JP3113990B2 - ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法 - Google Patents

ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法

Info

Publication number
JP3113990B2
JP3113990B2 JP04025174A JP2517492A JP3113990B2 JP 3113990 B2 JP3113990 B2 JP 3113990B2 JP 04025174 A JP04025174 A JP 04025174A JP 2517492 A JP2517492 A JP 2517492A JP 3113990 B2 JP3113990 B2 JP 3113990B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
helium
gas
liquid
compressor
cooled
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP04025174A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05223378A (ja
Inventor
隆 深野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Nippon Sanso Corp
Original Assignee
Taiyo Nippon Sanso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Nippon Sanso Corp filed Critical Taiyo Nippon Sanso Corp
Priority to JP04025174A priority Critical patent/JP3113990B2/ja
Publication of JPH05223378A publication Critical patent/JPH05223378A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3113990B2 publication Critical patent/JP3113990B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ヘリウム液化冷凍装置
及びその運転方法に関し、詳しくは、冷凍負荷が大きく
変動する被冷却体を冷却するのに適したヘリウム液化冷
凍装置及びその運転方法に関する。
【0002】
【従来の技術】超伝導マグネット等の被冷却体を数Kの
極低温に冷却するための手段として、従来から熱伝導度
の良い超臨界ヘリウムを発生させるヘリウム液化冷凍装
置が用いられている。このヘリウム液化冷凍装置は、一
般に、図2に示すように、循環圧縮機1,複数の熱交換
器を組合わせた熱交換器群2,JT弁3,液体ヘリウム
貯槽4及び図示しない膨張タービン等からなるヘリウム
液化機5と、前記液体ヘリウム貯槽4内の液体ヘリウム
が供給される被冷却体冷却部6等から構成されている。
【0003】また、前記ヘリウム液化機5には、系内を
循環するヘリウム量を一定に保つための経路として、循
環圧縮機1の吐出側及び吸入側に、それぞれ循環量調節
弁8a,9aを有する経路8,9を介して接続するバッ
ファータンク10と、循環圧縮機1の吐出圧力を測定し
て前記循環量調節弁8a,9aを開閉する圧力調節器1
1とが設けられ、また、循環圧縮機1の吸入圧力を一定
に保つための経路として、循環圧縮機1の吐出側及び吸
入側をバイパス弁12aを介して接続する経路12と、
循環圧縮機1の吸入圧力を測定して前記バイパス弁12
aの開度を調節する圧力調節器13とが設けられてい
る。さらに、前記液体ヘリウム貯槽4には、該貯槽4内
の液体ヘリウム量を一定に保つための加熱器14と液面
調節器15とが設けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような構成のヘリ
ウム液化冷凍装置における冷凍能力は、通常、被冷却体
が必要とする最大冷凍負荷に合わせて設計される。例え
ば、電力貯蔵等に応用されるSMES(Super conductin
g magnet energy strage) 等では、常時は超伝導状態に
維持されているが、運用時には短時間の磁場変化を起こ
すため、ACロスが発生して大きな冷凍負荷が要求され
る。このようなSMESにおいては、例えば、定常時に
必要な冷凍能力が100Wであり、ピーク時の必要冷凍
能力が2000Wに達することも十分可能性があるが、
このときに上記ヘリウム液化冷凍装置に要求される冷凍
能力は2100Wとなる。したがって、定常運転時に
は、2000Wの冷凍能力が無駄に消費されていること
になる。
【0005】即ち、定常運転時には、上記2000W相
当分の寒冷が過剰となり、液体ヘリウムの発生量が過剰
な状態となるため、前記液体ヘリウム貯槽4内に加熱器
14を設置し、その入熱により液体ヘリウムを蒸発させ
て所定量の戻りガスを発生させて定常状態を維持しなけ
ればならず、動力の無駄が生じていた。
【0006】特に、上記のようなACロスにより大きな
熱負荷が必要となる期間は、余り長くなく、例えば1日
に20秒程度と考えても実際的な場合があるが、このよ
うな場合は、1日の運転時間のほとんどが無駄な寒冷を
発生させるために費やされていることになる。
【0007】そこで本発明は、定常運転時に必要な冷凍
能力と運用時に必要な最大冷凍能力との差が大きく、ま
た、最大冷凍能力を必要とする時間が定常運転時間に比
べて短い被冷却体を冷却するのに適したヘリウム液化冷
凍装置及びその運転方法を提供することを目的としてい
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明のヘリウム液化冷凍装置は、ヘリウムを循
環させる圧縮機、圧縮したヘリウムを戻りヘリウムとの
熱交換により冷却する熱交換器、冷却後のヘリウムをJ
T膨張させるJT弁、JT膨張により液化したヘリウム
を貯留する液体ヘリウム貯槽、該液体ヘリウム貯槽内の
液体ヘリウムが供給される被冷却体冷却部、該冷却部で
気化したヘリウムガス及び前記液体ヘリウム貯槽内のヘ
リウムガスを戻りヘリウムとして前記熱交換器を介して
前記圧縮機に循環させる経路等を備えたヘリウム液化冷
凍装置において、前記被冷却体冷却部に、該冷却部内の
圧力が上昇したときに開弁する弁を介してガスホルダー
を連設するとともに、該ガスホルダー内に貯蔵されたヘ
リウムガスを前記循環するヘリウムに合流させる手段を
設けたことを特徴としている。
【0009】さらに、本発明装置は、上記構成におい
て、前記圧縮機の吸入側及び吐出側に、それぞれ循環量
調節弁を有する経路を介してバッファータンクを接続す
るとともに、前記両循環量調節弁を圧縮機の吐出圧力に
応じて開閉する圧力調節器を設けたことを特徴とし、ま
た、前記ガスホルダー内に貯蔵されたヘリウムガスを前
記循環するヘリウムに合流させる手段は、前記圧縮機で
圧縮されたヘリウムガスを駆動源として前記ガスホルダ
ー内のヘリウムガスを吸引するエジェクターと、該エジ
ェクター導出後のヘリウムガスを圧縮機の吸入側に循環
させる経路により構成されていることを特徴としてい
る。
【0010】加えて、上記のように構成したヘリウム液
化冷凍装置における安定運転を行うための制御手段とし
て、前記圧縮機の吐出側及び吸入側をバイパス弁を介し
て接続する経路と、該バイパス弁を圧縮機の吸入圧力に
応じて開閉する圧力調節器と、前記冷却部とガスホルダ
ーとの間に設けた弁を冷却部の圧力に応じて開閉する圧
力調節器と、前記ガスホルダー内の圧力に応じて前記エ
ジェクターの駆動源となる圧縮されたヘリウムガスの流
量を調節する圧力調節器と、前記ガスホルダー内のヘリ
ウムガス量に応じて該ガスホルダーから前記エジェクタ
ーに吸引されるヘリウムガスの流量を調節するガス量調
節器と、前記液体ヘリウム貯槽内の液体ヘリウムの量に
応じて該貯槽内に設けた加熱器を作動させて液体ヘリウ
ム量を調節する液量調節器とを備えていることを特徴と
している。
【0011】また、本発明のヘリウム液化冷凍装置の運
転方法は、圧縮したヘリウムを戻りヘリウムとの熱交換
により冷却し、JT膨張により液化して液体ヘリウム貯
槽内に貯蔵し、該液体ヘリウム貯槽内の液体ヘリウムを
所定量導出して被冷却体の冷却源とし、該被冷却体冷却
後のヘリウムを昇温後、再び圧縮して循環させるヘリウ
ム液化冷凍装置の運転方法において、前記被冷却体の冷
却負荷増大時に、前記液体ヘリウム貯槽から導出する液
体ヘリウム量を増量するとともに、該増量分に対応する
被冷却体冷却後のヘリウムをガスホルダーに一時貯蔵し
た後、前記循環するヘリウムに合流させることを特徴と
している。
【0012】
【作 用】被冷却体の冷却負荷が増大して被冷却体冷却
部で気化するヘリウム量が増加し、該気化量の増加によ
り被冷却体冷却部の圧力が上昇すると、ガスホルダーに
連設する弁が開いて、通常の戻りガスより過剰となるヘ
リウムガスをガスホルダーに導出するとともに、液体ヘ
リウム貯槽内の液体ヘリウムが被冷却体冷却部に供給さ
れて被冷却体を所定の温度に保持する。
【0013】このように、通常運転時に比べて大量に発
生する被冷却体冷却部内のヘリウムガスを、ガスホルダ
ー内に貯蔵することにより、循環系のヘリウム量を増大
させることなく大きな冷却負荷に対応することができ
る。したがって、通常運転時に必要な冷凍能力(ヘリウ
ム液化量)より僅かに大きな余剰冷凍能力を有するヘリ
ウム冷凍機を用いて、該余剰冷凍能力により最大負荷の
際に必要となる量の液体ヘリウムを液体ヘリウム貯槽内
に貯留しておくことにより、最大負荷の際に該貯槽内の
液体ヘリウムを被冷却体冷却部に供給して被冷却体を所
定温度に保つことができる。
【0014】上記余剰冷凍能力は、通常運転に対する高
負荷運転の割合や必要な冷凍能力に応じて設定される
が、最大負荷運転時の必要能力との差が大きく、かつ最
大負荷運転時間が短い場合には、通常運転に必要な冷凍
能力より僅かに大きな冷凍能力を付与するだけで良く、
前記最大冷凍負荷に合わせて設計されたヘリウム冷凍機
に比べて冷凍能力を小さくすることができる。
【0015】
【実施例】以下、本発明を、図1に示す一実施例に基づ
いて、さらに詳細に説明する。
【0016】図1に示すヘリウム液化冷凍装置は、前記
図2に示した従来装置と同様に、循環圧縮機21,複数
の熱交換器を組合わせた熱交換器群22,JT弁23,
液体ヘリウム貯槽24及び図示しない膨張タービン等か
ら構成されたヘリウム液化機部分と、前記液体ヘリウム
貯槽24内の液体ヘリウムが供給される被冷却体冷却部
25と、該被冷却体冷却部25に接続されたガスホルダ
ー26と、該ガスホルダー26内のヘリウムガスをヘリ
ウム液化機の循環系に回収する回収経路27と、定常運
転時に被冷却体冷却部25で気化したヘリウムガス及び
液体ヘリウム貯槽24内のヘリウムガスを循環圧縮機2
1の吸入側に戻す経路28,29等とから構成されてい
る。
【0017】上記ヘリウム液化機部分は、従来と同様
に、循環圧縮機21で圧縮したヘリウムガスを熱交換器
群22で戻りガスと熱交換させて冷却し、JT弁23で
JT膨張させて液体ヘリウム貯槽24内に液体ヘリウム
を発生させるものであり、液体ヘリウム貯槽24内のヘ
リウムガスは、低温の戻りガスとして経路29に導出さ
れ、熱交換器群22を通って前記圧縮されたヘリウムガ
スを冷却した後、前記循環圧縮機21に吸入されて再び
圧縮される。
【0018】また、前記被冷却体冷却部25に冷却源と
して供給された液体ヘリウムは、被冷却体を冷却するこ
とにより気化してヘリウムガスとなり、前記経路28か
ら前記経路29の戻りガスと合流して循環圧縮機21に
吸入される。
【0019】一方、前記被冷却体冷却部25とガスホル
ダー26とを接続する経路31には、被冷却体冷却部2
5内の圧力を測定する圧力調節器32により開閉作動す
る弁33と、ガスホルダー26に向かうヘリウムガスを
加温する加熱器34とが設けられている。
【0020】上記圧力調節器32は、被冷却体の冷却負
荷が増大してヘリウムの気化量が多くなり、被冷却体冷
却部25内の圧力が設定圧以上に上昇したときに前記弁
33を開くもので、これにより被冷却体冷却部25内の
ヘリウムガスをガスホルダー26に流入させるように作
動する。また、加熱器34は、ガスホルダー26に流入
するヘリウムガスが低温のままだと、該ガスホルダーに
断熱構造を施したり、熱伸縮に対応するための配慮が必
要であることから、ヘリウムガスを略常温に加温して一
般的なガスホルダーを使用できるようにするためのもの
である。なお、加熱器34には、運転コストのかからな
い空温式を用いることが可能である。
【0021】上記ガスホルダー26は、その形式に特に
制限はないが、内部に貯蔵されるヘリウムガスに水分や
窒素,酸素等が混入することのないものを選定する必要
があるとともに、被冷却体冷却部25内のヘリウムガス
が円滑に流入できるように、内部の圧力を被冷却体冷却
部25内の圧力より低く保てる構造を有している必要が
ある。このようなガスホルダーとしては、例えば、槽内
に、気密に上下動可能な仕切板を配設し、該仕切板をバ
ランサーで吊持した形式のものを挙げることができる。
【0022】また、前記回収経路27は、循環圧縮機2
1の吐出側から吸入側に至る回収循環路41と、該循環
路41に設けられたエジェクター42及び流量調節弁4
3と、前記ガスホルダー26とエジェクター42の吸入
側とを接続する吸入路44及び該吸入路44に設けられ
た流量調節弁45とにより構成されている。
【0023】即ち、上記回収経路27は、循環圧縮機2
1から吐出される高圧のヘリウムガスを駆動源とするエ
ジェクター42により、ガスホルダー26内のヘリウム
ガスを吸入し、循環圧縮機21の吸入側に回収するよう
に形成されており、その回収量は、ガスホルダー26に
設けたガス量検出器46と吸入路44に設けた圧力調節
器47により、前記両流量調節弁43,45の開度を調
節することにより行われる。
【0024】また、本発明では、被冷却体冷却部25内
の圧力が上昇したときに、気化したヘリウムガスの一部
をガスホルダー26内に一時的に貯留するため、このと
きには、前記ヘリウム液化機部分を循環するヘリウム量
が減少し、一方、ガスホルダー26内のヘリウムガスを
前記回収経路27で回収すると、循環ヘリウム量が増大
する現象が生じる。
【0025】上記のように循環ヘリウム量が大きく変動
すると、装置の安定運転に支障を来すことがあるため、
循環ヘリウム量を略一定に保つ経路として、循環圧縮機
211の吐出側及び吸入側に、それぞれ循環量調節弁5
1a,52aを有する経路51,52を介して接続する
バッファータンク53と、循環圧縮機21の吐出圧力を
測定して前記循環量調節弁51a,52aを開閉する圧
力調節器54とが設けられ、また、循環圧縮機21の吸
入圧力を略一定に保つため、循環圧縮機21の吐出側及
び吸入側をバイパス弁55aを介して接続する経路55
と、循環圧縮機21の吸入圧力を測定して前記バイパス
弁55aの開度を調節する圧力調節器56とが設けられ
ている。
【0026】さらに、本発明では、最大負荷時に必要と
なる液体窒素所要量を液体ヘリウム貯槽24内に貯留し
ておくが、該貯留量の最大レベルを略一定に保つため、
該液体ヘリウム貯槽24には、該貯槽24内の液体ヘリ
ウム量を測定する液面調節器57と、該液面調節器57
により作動する加熱器58とが設けられている。
【0027】次に、上記構成のヘリウム液化冷凍装置に
おいて、前記同様に、定常時に必要な冷凍能力が100
Wであり、ピーク時の必要冷凍能力が2000W、その
時間が1日20秒程度の被冷却体を冷却するときの一例
を説明する。
【0028】まず、ピーク時に被冷却体を冷却すること
により蒸発する液体ヘリウム量は、約100g/秒であ
るから、20秒間で約2kgとなり、これは液体ヘリウ
ム16リットル、ヘリウムガスにして7.2m3 に相当
する。したがって、約10m3 の容量を持つガスホルダ
ー26を用いることにより、ピーク時に発生するヘリウ
ムガスを完全に取り込むことができる。
【0029】また、ピーク時には、液体ヘリウム貯槽2
4から上記16リットルの液体ヘリウムが被冷却体冷却
部25に供給され、液体ヘリウム貯槽24内の液体ヘリ
ウムが減少する。したがって、この減少分の16リット
ルの液体ヘリウムを補充する必要があるが、この液体ヘ
リウムの補充は、上記ピーク時以外の定常運転時に行え
ば良い。1日の内、この定常運転の時間は、上記ピーク
時間を差し引いた23時間59分40秒あるが、余裕を
みて12時間で補充を完了できるようにしても、1時間
に1.3リットルの余分な液化能力があれば良いことに
なる。したがって、通常運転時に必要な液化能力に、
1.3リットル/時の液化能力を加えておけば良く、こ
の場合は、110W程度の液化能力があれば十分であ
る。
【0030】即ち、ピーク時に必要となる16リットル
の液体ヘリウムは、通常運転時において、1時間に1.
3リットルの割合で液体ヘリウム貯槽24内に補充され
ることになり、約12時間で必要量の補充が行われる。
所定量の液体ヘリウムが液体ヘリウム貯槽24内に貯留
され、その液面高さが設定されたレベル以上になると、
前記液面調節器57により加熱器58が作動して余剰分
を蒸発させ、液体ヘリウム量を略一定に保つとともに、
循環ヘリウム量も一定に保つようにする。
【0031】また、ピーク時に被冷却体冷却部25内で
気化した7.2m3 のヘリウムガスは、被冷却体冷却部
25内の圧力上昇を検出した圧力調節器32により開作
動した弁33を通り、加熱器34で加温されてガスホル
ダー26内に流入する。これと同時に、ヘリウム液化機
部分では、循環ヘリウム量が7.2m3 分減少すること
になり、循環圧縮機21の吸入圧力が低下するため、前
記圧力調節器56が作動してバイパス弁55aを開き、
吸入圧力を設定圧力以上に保つようにするとともに、吐
出圧力が低下するため、前記圧力調節器54が作動して
循環量調節弁52aを開き、バッファータンク53内の
ヘリウムガスを循環系内に導入する。
【0032】そして、ガスホルダー26内のガス量が設
定値以上になると、前記ガス量検出器46が流量調節弁
45を開くとともに、被冷却体冷却部25からのヘリウ
ムガスの流入による圧力上昇を圧力計47が検出して流
量調節弁43を開く。これにより、回収経路27に循環
圧縮機21で圧縮された高圧のヘリウムガスが導入さ
れ、該ガスを駆動源とするエジェクター42によりガス
ホルダー26内のヘリウムガスが吸入され、循環圧縮機
21の吸入側に回収される。
【0033】さらに、上記ガスホルダー26からのヘリ
ウムガスの回収による循環系内のヘリウム量の増加に伴
う圧力上昇を、前記圧力調節器54が検出して循環量調
節弁51aを開き、循環系内の余剰のヘリウムガスをバ
ッファータンク53に導入する。
【0034】また、ピーク後の定常運転の初期は、前述
のように液体ヘリウム貯槽24内に液体ヘリウムを補充
する運転になるため、加熱器58は作動せず、設定量に
達すると液面調節器57が加熱器58を作動させて補充
量相当分、即ち液体ヘリウムを毎時1.3リットルの割
合で蒸発させる。
【0035】このように、従来2100W必要だった冷
凍能力を、約110Wにすることができるとともに、加
熱器58による入熱量も大幅に低減することができ、ヘ
リウム液化冷凍装置の設備コストや運転コストを大幅に
低減することができる。
【0036】さらに、ガスホルダー26内に貯留したヘ
リウムガスの回収も、エジェクター42を用いることに
より、不純物の混入の可能性もほとんどなく、また、ほ
とんど動力を必要としないため、低コストの運転が行え
るが、循環圧縮機21の吸入側圧力が低いので、簡単な
圧縮機でガスホルダー26から循環圧縮機21吸入側に
ヘリウムガスを戻すことも可能である。
【0037】なお、ヘリウム液化機部分における各部の
構成、例えば寒冷発生のための膨張タービンの設置数や
その容量、温度域等は、必要寒冷量に応じて適宜設定さ
れるものであり、各熱交換器も、上記膨張タービンの設
置状況等に応じて適宜に分割することができる。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
冷凍負荷が大きく変動する被冷却体を冷却するヘリウム
液化冷凍装置の冷凍能力を従来に比べて大幅に小さくす
ることができ、その設備コストや運転コストを大幅に低
減することができる。
【0039】したがって、超伝導マグネット等の被冷却
体を極低温に冷却する装置として好適であり、これらの
実験等に要する費用の大幅な節減を図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のヘリウム液化冷凍装置の一実施例を
示す系統図である。
【図2】 従来のヘリウム液化冷凍装置の一例を示す系
統図である。
【符号の説明】
21…循環圧縮機 22…熱交換器群 23…JT
弁 24…液体ヘリウム貯槽 25…被冷却体冷却
部 26…ガスホルダー 27…回収経路 32,47,54,56…圧力調節器 42…エジェ
クター 46…ガス量検出器 53…バッファータ
ンク 57…液面調節器 58…加熱器

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ヘリウムを循環させる圧縮機、圧縮した
    ヘリウムを戻りヘリウムとの熱交換により冷却する熱交
    換器、冷却後のヘリウムをJT膨張させるJT弁、JT
    膨張により液化したヘリウムを貯留する液体ヘリウム貯
    槽、該液体ヘリウム貯槽内の液体ヘリウムが供給される
    被冷却体冷却部、該冷却部で気化したヘリウムガス及び
    前記液体ヘリウム貯槽内のヘリウムガスを戻りヘリウム
    として前記熱交換器を介して前記圧縮機に循環させる経
    路等を備えたヘリウム液化冷凍装置において、前記被冷
    却体冷却部に、該冷却部内の圧力が上昇したときに開弁
    する弁を介してガスホルダーを連設するとともに、該ガ
    スホルダー内に貯蔵されたヘリウムガスを前記循環する
    ヘリウムに合流させる手段を設けたことを特徴とするヘ
    リウム液化冷凍装置。
  2. 【請求項2】 前記圧縮機の吸入側及び吐出側に、それ
    ぞれ循環量調節弁を有する経路を介してバッファータン
    クを接続するとともに、前記両循環量調節弁を圧縮機の
    吐出圧力に応じて開閉する圧力調節器を設けたことを特
    徴とする請求項1記載のヘリウム液化冷凍装置。
  3. 【請求項3】 前記ガスホルダー内に貯蔵されたヘリウ
    ムガスを前記循環するヘリウムに合流させる手段は、前
    記圧縮機で圧縮されたヘリウムガスを駆動源として前記
    ガスホルダー内のヘリウムガスを吸引するエジェクター
    と、該エジェクター導出後のヘリウムガスを圧縮機の吸
    入側に循環させる経路により構成されていることを特徴
    とする請求項1記載のヘリウム液化冷凍装置。
  4. 【請求項4】 前記圧縮機の吐出側及び吸入側をバイパ
    ス弁を介して接続する経路と、該バイパス弁を圧縮機の
    吸入圧力に応じて開閉する圧力調節器と、前記冷却部と
    ガスホルダーとの間に設けた弁を冷却部の圧力に応じて
    開閉する圧力調節器と、前記ガスホルダー内の圧力に応
    じて前記エジェクターの駆動源となる圧縮されたヘリウ
    ムガスの流量を調節する圧力調節器と、前記ガスホルダ
    ー内のヘリウムガス量に応じて該ガスホルダーから前記
    エジェクターに吸引されるヘリウムガスの流量を調節す
    るガス量調節器と、前記液体ヘリウム貯槽内の液体ヘリ
    ウムの量に応じて該貯槽内に設けた加熱器を作動させて
    液体ヘリウム量を調節する液量調節器とを備えているこ
    とを特徴とする請求項3記載のヘリウム液化冷凍装置。
  5. 【請求項5】 圧縮したヘリウムを戻りヘリウムとの熱
    交換により冷却し、JT膨張により液化して液体ヘリウ
    ム貯槽内に貯蔵し、該液体ヘリウム貯槽内の液体ヘリウ
    ムを所定量導出して被冷却体の冷却源とし、該被冷却体
    冷却後のヘリウムを昇温後、再び圧縮して循環させるヘ
    リウム液化冷凍装置の運転方法において、前記被冷却体
    の冷却負荷増大時に、前記液体ヘリウム貯槽から導出す
    る液体ヘリウム量を増量するとともに、該増量分に対応
    する被冷却体冷却後のヘリウムをガスホルダーに一時貯
    蔵した後、前記循環するヘリウムに合流させることを特
    徴とするヘリウム液化冷凍装置の運転方法。
JP04025174A 1992-02-12 1992-02-12 ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法 Expired - Fee Related JP3113990B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04025174A JP3113990B2 (ja) 1992-02-12 1992-02-12 ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04025174A JP3113990B2 (ja) 1992-02-12 1992-02-12 ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05223378A JPH05223378A (ja) 1993-08-31
JP3113990B2 true JP3113990B2 (ja) 2000-12-04

Family

ID=12158648

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP04025174A Expired - Fee Related JP3113990B2 (ja) 1992-02-12 1992-02-12 ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3113990B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5639818B2 (ja) * 2010-08-24 2014-12-10 大陽日酸株式会社 冷凍液化機及び冷凍液化機の運転方法
CN113324345B (zh) * 2021-06-18 2022-06-17 中国科学院兰州化学物理研究所 一种免液氦低温系统的1.5k超低温实现系统及方法
CN114551025B (zh) * 2022-01-29 2024-01-30 中国科学院合肥物质科学研究院 一种提供液氦迫流冷却工质的装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05223378A (ja) 1993-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2362096C2 (ru) Удаление мгновенно выделяющегося газа из сборника в системе охлаждения
US6609383B1 (en) Cryogenic refrigeration system
JP7300474B2 (ja) 冷却システム
KR950003791B1 (ko) 자동 냉각기 설비의 평형
JP2002195670A (ja) 超臨界蒸気圧縮システムおよび超臨界蒸気圧縮システムを循環する冷媒の高圧成分の圧力を調整する吸入ライン熱交換器
JPS627463B2 (ja)
JP4563269B2 (ja) タービン型冷凍機の冷凍能力制御装置
JP3113990B2 (ja) ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法
KR20220075268A (ko) 수소 냉각 장치, 수소 공급 시스템 및 냉동기
JP2841955B2 (ja) 超臨界ヘリウム冷却装置およびその運転方法
JP2003214682A (ja) 比例制御弁を用いたブラインの温度制御装置
KR20180037768A (ko) 선박용 연료 가스 공급 시스템 및 방법
JP3595910B2 (ja) ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法
JPS63131960A (ja) 極低温液化冷凍装置の減量運転方法
JP3113992B2 (ja) ヘリウム液化冷凍装置
JPH11182948A (ja) 空調装置
JPH0420754A (ja) 冷凍機及びその冷凍能力の調整方法
JPH06159743A (ja) 蓄熱式冷房装置
TWI826199B (zh) 冷卻系統及其操作方法
JP2000154944A (ja) 極低温容器の冷却装置
JP2005003308A (ja) 極低温冷却装置
JPH02275260A (ja) 極低温冷却装置
JPH06331253A (ja) 超電導冷却装置
JPH06283769A (ja) 超電導磁石の冷凍システム
JPH05141799A (ja) ヘリウム液化冷凍装置及びその運転方法

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees