JP2001042503A

JP2001042503A - データ処理方法および装置、露光方法および装置、記録媒体

Info

Publication number: JP2001042503A
Application number: JP21695899A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Kimura; 茂木村
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1999-07-30
Filing date: 1999-07-30
Publication date: 2001-02-16
Anticipated expiration: 2019-07-30
Also published as: JP3830311B2

Abstract

(57)【要約】【課題】改版露光データのデータ量や作成工数を削減
することにより、露光データを短時間で作成することが
できるようにする。【解決手段】改版設計データ上で修正した部分の位置
を指定する修正位置指定部２３と、指定された修正部分
をデータ処理することにより改版露光データを生成する
露光データ生成部２５と、改版露光データのヘッダもし
くはフッタに修正部分の位置情報を付加する位置情報付
加部２６とを設け、改版設計データから改版露光データ
を生成する際には、改版設計データ上で修正した部分の
位置を指定し、当該指定された修正部分のみをデータ処
理するようにすることにより、改版前の設計データと重
複する部分についてはデータ処理を行わなくても済むよ
うにして、データ処理工数と改版露光データのデータ量
を削減できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はデータ処理方法およ
び装置、露光方法および装置、更にはこれらをソフトウ
ェアの機能で実現するためのプログラムを格納した記録
媒体に関し、特に、半導体装置・磁気デバイス・液晶・
プリント基板等のＬＳＩを製造するためのレチクル・マ
スクデータ（露光データ）を設計データより生成する方
法、レチクル・マスクに従って露光を行う方法に用いて
好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスの製造工程では、ＣＡＤ
（Computer-Aided Design ）等により回路レイアウトが
シンボリックに設計されたデバイスを製造するために、
ウェハを作る原版となるレイアウトパターンを表したレ
チクルやフォトマスク等が使用される。そして、特に開
発段階においては、そのデバイスの特性改善等のため
に、回路や条件の設計変更が行われる。この変更は、パ
ターンの変更を伴う。

【０００３】図５は、設計データをもとにレチクル（レ
チクル・マスク）を作成する際の処理手順の概要を示す
図である。図５には、初版のレチクルを作成する過程
と、改版したレチクルを作成する過程とを示している。

【０００４】まず、ＣＡＤを用いてレチクルのレイアウ
トパターンを表した初版設計データ１を作成し、この初
版設計データ１に対してデータ処理１１を行うことによ
り、露光データ２を作成する。データ処理１１として
は、初版設計データ１の内部フォーマットデータへの変
換、図形論理演算、サイジング等の処理を含む。このよ
うにして作成された露光データ２は、図示しない記録媒
体に出力され、記憶される。

【０００５】次に、作成された露光データ２を露光装置
に供給してレジストの露光１２を行うとともに、エッチ
ングを行うことによってレチクル３を作成する。さら
に、このレチクル３を用いてガラス基板上に焼き付け１
３を行うことにより、ウェハー４を作成する。そして、
このようにして作成されたウェハー４に対して、基板上
に形成された回路パターンがきちんとパターニングされ
ているかどうかや特性の試験１４を行い、条件を満足す
るものであればレチクル完成７となる。

【０００６】一方、特性改善等の必要がある場合は、Ｃ
ＡＤを用いてレチクルパターンの設計データの手直し１
５を行い、改版設計データ５を作成する。そして、この
改版設計データ５に対して、上記データ処理１１と同様
のデータ処理１６を行うことにより、改版露光データ６
を作成する。ここで作成された改版露光データ６も、図
示しない記録媒体に出力され、初版の露光データ２とは
別に記憶される。

【０００７】そして、このようにして作成された改版露
光データ６に基づいて露光装置で再び露光１２を行うこ
とにより、レチクル３を作成し、更に焼き付け１３を行
うことによりウェハー４を作成する。このようにして新
たに作成されたウェハー４に対して試験１４を行い、条
件を満足するものであればレチクル完成７となる。一
方、まだ改善の必要がある場合は、以下同様の処理を繰
り返していく。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】近年におけるＬＳＩ開
発では、急速な技術開発に伴い、設計データおよび露光
データを短時間で作成することが要求されている。しか
し、回路パターンの高密度化により、設計データ量およ
び露光データ量は増加する傾向にあり、処理負担が増大
している。そのため、設計データおよび露光データを短
時間で作成するためには、扱うデータ量や作成工数を削
減することが必要となってきている。

【０００９】しかしながら、従来の手法では、改版設計
データから改版露光データを作成する際に、初版設計デ
ータに対して修正されていない部分も重複してデータ処
理していたため、扱うデータ量や作成工数が初版露光デ
ータを作る場合とほとんど変わらなかった。以下、この
ことを図面を用いて説明する。

【００１０】図６は、初版設計データから初版露光デー
タを作成する際の動作を説明するためのイメージ図であ
る。図６において、初版設計データ１中に示される点線
で表した複数のブロックａ〜ｆは、それぞれが半導体デ
バイスのセルの集まりであり、モジュールを構成する。
これらの各モジュールａ〜ｆの中にそれぞれ固有の回路
レイアウトがＣＡＤによってシンボリックに描かれる。

【００１１】このような初版設計データ１をもとにデー
タ処理１１を実行することにより、初版露光データ２を
生成する。この初版露光データ２中に示される点線で表
した複数のブロックＡ〜Ｆは、上記初版設計データ１内
の各モジュールａ〜ｆから生成された露光データのモジ
ュールである。これらの各モジュールＡ〜Ｆの中は、露
光装置の電子ビームを照射する部分と照射しない部分と
を表したパターンデータが描かれている。

【００１２】ここで、初版設計データ１のデータ量を仮
に“１００”（データ処理装置において処理するデータ
量が初版設計データ１の全体の１００％という意味）と
した場合、データ処理１１では、その初版設計データ１
の全てのモジュールａ〜ｆをデータ処理することから、
初版露光データ２を生成する際のデータ処理量は“１０
０”である。

【００１３】また、図７は、改版設計データから改版露
光データを作成する際の動作を説明するためのイメージ
図である。図７において、改版設計データ５は、図６に
示した初版設計データ１中のモジュールｆを修正して、
これを新たなモジュールｇとしたものである。他のモジ
ュールａ〜ｅについては修正を加えておらず、初版設計
データ１と同様である。

【００１４】このような改版設計データ５をもとにデー
タ処理１６を実行することにより、改版露光データ６を
生成する。この改版露光データ６中に示される一点鎖線
で表したブロックＧは、上記改版設計データ５内のモジ
ュールｇから生成された露光データのモジュールであ
る。他のモジュールＡ〜Ｅは、改版設計データ５中の各
モジュールａ〜ｅから生成された露光データのモジュー
ルである。

【００１５】この改版設計データ５に対してデータ処理
１６を行う場合、手直しを行ったモジュールｇを含めて
全てのモジュールをデータ処理装置に入力する。そのた
め、改版設計データ５のデータ量は“１００”である。
また、改版設計データ中５の全モジュールａ〜ｅ，ｇを
データ処理するため、初版設計データ１を処理する場合
と変わらない処理工数が必要となり、データ処理量も
“１００”となる。

【００１６】このように、従来は、改版のデータ処理に
おいて修正の行われていない部分（モジュールａ〜ｅ）
も重複して処理していたため、データ処理に無駄が生
じ、露光データの作成時間が長くなってしまう問題があ
った。また、修正のない部分も改版設計データ５中に含
まれるため、これから作成される改版露光データ６のデ
ータ量も大きくなり、記録媒体に保管するデータ量が大
きくなってしまうという問題もあった。また、作成した
露光データを工場に転送して露光を行うような場合、露
光データ量が初版、改版共に大きいため、転送時間が長
くなってしまうという問題もあった。

【００１７】本発明は、このような問題を解決するため
に成されたものであり、改版露光データのデータ量や作
成工数を削減することにより、露光データを短時間で作
成することができるようにすること、露光データを少な
いデータ量で保存できるようにすること、露光データの
転送時間を短縮することができるようにすることを目的
とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、改版設計データから改版露光デ
ータを生成する際に、上記改版設計データ上で修正した
部分の位置を指定し、当該指定された修正部分のみをデ
ータ処理するようにするとともに、生成された上記改版
露光データのヘッダ部もしくはフッタ部に、上記修正部
分の位置情報を付加するようにする。

【００１９】上記のように構成した本発明によれば、改
版設計データから改版露光データを生成する場合、改版
前の設計データと重複する部分についてはデータ処理を
行わず、改版設計データ上で指定された修正部分のみを
データ処理すれば良いので、データ処理工数を削減する
ことが可能となるとともに、扱うデータ量を削減するこ
とも可能となる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本実施形態によるデータ
処理装置および露光装置の構成例を示すブロック図であ
る。図１において、設計データ２１は、製造する半導体
デバイスの回路レイアウトをＣＡＤによりシンボリック
に表したデータであり、図５に示した初版設計データ１
および改版設計データ５を含む。

【００２１】本実施形態のデータ処理装置１００は、設
計データ入力部２２と、修正位置指定部２３と、データ
処理部２４とを備え、ウェハを作る原版となるレチクル
パターンを表した露光データを設計データ２１から生成
する。上記設計データ入力部２２は、初版もしくは改版
の設計データ２１をデータ処理装置１００内に入力する
ためのものであり、例えばコンピュータ端末のキーボー
ドやマウス等の入力デバイスを備える。

【００２２】修正位置指定部２３は、改版の設計データ
２１を入力した場合に、その改版の設計データ２１中で
修正した部分の位置を指定するものである。具体的に
は、修正を行ったエリアの情報として、改版した設計デ
ータ２１の全体の中の座標情報を指定する。これは、露
光データを作成するオペレータがコンピュータ端末の入
力デバイスを用いて座標情報を指定しても良いし、コン
ピュータ端末自身が座標情報を自動的に指定するように
しても良い。座標情報を自動的に指定する場合の動作に
ついては後述する。

【００２３】また、データ処理部２４は、露光データ生
成部２５と、位置情報付加部２６と、未露光指定部２７
とを備える。上記露光データ生成部２５は、初版もしく
は改版の設計データ２１に対して、内部フォーマットデ
ータへの変換、図形論理演算、サイジング等のデータ処
理を行うことにより、初版もしくは改版の露光データを
作成する。このようにして作成された露光データは、ハ
ードディスクやフロッピーディスク等の記録媒体から成
る露光データ記憶部２８に出力され、各版ごとに記憶さ
れる。

【００２４】位置情報付加部２６は、上記露光データ生
成部２５により生成された改版露光データのヘッダ部も
しくはフッタ部に、上記修正位置指定部２３により指定
された修正位置を表す位置情報（座標情報）を付加す
る。また、未露光指定部２７は、上記露光データ記憶部
２８に記憶されている初版露光データに対して、上記修
正位置指定部２３により指定された修正位置を未露光部
として指定する。

【００２５】また、本実施形態の露光装置２００は、修
正位置認識部２９と、未露光認識部３０と、露光部３１
とを備え、上記露光データ記憶部２８に記憶された初版
および改版の露光データに基づいて、レジストの露光を
行うことによってレチクル３２を作成する。

【００２６】上記修正位置認識部２９は、改版露光デー
タのヘッダ部もしくはフッタ部に記述されている位置情
報に基づいて、改版露光データ中で修正が行われている
部分の全体に対する位置を認識する。また、未露光認識
部３０は、初版露光データ中で上記未露光指定部２７に
より指定された未露光部の位置を認識する。

【００２７】露光部３１は、上記修正位置認識部２９お
よび未露光認識部３０による認識結果に基づいて、初版
露光データおよび改版露光データを用いて露光を実行す
る。具体的には、初版のレチクル３２を作成するとき
は、初版露光データに従って通常通り露光を行う。ま
た、改版のレチクル３２を作成するときは、初版露光デ
ータと改版露光データの両方を用いる。このとき、初版
露光データに基づいて露光するときは、未露光認識部３
０により認識された未露光部を除いた部分を露光する。
また、改版露光データに基づいて露光するときは、修正
位置認識部２９により認識された修正位置に対してのみ
露光を行う。

【００２８】以下に、設計データから露光データを作成
する際の動作を具体例に即して説明する。まず、初版設
計データから初版露光データを作成する際の動作を説明
する。この場合の動作は、図６に示したものと全く同じ
である。したがって、ここでは重複する説明を省略す
る。

【００２９】一方、改版設計データから改版露光データ
を作成する際の動作は、図２のイメージ図に示す通りに
なる。図２において、改版設計データ４１は、図６に示
した初版設計データ１中のモジュールｆを修正して、こ
れを新たなモジュールｇとしたものである。他のモジュ
ールａ〜ｅについては初版設計データ１と同様である。
また、改版設計データ４２は、修正したモジュールｇの
みから成るデータである。これらの改版設計データ４
１，４２は何れも図１の設計データ２１に相当する。

【００３０】この設計データ２１を設計データ入力部２
２から入力する場合、図２（ａ）のように、実際に修正
したモジュールｇ以外の未修正モジュールａ〜ｅをも含
む全ての改版設計データ４１を入力することも可能であ
るし、図２（ｂ）のように、実際に修正したモジュール
ｇのみの改版設計データ４２を入力することも可能であ
る。

【００３１】図２（ａ）のように全ての改版設計データ
４１を入力する場合は、その改版設計データ４１のデー
タ量は“１００”である。一方、図２（ｂ）のようにモ
ジュールｇのみの改版設計データ４２を入力する場合
は、その改版設計データ４２のデータ量は、モジュール
ｇに相当する部分のデータ量だけであり、例えば“３
０”である。

【００３２】図２（ａ）および（ｂ）の何れの方法で改
版設計データを入力する場合も、セルまたはモジュール
単位で修正した部分のエリアを座標等により指定する。
図２の例では、、で示す位置の座標を指定する。こ
れは、上述したように露光データを作成するオペレータ
がコンピュータ端末の入力デバイスを用いて行っても良
いし、コンピュータ端末自身が自動的に行っても良い。

【００３３】座標情報を自動的に指定する場合、改版設
計データ４１中に修正したモジュールｇのエリア（一点
鎖線で示す枠）を実データとして記述する。そして、そ
の枠内の回路パターン（図示せず）はデータ処理に使用
し、枠のデータ自体は座標データとして使用する旨を指
定することにより、コンピュータ端末が枠のデータから
その座標情報を修正位置を表す情報として自動的に指定
する。

【００３４】データ処理を行う際は、改版設計データ上
で修正した部分として指定されたエリア（座標情報、
で示されるモジュールｇの部分）のみを処理対象とす
る。このとき、作成した改版露光データ４３のヘッダも
しくはフッタには、修正エリアを表す位置情報として
、の座標情報を記述する。

【００３５】例えば、図２（ａ）のように全ての改版設
計データ４１を入力した場合は、改版設計データ４１中
に含まれる各モジュールａ〜ｅ，ｇのうち、修正箇所で
あるモジュールｇのみをデータ処理し、改版露光データ
４３のモジュールＧを作成する。一方、図２（ｂ）のよ
うにモジュールｇのみの改版設計データ４２を入力した
場合は、その入力したモジュールｇをデータ処理し、改
版露光データ４３のモジュールＧを作成する。したがっ
て、改版設計データ４１もしくは４２から改版露光デー
タ４３を生成する際のデータ処理量は、何れのパターン
で設計データを入力した場合も“３０”となる。

【００３６】次に、上記のように作成された露光データ
を用いて露光を行うことにより改版レチクルを作成する
際の露光装置２００の動作を、図３のフローチャートに
従って説明する。露光装置２００は、まず最初にステッ
プＳ１で、初版および改版の露光データを露光データ記
憶部２８から入力する。そして、ステップＳ２で、上記
入力した改版露光データのヘッダもしくはフッタに記述
されている修正部分の座標を修正位置認識部２９によっ
て認識する。

【００３７】また、次のステップＳ３では、未露光認識
部３０により、上記入力した改版露光データのヘッダも
しくはフッタに記述されている修正部分の座標を、初版
露光データ中の未露光部として認識する。そして、ステ
ップＳ４で、初版露光データに基づいて、未露光部とし
て認識された修正部エリア以外（図６に示す初版露光デ
ータ２中のモジュールＡ〜Ｅに相当する部分）を露光す
る。さらに、ステップＳ５で、改版露光データに基づい
て、修正部エリア内（図２に示すモジュールＧに相当す
る部分）を露光することにより、改版レチクルを完成さ
せる。

【００３８】なお、ここでは、初版露光データに基づく
露光を行った後に改版露光データに基づく露光を行った
が、この順番は逆でも良い。また、初版露光データと改
版露光データとを適宜切り換えながら露光を行うように
しても良い。すなわち、露光装置２００はチップの左端
から横方向への走査を上から順次下方へと繰り返してい
くが、例えば、モジュールＡ〜ＦのうちモジュールＢの
部分が修正されているような場合に、露光装置２００の
走査がモジュールＢの部分に来たときには改版露光デー
タを用い、走査が他のモジュールの部分に来たときには
初版露光データを用いるといった具合に切り換えを行う
ようにしても良い。

【００３９】以上のように、本実施形態では、改版設計
データから改版露光データを作成する際に、改版設計デ
ータの全てを処理するのではなく、実際に修正をしたエ
リアのみを処理対象とするため、処理工数を大幅に削減
することができる。また、作成される改版露光データ
は、修正エリアのデータだけであるため、露光データ記
憶部２８にて少ないデータ量で露光データを保存および
管理することができる。また、作成した露光データをネ
ットワークを介して転送する場合は、その転送時間を短
くすることができる。

【００４０】また、本実施形態では、改版露光データの
ヘッダもしくはフッタに任意の座標情報を記述すること
により、初版露光データ上で未露光にする部分を任意に
指定することができるというメリットも有する。図４
は、このことを説明するための図である。図４におい
て、５１〜５３は全て初版露光データ中に存在する回路
パターンである。このうち、斜線で示した部分５３は、
ヘッダもしくはフッタに座標情報を記述することによっ
て、未露光部として指定した部分である。

【００４１】このように、本実施形態では、初版露光デ
ータ中から任意の一部分を削除した改版露光データを作
成したいような場合に、改版露光データを実際に作らな
くても、ヘッダもしくはフッタに対応する座標情報を記
述するだけで簡単に対応することができる。したがっ
て、所望の部分を削った改版設計データを全て作り直し
てそれをデータ処理することによって改版露光データを
作成していた従来に比べて、改版露光データを作成する
手間も時間も大幅に削減することができる。

【００４２】なお、以上に説明した本実施形態のデータ
処理装置および露光装置は、コンピュータのＣＰＵある
いはＭＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどで構成されるものであ
り、ＲＡＭやＲＯＭに記憶されたプログラムが動作する
ことによって実現できる。したがって、コンピュータが
上記機能を果たすように動作させるプログラムを、例え
ばＣＤ−ＲＯＭのような記録媒体に記録し、コンピュー
タに読み込ませることによって実現できるものである。
上記プログラムを記録する記録媒体としては、ＣＤ−Ｒ
ＯＭ以外に、フロッピーディスク、ハードディスク、磁
気テープ、光磁気ディスク、不揮発性メモリカード等を
用いることができる。

【００４３】また、コンピュータが供給されたプログラ
ムを実行することにより上述の実施形態の機能が実現さ
れるだけでなく、そのプログラムがコンピュータにおい
て稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）ある
いは他のアプリケーションソフト等と共同して上述の実
施形態の機能が実現される場合や、供給されたプログラ
ムの処理の全てあるいは一部がコンピュータの機能拡張
ボードや機能拡張ユニットにより行われて上述の実施形
態の機能が実現される場合も、かかるプログラムは本発
明の実施形態に含まれる。

【００４４】なお、以上に説明した実施形態は、本発明
を実施するにあたっての具体化の一例を示したものに過
ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解
釈されてはならないものである。すなわち、本発明はそ
の精神、またはその主要な特徴から逸脱することなく、
様々な形で実施することができる。

【００４５】

【発明の効果】本発明は上述したように、改版設計デー
タから改版露光データを生成する際に、改版設計データ
上で修正した部分の位置を指定し、当該指定された修正
部分のみをデータ処理するようにするとともに、生成さ
れた改版露光データのヘッダ部もしくはフッタ部に修正
部分の位置情報を付加するようにしたので、改版設計デ
ータから改版露光データを生成する場合、改版前の設計
データと重複する部分についてはデータ処理を行わず、
改版設計データ上で指定された修正部分のみをデータ処
理すれば良くなり、データ処理工数を削減して露光デー
タの作成時間を短くすることができるとともに、改版露
光データのデータ量を削減することができる。このよう
にデータ量を削減できるので、データを保存する場合は
少ないデータ量で保存することができるようになるとと
もに、データを転送する場合はその転送時間を短くする
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態によるデータ処理装置および露光装
置の構成を示すブロック図である。

【図２】本実施形態による改版露光データの作成手法を
説明するための図である。

【図３】本実施形態による露光装置の動作例を示すフロ
ーチャートである。

【図４】初版露光データ中の任意の部分を未露光部とし
て指定した例を示す図である。

【図５】設計データからレチクルを作成するまでの流れ
を示す図である。

【図６】初版露光データの作成手法を説明するための図
である。

【図７】従来による改版露光データの作成手法を説明す
るための図である。

【符号の説明】

１初版設計データ２初版露光データ３レチクル４ウェハー５改版設計データ６改版露光データ２１設計データ２２設計データ入力部２３修正位置指定部２４データ処理部２５露光データ生成部２６位置情報付加部２７未露光指定部２８露光データ記憶部２９修正位置認識部３０未露光認識部３１露光部３２レチクル１００データ処理装置２００露光装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】設計データをデータ処理して露光データ
を生成するための方法であって、改版設計データから改版露光データを生成する際に、上
記改版設計データ上で修正した部分の位置を指定し、当
該指定された修正部分のみをデータ処理するようにする
とともに、生成された上記改版露光データのヘッダ部も
しくはフッタ部に、上記修正部分の位置情報を付加する
ようにしたことを特徴とするデータ処理方法。
【請求項２】上記改版露光データのヘッダ部もしくは
フッタ部に付加された上記修正部分の位置情報に従い、
改版前露光データの対応する位置を未露光部として認識
させることを特徴とする請求項１に記載のデータ処理方
法。
【請求項３】設計データをデータ処理して露光データ
を生成するデータ処理装置であって、上記設計データを入力する設計データ入力手段と、改版設計データ上で修正した部分の位置を指定する修正
位置指定手段と、上記修正位置指定手段により修正位置が指定されたとき
に、その修正部分をデータ処理することにより改版露光
データを生成する露光データ生成手段と、上記露光データ生成手段により生成された上記改版露光
データのヘッダ部もしくはフッタ部に、上記修正部分の
位置情報を付加する位置情報付加手段とを備えたことを
特徴とするデータ処理装置。
【請求項４】設計データから生成された露光データに
従って露光を行うための方法であって、改版設計データ上で指定された修正部分のみをデータ処
理することによって生成された改版露光データと、改版
前露光データとに従って露光を行い、上記改版露光データに従って露光を行うときは、当該改
版露光データのヘッダ部もしくはフッタ部に付加された
上記修正部分の位置情報に基づいて対応する位置のみを
露光し、上記改版前露光データに従って露光を行うときは、上記
改版露光データのヘッダ部もしくはフッタ部に付加され
た上記修正部分の位置情報に基づいて対応する位置を未
露光部として認識して露光を行うことを特徴とする露光
方法。
【請求項５】設計データから生成された露光データに
従って露光を行う露光装置であって、改版設計データから生成された改版露光データのヘッダ
部もしくはフッタ部に付加されている位置情報に基づい
て、上記改版露光データの修正位置を認識する修正位置
認識手段と、上記改版露光データのヘッダ部もしくはフッタ部に付加
されている位置情報に基づいて、改版前露光データ上の
対応する位置を未露光部として認識する未露光認識手段
と、上記修正位置認識手段により認識された修正位置の露光
を上記改版露光データに従って行うとともに、上記未露
光認識手段により認識された未露光部以外の露光を上記
改版前露光データに従って行う露光手段とを備えること
を特徴とする露光装置。
【請求項６】設計データから生成された露光データに
従って露光を行う露光装置であって、改版設計データから生成された改版露光データのヘッダ
部もしくはフッタ部に付加されている位置情報に基づい
て、改版前露光データ上の対応する位置を未露光部とし
て認識する未露光認識手段と、上記未露光認識手段により認識された未露光部以外を上
記改版前露光データに従って露光する露光手段とを備え
ることを特徴とする露光装置。
【請求項７】設計データを入力する設計データ入力手
段と、改版設計データ上で修正した部分の位置を指定する修正
位置指定手段と、上記修正位置指定手段により修正位置が指定されたとき
に、その修正部分をデータ処理することにより改版露光
データを生成する露光データ生成手段と、上記露光データ生成手段により生成された上記改版露光
データのヘッダ部もしくはフッタ部に、上記修正部分の
位置情報を付加する位置情報付加手段としてコンピュー
タを機能させるためのプログラムを記録したことを特徴
とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項８】改版設計データから生成された改版露光
データのヘッダ部もしくはフッタ部に付加されている位
置情報に基づいて、上記改版露光データの修正位置を認
識する修正位置認識手段と、上記改版露光データのヘッダ部もしくはフッタ部に付加
されている位置情報に基づいて、改版前露光データ上の
対応する位置を未露光部として認識する未露光認識手段
と、上記修正位置認識手段により認識された修正位置の露光
を上記改版露光データに従って行うとともに、上記未露
光認識手段により認識された未露光部以外の露光を上記
改版前露光データに従って行う露光手段としてコンピュ
ータを機能させるためのプログラムを記録したことを特
徴とするコンピュータ読み取り可能な記録媒体。