JP2001038533A - 細穴放電加工装置に於けるパイプ電極ガイド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 細穴放電加工での細径のパイプ電極のガイド
装置の中間ガイドが、常に所定位置に位置すると共に、
加工に使用されない無駄な部分を少なくしてパイプ電極
の全長を有効に使用し得るようにする。 【解決手段】 鉛直な案内軸１３１に複数個の案内軸受
１４１〜１４３を摺動可能に嵌合させ、その間に圧縮コ
イルバネ１５１〜１５３を夫々介装し、各案内軸受の下
側には、これに固定された筒状体１６１〜１６３が、上
から順に、上側の筒状体内部に下側筒状体が順次入籠状
態に積層して収納される寸法とし、最上部の筒状体１６
３の下端部に当筒状体を支持する部材１６４の一端部を
固定し、当支持部材の他端部を、先端に電極ホルダ１４
を有する主軸５に回転運動非伝達状態で押圧衝合させ、
その他の筒状体１６２、１６１の下端部に中間ガイド１
７１、１７２を支持する部材１７３、１７４を固定し、
被加工物２の表面近くに先端部ガイド１８１を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、外径がφ１．００
ｍｍ程度以下、通常はφ０．３０ｍｍ前後程度以下、φ
０．０５ｍｍ程度以上の細径で中空円筒状のパイプ電極
を加工用電極として用い、放電加工により、例えばワイ
ヤカット放電加工に於て加工開始時にワイヤ電極を被加
工物に挿通するための加工スタート孔や繊維製造用ノズ
ル等の貫通孔、あるいは底付きの細い穴等を形成する細
穴放電加工装置に於て、前記パイプ電極の加工送りを案
内するガイド装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常このような細穴放電加工装置では、
加工ヘッドに軸方向の移動及び軸を中心とした回転が可
能に設けられた主軸の先端部に電極ホルダ（通常、コレ
ットによりパイプ電極の根元側端部を挟んで締め付け固
定するコレットチャック）を取り付け、該電極ホルダに
パイプ電極を固定保持させてパイプ電極先端を被加工物
に対向させ、回転付与状態のパイプ電極の中空部を通し
て高圧（２０ｋｇ／ｃｍ ^２以上、通常５０〜６０ｋｇ／
ｃｍ^２前後程度またはそれ以上）の加工液を加工部に供
給しながら、パイプ電極と被加工物間に間欠的に電圧パ
ルスを印加して繰り返し放電パルスを発生させると共
に、パイプ電極に軸方向（上下方向）の加工送りを与え
ることによって細穴の穿孔加工が行われる。

【０００３】そして、このような極細のパイプ電極によ
る細深穴の穿孔加工は、電極消耗比が大凡１：１、即ち
約１００％前後またはそれ以上の高消耗条件下で行われ
ることが多いところから、更には、このような高消耗条
件下で、パイプ電極の交換頻度を低減し一本のパイプ電
極でなるべく多数個の加工を可能として加工能率を向上
させるために、パイプ電極は、少なくとも外径の数１０
０倍以上、４００〜５００ｍｍ程度以下、通常１００〜
３５０ｍｍ前後程度の長さに製作仕上げられている。ま
た、パイプ電極の材質は主として銅や銅合金等が多用さ
れている。

【０００４】細穴加工用のパイプ電極はこのように極細
長尺で剛性に乏しく撓みやすく、パイプ電極が撓むと細
穴の加工精度が悪化することから、通常、パイプ電極の
先端部を位置決めして加工送りの案内をなす先端部ガイ
ドを、コラム等から上下位置調整可能に延出させて形成
したアーム等の先端部に設け、この先端部を被加工物の
表面近くに、例えばガイド支持部材を被加工物の表面に
接触させる等して設けるようにしている。しかし、パイ
プ電極には先端開口からの加工液噴出の反作用によるパ
イプ電極を座屈させようとする力が作用し、しかも回転
運動が付与されているため、先端部を案内する先端部ガ
イドだけではパイプ電極の撓みや振れを防止することは
できず、高速度で加工を行う場合は特に撓みや振れを生
じやすい。このため従来から、先端部ガイドと電極ホル
ダとの間に一個または複数個の中間ガイドを上下方向移
動可能に設けてパイプ電極の撓みや振れを防止するよう
にした発明考案が数多く提案されており、一例として特
開平１−２９５７２３号公報に開示された発明を挙げる
ことができる。

【０００５】前記公報には、図５に示すように、被加工
物の表面近くの所定位置に設けた下部支持体１１に先端
部ガイド１２を支持させ、パイプ電極等の細線電極１３
の基部を固定支持する電極ホルダ１４と一緒に加工送り
により下方に移動する上部支持体１５を設け、該上部支
持体１５と前記下部支持体１１との間に圧縮コイルバネ
１６を介装し、上下にガイドされて移動自在な遊動支持
体１７に中間ガイド１８を支持させ、該遊動支持体１７
を前記圧縮コイルバネ１６の途中の部分で支持させるこ
とにより、加工送りが行われても前記中間ガイド１８が
前記上部支持体１５（電極ホルダ）と下部支持体１１
（先端部ガイド）との間を一定の比に分割した所に常に
位置するようにした細線電極ガイド装置が記載されてい
る。

【０００６】そして、該細線電極ガイド装置によれば、
加工送りが行われて電極ホルダ１４と先端部ガイド１２
間の細線電極１３の長さが変化（次第に減少）しても、
中間ガイド１８が常に電極ホルダ１４と先端部ガイド１
２との間を一定の比に分割した所（例えば、分割比１：
１の場合は電極ホルダと先端部ガイド間の中点）に位置
するから、細線電極１３の撓みや振れを前記長さの変化
にかかわらず安定した状態で良好に防止することができ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記細
線電極ガイド装置では、電極ホルダの下方への移動が圧
縮コイルバネの密着高さによって規制され、圧縮コイル
バネの密着高さに応じて細線電極（パイプ電極）の加工
に使用できない長さ部分が生じ、その長さ部分だけパイ
プ電極の使用可能な有効長が短くなり、パイプ電極の全
長を十分有効に使用することができない。叙上の問題点
に鑑み、本発明は、中間ガイドを支持する支持部材の上
下に圧縮コイルバネを介装して、常に中間ガイドが電極
ホルダと先端部ガイドとの間を一定の比に分割した所に
位置するようにすると共に、加工に使用されない無駄な
長さ部分を少なくしてパイプ電極の全長を十分有効に使
用し得るようにしたパイプ電極ガイド装置の提供を目的
とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明のパイプ電極ガイド装置は、案内軸を鉛直に
設け、該案内軸に複数個の案内軸受を摺動可能に嵌合さ
せて配置し、前記案内軸の下端部を支持する部材と最下
部に配置された前記案内軸受との間、及び前記複数個の
案内軸受の隣接する各案内軸受間に圧縮コイルバネを介
装し、前記複数個の各案内軸受の下側に位置する圧縮コ
イルバネを囲繞する下端が開口した筒状体を前記各案内
軸受に固定して設け、且つ前記筒状体の内径を下側に隣
接する筒状体の外径よりも大きい内径に形成して、最上
部に配置された前記案内軸受が下方に摺動して前記圧縮
コイルバネが圧縮されたとき下側の前記案内軸受と筒状
体が上側の筒状体内部に順次積層状態で収納される入籠
構造を形成し、最上部に位置する前記筒状体の下端部に
固定されて該筒状体を支持する支持部材を前記主軸に回
転運動非伝達状態で押圧衝合させ、その他の前記筒状体
の夫々の下端部に中間ガイド支持部材を固定し、該中間
ガイド支持部材に前記パイプ電極を案内する中間ガイド
を支持させ、前記パイプ電極の先端部を位置決めして案
内する先端部ガイドを被加工物の表面近くの加工部位に
配置させて成ることを特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図面に基いて
説明する。図１は中間ガイドを二個設けた本発明の一実
施例装置の正面断面図を、図２は図１に於て電極ホルダ
が下限位置まで下降した状態を示す。図に於て、パイプ
電極ガイド装置１は、下端部支持部材１１１と上端部支
持部材１２１により両端部を支持して鉛直に設けた案内
軸１３１及び補助案内軸１３２と、案内軸１３１に摺動
可能に嵌合させて配置した複数個の案内軸受１４１、１
４２、１４３と、補助案内軸１３２に摺動可能に嵌合さ
せて配置した複数個の補助案内軸受１４４、１４５、１
４６と、下端部支持部材１１１と案内軸受１４１との
間、及び各案内軸受１４１、１４２、１４３の間に介装
した圧縮コイルバネ１５１、１５２、１５３と、各案内
軸受１４１、１４２、１４３の夫々に固定して設けた下
端が開口した筒状体１６１、１６２、１６３と、最上部
の筒状体１６３の下端部に固定されて該筒状体１６３を
支持する筒状体支持部材１６４と、中間ガイド１７１、
１７２を一端部に夫々支持し他端部が夫々筒状体１６
１、１６２の下端部に固定される中間ガイド支持部材１
７３、１７４と、被加工物２の表面近くにまたは該表面
に接触して配置されパイプ電極３の先端部を位置決めし
て案内する先端部ガイド１８１と、コラムの下部前面側
等に突出して且つ上下位置調整可能に設けられて先端部
に前記先端部ガイド１８１を支持する先端部ガイド支持
部材１８２と、筒状体１６１、１６２、１６３の夫々の
下端部と各補助案内軸受１４４、１４５、１４６とを接
続する連結部材１９１、１９２、１９３とから構成され
ており、通常、圧縮コイルバネとして円筒コイルバネが
用いられる。

【００１０】また、先端部ガイド支持部材１８２はガイ
ド装置１の取付固定部を兼ねており、一端部が下端部支
持部材１１１に固定されたガイド装置支持部材１０１の
他端部を先端部ガイド支持部材１８２の凹部１８２１に
嵌合させる等してガイド装置１が所定位置に位置決め固
定される。１０１１と１８２２はガイド装置支持部材１
０１と先端部ガイド支持部材１８２に夫々形成したパイ
プ電極３が挿通する貫通孔であり、先端部ガイド１８１
は該貫通孔１０１１及び１８２２の下側にほぼ同芯に位
置決め配置される。

【００１１】また、４は細穴放電加工機のコラム等に設
けた加工ヘッド、５はモータ５１により軸方向に移動し
モータ５２により内包スピンドルが軸を中心として回転
するように加工ヘッド４に支持させて鉛直に設けた主
軸、６は該主軸５の先端部に取り付けた電極ホルダ、７
は筒状体支持部材１６４に形成した取付穴１６４１に嵌
設固定されたラジアル軸受、８は該ラジアル軸受７の内
輪に固定された円筒状結合部材であり、該円筒状結合部
材８に電極ホルダ６の先端部がホルダ６側の雄ねじと結
合部材８側の雌ねじとの螺合、あるいはキーとキー溝等
により結合されており、主軸５は前記圧縮コイルバネの
弾発力により上方に押圧される筒状体支持部材１６４に
電極ホルダ６を介して回転運動非伝達状態で押圧衝合す
る態様で結合する。１６４２は支持部材１６４に形成し
たパイプ電極３が挿通する貫通孔である。

【００１２】各筒状体１６１、１６２、１６３は、夫々
の筒状体の下側に位置する圧縮コイルバネ１５１、１５
２、１５３を内部に収納して囲繞する態様に設けられ、
且つ筒状体の内径が下側に隣接する筒状体の外径よりも
大きい内径に形成されて、加工送り等により筒状体支持
部材１６４が主軸５及び電極ホルダ６に押し下げられて
下方に移動し、案内軸受１４３が案内軸１３１に案内さ
れ下方に摺動して各圧縮コイルバネ１５１、１５２、１
５３が圧縮されたとき、図２に示すように、最上部の筒
状体１６３の内部１６３１に下側の各案内軸受１４１、
１４２と各筒状体１６１、１６２が順次積層状態で収納
される入籠構造を形成しており、電極ホルダ６が下降し
得る下限位置まで下降したとき、先端部ガイド支持部材
１８２、各中間ガイド支持部材１７３、１７４、及び筒
状体支持部材１６４の各支持部材が略当接状態または小
さな隙間を介した近接状態となるように構成される。従
って、最上部の筒状体１６３は中空部１６３１の上下長
が案内軸受１４２と筒状体１６２部分の上下長に圧縮コ
イルバネ１５３の密着高さを加えた長さ以上に形成さ
れ、また筒状体１６２は中空部１６２１の上下長が案内
軸受１４１と筒状体１６１部分の上下長に圧縮コイルバ
ネ１５２の密着高さを加えた長さ以上に形成される。つ
まり、各筒状体の中空部の上下長は、上側の筒状体ほど
圧縮コイルバネの密着高さ分だけ順次長く形成されるこ
とになる。

【００１３】また、この実施例では、圧縮時の圧縮コイ
ルバネ１５１を筒状体１６１の中空部１６１１と下端部
支持部材１１１に形成した凹部１１１１により収納する
ようにしているから、筒状体１６１の上下長を小さくす
ることができ、延いては筒状体１６２及び１６３の上下
長も小さく構成することができる。また、筒状体１６１
は、必要に応じて、開口下端部を中間ガイド支持部材１
７３の下面よりも微小長さ突出させて形成し、下限位置
まで下降したとき、該突出部が前記凹部１１１１に嵌挿
結合して安定するように構成しても良い。

【００１４】また、補助案内軸１３２、補助案内軸受１
４４、１４５、１４６、及び連結部材１９１、１９２、
１９３は、案内軸受１４１、１４２、１４３の摺動を安
定して円滑に行わせるために設けたものであり、必須で
はないが設けることが望ましい。また、電極ホルダ６が
加工送りに従って下方に移動するとき、筒状体支持部材
１６４を介して案内軸受１４３には力のモーメントが作
用するから、該案内軸受１４３の摺動を円滑に行わせる
ように案内軸受１４３の上下長は比較的長尺に形成され
ている。一方、下側の案内軸受１４１及び１４２には、
圧縮コイルバネの弾発力による軸方向の力が作用するか
ら、案内軸受１４３のように長尺に形成する必要はな
い。

【００１５】また、案内軸１３１が円柱状の場合は、各
案内軸受１４１、１４２、１４３の軸回りの回転を防止
するために、各案内軸受１４１、１４２、１４３と案内
軸１３１とにキーとキー溝等の回転抑止機構を設ける
が、案内軸１３１が断面四角等の多角柱形状の場合はそ
の必要がない。

【００１６】以上の構成により、被加工物２の板厚に応
じ、先端部ガイド支持部材１８２の上下位置を調整し
て、先端部ガイド１８１を被加工物２の表面近くの所定
位置に配置すると共にガイド装置１の上下位置を位置決
めし、電極ホルダ６に取付けられて各中間ガイド１７
１、１７２及び先端部ガイド１８１を挿通するパイプ電
極３の先端を被加工物２に対向させる。なお、この際、
下端部支持部材１１１を被加工物２の表面や載物台の表
面に接触載置してガイド装置１の上下位置を位置決めす
るようにしても良い。次いで、モータ５２によりパイプ
電極３を回転させると共に、主軸５内部を介してパイプ
電極３の中空部に連通する加工液供給口５３から高圧の
加工液（水、水系、油）を供給して、パイプ電極３先端
から加工液を噴出させ、加工電源９の出力を電極ホルダ
６に摺接する通電ブラシ９１と被加工物２に接続して、
パイプ電極３と被加工物２間に間欠的に電圧パルスを印
加して繰り返し放電パルスを発生させながら、モータ５
１により主軸５（パイプ電極３）に加工送りを与えて細
穴の放電加工が行われる。

【００１７】加工の進行に応じて、またパイプ電極３の
消耗に応じて、電極ホルダ６が下方に送られると、筒状
体支持部材１６４に下方への力が働き、案内軸受１４３
が下方に摺動して各圧縮コイルバネ１５１、１５２、１
５３が圧縮され、先端部ガイド支持部材１８２、各中間
ガイド支持部材１７３、１７４、筒状体支持部材１６４
の隣接部材間の夫々の間隔が次第に狭まり、電極ホルダ
６が下限位置まで下降したとき、既述のとおり図２の状
態となるから、パイプ電極３の加工に使用できない長さ
部分を前記各支持部材１８２、１７３、１７４、及び１
６４の各厚さを合計した長さ程度として、パイプ電極３
の略全長を無駄なく有効に加工に使用することができ
る。

【００１８】なお、例えば筒状体１６２の下端部への中
間ガイド支持部材１７４の実際の取付け固定は、図３に
示すように、筒状体１６２の下端に厚さ２ｍｍ程度のフ
ランジ１６２２と環状溝１６２３を形成し、止めリング
１６２４を該環状溝１６２３に嵌着することにより支持
部材１７４をフランジ１６２２の上面に固定するように
しており、このため電極ホルダ６が下限位置まで下降し
たとき、前記各支持部材１０１、１７３、１７４、及び
１６４間に夫々フランジの厚さ２ｍｍ程度の隙間が形成
される。また、各筒状体１６１、１６２、１６３及び前
記各支持部材１７３、１７４、１６４を合成樹脂による
成形品として、接着剤により接着固定するようにしても
良い。また、合成樹脂成形品とすれば、軽量に構成する
ことができる。

【００１９】そして、電極ホルダ６が次第に下降して行
く過程に於て、各中間ガイド１７１、１７２を支持する
各案内軸受１４１、１４２は、上下動自在であるから常
に上側と下側の各圧縮コイルバネの弾発力が平衡する位
置に位置する。従って、各圧縮コイルバネ１５１、１５
２、１５３としてバネ定数が等しく自由高さ（無荷重状
態でのバネの高さ）が同じものを用いれば、電極ホルダ
６の上下位置に拘りなく各バネ１５１、１５２、１５３
の高さ（上下長）が常に等しくなるから、各中間ガイド
１７１、１７２が先端部ガイド１８１と電極ホルダ６間
を常に等しく３分割する位置に位置することになり、電
極ホルダ６が次第に下降しても電極ホルダ６と先端部ガ
イド１８１間のパイプ電極３を常に３等分する二箇所で
案内（水平方向位置規制）することができ、パイプ電極
３の撓みや振れを安定して防止することができる。

【００２０】また、材質が同じで直径の等しいバネ素線
から形成したコイル平均直径及びピッチが同じ円筒コイ
ルバネの場合、有効巻き数とバネ定数が反比例関係にあ
るから、正確には両端の座巻き数を考慮する必要がある
が、円筒コイルバネの自由高さとバネ定数は略反比例す
ると考えて良い。従って、各圧縮コイルバネ１５１、１
５２、１５３として、自由高さが所定の比の関係にある
円筒コイルバネを用いれば、電極ホルダ６の上下位置に
拘りなく、各円筒コイルバネ１５１、１５２、１５３の
高さ（上下長）が常に前記所定の比に保たれるから、各
中間ガイド１７１、１７２が先端部ガイド１８１と電極
ホルダ６間を常に前記所定の比で３分割する位置に位置
することになり、電極ホルダ６が次第に下降しても電極
ホルダ６と先端部ガイド１８１間のパイプ電極３を常に
前記所定の比で３分割する二箇所で案内（水平方向位置
規制）して、パイプ電極３の撓みや振れを安定して防止
することができる。

【００２１】図４は、中間ガイドを三個設けた本発明の
他の実施例装置を示し、図１と同一符号部分は同じ構成
部材を示す。図４の実施例装置は、中間ガイド１７１と
１７２の他に更に中間ガイド１７５を設けるため、図１
の構成に案内軸受１４７、圧縮コイルバネ１５４、筒状
体１６６、中間ガイド１７５を支持する中間ガイド支持
部材１７６、補助案内軸受１４８、及び連結部材１９４
を付加しており、使用する圧縮コイルバネを適宜選定す
ることにより、電極ホルダ６と先端部ガイド１８１間の
パイプ電極３を常に所定の比で４分割する三箇所（分割
比が１：１：１：１の場合は４等分する三箇所）で案内
するように構成され、４等分する三箇所で案内すれば、
中央の中間ガイド１７２により、パイプ電極３に振れや
撓みを生じやすい電極ホルダ６と先端部ガイド１８１間
の中点を常に案内することができ、パイプ電極３の撓み
や振れを安定して防止することができる。

【００２２】

【発明の効果】このように、本発明によれば、電極ホル
ダの上下位置に拘りなく、該電極ホルダと先端部ガイド
との間を常に所定の比に分割する箇所に中間ガイドを位
置させ、パイプ電極を撓みや振れを生じさせることなく
安定して円滑に案内して、細穴放電加工を精度良く行う
ことができ、且つ加工に使用されない無駄な長さ部分を
少なくしてパイプ電極の全長を十分有効に使用すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例装置の正面断面図。

【図２】図１に於て電極ホルダが下限位置まで下降した
状態を示す正面断面図。

【図３】中間ガイド支持部材と筒状体との取付け固定構
造の一例を示す正面断面図。

【図４】本発明の他の実施例装置の正面断面図。

【図５】従来のガイド装置を示す正面断面図。

【符号の説明】

１１ ： 下部支持体 １２ ： 先端部ガイド １３ ： 細線電極 １４ ： 電極ホルダ １５ ： 上部支持体 １６ ： 圧縮コイルバネ １７ ： 遊動支持体 １８ ： 中間ガイド １ ： パイプ電極ガイド装置 １０１ ： ガイド装置支持部材 １０１１： 貫通孔 １１１ ： 下端部支持部材 １１１１： 凹部 １２１ ： 上端部支持部材 １３１ ： 案内軸 １３２ ： 補助案内軸 １４１、１４２、１４３、１４７： 案内軸受 １４４、１４５、１４６、１４８： 補助案内軸受 １５１、１５２、１５３、１５４： 圧縮コイルバネ １６１、１６２、１６３、１６６： 筒状体 １６１１、１６２１、１６３１、１６６１： 中空部 １６２２： フランジ １６２３： 環状溝 １６２４： 止めリング １６４ ： 筒状体支持部材 １６４１： 取付穴 １６４２： 貫通孔 １７１、１７２、１７５： 中間ガイド １７３、１７４、１７６： 中間ガイド支持部材 １８１ ： 先端部ガイド １８２ ： 先端部ガイド支持部材 １８２１： 凹部 １８２２： 貫通孔 １９１、１９２、１９３、１９４： 連結部材 ２ ： 被加工物 ３ ： パイプ電極 ４ ： 加工ヘッド ５ ： 主軸 ５１、５２： モータ ５３ ： 加工液供給口 ６ ： 電極ホルダ ７ ： ラジアル軸受 ８ ： 円筒状結合部材 ９ ： 加工電源 ９１ ： 通電ブラシ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工ヘッドに軸方向の移動及び軸を中心
   とした回転が可能に鉛直に設けた主軸の先端部に電極ホ
   ルダを取り付け、該電極ホルダに細径で中空円筒状のパ
   イプ電極を固定保持させて該パイプ電極先端を被加工物
   に対向させ、回転付与状態のパイプ電極の中空部を通し
   て高圧の加工液を加工部に供給しながら、パイプ電極と
   被加工物間に間欠的に電圧パルスを印加して繰り返し放
   電パルスを発生させると共に、パイプ電極に上下方向の
   加工送りを与えて細穴の穿孔加工を行う細穴放電加工装
   置に於て、前記パイプ電極の加工送りを案内するパイプ
   電極ガイド装置であって、案内軸を鉛直に設け、該案内
   軸に複数個の案内軸受を摺動可能に嵌合させて配置し、
   前記案内軸の下端部を支持する部材と最下部に配置され
   た前記案内軸受との間、及び前記複数個の案内軸受の隣
   接する各案内軸受間に圧縮コイルバネを介装し、前記複
   数個の各案内軸受の下側に位置する圧縮コイルバネを囲
   繞する下端が開口した筒状体を前記各案内軸受に固定し
   て設け、且つ前記筒状体の内径を下側に隣接する筒状体
   の外径よりも大きい内径に形成して、最上部に配置され
   た前記案内軸受が下方に摺動して前記圧縮コイルバネが
   圧縮されたとき下側の前記案内軸受と筒状体が上側の筒
   状体内部に順次積層状態で収納される入籠構造を形成
   し、最上部に位置する前記筒状体の下端部に固定されて
   該筒状体を支持する支持部材を前記主軸に回転運動非伝
   達状態で押圧衝合させ、その他の前記筒状体の夫々の下
   端部に中間ガイド支持部材を固定し、該中間ガイド支持
   部材に前記パイプ電極を案内する中間ガイドを支持さ
   せ、前記パイプ電極の先端部を位置決めして案内する先
   端部ガイドを被加工物の表面近くの加工部位に配置させ
   て成ることを特徴とする細穴放電加工装置に於けるパイ
   プ電極ガイド装置。