JP2001013252A - エネルギー分散型元素分析装置 - Google Patents
エネルギー分散型元素分析装置Info
- Publication number
- JP2001013252A JP2001013252A JP11184826A JP18482699A JP2001013252A JP 2001013252 A JP2001013252 A JP 2001013252A JP 11184826 A JP11184826 A JP 11184826A JP 18482699 A JP18482699 A JP 18482699A JP 2001013252 A JP2001013252 A JP 2001013252A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressor
- ray detector
- energy dispersive
- energy
- dispersion
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型ガス循環式冷却機の長寿命化を図ること
ができるエネルギー分散型半導体X線検出器を提供す
る。 【解決手段】 エネルギー分散型半導体X線検出器D
と、このエネルギー分散型半導体X線検出器Dを冷却す
るためのガス循環式冷却機と、ガス循環式冷却機のコン
プレッサ1および前記エネルギー分散型半導体X線検出
器Dを制御するためのコントローラ7と、このコントロ
ーラ7と前記コンプレッサ1との間に位置し、コンプレ
ッサ1を時間的に管理することが可能なタイマーユニッ
ト8とを備えた。
ができるエネルギー分散型半導体X線検出器を提供す
る。 【解決手段】 エネルギー分散型半導体X線検出器D
と、このエネルギー分散型半導体X線検出器Dを冷却す
るためのガス循環式冷却機と、ガス循環式冷却機のコン
プレッサ1および前記エネルギー分散型半導体X線検出
器Dを制御するためのコントローラ7と、このコントロ
ーラ7と前記コンプレッサ1との間に位置し、コンプレ
ッサ1を時間的に管理することが可能なタイマーユニッ
ト8とを備えた。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、たとえば、電子
顕微鏡と組合せ、電子ビームにより励起されて放出され
る特性X線を測定するX線マイクロアナライザや、X線
励起による蛍光X線分析装置などのエネルギー分散型元
素分析装置に関する。
顕微鏡と組合せ、電子ビームにより励起されて放出され
る特性X線を測定するX線マイクロアナライザや、X線
励起による蛍光X線分析装置などのエネルギー分散型元
素分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、高分解能を必要とするエネル
ギー分散型元素分析装置に用いられるエネルギー分散型
半導体X線検出器(以下、EDS検出器という)には、
リチウムドリフト型シリコン半導体X線検出器(Si
(Li)検出器)が広く使用されてきているが、このS
i(Li)検出器においては、Si内部にドリフトされ
たLiイオンが熱拡散により移動すると、X線検出素子
の特性が劣化してしまうため、液体窒素を用いて常時冷
却する必要があり、液体窒素を補給しなければならず、
日常のメンテナンスとしては煩わしいといった問題があ
る。
ギー分散型元素分析装置に用いられるエネルギー分散型
半導体X線検出器(以下、EDS検出器という)には、
リチウムドリフト型シリコン半導体X線検出器(Si
(Li)検出器)が広く使用されてきているが、このS
i(Li)検出器においては、Si内部にドリフトされ
たLiイオンが熱拡散により移動すると、X線検出素子
の特性が劣化してしまうため、液体窒素を用いて常時冷
却する必要があり、液体窒素を補給しなければならず、
日常のメンテナンスとしては煩わしいといった問題があ
る。
【0003】これに対して、前記液体窒素に代わるもの
として、ジュール・トムソン方式やパルスチューブ方式
などの小型ガス循環式冷却機が開発されている。この小
型ガス循環式冷却機は、十分な冷凍能力を備えるととも
に、低温発生部に機械的振動部を持たず、構造が簡単で
あるところから、きわめて低振動であり、長時間運転に
対する高い信頼性を備えており、保守が容易であるとい
った特徴がある。
として、ジュール・トムソン方式やパルスチューブ方式
などの小型ガス循環式冷却機が開発されている。この小
型ガス循環式冷却機は、十分な冷凍能力を備えるととも
に、低温発生部に機械的振動部を持たず、構造が簡単で
あるところから、きわめて低振動であり、長時間運転に
対する高い信頼性を備えており、保守が容易であるとい
った特徴がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記小型ガス
循環式冷却機は非常に高価なものであり、できるだけ稼
働時間を減らして、寿命を長く保つことが望まれてい
る。
循環式冷却機は非常に高価なものであり、できるだけ稼
働時間を減らして、寿命を長く保つことが望まれてい
る。
【0005】この発明は上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的は、小型ガス循環式冷却機の長寿命化
を図ることができるエネルギー分散型元素分析装置を提
供することにある。
もので、その目的は、小型ガス循環式冷却機の長寿命化
を図ることができるエネルギー分散型元素分析装置を提
供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明のエネルギー分散型元素分析装置は、エネ
ルギー分散型半導体X線検出器と、このエネルギー分散
型半導体X線検出器を冷却するためのガス循環式冷却機
と、ガス循環式冷却機のコンプレッサおよび前記エネル
ギー分散型半導体X線検出器を制御するためのコントロ
ーラと、このコントローラと前記コンプレッサとの間に
位置し、コンプレッサを時間的に管理することが可能な
タイマーユニットとを備えたことを特徴としている。
に、この発明のエネルギー分散型元素分析装置は、エネ
ルギー分散型半導体X線検出器と、このエネルギー分散
型半導体X線検出器を冷却するためのガス循環式冷却機
と、ガス循環式冷却機のコンプレッサおよび前記エネル
ギー分散型半導体X線検出器を制御するためのコントロ
ーラと、このコントローラと前記コンプレッサとの間に
位置し、コンプレッサを時間的に管理することが可能な
タイマーユニットとを備えたことを特徴としている。
【0007】上記の構成により、小型ガス循環式冷却機
の長寿命化を図ることができるエネルギー分散型元素分
析装置の提供が可能となる。
の長寿命化を図ることができるエネルギー分散型元素分
析装置の提供が可能となる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を、図を
参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施例に係
るエネルギー分散型元素分析装置の構成を概略的に示す
構成図である。Dは、冷凍機としてパルスチューブ方式
の小型ガス循環式冷却機を使用したエネルギー分散型半
導体X線検出器であり、走査型電子顕微鏡10との組み
合わせによって元素分析装置を構成している。
参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施例に係
るエネルギー分散型元素分析装置の構成を概略的に示す
構成図である。Dは、冷凍機としてパルスチューブ方式
の小型ガス循環式冷却機を使用したエネルギー分散型半
導体X線検出器であり、走査型電子顕微鏡10との組み
合わせによって元素分析装置を構成している。
【0009】1は、前記小型ガス循環式冷却機のコンプ
レッサであり、コンプレッサ1内で作られた高圧と低圧
のヘリウムガスは、それぞれ高圧ヘリウム供給配管2と
低圧ヘリウム供給配管3を通って圧力切換バルブ4に至
り、この圧力切換バルブ4から、連結管5を経て、エネ
ルギー分散型半導体X線検出器Dに送られ、前記コール
ドヘッド6が冷やされる(約80K)。
レッサであり、コンプレッサ1内で作られた高圧と低圧
のヘリウムガスは、それぞれ高圧ヘリウム供給配管2と
低圧ヘリウム供給配管3を通って圧力切換バルブ4に至
り、この圧力切換バルブ4から、連結管5を経て、エネ
ルギー分散型半導体X線検出器Dに送られ、前記コール
ドヘッド6が冷やされる(約80K)。
【0010】7は、前記エネルギー分散型半導体X線検
出器Dおよびコンプレッサ1を制御するためのコントロ
ーラであり、コンプレッサ1とコントローラ7との間に
は、タイマーユニット8が設けられている。このタイマ
ーユニット8は、コントローラ7からの命令をコンプレ
ッサ1に伝達するとともに、任意の時刻にコンプレッサ
1の電源をオンまたはオフにするためのもので、このよ
うな時刻の設定などは、タイマーユニット8を直接操作
して行ってもよいし、コントローラ7から操作するよう
にしてもよい。また、9は、信号処理部で、エネルギー
分散型半導体X線検出器Dに対して電源供給を行うとと
もに、エネルギー分散型半導体X線検出器Dからの検出
信号に基づいて信号処理を行う。
出器Dおよびコンプレッサ1を制御するためのコントロ
ーラであり、コンプレッサ1とコントローラ7との間に
は、タイマーユニット8が設けられている。このタイマ
ーユニット8は、コントローラ7からの命令をコンプレ
ッサ1に伝達するとともに、任意の時刻にコンプレッサ
1の電源をオンまたはオフにするためのもので、このよ
うな時刻の設定などは、タイマーユニット8を直接操作
して行ってもよいし、コントローラ7から操作するよう
にしてもよい。また、9は、信号処理部で、エネルギー
分散型半導体X線検出器Dに対して電源供給を行うとと
もに、エネルギー分散型半導体X線検出器Dからの検出
信号に基づいて信号処理を行う。
【0011】以下に、前記タイマーユニット8について
詳述する。まず、コンプレッサ1によって、所定の部位
(たとえばコールドヘッド6)が、常温から目標温度
(たとえば液体窒素温度)に冷却されるまでの時間t
(たとえば90分)をあらかじめ調べておき、所望の測
定開始時刻Tをタイマーユニット8に設定すると、測定
開始時刻Tの90分(時間t)前に、コンプレッサ1の
電源をオンにするようなプログラムを、前記タイマーユ
ニット8に組み込んでおく。
詳述する。まず、コンプレッサ1によって、所定の部位
(たとえばコールドヘッド6)が、常温から目標温度
(たとえば液体窒素温度)に冷却されるまでの時間t
(たとえば90分)をあらかじめ調べておき、所望の測
定開始時刻Tをタイマーユニット8に設定すると、測定
開始時刻Tの90分(時間t)前に、コンプレッサ1の
電源をオンにするようなプログラムを、前記タイマーユ
ニット8に組み込んでおく。
【0012】上記のようなプログラムを組み込んだタイ
マーユニット8により、たとえば翌朝の9時から測定を
開始したい場合には、前日の測定終了時間から翌朝の9
時までコンプレッサ1の電源を付けたままにする必要が
なくなるため、コンプレッサ1ひいては小型ガス循環式
(パルスチューブ方式)冷却機の稼働時間を減らすこと
ができ、不純物の発生によるコンプレッサ1の寿命の短
縮や、小型ガス循環式(パルスチューブ方式)冷却機全
体にわたる不純物質の蓄積量増加による冷却不良の早期
化を防止することができる。
マーユニット8により、たとえば翌朝の9時から測定を
開始したい場合には、前日の測定終了時間から翌朝の9
時までコンプレッサ1の電源を付けたままにする必要が
なくなるため、コンプレッサ1ひいては小型ガス循環式
(パルスチューブ方式)冷却機の稼働時間を減らすこと
ができ、不純物の発生によるコンプレッサ1の寿命の短
縮や、小型ガス循環式(パルスチューブ方式)冷却機全
体にわたる不純物質の蓄積量増加による冷却不良の早期
化を防止することができる。
【0013】また、所定の部位が初期状態から所定の温
度に冷却されるまでの時間tを、初期状態の温度や、室
温などを考慮して計算するようなプログラムを組み込ん
でもよい。このようにすれば、より前記稼働時間を減ら
すことができる。さらに、前記タイマーユニット8に、
測定終了時刻を設定するようにしてもよいし、また、測
定準備段階において、測定開始時刻までの所要時間や、
そのときの温度を表示するようにしてもよい。
度に冷却されるまでの時間tを、初期状態の温度や、室
温などを考慮して計算するようなプログラムを組み込ん
でもよい。このようにすれば、より前記稼働時間を減ら
すことができる。さらに、前記タイマーユニット8に、
測定終了時刻を設定するようにしてもよいし、また、測
定準備段階において、測定開始時刻までの所要時間や、
そのときの温度を表示するようにしてもよい。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のエネルギ
ー分散型半導体X線検出器は、エネルギー分散型半導体
X線検出器と、このエネルギー分散型半導体X線検出器
を冷却するためのガス循環式冷却機と、ガス循環式冷却
機のコンプレッサおよび前記エネルギー分散型半導体X
線検出器を制御するためのコントローラと、このコント
ローラと前記コンプレッサとの間に位置し、コンプレッ
サを時間的に管理することが可能なタイマーユニットと
を備えたことから、小型ガス循環式冷却機の長寿命化を
図ることができるエネルギー分散型元素分析装置の提供
が可能となる。
ー分散型半導体X線検出器は、エネルギー分散型半導体
X線検出器と、このエネルギー分散型半導体X線検出器
を冷却するためのガス循環式冷却機と、ガス循環式冷却
機のコンプレッサおよび前記エネルギー分散型半導体X
線検出器を制御するためのコントローラと、このコント
ローラと前記コンプレッサとの間に位置し、コンプレッ
サを時間的に管理することが可能なタイマーユニットと
を備えたことから、小型ガス循環式冷却機の長寿命化を
図ることができるエネルギー分散型元素分析装置の提供
が可能となる。
【0015】また、エネルギー分散型半導体X線検出器
および小型ガス循環式冷却機の稼働時間を減らすことが
でき、そのため、メンテナンス期間の延長や、運転時間
の短縮による電力消費量の低減(連続通電時の42%程
度)などの効果を得ることができる。
および小型ガス循環式冷却機の稼働時間を減らすことが
でき、そのため、メンテナンス期間の延長や、運転時間
の短縮による電力消費量の低減(連続通電時の42%程
度)などの効果を得ることができる。
【図1】本発明の一実施例に係るエネルギー分散型元素
分析装置の構成を概略的に示す構成図である。
分析装置の構成を概略的に示す構成図である。
1…コンプレッサ、7…コントローラ、8…タイマーユ
ニット、D…エネルギー分散型半導体X線検出器。
ニット、D…エネルギー分散型半導体X線検出器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G001 AA01 AA03 BA04 BA05 CA01 DA01 GA01 GA06 JA06 KA01 RA03 2G088 EE29 FF02 GG21 JJ40 5F088 AB01 AB16 BA13 BB10 DA20 KA10 LA08
Claims (1)
- 【請求項1】 エネルギー分散型半導体X線検出器と、
このエネルギー分散型半導体X線検出器を冷却するため
のガス循環式冷却機と、ガス循環式冷却機のコンプレッ
サおよび前記エネルギー分散型半導体X線検出器を制御
するためのコントローラと、このコントローラと前記コ
ンプレッサとの間に位置し、コンプレッサを時間的に管
理することが可能なタイマーユニットとを備えているこ
とを特徴とするエネルギー分散型元素分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11184826A JP2001013252A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | エネルギー分散型元素分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11184826A JP2001013252A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | エネルギー分散型元素分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001013252A true JP2001013252A (ja) | 2001-01-19 |
Family
ID=16159982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11184826A Pending JP2001013252A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | エネルギー分散型元素分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001013252A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007003397A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 試料分析装置 |
JP2019035642A (ja) * | 2017-08-14 | 2019-03-07 | 日本電子株式会社 | X線分析装置およびスペクトル生成方法 |
-
1999
- 1999-06-30 JP JP11184826A patent/JP2001013252A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007003397A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 試料分析装置 |
JP4692742B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2011-06-01 | 富士電機ホールディングス株式会社 | 試料分析装置 |
JP2019035642A (ja) * | 2017-08-14 | 2019-03-07 | 日本電子株式会社 | X線分析装置およびスペクトル生成方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050302 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060131 |