JP2000347207A - 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 目視レベルの確認で駆動ＩＣの実装状態の良
否判定を可能にし、顕微鏡観察等の駆動ＩＣ実装状態の
良否判定確認工数を大幅に削減する。 【解決手段】 ＴＣＰリード３０等の外部駆動回路に接
続して画素電極に電圧を印加するために、基板から引き
出された遮光性金属膜を含む単層又は積層構造の金属配
線よりなる複数の接続端子部を有する液晶表示装置にお
いて、接続端子部のパネル端子２１の遮光性金属膜に配
線引き出し方向と平行で、かつ各々の接続端子の中心線
と同一の中心線を有するスリット２２を設ける。スリッ
ト２２の平面形状における寸法は、その幅をＸ、パネル
端子の遮光性金属膜層の幅をＷ、ＡＣＦ（異方性導電
膜）を介した外部駆動回路接続端子とパネル端子の接続
に最低限必要なオーバーラップ量をＲと定義するなら
ば、 Ｘ＝２Ｒ−Ｗ なる関係式が満たされる。
否判定を可能にし、顕微鏡観察等の駆動ＩＣ実装状態の
良否判定確認工数を大幅に削減する。 【解決手段】 ＴＣＰリード３０等の外部駆動回路に接
続して画素電極に電圧を印加するために、基板から引き
出された遮光性金属膜を含む単層又は積層構造の金属配
線よりなる複数の接続端子部を有する液晶表示装置にお
いて、接続端子部のパネル端子２１の遮光性金属膜に配
線引き出し方向と平行で、かつ各々の接続端子の中心線
と同一の中心線を有するスリット２２を設ける。スリッ
ト２２の平面形状における寸法は、その幅をＸ、パネル
端子の遮光性金属膜層の幅をＷ、ＡＣＦ（異方性導電
膜）を介した外部駆動回路接続端子とパネル端子の接続
に最低限必要なオーバーラップ量をＲと定義するなら
ば、 Ｘ＝２Ｒ−Ｗ なる関係式が満たされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に関
し、特に、外部駆動回路に接続して画素電極に電圧を印
加するために、基板から引き出された遮光性金属膜を含
む複数の接続端子部を有する液晶表示装置及び液晶表示
装置の製造方法に関する。
し、特に、外部駆動回路に接続して画素電極に電圧を印
加するために、基板から引き出された遮光性金属膜を含
む複数の接続端子部を有する液晶表示装置及び液晶表示
装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術として特開平１０−２２８０
２９号公報は下記の開示をしている。図１２は、特開平
１０−２２８０２９号公報に開示された技術におけるパ
ネル側接続端子部平面図、およびそのＡ−Ａ断面図であ
る。図１２に示すように特開平１０−２２８０２９で
は、パネル端子は第１金属層７３３と、これに積層され
るＩＴＯ（Indium-Tin-Oxide）膜７３２からなり、かつ
この積層体の長手方向辺部に沿ってＩＴＯ膜に形成され
たスルーホールを通して第１金属層７３３に接続される
第２金属層７３５と、この第２金属層７３５を覆う保護
膜７３４とから構成される液晶表示装置において、第２
金属層７３５に沿って第１金属層７３３に駆動ＩＣ（図
示は省略）の接続位置を視認するためのスリット（図示
は省略）を設けるという技術が提案されている。
２９号公報は下記の開示をしている。図１２は、特開平
１０−２２８０２９号公報に開示された技術におけるパ
ネル側接続端子部平面図、およびそのＡ−Ａ断面図であ
る。図１２に示すように特開平１０−２２８０２９で
は、パネル端子は第１金属層７３３と、これに積層され
るＩＴＯ（Indium-Tin-Oxide）膜７３２からなり、かつ
この積層体の長手方向辺部に沿ってＩＴＯ膜に形成され
たスルーホールを通して第１金属層７３３に接続される
第２金属層７３５と、この第２金属層７３５を覆う保護
膜７３４とから構成される液晶表示装置において、第２
金属層７３５に沿って第１金属層７３３に駆動ＩＣ（図
示は省略）の接続位置を視認するためのスリット（図示
は省略）を設けるという技術が提案されている。
【０００３】図１３は、特開平１０−２２８０２９号公
報に開示された技術におけるパネル側接続端子部の拡大
断面図である。本公知例に依れば、ＡＣＦを介した駆動
ＩＣ（ＴＣＰ）接続において、図１３に示すように外部
端子（ＴＣＰリード）７３０は、パネル端子のうち、Ｉ
ＴＯ膜７３２に対向して配置され、第２金属層７３５と
は対向しないで接続される。この接続状態をＴＦＴ裏面
側から観察した場合、外部端子（ＴＣＰリード）７３０
がＩＴＯ膜７３２に対し適切な位置に対向されている場
合には、第１金属層７３３に設けたスリット部分から外
部端子（ＴＣＰリード）７３０の端部が確認できるよう
に構成している。
報に開示された技術におけるパネル側接続端子部の拡大
断面図である。本公知例に依れば、ＡＣＦを介した駆動
ＩＣ（ＴＣＰ）接続において、図１３に示すように外部
端子（ＴＣＰリード）７３０は、パネル端子のうち、Ｉ
ＴＯ膜７３２に対向して配置され、第２金属層７３５と
は対向しないで接続される。この接続状態をＴＦＴ裏面
側から観察した場合、外部端子（ＴＣＰリード）７３０
がＩＴＯ膜７３２に対し適切な位置に対向されている場
合には、第１金属層７３３に設けたスリット部分から外
部端子（ＴＣＰリード）７３０の端部が確認できるよう
に構成している。
【０００４】また、駆動ＩＣの接続に際して、駆動ＩＣ
が左方向にずれた場合は、図１３においてスリット部か
らリードを視認することはできず、逆に右方向にずれた
場合には、スリット部全域で外部端子（ＴＣＰリード）
７３０を視認できるように構成している。
が左方向にずれた場合は、図１３においてスリット部か
らリードを視認することはできず、逆に右方向にずれた
場合には、スリット部全域で外部端子（ＴＣＰリード）
７３０を視認できるように構成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１０−２２８０２９に提案されている技術には、下記の
問題点がある。まず、第１の問題点は、端子ピッチ、及
びスリットのスリット幅が十分に広い場合を除き、目視
等の容易な方法による確認は極めて困難ということであ
る。このため、スリット部分から見えるリード端部を確
認しなければならないため多くのケースでは、顕微鏡等
による観察が必要となり、場合によっては顕微鏡やＣＣ
Ｄカメラを用いた圧接外観検査工程を特別に設けなけれ
ばならない。そのため、実装ずれ確認工数が増大する
上、設備コストが発生するため、製品のコストアップに
つながる。
１０−２２８０２９に提案されている技術には、下記の
問題点がある。まず、第１の問題点は、端子ピッチ、及
びスリットのスリット幅が十分に広い場合を除き、目視
等の容易な方法による確認は極めて困難ということであ
る。このため、スリット部分から見えるリード端部を確
認しなければならないため多くのケースでは、顕微鏡等
による観察が必要となり、場合によっては顕微鏡やＣＣ
Ｄカメラを用いた圧接外観検査工程を特別に設けなけれ
ばならない。そのため、実装ずれ確認工数が増大する
上、設備コストが発生するため、製品のコストアップに
つながる。
【０００６】第２の問題点は、より容易に実装ずれの良
否判定をすべく、ＴＦＴ基板裏面側から目視観察し、ス
リット部でＴＣＰリードが遮光する時の透過光量のコン
トラスト差により、実装ずれ判定をするとしても、その
判定が曖昧になりやすく、不良製品の流出が発生し易い
ことである。
否判定をすべく、ＴＦＴ基板裏面側から目視観察し、ス
リット部でＴＣＰリードが遮光する時の透過光量のコン
トラスト差により、実装ずれ判定をするとしても、その
判定が曖昧になりやすく、不良製品の流出が発生し易い
ことである。
【０００７】すなわち、スリット部からの透過光が見え
るか否かで図１３中の右方向への駆動ＩＣの実装ずれは
判別できるものの、左方向への駆動ＩＣの実装ずれは、
そのスリット部での透過光コントラスト差で判別するし
か方法はなく、また、端子両辺部にスリットを設けたと
しても同じことである。
るか否かで図１３中の右方向への駆動ＩＣの実装ずれは
判別できるものの、左方向への駆動ＩＣの実装ずれは、
そのスリット部での透過光コントラスト差で判別するし
か方法はなく、また、端子両辺部にスリットを設けたと
しても同じことである。
【０００８】第３の問題点は、ＴＣＰ交換等のリペア作
業が困難であることである。すなわち、リペア作業等で
物理的にＡＣＦ残渣を除去する場合、第２金属層とその
保護膜が突起しているため、この部分が剥がれやすく、
剥がれた場合には、配線抵抗が上昇するため表示に影響
を及ぼすからである。
業が困難であることである。すなわち、リペア作業等で
物理的にＡＣＦ残渣を除去する場合、第２金属層とその
保護膜が突起しているため、この部分が剥がれやすく、
剥がれた場合には、配線抵抗が上昇するため表示に影響
を及ぼすからである。
【０００９】本発明は、以上のような従来の液晶表示装
置における問題点に鑑みてなされたものであり、目視レ
ベルの確認で駆動ＩＣの実装状態の良否判定を可能に
し、顕微鏡観察等の駆動ＩＣ実装状態の良否判定確認工
数を大幅に削減することができる液晶表示装置及び液晶
表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
置における問題点に鑑みてなされたものであり、目視レ
ベルの確認で駆動ＩＣの実装状態の良否判定を可能に
し、顕微鏡観察等の駆動ＩＣ実装状態の良否判定確認工
数を大幅に削減することができる液晶表示装置及び液晶
表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の構成は、「外
部駆動回路に接続して画素電極に電圧を印加するための
複数の接続端子（通称はパネル端子）を有し、かつ前記
複数の接続端子の各々は、基板から引き出された遮光性
金属膜を含む単層又は積層構造の金属配線を備える液晶
表示装置であって、前記複数の接続端子の各々は、当該
接続端子の平面上に形成された遮光性金属膜の配線引き
出し方向に沿って、かつ中心線を当該接続端子の中心線
と共有して延びる可視光線の透過が可能なスリットを備
えたスリット部を有すること」を特徴としている。
部駆動回路に接続して画素電極に電圧を印加するための
複数の接続端子（通称はパネル端子）を有し、かつ前記
複数の接続端子の各々は、基板から引き出された遮光性
金属膜を含む単層又は積層構造の金属配線を備える液晶
表示装置であって、前記複数の接続端子の各々は、当該
接続端子の平面上に形成された遮光性金属膜の配線引き
出し方向に沿って、かつ中心線を当該接続端子の中心線
と共有して延びる可視光線の透過が可能なスリットを備
えたスリット部を有すること」を特徴としている。
【００１１】より具体的には、「請求項１記載の液晶表
示装置において、前記スリット部が備えるスリットの前
記接続端子平面図における寸法は、当該スリットの幅を
Ｘとし、前記接続端子の遮光性金属膜層の幅をＷとし、
ＡＣＦ（異方性導電膜）を介して実施する外部駆動回路
接続端子と前記接続端子との接続に必要な最低限のオー
バーラップ量をＲとする時、 Ｘ＝２Ｒ−Ｗ なる関係式を満たすこと」（請求項２）、を特徴として
いる。
示装置において、前記スリット部が備えるスリットの前
記接続端子平面図における寸法は、当該スリットの幅を
Ｘとし、前記接続端子の遮光性金属膜層の幅をＷとし、
ＡＣＦ（異方性導電膜）を介して実施する外部駆動回路
接続端子と前記接続端子との接続に必要な最低限のオー
バーラップ量をＲとする時、 Ｘ＝２Ｒ−Ｗ なる関係式を満たすこと」（請求項２）、を特徴として
いる。
【００１２】また、請求項１又は請求項２記載の液晶表
示装置において、 ・前記スリット部は、一つの矩形状の接続端子貫通孔か
らなる一つのスリットを有すること（請求項３）、 ・前記スリット部には、矩形状の接続端子貫通孔からな
るスリットと、該スリットに接続された当該接続端子の
穿孔されていない部分とによる組み合わせ部分を、少な
くとも１組は配置していること（請求項４）、 ・前記スリット部は、矩形状の接続端子貫通孔からなる
第１のスリットと、前該スリットに接続された前記第１
のスリットよりも矩形の幅（前記中心線と直交する辺の
長さ）が短い接続端子貫通孔からなる第２のスリットと
による組み合わせ部分を、少なくとも１組は配置してい
ること（請求項５）、を特徴としている。
示装置において、 ・前記スリット部は、一つの矩形状の接続端子貫通孔か
らなる一つのスリットを有すること（請求項３）、 ・前記スリット部には、矩形状の接続端子貫通孔からな
るスリットと、該スリットに接続された当該接続端子の
穿孔されていない部分とによる組み合わせ部分を、少な
くとも１組は配置していること（請求項４）、 ・前記スリット部は、矩形状の接続端子貫通孔からなる
第１のスリットと、前該スリットに接続された前記第１
のスリットよりも矩形の幅（前記中心線と直交する辺の
長さ）が短い接続端子貫通孔からなる第２のスリットと
による組み合わせ部分を、少なくとも１組は配置してい
ること（請求項５）、を特徴としている。
【００１３】さらに、請求項１乃至５の各々に対応した
液晶表示装置の製造方法をそれぞれ特徴としている。す
なわち、本発明では、請求項１乃至請求項３の構成によ
って、ＴＦＴ基板裏面からＴＣＰ実装状態を観察した場
合、ＴＣＰリード等の外部駆動回路とパネル端子とのず
れが小さい状態、すなわち正常に接続されている状態で
は、ＴＣＰ基材のポリイミドフィルム側から入射する光
はＴＣＰリード等の外部駆動回路の銅箔に遮られ、パネ
ル端子に設けたスリット部から光が漏れることはなく、
透過光は端子間のスペースのみで確認することができる
ようにしている。
液晶表示装置の製造方法をそれぞれ特徴としている。す
なわち、本発明では、請求項１乃至請求項３の構成によ
って、ＴＦＴ基板裏面からＴＣＰ実装状態を観察した場
合、ＴＣＰリード等の外部駆動回路とパネル端子とのず
れが小さい状態、すなわち正常に接続されている状態で
は、ＴＣＰ基材のポリイミドフィルム側から入射する光
はＴＣＰリード等の外部駆動回路の銅箔に遮られ、パネ
ル端子に設けたスリット部から光が漏れることはなく、
透過光は端子間のスペースのみで確認することができる
ようにしている。
【００１４】これとは逆に、ＴＣＰリード等の外部駆動
回路とパネル端子とのずれが大きい状態、すなわち異常
な接続状態では、ＴＣＰ基材のポリイミドフィルム側か
らの入射光は銅箔に遮られず、パネル端子部のスリット
を通るため透過光は端子間スペースのみならず、スリッ
ト部でも確認されるようにしている。これにより、ＴＦ
Ｔ基板裏面側から見た透過光の見え方が異なるため、目
視レベルの確認で駆動ＩＣ実装状態の良否判定が可能と
なり、顕微鏡観察等の良否判定確認工数を大幅に削減し
ている。
回路とパネル端子とのずれが大きい状態、すなわち異常
な接続状態では、ＴＣＰ基材のポリイミドフィルム側か
らの入射光は銅箔に遮られず、パネル端子部のスリット
を通るため透過光は端子間スペースのみならず、スリッ
ト部でも確認されるようにしている。これにより、ＴＦ
Ｔ基板裏面側から見た透過光の見え方が異なるため、目
視レベルの確認で駆動ＩＣ実装状態の良否判定が可能と
なり、顕微鏡観察等の良否判定確認工数を大幅に削減し
ている。
【００１５】また、請求項４の構成によって、ＴＣＰ接
続状態は、オーバーラップ量が実装ずれ許容内にある場
合には、請求項１と２の構成と同様に、スリット部分は
ＴＣＰリード等の外部駆動回路により遮光されるが、実
装ずれ許容範囲外ではスリット部からの透過光がスリッ
ト部と同様の破線状に確認できるようにしている。従っ
て、端子部設計の制約により端子間スペースが広く取れ
ない場合などで、実装ずれ発生時にスリット部からの透
過光なのか、それとも端子間スペースからの透過光なの
かは透過光の形状を調べれば判定可能となるので、判定
に迷うようなことがなく、より容易な良否判定を可能と
している。
続状態は、オーバーラップ量が実装ずれ許容内にある場
合には、請求項１と２の構成と同様に、スリット部分は
ＴＣＰリード等の外部駆動回路により遮光されるが、実
装ずれ許容範囲外ではスリット部からの透過光がスリッ
ト部と同様の破線状に確認できるようにしている。従っ
て、端子部設計の制約により端子間スペースが広く取れ
ない場合などで、実装ずれ発生時にスリット部からの透
過光なのか、それとも端子間スペースからの透過光なの
かは透過光の形状を調べれば判定可能となるので、判定
に迷うようなことがなく、より容易な良否判定を可能と
している。
【００１６】また、請求項５の構成によって、ＴＣＰ接
続状態は、オーバーラップ量が管理限界の範囲内であれ
ば、スリット部はＴＣＰリード等の外部駆動回路により
遮光されるが、実装ずれが管理限界の範囲外で、かつ許
容値内（良品限度内）の場合には、スリット部分から透
過光が破線状に確認できるようにしている。また、実装
ずれが許容値外（不良品を示す）の場合には、スリット
部からの透過光が連続した凹凸形状として認識できるよ
うにしている。従って、設備調整等の実装ずれ防止対策
が事前に実施できるため、設備トラブル等に起因する不
良品の発生を未然に防ぐことを可能にし、結果的に作業
効率の大幅な向上を可能としている。
続状態は、オーバーラップ量が管理限界の範囲内であれ
ば、スリット部はＴＣＰリード等の外部駆動回路により
遮光されるが、実装ずれが管理限界の範囲外で、かつ許
容値内（良品限度内）の場合には、スリット部分から透
過光が破線状に確認できるようにしている。また、実装
ずれが許容値外（不良品を示す）の場合には、スリット
部からの透過光が連続した凹凸形状として認識できるよ
うにしている。従って、設備調整等の実装ずれ防止対策
が事前に実施できるため、設備トラブル等に起因する不
良品の発生を未然に防ぐことを可能にし、結果的に作業
効率の大幅な向上を可能としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る液晶表示装置の組立斜視図である。本発明の第
１の実施の形態に係る液晶表示装置の液晶パネルは、上
下部のガラス基板（カラーフィルター基板２とＴＦＴ基
板１）を封止樹脂によって互いに貼り合わせ、該基板間
に液晶を封入することによって液晶セルが形成される。
また、アクティブマトリクス形表示電極が形成されて成
るＴＦＴ基板１上には前記電極から延伸された金属配線
が基板周辺に引き出され、すなわちパネル端子部（ゲー
ト側）３とパネル端子部（ドレイン側）４として、ＴＣ
Ｐ等の外部駆動回路に接続される。
を参照して説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る液晶表示装置の組立斜視図である。本発明の第
１の実施の形態に係る液晶表示装置の液晶パネルは、上
下部のガラス基板（カラーフィルター基板２とＴＦＴ基
板１）を封止樹脂によって互いに貼り合わせ、該基板間
に液晶を封入することによって液晶セルが形成される。
また、アクティブマトリクス形表示電極が形成されて成
るＴＦＴ基板１上には前記電極から延伸された金属配線
が基板周辺に引き出され、すなわちパネル端子部（ゲー
ト側）３とパネル端子部（ドレイン側）４として、ＴＣ
Ｐ等の外部駆動回路に接続される。
【００１８】図１では、ＴＦＴ基板１の上部面内にパネ
ル端子部（ゲート側）３とパネル端子部（ドレイン側）
４とが形成されて、その上にカラーフィルター基板２が
置かれている工程までを示している。図２は、本発明の
第１の実施の形態に係る液晶表示装置のパネル側接続端
子のスリット部を含む平面図である。図２に示す液晶表
示装置のパネル側接続端子は、異方性導電膜（以下、
「ＡＣＦ」と略称する）を介して外部駆動回路（以下、
「ＴＣＰ」と略称する）が接続されて成る。
ル端子部（ゲート側）３とパネル端子部（ドレイン側）
４とが形成されて、その上にカラーフィルター基板２が
置かれている工程までを示している。図２は、本発明の
第１の実施の形態に係る液晶表示装置のパネル側接続端
子のスリット部を含む平面図である。図２に示す液晶表
示装置のパネル側接続端子は、異方性導電膜（以下、
「ＡＣＦ」と略称する）を介して外部駆動回路（以下、
「ＴＣＰ」と略称する）が接続されて成る。
【００１９】各々のパネル端子２１について、端子引き
出し方向と平行でかつ、同一中心線を有するスリット２
２を設けている。ここで、パネル端子の遮光性金属膜層
の幅をＷ、ＡＣＦを介したＴＣＰリードとパネル端子の
接続に最低限必要なオーバーラップ量をＲとした場合、
前記スリット幅ＸはＸ＝２Ｒ−Ｗを満たす設計がなされ
る。
出し方向と平行でかつ、同一中心線を有するスリット２
２を設けている。ここで、パネル端子の遮光性金属膜層
の幅をＷ、ＡＣＦを介したＴＣＰリードとパネル端子の
接続に最低限必要なオーバーラップ量をＲとした場合、
前記スリット幅ＸはＸ＝２Ｒ−Ｗを満たす設計がなされ
る。
【００２０】図３は、本発明の第１の実施の形態に係る
液晶表示装置のパネル側接続端子の図２に示すＡ−Ａ切
断面を示す断面図である。図４は、本発明の第１の実施
の形態に係る液晶表示装置のＴＦＴによる画素電極部を
示す断面図である。（但し、図４は、ＴＦＴによる周知
の画素電極部と同じである。） 図５は、本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
の製造方法を図２に示すＡ−Ａ切断面で示した工程順断
面図である。
液晶表示装置のパネル側接続端子の図２に示すＡ−Ａ切
断面を示す断面図である。図４は、本発明の第１の実施
の形態に係る液晶表示装置のＴＦＴによる画素電極部を
示す断面図である。（但し、図４は、ＴＦＴによる周知
の画素電極部と同じである。） 図５は、本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
の製造方法を図２に示すＡ−Ａ切断面で示した工程順断
面図である。
【００２１】以下、本発明の第１の実施の形態に係る液
晶表示装置の液晶表示パネルにおいて、ＴＦＴ基板周辺
に引き出し配線されたパネル端子の製造方法について、
図２のＡ−Ａ線からの断面を示した図５（ａ）乃至
（ｅ）の工程順断面図を参照して説明する。まず、図５
（ａ）の工程に示すように、ＴＦＴ基板（ガラス基板３
１）上にスパッタ法によってＣｒ（クロム）を約２００
０Åの膜厚に堆積し、これをエッチング法によりパター
ニングしてゲート側配線Ｇ−Ｃｒを形成する。この時、
各ゲート配線パターンには前述のように引き出し方向に
平行で、かつ各々の端子と中心線を共有する幅Ｘｇなる
スリットが所定の長さにパターン形成される。なお、こ
のゲート配線Ｇ−Ｃｒは、図４に示すＴＦＴ形成部では
ゲート電極４１を形成することになる。
晶表示装置の液晶表示パネルにおいて、ＴＦＴ基板周辺
に引き出し配線されたパネル端子の製造方法について、
図２のＡ−Ａ線からの断面を示した図５（ａ）乃至
（ｅ）の工程順断面図を参照して説明する。まず、図５
（ａ）の工程に示すように、ＴＦＴ基板（ガラス基板３
１）上にスパッタ法によってＣｒ（クロム）を約２００
０Åの膜厚に堆積し、これをエッチング法によりパター
ニングしてゲート側配線Ｇ−Ｃｒを形成する。この時、
各ゲート配線パターンには前述のように引き出し方向に
平行で、かつ各々の端子と中心線を共有する幅Ｘｇなる
スリットが所定の長さにパターン形成される。なお、こ
のゲート配線Ｇ−Ｃｒは、図４に示すＴＦＴ形成部では
ゲート電極４１を形成することになる。
【００２２】次に、図５（ｂ）の工程に示すように、プ
ラズマＣＶＤ法により、ゲート側ではガラス基板３１と
ゲート側配線Ｇ−Ｃｒ上に、また、ドレイン端子部では
ガラス基板３１上に、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2）とシ
リコン窒化膜（ＳｉＮx）とによる複合膜として合計約
５０００Åを堆積し、層間絶縁膜４６を形成する。この
後、同一ＣＶＤ装置内において連続してノンドープのα
−Ｓｉ膜を約２０００Åの膜厚に、さらにｎ＋型α−Ｓ
ｉ膜を約２００Åの膜厚にそれぞれ成長させる。続いて
このＴＦＴ形成部にα−Ｓｉ膜が島状に残るようにパタ
ーン形成する。パターニングで島状に残されたα−Ｓｉ
膜の下方の層間絶縁膜４６はゲート絶縁膜として機能す
る。
ラズマＣＶＤ法により、ゲート側ではガラス基板３１と
ゲート側配線Ｇ−Ｃｒ上に、また、ドレイン端子部では
ガラス基板３１上に、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2）とシ
リコン窒化膜（ＳｉＮx）とによる複合膜として合計約
５０００Åを堆積し、層間絶縁膜４６を形成する。この
後、同一ＣＶＤ装置内において連続してノンドープのα
−Ｓｉ膜を約２０００Åの膜厚に、さらにｎ＋型α−Ｓ
ｉ膜を約２００Åの膜厚にそれぞれ成長させる。続いて
このＴＦＴ形成部にα−Ｓｉ膜が島状に残るようにパタ
ーン形成する。パターニングで島状に残されたα−Ｓｉ
膜の下方の層間絶縁膜４６はゲート絶縁膜として機能す
る。
【００２３】次に、図５（ｃ）の工程に示すように、ス
パッタ法により層間絶縁膜４６上にＣｒを約２０００Å
の膜厚に堆積し、これをパターニングしてドレイン側配
線Ｄ−Ｃｒを形成する。この時、ゲート配線と同様に幅
Ｘｄなるスリットが所定の長さに形成される。このドレ
イン側配線Ｄ−Ｃｒは、図４に示すＴＦＴ形成部ではド
レイン電極４３、及びソース電極４２を形成することに
なる。このように本発明に係る液晶表示装置の液晶表示
パネル接続端子を製造する基本となる工程は、図５
（ａ）〜（ｃ）に示す工程であり、本工程において遮光
性金属膜であるＣｒ膜がエッチング法によって、幅Ｘな
るスリットを有した端子パターンに形成される。
パッタ法により層間絶縁膜４６上にＣｒを約２０００Å
の膜厚に堆積し、これをパターニングしてドレイン側配
線Ｄ−Ｃｒを形成する。この時、ゲート配線と同様に幅
Ｘｄなるスリットが所定の長さに形成される。このドレ
イン側配線Ｄ−Ｃｒは、図４に示すＴＦＴ形成部ではド
レイン電極４３、及びソース電極４２を形成することに
なる。このように本発明に係る液晶表示装置の液晶表示
パネル接続端子を製造する基本となる工程は、図５
（ａ）〜（ｃ）に示す工程であり、本工程において遮光
性金属膜であるＣｒ膜がエッチング法によって、幅Ｘな
るスリットを有した端子パターンに形成される。
【００２４】次に、図５（ｄ）に示す工程では、パター
ン形成されたＣｒ配線上（ゲート側では層間絶縁膜上）
に、プラズマＣＶＤ法により２０００Åのシリコン窒化
膜を堆積して保護絶縁膜３４を形成する。そして、遮光
性金属膜である下層配線Ｃｒ膜と、次工程で形成される
透明導電膜であるＩＴＯ（Indium-Tin-Oxide）膜の上層
電極（図５（ｅ）参照）との接続箇所となる部分にコン
タクトホールを形成する。なお、この時、ゲート側では
層間絶縁膜４６と保護絶縁膜３４の両層を、ドレイン側
は保護絶縁膜３４層を同時にエッチングすることでコン
タクトホールを形成する。
ン形成されたＣｒ配線上（ゲート側では層間絶縁膜上）
に、プラズマＣＶＤ法により２０００Åのシリコン窒化
膜を堆積して保護絶縁膜３４を形成する。そして、遮光
性金属膜である下層配線Ｃｒ膜と、次工程で形成される
透明導電膜であるＩＴＯ（Indium-Tin-Oxide）膜の上層
電極（図５（ｅ）参照）との接続箇所となる部分にコン
タクトホールを形成する。なお、この時、ゲート側では
層間絶縁膜４６と保護絶縁膜３４の両層を、ドレイン側
は保護絶縁膜３４層を同時にエッチングすることでコン
タクトホールを形成する。
【００２５】次に、図５（ｅ）に示す工程では、保護絶
縁膜に設けたコンタクトホールを覆うようにしてスパッ
タ法により透明導電膜である透明電極（ＩＴＯ）３２が
約５００Åの膜厚に成膜される。この際、表示部におい
ては、図４のＴＦＴ形成部に示すように、透明導電膜は
ソース電極４２に接続する画素電極としてパターン形成
される。
縁膜に設けたコンタクトホールを覆うようにしてスパッ
タ法により透明導電膜である透明電極（ＩＴＯ）３２が
約５００Åの膜厚に成膜される。この際、表示部におい
ては、図４のＴＦＴ形成部に示すように、透明導電膜は
ソース電極４２に接続する画素電極としてパターン形成
される。
【００２６】上記の工程により、パネル接続端子を形成
したＴＦＴ基板１が作成される。これに続いて、図１に
示すようにカラーフィルター基板２と封止樹脂により貼
り合わせ、両基板間に液晶を注入して、基板周辺に接続
端子が引き出された形の本実施の形態による液晶表示パ
ネルが作成される。すなわち本実施の形態においては、
端子パターンに設けたスリット部分には遮光性金属膜が
存在しないため、前記スリット部分は光を透過する。こ
のようにして作成された液晶パネルは、その基板周辺部
に引き出された接続端子部においてＡＣＦを介してＴＣ
Ｐが熱圧着接続される。
したＴＦＴ基板１が作成される。これに続いて、図１に
示すようにカラーフィルター基板２と封止樹脂により貼
り合わせ、両基板間に液晶を注入して、基板周辺に接続
端子が引き出された形の本実施の形態による液晶表示パ
ネルが作成される。すなわち本実施の形態においては、
端子パターンに設けたスリット部分には遮光性金属膜が
存在しないため、前記スリット部分は光を透過する。こ
のようにして作成された液晶パネルは、その基板周辺部
に引き出された接続端子部においてＡＣＦを介してＴＣ
Ｐが熱圧着接続される。
【００２７】図６は、本発明の第１の実施の形態に係る
液晶表示装置のパネル側接続端子のスリット部を含む端
子形状実寸法を設定した平面図である。図７は、本発明
の第１の実施の形態に係る液晶表示装置の液晶パネルで
ＡＣＦ（異方性導電膜）を介して熱圧着接続をした場合
の実装部を示す説明図である。
液晶表示装置のパネル側接続端子のスリット部を含む端
子形状実寸法を設定した平面図である。図７は、本発明
の第１の実施の形態に係る液晶表示装置の液晶パネルで
ＡＣＦ（異方性導電膜）を介して熱圧着接続をした場合
の実装部を示す説明図である。
【００２８】接続端子の端子幅Ｗは３０μｍ、端子間ス
ペース６１は２０μｍで、５０μｍピッチの端子設計と
し、端子部長さ６２は１．４ｍｍとした。本液晶パネル
の製造にあたり、熱圧着時の圧着ヘッドは１．０ｍｍ
幅、ＡＣＦは１．２ｍｍ幅を使用した。また、ＴＣＰは
１５μｍ厚銅箔でリードトップ幅は２０μｍである。こ
の条件において、ＡＣＦの性能から必要なオーバーラッ
プ量Ｒ（ＴＣＰリードとパネル端子の重なり量）は１７
μｍであることが分かっているため、本発明の目的であ
るスリット形状は、幅Ｘ＝２Ｒ−Ｗより、スリット２２
の幅は４μｍとした。また、スリット長さ６３は、端子
長さ、圧接ヘッド幅を考慮して１．１ｍｍ（端子端から
０．１ｍｍ位置を基準）と設定した。
ペース６１は２０μｍで、５０μｍピッチの端子設計と
し、端子部長さ６２は１．４ｍｍとした。本液晶パネル
の製造にあたり、熱圧着時の圧着ヘッドは１．０ｍｍ
幅、ＡＣＦは１．２ｍｍ幅を使用した。また、ＴＣＰは
１５μｍ厚銅箔でリードトップ幅は２０μｍである。こ
の条件において、ＡＣＦの性能から必要なオーバーラッ
プ量Ｒ（ＴＣＰリードとパネル端子の重なり量）は１７
μｍであることが分かっているため、本発明の目的であ
るスリット形状は、幅Ｘ＝２Ｒ−Ｗより、スリット２２
の幅は４μｍとした。また、スリット長さ６３は、端子
長さ、圧接ヘッド幅を考慮して１．１ｍｍ（端子端から
０．１ｍｍ位置を基準）と設定した。
【００２９】（第２の実施の形態）図８は、本発明の第
２の実施の形態に係る液晶表示装置のパネル側接続端子
のスリット部を含む端子形状実寸法を設定した平面図で
ある。図９は、本発明の第２の実施の形態に係る液晶表
示装置の液晶パネルでＡＣＦを介して熱圧着接続をした
場合の実装部を示す説明図である。本実施の形態におけ
る該当部製造工程やＴＦＴ形成工程は本発明の第１の実
施の形態と同じであるため説明は省略する。
２の実施の形態に係る液晶表示装置のパネル側接続端子
のスリット部を含む端子形状実寸法を設定した平面図で
ある。図９は、本発明の第２の実施の形態に係る液晶表
示装置の液晶パネルでＡＣＦを介して熱圧着接続をした
場合の実装部を示す説明図である。本実施の形態におけ
る該当部製造工程やＴＦＴ形成工程は本発明の第１の実
施の形態と同じであるため説明は省略する。
【００３０】本実施の形態では、図８に示すように、第
１の実施の形態と同様のスリット８２をＣｒパターニン
グ工程で部分的に形成し、複数のスリットとして設けた
ものである。本実施の形態でも第１の実施の形態と同様
の端子構成とし、スリット形状は幅［４μｍ］×長さ
［１００μｍ］のスリットを直列に１００μｍピッチで
５個設ける設計としている。ＴＣＰ接続状態は、図９
（ａ）に示すようにオーバーラップ量が実装ずれ許容内
では第１の実施の形態と同様、スリット８２部分はＴＣ
Ｐリード８３０により遮光されるが、実装ずれ許容範囲
外では図９（ｂ）に示すようにスリット８２部からの透
過光がスリット８２部と同様の破線状に確認できる。従
って、端子部設計の制約により端子間スペースが広く取
れない場合などで、実装ずれ発生時にスリット部からの
透過光なのか、それとも端子間スペースからの透過光な
のかは透過光の形状を調べれば判定可能となるので、判
定に迷うようなことがなく、より容易な良否判定が可能
となる。
１の実施の形態と同様のスリット８２をＣｒパターニン
グ工程で部分的に形成し、複数のスリットとして設けた
ものである。本実施の形態でも第１の実施の形態と同様
の端子構成とし、スリット形状は幅［４μｍ］×長さ
［１００μｍ］のスリットを直列に１００μｍピッチで
５個設ける設計としている。ＴＣＰ接続状態は、図９
（ａ）に示すようにオーバーラップ量が実装ずれ許容内
では第１の実施の形態と同様、スリット８２部分はＴＣ
Ｐリード８３０により遮光されるが、実装ずれ許容範囲
外では図９（ｂ）に示すようにスリット８２部からの透
過光がスリット８２部と同様の破線状に確認できる。従
って、端子部設計の制約により端子間スペースが広く取
れない場合などで、実装ずれ発生時にスリット部からの
透過光なのか、それとも端子間スペースからの透過光な
のかは透過光の形状を調べれば判定可能となるので、判
定に迷うようなことがなく、より容易な良否判定が可能
となる。
【００３１】（第３の実施の形態）図１０は、本発明の
第３の実施の形態に係る液晶表示装置のパネル側接続端
子のスリット部を含む端子形状実寸法を設定した平面図
である。図１１は、本発明の第３の実施の形態に係る液
晶表示装置の液晶パネルでＡＣＦを介して熱圧着接続を
した場合の実装部を示す説明図である。本実施の形態に
おける該当部製造工程やＴＦＴ形成工程は本発明の第１
と第２の実施の形態と同じであるため説明は省略する。
第３の実施の形態に係る液晶表示装置のパネル側接続端
子のスリット部を含む端子形状実寸法を設定した平面図
である。図１１は、本発明の第３の実施の形態に係る液
晶表示装置の液晶パネルでＡＣＦを介して熱圧着接続を
した場合の実装部を示す説明図である。本実施の形態に
おける該当部製造工程やＴＦＴ形成工程は本発明の第１
と第２の実施の形態と同じであるため説明は省略する。
【００３２】本実施の形態では、図１０に示すようにス
リット９２を、Ｃｒパターニング工程で凹凸を有する形
状に形成したものである。端子構成は本発明の第１と第
２の実施の形態と同様とし、スリット９２の形状は、幅
Ｘ1［８μｍ］×長さ［１００μｍ］の第１小スリット
９６４と幅Ｘ2［４μｍ］×長さ［１００μｍ］の第２
小スリット９６５とが接続されたスリットパターンが、
パネル端子９１の長軸方向に沿って交互に連続する形状
に設計した。
リット９２を、Ｃｒパターニング工程で凹凸を有する形
状に形成したものである。端子構成は本発明の第１と第
２の実施の形態と同様とし、スリット９２の形状は、幅
Ｘ1［８μｍ］×長さ［１００μｍ］の第１小スリット
９６４と幅Ｘ2［４μｍ］×長さ［１００μｍ］の第２
小スリット９６５とが接続されたスリットパターンが、
パネル端子９１の長軸方向に沿って交互に連続する形状
に設計した。
【００３３】なお、第１小スリット幅Ｘ1に相当する部
分（幅８μｍ部分）は、任意の設計で構わないが、Ｒ＞
Ｘ1＞Ｘ2とするのが望ましく、本実施の形態では、装置
起因等による実装ずれレベルの経時悪化を早期発見する
目的で、実装ずれ時のオーバーラップ量管理限界を１９
μｍとしたため、第１小スリット幅Ｘ1を８μｍに設計
している。
分（幅８μｍ部分）は、任意の設計で構わないが、Ｒ＞
Ｘ1＞Ｘ2とするのが望ましく、本実施の形態では、装置
起因等による実装ずれレベルの経時悪化を早期発見する
目的で、実装ずれ時のオーバーラップ量管理限界を１９
μｍとしたため、第１小スリット幅Ｘ1を８μｍに設計
している。
【００３４】また、上記の第１小スリットと第２小スリ
ットとの接続部分は、必ずしも隙間無しとする必要はな
く、すなわち、上記接続部分に可視光線を透過しない部
分があってもよい。
ットとの接続部分は、必ずしも隙間無しとする必要はな
く、すなわち、上記接続部分に可視光線を透過しない部
分があってもよい。
【００３５】本実施の形態によるＴＣＰ接続状態は、図
１１（ａ）に示すようにオーバーラップ量が管理限界の
範囲内であれば、スリット９２部はＴＣＰリードにより
遮光される。また、実装ずれが管理限界の範囲外で、か
つ許容値内（良品限度内）の場合には、図１１（ｂ）に
示すように第１小スリット幅Ｘ1（＝幅８μｍ部分）部
分から透過光が破線状に確認できる。更に、実装ずれが
許容値外（不良品を示す）の場合には、図１１（ｃ）に
示すように第２小スリット幅Ｘ2（＝４μｍ部分）の部
分と上記Ｘ1の部分との両部分からの透過光が確認で
き、該透過光の形状は、連続した凹凸形状として認識で
きるため、図１１（ａ）や図１１（ｂ）の各状態と区別
することができる。
１１（ａ）に示すようにオーバーラップ量が管理限界の
範囲内であれば、スリット９２部はＴＣＰリードにより
遮光される。また、実装ずれが管理限界の範囲外で、か
つ許容値内（良品限度内）の場合には、図１１（ｂ）に
示すように第１小スリット幅Ｘ1（＝幅８μｍ部分）部
分から透過光が破線状に確認できる。更に、実装ずれが
許容値外（不良品を示す）の場合には、図１１（ｃ）に
示すように第２小スリット幅Ｘ2（＝４μｍ部分）の部
分と上記Ｘ1の部分との両部分からの透過光が確認で
き、該透過光の形状は、連続した凹凸形状として認識で
きるため、図１１（ａ）や図１１（ｂ）の各状態と区別
することができる。
【００３６】従って、実装後の接続状態が図１１（ｂ）
に示す状態となった場合には、製品は良品として扱うこ
とができる一方で、設備調整等の実装ずれ防止対策が事
前に実施できるため、設備トラブル等に起因する不良品
の発生を未然に防ぐことが可能となり、結果的に作業効
率の大幅な向上が可能となる。
に示す状態となった場合には、製品は良品として扱うこ
とができる一方で、設備調整等の実装ずれ防止対策が事
前に実施できるため、設備トラブル等に起因する不良品
の発生を未然に防ぐことが可能となり、結果的に作業効
率の大幅な向上が可能となる。
【００３７】なお、本発明に係る液晶表示装置及び液晶
表示装置の製造方法は、前記第１、第２、第３の実施形
態に限定されるものではないことは言うまでもなく、ス
リットを形成する遮光性金属膜はＣｒ以外にもＡｌやＭ
ｏ、Ｔａ、及びこれらの合金等があり同種、あるいは異
種金属膜の積層構造であっても構わない。加えて、端子
部最表面のＩＴＯ膜を必要としない構成もまた可能であ
る。
表示装置の製造方法は、前記第１、第２、第３の実施形
態に限定されるものではないことは言うまでもなく、ス
リットを形成する遮光性金属膜はＣｒ以外にもＡｌやＭ
ｏ、Ｔａ、及びこれらの合金等があり同種、あるいは異
種金属膜の積層構造であっても構わない。加えて、端子
部最表面のＩＴＯ膜を必要としない構成もまた可能であ
る。
【００３８】また、本発明に係る液晶表示装置のスリッ
トのスリット幅は、幅Ｘ＝２Ｒ−Ｗを満たし、パネル端
子と同一中心線を有する場所でありさえすればよく、ス
リット形成位置、形状、及び長さは問わない。但し、ス
リットによる本発明の効果をより明確にするためには、
スリット幅Ｘ≧４μｍで、全スリット長さ０．５ｍｍ以
上とすることが望ましい。加えて端子長さが十分に長い
場合や、スリットを設けることで配線抵抗が増大し、表
示に影響を与えるような場合には、スリット形成位置を
できるだけパネル端子端に寄せることで対応することも
可能である。
トのスリット幅は、幅Ｘ＝２Ｒ−Ｗを満たし、パネル端
子と同一中心線を有する場所でありさえすればよく、ス
リット形成位置、形状、及び長さは問わない。但し、ス
リットによる本発明の効果をより明確にするためには、
スリット幅Ｘ≧４μｍで、全スリット長さ０．５ｍｍ以
上とすることが望ましい。加えて端子長さが十分に長い
場合や、スリットを設けることで配線抵抗が増大し、表
示に影響を与えるような場合には、スリット形成位置を
できるだけパネル端子端に寄せることで対応することも
可能である。
【００３９】
【発明の効果】以上に説明したとおり、本発明に係る液
晶表示装置に依れば、ＴＦＴ基板裏面からＴＣＰ実装状
態を観察した場合、ＴＣＰリードとパネル端子のずれが
小さく正常に接続されている状態では、ＴＣＰ基材のポ
リイミドフィルム側から入射する光はＴＣＰリードの銅
箔に遮られ、パネル端子に設けたスリット部から光が漏
れることはなく、透過光は端子間のスペースのみで確認
することができる。反対に、ＴＣＰリードとパネル端子
のずれが大きく、異常な接続状態では、ポリイミドフィ
ルム側からの入射光は銅箔に遮られず、パネル端子部の
スリットを通るため透過光は端子間スペースのみなら
ず、スリット部でも確認される。これにより、ＴＦＴ基
板裏面側から見た透過光の見え方が異なるため、目視レ
ベルの確認で駆動ＩＣ実装状態の良否判定が可能とな
り、顕微鏡観察等の良否判定確認工数が大幅に削減でき
る。さらに、端子形成をなすに際して、特別な工程を増
やす必要がなく、従来品と同じ工程数（ＰＲ数）で実現
できるメリットがある。
晶表示装置に依れば、ＴＦＴ基板裏面からＴＣＰ実装状
態を観察した場合、ＴＣＰリードとパネル端子のずれが
小さく正常に接続されている状態では、ＴＣＰ基材のポ
リイミドフィルム側から入射する光はＴＣＰリードの銅
箔に遮られ、パネル端子に設けたスリット部から光が漏
れることはなく、透過光は端子間のスペースのみで確認
することができる。反対に、ＴＣＰリードとパネル端子
のずれが大きく、異常な接続状態では、ポリイミドフィ
ルム側からの入射光は銅箔に遮られず、パネル端子部の
スリットを通るため透過光は端子間スペースのみなら
ず、スリット部でも確認される。これにより、ＴＦＴ基
板裏面側から見た透過光の見え方が異なるため、目視レ
ベルの確認で駆動ＩＣ実装状態の良否判定が可能とな
り、顕微鏡観察等の良否判定確認工数が大幅に削減でき
る。さらに、端子形成をなすに際して、特別な工程を増
やす必要がなく、従来品と同じ工程数（ＰＲ数）で実現
できるメリットがある。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
の組立斜視図である。
の組立斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
のパネル側接続端子のスリット部を含む平面図である。
のパネル側接続端子のスリット部を含む平面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
のパネル側接続端子の図２に示すＡ−Ａ切断面を示す断
面図である。
のパネル側接続端子の図２に示すＡ−Ａ切断面を示す断
面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
のＴＦＴによる画素電極部を示す断面図である。
のＴＦＴによる画素電極部を示す断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
の製造方法を図２に示すＡ−Ａ切断面で示した工程順断
面図である。
の製造方法を図２に示すＡ−Ａ切断面で示した工程順断
面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
のパネル側接続端子のスリット部を含む端子形状実寸法
を設定した平面図である。
のパネル側接続端子のスリット部を含む端子形状実寸法
を設定した平面図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る液晶表示装置
の液晶パネルでＡＣＦ（異方性導電膜）を介して熱圧着
接続をした場合の実装部を示す説明図である。
の液晶パネルでＡＣＦ（異方性導電膜）を介して熱圧着
接続をした場合の実装部を示す説明図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る液晶表示装置
のパネル側接続端子のスリット部を含む端子形状実寸法
を設定した平面図である。
のパネル側接続端子のスリット部を含む端子形状実寸法
を設定した平面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る液晶表示装置
の液晶パネルでＡＣＦを介して熱圧着接続をした場合の
実装部を示す説明図である。
の液晶パネルでＡＣＦを介して熱圧着接続をした場合の
実装部を示す説明図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係る液晶表示装
置のパネル側接続端子のスリット部を含む端子形状実寸
法を設定した平面図である。
置のパネル側接続端子のスリット部を含む端子形状実寸
法を設定した平面図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る液晶表示装
置の液晶パネルでＡＣＦを介して熱圧着接続をした場合
の実装部を示す説明図である。
置の液晶パネルでＡＣＦを介して熱圧着接続をした場合
の実装部を示す説明図である。
【図１２】特開平１０−２２８０２９号公報に開示され
た技術におけるパネル側接続端子部平面図、およびその
Ａ−Ａ断面図である。
た技術におけるパネル側接続端子部平面図、およびその
Ａ−Ａ断面図である。
【図１３】特開平１０−２２８０２９号公報に開示され
た技術におけるパネル側接続端子部の拡大断面図であ
る。
た技術におけるパネル側接続端子部の拡大断面図であ
る。
１ ＴＦＴ基板 ２ カラーフィルター基板 ３ パネル端子部（ゲート側） ４ パネル端子部（ドレイン側） ２１，８１，９１ パネル端子 ２２，８２，９２ スリット ３０，８３０，９３０ ＴＣＰリード ３１，８３１ ガラス基板 ３２ 透明電極（ＩＴＯ） ３３ 遮光性金属膜（Ｍｅｔａｌ） ３４ 絶縁膜 ４１ ゲート電極 ４２ ソース電極 ４３ ドレイン電極 ４４ ｎ+型ａ−Ｓｉ膜 ４５ Ｓｉ膜 ４６ 層間絶縁膜 ６１，８６１，９６１ 端子間スペース ６２，８６２，９６２ 端子部長さ ６３，８６３ スリット長さ ９６４ 第１小スリット ９６５ 第２小スリット
Claims (10)
- 【請求項１】 外部駆動回路に接続して画素電極に電圧
を印加するための複数の接続端子を有し、かつ前記複数
の接続端子の各々は、基板から引き出された遮光性金属
膜を含む単層又は積層構造の金属配線を備える液晶表示
装置であって、 前記複数の接続端子の各々は、当該接続端子の平面上に
形成された遮光性金属膜の配線引き出し方向に沿って、
かつ中心線を当該接続端子の中心線と共有して延びる可
視光線の透過が可能なスリットを備えたスリット部を有
すること、 を特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項２】 前記スリット部が備えるスリットの前記
接続端子平面図における寸法は、当該スリットの幅をＸ
とし、前記接続端子の遮光性金属膜層の幅をＷとし、Ａ
ＣＦ（異方性導電膜）を介して実施する外部駆動回路接
続端子と前記接続端子との接続に必要な最低限のオーバ
ーラップ量をＲとする時、 Ｘ＝２Ｒ−Ｗ なる関係式を満たすこと、 を特徴とする請求項１記載の液晶表示装置。 - 【請求項３】 前記スリット部は、一つの矩形状の接続
端子貫通孔からなる一つのスリットを有すること、 を特徴とする請求項１又は請求項２記載の液晶表示装
置。 - 【請求項４】 前記スリット部には、矩形状の接続端子
貫通孔からなるスリットと、該スリットに接続された当
該接続端子の穿孔されていない部分とによる組み合わせ
部分を、少なくとも１組は配置していること、 を特徴とする請求項１又は請求項２記載の液晶表示装
置。 - 【請求項５】 前記スリット部は、矩形状の接続端子貫
通孔からなる第１のスリットと、前該スリットに接続さ
れた前記第１のスリットよりも矩形の幅（前記中心線と
直交する辺の長さ）が短い接続端子貫通孔からなる第２
のスリットとによる組み合わせ部分を、少なくとも１組
は配置していること、 を特徴とする請求項１又は請求項２記載の液晶表示装
置。 - 【請求項６】 外部駆動回路に接続して画素電極に電圧
を印加するための複数の接続端子（通称はパネル端子）
を有し、かつ前記複数の接続端子の各々は、基板から引
き出された遮光性金属膜を含む単層又は積層構造の金属
配線を備える液晶表示装置の製造方法であって、 前記複数の接続端子の各々に、当該接続端子の平面上に
形成された遮光性金属膜の配線引き出し方向に沿って、
かつ中心線を当該接続端子の中心線と共有して延びる可
視光線の透過が可能なスリットを形成してなるスリット
部を形成すること、 を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項７】 前記スリット部に形成するスリットの前
記接続端子平面図における寸法は、当該スリットの幅を
Ｘとし、前記接続端子の遮光性金属膜層の幅をＷとし、
ＡＣＦ（異方性導電膜）を介して実施する外部駆動回路
接続端子と前記接続端子との接続に必要な最低限のオー
バーラップ量をＲとする時、 Ｘ＝２Ｒ−Ｗ なる関係式を満たすこと、 を特徴とする請求項６記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項８】 前記スリット部は、一つの矩形状の接続
端子貫通孔からなる一つのスリットにより形成するこ
と、 を特徴とする請求項６又は請求項７記載の液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項９】 前記スリット部に、矩形状の接続端子貫
通孔からなるスリットと、該スリットに接続された当該
接続端子の穿孔されていない部分とによる組み合わせ部
分を、少なくとも１組は形成すること、 を特徴とする請求項６又は請求項７記載の液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項１０】 前記スリット部に、矩形状の接続端子
貫通孔からなる第１のスリットと、前該スリットに接続
された前記第１のスリットよりも矩形の幅（前記中心線
と直交する辺の長さ）が短い接続端子貫通孔からなる第
２のスリットとによる組み合わせ部分を、少なくとも１
組は形成すること、 を特徴とする請求項６又は請求項７記載の液晶表示装置
の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11158577A JP2000347207A (ja) | 1999-06-04 | 1999-06-04 | 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法 |
| TW089110556A TWI253535B (en) | 1999-06-04 | 2000-05-31 | LCD panel in which signal line terminals have slits to allow inspection of alignment of the terminals and the TCP leads |
| US09/587,061 US6633361B1 (en) | 1999-04-06 | 2000-06-02 | LCD panel in which signal line terminals have slits to allow inspection of alignment of the terminals and the TCP leads |
| KR1020000030571A KR100335453B1 (ko) | 1999-06-04 | 2000-06-03 | Ｌｃｄ 장치용 ｌｃｄ 패널 유닛 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11158577A JP2000347207A (ja) | 1999-06-04 | 1999-06-04 | 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000347207A true JP2000347207A (ja) | 2000-12-15 |
Family
ID=15674739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (4)
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| US (1) | US6633361B1 (ja) |
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| KR (1) | KR100335453B1 (ja) |
| TW (1) | TWI253535B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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-
2000
- 2000-05-31 TW TW089110556A patent/TWI253535B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-06-02 US US09/587,061 patent/US6633361B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-03 KR KR1020000030571A patent/KR100335453B1/ko not_active IP Right Cessation
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