KR101434353B1

KR101434353B1 - 미세 전극 척킹장치

Info

Publication number: KR101434353B1
Application number: KR1020140032021A
Authority: KR
Inventors: 고성봉
Original assignee: (주)케이.티.씨
Priority date: 2014-03-19
Filing date: 2014-03-19
Publication date: 2014-08-29

Abstract

본 발명은 미세 전극 척킹장치에 관한 것으로, 아답터(10)가 미세전극(110)에 가공액과 전기를 공급하기 위해 스핀들 장치(120)에 연결되고, 전극 씰(20)이 아답터(10)에 의해 셔터 지지체(40)의 상부원통(41)에 삽입되어 고정되고, 셔터 지지체(40)는 상부원통(41)과 하부원통(42)으로 구성되고 상부원통(41)에 아답터(10)와 전극씰(20)이 삽입되어 고정되고, 하부원통(42)에 삽입되는 셔터(50)가 다수의 척킹조(70)를 눌러 상기 미세전극(110)을 척킹하도록 지지한다. 셔터(50)는 셔터 지지체(40)에 삽입되어 다수의 척킹조(70)를 눌러서 미세전극(110)을 척킹하도록 하고, 스프링(60)은 셔터(50)에 탄성력을 가하여 하강 위치에서 척킹상태를 유지하게 하고, 상,하부 볼(81, 82)이 셔터 지지체(40)의 상,하부 볼구멍(43, 44)에 삽입되어 상기 셔터(50)의 하강 위치에서 상기 다수의 척킹조(70)를 압박하여 상기 미세전극(110)을 척킹하게 하도록 함으로써 미세전극의 찌그러짐을 방지하고 조임과 풀림이 원터치 방식으로 이루어지게 하여 별도의 공구없이 조임과 풀림이 원터치방식으로 이루어져 미세전극의 교체에 따른 비용을 절감하는 효과가 있다.

Description

미세 전극 척킹장치{small hole electric discharging machine}

본 발명은 미세 전극 척킹장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 미세 전극의 척킹이 용이하도록 곡면을 갖는 3개의 척킹조를 사용하여 각각 120°각도를 이루며 스프링 탄성력으로 원터치 방식으로 조여주어 미세전극의 찌그러짐을 방지하고 조임과 풀림이 원터치 방식으로 이루어지게 하는 미세 전극 척킹장치에 관한 것이다.

가공물 침전타입의 세혈방전가공장치는 가는 파이프의 형상으로 형성되는 가공전극봉에 가공액을 고압으로 통과시키면서 초경합금과 담금질한 고속도강 및 내열강 등과 같이 경도가 매우 높은 시료(재료)에 세혈(미세한 구멍)을 뚫어줄 때에 사용되는 장치이다.

경도가 매우 높은 시료에 세혈(細穴)을 뚫어줄 때에 사용되는 종래의 세혈 방전가공장치로서는 본 출원인에 의해 개발되어 선출원된 특허등록 제10-346557호의 "헤드부의 위치변환이 자유로운 미세심공 방전가공기"와 특허등록 제10-564150호의 "공작물 표면가공정도 향상 CNC 세혈방전가공기" 및 특허등록 제10-564159호의 "공작물 표면가공정도 향상 CNC 세혈방전가공기" 및 특허등록 제10-571025호의 "방전가공장치"가 공개되어 있다.

이들 기존의 세혈 방전 가공기에서 미세전극이라함은 통상 Ø 0.1㎜ 이하를 말하며 현재까지는 드릴척에 의해 척킹하였으나 도 1에 도시된 바와 같이 드릴척 조(Jaw; 1)의 선단부가 뾰족하여 Ø 0.1㎜ 이하의 전극(2)을 조이기에 매우 부적합하고, 전극(2)을 드릴척에 잠글 경우 3개의 드릴척 조(1)의 사이로 전극(2)이 빠져나갈 수 있다.

또한, 동 재질로 제작된 미세전극을 고정할 경우 미세전극의 파이프 내경이 매우 적어 고도한 조임으로 인하여 파이프 내경이 막히거나 찌그러져 미세전극의 파이프에서 가공액이 적절한 량으로 공급되지 못하여 가공속도가 저하되거나, 전극이 과열되어 미세전극의 방전가공이 이루어지지 않는 문제가 발생하였다.

따라서 본 발명의 목적은 파이프 내경이 적은 미세전극을 척킹하여 조이기 적합하도록 다수의 척킹조(JAW)로 다수의 각도에서 조여주어 미세전극이 구부러지지 않고 파이프 내경이 막히거나 찌그러지지 않도록 할 수 있는 미세전극 척킹장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 다수의 척킹조(JAW)를 스프링 등의 탄성장치로 동작시켜 항상 일정한 힘으로 척킹하고 별도의 조임공구의 사용없이 원터치로 조임과 풀림이 용이하게 이루어지고, 미세전극과 척킹조가 맞닿는 부분을 원형으로 구성하여 전극의 찌그러짐을 방지하는 미세전극 척킹장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 미세 전극 척킹장치는 미세전극에 가공액과 전기를 공급하기 위해 스핀들 장치에 결합되는 아답터와; 상기 아답터에 의해 셔터 지지체에 삽입되어 고정되고 상기 스핀들 장치에서 공급되는 가공액이 새는 것을 방지하는 전극 씰과; 상기 전극 씰을 보호하는 전극 씰 케이스와; 상부원통과 하부원통으로 구성되고 상기 상부원통에 아답터와 전극씰이 삽입되어 고정되고, 상기 하부원통에 삽입되는 셔터가 다수의 척킹조를 눌러 상기 미세전극을 척킹하도록 지지하는 셔터 지지체와; 상기 셔터 지지체에 삽입되어 다수의 척킹조를 눌러서 미세전극을 척킹하도록 하는 셔터와; 상기 셔터에 탄성력을 가하여 하강 위치에서 척킹상태를 유지하게 하는 스프링과; 상기 셔터 지지체의 상,하부 볼구멍에 삽입되어 상기 셔터의 하강 위치에서 상기 다수의 척킹조를 압박하여 상기 미세전극을 척킹하게 하는 상,하부 볼과; 상기 다수의 척킹조가 빠지지 않도록 지지하는 지지마개를 포함하여 구성된다.

본 발명의 바람직한 특징에 따르면, 상기 셔터 지지체는 지름이 큰 상부 원통과 지름이 작은 하부 원통이 일체로 합쳐진 형태로 형성되고, 셔터 지지체의 하부 원통의 외주면은 하단부로 갈수록 좁아지게 테이퍼상으로 형성되어 있으며, 중간부에 상부 볼이 삽입되는 상부 볼구멍과 하부볼이 삽입되는 하부 볼구멍이 다수개가 형성되며 상부 및 하부 각 볼구멍은 서로 120°의 각을 이루고 형성되어 상기 하부 원통에 삽입되는 다수의 척킹조를 상기 상부 볼과 하부볼이 눌러 미세전극을 척킹하도록 하는 셔터를 지지하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 더 바람직한 특징에 따르면, 상기 셔터 지지체의 하부 원통관의 내부에는 다수의 척킹조가 삽입되어 끼워지는 척킹조 삽입홈이 서로 120°의 각을 이루며 형성되어 있고, 상기 척킹조 삽입홈이 형성되는 부분에 맞추어서 하부 원통관의 외주면에 맞추어서 상부 볼구멍과 하부 볼구멍이 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 더욱 바람직한 특징에 따르면, 상기 다수의 척킹조 삽입홈 사이에는 다수의 척킹조 가이드가 돌출되어 다수의 척킹조가 다수의 척킹조 가이드에 의해 가이드되어 삽입되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 더욱 바람직한 특징에 따르면, 상기 척킹조는 3개가 1조로 구성되며, 원기둥의 좌,우측면을 자른 형태로 형성되어 전면과 후면은 볼록한 형태이고 나머지 좌,우측면은 편평한 형태로 형성되고, 상기 척킹조의 윗면과 밑면에는 한쌍의 오링이 각각 삽입되는 상부 오링 홈과 하부 오링홈이 형성되고, 척킹조의 전면에는 빗살무늬 형태의 다수의 슬릿 빗살과 슬릿 홈이 일정한 간격으로 반복되며 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 특징에 의하면 상기 슬릿 빗살의 두께 t1보다 큰 일정한 간격 d1 으로 슬릿 홈이 형성되어 상기 척킹조는 각각 다른 2개의 척킹조의 슬릿 홈에 슬릿 빗살이 교대로 삽입되어 슬릿 빗살이 맞물리면서 3개의 척킹조가 3 방향에서 상기 미세전극을 조이게 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 더욱 바람직한 특징에 따르면, 상기 각 척킹조의 윗면과 밑면에 형성된 오링홈에 각각 오링이 삽입되어 삼각형 모양을 형성하고, 상기 각 오링은 원래의 원의 모양으로 복귀하려는 복원력을 각 척킹조에 가하게 되어 각 척킹조는 셔터 지지체의 하부 원통 중심에서 밖으로 향하는 힘을 받게 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 더욱 바람직한 특징에 따르면, 상기 상부볼과 하부볼이 각 척킹조를 중심을 향하여 밀어줌으로써 3개의 척킹조들이 그들 중심에 미세전극을 조이게 되어 척킹상태를 유지하게 되고, 상기 셔터를 위로 올려 스프링을 압축시키게 되면 상기 셔터에 의해 눌려지던 상부볼과 하부볼이 셔터의 내부 경사면에 의해 압박이 풀려지면서 각 척킹조는 한쌍의 오링의 반지름 방향 복원력에 의해 벌어지게 되어 상기 미세전극을 척킹상태에서 풀어주게 되는 것을 특징으로 한다.

이상에서와 같은 본 발명에 따른 미세 전극 척킹장치에 따르면 미세 전극의 척킹이 용이하도록 곡면을 갖는 3개의 척킹조를 사용하여 각각 120°각도를 이루며 스프링 탄성력으로 원터치 방식으로 조여주어 미세전극의 찌그러짐을 방지하고 조임과 풀림이 원터치 방식으로 이루어지게 하여 별도의 공구없이 조임과 풀림이 원터치방식으로 이루어져 미세전극의 교체에 따른 비용을 절감하는 효과가 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 세혈방전가공기의 전극 척킹장치의 척킹조가 미세전극을 척킹하는 상태를 나타내는 설명도.
도 2는 본 발명에 의한 미세전극 척킹장치의 구성을 나타내는 분해 사시도,
도 3a와 도 3b는 본 발명에 의한 셔터 지지체의 내부를 밑에서 바라본 사시도와 세워져 있는 상태를 나타내는 사시도,
도 4a 내지 도 4c에 본 발명에 의한 척킹조의 사시도와 측면도 및 평면도,
도 5a 와 도 5b는 본 발명에 의한 척킹조 3개가 맞물려서 3 방향에서 미세전극을 조이는 상태를 나타내는 사시도와 평면도,
도 6a 및 도 6b는 본 발명에 의한 셔터와 셔터 지지체가 미세전극을 척킹하고 푸는 상태를 나타내기 위해 중심축을 따라 종방향으로 자른 단면도이다.

이하에는 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하되, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.

도 2에 본 발명에 의한 미세전극 척킹장치의 구성을 나타내는 분해 사시도가 도시된다.

본 발명에 의한 미세전극 척킹장치(100)는 미세전극(110)에 가공액과 전기를 공급하기 위해 스핀들 장치에 결합되는 아답터(10)와; 상기 아답터(10)에 의해 셔터 지지체(40)의 상부원통(41)에 삽입되어 고정되고 상기 스핀들 장치에서 공급되는 가공액이 새는 것을 방지하는 전극 씰(20)과; 상기 전극 씰(20)을 보호하는 전극 씰 케이스(30)와; 상부원통(41)과 하부원통(42)으로 구성되고 상기 상부원통(41)에 아답터(10)와 전극씰(20)이 삽입되어 고정되고, 상기 하부원통(42)에 삽입되는 셔터(50)가 다수의 척킹조(70)를 눌러 상기 미세전극(110)을 척킹하도록 지지하는 셔터 지지체(40)와; 상기 셔터 지지체(40)에 삽입되어 다수의 척킹조(70)를 눌러서 미세전극(110)을 척킹하도록 하는 셔터(50)와; 상기 셔터(50)에 탄성력을 가하여 하강 위치에서 척킹상태를 유지하게 하는 스프링(60)과; 상기 셔터 지지체(40)의 상,하부 볼구멍(43, 44)에 삽입되어 상기 셔터(50)의 하강 위치에서 상기 다수의 척킹조(70)를 압박하여 상기 미세전극(110)을 척킹하게 하는 상,하부 볼(81, 82)과; 상기 다수의 척킹조(70)가 빠지지 않도록 지지하는 지지마개(55)를 포함하여 구성된다.

여기서 설명안된 부호 "21"은 전극씰(20)과 아답터(10) 및 전극씰 케이스(30) 사이에 개재되어 마찰을 방지하는 스페이서이다.

본 발명에 의한 아답터(10)는 스핀들장치에 결합되어 가공액 공급호스를 통해 공급되는 가공액을 미세전극(110)에 공급하고, 통전 케이블에서 공급되는 전기를 상기 전극 씰(20)에 연결하고 전극 씰 케이스(30)에 상기 전극 씰(20)을 삽입하여 고정시킨다.

전극 씰(20)은 전극 씰 케이스(30)에 삽입되어 상기 아답터(10)에 의해 압박되어 전극 씰 케이스(30)에 밀착됨으로써 스핀들에서 공급되는 냉각수가 새는 것을 방지한다.

전극 씰 케이스(30)는 상기 아답터(10)와 사이에 전극 씰(20)이 개재되도록 상기 아답터(10)와 나사 결합되고, 셔터 지지체(40)에 삽입되어 외주면에 형성된 나사에 의해 셔터 지지체(40)에 결합된다.

도 3a와 도 3b에 본 발명에 의한 셔터 지지체의 내부를 밑에서 바라본 사시도와 세워져 있는 상태를 나타내는 사시도가 도시된다.

셔터 지지체(40)는 지름이 큰 상부 원통(41)과 지름이 작은 하부 원통(42)이 일체로 합쳐진 형태로 형성되고, 상부 원통(41)과 하부 원통(42)의 내부에 나사가 형성된다.

상부 원통(41)의 내부에 형성된 나사에는 아답터(10)의 외주면에 형성된 나사가 결합되고, 하부 원통(42)의 내부에 형성된 나사에는 전극 씰 케이스(30)의 외주면에 형성된 나사가 결합된다.

셔터 지지체(40)의 하부 원통(42)의 외주면은 하단부로 갈수록 좁아지게 테이퍼상으로 형성되어 있으며, 중간부에 상부 볼(81)이 삽입되는 상부 볼구멍(43)과 하부볼(82)이 삽입되는 하부 볼구멍(44)이 상부 3개 그리고 하부 3개 합계 6개가 형성되며 상부 및 하부 각 볼구멍은 서로 120°의 각을 이루고 형성된다.

셔터 지지체(40)의 하부 원통(42)의 내부에는 3개의 척킹조(70)가 삽입되어 끼워지는 척킹조 삽입홈(45)이 서로 120°의 각을 이루며 3개가 형성되어 있고, 상기 척킹조 삽입홈(45)이 형성되는 부분에 맞추어서 하부 원통(42)의 외주면에 맞추어서 상부 볼구멍(43)과 하부 볼구멍(44)이 각각 3개 형성된다.

또한 3개의 척킹조 삽입홈(45) 사이에는 3개의 척킹조 가이드(46)가 돌출되어 3개의 척킹조(70)가 3개의 척킹조 가이드(46)에 의해 가이드되어 삽입되고 하부 원통(42)의 내부 하단부에 형성된 나사에 척킹조 마개(55)가 결합되어 3개의 척킹조(70)가 하부 원통(42)에서 이탈하지 않도록 한다.

3개의 척킹조(70)가 상기 척킹조 삽입홈(45)에 삽입되면 각각 상부 볼구멍(43)과 하부 볼구멍(44)에 삽입된 상부 볼(81)과 하부볼(82)이 3개의 척킹조(70)를 각각 밀어주어 하부 원통(42)의 중심을 향하여 밀어주어 3개의 척킹조(70)는 서로 조여짐으로써 그 사이에 미세전극(110)이 척킹된다.

도 4a 내지 도 4c에 본 발명에 의한 척킹조의 사시도와 측면도 및 평면도가 도시된다.

본 발명에 의한 척킹조(70)는 3개가 1조로 구성되며, 원기둥의 좌,우측면을 자른 형태로 형성되어 전면과 후면은 볼록한 형태이고 나머지 좌,우측면은 편평한 형태로 형성된다.

또한 각 척킹조(70)의 윗면과 밑면에는 한쌍의 오링(65)이 각각 삽입되는 상부 오링 홈(71)과 하부 오링홈(72)이 형성되고, 척킹조(70)의 전면(73)에는 빗살무늬 형태의 다수의 슬릿 빗살(73a)과 슬릿 홈(73b)이 일정한 간격으로 반복되며 형성된다.

다시 말하면 슬릿 빗살(73a)의 두께 t1보다 큰 일정한 간격 d1 으로 슬릿 홈(73b)이 형성되어 3개의 척킹조(70)는 각각 다른 2개의 척킹조(70)의 슬릿 홈(73b)에 슬릿 빗살(73a)이 교대로 삽입되어 슬릿 빗살(73a)이 맞물리면서 3개의 척킹조(70)가 3 방향에서 미세전극(110)을 조이게 된다.

도 5a 와 도 5b에 본 발명에 의한 척킹조 3개가 맞물려서 3 방향에서 미세전극을 조이는 상태를 나타내는 사시도와 평면도가 도시되고, 도 6a 및 도 6b에 본 발명에 의한 셔터와 셔터 지지체가 미세전극을 척킹하고 푸는 상태를 나타내기 위해 중심축을 따라 종방향으로 자른 단면도가 도시된다.

본 발명에 의한 척킹조(70)는 3개가 셔터 지지체(40)의 내부에 형성된 3개의 척킹조 삽입홈(45)에 삽입되어 도 5a에 도시된 바와 같이 삽입되어 설치되고 3개의 척킹조 삽입홈(45) 사이에는 3개의 척킹조 가이드(46)가 돌출되어 3개의 척킹조(70)가 각각 3개의 척킹조 가이드(46) 사이에 삽입된다.

각 척킹조(70)의 윗면과 밑면에 형성된 상부 오링 홈(71)과 하부 오링홈(72)에 각각 오링(65)이 삽입되어 삼각형 모양을 형성한다. 한쌍의 오링(65)은 원형으로 형성되는데 3개의 척킹조(70)의 상부 오링 홈(71)과 하부 오링홈(72)은 정삼각형의 한변의 일부를 이루고 있기 때문에, 오링(65)이 3개의 척킹조(70)의 상부 오링 홈(71)과 하부 오링홈(72)에 삽입되면 삼각형 모양으로 된다.

따라서 상부 오링 홈(71)과 하부 오링홈(72)에 삽입된 한쌍의 오링(65)은 원래의 원의 모양으로 복귀하려는 복원력을 각 척킹조(70)에 가하게 된다. 이때 각 척킹조(70)는 3개의 척킹조 가이드(46) 사이에 삽입되어 있으므로 셔터 지지체(40)의 하부 원통(42) 중심에서 밖으로 향하는 힘을 받게 된다.

즉 각 척킹조(70)는 한쌍의 오링(65)에 의해 반지름 방향으로 벌어지려는 복원력을 받게 되지만 도 6a에 도시된 바와 같이 상부볼(81)과 하부볼(82)이 각 척킹조(70)를 중심을 향하여 밀어줌으로써 3개의 척킹조(70)들이 도 5b에 도시된 바와 같이 그들 중심에 미세전극(110)을 조이게 되어 척킹상태를 유지하게 된다.

도 6b에 도시된 바와 같이 스프링(60)을 압축시켜 셔터(50)를 위로 올리게 되면 셔터(50)에 의해 눌려지던 상부볼(81)과 하부볼(82)이 셔터(50)의 내부 경사면에 의해 압박이 풀려지면서 각 척킹조(70)는 한쌍의 오링(65)의 반지름 방향 복원력에 의해 벌어지게 되고 이때 미세 전극(110)을 조이던 3개의 척킹조(70)는 각각 다른 2개의 척킹조(70)의 슬릿 홈(73b)에서 슬릿 빗살(73a)이 빠지면서 3개의 척킹조(70)가 미세전극(110)을 풀어주게 됨으로써 미세전극(110)은 척킹상태에서 풀어지게된다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경을 형성하는 기술사상에 대한 것인 한 청구 범위 기재의 범위내에 있게 된다.

10: 아답터 20: 전극 씰
30: 전극 씰 케이스 40: 셔터 지지체
41: 상부 원통 42: 하부 원통
43: 상부 볼구멍 44: 하부 볼 구멍
45: 척킹조 삽입홈 46: 척킹조 가이드
50: 셔터 60: 스프링
70: 척킹조 71: 상부 오링 홈
72: 하부 오링홈 73:전면
73a: 슬릿 빗살 73b: 슬릿 홈
81: 상부볼 82: 하부볼

Claims

미세전극에 가공액과 전기를 공급하기 위해 스핀들 장치에 결합되는 아답터와;
상기 아답터에 의해 셔터 지지체에 삽입되어 고정되고 상기 스핀들 장치에서 공급되는 가공액이 새는 것을 방지하는 전극 씰과;
상기 전극 씰을 보호하는 전극 씰 케이스와;
상부원통과 하부원통으로 구성되고 상기 상부원통에 아답터와 전극씰이 삽입되어 고정되고, 상기 하부원통에 삽입되는 셔터가 다수의 척킹조를 눌러 상기 미세전극을 척킹하도록 지지하는 셔터 지지체와;
상기 셔터 지지체에 삽입되어 다수의 척킹조를 눌러서 미세전극을 척킹하도록 하는 셔터와;
상기 셔터에 탄성력을 가하여 하강 위치에서 척킹상태를 유지하게 하는 스프링과;
상기 셔터 지지체의 상,하부 볼구멍에 삽입되어 상기 셔터의 하강 위치에서 상기 다수의 척킹조를 압박하여 상기 미세전극을 척킹하게 하는 상,하부 볼과;
상기 다수의 척킹조가 빠지지 않도록 지지하는 지지마개를 포함하여 구성되는 미세전극 척킹장치.
제 1 항에 있어서,
상기 셔터 지지체는 지름이 큰 상부 원통과 지름이 작은 하부 원통이 일체로 합쳐진 형태로 형성되고, 셔터 지지체의 하부 원통의 외주면은 하단부로 갈수록 좁아지게 테이퍼상으로 형성되어 있으며, 중간부에 상부 볼이 삽입되는 상부 볼구멍과 하부볼이 삽입되는 하부 볼구멍이 다수개가 형성되며 상부 및 하부 각 볼구멍은 서로 120°의 각을 이루고 형성되어 상기 하부 원통에 삽입되는 다수의 척킹조를 상기 상부 볼과 하부볼이 눌러 미세전극을 척킹하도록 하는 셔터를 지지하는 것을 특징으로 하는 미세 전극 척킹장치.
제 1 항 또는 제 2항에 있어서,
상기 셔터 지지체의 하부 원통관의 내부에는 다수의 척킹조가 삽입되어 끼워지는 척킹조 삽입홈이 서로 120°의 각을 이루며 형성되어 있고, 상기 척킹조 삽입홈이 형성되는 부분에 맞추어서 하부 원통관의 외주면에 맞추어서 상부 볼구멍과 하부 볼구멍이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 전극 척킹장치.
제 3항에 있어서,
상기 다수의 척킹조 삽입홈 사이에는 다수의 척킹조 가이드가 돌출되어 다수의 척킹조가 다수의 척킹조 가이드에 의해 가이드되어 삽입되는 것을 특징으로 하는 미세 전극 척킹장치.
제1 항 또는 제 2항에 있어서,
상기 척킹조는 3개가 1조로 구성되며, 원기둥의 좌,우측면을 자른 형태로 형성되어 전면과 후면은 볼록한 형태이고 나머지 좌,우측면은 편평한 형태로 형성되고, 상기 척킹조의 윗면과 밑면에는 한쌍의 오링이 각각 삽입되는 상부 오링 홈과 하부 오링홈이 형성되고, 척킹조의 전면에는 빗살무늬 형태의 다수의 슬릿 빗살과 슬릿 홈이 일정한 간격으로 반복되며 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 전극 척킹장치.
제 5항에 있어서,
상기 슬릿 빗살의 두께 t1보다 큰 일정한 간격 d1 으로 슬릿 홈이 형성되어 상기 척킹조는 각각 다른 2개의 척킹조의 슬릿 홈에 슬릿 빗살이 교대로 삽입되어 슬릿 빗살이 맞물리면서 3개의 척킹조가 3 방향에서 상기 미세전극을 조이게 되는 것을 특징으로 하는 미세 전극 척킹장치.
제 5항에 있어서,
상기 각 척킹조의 윗면과 밑면에 형성된 오링홈에 각각 오링이 삽입되어 삼각형 모양을 형성하고, 상기 각 오링은 원래의 원의 모양으로 복귀하려는 복원력을 각 척킹조에 가하게 되어 각 척킹조는 셔터 지지체의 하부 원통 중심에서 밖으로 향하는 힘을 받게 되는 것을 특징으로 하는 미세 전극 척킹장치.
제 5항에 있어서,
상기 상부볼과 하부볼이 각 척킹조를 중심을 향하여 밀어줌으로써 3개의 척킹조들이 그들 중심에 미세전극을 조이게 되어 척킹상태를 유지하게 되고, 상기 셔터를 위로 올려 스프링을 압축시키게 되면 상기 셔터에 의해 눌려지던 상부볼과 하부볼이 셔터의 내부 경사면에 의해 압박이 풀려지면서 각 척킹조는 한쌍의 오링의 반지름 방향 복원력에 의해 벌어지게 되어 상기 미세전극을 척킹상태에서 풀어주게 되는 것을 특징으로 하는 미세 전극 척킹장치.