JP2000346872A - 両端摺動型コンタクトプローブ - Google Patents

両端摺動型コンタクトプローブ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】従来よりも著しく短くすることができ、高周波
の電子回路でも支障なく検査することができる両端摺動
型コンタクトプローブを提供する。 【解決手段】スリーブの両端に摺動し得るように嵌合さ
せるプランジャーと、該両プランジャーを抜け出る方向
に弾性付勢する弾性体とを具備してなり、該両プランジ
ャー摺動部の一方の摺動部と他方の摺動部とを、嵌合し
得るように構成し、全体の長さを短くし得るようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】この発明は、略平行に配設し
た２枚の回路基板間に介装させて、２枚の回路基板を電
気的に接続し、回路検査等に使用する両端摺動型コンタ
クトプローブに係り、詳記すれば、高周波信号の電子回
路でも支障なく検査することができる両端摺動型コンタ
クトプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の電子機器等の小型化に伴い、これ
らの機器に内蔵される回路は、小面積の複数枚の回路基
板を略平行に配設し、これらの回路基板間に両端摺動型
コンタクトプローブを介装して、高周波路線で電気的に
接続して構成する傾向にある。
【０００３】例えば、図１の円盤状のプローブカードの
断面図に示すように、円形基板１の中央の半導体デバイ
ス２に多数の針３を併設し、同針３の後部に形成した孔
に、両端摺動型コンタクトプローブ５を嵌合し、同コン
タクトプローブ５の上部プランジャー６と下部プランジ
ャー６′とは、コンピュータ基板７，７′に接触するよ
うにして、半導体デバイス２等を検査している。
【０００４】上記従来のコンタクトプローブにあって
は、コンタクトプローブ５の上部プランジャー６と下部
プランジャー６′とが基板１から突出するので、信号の
減少及びこの部分からノイズが侵入し、これが特に高周
波数信号の場合は、効果的な検査ができない問題があっ
た。
【０００５】また、従来の両端摺動型コンタクトプロー
ブは、信号が低周波であるため、全長が少なくとも１０
ｍｍ程度はあっても大きな問題とされていなかった。た
だし、このようなプローブで高速動作（動作周波数５０
０ＭＨｚ以上）するＩＣを検査する場合、プローブの長
さから生じるインダクタンス分によって正確な検査が行
えない問題が生じる。
【０００６】扱う信号が高周波数になるほど、プローブ
のインダクタンス分によって生じるインピーダンスは高
くなるので、従来の長さのコンタクトプローブでは、将
来更なる高周波に向かうＩＣの検査は、極めて困難とな
る。
【０００７】プローブで生じるインダクタンス分の大き
さは、プローブの全長が長いほど大きくなるから、高周
波数での検査を正確に行うには、インダクタンス分の小
さい、即ち全長の短いプローブが必要になる。
【０００８】ところで、従来の両端摺動型コンタクトプ
ローブは、図２に示すように、スリーブ８の両端側にプ
ランジャー６，６′が軸心方向に移動自在に嵌合され、
プランジャー６と６′との間には、小球９，９′を介し
てコイルスプリング１０が縮設されて、プランジャー
６，６′が可動するように構成されている。
【０００９】プランジャー６，６′の長さは、スリーブ
８の内径の最低３倍程度必要であり、コイルスプリング
９は縮んだ状態で、スリーブ８の内径の４倍程度必要で
あったので、直径（内径）１ｍｍ程度のコンタクトプロ
ーブでは、プランジャー６，６′が内方に移動した状態
での長さで、導通の信頼性を確保するには、１０ｍｍ程
度以下にすることは不適当であった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、このよう
な問題点を解消しようとするものであり、従来よりも著
しく短くすることができ、高周波の電子回路でも支障な
く検査することができる両端摺動型コンタクトプローブ
を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、スリーブの両端に摺動し得るように嵌合
させるプランジャーと、該両プランジャーを抜け出る方
向に弾性付勢する弾性体とを具備してなり、該両プラン
ジャーの一方の摺動部と他方の摺動部とを、嵌合し得る
ように構成し、全体の長さを短くし得るようにしたこと
を特徴とする。
【００１２】次に、本発明の実施の形態を図面に基づい
て説明する。
【００１３】
【発明の実施の形態】図３は、本発明の実施例を示すも
のであり、導電性材料から形成された断面四角形のスリ
ーブ８ａの両端に、導電性材料から形成された断面四角
形のプランジャー６ａ，６ａ′が、摺動自在に嵌合され
ている。
【００１４】プランジャー６ａ，６ａ′の摺動部は、断
面四角形の筒体７ａ，７ａ′に形成され、両筒体内に導
電性材料から形成されたコイルスプリング１０ａの両端
部が嵌合されている。
【００１５】プランジャー６ａ′の筒体端部には、対向
面に切り欠き１２，１２′（突片１４，１４′）が形成
され、プランジャー６ａの端部には、同切り欠き１２，
１２′に嵌合する突片１３，１３′が、筒体に連設され
ている。
【００１６】プランジャー６ａと６ａ′とが軸心方向に
移動すると、切り欠き１２（１２′）と突片１３（１
３′）とが嵌合するので、嵌合した分両プランジャー摺
動部の長さは短くなる。
【００１７】切り欠き１２（１２′）と突片１３（１
３′）との嵌合は、密嵌するようにしても、或いは隙間
を形成した遊嵌状態であっても良い。
【００１８】スリーブ８ａの両端開口部は、内方に向け
て若干カシメて小さく形成され、該狭小部４，４′でプ
ランジャー６ａ，６ａ′の段部を係止し、プランジャー
６ａ，６ａ′の抜けを防止している。この抜けを防止す
る手段自体は公知であり、従来の図２に示すプローブも
同様に構成されている。
【００１９】突片１３，１３′及び１４，１４′は、上
方に向けて若干折曲している。従って、プランジャー６
ａ，６ａ′の摺動部は、確実にスリーブ８ａに接触する
ので、従来必要とした小球を不要とすることができ、そ
の結果プローブの長さを短くすることができる。
【００２０】上記実施例では、スリーブとプランジャー
の摺動部とは、断面四角形に形成されているが、多角形
若しくは楕円形であっても良い。また、回転しないなら
他の形状であっても良く、回転止めを形成するなら、円
形であっても良い。要は、回転しないようにするなら、
その形状は特に限定されない。
【００２１】また、両プランジャーの対向面に形成する
切り欠き及び突片の形状も、嵌合し得るなら、その形状
は特に限定されない。
【００２２】図４は、本発明の他の実施例を示すもので
あり、円形のスリーブ８ｂの両側部に円形のプランジャ
ー６ｂ，６ｂ′を嵌合し、プランジャー６ｂと６ｂ′と
は、嵌合するように構成した例を示す。尚、図４は、プ
ランジャー６ｂと６ｂ′とを、コイルスプリング１０ｂ
の力に抗して軸心方向に移動させて、嵌合させた状態を
示している。
【００２３】プランジャー６ｂの摺動部は、大径のパイ
プ状に形成され、プランジャー６ｂ′の摺動部は、小径
のパイプ状に形成されているので、プランジャー６ｂは
プランジャー６ｂ′に嵌合する。
【００２４】尚、プランジャー６ｂ′とスリーブ８ｂと
の間には、密嵌するように導電性の被膜１５が形成され
ている。この方法では、製品の細い要求には限界が出て
くる。細いプローブとする場合は、図3の実施例のよう
にするのが好ましい。
【００２５】図３に示す実施例においては、スリーブ８
ａとプランジャー６ａ及び６ａ′とは回転しないように
なっているが、この図４に示す実施例の場合は、回転し
ても回転しなくとも差し支えない。回転しても、プラン
ジャー６ｂと６ｂ′とをスリーブ８ｂに嵌合させること
ができるからである。
【００２６】上記実施例に示すように、本発明において
は、プランジャー６ａ（６ｂ）と６ａ′（６ｂ′）とを
内方に摺動させた状態で、コイルスプリング（弾性体）
１０ａ（１０ｂ）は両プランジャーに内装され、且つプ
ランジャー同士が嵌合するので、従来のコンタクトプロ
ーブと比べて著しく短く構成することができる。
【００２７】具体的には、内径１ｍｍのコンタクトプロ
ーブの場合で、縮めた場合で５ｍｍ位の長さにすること
ができる。これは、従来の半分程度の長さに相当する。
【００２８】上記したように、本発明においては、コイ
ルスプリングの長さと、両プランジャーの嵌合した長さ
分プローブの長さを短くすることができるが、更に、本
発明によれば、従来必要とした小球を不要とすることが
できるので、その分プローブの長さを短くすることがで
きる。
【００２９】本発明のコンタクトプローブは、ＩＣソケ
ット等電子回路全般の導通に応用可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明によれば、両端
摺動型コンタクトプローブの長さを従来の半分程度の長
さにすることができるので、従来の高周波回路はもとよ
り、更なる高周波回路も支障なく検査することができる
というこの種公知のコンタクトプローブには、全く見ら
れない絶大な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の両端摺動型コンタクトプローブの使用例
を示す断面図（プローブカードの断面図）である。
【図２】従来の両端摺動型コンタクトプローブの断面図
である。
【図３】本発明の実施例を示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
５，５ａ，５ｂ・・………両端摺動型コンタクトプローブ ６，６ａ，６ａ′，６ｂ，６ｂ′・・………プランジャー ８，８ａ，８ｂ・・………スリーブ １０，１０ａ，１０ｂ・・………コイルスプリング １２，１２′・・………切り欠き １３，１３′・・………突片

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】スリーブの両端に摺動し得るように嵌合さ
    せるプランジャーと、該両プランジャーを抜け出る方向
    に弾性付勢する弾性体とを具備してなり、該両プランジ
    ャーの一方の摺動部と他方の摺動部とを、嵌合し得るよ
    うに構成したことを特徴とする両端摺動型コンタクトプ
    ローブ。
  2. 【請求項２】前記弾性体が、コイルスプリングである請
    求項１に記載のコンタクトプローブ。
  3. 【請求項３】前記スリーブと前記両プランジャーとは、
    摺動するが回転しないように形成し、一方のプランジャ
    ー摺動部は、端部からパイプの長さ方向に切り欠きを形
    成した形状に構成し、他方のプランジャー摺動部は、該
    切り欠きに嵌合する突片をパイプに連設した形状とした
    請求項１又は２に記載のコンタクトプローブ。
  4. 【請求項４】前記スリーブと前記両プランジャー摺動部
    とを、多角形若しくは楕円形に形成して、互いに回転し
    ないようにした請求項３に記載のコンタクトプローブ。
  5. 【請求項５】前記コイルスプリングは、前記両プランジ
    ヤー摺動部に内装され得るように形成した請求項２〜４
    のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
  6. 【請求項６】前記両プランジャー摺動部に形成した突片
    を、上方に向けて若干曲げてなる請求項３〜５のいずれ
    か１項に記載のコンタクトプローブ。
  7. 【請求項７】略平行に配設した２枚の回路基板間に介装
    させて、高周波信号の回路検査等に使用する請求項１〜
    ６のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008096368A (ja) * 2006-10-16 2008-04-24 Yokowo Co Ltd ケルビン検査用治具
JP2009042090A (ja) * 2007-08-09 2009-02-26 Sankei Engineering:Kk 導電接触ピン
KR101332764B1 (ko) 2012-08-23 2013-11-25 율고핀 주식회사 투 피스 구조를 갖는 스프링 타입 프로브 핀
TWI572862B (zh) * 2014-09-23 2017-03-01 李諾工業股份有限公司 測試裝置用的接觸探針
WO2020145073A1 (ja) * 2019-01-10 2020-07-16 日本電産リード株式会社 接触端子、検査治具、及び検査装置

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6256865A (ja) * 1985-09-06 1987-03-12 Yamaichi Seiko:Kk プロ−ブコンタクト
JPH04270967A (ja) * 1990-06-11 1992-09-28 Internatl Standard Electric Corp コンタクト装置
JPH0627139A (ja) * 1992-04-13 1994-02-04 Towa Kogyo Kk コンタクトプローブおよびこれを用いた電気コネクタ
JPH06317624A (ja) * 1993-05-10 1994-11-15 Hitachi Ltd 電極の接続装置
JPH08213088A (ja) * 1995-02-08 1996-08-20 Yamaichi Electron Co Ltd 表面接触形接続器
JPH10214649A (ja) * 1997-01-30 1998-08-11 Yokowo Co Ltd スプリングコネクタおよび該スプリングコネクタを用いた装置
JPH10261447A (ja) * 1997-02-04 1998-09-29 Durtal Sa ばねを備えた接触ピース
JP2000026838A (ja) * 1998-07-07 2000-01-25 Hitachi Chem Co Ltd 摩擦材組成物及び該摩擦材組成物を用いた摩擦材
JP2000241447A (ja) * 1999-02-18 2000-09-08 Delaware Capital Formation Inc ばねプローブ、ばねプローブ組立体及びそれらの組立方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6256865A (ja) * 1985-09-06 1987-03-12 Yamaichi Seiko:Kk プロ−ブコンタクト
JPH04270967A (ja) * 1990-06-11 1992-09-28 Internatl Standard Electric Corp コンタクト装置
JPH0627139A (ja) * 1992-04-13 1994-02-04 Towa Kogyo Kk コンタクトプローブおよびこれを用いた電気コネクタ
JPH06317624A (ja) * 1993-05-10 1994-11-15 Hitachi Ltd 電極の接続装置
JPH08213088A (ja) * 1995-02-08 1996-08-20 Yamaichi Electron Co Ltd 表面接触形接続器
JPH10214649A (ja) * 1997-01-30 1998-08-11 Yokowo Co Ltd スプリングコネクタおよび該スプリングコネクタを用いた装置
JPH10261447A (ja) * 1997-02-04 1998-09-29 Durtal Sa ばねを備えた接触ピース
JP2000026838A (ja) * 1998-07-07 2000-01-25 Hitachi Chem Co Ltd 摩擦材組成物及び該摩擦材組成物を用いた摩擦材
JP2000241447A (ja) * 1999-02-18 2000-09-08 Delaware Capital Formation Inc ばねプローブ、ばねプローブ組立体及びそれらの組立方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008096368A (ja) * 2006-10-16 2008-04-24 Yokowo Co Ltd ケルビン検査用治具
JP2009042090A (ja) * 2007-08-09 2009-02-26 Sankei Engineering:Kk 導電接触ピン
KR101332764B1 (ko) 2012-08-23 2013-11-25 율고핀 주식회사 투 피스 구조를 갖는 스프링 타입 프로브 핀
TWI572862B (zh) * 2014-09-23 2017-03-01 李諾工業股份有限公司 測試裝置用的接觸探針
WO2020145073A1 (ja) * 2019-01-10 2020-07-16 日本電産リード株式会社 接触端子、検査治具、及び検査装置
JP7444077B2 (ja) 2019-01-10 2024-03-06 ニデックアドバンステクノロジー株式会社 接触端子、検査治具、及び検査装置

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