JP2001042231A - 反射ミラー形可変光減衰器 - Google Patents

反射ミラー形可変光減衰器

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JP2001042231A
JP2001042231A JP11216668A JP21666899A JP2001042231A JP 2001042231 A JP2001042231 A JP 2001042231A JP 11216668 A JP11216668 A JP 11216668A JP 21666899 A JP21666899 A JP 21666899A JP 2001042231 A JP2001042231 A JP 2001042231A
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optical
reflection mirror
optical axis
optical fiber
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Mitsuo Takahashi
光雄 高橋
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Seikoh Giken Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 新しい原理に基づく反射ミラー形可変光減衰
器を提供する。 【解決手段】 本発明による反射ミラー形可変光減衰器
は、ロッドレンズ12の光軸から偏心した対応位置に、
2本の光ファイバを取付けた光ファイバ付きコリメータ
レンズF3と直進移動させられる反射ミラー20を用い
る。一方の光ファイバ8からの出射光ビームの光軸が、
ロッドレンズ12の面からの偏心距離に応じた角度だけ
コリメータレンズの光軸からずれる現象を利用する。す
なわち、光軸方向に前後直進移動可能に配置した反射ミ
ラー20の面と前記ロッドレンズ12の面の距離Sを変
えることによって、一方の光ファイバ8からの入力光を
減衰させて他方の光ファイバ9に出力する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、可変光減衰器に関
する。本発明による可変光減衰器は、主として光ファイ
バ通信システムに組込まれるDWDMシステム、EDF
A光増幅器その他の光強度調整用途に使用される。本発
明による可変光減衰器は、新しい形式の光減衰原理に基
づくものである。この形式の採用により、高密度実装の
ための超小形化、光減衰値分解能の向上、耐環境安定性
の向上を実現している。また本発明による可変光減衰器
は、前記形式の採用により構造を単純化することがで
き、構成部品の価格低減および組立工数の低減を実現し
ている。
【0002】
【従来の技術】従来から広く実用化されている可変光減
衰器の代表例の構成を、図4を参照して説明する。光フ
ァイバ1を取付けたフェルール2を同一光軸に一体構成
した光ファイバ付きコリメータレンズ4の組立1対F
1,F2を、それらのコリメータレンズ4を対向させて
用いる。同軸1対をコリメータレンズ4間に薄いガラス
面に、連続的に濃度が変化するように光減衰被膜6を形
成した連続変化減衰フィルタ板5を挿入して使用してい
る。
【0003】前記光ファイバ1は、フェルール2の中心
孔3に挿入取付固定されている。光ファイバ1は、ロッ
ドレンズ4に光軸を一致させて接着され、光ファイバ付
きコリメータレンズF1,F2の1対を製作する。光フ
ァイバ付きコリメータレンズF1,F2は、ロッドレン
ズ面間に隙間を設けた状態で、双方の光軸を一致させて
直列に整列配設する。連続変化減衰フィルタ板5には、
光減衰被膜6が設けられている。この連続変化減衰フィ
ルタ板5は、図示しないステップモータおよび移動機構
により、光軸軸直角方向(矢印方向)に移動できるよう
に構成されている。連続変化減衰フィルタ板5の移動に
ともなって、光ファイバ付きコリメータレンズF1,F
2の光軸位置における減衰フィルタ板5の光減衰被膜濃
度が変わる。したがって、光ファイバ付きコリメータレ
ンズF1からの出射光は連続変化減衰フィルタ板5の濃
度変化により連続的に減衰させられて、光ファイバ付き
コリメータレンズF2に入射させられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の減衰フ
ィルタ形電動可変光減衰器には次のような問題がある。
(減衰フィルタの減衰特性の再現性)常に均一な減衰特
性を持った連続変化減衰フィルタを、安定して製造する
ことは非常に困難である。連続変化減衰フィルタの製造
ロットごとに濃度ムラなど製造技術的に不可避なバラツ
キ誤差が生ずる。したがってステップモータを使用した
電動形の場合は減衰フィルタの変位量と光減衰値が一致
しなくなるので、円滑な光減衰制御を行うことが困難に
なる。なお使用者がマニュアルで減衰量を調整する場合
には、バラツキはあまり問題にならない。
【0005】(駆動メカニズムおよび組立の高精度化)
図示の従来方式の駆動機構は、数点の精密加工部品によ
って構成される極めて簡単なものである。しかし、前記
減衰フィルタは、光ファイバ付きコリメータレンズの光
軸に対して正確に直角面になるように駆動機構に取付け
なければならない。駆動機構の精度により、前記角度に
誤差が発生すると前記角度誤差に基づく誤差が発生す
る。図4に示した構成で前記誤差の発生を防止するに
は、部品の製作精度および組立精度を上げなければなら
ない。すなわち、構成部品価格が高価になり、同時に多
大の組立調整工数を要し、高価な製品となる。
【0006】(パッケージの小形化に制約を受ける)連
続変化減衰フィルタの全長を短くして小形化を図ること
は、製造技術的に困難である。また光ファイバ付きコリ
メータレンズの光ファイバF1,F2の配置は図1a,
bに示すように光ファイバを左右に引き出す構造であ
る。この方式の駆動機構は光ファイバ付きコリメータレ
ンズの光軸と直交して減衰フィルタを移動させるため
に、ステップモータおよび移動メカニズムを配設する必
要がある。したがって、パッケージの長さ方向が光ファ
イバ付きコリメータレンズの光ファイバF1,F2の和
の長さを越え、幅寸法が減衰フィルタの移動および関連
機構の配置空間によって決まり、大きくなる。そのため
に、光通信システムに高密度実装するための小形パッケ
ージには適さない。ちなみに、従来市販されているこの
形式の減衰器の最小形の減衰フィルタのパッケージ寸法
は、長さ50mm,幅25〜45mm,高さ10〜12
mmである。通信システムで多用されている厚さ1/2
インチ印刷回路基盤(PrintedCircuit Bord)パッケー
ジの場合、組込みデバイスの高さは8.5mm程度に制
限されているから、前記減衰器を取付けて使用すること
ができない。本発明の目的は、前述した従来の減衰フィ
ルタ形電動可変光減衰器の諸課題を解決するために、新
しい原理に基づく反射ミラー形可変光減衰器を提供する
ことにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明による反射ミラー形可変光減衰器は、ロッド
レンズの光軸から偏心した等位置に、2本の光ファイバ
を取付けた光ファイバ付きコリメータレンズの一方の光
ファイバからの出射光ビームの光軸がロッドレンズ面か
らの偏心距離に応じた角度だけコリメータレンズの光軸
からずれる現象に着目した新しい光減衰の原理に基づい
て構成したものである。すなわち、光軸方向に前後直進
移動可能に配置した反射ミラー面と前記ロッドレンズ面
の距離を変えることによって、一方の光ファイバからの
入力光を減衰させて他方の光ファイバに出力するように
構成したものである。
【0008】本発明による反射ミラー形可変光減衰器
は、ロッドレンズと、前記ロッドレンズの一端面に各光
ファイバの光軸が前記ロッドレンズの光軸に対称な位置
で、かつ平行になるように先端面が接続されている1対
の光ファイバと、前記ロッドレンズの他端側に反射面が
前記ロッドレンズの光軸に直角であり、かつ前記光軸方
向に直進移動可能に設けられた反射ミラーとを含み、前
記一方の光ファイバから前記ロッドレンズに入射し、前
記反射ミラーで反射されて前記ロッドレンズに入射し、
前記他方の光ファイバに入射する光の量を前記反射ミラ
ーの位置により調節するように構成されている。さらに
本発明による反射ミラー形可変光減衰器は、台と、前記
台に支持されるロッドレンズと、1対の光ファイバと、
前記1対の光ファイバの先端面を前記ロッドレンズの一
端面に前記ロッドレンズの光軸対称な位置に各光ファイ
バの光軸が前記ロッドレンズの光軸に平行になるように
先端面を接続する光ファイバ対接続手段と、反射ミラー
と、前記反射ミラーをその反射面が前記ロッドレンズの
光軸に直角であり、かつ前記光軸方向に直進移動可能に
支持する反射ミラー直進案内支持手段と、前記光ファイ
バの一方から前記ロッドレンズに入射し、前記反射ミラ
ーで反射されて前記ロッドレンズに再入射し、前記光フ
ァイバの他方に入射する光の量を調節するために前記直
進案内支持手段を駆動する駆動手段とから構成すること
ができる。
【0009】前記光ファイバ対接続手段は、2本の光フ
ァイバを平行に取付け前記ロッドレンズに接合されるフ
ェルールとすることができる。前記台は、軸方向に小
径、大径の2段の段付き円筒孔部を有するハウジング部
材であり、前記小径円筒孔部で前記ロッドレンズを支持
し、前記大径円筒孔部で前記反射ミラー直進案内支持手
段をピン溝結合で直進可能に支持し、前記大径円筒孔部
端面に固定され、前記反射ミラー直進案内支持手段を駆
動するモータが固定されているように構成することがで
きる。前記反射ミラー直進案内支持手段には雌ねじ部が
設けられており、前記雌ねじ部に螺合する雄ねじは、前
記モータ出力で駆動されるように構成することができ
る。前記モータはステップモータで、前記雄ねじは前記
モータの出力軸に設けられているように構成することが
できる。
【0010】前記反射ミラーは、ガラス平板、または金
属製平板面にスパッタリング法,メッキ法により金の被
膜を形成したものとすることができる。前記反射ミラー
は、ガラス平板、または金属製鏡面平板面に、スパッタ
リング法,メッキ法により所要の光減衰率をもつ被膜を
形成したものとすることができる。このようにすれば、
反射ミラー自体で吸収される減衰量に加えて、ミラーの
位置による減衰量の調整が可能となる。前記反射ミラー
は、ガラス平板、または金属製鏡面平板面に特定の光波
長範囲のみ反射する多層膜フィルタ被膜を形成したもの
とすることができる。前記ロッドレンズとして、軸長さ
ピッチは0.25のロッドレンズを使用することができ
る。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面などを参照して本発明
の反射ミラー形可変光減衰器の実施態様をさらに詳しく
説明する。図1aと図1bは、それぞれ本発明による反
射ミラー形可変光減衰器の実施例の側面断面図であっ
て、図1aは大きい減衰量を与える位置で、図1bは減
衰量最小の位置で示してある。図1cは図1bのF−F
断面図、図1dは、同じくK−K断面図である。
【0012】図1cに拡大して示されているように、ガ
ラス製フェルール7の中心に光ファイバ8,9を挿入す
る正四角形孔10が設けられている。光ファイバ8,9
は前記正四角形孔10に挿入接着後に、フェルールの端
面11と同時に平面研磨される。この実施例で、ロッド
レンズ12として、日本板硝子株式会社製のSFLレン
ズを用いた。このロッドレンズ12は直径φ2mm,軸
方向長さ0.25ピッチのロッドレンズである。光ファ
イバ付きコリメータレンズF3は、前記光ファイバ付き
フェルール7をロッドレンズ12の端面に接続して構成
する。この接続は、フェルール7の中心とロッドレンズ
の光軸が一致するように調整しながら光学接着剤で接着
固定する。
【0013】台を構成するステンレス鋼製のハウジング
部材13には、小径孔14および大径孔15から成る段
付き貫通孔が同軸心に設けられている。また図中左端部
に、フランジ部13aが設けられている。大径孔15の
外壁の中央部に回り止めピン16を取付ける。
【0014】ステンレス鋼製の円筒ブッシュ17の中心
には、雌ねじ孔18および外周面に前記回り止めピン1
6と係合する回り止め溝19が設けられており、この溝
19と前記回り止めピン16により直進案内機構が形成
される。前記円筒ブッシュ17の一端面に反射ミラー2
0が接着固定されている。
【0015】モータ21は、外径が7mm,長さ9mm
の小形ステップモータである。モータの出力軸は雄ねじ
軸21aと一体化して製作されている。モータケースに
は、電気端子22が一体に設けられており、ステップモ
ータ21は、ハウジング部材13のフランジ部13aに
2本の止めねじ23で取付けられている。
【0016】この実施例では、前記反射ミラー20とし
て、3×3mmの正方形に成形した厚さ0.35mmの
ガラス平板を用い、この表面にスパッタリング法により
厚さ0.06μmの金被膜を付着させた。
【0017】本発明による反射ミラー形電動可変光減衰
器は以上の部品により構成され、次の手順で組み立てら
れる。まず、光ファイバ付きコリメータレンズF3のロ
ッドレンズ12を小径孔14に挿入接着する。次に、反
射ミラー20を取付けた円筒ブッシュ17の雌ねじ孔1
8にモータ21の雄ねじ21aをねじ込んで、あらかじ
め一体化する。回り止めピン16に回り止め溝19を挿
入して、2本の止めねじ23でモータ21をハウジング
部材13に取付け固定して完成する。なお、本実施例で
使用したモータ21は、使用電圧2.5V,1パルス回
転角度15°,雄ねじ軸は、M(モジュール)2、p
(ピッチ)0.25mmの設計仕様のものである。
【0018】図2aおよび図2bは、前記実施例の動作
を説明するための略図的拡大側面図である。図2aは、
ロッドレンズ12の端面24と反射ミラー20の反射面
25が密着した状態を示す。この場合、光ファイバ8か
らの出射光26は、光軸線ZZ上の点Pで反射されて光
軸対称に配置された光ファイバ9に入射するので、光減
衰値は最小になる。図2bに示す状態では、ロッドレン
ズ12の端面24と反射ミラー20の反射面25の距離
がSだけ離れた状態を示す。この場合、光ファイバ8か
らの出射光26は、ロッドレンズ12の光軸線ZZ上の
点Pから空気中に出射するが、この時ロッドレンズ12
と空気の屈折率差によって、ロッドレンズ12からの出
射光26の中心光軸は、ロッドレンズ12の光軸線ZZ
から角度θだけ曲げられる。したがって、ロッドレンズ
12の端面24と反射ミラー20の反射面25間の距離
Sに比例して、反射ミラー20の反射面25上の反射点
Qに偏心して入射する。反射ミラー20の反射面25か
らの光の反射角度はロッドレンズ12の光軸線ZZに対
して2θであるから、反射光26はロッドレンズ12の
端面24にEだけ偏心したR点に入射する。この偏心E
と減衰値Aの関係は次の式で計算できる。 Α(dB)=4.343(E/ω)2 ここで、ωはロッドレンズのモードフィールド半径であ
る。
【0019】図3は、本発明による反射ミラー形可変光
減衰器の1実施例の光減衰値とロッドレンズ端面から反
射ミラーまでの距離の関係を示すグラフである。図3
は、本発明による前記実施例の光減衰値とロッドレンズ
12の端面24から、反射ミラー25の面までの距離S
の関係を計算により求めたグラフである。本実施例で使
用したロッドレンズ12の端面からの出射角度θの実測
値は、約1.5°,モードフィールド半径は、約160
μmである。この場合の偏心Eは次の式で計算できる。 E=2Stan1.5≡0.0524S 次に光減衰値Aは次の式で計算できる。 Α(dB)=4.343(0.0524/160)S2 =0.000000465S2
【0020】図3から、本発明による反射ミラー形可変
光減衰器の場合は、光減衰値が10dBのときの所要の
反射ミラーの移動距離Sは4637μmであるので、光
減衰値10dBのときのステップモータを駆動するため
の所要パルス数は445.152パルスであり、最大で
0.152パルスのパルス誤差(=回転角度=2.28
°)を生ずるにすぎない。この場合の反射ミラーの移動
距離誤差は1.58μmと微少であり、したがって減衰
値誤差はほとんど無視できる。
【0021】以上に説明した本発明の反射ミラー形可変
光減衰器の特徴は、次のように要約できる。 1) 前記構成で反射ミラー20の駆動メカニズムとし
て、反射ミラー20を取付けた円筒ブッシュ17の外径
をハウジング部材13に設けた大径孔15に5μmの隙
間で精密に嵌合させる。そして回り止めピン16と前記
円筒ブッシュ17の溝を直進案内結合させると、円周方
向に回転することなしに反射ミラー20はロッドレンズ
12の光軸に対して、正確な直角面を保持しながら前後
方向に直進駆動することができる。この構成は、簡単な
構造であり、高い加工精度および組立精度を実現できる
構造である。 2)反射ミラー20の蛇行(角度揺らぎ)を防止するた
めに、円筒ブッシュ17をハウジング部材13に設けた
大径孔15に5μmの隙間で精密に嵌合させる。円筒ブ
ッシュ17の外径の有効長が8mmの場合、円筒ブッシ
ュ17の最大蛇行角度は約0.000011°となる。
この場合の蛇行による減衰値の変動は、計算上で約0.
009dBとなり、蛇行による減衰値の影響は無視でき
る範囲内である。 3)本発明は、光ファイバ付きコリメータレンズ、反射
ミラー付き円筒ブッシュおよびステップモータを同軸に
配設して構成し、さらに、2本の光ファイバを同方向に
引き出すように構成したものである。前述のように、例
えば光減衰範囲を0〜10dBとしてシングル・モード
光ファイバを使用した場合、所要のパッケージ寸法は幅
18mm,長さ30mm,高さ8.5mmにすることが
できる。これにより、従来の最小形の電動可変光減衰器
に比較しても、大幅な小形化を実現できた。 4)光減衰値の変換に対する所要の反射ミラー移動距離
を非常に大きくとれるので、高い分解能が得られ精密に
光減衰値を調節できる。このことは、構成部材の線膨張
係数による温度などの環境変化に対する光減衰値の変
化、および振動、衝撃などの機械的要因に対する光減衰
値の変化、駆動メカニズムの製作精度誤差などによる光
減衰値の変化を少なくすることを意味する。すなわち、
それらの要因の影響を受け難くなるので優れた安定信頼
性が容易に得られる。 5)光減衰値は所要の反射ミラー移動距離に比例的に変
化できるので、円滑な光減衰制御を行うことができる。
【0022】以上詳しく説明した実施例について、本発
明による反射ミラー形可変光減衰器について、種々の変
形を施すことができる。 1)反射ミラー形電動可変光減衰器の場合について説明
したが、ステップモータを外して、ねじロッドを組込む
ことにより、反射ミラー形手動可変光減衰器を構成でき
る。 2)所要の光減衰範囲が例えば10〜20dBのように
限定された可変光減衰器の場合は、10dBの光減衰率
をもつ反射ミラーを使用して、光減衰の可変範囲を10
dBにすることによって、反射ミラーの光軸方向の移動
距離を大きくしないで小形に構成できる。 3)ガラス平板に、特定の光波長範囲のみ反射する多層
膜フィルタ被膜を形成した反射ミラーを使用することに
よって、特定の光波長範囲のみ選択して減衰させること
ができる。
【0023】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
る反射ミラー形可変光減衰器は、新しい光減衰法の原理
に基づいて構成されたものである。すなわち、ロッドレ
ンズの一端面に、2本の光ファイバを平行に取付けたフ
ェルールを、同一光軸に一体構成した光ファイバ付きコ
リメータレンズのロッドレンズ面に平行を保った状態
で、光軸方向に前後直進移動可能に配置した反射ミラー
により構成してある。そして前記ロッドレンズ面と反射
ミラー面の距離を変えることによって、一方の光ファイ
バからの入力光の光量を減衰させて、他方の光ファイバ
に出力するようにした。したがって、その効果は次のよ
うに要約できる。
【0024】1)反射ミラーを取付けた円筒ブッシュを
円筒孔に精密に嵌合させて行う駆動メカニズムにより、
簡単な構造で熟練なしに自動的に高い製作精度および組
立精度が得られる。さらに、反射ミラーの蛇行(角度の
揺らぎ)による減衰値の変化を無視できる程度に微少に
できる。 2)光ファイバ付きコリメータレンズ、反射ミラー付き
円筒ブッシュおよびステップモータを同軸に配設し、か
つ、2本の光ファイバを同方向に引き出すように構成し
たものであるから、従来の最小形の電動可変光減衰器に
比較しても、大幅な小形化を実現できた。 3)光減衰値に対する所要の反射ミラー移動距離を非常
に大きくとれるので、高い分解能が得られ精密に光減衰
値を調節できる。同時に温度などの環境変化に対する安
定性および振動、衝撃などの外部からの機械的要因、駆
動メカニズムの製作精度などに対して影響を受け難くな
るので、優れた安定信頼性が得られる。 4)光減衰値は、所要の反射ミラー移動距離に比例的に
変化できるので、円滑な光減衰制御を行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1a】本発明による反射ミラー形可変光減衰器の実
施例の側面断面図であって、大きい減衰量を示す位置で
示されている。
【図1b】本発明による反射ミラー形可変光減衰器の実
施例の側面断面図であって、減衰量が最小の位置で示さ
れている。
【図1c】前記実施例のF−F断面図である。
【図1d】前記実施例のK−K断面図である。
【図2a】前記実施例の減衰量最小位置での動作を説明
するための略図的拡大側面図である。
【図2b】前記実施例の大きい減衰量を示す位置での動
作を説明するための略図的側面図である。
【図3】前記実施例の減衰特性を示すグラフである。
【図4】従来の典型的な可変光減衰器の動作を説明する
ための略図である。
【符号の説明】
1 光ファイバ 2 フェルール 3 フェルールの中心孔 4 コリメータレンズ F1,F2,F3 光ファイバ付きコリメータレンズ 5 連続変化減衰フィルタ板(ガラス板) 6 光減衰被膜 7 ガラス製フェルール 8,9 光ファイバ 10 正四角形孔 11 端面 12 ロッドレンズ 13 ステンレス鋼製のハウジング部材 14 小径孔 15 大径孔 16 回り止めピン 17 円筒ブッシュ 18 雌ねじ孔 19 回り止め溝 20 反射ミラー 21 モータ(ステップモータ) 21a モータ出力軸(雄ねじ軸) 22 電気端子 23 止めねじ 24 ロッドレンズの端面 25 反射面 26 出射光

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ロッドレンズと、前記ロッドレンズの一
    端面に各光ファイバの光軸が前記ロッドレンズの光軸に
    対称な位置で、かつ平行になるように先端面が接続され
    ている1対の光ファイバと、前記ロッドレンズの他端側
    に反射面が前記ロッドレンズの光軸に直角であり、かつ
    前記光軸方向に直進移動可能に設けられた反射ミラーと
    を含み、前記一方の光ファイバから前記ロッドレンズに
    入射し、前記反射ミラーで反射されて前記ロッドレンズ
    に入射し、前記他方の光ファイバに入射する光の量を前
    記反射ミラーの位置により調節するように構成した反射
    ミラー形可変光減衰器。
  2. 【請求項2】 台と、前記台に支持されるロッドレンズ
    と、1対の光ファイバと、前記1対の光ファイバの先端
    面を前記ロッドレンズの一端面に前記ロッドレンズの光
    軸対称な位置に各光ファイバの光軸が前記ロッドレンズ
    の光軸に平行になるように先端面を接続する光ファイバ
    対接続手段と、反射ミラーと、前記反射ミラーをその反
    射面が前記ロッドレンズの光軸に直角であり、かつ前記
    光軸方向に直進移動可能に支持する反射ミラー直進案内
    支持手段と、前記光ファイバの一方から前記ロッドレン
    ズに入射し、前記反射ミラーで反射されて前記ロッドレ
    ンズに再入射し、前記光ファイバの他方に入射する光の
    量を調節するために前記直進案内支持手段を駆動する駆
    動手段とから構成した反射ミラー形可変光減衰器。
  3. 【請求項3】 前記光ファイバ対接続手段は、2本の光
    ファイバを平行に取付け前記ロッドレンズに接合される
    フェルールである請求項2記載の反射ミラー形可変光減
    衰器。
  4. 【請求項4】 前記台は、軸方向に小径、大径の2段の
    段付き円筒孔部を有するハウジング部材であり、前記小
    径円筒孔部で前記ロッドレンズを支持し、前記大径円筒
    孔部で前記反射ミラー直進案内支持手段をピン溝結合で
    直進可能に支持し、前記大径円筒孔部端面に固定され、
    前記反射ミラー直進案内支持手段を駆動するモータが固
    定されている、請求項2記載の反射ミラー形可変光減衰
    器。
  5. 【請求項5】 前記反射ミラー直進案内支持手段には雌
    ねじ部が設けられており、前記雌ねじ部に螺合する雄ね
    じは前記モータで駆動される請求項4記載の反射ミラー
    形可変光減衰器。
  6. 【請求項6】 前記モータは、ステップモータで、前記
    雄ねじは前記モータの出力軸に設けられている請求項5
    記載の反射ミラー形可変光減衰器。
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