JP2001041986A - 抵抗測定装置 - Google Patents
抵抗測定装置Info
- Publication number
- JP2001041986A JP2001041986A JP11220350A JP22035099A JP2001041986A JP 2001041986 A JP2001041986 A JP 2001041986A JP 11220350 A JP11220350 A JP 11220350A JP 22035099 A JP22035099 A JP 22035099A JP 2001041986 A JP2001041986 A JP 2001041986A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- circuit
- correlation
- delay
- phase shift
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 微小抵抗値を、高い精度で計測できる抵抗測
定装置を提供する。 【解決手段】 疑似ノイズ発生回路１からの疑似ノイズ
信号と同一の波形となっている被測定抵抗体Ｒの両端間
電位差信号と、当該電位差信号に位相を合わせている上
記疑似ノイズ信号とを相関回路４に与えて、この相関回
路４で自己相関を得て、これに基づいて上記被測定抵抗
体Ｒの抵抗値を求めるようにした。
定装置を提供する。 【解決手段】 疑似ノイズ発生回路１からの疑似ノイズ
信号と同一の波形となっている被測定抵抗体Ｒの両端間
電位差信号と、当該電位差信号に位相を合わせている上
記疑似ノイズ信号とを相関回路４に与えて、この相関回
路４で自己相関を得て、これに基づいて上記被測定抵抗
体Ｒの抵抗値を求めるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、抵抗測定装置に係
り、特に、微弱な抵抗値を計測するのに好適なものに関
する。
り、特に、微弱な抵抗値を計測するのに好適なものに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、微弱抵抗の計測には、図２に示す
ような回路構成の抵抗測定装置が用いられてきた。同図
において、発振器１０は、常時、所定周波数の正弦波信
号を送出する回路部である。定電流回路１１は、上記正
弦波信号を取込み、当該正弦波信号に周波数および位相
が等しい定電流を、被測定抵抗体Ｒの両端間に流す回路
である。同期検波回路１２は、上記発振器１０からの正
弦波信号と、上記被測定抵抗体Ｒの両端間の電位差に係
る信号とを取込み、両者の積を得て、当該積に係る信号
（直流成分と上記正弦波信号の２倍周波数成分とからな
る）を送出する回路である。ローパスフィルター１３
は、上記同期検波回路１２からの上記信号から上記２倍
周波数成分を除いて上記直流成分のみを送出するが、こ
の直流成分は、直流増幅器１４で増幅されて表示部１５
に表示される。
ような回路構成の抵抗測定装置が用いられてきた。同図
において、発振器１０は、常時、所定周波数の正弦波信
号を送出する回路部である。定電流回路１１は、上記正
弦波信号を取込み、当該正弦波信号に周波数および位相
が等しい定電流を、被測定抵抗体Ｒの両端間に流す回路
である。同期検波回路１２は、上記発振器１０からの正
弦波信号と、上記被測定抵抗体Ｒの両端間の電位差に係
る信号とを取込み、両者の積を得て、当該積に係る信号
（直流成分と上記正弦波信号の２倍周波数成分とからな
る）を送出する回路である。ローパスフィルター１３
は、上記同期検波回路１２からの上記信号から上記２倍
周波数成分を除いて上記直流成分のみを送出するが、こ
の直流成分は、直流増幅器１４で増幅されて表示部１５
に表示される。
【０００３】ところで、ローパスフィルター１３から送
出される上記直流成分即ち同期検波回路１２の出力信号
中の直流成分は、発振器１０から送出される上記正弦波
信号の振幅値Ｘ(既知)と、定電流回路１１から被測定抵
抗体Ｒに流される電流の振幅値Ｙ（既知）と、被測定抵
抗体Ｒの抵抗値との積になっている。このため、上記直
流増幅器１４の増幅率を考慮した上で上記表示部１５か
ら読取った電圧を、上記振幅値Ｘと振幅値Ｙとの積で除
すことにより、被測定抵抗体Ｒの抵抗値を求められるこ
とになる。
出される上記直流成分即ち同期検波回路１２の出力信号
中の直流成分は、発振器１０から送出される上記正弦波
信号の振幅値Ｘ(既知)と、定電流回路１１から被測定抵
抗体Ｒに流される電流の振幅値Ｙ（既知）と、被測定抵
抗体Ｒの抵抗値との積になっている。このため、上記直
流増幅器１４の増幅率を考慮した上で上記表示部１５か
ら読取った電圧を、上記振幅値Ｘと振幅値Ｙとの積で除
すことにより、被測定抵抗体Ｒの抵抗値を求められるこ
とになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な抵抗測定装置を用いた場合、計測対象が微小な抵抗値
の抵抗のときでも、同期検波回路１２での検波動作によ
り、ノイズの低減等が行われて、比較的精度の高い抵抗
値が得られるが、この高精度にも限度がある。本願発明
は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、微
小抵抗値を、一層、高い精度で計測できる抵抗測定装置
の提供を目的としている。
な抵抗測定装置を用いた場合、計測対象が微小な抵抗値
の抵抗のときでも、同期検波回路１２での検波動作によ
り、ノイズの低減等が行われて、比較的精度の高い抵抗
値が得られるが、この高精度にも限度がある。本願発明
は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、微
小抵抗値を、一層、高い精度で計測できる抵抗測定装置
の提供を目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明では、抵
抗測定装置を以下のように構成した。すなわち、ノイズ
信号或いは疑似ノイズ信号等の信号波を送出する信号発
生回路部と、上記信号発生回路部からの信号波を入力
し、当該信号波と同一波形の定電流を被測定抵抗体の両
端間に流す定電流回路と、上記信号発生回路部からの上
記信号波を入力し、遅延信号を送出する遅延回路と、前
記電位差信号および上記遅延回路からの遅延信号を取込
み、両者の間の自己相関を計算して相関波形信号を得
て、当該相関波形信号を送出する相関回路と、上記相関
回路からの相関波形信号を取込み、当該相関波形信号を
表示する表示装置とを備える構成にした。
抗測定装置を以下のように構成した。すなわち、ノイズ
信号或いは疑似ノイズ信号等の信号波を送出する信号発
生回路部と、上記信号発生回路部からの信号波を入力
し、当該信号波と同一波形の定電流を被測定抵抗体の両
端間に流す定電流回路と、上記信号発生回路部からの上
記信号波を入力し、遅延信号を送出する遅延回路と、前
記電位差信号および上記遅延回路からの遅延信号を取込
み、両者の間の自己相関を計算して相関波形信号を得
て、当該相関波形信号を送出する相関回路と、上記相関
回路からの相関波形信号を取込み、当該相関波形信号を
表示する表示装置とを備える構成にした。
【０００６】請求項２の発明では、請求項１記載の抵抗
測定装置の上記相関回路と上記表示装置との間に、当該
相関回路側から順に、ローパスフィルターおよび増幅器
を挿入接続した。
測定装置の上記相関回路と上記表示装置との間に、当該
相関回路側から順に、ローパスフィルターおよび増幅器
を挿入接続した。
【０００７】請求項３の発明では、請求項２記載の抵抗
測定装置の上記遅延回路を、以下のような自動可変遅延
回路とし、即ち、下記の位相ずれ対応信号に基づいて、
前記位相ずれが少なくなる方向に、遅延時間を自動的に
調節する自動可変遅延回路とし、更に、上記増幅器の出
力信号を取込み、これに基づいて、上記位相ずれに応じ
た位相ずれ対応信号を送出する位相ずれ検出回路を追加
した。
測定装置の上記遅延回路を、以下のような自動可変遅延
回路とし、即ち、下記の位相ずれ対応信号に基づいて、
前記位相ずれが少なくなる方向に、遅延時間を自動的に
調節する自動可変遅延回路とし、更に、上記増幅器の出
力信号を取込み、これに基づいて、上記位相ずれに応じ
た位相ずれ対応信号を送出する位相ずれ検出回路を追加
した。
【０００８】請求項４の発明では、上記請求項３記載の
抵抗測定装置の上記位相ずれ検出回路を、ディレードロ
ックドループ或いはタウディザーリングにした。
抵抗測定装置の上記位相ずれ検出回路を、ディレードロ
ックドループ或いはタウディザーリングにした。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の一形態に
基づいて本発明を具体的に説明する。図１は、本実施の
形態の構成を示すものである。当該図１において、疑似
ノイズ発生回路１は、所定の疑似ノイズ信号（系列）を
繰返して送出し続ける回路である。定電流回路２は、上
記疑似ノイズ発生回路１からの疑似ノイズ信号を入力
し、当該信号と同一波形の定電流を被測定抵抗体Ｒの両
端間に流す回路である。自動可変遅延回路３は、上記疑
似ノイズ発生回路１からの疑似ノイズ信号を入力し、こ
れに遅延を与えた前記遅延信号を送出する回路である
が、後述のディレードロックドループ８よりの位相ずれ
対応信号に基づいて、位相ずれ（上記相関回路４におい
ての、上記電位差信号と当該自動可変遅延回路３からの
遅延信号との間の位相のずれ）が少なくなる方向に、遅
延時間を自動的に調節する。
基づいて本発明を具体的に説明する。図１は、本実施の
形態の構成を示すものである。当該図１において、疑似
ノイズ発生回路１は、所定の疑似ノイズ信号（系列）を
繰返して送出し続ける回路である。定電流回路２は、上
記疑似ノイズ発生回路１からの疑似ノイズ信号を入力
し、当該信号と同一波形の定電流を被測定抵抗体Ｒの両
端間に流す回路である。自動可変遅延回路３は、上記疑
似ノイズ発生回路１からの疑似ノイズ信号を入力し、こ
れに遅延を与えた前記遅延信号を送出する回路である
が、後述のディレードロックドループ８よりの位相ずれ
対応信号に基づいて、位相ずれ（上記相関回路４におい
ての、上記電位差信号と当該自動可変遅延回路３からの
遅延信号との間の位相のずれ）が少なくなる方向に、遅
延時間を自動的に調節する。
【００１０】相関回路４は、上記電位差信号および上記
自動可変遅延回路３からの遅延信号を取込み、両者の間
の自己相関を計算して相関波形信号を得て、当該相関波
形信号を送出する回路である。ローパスフィルター５
は、上記相関波形信号を入力して、当該相関波形信号か
ら高周波ノイズを除いた上で送出する回路であり、直流
増幅器６は、ローパスフィルター５からの上記相関波形
信号を増幅する直流増幅器である。また、表示部７は、
直流増幅器６で増幅された上記相関波形信号を取込み、
当該相関波形信号を表示する表示回路部である。そして
ディレードロックドループ８は、直流増幅器６で増幅さ
れた上記相関波形信号を取込み、この信号のレベルか
ら、前記位相ずれに応じた位相ずれ対応信号を得て、当
該位相ずれ対応信号を、上記自動可変遅延回路３に、送
出する回路である。
自動可変遅延回路３からの遅延信号を取込み、両者の間
の自己相関を計算して相関波形信号を得て、当該相関波
形信号を送出する回路である。ローパスフィルター５
は、上記相関波形信号を入力して、当該相関波形信号か
ら高周波ノイズを除いた上で送出する回路であり、直流
増幅器６は、ローパスフィルター５からの上記相関波形
信号を増幅する直流増幅器である。また、表示部７は、
直流増幅器６で増幅された上記相関波形信号を取込み、
当該相関波形信号を表示する表示回路部である。そして
ディレードロックドループ８は、直流増幅器６で増幅さ
れた上記相関波形信号を取込み、この信号のレベルか
ら、前記位相ずれに応じた位相ずれ対応信号を得て、当
該位相ずれ対応信号を、上記自動可変遅延回路３に、送
出する回路である。
【００１１】以上のように構成された上記実施の形態に
おいては、疑似ノイズ発生回路１からの疑似ノイズ信号
パターンに等しい定電流が定電流回路２から送出され
て、この定電流が被測定抵抗体Ｒに流れ、当該定電流と
当該被測定抵抗体Ｒの抵抗値との積になっている前記電
位差信号（定電流回路２等で拾う一般のノイズ等を無視
すると上記疑似ノイズ信号パターンに等しい信号パター
ンになっている）が、相関回路４に与えられる。また、
自動可変遅延回路３は、ディレードロックドループ８か
らの前記位相ずれ対応信号を得て、これに基づいて、疑
似ノイズ発生回路１からの上記疑似ノイズ信号に所定の
遅延（上記電位差信号が相関回路４に与えられる時点
は、疑似ノイズ発生回路１での疑似ノイズ発生時点から
僅かながら時間経過が有ると考えられるが、当該時間経
過に等しいものになっている）を与えて相関回路４に送
出す。
おいては、疑似ノイズ発生回路１からの疑似ノイズ信号
パターンに等しい定電流が定電流回路２から送出され
て、この定電流が被測定抵抗体Ｒに流れ、当該定電流と
当該被測定抵抗体Ｒの抵抗値との積になっている前記電
位差信号（定電流回路２等で拾う一般のノイズ等を無視
すると上記疑似ノイズ信号パターンに等しい信号パター
ンになっている）が、相関回路４に与えられる。また、
自動可変遅延回路３は、ディレードロックドループ８か
らの前記位相ずれ対応信号を得て、これに基づいて、疑
似ノイズ発生回路１からの上記疑似ノイズ信号に所定の
遅延（上記電位差信号が相関回路４に与えられる時点
は、疑似ノイズ発生回路１での疑似ノイズ発生時点から
僅かながら時間経過が有ると考えられるが、当該時間経
過に等しいものになっている）を与えて相関回路４に送
出す。
【００１２】上記のようにして、相関回路４には、上記
疑似ノイズ信号パターンに等しい信号パターンになって
いる上記電位差信号と、この電位差信号と位相差がない
遅延信号すなわち上記疑似ノイズ信号そのものとが与え
られる。そして相関回路４は、与えられた両信号間の自
己相関を得て、当該自己相関に係る相関波形信号（ほぼ
直流状態の信号波となる）を送出する。そして、当該相
関波形信号は、ローパスフィルター５を経て直流増幅器
６で増幅されて、表示部７に表示されると共に、前記位
相ずれを検出するためにディレードロックドループ８へ
も与えられる。
疑似ノイズ信号パターンに等しい信号パターンになって
いる上記電位差信号と、この電位差信号と位相差がない
遅延信号すなわち上記疑似ノイズ信号そのものとが与え
られる。そして相関回路４は、与えられた両信号間の自
己相関を得て、当該自己相関に係る相関波形信号（ほぼ
直流状態の信号波となる）を送出する。そして、当該相
関波形信号は、ローパスフィルター５を経て直流増幅器
６で増幅されて、表示部７に表示されると共に、前記位
相ずれを検出するためにディレードロックドループ８へ
も与えられる。
【００１３】被測定抵抗体Ｒの抵抗値を得るには、直流
増幅器６の増幅率を考慮して、表示部７より相関回路４
で得られた自己相関値（被測定抵抗体Ｒの抵抗値と、定
電流回路２からの定電流値に依存する比例定数との積に
なっている）を読取り、その上で当該自己相関値を上記
比例定数で除すことにより求める。
増幅器６の増幅率を考慮して、表示部７より相関回路４
で得られた自己相関値（被測定抵抗体Ｒの抵抗値と、定
電流回路２からの定電流値に依存する比例定数との積に
なっている）を読取り、その上で当該自己相関値を上記
比例定数で除すことにより求める。
【００１４】以上のように、当該実施の形態では、相関
回路４において、自己相関を得ることにより、前記疑似
ノイズに乗っている被計測抵抗体Ｒの抵抗値に係る情報
以外の一般のノイズ等を除いているので、極めて高い精
度で、上記抵抗値を計測できることになる。なお、本願
発明の範囲は、上記実施の形態に限定されず、種々変形
応用が可能である。例えば、上記実施の形態では、前記
位相ずれ検出回路として、ディレードロックドループ８
を用いたが、これをタウディザーリングにしても良いこ
とは無論である。また、当該実施の形態では、前記位相
ずれをなくすために自動可変遅延回路３を用いたが、こ
れを手動の可変遅延回路としてもよい。この場合は、表
示部７に表示される相関波形信号のレベルが最高のもの
になるように遅延時間を手動で調節することになる。更
に、当該遅延時間を把握でき、かつ定電流回路２より相
関回路４までの結線長および疑似ノイズ発生回路１より
相関回路４までの結線長を変化させないときには（即ち
抵抗計測の度に、各回路間を接続する結線の長さを変え
ないときには）、可変ではなく上記把握できた遅延時間
だけ固定的に遅延する遅延回路にしても良いことは勿論
である。
回路４において、自己相関を得ることにより、前記疑似
ノイズに乗っている被計測抵抗体Ｒの抵抗値に係る情報
以外の一般のノイズ等を除いているので、極めて高い精
度で、上記抵抗値を計測できることになる。なお、本願
発明の範囲は、上記実施の形態に限定されず、種々変形
応用が可能である。例えば、上記実施の形態では、前記
位相ずれ検出回路として、ディレードロックドループ８
を用いたが、これをタウディザーリングにしても良いこ
とは無論である。また、当該実施の形態では、前記位相
ずれをなくすために自動可変遅延回路３を用いたが、こ
れを手動の可変遅延回路としてもよい。この場合は、表
示部７に表示される相関波形信号のレベルが最高のもの
になるように遅延時間を手動で調節することになる。更
に、当該遅延時間を把握でき、かつ定電流回路２より相
関回路４までの結線長および疑似ノイズ発生回路１より
相関回路４までの結線長を変化させないときには（即ち
抵抗計測の度に、各回路間を接続する結線の長さを変え
ないときには）、可変ではなく上記把握できた遅延時間
だけ固定的に遅延する遅延回路にしても良いことは勿論
である。
【００１５】
【発明の効果】以上詳述したように、本願発明による
と、微小抵抗値を、高い精度で計測できる抵抗測定装置
の提供を可能とする。
と、微小抵抗値を、高い精度で計測できる抵抗測定装置
の提供を可能とする。
【図１】本願発明の実施の一形態の構成を示す図であ
る。
る。
【図２】従来例を示す図である。
１ 疑似ノイズ発生回路 ２ 定電流回路 ３ 自動可変遅延回路 ４ 相関回路 ５ ローパスフィルター ６ 直流増幅器 ７ 表示部 ８ ディレードロックドループ Ｒ 被測定抵抗体 １０ 発振器 １１ 定電流回路 １２ 同期検波回路 １３ ローパスフィルター １４ 直流増幅器 １５ 表示部
Claims (4)
- 【請求項１】 ノイズ信号或いは疑似ノイズ信号等の信
号波を送出する信号発生回路部と、 上記信号発生回路部からの信号波を入力し、当該信号波
と同一波形の定電流を被測定抵抗体の両端間に流す定電
流回路と、 上記信号発生回路部からの上記信号波を入力し、これに
所定の遅延を与えた信号波（以下、遅延信号という）を
送出する遅延回路と、 上記被測定抵抗体の上記両端間の電位差（以下、電位差
信号という）および上記遅延回路からの遅延信号を取込
み、両者の間の自己相関を計算して相関波形信号を得
て、当該相関波形信号を送出する相関回路と、 上記相関回路からの相関波形信号を取込み、当該相関波
形信号を表示する表示装置とを備えることを特徴とする
抵抗測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の抵抗測定装置において、 上記相関回路と上記表示装置との間に、当該相関回路側
から順に、ローパスフィルターおよび増幅器を挿入接続
したことを特徴とする抵抗測定装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の抵抗測定装置において、 上記遅延回路を、以下のような自動可変遅延回路とし、
即ち、下記の位相ずれ対応信号に基づいて、上記相関回
路が取込んだ上記電位差信号と上記遅延信号との間の位
相のずれ（以下、位相ずれという）が少なくなる方向
に、遅延時間を自動的に調節する自動可変遅延回路と
し、 更に、上記増幅器の出力信号を取込み、これに基づい
て、上記位相ずれに応じた位相ずれ対応信号を送出する
位相ずれ検出回路が追加されていることを特徴とする抵
抗測定装置。 - 【請求項４】 上記位相ずれ検出回路が、ディレードロ
ックドループ或いはタウディザーリングになっているこ
とを特徴とする請求項３記載の抵抗測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11220350A JP2001041986A (ja) | 1999-08-03 | 1999-08-03 | 抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11220350A JP2001041986A (ja) | 1999-08-03 | 1999-08-03 | 抵抗測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001041986A true JP2001041986A (ja) | 2001-02-16 |
Family
ID=16749768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11220350A Pending JP2001041986A (ja) | 1999-08-03 | 1999-08-03 | 抵抗測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001041986A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006176805A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Jfe Steel Kk | 溶鉱炉内の溶融物レベル計測方法及び装置 |
| JP2006176849A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Jfe Steel Kk | 溶鉱炉内溶融物レベル計測方法および装置 |
| CN103487775A (zh) * | 2013-09-09 | 2014-01-01 | 沈阳计量测试院 | 智能数字微电阻标准装置 |
-
1999
- 1999-08-03 JP JP11220350A patent/JP2001041986A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006176805A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Jfe Steel Kk | 溶鉱炉内の溶融物レベル計測方法及び装置 |
| JP2006176849A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Jfe Steel Kk | 溶鉱炉内溶融物レベル計測方法および装置 |
| CN103487775A (zh) * | 2013-09-09 | 2014-01-01 | 沈阳计量测试院 | 智能数字微电阻标准装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4886120B2 (ja) | 超音波流速計 | |
| JPWO2007105564A1 (ja) | ジッタ測定装置、電子デバイス、及び試験装置 | |
| JP2002198788A (ja) | 高精度な位相検出器 | |
| JP2001041986A (ja) | 抵抗測定装置 | |
| Han et al. | Measurement range expansion of continuous wave ultrasonic anemometer | |
| US7526701B2 (en) | Method and apparatus for measuring group delay of a device under test | |
| KR100415076B1 (ko) | 각속도 검출 방법 및 진동 자이로스코프 | |
| JP5133870B2 (ja) | 電子デバイス、試験装置、及び試験方法 | |
| JP3458732B2 (ja) | 振動型センサの断線検出装置 | |
| US20020016160A1 (en) | Amplitude-detecting method and circuit | |
| JP2008128856A (ja) | 球状表面弾性波素子を用いた計測装置 | |
| WO2007105564A1 (ja) | ジッタ測定装置、電子デバイス、及び試験装置 | |
| KR100389095B1 (ko) | 자이로스코프의 커패시턴스 변화량 측정장치 | |
| JPH07229793A (ja) | 弾性表面波温度計 | |
| JP3277324B2 (ja) | ジッタ測定装置 | |
| JP2000162294A (ja) | 磁界センサ | |
| JPH0619468B2 (ja) | 金属検出装置 | |
| JP2638636B2 (ja) | 真空測定装置 | |
| JPH05249161A (ja) | ジッタ測定装置 | |
| KR940004455A (ko) | 전류벡터에 의한 수동소자값의 연산장치 | |
| JPH03158785A (ja) | 測距装置 | |
| JP2002163599A (ja) | 二乗回路および二乗回路を利用した信号処理回路 | |
| JPS62285021A (ja) | 流速測定装置 | |
| JPH0537221Y2 (ja) | ||
| JPH0324411A (ja) | 角速度検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060725 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090304 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090410 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090807 |