JP2000500426A - ウィスカー強化セラミック切削工具及びその組成物 - Google Patents

ウィスカー強化セラミック切削工具及びその組成物

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ケイ. メーロトラ、パンカジ
アール. ハストン、ウイリアム
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Kennametal Inc
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Abstract

(57)【要約】 出発成分のブレンドを圧密化することによって形成したセラミック組成物である。この組成物はマトリックスを有し、このマトリックスが、ハフニウム、モリブデン、ジルコニウム、タンタル、バナジウム、タングステンの炭化物、窒化物及び浸炭窒化物ならびにこれらの固溶体のうちの一つ以上をマトリックスに対して50体積%を越える量で含む。このマトリックスが、組成物の60〜99.8体積%である。セラミックウィスカーがマトリックスに均一に分散し、このセラミックウィスカーが組成物の0.2〜40体積%である。

Description

【発明の詳細な説明】 ウィスカー強化セラミック切削工具及びその組成物 発明の背景 本発明は、ウィスカー強化材を有するセラミック切削工具及びその組成物に関 する。さらに詳細には、本発明は、セラミックマトリックスの少なくとも50体 積%がチタン、ハフニウム、モリブデン、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、バ ナジウム及び/又はタングステンの炭化物、窒化物、及び/又は浸炭窒化物(car bonitride)を含むセラミックウィスカー強化材を有するセラミック切削工具及び その組成物に関する。 過去には、ウェイ(Wei)による米国特許第4,543,345号に開示される ようなウィスカー強化材を有するセラミック体があった。ウェイの特許は、炭化 シリコンウィスカー強化材を有するアルミナマトリックス、炭化シリコンウィス カーを有する炭化ホウ素マトリックス、及び炭化シリコンウィスカーを有するム ライトマトリックスを開示している。ウェイの特許によると、炭化シリコンウィ スカーを組み込むことによってサブストレート(substrate)の破壊じん性が増大 した。 ヤマガタ(Yamagata)らによる特開昭63−10758号は、主な成分としてア ルミナを含むセラミック複合材料に関する。残りは、TiC 5〜40重量%及び炭 化シリコンウィスカー2〜40重量%である。炭化チタン及び炭化シリコンウィ スカーを合わせた量は50重量%を越えない、即ち、50重量%以下である。ま た、この特許は、アルミニウム、シリコンならびにIVa、Va及びVIa族の元素の酸 化物、炭化物又は窒化物を10重量%まで含むことも述べている。 トイバナ(Toibana)らによる米国特許第4,507,224号は、SiC ファイ バ強化材の適切なマトリックス材料として幾つかの窒化物及び炭化物について、 また、SiC ファイバ強化材の導電性粉末についても述べている。SiC ファイバは 5〜50重量%の量で存在する。この第4,507,224号の特許は、窒化シ リコン、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、炭化シリコン、炭化ホウ素及び炭化チ タンのマトリックスについて特に述べている。この第4,507,224号の特 許は、マトリックスとして炭化シリコンファイバと共にアルミナ、酸化ジルコニ ウム、窒化シリコンを使用する例について述べている。この第4,507,22 4号の特許の焦点は、電気放電機械加工に適したセラミック製品にある。これに ついて、この明細書ではサブストレートの電気抵抗は10Ωcmを越えてはなら ないと述べている。 クポクマル(Kpochmal)による"Fiber Reinforced Ceramics: A Review and Ass essment of their Potential"というタイトルの出版物(9頁〜16頁)は、HfC 又はZrC マトリックスを有する(ファイバ強化材を有する)セラミックについ て述べている。フィラメントは、タングステン、モリブデン、タンタル、ホウ素 、炭素、炭化シリコン、炭化ホウ素及びアルミナを含む。 ウィスカー強化材を有するセラミック切削工具もある。これに関して、ローズ (Rhodes)らによる米国特許第4,789,277号は、セラミックマトリックス にアルミナ、窒化アルミニウム、ベリリア、炭化ホウ素、グラファイト、炭化シ リコン(任意)、及び窒化シリコンのようなセラミックウィスカー(含有量は2 体積%〜40体積%)を使用することを開示している。セラミックマトリックス はアルミナが好ましいが、30%までジルコニア、ハフニア及び炭化チタンを” ドープ”したアルミナを含む。アルミナはマトリックスの主な成分である。 HIGH DENSITY REINFORCED CERAMIC BODIES AND METHOD OF MAKING SAMEという 発明の名称のローズらによる特許出願PCT/US86/00528号は、ウィスカー強化セラ ミック体の無圧焼結について述べている。この特許は、0.5〜21体積%のウ ィスカー含量について述べている。特定した例として、SiC ウィスカー含量が6 .1体積%〜29.2体積%であるアルミナマトリックスの使用について教示し ている。 メロトラ(Mehrotra)らによるALUMINA-TITANIUM CARBIDE-SILICON CARBIDE COM POSITIONという発明の名称の米国特許第5,059,564号は、SiC ウィスカ ー及びTiC 相の分散液を含むアルミナベースのマトリックスに関する。SiC ウィ スカーは1.0〜30体積%未満であり、最も好ましい範囲は2.5〜20体積 %である。TiC は5〜40体積%であり、焼結助剤残留物を3体積%まで含むの が好ましい。 メロトラによるGROUP IVB BORIDE BASED CUTTING TOOLS FOR MACHINING GROUP VIB BASED MATERIALSという発明の名称の米国特許第5,427,987号は、 ホウ化ジルコニウム、ホウ化ハフニウムに関し、特にホウ化チタンの切削工具に 関する。ホウ化物粉末にW 及びCoを添加することによって、組成物の高密度化が 向上した。 ホイットニー(Whitney)らによる1969 Air Force Report は、切削工具として 使用するために、ZrN 及びHfN マトリックスに粒子強化材を高含量使用すること について述べている。この1969 Report では、ウィスカーがこれらのマトリック スを強化することについて述べていない。 ブランド(Brandt)による米国特許第5,231,060号は、切削工具として 使用するためのアルミナのような酸化物ベースのマトリックスを強化するために 、Ti、Zr、Hf、V 、Nb又はTaの窒化物、炭化物及びホウ化物のウィスカーを使用 することを教示している。 スズキ(Suzuki)らによる米国特許第5,439,854号は、TiC 40重量% 以上、炭化シリコンウィスカー(20μm以下の長さ)5〜40重量%含む切削 工具に関する。この切削工具は、アルミナを40重量%までと、焼結助剤を含め てもよい。40重量%までのTiC は、Ti又は窒化物、ホウ化物又は酸化物のよう なTiベースの化合物に置き換えることができる。 表Iは幾つかの従来技術の市販されている切削工具の幾つかの物理的特性を示 す。 これらの市販されている切削工具を参照すると、WG-300切削工具はペンシルバニ ア州(Pennylvania)セガータウン(Saegertown)のグリーンリーフ社(Greenleaf Co rporation)で販売されており、SiC ウィスカー約25体積%とバランスとしてア ルミナを有する組成である。HC6 切削工具はミシガン州(Michigan)ファーミント ンヒルズ(Farmington Hills)のNGK スパークプラグ社(NGK Spark Plugs)(USA)の NTK 切削工具部門で販売されており、TiC 約70体積%とバランスとしてアルミ ナを有する組成である。KO90切削工具はペンシルバニア州ラトローブ(Latrobe) のケンナメタル社(Kennametal Inc.)で製造され、アルミナ70体積%とTiC 3 0体積%の組成を有する。これらの組成物はそれぞれ焼結助剤を少量含んでもよ い。 発明の概要 本発明の目的は、ウィスカー強化材を有する改良されたセラミック切削工具、 及びその組成物を提供することである。 本発明の別の目的は、セラミックマトリックスがチタン、ハフニウム、モリブ デン、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、バナジウム及び/又はタングステンの 炭化物、窒化物及び/又は浸炭窒化物のうちの一つ以上を約50体積%含むセラ ミックウィスカー強化材を有する、改良されたセラミック切削工具及びその組成 物を提供することである。 本発明の別の目的は、セラミックマトリックスがチタン、ハフニウム、モリブ デン、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、バナジウム及び/又はタングステンの 炭化物、窒化物及び/又は浸炭窒化物のうちの一つ以上を約50体積%含み、任 意で、サブストレートがアルミナ、炭化シリコン又はチタン、ジルコニウムもし くはハフニウムのホウ化物の一つ以上の粒子をさらに含んでもよいセラミックウ ィスカー強化材を有する、改良されたセラミック切削工具及びその組成物を提供 することである。 本発明のさらに別の目的は、ウィスカーがアルミナ、炭化シリコン、又はチタ ン、ジルコニウムもしくはハフニウムの炭化物、窒化物、ホウ化物又は浸炭窒化 物のうちの一つを含むセラミックウィスカー強化材を有する、改良されたセラミ ック切削工具及びその組成物を提供することである。 本発明の別の目的は、セラミックマトリックスがチタン、ハフニウム、モリブ デン、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、バナジウム及び/又はタングステンの 炭化物、窒化物及び/又は浸炭窒化物のうちの一つ以上を約50体積%含み、任 意で、サブストレートがアルミナ、炭化シリコン又はチタン、ジルコニウムもし くはハフニウムのホウ化物の一つ以上の粒子をさらに含むセラミックウィスカー 強化材を有する、改良されたセラミック切削工具及びその組成物を提供すること である。セラミックウィスカーは、アルミナ、炭化シリコン、窒化シリコン、炭 化ホウ素、又はチタン、ジルコニウムもしくはハフニウムの炭化物、窒化物、ホ ウ化物もしくは浸炭窒化物、又はジルコニウムもしくはハフニウムの酸化物のう ちの一つ以上を含む。 本発明の一つの形態では、本発明は出発成分のブレンドを圧密化することによ って形成した組成物である。この組成物はマトリックスを含み、このマトリック スは、ハフニウム、モリブデン、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、バナジウム 、チタン、タングステンの炭化物、窒化物及び浸炭窒化物ならびにこれらの固溶 体のうちの一つ以上をマトリックスに対して50体積%よりも多い量で含有する 。このマトリックスは、出発成分として一つ以上の焼結助剤を使用することによ って存在する焼結助剤残留物を出発成分の1重量%以下の量でさらに含む。マト リックスは、組成物の60〜99.8体積%である。組成物は、マトリックスに 均 一に分散するセラミックウィスカーをさらに含み、このセラミックウィスカーは 組成物の0.2〜40体積%である。 本発明の別の形態では、本発明はレーキ面及びフランク面を含むセラミック切 削工具である。レーキ面とフランク面との接合部に切削エッジがある。この工具 は、約45体積%から50体積%より少ない量の炭化チタンモリブデン及び約5 5体積%よりも少ないアルミナを含有するマトリックスを有するセラミック組成 物を含む。マトリックスはセラミック組成物の約60体積%〜約90体積%であ る。この組成物は、マトリックスに均一に分散するセラミックウィスカーをさら に含み、セラミックウィスカーはセラミック組成物の約2体積%〜約35体積% である。 図面の簡単な説明 以下はこの特許出願の一部である図面の簡単な説明である。 図1は本発明の切削工具の特定の実施の形態を含む切削インサートの等角図で ある。 図2は、実施例2に対応する本発明による熱圧複合材料の走査型電子顕微鏡(S EM)の二次電子画像の顕微鏡写真(倍率5000)であり、熱圧軸に垂直な研磨 された平面を示す。 図3は、実施例4に対応する本発明による熱圧複合材料の走査型電子顕微鏡(S EM)の二次電子画像の顕微鏡写真(倍率2000)であり、熱圧軸に垂直な研磨 された平面を示す。 図4は、実施例6に対応する本発明による熱圧複合材料の走査型電子顕微鏡(S EM)の二次電子画像の顕微鏡写真(倍率2000)であり、熱圧軸に垂直な研磨 された平面を示す。 図5は、本発明の実施の形態及び従来技術の組成物の切削時間の関数としての 切削ノッチの磨耗の深さのグラフである。 図6は、本発明の実施の形態及び従来技術の組成物の切削時間の関数としての フランク磨耗のグラフである。 図7は、本発明の実施の形態及び従来技術の組成物の切削時間の関数としての ノーズ磨耗のグラフである。 特定の実施の形態の詳細な説明 本発明は、セラミック組成物に関し、特にセラミックウィスカー強化材を含む セラミック組成物に関する。一般的に、セラミック切削工具はセラミックマトリ ックス及びマトリックスを強化するセラミックウィスカーを含む。マトリックス とウィスカーの組み合わせがサブストレートとなる。このサブストレートは硬質 の材料で被覆される。このような硬質の材料の例として、アルミナ、炭化チタン 、窒化チタン、浸炭窒化チタン、窒化チタンアルミニウム、窒化ホウ素立方晶な らびにダイヤモンド及びこれらの組み合わせが挙げられる。被覆は、化学蒸着(C VD)(メロトラらによるALUMINA COATED SILICON CARBIDE WHISKER-ALUMINA COMP OSITIONという発明の名称の米国特許第4,801,510号を参照のこと)又 は物理蒸着(PVD)(ジンダル(Jindal)らによるPHISICAL VAPOR DEPOSITION OF TI TANIUM NITRIDE ON A NONCONDUCTIVE SUBSTRATEという発明の名称の米国特許第 5,264,297号を参照のこと)又は幾つかの層がPVD によって施され、幾 つかの層がCVDによって施される方法(サンタナム(Santhanam)らによるCOATED C UTTING TOOLSという発明の名称の米国特許第5,232,318号を参照のこと )によって施される。炭化チタン又は浸炭窒化チタンを高含量、即ち、少なくと も25〜30体積%含むサブストレートは、PVD 被覆及びEDM 機械加工に特に適 する程度に電気導電性である。 本発明の特定なマトリックスは、チタン、ハフニウム、モリブデン、ジルコニ ウム、タンタル、ニオブ、バナジウム及び/又はタングステンのうちの一つ以上 の炭化物、浸炭窒化物及び/又は窒化物を含むため、この成分はマトリックスの 約50体積%以上である。 炭化物、窒化物、浸炭窒化物成分の好ましい含量がマトリックスの50体積% を越える理由は、より高い硬度及びより高い破壊じん性が提供されるためである 。これに関して、炭化物、窒化物、浸炭窒化物成分がマトリックスの50体積% を越える場合、破壊じん性は6.3MPam1/2KIC以上であり、好ましくは6.6MP am1/2KIC以上であり、硬度は94.7ロックウェルA以上である。高硬度及び高 破 壊じん性の組み合わせによって、これらの組み合わせが切削工具、軸受、密封リ ング、すり板及びノズルとしての使用に適する。 さらに、マトリックスは炭化シリコン、ホウ化チタン、ホウ化ジルコニウム、 ホウ化クロム、ホウ化ハフニウム、アルミナ、酸化ジルコニウム及び酸化ハフニ ウムの粒子ならびに焼結助剤残留物を含むのがよい。焼結助剤の好ましい含量は 1重量%以下であり、より好ましい焼結助剤の含量は0.5重量%以下である。 好ましい焼結助剤として、単独で又は組み合わせのいずれかで、イットリア、マ グネシア及びジルコニアが挙げられる。 マトリックスは、完全なセラミック切削工具組成の60〜99.8体積%を有 する。 セラミックウィスカーに関して、これらのウィスカーは、炭化シリコン、炭化 チタン、浸炭窒化チタン、窒化チタン、ホウ化チタン、炭化ジルコニウム、浸炭 窒化ジルコニウム、窒化ジルコニウム、ホウ化ジルコニウム、炭化ハフニウム、 窒化ハフニウム、浸炭窒化ハフニウム、ホウ化ハフニウム、アルミナ、窒化シリ コン、炭化ホウ素のような材料のいずれかから選択される。セラミックウィスカ ーは、完全なセラミック切削工具組成の0.2〜40体積%を有する。 本発明において破壊じん性を最大限にするために、IVB 族(チタン、ハフニウ ム又はジルコニウム)の窒化物又は浸炭窒化物ベースのマトリックス、より好ま しくは窒化チタン又は浸炭窒化チタンベースのマトリックスがAl2O3、Si3N4、Ti B2、SiC 、TiC 及びB4C からなる群の一つ以上のウィスカーで強化されるのが好 ましい。TiC 、TiB2、SiC 又はB4C ウィスカーは、窒化チタン又は浸炭窒化チタ ンベースのマトリックスで最も優れた破壊じん性を提供する。 図1及び特定の実施の形態の形状を参照すると、切削工具10が例示される。 切削工具10はレーキ面12及びフランク面14を有する。レーキ面及びフラン ク面が交差して切削エッジ16を形成する。特定の構造は、American National Standard for Cutting Tools-Indexable Inserts-Identification System,ANSI B212.4-1986によると、Tランドを有するSNGN-453T 型の切削インサートである (切削エッジ標本:面取り0.002〜0.004インチ×20°)。他の型の 切削インサート及びエッジ標本も適用可能であり、本発明の範囲内であると見な される。 以下の実施例に示すように、上の定義内のセラミック切削工具は優れた密度、 硬度及び破壊じん性を有する。これらの特性は、スチール、鋳鉄及びニッケルベ ースの超合金の高速機械加工の際に特に優れた切削工具を提供する。 耐磨耗性が化学的耐磨耗性よりも重要である機械加工の用途では、炭化チタン ベースのマトリックスが好ましい。しかし、化学的耐磨耗性が耐磨耗性よりも重 要である場合は、炭化ハフニウムベース又は浸炭窒化チタンベースのマトリック スが好ましい。また、化学的耐磨耗性は、例えば、窒化チタン、浸炭窒化チタン 、窒化チタンアルミニウム、炭化チタン及びアルミナのようなインサートに硬質 の被覆物を施すことによって、向上する。 ニッケルベースの超合金のためには、又は高硬度及び高化学的不活性の組み合 わせが所望される工作物の機械加工のためには、xが0より大きく0.95未満 、且つy+x=1である浸炭窒化チタン(TiCxNy)ベースのマトリックスを使用す るのが好ましい。yは0.5以上であることがより好ましい。x=0である場合 、即ち、窒化チタンである場合、硬度は低減し、これらの材料の高温製造中に窒 化チタンとSiC ウィスカーとの反応が起こる。したがって、yは0.95未満で あるのがよい。浸炭窒化チタン[Ti(CxNy)]のx及びyの他の範囲は、yが0.9 0未満であり且つ0.55以上であって、x+y=1である。浸炭窒化チタン[T i(CxNy)]のx及びyのさらに別の範囲は、yが0.75未満且つ0.6以上であ ってx+y=1である。浸炭窒化チタンは浸炭窒化ハフニウム又は浸炭窒化ジル コニウムに任意に置き換えることができる。 表II〜IVに述べられる以下の実施例は、本発明の例であり、以下の方法にした がって形成した。全ての実施例において、炭化シリコンウィスカーをイソプロパ ノール中に一時間超音波分散した。 実施例1〜7、9及び10では、窒化シリコンは日本の東京のトウカイカーボ ン社(Tokai Carbon Co.)でグレード1という名称で製造されたものである。トウ カイのウィスカーは平均長が20〜50μm、平均直径が0.3〜1μmである 。 これらのトウカイのSiC ウィスカーの結晶構造は大部分はβ炭化シリコンであっ た。 実施例11及び12では、炭化シリコンウィスカーを、サウスカロナイナ州(S outh Carolina)のグリア(Greer)のアドバンスドコンポジットマテリアルズ社(Ad vanced Composite Materials Corporation)からグレード名称SC-9を入手した。S C-9ウィスカーは平均長が10〜80μm、平均直径が0.6μmであった。こ れらのSC-9 SiCウィスカーの結晶構造はα炭化シリコンであった。 実施例1〜7、9〜12の製造方法に関しては、残りの成分をイソパノールと 共に一時間ミルでブレンドした。次に、超音波処理した炭化シリコンウィスカー を、残りの成分をブレンドしたものとミルで20分間ブレンドした。このブレン ドを200メッシュスクリーンにかけ、ロータリーエバポレーターで乾燥し、1 00メッシュスクリーンに通過させた。乾燥したブレンドを、アルゴン雰囲気下 で60分間、4500psiで1750℃〜1850℃の温度で一軸熱圧した。 得られた生成物を上述したようにTランドを有するSNGN-453T 型切削インサート (切削エッジ標本0.002〜0.004インチ及び面取り20°)に研削した 。 以下の表II〜IVは、成分の供給者が一つ以上いる場合にその供給者を括弧書き で特定している。全ての実施例に対してY2O3はドイツのベーデン(Baden)、ロイ ターバーグ(Lauterburg)、D-7887,P O Box 1229 のヘルマン C.ストラックベ ルリン社(Hermann C.Strack Berlin GmbH & Co,KG)から供給した。 表II〜IVにおいて、トウカイから供給した炭化シリコンウィスカーは名称"(T) "となる。アドバンスドコンポジットマテリアルズ社から供給した炭化シリコン ウィスカーは名称"(A)"となる。 実施例の幾つかでは、Al2O3はNanotek Al2O3 Gamma/Delta という名称でイリ ノイ州(Illinois)のダーレン(Darien)のナノフェーズテクノロジー社(Nanophase Technologies Corporation)から供給した。表II〜IVでは、名称"(N)"は、Al2O3 がナノフェーズから入手したことを示す。ナノテックのAl2O3粉末は56.2m2 /gのBET比表面積を有する。Al2O3粉末は純度99.9%以上であった。相はデ ルタ及びガンマであった。ナノテックのAl2O3粉末を使用した実施例(実 施例2)では、MgO 0.05体積%をブレンドに添加した。ナノテックのAl2O3 粉末はほぼ等軸であった。 残りの実施例は、セラロックス(Ceralox)(ビスタケミカル社(Vista Chemical Company)の一部門)によってHPA-0.5 という名称で供給される幾つかのAl2O3粉末 から使用した。表II〜IVでは、"(C)"という名称は、Al2O3がセラロックスから入 手したものであることを示す。セラロックスの粉末は、BET 比表面積が10.0 〜11.5m2/gである。セラロックスのAl2O3は、MgO を0.05体積%含ん だ。セラロックスのAl2O3粉末はほぼ等軸であった。 ニューヨークのビスターフェルドU.S社(Biesterfeld U.S.Inc.)のアドバ スドマテリアル部門から供給したTiは、フルカワ(Furukawa)という名称であり、 比表面積が8.52m2/gであった。表IIでは、"(F)"という名称は、TiC がフ ルカワTiC であることを示す。フルカワTiC 粉末はほぼ等軸であった。 ケンナメタル社のマクロ(Macro)部門からグレードAという名称で供給したTiC 粒子はBET 比表面積が5.9m2/gであった。表IIでは、"(M)"という名称は 、TiC がケンナメタルのマクロ部門から入手したことを示す。マクロ部門のTiC 粒子はほぼ等軸であった。 カナダのブリティッシュコロンビア(British Columbia)のポートコキトラム(P ort Coquitlam)のケンナメタル社のマクロ部門から供給したTi.8MO.2C固体溶液 粉末は、BET 比表面積が4.6m2/gであった。Ti.8MO.2C 固体溶液粉末はほ ぼ等軸であった。 ケンナメタル社のマクロ部門から供給した浸炭窒化チタン粉末は、BET 比表面 積が5.2m2/gであった。この成分は化学式がTiC.7N.3である。マクロ部門 の浸炭窒化チタン粉末はほぼ等軸であった。 表II〜IVは組成(及び供給者)及び熱圧温度を示す。組成は、全組成に対する 体積%で示される。マトリックスの一部である成分では、その成分のマトリック スに対する体積%を括弧書で示す。実施例1〜7及び9〜12の全てに対して、 アルミナ成分はマグネシアを約0.05体積%含んでいた。 さらに、表II〜IVは、密度(g/cc)、ロックウェルA硬度、ビッカース硬 度、エバンスアンドチャールズ(Evans & Charles)(Evans & Charles,"Fracture Toughness Determination by Indentation",J.American Ceramic Society,V ol.59,Nos,7-8,第371頁〜第372頁)(18.5kgの荷重を使用)に よって測定した破壊じん性(MPam1/2)のような実施例の特性を調べるための試験 の結果を示す。 実施例の物理的特性を参照することによって、これらの組成物が優れた切削工 具を作る物理的特性を有することが明らかとなる。 例えば、表IIの組成の物理的特性を参照すると、実施例1〜3、9及び10は TiC 、アルミナ及びSiC ウィスカーを有してなる組成を有する。これらの組成物 の密度は4.069g/cc〜4.318g/ccである。ロックウェルA硬度 (HRA)は94.7〜95.1の範囲であり、ビッカース硬度は19.7〜21. 1の範囲である。破壊じん性KIC(E&C)は6.3〜7.2MPam1/2の範囲であ る。 実施例10を実施例9と比較すると、TiC 含量(40体積%から50体積%へ )及びアルミナ含量(24.75体積%から34.75体積%へ)が増加する一 方、SiC ウィスカー含量が(35体積%から15体積%へ)減少しているため、 焼結複合材料の密度が4.069g/ccから4.318g/ccに増加してい る。 表IIの実施例の全てを参照すると、硬度パラメータ(ロックウェルA及びビッ カー)に認識できる兆候は見られない。 実施例1と2を比較すると、アルミナ粉末の粗さは物理的特性にあまり影響を 与えないことが分かる。 さらに表IIの複合材料を参照して実施例9と実施例1〜3を比較すると、破壊 じん性(KIC)は、アルミナ含量が減少し炭化シリコンウィスカー含量が増加す ると増大することが分かる。さらに詳細には、TiC 含量はそのままで、アルミナ が約35体積%から約25体積%に減少し、炭化シリコンウィスカー含量が約2 5体積%から約35体積%に増加することによって、破壊じん性(KIC)が6. 3及び6.6から7.2MPam1/2に増大する。 実施例9と10を比較することによって、TiC 及びアルミナ含量が減少し、Si C ウィスカー含量が増加すると、破壊じん性(KIC)が6.7から7.2MPam1/ 2 に増大することが明らかとなる。 表III のTiC.7N.3-alumina-SiCウィスカー複合材料の物理的特性を参照すると 、アドバンスドコンポジットマテリアルズ社によるSC-9炭化シリコンウィスカー を 使用することによって、このTiCN-alumina-SiCウィスカー複合材料の破壊じん性 が6.3及び6.6から7.5MPam1/2に増大することが明らかになった。複合 材料はある程度類似しているが、破壊じん性の増大は、トウカイの炭化シリコン ウィスカーと比較すると、SC-9ウィスカーの性質によるものと思われる。 Ti.8Mo.2C-alumina-SiC ウィスカー複合材料の物理的特性を示す表IVの実施例 (実施例5及び6)を参照すると、実施例5と6を比較することによって、Ti.8 Mo.2Cが5体積%減少し、アルミナが3体積%増加し、SiC ウィスカーが2体積 %増加しても、Ti.8Mo.2C-Al2O3-SiCウィスカー複合材料の特性にあまり影響を 及ぼさないことが分かる。 全体として、本発明の上記の複合材料は、表Iに示した従来技術の切削工具の 組成と比べものにならない硬度と破壊じん性の組み合わせを有することが分かる 。 本発明の組成物の実施例の顕微鏡写真を図2、3、及び4に示す。実施例2に 対応する図2では、最も明るい相がアルミナであり、グレー相が炭化チタンであ り、細長い(又は最も暗い)相は炭化シリコンウィスカーである。実施例4に対 応する図3では、最も明るい相はアルミナであり、最も暗い相は炭化シリコンウ ィスカーであるが、グレーの相は浸炭窒化チタンである。実施例6に対応する図 4では、最も明るい相及び最も暗い相はそれぞれアルミナ及び炭化シリコンウィ スカーであるが、グレーの相は炭化チタンモリブデンである。 本発明によると、表IIに示される実施例1、3、4、6及び7の組成物は、SN GN-453T インデックス可能切削インサートに研削され、速度800表面フィート /分、送り速度0.006インチ/回転、切削深さ0.050インチ、冷却剤(f lood coolant)、及びリード角45°の条件の回転試験で、インコーネル718 (Inconel 718)(ロックウェルC硬度38)を機械加工するために使用した。 使用した寿命基準の限界は、フランク磨耗(FW)=0.030インチ;最大フラン ク磨耗(MW)=0.040インチ;ノーズ磨耗(NW)=0.040インチ;切削ノッ チの深さ(DN)=0.080インチ;及びクレーター磨耗(CR)=0.004インチ である。比較するために、同じインサート形状のWG-300(実施例8)のサンプル を試験に含めた。これらの試験の結果を以下の表V及び図5、6、及び7に示す 。 各実施例は、図5、6、及び7で同じ参照番号で特定する。これらの結果から、 浸炭窒化チタン又は炭化チタンモリブデンに基づくマトリックスを有する工具が 上記条件下で最も優れた切削エッジ寿命を有することを示す。損傷を起こす最も 早い磨耗メカニズム及び磨耗メカニズムは、表Vに示される材料の全てについて 深さに表れた。しかし、本発明のフランク耐磨耗性は、試験した従来技術のグレードよりも小さ い。フランク耐磨耗性は、マトリックスを形成する浸炭窒化チタンの窒素含量を 増加させるか又はマトリックスで使用する炭化チタンモリブデンのモリブデン含 量を増加させることによって向上すると思われる。また、本発明のフランク耐磨 耗性は、本発明による組成物からなる切削インサートに硬質の被覆を施すことに よっても向上する。好ましい硬質の被覆物として、PVD 及び/又はCVD 技術によ って施された窒化チタン、浸炭窒化チタン、窒化チタンアルミニウム、及びアル ミナ被覆物が挙げられる。 試験した従来技術のグレード(実施例8/WG-300)のフランク耐磨耗性は、実 施例1、3、4、6及び7よりもよい。これは、従来技術のグレードのアルミナ 含量がより高いためであると思われる。より詳細には、従来技術のグレード(実 施例8/WG-300)は、実施例1、3、4、6及び7の約35〜40体積%と比較 して、アルミナ含量が約75体積%である。本発明のフランク耐磨耗性は、多量 のアルミナを使用することによって、又は炭化シリコンウィスカーの量を減少さ せることによって、及びマトリックス相、例えば浸炭窒化チタン又はアルミナの うちの一つ以上を増加させることによって向上する。 本明細書中に参照した全ての出願、特許及び他の文献は参照として本明細書中 に援用される。 本発明の他の実施形態は、本明細書中に開示した本発明の明細書又は方法を考 慮することによって当業者にとって明らかとなるであろう。明細書及び実施例は 単に例示であって、本発明の範囲及び精神は以下の請求の範囲によって示される ことを意図する。
【手続補正書】特許法第184条の8第1項 【提出日】1997年11月12日(1997.11.12) 【補正内容】 トイバナ(Toibana)らによる米国特許第4,507,224号は、SiC ファイ バ強化材の適切なマトリックス材料として幾つかの窒化物及び炭化物について、 また、SiC ファイバ強化材の導電性粉末についても述べている。SiC ファイバは 5〜50重量%の量で存在する。この第4,507,224号の特許は、窒化シ リコン、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、炭化シリコン、炭化ホウ素及び炭化チ タンのマトリックスについて特に述べている。この第4,507,224号の特 許は、マトリックスとして炭化シリコンファイバと共にアルミナ、酸化ジルコニ ウム、窒化シリコンを使用する例について述べている。この第4,507,22 4号の特許の焦点は、電気放電機械加工に適したセラミック製品にある。これに ついて、この明細書ではサブストレートの電気抵抗は10Ωcmを越えてはなら ないと述べている。 クポクマルによる出版物(即ち、Kpochmal,"Fiber Reinforced Ceramics: A Review and Assessment of their Potential",United States Air Force Techn ical Report AMFL-TR-67-207(1967),第9頁〜16頁)は、HfC 又はZrC マトリ ックスを有する(ファイバ強化材を有する)セラミックについて述べている。フ ィラメントとして、タングステン、モリブデン、タンタル、ホウ素、炭素、炭化 シリコン、炭化ホウ素及びアルミナが挙げられる。 ウィスカー強化材を有するセラミック切削工具もある。これに関して、ローズ (Rhodes)らによる米国特許第4,789,277号は、セラミックマトリックス にアルミナ、窒化アルミニウム、ベリリア、炭化ホウ素、グラファイト、炭化シ リコン(任意)、及び窒化シリコンのようなセラミックウィスカー(含有量は2 体積%〜40体積%)を使用することを開示している。セラミックマトリックス はアルミナが好ましいが、30%までジルコニア、ハフニア及び炭化チタンを” ドープ”したアルミナを含む。アルミナはマトリックスの主な成分である。 日本国特許出願(公開)特開平2−116691号は、被覆されたセラミック 切削工具に関し、この工具の組成は、酸化アルミニウムを5〜40体積%、Mg、 Ti、Zr、Y 及び希土類原子の酸化物を0.5〜10体積%含有し、残りはチタン の炭化物、窒化物及び浸炭窒化物から選択される。炭化チタン、窒化チタン、浸 炭窒化チタン成分の一部はウィスカーであり、これらのウィスカーが組成全体の 5〜45体積%である。切削工具は、化学蒸着又は物理蒸着のいずれかによって 施された(単一の層又は複数の層の)被覆物を有する。 日本国特許出願(公開)特開平2−157176号は被覆された切削工具に関 し、この工具の組成は、チタンの炭化物、窒化物及び浸炭窒化物からなる群から 選択した一つ以上の化合物を20〜50体積%、マグネシウム、チタン、ジルコ ニウム、イットリウム及び希土類原子の酸化物からなる群から選択した一つ以上 を0.5〜10体積%、及びバランスとして酸化アルミニウムを含有する。この 化合物は、炭化チタン、窒化チタン及び浸炭窒化チタン10〜80体積%がウィ スカーを含むことが必要となる。切削工具は、化学蒸着又は物理蒸着のいずれか によって施された(単一の層又は複数の層の)被覆物を有する。 HIGH DENSITY REINFORCED CERAMIC BODIES AND METHOD OF MAKING SAMEという 発明の名称のローズらによる特許出願PCT/US86/00528号は、 請求の範囲 1.セラミック切削工具であって、レーキ面、フランク面、前記レーキ面と前記 フランク面との接合部に切削エッジを有し、ハフニウム、モリブデン、ジルコニ ウム、タンタル、ニオブ、バナジウム、タングステン、チタンの炭化物、窒化物 及び浸炭窒化物、ならびにこれらの固溶体のうちの一つ以上を少なくとも50体 積%含むマトリックスを有するセラミック組成物を含有し、前記マトリックスが 、出発成分として一つ以上の焼結助剤を使用することによって存在する焼結助剤 残留物を、出発成分に対して0体積%を越えて0.5体積%未満の量でさらに含 み、焼結助剤がイットリア、マグネシア及びジルコニアのうちの一つ以上を含み 、マトリックスはセラミック組成物の60〜99.8体積%であり、マトリック スに均一に分散するセラミックウィスカーを有し、前記セラミックウィスカーが セラミック組成物の0.2〜40体積%であり、前記レーキ面及び前記フランク 面に被覆物を含む、セラミック切削工具。 2.被覆物が、アルミナ、TiC 、TiN 、TiCN及びTiAlN からなる群から選択され る層を含む請求項1記載のセラミック切削工具。 3.前記層が化学蒸着によって施される請求項2記載のセラミック切削工具。 4.前記層が物理蒸着によって施される請求項2記載のセラミック切削工具。 5.セラミックウィスカーが炭化シリコンウィスカーを含有し、前記炭化シリコ ンウィスカーが組成物の約2体積%〜約35体積%である請求項5記載のセラミ ック切削工具。 6.一つ以上の焼結助剤が出発成分の0重量%を越えて0.3重量%以下である 請求項1記載のセラミック切削工具。 7.マトリックスが炭化チタンモリブデンを50体積%を越えて含有し、マトリ ックスの残りが少なくとも40体積%のアルミナである請求項1記載のセラミッ ク切削工具。 8.セラミックウィスカーが炭化シリコンウィスカーを含有し、前記炭化シリコ ンウィスカーが組成物の約2体積%〜約35体積%である請求項7記載のセラミ ック切削工具。 9.前記切削工具が94.7ロックウェルAより大きな硬度を有する請求項1記 載のセラミック切削工具。 10.出発成分のブレンドを圧密化することによって形成した組成物であって、ハ フニウム、モリブデン、タングステン、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、バナ ジウムンチタンの炭化物、窒化物及び浸炭窒化物ならびにこれらの固溶体のうち の一つ以上を含むマトリックスを含み、前記マトリックスが、出発成分として一 つ以上の焼結助剤を使用することによって存在する焼結助剤残留物を、出発成分 に対して0より多く0.5重量%より少ない量で含み、前記焼結助剤がイットリ ア、マグネシア及びジルコニアのうちの一つ以上を含み、前記マトリックスが組 成物の60〜99.8体積%であり、マトリックスに均一に分散するセラミック ウィスカーを有し、前記セラミックウィスカーが組成物の0.2〜40体積%で あり、前記組成物が94.7ロックウェルAより大きな硬度を有する、上記組成 物。 11.前記マトリックスが浸炭窒化チタンを50体積%を越えて含有し、残りがア ルミナ少なくとも40体積%であり、前記浸炭窒化チタンが化学式Ti(CxNy)であ り、yが0.90未満0.55以上であり、且つx+y=1である請求項10記載 の組成物。 12.セラミックウィスカーが炭化シリコンウィスカーを含有し、前記炭化シリコ ンウィスカーが組成物の約10体積%〜約30体積%である請求項10記載の組成 物。 13.一つ以上の焼結助剤が出発成分の0重量%を越えて0.3重量%以下である 請求項10記載の組成物。 14.出発成分のブレンドを圧密化することによって形成した組成物であって、ハ フニウム、モリブデン、タングステン、ジルコニウム、タンタル、ニオブ、バナ ジウム、チタンの炭化物、窒化物及び浸炭窒化物ならびにこれらの固溶体のうち の一つ以上を含むマトリックスを含み、前記マトリックスが、出発成分と して一つ以上の焼結助剤を使用することによって存在する焼結助剤残留物を、出 発成分に対して0より多く0.5重量%より少ない量で含み、前記焼結助剤がイ ットリア、マグネシア及びジルコニアのうちの一つ以上を含み、前記マトリック スが組成物の60〜99.8体積%であり、マトリックスに均一に分散するセラ ミックウィスカーを有し、前記セラミックウィスカーが組成物の0.2〜40体 積%であり、マトリックスが、浸炭窒化チタンを50体積%を越えて含有し、残 りがアルミナ少なくとも40体積%であり、前記浸炭窒化チタンが化学式Ti(CxNy )であり、yが0.75未満0.6以上であり、且つx+y=1である、上記組 成物。 15.出発成分のブレンドを圧密化することによって形成した組成物であって、該 組成物がマトリックスを有し、前記マトリックスが、前記マトリックスの約50 体積%以上の浸炭窒化チタン、前記マトリックスの40体積%を越えたアルミナ 、及び0を越えて0.5重量%未満の量の出発成分として一つ以上の焼結助剤を 使用することによって存在する焼結助剤残留物から実質的になり、焼結助剤がイ ットリア、マグネシア及びジルコニアのうちの一つ以上を含み、前記マトリック スが前記組成物の60〜99.8体積%であり、前記組成物がマトリックスに均 一に分散するセラミックウィスカーをさらに有し、前記セラミックウィスカーが 前記組成物の0.2〜40体積%であり、前記浸炭窒化チタンが化学式Ti(CxNy) であり、yが0.9未満0.5以上であり、且つx+y=1である、上記組成物 。 16.前記浸炭窒化チタンが化学式Ti(CxNy)であり、yが約0.5に等しく、且つ x+y=1である請求項15記載の組成物。 17.セラミックウィスカーがアルミナ、炭化シリコン、炭化ホウ素、窒化シリコ ン、ならびにチタン、ジルコニウム及びハフニウムの炭化物、窒化物、ホウ化物 及び浸炭窒化物のうちの一つ以上から選択される、請求項15記載の組成物。 18.セラミックウィスカーが炭化チタン、ホウ化チタン、炭化シリコン及び炭化 ホウ素のうちの一つ以上から選択される、請求項15記載の組成物。 19.セラミックウィスカーが炭化シリコンウィスカーを含有し、前記炭化シリコ ンウィスカーが組成物の2体積%〜35体積%である請求項15記載の組成物。 20.組成物が、炭化シリコン、ホウ化チタン、ホウ化ジルコニウム、ホウ化ハフ ニウム、アルミナ、酸化ジルコニウム及び酸化ハフニウムからなる群のうちの一 つ以上から選択されるセラミック粒子を含有する請求項15記載の組成物。 21.前記セラミックウィスカーが炭化シリコンを含有し、前記炭化シリコンウィ スカーが平均長10〜80μm、平均直径0.6μmである請求項15記載の組成 物。 22.前記炭化シリコンの結晶構造がα炭化シリコンである請求項21記載の組成物 。 23.面、及び前記面の上に被覆物をさらに有する、請求項15記載の組成物。 24.被覆物が、アルミナ、TiC 、TiN 、TiCN及びTiAlN からなる群から選択され る層を少なくとも一つ含む請求項23記載の組成物。 25.前記層が化学蒸着によって施される請求項24記載の組成物。 26.前記層が物理蒸着によって施される請求項24記載の組成物。 27.被覆物が、アルミナ、TiC 、TiN 、TiCN及びTiAlN からなる群のうちの一つ 以上から選択した第2層をさらに含み、第1層は化学蒸着によって施され、第2 層は物理蒸着によって施される請求項24記載の組成物。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C04B 35/58 105 C04B 35/10 E 35/81 35/48 C

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.出発成分のブレンドの圧密化によって形成される組成物であって、該組成物 が、マトリックス及び該マトリックスに均一に分散するセラミックウィスカーを 含有し、前記マトリックスが、ハフニウム、モリブデン、タング ステン、ジル コニウム、タンタル、ニオブ、バナジウム、チタンの炭化物、窒化物及び浸炭窒 化物ならびにこれらの固溶体のうちの一つ以上を前記マトリックスに対して50 体積%を越える量で含有し、前記マトリックスが、出発成分として一つ以上の焼 結助剤を使用することによって存在する焼結助剤残留物を出発成分の0.5重量 %よりも少ないで量さらに含み、前記焼結助剤はイットリア、マグネシア、ジル コニアのうちの一つ以上を含み、前記マトリックスは組成物の60〜99.8体 積%であり、前記セラミックウィスカーが組成物の0.2〜40体積%である、 上記組成物。 2.セラミックウィスカーが、アルミナ、炭化シリコン、炭化ホウ素、窒化シリ コン、ならびにチタン、ジルコニウム、及びハフニウムの炭化物、窒化物、ホウ 化物及び浸炭窒化物のうちの一つ以上から選択される請求項1記載の組成物。 3.マトリックスが、炭化シリコン、ホウ化チタン、ホウ化ジルコニウム、ホウ 化ハフニウム、アルミナ、酸化ジルコニウム及び酸化ハフニウムからなる群のう ちの一つ以上から選択される請求項1記載の組成物。 4.マトリックスが、浸炭窒化チタンを50体積%を越えて含有し、マトリック スの残りは少なくとも40体積%のアルミナである請求項1記載の組成物。 5.セラミックウィスカーが炭化シリコンウィスカーを含有し、前記炭化シリコ ンウィスカーが組成物の約2体積%〜約35体積%である請求項5記載の組成物 。 6.セラミックウィスカーが炭化シリコンウィスカーを含有し、前記炭化シリコ ンウィスカーが組成物の10体積%〜30体積%である請求項5記載の組成物。 7.マトリックスが浸炭窒化チタンを50体積%を越えて含有し、マトリックス の残りが50体積%より少ないアルミナである請求項1記載の組成物。 8.マトリックスが炭化チタンモリブデンを50体積%を越えて含有し、マトリ ックスの残りが少なくとも40体積%のアルミナである請求項1記載の組成物。 9.セラミックウィスカーが炭化シリコンウィスカーを含有し、前記炭化シリコ ンウィスカーが組成物の約2体積%〜約35体積%である請求項8記載の組成物 。 10.マトリックスが炭化チタンモリブデンを50体積%を越えて含有し、マトリ ックスの残りが50体積%より少ないアルミナである請求項1記載の組成物。 11.セラミック切削工具であって、レーキ面、フランク面、前記レーキ面と前記 フランク面との接合部に切削エッジを有し、ハフニウム、モリブデン、ジルコニ ウム、タンタル、ニオブ、バナジウム、タングステン、チタンの炭化物、窒化物 及び浸炭窒化物ならびにこれらの固溶体のうちの一つ以上を少なくとも50体積 %含むマトリックスを有するセラミック組成物を含有し、前記マトリックスが、 出発成分として一つ以上の焼結助剤を使用することによって存在する焼結助剤残 留物を出発成分の0.5重量%より少ない量でさらに含み、前記焼結助剤が、イ ットリア、マグネシア、ジルコニアのうちの一つ以上を含み、前記マトリックス がセラミック組成物の60体積%〜99.8体積%であり、マトリックスに均一 に分散するセラミックウィスカーを含有し、前記セラミックウィスカーがセラミ ック組成物の0.2〜40体積%である、セラミック切削工具。 12.セラミックウィスカーがアルミナ、炭化シリコン、窒化シリコン、炭化ホウ 素、又はチタン、ジルコニウムもしくはハフニウムの炭化物、窒化物、ホウ化物 もしくは 浸炭窒化物のうちの一つ以上から選択される、請求項12記載のセラミ ック切削工具。 13.マトリックスが、炭化シリコン、ホウ化チタン、ホウ化ジルコニウム、ホウ 化ハフニウム、アルミナ、酸化ジルコニウム及び酸化ハフニウムからなる群のう ちの一つ以上から選択されるセラミック粒子をさらに含む請求項12記載のセラミ ック切削工具。 14.レーキ面及びフランク面上に被覆物をさらに含む請求項12記載のセラミック 切削工具。 15.被覆物が、アルミナ、TiC 、TiN 、TiCN及びTiAlN からなる群から選択され る層を含む請求項15記載のセラミック切削工具。 16.前記層が化学蒸着によって施される請求項16記載のセラミック切削工具。 17.前記層が物理蒸着によって施される請求項16記載のセラミック切削工具。 18.出発成分のブレンドを圧密化することによって形成されるセラミック組成物 であって、マトリックス及び該マトリックスに均一に分散するセラミックウィス カーを含有し、前記マトリックスが、窒化チタン、浸炭窒化チタン、ハフニウム 、モリブデン、ニオブ、及びタングステンの炭化物、窒化物及び浸炭窒化物なら びにこれらの固溶体のうちの一つ以上をマトリックスに対して50体積%を越え る量で含み、前記マトリックスが組成物の60〜99.8体積%であり、前記セ ラミックウィスカーが組成物の0.2〜40体積%である、上記セラミック組成 物。 19.セラミックウィスカーが、アルミナ、炭化シリコン、窒化シリコン、炭化ホ ウ素、ならびにチタン、ジルコニウム及びハフニウムの炭化物、窒化物、ホウ化 物及び浸炭窒化物のうちの一つ以上から選択される請求項19記載の組成物。 20.マトリックスが、炭化シリコン、ホウ化チタン、ホウ化ジルコニウム、ホウ 化ハフニウム、ホウ化クロム、アルミナ、酸化ジルコニウム、及び酸化ハフニウ ムからなる群のうちの一つ以上から選択されるセラミック粒子をさらに含む請求 項19記載の組成物。 21.マトリックスが、炭化チタン、ジルコニウム、タンタル及びバナジウムの炭 化物、浸炭窒化物及び窒化物をさらに含み、出発成分として一つ以上の焼結助剤 を使用したことによって存在する焼結助剤残留物を出発成分の1重量%以下の量 で含む請求項19記載の組成物。 22.マトリックスが炭化チタンを50体積%を越えて含有し、マトリックスの残 りがアルミナを少なくとも40体積%と焼結助剤残留物を含有する請求項22記載 の組成物。 23.セラミックウィスカーが炭化シリコンウィスカーを含有し、前記炭化シリコ ンウィスカーが組成物の約10体積%〜約40体積%である請求項23記載の組成 物。 24.マトリックスが炭化チタンを50体積%を越えて含有し、マトリックスの残 りが50体積%より少ないアルミナ及び焼結助剤残留物を含有する請求項22記載 の組成物。 25.セラミック切削工具であって、レーキ面、フランク面、前記レーキ面と前記 フランク面との接合部に切削エッジを有し、炭化チタンモリブデンを約45体積 %から約50体積%より少ない量で含有し、アルミナを約55体積%より少ない 量で含有するマトリックスを有するセラミック組成物を有し、前記マトリックス がセラミック組成物の約60体積%〜約90体積%であり、マトリックスに均一 に分散するセラミックウィスカーを有し、前記セラミックウィスカーがセラミッ ク組成物の約2体積%〜約35体積%である、上記セラミック切削工具。 26.マトリックスがアルミナを約55体積%から約50体積%を越えて含有する 請求項26記載のセラミック切削工具。 27.セラミックウィスカーがセラミック組成物の約10体積%〜約30体積%で ある請求項26記載のセラミック切削工具。 28.一つ以上の焼結助剤が出発成分の0.3重量%以下である請求項1記載の組 成物。 29.浸炭窒化チタンが化学式Ti(CxNy)であり、yが0.5より大きく0.95未 満であり、且つx+y=1である請求項5記載の組成物。 30.浸炭窒化チタンが化学式Ti(CxNy)であり、yが0.55以上0.90未満で あり、且つx+y=1である請求項5記載の組成物。 31.浸炭窒化チタンが化学式Ti(CxNy)であり、yが0.6以上0.75未満であ り、且つx+y=1である請求項5記載の組成物。
JP9518828A 1995-11-13 1996-09-20 ウィスカー強化セラミック切削工具及びその組成物 Ceased JP2000500426A (ja)

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