JP2001030090A - スリーブチャック機構及びそれを備えた照合組立装置 - Google Patents

スリーブチャック機構及びそれを備えた照合組立装置

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JP2001030090A
JP2001030090A JP11204040A JP20404099A JP2001030090A JP 2001030090 A JP2001030090 A JP 2001030090A JP 11204040 A JP11204040 A JP 11204040A JP 20404099 A JP20404099 A JP 20404099A JP 2001030090 A JP2001030090 A JP 2001030090A
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chucking
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Akira Takagi
昭 高木
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スリーブの種類に関係なく、安定して、
しかも損傷を与えることなくスリーブを確実にチャッキ
ングすることができるスリーブチャック機構及びそれを
備えた照合組立装置を提供すること。 【解決手段】 2軸ロボットのベース内のシリンダ22
の下部には、チャックホルダ25a,25bが連結され
ている。チャックホルダ25a,25bの内側には、チ
ャック27a,27bが配置されている。このチャック
27a,27bは、開閉可能に構成されている。チャッ
クホルダ25a,25b内には、気体通流路24が形成
されている。チャック27a,27bにも、それぞれ気
体通流路28が形成されている。気体通流路24,28
は、チャックホルダとチャックとの当接部分において連
通するようになっており、気体通流路24は、気体吸引
口23a,23bに接続している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被接合体であるス
リーブとワークとをレーザ溶接する照合組立装置におけ
るスリーブチャック機構に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、CRTのカソードに使用され
るスリーブとワークとをレーザ溶接する照合組立装置が
使用されている。このスリーブは、図12に示す構成を
有する。すなわち、このスリーブ(オキサイドタイプ)
は、大径部及び小径部を有するスリーブ本体51と、小
径部の端部を覆うようにスリーブ本体51に被せられた
キャップ53と、キャップ53上に形成されたオキサイ
ド面54とを有する。
【0003】このスリーブは、次のようにして作製する
ことができる。図13に示すようなスリーブ本体51に
キャップ53を被せ、レーザ溶接によりスリーブ本体5
1にキャップ53を固定する。次いで、このキャップ5
3上にオキサイドを吹き付けてオキサイド面54を形成
する。
【0004】照合組立装置には、レーザ溶接の際にスリ
ーブを所定の位置まで搬送する機構として、スリーブチ
ャッキング機構がある。この機構は、例えば図14に示
すように、チャックホルダ61a,61bと、その内側
に配置されたチャック62a,62bとから主に構成さ
れている。また、チャック62a,62bには、スリー
ブ受け面63が形成されている。このチャック62a,
62bは、図15(a),(b)に示す構成を有してお
り、チャックホルダ61a,61bは、図16(a)か
ら(c)に示す構成を有している。
【0005】このような構成のスリーブチャック機構に
おいては、図17に示すように、チャック62a,62
bとチャックホルダ61a,61bとの間の段差部65
でキャップ53を引っかけて支持するようになってい
る。また、スリーブ受け面52とチャックチャック62
a,62bとが当接するようになっている。また、チャ
ック62a,62は、スリーブ本体51の大径部64を
把持するようになっている。このようにして、スリーブ
はチャッキングされる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
スリーブチャック機構においては、キャップ53やスリ
ーブ本体51の寸法のバラツキやキャップ53をスリー
ブ本体51に溶接した際の組立済寸法のバラツキなどに
より、例えば、図18に示すように、チャック閉時の寸
法Dよりもスリーブ本体51の寸法が小さい場合などに
おいては、スリーブを取出すときの取出しミスや搬送中
にスリーブ落下させてしまうチャックミスが発生するこ
とがある。
【0007】また、図19に示すように、キャップ53
をスリーブ本体51に溶接する際に、キャップ53が傾
いて接合されてしまうと、チャック62a,62bによ
りキャップ53を引っかけて搬送する途中で、キャップ
53がスリーブ本体51から外れてスリーブが落下する
という問題もある。
【0008】一方、CRTの大型化、高輝度化、高精細
度化を実現するために、カソードの高電流密度化が必要
となり、上記オキサイドタイプスリーブにかわってイリ
ジウムタイプスリーブが使用されてきている。このイリ
ジウムタイプスリーブは、オキサイドタイプスリーブと
は異なり、キャップがないので、上記スリーブチャック
機構を適用することができないという問題もある。
【0009】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、スリーブの種類に関係なく、安定して、しかも損
傷を与えることなくスリーブを確実にチャッキングする
ことができるスリーブチャック機構及びそれを備えた照
合組立装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下の手段を講じた。本発明は、スリーブ
とワークとをレーザ溶接により接合する際に前記スリー
ブをチャッキングするスリーブチャッキング機構であっ
て、スリーブを収容するスリーブ収容部を有し、前記ス
リーブ収容部と連通した第1気体通流路を有するチャッ
ク部材と、前記第1気体通流路と連通する第2気体通流
路を有し、前記チャック部材を保持するチャック部材保
持手段と、を具備し、前記スリーブは、前記第1及び第
2気体通流路を通流する気体を吸気することにより、前
記スリーブ収容部の内壁に吸着されることを特徴とする
スリーブチャック機構を提供する。
【0011】この構成によれば、真空吸着により安定し
てスリーブの供給を行うことができ、品質の安定した製
品を生産性良く得ることができる。また、スリーブで重
要となるイリジウム面やオキサイド面周辺をチャッキン
グすることがないので、スリーブへのダメージを回避す
ることができる。
【0012】本発明のスリーブチャック機構において
は、前記スリーブは、イリジウムタイプスリーブである
ことが好ましい。
【0013】また、本発明のスリーブチャック機構にお
いては、前記チャック部材は、前記スリーブの長手方向
に沿って形成された長穴を有し、前記長穴を介して前記
スリーブを前記スリーブ収容部の内壁に吸着することが
好ましく、前記第2気体通流路は、前記スリーブの長手
方向に沿う第1通路と、前記長手方向に対して約45度
傾いて設けられた第2通路と、を含むことが好ましい。
これらの構成によれば、より安定してスリーブを吸着保
持することが可能となる。
【0014】また、本発明は、スリーブとワークとをレ
ーザ溶接により接合する照合組立装置であって、スリー
ブを設置するスリーブ設置手段と、ワークを設置するワ
ーク設置手段と、前記スリーブをチャッキングするスリ
ーブチャック機構を備え、前記スリーブを前記スリーブ
チャック機構によりチャッキングしながら、前記スリー
ブ設置手段の設置位置まで搬送する搬送手段と、前記ス
リーブと前記ワークとの間の距離を測定する測定手段
と、前記スリーブと前記ワークとをレーザ溶接する溶接
手段と、を具備し、前記スリーブチャック機構は、前記
スリーブを収容するスリーブ収容部を有し、前記スリー
ブ収容部と連通した第1気体通流路を有するチャック部
材と、前記第1気体通流路と連通する第2気体通流路を
有し、前記チャック部材を保持するチャック部材保持手
段と、を有し、前記スリーブは、前記第1及び第2気体
通流路を通流する気体を吸気することにより、前記スリ
ーブ収容部の内壁に吸着されることを特徴とする照合組
立装置を提供する。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発
明の一実施の形態に係るスリーブチャック機構を備えた
照合組立装置の概略構成を示す平面図であり、図2は、
図1に示す照合組立装置の概略構成を示す正面図であ
る。
【0016】図1において、装置本体1内には、複数の
測定部4〜6を収容する収容部2と、これらの測定部4
〜6を制御する制御盤3とが配置されている。これらの
測定部4〜6は、回転可能に設置されたインデックステ
ーブル7により移動したワーク及びスリーブに対して測
定を行うようになっている。また、収容部2内には、被
接合体であるワークを投入するワーク投入部12及びス
リーブを供給するスリーブ供給部11が設置されてい
る。また、スリーブチャック機構であるスリーブチャッ
クユニット10を備えた搬送手段である2軸ロボット8
が揺動可能に設置されている。
【0017】この照合組立装置においては、まず、スタ
ートスイッチ14を押圧することにより2軸ロボット8
が動作し、2軸ロボット8の先端に設けられたベース9
上のスリーブチャックユニット10により、スリーブマ
ガジンパレット13で供給されたスリーブをチャッキン
グし、そのままスリーブをスリーブ供給部11に供給す
る。ここでは、3本のスリーブを供給する。
【0018】次いで、ワーク投入部12にワークを投入
した後、スタートスイッチ15を押圧することによりイ
ンデックステーブル7を回転させて測定部4までワーク
及びスリーブを移動させる。
【0019】測定部4では、スリーブとワークとの間を
測定した後に、両者をレーザ溶接する。なお、測定部
5,測定部6についても、上記と同様の動作を行う。イ
ンデックステーブル7を回転してスリーブ供給部11に
ワークを戻し、ワークを取出して作業が終了する。
【0020】図3は、本発明の一実施の形態に係るスリ
ーブチャック機構の構成を示す図であり、(a)は正面
図であり、(b)は側面図である。
【0021】2軸ロボット8のベース21内には、スリ
ーブチャックユニットを昇降動作させるシリンダ22が
設置されている。シリンダ22の下部には、チャックホ
ルダ25a,25bが連結されている。チャックホルダ
25a,25bの内側には、チャック27a,27bが
配置されている。このチャック27a,27bは、開閉
可能に構成されている。チャックホルダ25a,25b
とチャック27a,27bとの間には、バネ26が取り
付けられている。
【0022】チャックホルダ25a,25bのそれぞれ
には、気体吸引口23a,23bが設けられている。ま
た、チャックホルダ25a,25b内には、気体通流路
24が形成されている。さらに、チャック27a,27
bにも、それぞれ気体通流路28が形成されている。気
体通流路24,28は、チャックホルダとチャックとの
当接部分において連通するようになっており、気体通流
路24は、気体吸引口23a,23bに接続している。
このため、気体吸引口23a,23bから気体を吸気す
ることにより、気体通流路24,28を介してチャック
でチャッキングするスリーブマガジンパレット30上の
スリーブ29を真空吸着することが可能となっている。
【0023】次に、スリーブチャックユニットのチャッ
クホルダ25及びチャック27について説明する。
【0024】図4は、スリーブチャックユニットのチャ
ックホルダ25及びチャック27の構成を示す断面図で
ある。図5は、チャック27の構成を示す図であり、
(a)は縦断面図であり、(b)は側面図であり、
(c)は横断面図である。図6は、チャックホルダ25
の構成を示す図であり、(a)は縦断面図であり、
(b)は側面図であり、(c)は横断面図である。
【0025】図4に示すように、気体通流路24は、ス
リーブの長手方向に沿ってチャックホルダ25a,25
bに形成された第1通路と、スリーブの長手方向に対し
て所定の角度傾いて(外側にいくにしたがって斜め上方
に延出するように)形成された第2通路とを有する。こ
の所定の角度θ1は、例えば45度程度であることが好
ましい。これにより、より安定してスリーブを真空吸着
することができる。
【0026】図5(a)に示すように、チャック27
a,27b内には、気体通流路28が形成されている。
また、チャック27a,27bには、それぞれ大きさW
1×D1の長穴が形成されており、この長穴の部分でス
リーブを吸着するようになっている。W1としては、約
4mm程度であることが好ましく、D1としては、約
0.9mmφであることが好ましい。これにより、より
安定してスリーブを真空吸着することができる。
【0027】図5(b)に示すように、チャック27
a,27bの側面には、チャックホルダ25a,25b
の気体通流路24とチャック27a,27bの気体通流
路28とを連通させるそれぞれ大きさW2×D1の穴部が
形成されている。この穴部は、W2としては、約2.7
mm程度であることが好ましく、D1としては、約1m
mであることが好ましい。これにより、より安定してス
リーブを真空吸着することができる。
【0028】チャックホルダ25a,25bには、上述
したようにスリーブの長手方向に沿って形成された第1
通路と、スリーブの長手方向に対して所定の角度傾いて
(外側にいくにしたがって斜め上方に延出するように)
形成された第2通路とが形成されている。
【0029】第1通路の径D3及び第2通路の径D4は、
ほぼ同じであることが好ましく、それぞれ約2mmφで
あることが好ましい。なお、チャックホルダ25a,2
5b側において、チャックホルダ25a,25bの気体
通流路24とチャック27a,27bの気体通流路28
とを連通させる長穴の長さW3を、チャック27a,2
7b側の長穴の長さW2よりも僅かに大きくすることに
より、チャックホルダ25a,25bとチャック27
a,27bの当接部分からの真空吸着時の気体の損失や
漏れを最小限にすることができ、真空吸着時における安
定したチャッキングを実現することができる。
【0030】上記構成を有するスリーブチャックユニッ
トの動作について説明する。まず、2軸ロボットを下降
させることにより、スリーブチャックユニットをスリー
ブマガジンパレット30上のスリーブ29をチャッキン
グできる位置まで下降させる。
【0031】このとき、シリンダ22により、チャック
ホルダ25a,25bが閉じられる。チャックホルダ2
5a,25bが閉じられることにより、同時にチャック
27a,27bも閉じられる。これにより、スリーブ2
9をチャック27a,27bで挟んだ状態となる。
【0032】次いで、気体吸引口23a,23bに設け
られた電磁弁(図示せず)が開いて、気体を吸気する。
これにより、スリーブ29は、真空吸着によりチャッキ
ングされる。具体的には、図7に示すように、チャック
ホルダ25a,25bの気体通流路24とチャック27
a,27bの気体通流路28は連通しており、また、チ
ャック27a,27bの気体通流路28とチャック27
a,27bのスリーブ29を収容する部分も連通してい
るので、気体が吸気されることにより、気体通流路2
4,28及びスリーブ収容部は減圧状態となり、これに
よりスリーブ29は、チャック27a,27bの内壁部
分(吸着部)32でチャッキングされる。
【0033】なお、2軸ロボットが下降し過ぎた場合に
は、バネ26の弾性力によりチャック27a,27bが
フローティングしてスリーブ29に損傷を与えないよう
になっている。また、スリーブ29のチャッキングが完
了したかどうかは、吸着センサなどで吸気圧力を監視す
ることにより判定することができる。
【0034】ここで、スリーブ29の構成について説明
する。図8は、イリジウムタイプスリーブの構成を示す
図であり、(a)は正面図であり、(b)は断面図であ
る。
【0035】このスリーブ29は、略円筒形状であるス
リーブ本体41と、そのスリーブ本体41内に挿入され
る内スリーブ42とから主に構成されている。内スリー
ブ42は、その下部に取り付けられ、細長い帯状体の複
数の(ここでは3本)ストラップ43と、スリーブ本体
41から露出するように上部に設けられたイリジウムデ
ィスク44とを有する。スリーブ本体41の周面が吸着
部32となる。
【0036】このスリーブ29は、次のようにして作製
することができる。図9(a)に示すような内スリーブ
42にイリジウムディスク44を挿入し、レーザ溶接に
よりイリジウムディスク44を内スリーブ42の内部に
固定する。図9(b)は、図9(a)のA部の拡大図で
ある。次いで、図10に示すように、この内スリーブ4
2の下部に3本のストラップ43を溶接する。最後にこ
の内スリーブ42の外側にスリーブ本体41を被せる。
【0037】このように、本スリーブチャック機構によ
れば、真空吸着によりスリーブをチャッキングするの
で、安定して確実にスリーブをチャッキングすることが
できる。このようにチャッキングを確実に行うことがで
きるので、製品の生産性が向上する。この場合、スリー
ブで重要となるイリジウム面周辺をチャッキングするこ
とがないので、スリーブへのダメージを回避することが
できる。
【0038】本発明は、上記実施の形態に限定されず種
々変更して実施することが可能である。例えば、上記実
施の形態における部材の数、配置、寸法などは適宜変更
することができる。また、本スリーブチャッキング機構
は、従来のオキサイドタイプスリーブに適用することが
でき、またスリーブ以外の略円柱形状、略円筒形状の部
品に対するチャッキングに適用することが可能である。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように本発明のスリーブチ
ャック機構及びそれを備えた照合組立装置は、真空吸着
によりスリーブをチャッキングするので、品質の安定し
た製品を生産性良く得ることができる。また、スリーブ
で重要となるイリジウム面やオキサイド面周辺をチャッ
キングすることがないので、スリーブへのダメージを回
避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係るスリーブチャック
機構を備えた照合組立装置の概略構成を示す平面図であ
る。
【図2】図1に示す照合組立装置の概略構成を示す正面
図である。
【図3】本発明の一実施の形態に係るスリーブチャック
機構の構成を示す図であり、(a)は正面図であり、
(b)は側面図である。
【図4】本発明のスリーブチャック機構のチャックホル
ダ及びチャックの構成を示す断面図である。
【図5】本発明に係るスリーブチャック機構のチャック
の構成を示す図であり、(a)は縦断面図であり、
(b)は側面図であり、(c)は横断面図である。
【図6】本発明に係るスリーブチャック機構のチャック
ホルダの構成を示す図であり、(a)は縦断面図であ
り、(b)は側面図であり、(c)は横断面図である。
【図7】本発明のスリーブチャック機構において、スリ
ーブをチャッキングした状態を説明するための図であ
る。
【図8】イリジウムタイプスリーブの構成を示す図であ
り、(a)は正面図であり、(b)は断面図である。
【図9】イリジウムタイプスリーブの作製方法を説明す
るための図であり、(a)は正面図であり、(b)は
(a)におけるA部拡大図である。
【図10】イリジウムタイプスリーブの作製方法を説明
するための図である。
【図11】イリジウムタイプスリーブの作製方法を説明
するための図である。
【図12】オキサイドタイプスリーブの構成を示す図で
ある。
【図13】オキサイドタイプスリーブの作製方法を説明
するための図である。
【図14】従来のスリーブチャック機構のチャックホル
ダ及びチャックの構成を示す断面図である。
【図15】従来のスリーブチャック機構のチャックの構
成を示す図であり、(a)は縦断面図であり、(b)は
横断面図である。
【図16】従来のスリーブチャック機構のチャックホル
ダの構成を示す図であり、(a)は縦断面図であり、
(b)は側面図であり、(c)は横断面図である。
【図17】従来のスリーブチャック機構において、スリ
ーブをチャッキングした状態を説明するための図であ
る。
【図18】従来のスリーブチャック機構の問題点を説明
するための図である。
【図19】従来のスリーブチャック機構の問題点を説明
するための図である。
【符号の説明】
1…装置本体、2…収容部、3…制御盤、4〜6…測定
部、7…インデックステーブル、8…2軸ロボット、
9,21…ベース、10…スリーブチャックユニット、
11…スリーブ供給部、12…ワーク投入部、13…ス
リーブマガジンパレット、14,15…スタートスイッ
チ、22…シリンダ、23a,23b…気体吸引口、2
4,28…気体通流路、25a,25b…チャックホル
ダ、26…バネ、27a,27b…チャック、29…ス
リーブ、30…、32…内壁部分(吸着部)、41…ス
リーブ本体、42…内スリーブ、43…ストラップ、4
4…イリジウムディスク。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スリーブとワークとをレーザ溶接により
    接合する際に前記スリーブをチャッキングするスリーブ
    チャッキング機構であって、 スリーブを収容するスリーブ収容部を有し、前記スリー
    ブ収容部と連通した第1気体通流路を有するチャック部
    材と、 前記第1気体通流路と連通する第2気体通流路を有し、
    前記チャック部材を保持するチャック部材保持手段と、
    を具備し、 前記スリーブは、前記第1及び第2気体通流路を通流す
    る気体を吸気することにより、前記スリーブ収容部の内
    壁に吸着されることを特徴とするスリーブチャック機
    構。
  2. 【請求項2】 前記スリーブは、イリジウムタイプスリ
    ーブであることを特徴とする請求項1記載のスリーブチ
    ャック機構。
  3. 【請求項3】 前記チャック部材は、前記スリーブの長
    手方向に沿って形成された長穴を有し、前記長穴を介し
    て前記スリーブを前記スリーブ収容部の内壁に吸着する
    ことを特徴とする請求項1記載のスリーブチャック機
    構。
  4. 【請求項4】 前記第2気体通流路は、前記スリーブの
    長手方向に沿う第1通路と、前記長手方向に対して約4
    5度傾いて設けられた第2通路と、を含むことを特徴と
    する請求項1記載のスリーブチャック機構。
  5. 【請求項5】 スリーブとワークとをレーザ溶接により
    接合する照合組立装置であって、 スリーブを設置するスリーブ設置手段と、 ワークを設置するワーク設置手段と、 前記スリーブをチャッキングするスリーブチャック機構
    を備え、前記スリーブを前記スリーブチャック機構によ
    りチャッキングしながら、前記スリーブ設置手段の設置
    位置まで搬送する搬送手段と、 前記スリーブと前記ワークとの間の距離を測定する測定
    手段と、 前記スリーブと前記ワークとをレーザ溶接する溶接手段
    と、 を具備し、前記スリーブチャック機構は、 前記スリーブを収容するスリーブ収容部を有し、前記ス
    リーブ収容部と連通した第1気体通流路を有するチャッ
    ク部材と、 前記第1気体通流路と連通する第2気体通流路を有し、
    前記チャック部材を保持するチャック部材保持手段と、
    を有し、 前記スリーブは、前記第1及び第2気体通流路を通流す
    る気体を吸気することにより、前記スリーブ収容部の内
    壁に吸着されることを特徴とする照合組立装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115890252A (zh) * 2022-11-01 2023-04-04 湖北佳恒科技股份有限公司 一种液压油缸外套筒自动化加工设备
JP7463622B2 (ja) 2020-10-28 2024-04-08 シュンク コーレンシュトッフテクニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 電気モータのロータに補強スリーブを接合するための方法および装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7463622B2 (ja) 2020-10-28 2024-04-08 シュンク コーレンシュトッフテクニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 電気モータのロータに補強スリーブを接合するための方法および装置
CN115890252A (zh) * 2022-11-01 2023-04-04 湖北佳恒科技股份有限公司 一种液压油缸外套筒自动化加工设备
CN115890252B (zh) * 2022-11-01 2023-11-14 湖北佳恒科技股份有限公司 一种液压油缸外套筒自动化加工设备

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