続するための配線を簡単化し、
コストを低減することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を用いて本発明の
ヘッドの微小移動機構１０の実施形態を具体的な実施例
に基づいて詳細に説明するが、図１から図３で説明した
従来のヘッドの微小移動機構７０と同じ構成部材で、本
発明のヘッドの微小移動機構１０でも使用するものにつ
いては同じ符号を付して説明する。

【００２４】図４はディスク装置における本発明のヘッ
ドの微小移動機構１０を備えたヘッドアクチュエータ６
０の構成を示すものであり、(a) は左側面図、(b) は平
面図、(c) は右側面図である。ヘッドアクチュエータ６
０はピン等の回転軸７６に取り付けられており、この回
転軸７６を中心にして揺動する。回転軸７６の一方の側
には側面から見ると櫛状に形成されたキャリッジアーム
７２があり、各キャリッジアーム７２の先端部には１つ
または２つのヘッドサスペンション７４が取り付けられ
ている。ヘッドサスペンション７４の先端部には、ディ
スク媒体とデータの遣り取りを行うヘッドを備えたヘッ
ドスライダ７１がある。

【００２５】回転軸７６の他方の側には２本のヨーク７
３があり、このヨーク７３に挟まれてフラットコイル７
５が設けられている。フラットコイル７５は図示しない
ディスク装置のベース側に設けられた磁気回路に対向し
て設けられており、フラットコイル７５に流される電流
の値に応じてヘッドアクチュエータ６０が揺動する。本
発明のヘッドの微小移動機構１０は、各ヘッドサスペン
ション７４とキャリッジアーム７２との間に設けられて
おり、ヘッドアクチュエータ６０の揺動とは独立にヘッ
ドサスペンション７４を微小移動させる。

【００２６】図５(a) ，(b) は本発明のヘッドの微小移
動機構１０の原理構成を、本発明を実現可能な２つの形
態として示すものである。本発明のヘッドの微小移動機
構１０は基本的に、キャリッジアーム７４の先端部に固
定される固定部材としてのアクチュエータベース３０、
ヘッドサスペンション７４の基部に取り付けられる可動
部材としてのヒンジプレート４０、および、これらアク
チュエータベース３０とヒンジプレート４０の間に介装
される変位部材としての圧電素子３１とから構成され
る。圧電素子３１には、その厚さ方向に電圧を印加する
ことによって底面に対して上面が変位する剪断型のもの
が使用される。ここでは、圧電素子３１の厚さ方向に電
圧を印加するために、圧電素子３１の上下の面にそれぞ
れ電極１，２が設けられているが、電極１，２のうちの
一方は、アクチュエータベース３０、或いはヒンジプレ
ート４０を導電体で構成してこれを電極の代わりに使用
することができる。

【００２７】本発明では、圧電素子３１が、アクチュエ
ータベース３８のキャリッジアーム７２の先端部への取
付面に対してスライダ７１と反対側に位置していると共
に、ヒンジプレート４０のヘッドサスペンション７４の
基部への取付面に対してスライダ７１と反対側に位置し
ている。これは、キャリッジアーム７２の板厚がアクチ
ュエータベース３０やヒンジプレート４０の板厚に対し
てかなり厚いために、キャリッジアーム７２の板厚によ
るデッドスペースが、ヘッドの微小移動機構１０の設置
に利用されているためである。

【００２８】ヘッドの微小移動機構１０をこのような位
置に設けるためには、図５(a) に示すように、平板状の
ヒンジプレート４０に対して、アクチュエータベース３
０をスライダ７１から離れる方向にクランク状に折り曲
げてヒンジプレート４０との間にスペースを作り出す第
１の形態と、図５(b) に示すように、平板状のアクチュ
エータベース２０に対して、ヒンジプレート５０をスラ
イダ７１から離れる方向にクランク状に折り曲げてアク
チュエータベース２０との間にスペースを作り出す第２
の形態とが考えられる。ここでは、第１と第２の形態の
ヘッドの微小移動機構に共に同じ符号１０を付けて説明
する。

【００２９】そこで、本発明ではまず、前述の第１の形
態について第１の実施例から第４の実施例により説明
し、次いで、第２の形態について第５の実施例から第７
の実施例により説明する。図６は本発明の第１の実施例
のヘッドの微小移動機構１０の構成を示すものである。
第１の実施例では、アクチュエータベース３０の固定部
３３はかしめ突起３２によってキャリッジアーム７２に
固定されている。キャリッジアーム７２は一般にグラン
ドに接続されている。アクチュエータベース３０の先端
部３５はクランク状に二度折り曲げられており、固定部
３３と先端部３５との間には段差部３４が形成されてい
る。先端部３５は固定部３３に対して平行になるように
折り曲げられる。アクチュエータベース３０の先端部３
５の上には第１の電極１と第２の電極２に挟まれた圧電
素子３１が取り付けられる。

【００３０】第１と第２の電極１，２はそれぞれ圧電素
子３１側から銅等の導電体で構成された導体層１１、ポ
リイミド等の絶縁体で構成された絶縁層１２、およびＳ
ＵＳ等の導電体で構成された導体層１３から構成されて
いる。導体層１１に銅を用いることにより、後述する中
継配線との半田付けによる接続が容易になり、組み立て
性が向上し、低コスト化に寄与する。また、電極１，２
におけるこのような３層構造は、ポリイミド層、銅層を
薄膜技術により薄く形成できるため、電極の薄型化が可
能となり、圧電アクチュエータの薄型化に寄与するもの
である。そして、この第２の電極２の上には、ヒンジプ
レート４０を介してヘッドサスペンション７４の基部が
固着されている。

【００３１】なお、電極１，２は導体層１１と絶縁層１
２の２層でも構わない。また、ＳＵＳ材、ポリイミド、
銅層材料の代わりに、それと同等な材料、例えば、ＦＰ
Ｃで代用しても良い。このとき、アクチュエータベース
３０の段差部３４の高さを予め所定の高さにすることに
より、アクチュエータベース３０とヒンジプレート４０
の上面の位置を揃えて同一面にすることができる。この
ように、アクチュエータベース３０とヒンジプレート４
０の上面の位置を揃えて同一面にしておけば、グランド
に接続するアクチュエータベース３０とヒンジプレート
４０とを導体で接続することにより、ヒンジプレート４
０を容易にグランドに接続することが可能になる。

【００３２】図７(a) は本発明の第１の実施例の具体的
な構成を示すものである。アクチュエータベース３０の
固定部３３はかしめ突起３２によってキャリッジアーム
７２に開けられたかしめ孔７２ａに挿入され、かしめら
れて固定される。キャリッジアーム７２はグランドに接
続されている。アクチュエータベース３０の先端部３５
は段差部３４によって固定部３３に対して一段低くなっ
ており、先端部３５の上に第１の電極１と第２の電極２
に挟まれた圧電素子３１が取り付けられる。第１と第２
の電極１，２はそれぞれ図６で説明した３層構造となっ
ており、圧電素子３１に接触する方に導体層１１があ
る。

【００３３】第１の電極１にはアクチュエータベース３
０の先端部３５から側方に突出する配線引出部１４が設
けられている。この配線引出部１４は、圧電素子３１が
先端部３５に取り付けられた後にキャリッジアーム７２
の側面に平行に、圧電素子３１から離れる側に９０°折
り曲げられる。第１の電極１の導体層１１は圧電素子３
１に接する側に設けられているので、配線引出部１４は
前述のように折り曲げられた状態で導体層１１が外側を
向く。

【００３４】一方、第２の電極２にも配線引出部２５が
設けられているが、この配線引出部２５は折り曲げた時
に第１の電極１の配線引出部１４に隣接するように構成
されている。このため、第２の電極２の配線引出部２５
は、図７(b) に示すように、第２の電極２からキャリッ
ジアーム７２側に突出するように設けられている。そし
て、配線引出部２５と第２の電極２とは、アクチュエー
タベース３０の先端部３５から側方に僅かに突出する耳
部２５ａで接続されている。この配線引出部２５は、点
線で示す耳部２５ａと第２の電極２の境界部を９０°谷
折りすることによって図７(a) に示すように、導体層１
１が外側に露出した状態でキャリッジアーム７２の側面
に平行になる。

【００３５】第１と第２の電極１，２に挟まれる圧電素
子３１は、図２で説明した圧電素子３１と同じものであ
り、その分極方向は、素子の厚さ方向と垂直で、互いに
逆向きである。また、圧電素子３１の上に取り付けられ
るヒンジプレート４０も、図２で説明したものと同じも
のであり、第１の切欠４１、第２の切欠４２によって区
画された基部４３と移動量拡大部４４とを備えている。
そして、ヒンジプレート４０の基部４３は第２の電極２
の上に取り付けられ、ヘッドサスペンション７４がヒン
ジプレート４０の移動量拡大部４４にスポット溶接等に
より固着される。なお、７７はヘッドサスペンション７
４の基部側の側面に設けられた中継ＦＰＣの取付部であ
る。

【００３６】図８(a) は図７に示す第１の実施例のヘッ
ドの微小移動機構１０の組立後の側面図であり、(b) は
組み立てたヘッドの微小移動機構１０を平面視したもの
である。図８(a) に示すように、ヘッドの微小移動機構
１０が組み立てられると、圧電素子３１の上下に設けら
れている第１の電極１の配線引出部１４と、第２の電極
２の配線引出部２５が隣接配置される。この結果、配線
引出部１４と配線引出部２５へのリードパターン４８，
４９が形成された中継ＦＰＣ４の半田付けが容易にな
り、第１と第２の電極１，２への電圧の印加が簡単に行
える。

【００３７】ここで、配線引出部１４と配線引出部２５
は、第１の電極１と第２の電極２に対して９０°折り曲
げたために、キャリッジアーム７２の側面に平行になっ
ているが、折り曲げずに使用することも可能である。な
お、ヘッドサスペンション７４の上にはヘッド信号線が
固定されているので、ヘッドサスペンション７４は装置
のグランド、即ちアクチュエータベース３０と導通させ
ておく方が、ヘッドの記録再生信号へのノイズに対して
効果がある。この実現のため、ヘッドサスペンション７
４の基部側の点Ｘとアクチュエータベース３０の固定部
３３の点Ｘに近い点Ｙを図示されない導体片やリード線
で結ぶことができる。この結果、配線の引回しやハンダ
付け等の作業をせずに、ヘッドサスペンション７４をグ
ランドに接続することができ、作業を簡単化できる。

【００３８】このとき、図８(c) に示すように、予めヘ
ッドサスペンション７４の基部側の中継ＦＰＣ取付部の
一部をアクチュエータベース３０側に延長して導通舌片
７８を形成しておけば、ヘッドの微小移動機構１０の組
立後、この導通舌片７８をアクチュエータベース３０に
スポット溶接するだけで、ヘッドサスペンション７４と
アクチュエータベース３０を介してグランドに接続する
ことができるので、部品点数が削減され、一層の低コス
ト化が図れる。

【００３９】なお、第１の実施例では、第１の電極１の
導体層１１は絶縁層１２により絶縁されており、また、
第２の電極２の導体層１１も絶縁層１２により絶縁され
ているので、圧電素子３１の駆動用のグランドと、ヘッ
ド信号のグランドとは別々となっている。このような構
造とすれば、圧電素子３１の駆動電圧がヘッド信号のの
Ｓ／Ｎに影響を与えにくい。

【００４０】図９(a) は第１の実施例に使用する第１と
第２の電極１，２を一体的に構成した場合の一体電極８
の構成を示すものである。一体電極８は、図７(a) で説
明した第１の電極１の配線引出部１４が設けられていな
い側の端部と、第２の電極２の配線引出部２５が設けら
れていない側の端部とを、導体層１１が同じ側になるよ
うにして連絡壁５で接続して形成したものである。導体
層１１が同じ側にあるので、一体電極８は容易に製造す
ることができる。そして、この一体電極８の一点鎖線で
示す連絡壁５の両端部は９０°に谷折りし、破線で示す
配線引出部１４と第１の電極１の境界部および配線引出
部２５と第２の電極２の境界部は９０°山折りすること
により、図９(b) に示すような一体電極８が完成する。
圧電素子３１はこの一体電極８の第１と第２の電極１，
２の間に挿入すれば良い。

【００４１】また、図９(c) に示すように、一体電極８
の第１と第２の電極１，２には、２つの圧電素子３１の
間の部分に対応する部位に、両側から切欠６を設けるよ
うにしても良い。切欠６を設けることにより、電極１，
２がヒンジプレート４０の変形を拘束することが少なく
済み、大きな可動範囲が得られる。更に、連絡壁５は図
９(d) ，(e) に示すように、図９(a) に示す一体電極８
を作った後に削除するようにしても良い。

【００４２】図１０(a) は本発明の第２の実施例のヘッ
ドの微小移動機構１０の具体的な構成を分解して示すも
のであり、(b) は(a) のヘッドの微小移動機構１０の組
立後の状態を平面視したもの、(c) は(b) を横から見た
ものである。第２の実施例が第１の実施例と異なる点
は、第１の実施例における第２の電極２が設けられてい
ない点のみである。また、第２の実施例は第１の実施例
を示す図８(b) の点Ｘと点Ｙとを導通板７で接続する例
を示している。従って、第２の実施例では第１の実施例
と同じ部分については同じ符号を付してその説明を省略
し、第１の実施例と異なる部分のみを説明する。

【００４３】第１の実施例では、圧電素子３１の両端に
設けられた第１と第２の電極１，２に中継ＦＰＣ４によ
って電圧を印加していた。一方、第２の実施例では、第
２の電極２を省略したので、圧電素子３１のヒンジプレ
ート４０側の面には、ヒンジプレート４０を通じてグラ
ンドレベルの電圧が印加される。このため、ヒンジプレ
ート４０は導体で構成され、導通板７を使用してアクチ
ュエータベース３０に接続される。アクチュエータベー
ス３０はキャリッジアーム７２とかしめによって電気的
に接続されているので、圧電素子３１の上側の面は、ヒ
ンジプレート４０、導通板７、アクチュエータベース３
０、およびキャリッジアーム７２を通じてグランドに接
続される。圧電素子３１の下側の面には第１の電極１を
通じて電圧が印加される。

【００４４】このように、第２の電極２を省略してヘッ
ドサスペンション７４のグランドと圧電素子３１を駆動
するためのグランドとを共通化することにより、圧電素
子３１を駆動するための中継ＦＰＣにおけるリードパタ
ーンの数を削減できると共に第２電極２を削減でき、ヘ
ッドの微小移動機構１０の部品点数の削減、薄型化、低
コスト化を図ることができる。

【００４５】図１１(a) は図１０(a) 〜(c) に示した本
発明の第２の実施例の変形例のヘッドの微小移動機構１
０の具体的な構成を示すものであり、(b) は(a) の組立
後の平面図である。この変形例は、ヒンジプレート４０
とアクチュエータベース３０との電気的な接続を導通板
７ではなく、ヘッドサスペンション７４の中継ＦＰＣ取
付部７７の先端部の一部を延長して設けた導通舌片７８
によって行っている点のみが第２の実施例と異なる。第
２の実施例の変形例は、前述のように、ヒンジプレート
４０の上面とアクチュエータベース３０の上面とが同一
面であるために容易に実現可能である。よって、第２の
実施例と同じ構成部材には同じ符号を付してその説明を
省略する。

【００４６】図１２(a) は本発明の第２の実施例の別の
変形例の具体的な構成を示す組立斜視図である。この実
施例が図１０，図１１で説明した第２の実施例およびそ
の変形例と異なる点は、ヒンジプレート４０のグランド
への接続のみである。よって、第２の実施例の別の変形
例においても、第２の実施例および第２の実施例の変形
例と同じ部分には同じ符号を付してその説明を省略し、
異なる部分のみを説明する。

【００４７】第２の実施例の別の変形例では、ヒンジプ
レート４０の上側に第３の電極３を取り付けている。こ
の第３の電極３も３層構造であり、ヒンジプレート４０
側から順に導体層１３、絶縁層１２、導体層１１となっ
ている。第３の電極３にも、アクチュエータベース３０
の先端部３５から側方に突出する配線引出部１５が設け
られている。この配線引出部１５もキャリッジアーム７
２の側面に沿って９０°折り曲げられ、外側に導体層１
１が露出するようになっている。一方、この第３の電極
３の所定の部位には２ヵ所の貫通孔１６が設けられてい
る。この貫通孔１６には、図１２(b) に示すように、第
３の電極３がヒンジプレート４０の上に取り付けられた
後に導電性接着剤１８が流し込まれる。第３の電極３の
導体層１１とヒンジプレート４０とはこの導電性接着剤
１８を通じて電気的に接続される。そして、配線引出部
１５は、ヘッドの微小移動機構１０の組立後に第１の電
極１の配線引出部１４に隣接する。よって、配線引出部
１５は第１の実施例と同様に中継ＦＰＣ４によってグラ
ンドに接続することができる。

【００４８】なお、第３の電極３に設ける貫通孔１６
は、図１２(c) に示すようにスルホール１７であっても
良い。この場合には、導電性接着剤１７に代えて、半田
でヒンジプレート４０と第３の電極３との導通をとるこ
ともできる。この構成により、第３の電極３がヒンジプ
レート４０の変位を妨げる力が小さくでき、ヘッドの微
小移動機構１０の可動範囲を大きくできる。第３の電極
３にはヒンジプレート４０の切欠４１に沿って同じく切
欠を設けておけば、ヒンジプレート４０の変位を妨げる
力がより小さくなり、一層効果的である。

【００４９】図１３(a) は本発明の第３の実施例のヘッ
ドの微小移動機構１０の具体的な構成を分解して示すも
のであり、(b) は(a) のヘッドの微小移動機構１０の組
立後の状態を平面視したもの、(c) は(b) を横から見た
ものである。第３の実施例が第１の実施例と異なる点
は、第１の実施例における第１の電極１が設けられてい
ない点のみである。また、第３の実施例は第１の実施例
を示す図８(b) の点Ｘと点Ｙとを導通板７で接続する例
を示している。従って、第３の実施例では第１の実施例
と同じ部分については同じ符号を付してその説明を省略
し、第１の実施例と異なる部分のみを説明する。

【００５０】第１の実施例では、圧電素子３１の両端に
設けられた第１と第２の電極１，２に中継ＦＰＣ４によ
って電圧を印加していた。一方、第３の実施例では、第
１の電極１を省略したので、圧電素子３１のアクチュエ
ータベース３０側の面には、アクチュエータベース３０
を通じてグランドレベルの電圧が印加される。即ち、圧
電素子３１のアクチュエータベース３０側の面は、グラ
ンドに接続されたヘッドサスペンション７４にかしめ突
起３２を通じて接続する導体製のアクチュエータベース
３０によってグランドに接続される。そして、圧電素子
３１のヒンジプレート４０側の面には、配線引出部２５
が側面に設けられた第２の電極２を通じて電圧が印加さ
れる。また、ヘッドサスペンション７４は導通板７、ア
クチュエータベース３０を通じてグランドに接続された
ヘッドサスペンション７４に接続される。

【００５１】図１４(a) 〜(c) は図１３(a) 〜(c) に示
した本発明の第３の実施例の変形例のヘッドの微小移動
機構１０の具体的な構成を示すものであり、(a) が組立
図、(b) は(a) の組立後の平面図、(c) が(b) の側面図
である。この変形例は、ヒンジプレート４０とアクチュ
エータベース３０との電気的な接続を導通板７ではな
く、ヘッドサスペンション７４の中継ＦＰＣ取付部７７
の先端部の一部を延長して設けた導通舌片７８によって
行っている点のみが第３の実施例と異なる。よって、第
３の実施例と同じ構成部材には同じ符号を付してその説
明を省略する。

【００５２】図１５(a) は本発明の第４の実施例のヘッ
ドの微小移動機構１０の具体的な構成を分解して示すも
のであり、(b) は(a) のヘッドサスペンション７４とヒ
ンジプレート４０の部分を拡大して示すものである。第
４の実施例が第１の実施例と異なる点は、第１の実施例
におけるヘッドサスペンション７４とヒンジプレート４
０のグランドへの接続方法のみである。従って、第４の
実施例では第１の実施例と同じ部分については同じ符号
を付してその説明を省略し、第１の実施例と異なる部分
のみを説明する。

【００５３】第１の実施例では、ヘッドサスペンション
７４とヒンジプレート４０は、図８(b) ，(c) に示した
ように、点Ｘと点Ｙを導通板７で接続するか、或いは、
ヘッドサスペンション７４の中継ＦＰＣ取付部７７に設
けた導通舌片７８によってヘッドサスペンション７４と
アクチュエータベース３０とを接続することにより、ヘ
ッドサスペンション７４とヒンジプレート４０をグラン
ドに接続していた。一方、第４の実施例では、ヘッドサ
スペンション７４の中継ＦＰＣ取付部７７に、ヘッドに
接続するリードパターン６９の中継端子７９の他に、ア
ース端子８１が設けられている。

【００５４】従って、第４の実施例では、ヘッドサスペ
ンション７４は、このアース端子８１に接続される中継
ＦＰＣ（図示せず）によってグランドに接続される。そ
して、ヒンジプレート４０は、第４の実施例では、図１
５(b) に示すように、このアース端子８１とヒンジプレ
ート４０との間を導通板４７で接続することにより、グ
ランドに接続される。第４の実施例では、圧電素子３１
には第１と第２の電極１，２を通じて電圧が印加される
ことは第１の実施例と同じである。

【００５５】次に、本発明の第２の形態について第５の
実施例から第７の実施例により説明する。図１６は本発
明の第５の実施例のヘッドの微小移動機構１０の構成を
示すものである。第５の実施例では、アクチュエータベ
ース２０は平板状をしており、その固定部３３はかしめ
突起３２によってキャリッジアーム７２に固定されてい
る。キャリッジアーム７２はグランドに接続されてい
る。一方、ヒンジプレート５０は、ヘッドサスペンショ
ン７４が取り付けられる移動量拡大部４４の基部４３側
が、クランク状に二度折り曲げられており、移動量拡大
部４４と第２の切欠４２との間の部位に段差部４６が形
成されている。このとき、移動量拡大部４４と基部４３
とは平行になるように折り曲げられる。

【００５６】ヒンジプレート５０の基部４３は、その上
に第１の電極１と第２の電極２に挟まれた圧電素子３１
が取り付けられた状態で、アクチュエータベース２０の
先端部３５の下面に接続される。第１と第２の電極１，
２は第１の形態と同様に、それぞれ圧電素子３１側から
銅等の導電体で構成された導体層１１、ポリイミド等の
絶縁体で構成された絶縁層１２、およびＳＵＳ等の導電
体で構成された導体層１３から構成されている。

【００５７】このとき、ヒンジプレート４０の段差部４
６の高さを予め所定の高さにすることにより、アクチュ
エータベース２０とヒンジプレート５０の上面の位置を
揃えて同一面にすることができる。第２の形態では、ヒ
ンジプレート５０の基部４３とヘッド間の距離を第１の
形態に比べて大きくできるため、ヒンジプレート５０の
変位拡大率が大きくとれる利点がある。

【００５８】図１７は本発明の第５の実施例の具体的な
構成を示すものである。平板状のアクチュエータベース
２０の固定部３３はかしめ突起３２によってキャリッジ
アーム７２に開けられたかしめ孔７２ａに挿入されてか
しめられて固定される。キャリッジアーム７２はグラン
ドに接続されている。また、ヒンジプレート５０は、第
１の切欠４１、第２の切欠４２によって区画された基部
４３と移動量拡大部４４とを備えており、移動量拡大部
４４の第２の切欠４２に近い部分が２度折り曲げられて
段差部４６となっている。この段差部４６により、基部
４３は移動量拡大部４４に対して平行で、かつ一段低く
なっている。そして、ヘッドサスペンション７４がヒン
ジプレート５０の移動量拡大部４４にスポット溶接等に
より固着される。なお、７７はヘッドサスペンション７
４の基部側の側面に設けられた中継ＦＰＣの取付部であ
る。

【００５９】ヒンジプレート５０の基部４３の上に、第
１の電極１と第２の電極２に挟まれた圧電素子３１が取
り付けられる。第１と第２の電極１，２はそれぞれ図１
６で説明した３層構造となっており、圧電素子３１に接
触する側に導体層１１がある。第１の電極１に配線引出
部１４が設けられている点、及び、第２の電極２に配線
引出部２５が設けられている点は第１の形態と同じであ
る。第１と第２の電極１，２に挟まれる圧電素子３１
は、図２で説明した圧電素子３１と同じものであり、そ
の分極方向は、素子の厚さ方向と垂直で、互いに逆向き
である。

【００６０】図１８(a) は図１７に示す第５の実施例の
ヘッドの微小移動機構１０の組立後の側面図であり、
(b) は組み立てたヘッドの微小移動機構１０を平面視し
たものである。図１８(a) に示すように、ヘッドの微小
移動機構１０が組み立てられると、圧電素子３１の上下
に設けられている第１の電極１の配線引出部１４と、第
２の電極２の配線引出部２５が隣接配置される。この結
果、配線引出部１４と配線引出部２５にリードパターン
４８，４９が形成された中継ＦＰＣ４の半田付けによ
り、第１と第２の電極１，２に容易に電圧を印加するこ
とができる。

【００６１】なお、ヘッドサスペンション７４の上には
ヘッド信号線が固定されているので、ヘッドサスペンシ
ョン７４は装置のグランド、即ちアクチュエータベース
３０と導通させておく方が、ヘッドの記録再生信号への
ノイズに対して効果がある。この実現のため、ヘッドサ
スペンション７４の基部側の点Ｘとアクチュエータベー
ス２０の固定部３３の点Ｘに近い点Ｚを図示されない導
体片やリード線で結ぶことができる。このとき、図１８
(c) に示すように、予めヘッドサスペンション７４の基
部側の中継ＦＰＣ取付部の一部をアクチュエータベース
２０側に延長して導通舌片７８を形成しておき、ヘッド
の微小移動機構１０の組立後、この導通舌片７８をアク
チュエータベース２０にスポット溶接してヘッドサスペ
ンション７４とアクチュエータベース３０とをグランド
に接続することができる。また、第１と第２の電極１，
２には、図９(a) 〜(e) で説明したものを使用すること
ができる。

【００６２】図１９(a) は本発明の第６の実施例のヘッ
ドの微小移動機構１０の具体的な構成を分解して示すも
のである。第６の実施例は、第１の形態のヘッドの微小
移動機構１０の第２の実施例、即ち、第１の実施例から
ヒンジプレート４０側の電極を取り去った構成に対応し
ている。従って、第６の実施例が第５の実施例と異なる
点は、第５の実施例における圧電素子３１のヒンジプレ
ート５０側の電極、即ち、第１の電極１が設けられてい
ない点、および、配線引出部２７の位置を変更した第２
の電極２′の形状のみである。そして、第６の実施例は
第５の実施例を示す図１８(b) の点Ｘと点Ｚとを導通板
７で接続する例を示している。従って、第６の実施例で
は第５の実施例と同じ部分については同じ符号を付して
その説明を省略し、第５の実施例と異なる部分のみを説
明する。

【００６３】第５の実施例では、圧電素子３１の両端に
設けられた第１と第２の電極１，２に中継ＦＰＣ４によ
って電圧を印加していた。一方、第６の実施例では、第
１の電極１を省略したので、圧電素子３１のヒンジプレ
ート５０側の面には、ヒンジプレート５０を通じてグラ
ンドレベルの電圧が印加される。このため、ヒンジプレ
ート５０は導体で構成され、ヒンジプレート５０にスポ
ット溶接によって電気的に接続した状態で取り付けられ
るヘッドサスペンション７４が、導通板７を使用してア
クチュエータベース２０に接続される。アクチュエータ
ベース２０はキャリッジアーム７２とかしめによって電
気的に接続されているので、圧電素子３１の下側の面
は、ヒンジプレート５０、ヘッドサスペンション７４、
導通板７、アクチュエータベース２０、およびキャリッ
ジアーム７２を通じてグランドに接続される。圧電素子
３１の上側の面には第２の電極２′を通じて電圧が印加
される。

【００６４】図１９(b) は第６の実施例の変形例のヘッ
ドの微小移動機構１０の具体的な構成を分解して示すも
のである。この変形例は、アクチュエータベース２０と
ヘッドサスペンション７４との電気的な接続を導通板７
ではなく、ヘッドサスペンション７４の中継ＦＰＣ取付
部７７の先端部の一部を延長して設けた導通舌片７８に
よって行っている点のみが第６の実施例と異なる。よっ
て、第６の実施例と同じ構成部材には同じ符号を付して
その説明を省略する。

【００６５】図２０は本発明の第６の実施例の別の変形
例の具体的な構成を分解して示すものであり、図１２
(a) 〜(c) で説明した第１の形態の第２の実施例の別の
変形例に対応する。この実施例が図１９(a) ，(b) で説
明した第６の実施例およびその変形例と異なる点は、ヒ
ンジプレート５０のグランドへの接続のみである。よっ
て、第６の実施例の別の変形例においても、第６の実施
例および第６の実施例の変形例と同じ部分には同じ符号
を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明す
る。

【００６６】第６の実施例の別の変形例では、ヒンジプ
レート５０の下側に３層構造の第３の電極３が取り付け
られている。アクチュエータベース２０の先端部３５か
ら側方に突出する第３の電極３に設けられた配線引出部
１５は、キャリッジアーム７２の側面に沿って９０°折
り曲げられ、外側に導体層１１が露出するようになって
いる。図１２(a) 〜(c) で説明したように、第３の電極
３の所定の部位には、２ヵ所の貫通孔１６またはスルホ
ール１７が設けられており、導電性接着剤１８あるいは
半田によって第３の電極３とヒンジプレート５０が電気
的に接続される。そして、配線引出部１５は、ヘッドの
微小移動機構１０の組立後に第２の電極２′の配線引出
部２７に隣接する。よって、配線引出部１５は第５の実
施例と同様に中継ＦＰＣ４によってグランドに接続する
ことができる。

【００６７】図２１(a) は本発明の第７の実施例のヘッ
ドの微小移動機構１０の具体的な構成を分解して示すも
のである。第７の実施例が第５の実施例と異なる点は、
第５の実施例における第２の電極２′が設けられていな
い点のみである。また、第７の実施例は第５の実施例を
示す図１８(b) の点Ｘと点Ｚとを導通板７で接続する例
を示している。従って、第７の実施例では第５の実施例
と同じ部分については同じ符号を付してその説明を省略
し、第５の実施例と異なる部分のみを説明する。

【００６８】第５の実施例では、圧電素子３１の両端に
設けられた第１と第２の電極１，２に中継ＦＰＣ４によ
って電圧を印加していた。一方、第７の実施例では、第
２の電極２′を省略したので、圧電素子３１のアクチュ
エータベース２０側の面には、アクチュエータベース２
０を通じてグランドレベルの電圧が印加される。即ち、
圧電素子３１のアクチュエータベース２０側の面は、グ
ランドに接続されたキャリッジアーム７２にかしめ突起
３２を通じて接続する導体製のアクチュエータベース２
０によってグランドに接続される。一方、圧電素子３１
のヒンジプレート５０側の面には、配線引出部１４が側
面に設けられた第１の電極１を通じて電圧が印加され
る。また、ヘッドサスペンション７４は導通板７、アク
チュエータベース２０を通じてグランドに接続されたヘ
ッドサスペンション７４に接続される。

【００６９】図２１(b) は第７の実施例の変形例のヘッ
ドの微小移動機構１０の具体的な構成を示すものであ
る。この変形例は、ヘッドサスペンション７４とアクチ
ュエータベース２０との電気的な接続を導通板７ではな
く、ヘッドサスペンション７４の中継ＦＰＣ取付部７７
の先端部の一部を延長して設けた導通舌片７８によって
行っている点のみが第７の実施例と異なる。よって、第
７の実施例と同じ構成部材には同じ符号を付してその説
明を省略する。

【００７０】以上説明したように、本発明のヘッドの微
小移動機構１０によれば、スライダ７１のディスク媒体
側の面からキャリッジアーム７２のディスク媒体から遠
い側の面までの高さＨを低くすることができると共に、
圧電素子３１の上下面に配置された電極への通電が配線
引出部を通じて容易に行うことができる。ここで、前述
の高さＨの従来のヘッドの微小移動機構と本発明のヘッ
ドの微小移動機構との高さの違いについて図２２を用い
て説明する。

【００７１】図２２(a) は図１から図３で説明した従来
のヘッドの微小移動機構７０の構成を模式的に表したも
のである。従来のヘッドの微小移動機構７０では、キャ
リッジアームの上にアクチュエータベースが取り付けら
れ、このアクチュエータベースの上に圧電素子を挟んで
ヒンジプレートが取り付けられ、このヒンジプレートに
スライダを備えたヘッドサスペンションが固着されてい
た。この結果、スライダの厚みをｈ１、ヘッドサスペン
ションの厚みをｈ２、ヒンジプレートの厚みをｈ３、圧
電素子の厚みをｈ４、アクチュエータベースの厚みをｈ
５、及び、キャリッジアームの厚みをｈ６とすると、ス
ライダのディスク媒体面側からキャリッジアームのディ
スク媒体面から遠い側の面までの高さＨは次の式で表さ
れる。

【００７２】 Ｈ＝ｈ１＋ｈ２＋ｈ３＋ｈ４＋ｈ５＋ｈ６ これに対して、本発明の第１の形態のヘッドの微小移動
機構１０では、キャリッジアームの上にはクランク状に
折り曲げられて先端部が低くなったアクチュエータベー
スが取り付けられ、このアクチュエータベースの一段低
くなった部分の上に圧電素子を挟んでヒンジプレートが
取り付けられ、このヒンジプレートにスライダを備えた
ヘッドサスペンションが固着される。ここで、アクチュ
エータベースとヒンジプレートの高さが同じで、かつ、
ヒンジプレートの上面とアクチュエータベースの上面と
が同じ位置になるように、アクチュエータベースが折り
曲げられている場合を考えると、スライダの厚みをｈ
１、ヘッドサスペンションの厚みをｈ２、ヒンジプレー
トの厚みをｈ３、圧電素子の厚みをｈ４、アクチュエー
タベースの厚みをｈ５、及び、キャリッジアームの厚み
をｈ６とすると、スライダのディスク媒体面側からキャ
リッジアームのディスク媒体面から遠い側の面までの高
さＨは次の式で表される。この高さＨの値は、ヒンジプ
レート側に段差を設けた本発明の第２の形態においても
同じである。

【００７３】Ｈ＝ｈ１＋ｈ２＋ｈ３＋ｈ６ このように、本発明では、電極を含む圧電素子の厚み
と、ヒンジプレート、或いはアクチュエータベースの一
方の厚みを、もともと厚みのあるキャリッジアームの前
方の部分に収容して減らすようにしたために、スライダ
のディスク媒体面側からキャリッジアームのディスク媒
体面から遠い側の面までの高さＨの値を従来に比べて小
さくすることができ、同じ枚数のディスク媒体に対して
アクセスする本発明のヘッドアクチュエータの高さ、即
ち、ディスク装置の高さを低くすることができる。

【００７４】また、本発明における第１の電極１におけ
る配線引出部１４の構成と、第２の電極２における配線
引出部２５の構成は、従来のヘッドの微小移動機構７０
にも適用が可能である。図２３は、図２(a) で説明した
従来のヘッドの微小移動機構７０の圧電素子３１の電極
に、本発明の第１と第２の電極１，２を採用した実施例
を示すものである。本発明の第１と第２の電極１，２を
採用すれば、キャリッジアーム７２の上に配線パターン
２１，２２を形成する必要がなくなり、圧電素子への給
電は中継ＦＰＣによって行うことができるので、ヘッド
の微小移動機構７０の構成を簡素化することができる。

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のヘッドの
微小移動機構によれば、剪断変形を利用した圧電素子を
利用したヘッドの微小移動機構を薄型化することがで
き、ヘッドアクチュエータの高さを低く抑えてディスク
装置の薄型化を図ることができるという効果がある。ま
た、圧電素子を駆動するための電極に、キャリッジアー
ムの側面に突出する配線引出部を設けたことにより、圧
電素子を駆動するための配線の簡素化を図ることがで
き、装置コストの低減を図ることができるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のヘッドの微小移動機構の構成を示す組立
斜視図である。

【図２】従来のヘッドの微小移動機構の具体的な構成を
示す組立斜視図である。

【図３】(a) は従来のヘッドの微小移動機構の配線構造
を示す斜視図、(b) は(a) のベースの平面図である。

【図４】本発明のヘッドの微小移動機構を備えたヘッド
アクチュエータの三面図であり、(a) は左側面図、(b)
は平面図、(c) は右側面図である。

【図５】本発明のヘッドの微小移動機構の原理構成を示
す図であり、(a) は第１の形態の原理構成図、(b) は第
２の形態の原理構成図である。

【図６】本発明の第１の実施例の構成を示す側面図であ
る。

【図７】(a) は本発明の第１の実施例の具体的な構成を
示す組立斜視図、(b) は(a) の第２の電極の加工前の状
態を示す斜視図である。

【図８】(a) は図７に示す第１の実施例の組立後の側面
図、(b) は(a) の平面図、(c)は(b) の変形実施例の平
面図である。

【図９】(a) は第１の実施例に使用する第１と第２の電
極部材を一体的に構成した場合の電極部材の展開図、
(b) は(a) の電極部材の組立後の形状を示す斜視図、
(c)は(b) の電極部材の変形例の斜視図、(d) は(b) の
電極部材を別体で形成した場合の斜視図、(e) は(c) の
電極部材を別体で形成した場合の斜視図である。

【図１０】(a) は本発明の第２の実施例の具体的な構成
を示す組立斜視図、(b) は(a) の組立後の平面図、(c)
は(b) の側面図である。

【図１１】(a) は本発明の第２の実施例の変形例の具体
的な構成を示す組立斜視図、(b)は(a) の組立後の平面
図である。

【図１２】(a) は本発明の第２の実施例の別の変形例の
具体的な構成を示す組立斜視図、(b) ，(c) は(a) の第
３の電極部材とヒンジプレートとの電気的な接続の例を
それぞれ示す部分拡大断面図である。

【図１３】(a) は本発明の第３の実施例の具体的な構成
を示す組立斜視図、(b) は(a) の組立後の平面図、(c)
は(b) の側面図である。

【図１４】(a) は本発明の第３の実施例の変形例の具体
的な構成を示す組立斜視図、(b)は(a) の組立後の平面
図、(c) は(b) の側面図である。

【図１５】(a) は本発明の第４の実施例の具体的な構成
を示す組立斜視図、(b) は(a) のヘッドサスペンション
とヒンジプレートとを組み立てた後の斜視図である。

【図１６】本発明の第５の実施例の構成を示す側面図で
ある。

【図１７】本発明の第５の実施例の具体的な構成を示す
組立斜視図である。

【図１８】(a) は図１７に示す第５の実施例の組立後の
側面図、(b) は(a) の平面図、(c) は(b) の変形実施例
の平面図である。

【図１９】(a) は本発明の第６の実施例の具体的な構成
を示す組立斜視図、(b) は第６の実施例の変形例の具体
的な構成を示す組立斜視図である。

【図２０】本発明の第６の実施例の別の変形例の具体的
な構成を示す組立斜視図である。

【図２１】(a) は本発明の第７の実施例の具体的な構成
を示す組立斜視図、(b) は第７の実施例の変形例の具体
的な構成を示す組立斜視図である。

【図２２】(a) , (b) は従来と本発明のヘッドの微小移
動機構のキャリッジアームからスライダまでの高さを比
較して示す図である。

【図２３】本発明の第８の実施例の具体的な構成を示す
組立斜視図である。

【符号の説明】

１…第１の電極 ２…第２の電極 ３…第３の電極 ４…中継ＦＰＣ ７…導通板 １０…本発明のヘッドの微小移動機構 １１，１３…導体層 １２…絶縁層 １４，１５，２５，２７…配線引出部 １６…貫通孔 １８…導電性接着剤 ２０，３０…アクチュエータベース ３１…圧電素子 ３３…固定部 ３４…段差部 ３５…先端部 ４０，５０…ヒンジプレート ４１，４２…切欠 ４３…基部 ４４…移動量拡大部 ４６…段差部 ６０…本発明のヘッドアクチュエータ ７２…キャリッジアーム ７４…ヘッドサスペンション ７７…中継ＦＰＣ取付部 ７８…導通舌片 ８１…アース端子

【手続補正書】

【提出日】平成１２年３月２９日（２０００．３．２
９）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２５】回転軸７６の他方の側には２本の支持アー
ム７３があり、この支持アーム７３に支持されてフラッ
トコイル７５が設けられている。フラットコイル７５は
図示しないディスク装置のベース側に設けられた磁気回
路に対向して設けられており、フラットコイル７５に流
される電流の値に応じてヘッドアクチュエータ６０が揺
動する。本発明のヘッドの微小移動機構１０は、各ヘッ
ドサスペンション７４とキャリッジアーム７２との間に
設けられており、ヘッドアクチュエータ６０の揺動とは
独立にヘッドサスペンション７４を微小移動させる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２６】図５(a) ，(b) は本発明のヘッドの微小移
動機構１０の原理構成を、本発明を実現可能な２つの形
態として示すものである。本発明のヘッドの微小移動機
構１０は基本的に、キャリッジアーム７２の先端部に固
定される固定部材としてのアクチュエータベース３０、
ヘッドサスペンション７４の基部に取り付けられる可動
部材としてのヒンジプレート４０、および、これらアク
チュエータベース３０とヒンジプレート４０の間に介装
される変位部材としての圧電素子３１とから構成され
る。圧電素子３１には、その厚さ方向に電圧を印加する
ことによって底面に対して上面が変位する剪断型のもの
が使用される。ここでは、圧電素子３１の厚さ方向に電
圧を印加するために、圧電素子３１の上下の面にそれぞ
れ電極１，２が設けられているが、電極１，２のうちの
一方は、アクチュエータベース３０、或いはヒンジプレ
ート４０を導電体で構成してこれを電極の代わりに使用
することができる。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５０】第１の実施例では、圧電素子３１の両端に
設けられた第１と第２の電極１，２に中継ＦＰＣ４によ
って電圧を印加していた。一方、第３の実施例では、第
１の電極１を省略したので、圧電素子３１のアクチュエ
ータベース３０側の面には、アクチュエータベース３０
を通じてグランドレベルの電圧が印加される。即ち、圧
電素子３１のアクチュエータベース３０側の面は、グラ
ンドに接続されたキャリッジアーム７２にかしめ突起３
２を通じて接続する導体製のアクチュエータベース３０
によってグランドに接続される。そして、圧電素子３１
のヒンジプレート４０側の面には、配線引出部２５が側
面に設けられた第２の電極２を通じて電圧が印加され
る。また、ヘッドサスペンション７４は、ヒンジプレー
ト４０、導通板７、アクチュエータベース３０を通じ
て、グランドに接続されたキャリッジアーム７２に接続
される。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００６１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００６１】なお、ヘッドサスペンション７４の上には
ヘッド信号線が固定されているので、ヘッドサスペンシ
ョン７４は装置のグランド、即ちアクチュエータベース
３０と導通させておく方が、ヘッドの記録再生信号への
ノイズに対して効果がある。この実現のため、ヘッドサ
スペンション７４の基部側の点Ｘとアクチュエータベー
ス２０の固定部３３の点Ｘに近い点Ｚを図示されない導
体片やリード線で結ぶことができる。このとき、図１８
(c) に示すように、予めヘッドサスペンション７４の基
部側の中継ＦＰＣ取付部の一部をアクチュエータベース
２０側に延長して導通舌片７８を形成しておき、ヘッド
の微小移動機構１０の組立後、この導通舌片７８をアク
チュエータベース２０にスポット溶接してヘッドサスペ
ンション７４とアクチュエータベース２０とをグランド
に接続することができる。また、第１と第２の電極１，
２には、図９(a) 〜(e) で説明したものを使用すること
ができる。

【手続補正５】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１３】

【手続補正６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１４】

【手続補正７】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１５】

【手続補正８】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１８

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１８】

【手続補正９】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２１】

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 揺動型ヘッドアクチュエータにおける、
   ヘッドを先端部に備えたヘッドサスペンションの基部
   と、回転軸を中心にして揺動するキャリッジアームの先
   端部との間に設けられるヘッドの微小移動機構であっ
   て、 前記キャリッジアームの先端部に固定される固定部材
   と、 前記ヘッドサスペンションの基部に取り付けられる可動
   部材、及び、 前記固定部材の自由端側の所定領域の面とこれに対向す
   る前記可動部材の自由端側の所定領域の面との間に介装
   されると共に、その厚さ方向に電圧を印加することによ
   って底面に対して上面が変位する変位部材とから構成さ
   れ、 この変位部材は、前記固定部材の前記キャリッジアーム
   の先端部への取付面、及び、前記可動部材の前記ヘッド
   サスペンションの基部への取付面に対して、前記ヘッド
   がアクセスする記録媒体の反対側に位置していることを
   特徴とするヘッドの微小移動機構。
2. 【請求項２】 前記固定部材の前記キャリッジアームの
   先端部への取付面に隣接する部位が、前記記録媒体側に
   クランク状に折り曲げられることによって、前記固定部
   材の自由端側の所定領域の面と前記可動部材の自由端側
   の所定領域の面との間にスペースが形成され、前記変位
   部材がこのスペース内に収容されていることを特徴とす
   る請求項１に記載のヘッドの微小移動機構。
3. 【請求項３】 前記可動部材の前記ヘッドサスペンショ
   ンの基部への取付面に隣接する部位が、前記記録媒体側
   にクランク状に折り曲げられることによって、前記可動
   部材の自由端側の所定領域の面と前記固定部材の自由端
   側の所定領域の面との間にスペースが形成され、前記変
   位部材がこのスペース内に収容されていることを特徴と
   する請求項１に記載のヘッドの微小移動機構。
4. 【請求項４】 揺動型ヘッドアクチュエータにおける、
   ヘッドを先端部に備えたヘッドサスペンションの基部
   と、回転軸を中心にして揺動するキャリッジアームの先
   端部との間に設けられるヘッドの微小移動機構であっ
   て、 前記キャリッジアームの先端部に固定される固定部材
   と、 前記ヘッドサスペンションの基部に取り付けられる可動
   部材、 前記固定部材の自由端側の所定領域の面とこれに対向す
   る前記可動部材の自由端側の所定領域の面との間に介装
   されると共に、その厚さ方向に電圧を印加することによ
   って底面に対して上面が変位する変位部材、及び、 この変位部材の上下面の少なくとも一方の面に配置され
   る、絶縁層と導体層とからなるシート状の電極部材とか
   ら構成され、 前記電極部材には外部の配線に接続する配線引出部が設
   けられており、この配線引出部が前記キャリッジアーム
   の側面に沿うように折り曲げられていることを特徴とす
   るヘッドの微小移動機構。