JP2001015900A - 導電性ボール搭載装置における吸着治具およびそれを用いた搭載方法 - Google Patents
導電性ボール搭載装置における吸着治具およびそれを用いた搭載方法Info
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- JP2001015900A JP2001015900A JP18954699A JP18954699A JP2001015900A JP 2001015900 A JP2001015900 A JP 2001015900A JP 18954699 A JP18954699 A JP 18954699A JP 18954699 A JP18954699 A JP 18954699A JP 2001015900 A JP2001015900 A JP 2001015900A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】製作が容易で、かつ、吸着したはんだボールを
確実にパッケージに搭載することができるようにしたは
んだボール搭載装置における吸着治具およびそれを用い
た搭載方法を提供する。 【解決手段】パッケージに形成された接続端子と同じ配
列で吸着穴２１ａが形成された吸着治具２１ではんだボ
ール２を吸着した後、フラックスの粘着力により前記パ
ッケージの接続端子に搭載するようにしたはんだボール
搭載装置における吸着治具２１において、前記吸着治具
２１と同じ配列で、その直径が前記はんだボール２の直
径より小さく、かつ、前記吸着治具２１の吸着穴２１ａ
と連通する穴が形成された離脱プレート３２と、前記吸
着治具２１に前記離脱プレート３２を前記穴の軸心方向
に相対移動可能に支持するエアシリンダ２５とを設け
た。
確実にパッケージに搭載することができるようにしたは
んだボール搭載装置における吸着治具およびそれを用い
た搭載方法を提供する。 【解決手段】パッケージに形成された接続端子と同じ配
列で吸着穴２１ａが形成された吸着治具２１ではんだボ
ール２を吸着した後、フラックスの粘着力により前記パ
ッケージの接続端子に搭載するようにしたはんだボール
搭載装置における吸着治具２１において、前記吸着治具
２１と同じ配列で、その直径が前記はんだボール２の直
径より小さく、かつ、前記吸着治具２１の吸着穴２１ａ
と連通する穴が形成された離脱プレート３２と、前記吸
着治具２１に前記離脱プレート３２を前記穴の軸心方向
に相対移動可能に支持するエアシリンダ２５とを設け
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ
Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）、ＣＳＰ（ＣｈｉｐＳｉｚｅ
Ｐａｃｋｇｅ または、Ｃｈｉｐ Ｓｃａｌｅ Ｐａ
ｃｋａｇｅ）など、導電性ボールを実装基板との接続材
として用いるパッケージに導電性ボールを整列搭載する
ための導電性ボール搭載装置における吸着治具とそれを
用いた搭載方法に関するものである。
Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）、ＣＳＰ（ＣｈｉｐＳｉｚｅ
Ｐａｃｋｇｅ または、Ｃｈｉｐ Ｓｃａｌｅ Ｐａ
ｃｋａｇｅ）など、導電性ボールを実装基板との接続材
として用いるパッケージに導電性ボールを整列搭載する
ための導電性ボール搭載装置における吸着治具とそれを
用いた搭載方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、図５に示す導電性ボール（以
下、はんだボールという）搭載装置は、容器１内に貯留
した複数個のはんだボール２を圧縮ガスを吹き上げて浮
遊させるようにしたはんだボール供給部Ａと、フラック
ス槽３内で所定の厚さに掻き均されたフラックス４を供
給するフラックス供給部Ｂと、はんだボール２を搭載す
べきパッケージ５を位置決めする搭載部Ｃと、前記パッ
ケージ５のはんだボール１を搭載する接続端子の配列と
同じ配列で複数の吸着穴６ａが形成され、配管７を介し
て真空源８に接続された吸着治具６と、この吸着治具６
を前記ボール供給部Ａ、フラックス供給部Ｂおよび搭載
部Ｃに移動させる搬送装置Ｄとを備えている。
下、はんだボールという）搭載装置は、容器１内に貯留
した複数個のはんだボール２を圧縮ガスを吹き上げて浮
遊させるようにしたはんだボール供給部Ａと、フラック
ス槽３内で所定の厚さに掻き均されたフラックス４を供
給するフラックス供給部Ｂと、はんだボール２を搭載す
べきパッケージ５を位置決めする搭載部Ｃと、前記パッ
ケージ５のはんだボール１を搭載する接続端子の配列と
同じ配列で複数の吸着穴６ａが形成され、配管７を介し
て真空源８に接続された吸着治具６と、この吸着治具６
を前記ボール供給部Ａ、フラックス供給部Ｂおよび搭載
部Ｃに移動させる搬送装置Ｄとを備えている。
【０００３】搬送装置Ｄにより、図６に示すように、吸
着治具６をボール供給部Ａ上に位置決めした状態で、真
空源８から配管７を通して吸着治具６に真空圧を供給す
るとともに、容器１の底部から圧縮ガスを吹き出させて
内部のはんだボール２を吸着治具６に向けて吹き上げて
浮遊させ、吸着治具６の吸着穴６ａにはんだボール２を
吸着させる。
着治具６をボール供給部Ａ上に位置決めした状態で、真
空源８から配管７を通して吸着治具６に真空圧を供給す
るとともに、容器１の底部から圧縮ガスを吹き出させて
内部のはんだボール２を吸着治具６に向けて吹き上げて
浮遊させ、吸着治具６の吸着穴６ａにはんだボール２を
吸着させる。
【０００４】吸着治具６に所定数のはんだボール２が吸
着されると、搬送装置Ｄは、図７に示すように、吸着治
具６をフラックス供給部Ｂの上方に移動させた後、図８
に示すように、吸着治具６を下降させ、吸着治具６に吸
着されたはんだボール２の下端部をフラックス４に浸漬
させることにより、はんだボール２にフラックス４を塗
布する。
着されると、搬送装置Ｄは、図７に示すように、吸着治
具６をフラックス供給部Ｂの上方に移動させた後、図８
に示すように、吸着治具６を下降させ、吸着治具６に吸
着されたはんだボール２の下端部をフラックス４に浸漬
させることにより、はんだボール２にフラックス４を塗
布する。
【０００５】はんだボール２にフラックス４が塗布され
ると、搬送装置Ｄは、図９に示すように、吸着治具６を
搭載部Ｃの上方に、はんだボール２がパッケージ５の接
続端子５ａと対向するように移動させた後、はんだボー
ル２をパッケージ５の接続端子５ａに押し付ける。そし
て、吸着治具６に供給されている真空圧を遮断し、吸着
治具６からはんだボール２を解放してパッケージ５の接
続端子５ａにはんだボール２を搭載する。このとき、図
１０に示すように、はんだボール２は、フラックス４の
粘着力によりパッケージ５の接続端子５ａに保持され
る。
ると、搬送装置Ｄは、図９に示すように、吸着治具６を
搭載部Ｃの上方に、はんだボール２がパッケージ５の接
続端子５ａと対向するように移動させた後、はんだボー
ル２をパッケージ５の接続端子５ａに押し付ける。そし
て、吸着治具６に供給されている真空圧を遮断し、吸着
治具６からはんだボール２を解放してパッケージ５の接
続端子５ａにはんだボール２を搭載する。このとき、図
１０に示すように、はんだボール２は、フラックス４の
粘着力によりパッケージ５の接続端子５ａに保持され
る。
【０００６】はんだボール２を保持したパッケージ５を
加熱（リフロー）することにより、はんだボール２を溶
かし、たとえば、１００〜３０００個のはんだバンプ
（接続用突起）を一度に形成する。
加熱（リフロー）することにより、はんだボール２を溶
かし、たとえば、１００〜３０００個のはんだバンプ
（接続用突起）を一度に形成する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】吸着治具６からパッケ
ージ５にはんだボール２を搭載する場合、単に吸着治具
６に供給されている真空圧を遮断するだけでは、吸着治
具６から離脱しないはんだボール２が発生するため、吸
着治具６に吸着された全てのはんだボール２をパッケー
ジ５に確実に搭載するものとしていくつかの方法が提案
されている。
ージ５にはんだボール２を搭載する場合、単に吸着治具
６に供給されている真空圧を遮断するだけでは、吸着治
具６から離脱しないはんだボール２が発生するため、吸
着治具６に吸着された全てのはんだボール２をパッケー
ジ５に確実に搭載するものとしていくつかの方法が提案
されている。
【０００８】その一つは、吸着治具６を真空源８と圧縮
ガス供給源（図示せず）に接続し、搭載時に吸着マスク
６に供給されている真空圧を開放するとともに、吸着マ
スク６に圧縮ガス供給源からの圧縮ガスを供給して、そ
の吸着穴６ａから圧縮ガスを噴出させることにより、は
んだボール２を吸着マスク６から離脱させるようにした
ものである。
ガス供給源（図示せず）に接続し、搭載時に吸着マスク
６に供給されている真空圧を開放するとともに、吸着マ
スク６に圧縮ガス供給源からの圧縮ガスを供給して、そ
の吸着穴６ａから圧縮ガスを噴出させることにより、は
んだボール２を吸着マスク６から離脱させるようにした
ものである。
【０００９】しかし、吸着治具６の吸着穴６ａのはんだ
ボール２と接触する吸着面には微小な突起が存在すると
ともに、はんだボール２が完全な球体ではないことか
ら、吸着治具６ではんだボール２を吸着したとき、吸着
治具６の吸着面とはんだボール２の間に微小な間隙が形
成される。
ボール２と接触する吸着面には微小な突起が存在すると
ともに、はんだボール２が完全な球体ではないことか
ら、吸着治具６ではんだボール２を吸着したとき、吸着
治具６の吸着面とはんだボール２の間に微小な間隙が形
成される。
【００１０】そして、この間隙が吸着治具６の複数の吸
着穴６ａそれぞれで異なるため、圧縮ガスは間隙の大き
な吸着穴６ａから多量に放出され、吸着治具６に同時に
吸着された全てのはんだボール２に均等にガス圧を付加
することができない。このため、パッケージ５に搭載さ
れず吸着治具６で持ち去られるはんだボール２が発生す
る。
着穴６ａそれぞれで異なるため、圧縮ガスは間隙の大き
な吸着穴６ａから多量に放出され、吸着治具６に同時に
吸着された全てのはんだボール２に均等にガス圧を付加
することができない。このため、パッケージ５に搭載さ
れず吸着治具６で持ち去られるはんだボール２が発生す
る。
【００１１】また、他の一つとして、吸着治具に振動を
与えてはんだボールを離脱させる方法がある。この方法
は、図１１に示すように、吸着治具６にブラケット９を
介してエアシリンダ１０を設けるか、図１２に示すよう
に、吸着治具６に直接加振器１１を設けることにより実
施する。
与えてはんだボールを離脱させる方法がある。この方法
は、図１１に示すように、吸着治具６にブラケット９を
介してエアシリンダ１０を設けるか、図１２に示すよう
に、吸着治具６に直接加振器１１を設けることにより実
施する。
【００１２】吸着したはんだボール２にフラックス４が
塗布された状態で、吸着治具６をパッケージ５の所定の
位置に移動させ、はんだボール２をパッケージ５の接続
端子５ａと所定の間隔まで移動させた後、吸着治具６に
供給されている真空圧を遮断し、吸着治具６内を大気圧
に開放するとともに、エアシリンダ１０あるいは加振器
１１を作動させ吸着治具６に微小な振動を与えるように
している。
塗布された状態で、吸着治具６をパッケージ５の所定の
位置に移動させ、はんだボール２をパッケージ５の接続
端子５ａと所定の間隔まで移動させた後、吸着治具６に
供給されている真空圧を遮断し、吸着治具６内を大気圧
に開放するとともに、エアシリンダ１０あるいは加振器
１１を作動させ吸着治具６に微小な振動を与えるように
している。
【００１３】このような方法によれば、吸着治具６に吸
着されたはんだボール２をほぼ確実に離脱させ、パッケ
ージ５に搭載することができる。
着されたはんだボール２をほぼ確実に離脱させ、パッケ
ージ５に搭載することができる。
【００１４】しかし、吸着治具６とはんだボール２の間
にフラックスなどが介在し、吸着治具６にはんだボール
２が粘着していると、吸着治具６を振動させただけでは
はんだボール２を離脱させることができないことがあ
る。
にフラックスなどが介在し、吸着治具６にはんだボール
２が粘着していると、吸着治具６を振動させただけでは
はんだボール２を離脱させることができないことがあ
る。
【００１５】さらに、他の一つとして、はんだボールを
直接機械的に吸着治具から離脱させる方法がある。この
方法は、図１４に示すように、吸着治具６の上にエアシ
リンダ１３を配置し、吸着治具６の内部にエアシリンダ
１３の可動部に接続されたプレート１４と、一端がプレ
ート１４に固定され吸着治具６の吸着穴６ａに対応する
ピン１５を設けることにより実施される。
直接機械的に吸着治具から離脱させる方法がある。この
方法は、図１４に示すように、吸着治具６の上にエアシ
リンダ１３を配置し、吸着治具６の内部にエアシリンダ
１３の可動部に接続されたプレート１４と、一端がプレ
ート１４に固定され吸着治具６の吸着穴６ａに対応する
ピン１５を設けることにより実施される。
【００１６】吸着したはんだボール２にフラックス４が
塗布された状態で、吸着治具６をパッケージ５の所定の
位置に移動させ、はんだボール２をパッケージ５の接続
端子５ａと所定の間隔まで移動させた後、吸着治具６に
供給されている真空圧を遮断し、吸着治具６内を大気圧
に開放するとともに、エアシリンダ１３を作動させピン
１５を吸着治具６から突出させて、ピン１５ではんだボ
ール２を吸着治具６から離脱させるとともに、接続端子
５ａに押し付ける。
塗布された状態で、吸着治具６をパッケージ５の所定の
位置に移動させ、はんだボール２をパッケージ５の接続
端子５ａと所定の間隔まで移動させた後、吸着治具６に
供給されている真空圧を遮断し、吸着治具６内を大気圧
に開放するとともに、エアシリンダ１３を作動させピン
１５を吸着治具６から突出させて、ピン１５ではんだボ
ール２を吸着治具６から離脱させるとともに、接続端子
５ａに押し付ける。
【００１７】このような方法によれば、吸着治具６に吸
着されたはんだボール２を確実に離脱させ、パッケージ
５に搭載することができる。
着されたはんだボール２を確実に離脱させ、パッケージ
５に搭載することができる。
【００１８】しかし、吸着治具６に形成される吸着穴６
ａの数が多くなると、プレート１４に取り付けるピン１
５の数も増え、しかも全てのピン１５が同時に対応する
吸着穴６ａに入るようにするには、極めて高い加工精度
が要求され、吸着治具が高価なものになる。また、はん
だボール２の直径が小さくなると、吸着治具の製作がよ
り困難になる。
ａの数が多くなると、プレート１４に取り付けるピン１
５の数も増え、しかも全てのピン１５が同時に対応する
吸着穴６ａに入るようにするには、極めて高い加工精度
が要求され、吸着治具が高価なものになる。また、はん
だボール２の直径が小さくなると、吸着治具の製作がよ
り困難になる。
【００１９】上記の事情に鑑み、本発明の目的は、製作
が容易で、かつ、吸着したはんだボールを確実にパッケ
ージに搭載することができるようにしたはんだボール搭
載装置における吸着治具およびそれを用いた搭載方法を
提供することにある。
が容易で、かつ、吸着したはんだボールを確実にパッケ
ージに搭載することができるようにしたはんだボール搭
載装置における吸着治具およびそれを用いた搭載方法を
提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本出願の請求項１に記載の発明は、パッケージに形
成された接続端子と同じ配列で吸着用の穴が形成された
吸着治具ではんだボールを吸着した後、フラックスの粘
着力によりはんだボールを前記パッケージの接続端子に
搭載するようにしたはんだボール搭載装置における吸着
治具において、前記吸着治具と同じ配列で、その直径が
前記はんだボールの直径より小さく、かつ、前記吸着治
具の穴と連通する穴が形成された離脱プレートと、前記
吸着治具に前記離脱プレートを前記穴の軸心方向に相対
移動可能に支持する駆動手段とを設けた。
め、本出願の請求項１に記載の発明は、パッケージに形
成された接続端子と同じ配列で吸着用の穴が形成された
吸着治具ではんだボールを吸着した後、フラックスの粘
着力によりはんだボールを前記パッケージの接続端子に
搭載するようにしたはんだボール搭載装置における吸着
治具において、前記吸着治具と同じ配列で、その直径が
前記はんだボールの直径より小さく、かつ、前記吸着治
具の穴と連通する穴が形成された離脱プレートと、前記
吸着治具に前記離脱プレートを前記穴の軸心方向に相対
移動可能に支持する駆動手段とを設けた。
【００２１】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の吸着治具を用いたはんだボールの搭載方法であ
って、吸着治具に吸着された導電性ボールをパッケージ
の接続端子に押し付け、吸着治具の真空圧を開放し、離
脱プレートをパッケージ側に向けて付勢し、はんだボー
ルを離脱プレートで押さえた状態で吸着治具を離脱プレ
ートから離間させることにより、はんだボールを吸着治
具から離脱させパッケージに搭載するようにした。
に記載の吸着治具を用いたはんだボールの搭載方法であ
って、吸着治具に吸着された導電性ボールをパッケージ
の接続端子に押し付け、吸着治具の真空圧を開放し、離
脱プレートをパッケージ側に向けて付勢し、はんだボー
ルを離脱プレートで押さえた状態で吸着治具を離脱プレ
ートから離間させることにより、はんだボールを吸着治
具から離脱させパッケージに搭載するようにした。
【００２２】さらに、請求項３に記載の発明は、請求項
１に記載の吸着治具を用いたはんだボールの搭載方法で
あって、吸着治具に吸着されたはんだボールをパッケー
ジの接続端子と所定の間隔で対向させ、離脱プレートを
パッケージ側に向けて移動させ、はんだボールを離脱プ
レートで付勢して吸着治具から離脱させパッケージに搭
載するようにした。
１に記載の吸着治具を用いたはんだボールの搭載方法で
あって、吸着治具に吸着されたはんだボールをパッケー
ジの接続端子と所定の間隔で対向させ、離脱プレートを
パッケージ側に向けて移動させ、はんだボールを離脱プ
レートで付勢して吸着治具から離脱させパッケージに搭
載するようにした。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１ないし図３は、本発明の実施
の形態を示すもので、図１は、本発明による吸着治具の
正面断面図、図２は、図１の側面図、図３は、本発明に
よる吸着治具を用いた搭載手順を示す工程図である。
に基づいて説明する。図１ないし図３は、本発明の実施
の形態を示すもので、図１は、本発明による吸着治具の
正面断面図、図２は、図１の側面図、図３は、本発明に
よる吸着治具を用いた搭載手順を示す工程図である。
【００２４】図１および図２において、２１は吸着治具
で、その下端面には複数の吸着穴２１ａが形成されてい
る。また、その上端のベースプレート２１ｂには、真空
圧供給用の穴２１ｃと、圧縮ガスの通路となる穴２１ｄ
が形成されている。
で、その下端面には複数の吸着穴２１ａが形成されてい
る。また、その上端のベースプレート２１ｂには、真空
圧供給用の穴２１ｃと、圧縮ガスの通路となる穴２１ｄ
が形成されている。
【００２５】２２はブラケットで、はんだボール搭載装
置の搬送部に吸着治具２１を接続する。このブラケット
２２には、吸着治具２１の穴２１ｃと連通する真空圧供
給用の穴２２ａと、穴２１ｄと連通して圧縮ガスの通路
となる穴２２ｂが形成されている。そして、穴２２ａに
は、真空源に接続するための配管２３が接続されてい
る。また、穴２２ｂには、圧縮ガス源に接続するための
配管２４が接続されている。
置の搬送部に吸着治具２１を接続する。このブラケット
２２には、吸着治具２１の穴２１ｃと連通する真空圧供
給用の穴２２ａと、穴２１ｄと連通して圧縮ガスの通路
となる穴２２ｂが形成されている。そして、穴２２ａに
は、真空源に接続するための配管２３が接続されてい
る。また、穴２２ｂには、圧縮ガス源に接続するための
配管２４が接続されている。
【００２６】２５はエアシリンダで、ブラケット２６を
介して吸着治具２１の側面に固定され、配管２７を介し
て穴２１ｄに接続されている。２８はブラケットで、吸
着治具２１の側面に固定されている。２９はガイドピン
で、その一端がブラケット２８に固定されている。
介して吸着治具２１の側面に固定され、配管２７を介し
て穴２１ｄに接続されている。２８はブラケットで、吸
着治具２１の側面に固定されている。２９はガイドピン
で、その一端がブラケット２８に固定されている。
【００２７】３０は額縁状に形成されたヨークフレーム
で、ガイドピン２９に摺動可能に嵌合し、かつ、フロー
テイングジョイント３１を介してエアシリンダ２５に支
持されている。３２は離脱プレートで、吸着治具２１の
個々の吸着穴２１ａに連通する複数の穴３２ａ（図３、
図４参照）が形成され、所要の張力が付与された状態で
押さえ板３３によりヨークフレーム３０に固定されてい
る。
で、ガイドピン２９に摺動可能に嵌合し、かつ、フロー
テイングジョイント３１を介してエアシリンダ２５に支
持されている。３２は離脱プレートで、吸着治具２１の
個々の吸着穴２１ａに連通する複数の穴３２ａ（図３、
図４参照）が形成され、所要の張力が付与された状態で
押さえ板３３によりヨークフレーム３０に固定されてい
る。
【００２８】なお、離脱プレート３２に形成される穴３
２ａの直径は、吸着治具２１の吸着穴２１ａの直径より
大きく、吸着するはんだボール２の直径より小さくなる
ように設定されている。
２ａの直径は、吸着治具２１の吸着穴２１ａの直径より
大きく、吸着するはんだボール２の直径より小さくなる
ように設定されている。
【００２９】このような構成で、エアシリンダ２５によ
りヨークフレーム３０を引き上げ離脱プレート３２を吸
着治具２１の下面に接触させた状態で、吸着治具２１を
はんだボール供給部へ移動させ、吸着治具２１に真空圧
を供給して、離脱プレート３２の穴３２ａを通して吸着
穴２１ａにはんだボール２を吸着する。
りヨークフレーム３０を引き上げ離脱プレート３２を吸
着治具２１の下面に接触させた状態で、吸着治具２１を
はんだボール供給部へ移動させ、吸着治具２１に真空圧
を供給して、離脱プレート３２の穴３２ａを通して吸着
穴２１ａにはんだボール２を吸着する。
【００３０】はんだボール２を吸着した状態で、吸着治
具２１をフラックス供給部へ移動させ、吸着されたはん
だボール２の下端をフラックスに浸積させ、フラックス
の塗布を行う。
具２１をフラックス供給部へ移動させ、吸着されたはん
だボール２の下端をフラックスに浸積させ、フラックス
の塗布を行う。
【００３１】この状態で、吸着治具２１を搭載位置へ移
動させ、図３（Ａ）に示すように、はんだボール２をパ
ッケージ５の接続端子５ａに接触させ、吸着治具２１に
供給されている真空圧を遮断するとともに、吸着治具２
１内を大気圧に開放する。
動させ、図３（Ａ）に示すように、はんだボール２をパ
ッケージ５の接続端子５ａに接触させ、吸着治具２１に
供給されている真空圧を遮断するとともに、吸着治具２
１内を大気圧に開放する。
【００３２】ついで、エアシリンダ２５を作動させ、フ
ローテイングジョイント３１およびヨークフレーム３０
を介して、離脱プレート３２をパッケージ５側に向けて
押し付けるとともに、吸着治具２１を上昇させる。する
と、図３（Ｂ）に示すように、吸着治具２１が上昇し
て、吸着治具２１は離脱プレート３２から離間する。こ
のとき、はんだボール２は、離脱プレート３２に押さえ
られているため、吸着治具２１から離脱し、パッケージ
５の接続端子５ａ上に残される。
ローテイングジョイント３１およびヨークフレーム３０
を介して、離脱プレート３２をパッケージ５側に向けて
押し付けるとともに、吸着治具２１を上昇させる。する
と、図３（Ｂ）に示すように、吸着治具２１が上昇し
て、吸着治具２１は離脱プレート３２から離間する。こ
のとき、はんだボール２は、離脱プレート３２に押さえ
られているため、吸着治具２１から離脱し、パッケージ
５の接続端子５ａ上に残される。
【００３３】吸着治具２１の移動量が、エアシリンダ２
５のストロークより大きくなると、図３（Ｃ）に示すよ
うに、吸着治具２１の移動により離脱プレート３２を引
き上げ、離脱プレート３２をはんだボール２から離間さ
せ、はんだボール２をパッケージ５の接続端子５ａ上に
搭載することができる。
５のストロークより大きくなると、図３（Ｃ）に示すよ
うに、吸着治具２１の移動により離脱プレート３２を引
き上げ、離脱プレート３２をはんだボール２から離間さ
せ、はんだボール２をパッケージ５の接続端子５ａ上に
搭載することができる。
【００３４】なお、吸着治具２１を上昇させる際に、エ
アシリンダ２６のストロークの範囲内で一旦停止させ、
エアシリンダ２５により離脱プレート３２を引き上げた
後、再び吸着治具２１を上昇させるようにしてもよい。
アシリンダ２６のストロークの範囲内で一旦停止させ、
エアシリンダ２５により離脱プレート３２を引き上げた
後、再び吸着治具２１を上昇させるようにしてもよい。
【００３５】前記のように、離脱プレート３２によりは
んだボール２を拘束した状態で、吸着治具２１からはん
だボールを離脱させるようにしたので、吸着治具２１に
よりはんだボール２が持ち去られることをなくし、吸着
治具２１に吸着されたはんだボール２を吸着治具２１か
ら確実に離脱させ、パッケージ５に搭載することができ
る。
んだボール２を拘束した状態で、吸着治具２１からはん
だボールを離脱させるようにしたので、吸着治具２１に
よりはんだボール２が持ち去られることをなくし、吸着
治具２１に吸着されたはんだボール２を吸着治具２１か
ら確実に離脱させ、パッケージ５に搭載することができ
る。
【００３６】図４は、本発明による吸着治具を用いた他
の搭載手順を示す工程図である。同図において、図１な
いし図３と同じものは同じ符号を付けて示してある。
の搭載手順を示す工程図である。同図において、図１な
いし図３と同じものは同じ符号を付けて示してある。
【００３７】はんだボール２を吸着しフラックス４を塗
布した状態で、吸着治具２１を搭載位置へ移動させ、図
４（Ａ）に示すように、はんだボール２をパッケージ５
の接続端子５ａと所定の間隔で対向する位置へ位置決め
し、吸着治具２１に供給されている真空圧を遮断すると
ともに、吸着治具２１内を大気圧に開放する。
布した状態で、吸着治具２１を搭載位置へ移動させ、図
４（Ａ）に示すように、はんだボール２をパッケージ５
の接続端子５ａと所定の間隔で対向する位置へ位置決め
し、吸着治具２１に供給されている真空圧を遮断すると
ともに、吸着治具２１内を大気圧に開放する。
【００３８】ついで、エアシリンダ２５を作動させ、フ
ローテイングジョイント３１およびヨークフレーム３０
を介して、離脱プレート３２をパッケージ５側に向けて
下降させる。すると、図４（Ｂ）に示すように、離脱プ
レート３２がはんだボール２を拘束したまま吸着治具２
１から離間する。このとき、はんだボール２は、離脱プ
レート３２に押さえられているため、吸着治具２１から
離脱し、パッケージ５の接続端子５ａ上に移される。
ローテイングジョイント３１およびヨークフレーム３０
を介して、離脱プレート３２をパッケージ５側に向けて
下降させる。すると、図４（Ｂ）に示すように、離脱プ
レート３２がはんだボール２を拘束したまま吸着治具２
１から離間する。このとき、はんだボール２は、離脱プ
レート３２に押さえられているため、吸着治具２１から
離脱し、パッケージ５の接続端子５ａ上に移される。
【００３９】この状態で、吸着治具２１が上昇し、吸着
治具２１と離脱プレート３２の間隔がエアシリンダ２５
のストロークと同じになると、図４（Ｃ）に示すよう
に、吸着治具２１の移動により離脱プレート３２を引き
上げ、離脱プレート３２をはんだボール２から離間さ
せ、はんだボール２をパッケージ５の接続端子５ａ上に
搭載することができる。
治具２１と離脱プレート３２の間隔がエアシリンダ２５
のストロークと同じになると、図４（Ｃ）に示すよう
に、吸着治具２１の移動により離脱プレート３２を引き
上げ、離脱プレート３２をはんだボール２から離間さ
せ、はんだボール２をパッケージ５の接続端子５ａ上に
搭載することができる。
【００４０】なお、吸着治具２１を上昇させる際に、エ
アシリンダ２５により離脱プレート３２を引き上げた
後、吸着治具２１を上昇させるようにしてもよい。
アシリンダ２５により離脱プレート３２を引き上げた
後、吸着治具２１を上昇させるようにしてもよい。
【００４１】前記の各実施の形態においては、吸着治具
２１に吸着されたはんだボール２にフラックス４を塗布
してパッケージ５に搭載する場合について説明したが、
他の手段によりパッケージ５の接続端子５ａに予めフラ
ックスが塗布されている場合には、吸着治具２１に吸着
されたはんだボール２にフラックス４を塗布することな
く、吸着治具２１に吸着したはんだボール２をそのまま
パッケージ５に搭載すればよい。
２１に吸着されたはんだボール２にフラックス４を塗布
してパッケージ５に搭載する場合について説明したが、
他の手段によりパッケージ５の接続端子５ａに予めフラ
ックスが塗布されている場合には、吸着治具２１に吸着
されたはんだボール２にフラックス４を塗布することな
く、吸着治具２１に吸着したはんだボール２をそのまま
パッケージ５に搭載すればよい。
【００４２】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明によれば、吸
着治具に吸着されたはんだボールを離脱プレートで拘束
した状態で吸着治具と離脱プレートを相対移動させ、吸
着治具に吸着されたはんだボールを吸着治具から離脱さ
せるようにしたので、吸着治具の製作が容易で、かつ、
吸着治具に吸着したはんだボールを確実にパッケージに
搭載することができる。
着治具に吸着されたはんだボールを離脱プレートで拘束
した状態で吸着治具と離脱プレートを相対移動させ、吸
着治具に吸着されたはんだボールを吸着治具から離脱さ
せるようにしたので、吸着治具の製作が容易で、かつ、
吸着治具に吸着したはんだボールを確実にパッケージに
搭載することができる。
【図１】本発明による吸着治具の正面断面図。
【図２】図１の側面図。
【図３】本発明による吸着治具を用いた搭載手順を示す
工程図。
工程図。
【図４】本発明による吸着治具を用いた他の搭載手順を
示す工程図。
示す工程図。
【図５】本発明を適用するはんだボール搭載装置の一例
を示す構成図。
を示す構成図。
【図６】はんだボールの吸着工程を示す工程図。
【図７】フラックス塗布工程を示す工程図。
【図８】フラックス塗布工程を示す拡大図。
【図９】パッケージへの搭載工程を示す工程図。
【図１０】パッケージにはんだボールが搭載された状態
を示す拡大図。
を示す拡大図。
【図１１】他のはんだボール搭載方法における搭載工程
を示す工程図。
を示す工程図。
【図１２】他のはんだボール搭載方法における搭載工程
を示す工程図。
を示す工程図。
【図１３】他のはんだボール搭載方法における搭載工程
を示す工程図。
を示す工程図。
２…はんだボール、４…フラックス、５…パッケージ、
５ａ…接続端子、２１…吸着治具、２１ａ…吸着穴、２
５…エアシリンダ、３２…離脱プレート、３２ａ…穴。
５ａ…接続端子、２１…吸着治具、２１ａ…吸着穴、２
５…エアシリンダ、３２…離脱プレート、３２ａ…穴。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高津 健司 東京都小平市上水本町五丁目20番１号 株 式会社日立製作所システムＬＳＩ事業部内 Ｆターム(参考） 5E319 BB04 CC33 CD22 CD25 CD26
Claims (3)
- 【請求項１】パッケージに形成された接続端子と同じ配
列で吸着用の穴が形成された吸着治具で導電性ボールを
吸着した後、フラックスの粘着力により導電性ボールを
前記パッケージの接続端子に搭載するようにした導電性
ボール搭載装置における吸着治具において、前記吸着治
具と同じ配列で、その直径が前記導電性ボールの直径よ
り小さく、かつ、前記吸着治具の穴と連通する穴が形成
された離脱プレートと、前記吸着治具に前記離脱プレー
トを前記穴の軸心方向に相対移動可能に支持する駆動手
段とを設けたことを特徴とする導電性ボール搭載装置に
おける吸着治具。 - 【請求項２】請求項１に記載の吸着治具を用いた導電性
ボールの搭載方法であって、吸着治具に吸着された導電
性ボールをパッケージの接続端子に押し付け、吸着治具
の真空圧を開放し、離脱プレートをパッケージ側に向け
て付勢し、導電性ボールを離脱プレートで押さえた状態
で吸着治具を離脱プレートから離間させることにより、
導電性ボールを吸着治具から離脱させパッケージに搭載
することを特徴とする導電性ボールの搭載方法。 - 【請求項３】請求項１に記載の吸着治具を用いた導電性
ボールの搭載方法であって、吸着治具に吸着された導電
性ボールをパッケージの接続端子と所定の間隔で対向さ
せ、離脱プレートをパッケージ側に向けて移動させ、導
電性ボールを離脱プレートで付勢して吸着治具から離脱
させパッケージに搭載することを特徴とする導電性ボー
ルの搭載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18954699A JP2001015900A (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | 導電性ボール搭載装置における吸着治具およびそれを用いた搭載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18954699A JP2001015900A (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | 導電性ボール搭載装置における吸着治具およびそれを用いた搭載方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001015900A true JP2001015900A (ja) | 2001-01-19 |
Family
ID=16243133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18954699A Withdrawn JP2001015900A (ja) | 1999-07-02 | 1999-07-02 | 導電性ボール搭載装置における吸着治具およびそれを用いた搭載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001015900A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010070629A (ko) * | 2001-05-28 | 2001-07-27 | 김건규 | 솔더볼 고정핀을 갖는 솔더볼 공급장치 |
-
1999
- 1999-07-02 JP JP18954699A patent/JP2001015900A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010070629A (ko) * | 2001-05-28 | 2001-07-27 | 김건규 | 솔더볼 고정핀을 갖는 솔더볼 공급장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060905 |