JP2000346817A5 - 測定装置、照射装置、露光装置および露光方法 - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 光学素子に電磁波又は電子線を照射して、前記光学素子の汚れ具合を測定する測定装置において、
前記光学素子から放出される電子を検出し、前記検出された電子のうち、所定のエネルギー範囲の電子を選択して、前記選択されたエネルギー範囲内の前記電子を測定する測定手段を備えたことを特徴とする測定装置。
【請求項２】 前記測定手段では、前記光学素子から放出された電子を検出して検出信号を出力する検出手段を備え、
飛行時間法により前記電子のエネルギーを測定することで、前記検出手段で得られた信号を基に前記所定のエネルギー範囲の電子の情報を選択することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】前記所定のエネルギー範囲は、前記光学素子を構成する物質と前記電磁波又は前記電子線のエネルギーに応じて定めたエネルギー範囲であり、
かつ前記測定手段では、前記選択されたエネルギー範囲での電子数に関する信号を取得し、前記信号を基に前記光学素子の汚れ具合を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
【請求項４】 前記所定のエネルギー範囲は、前記光学素子に付着すると予想される汚染物質と前記電磁波又は前記電子線のエネルギーに応じて定められたエネルギー範囲であり、
かつ前記測定手段では、前記選択されたエネルギー範囲での電子数に関する信号を取得し、前記信号を基に前記光学素子の汚れ具合を測定することを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
【請求項５】 前記測定手段では前記光学素子を構成する物質と前記電磁波又は前記電子線のエネルギーに応じて定められたエネルギー範囲内の電子についてそのスペクトルを得て、前記スペクトルのピーク値から、前記光学素子に付着した汚染物質を特定する物質特定部を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
【請求項６】 前記エネルギー範囲は、前記光学素子を構成する物質と前記電磁波又は前記電子線のエネルギーとに応じて定められた第１の電子のエネルギー範囲と、前記光学素子に付着すると予想される汚染物質と前記電磁波又は前記電子線のエネルギーに応じて定められた第２の電子のエネルギー範囲とからなり、
かつ前記測定手段では、前記第１及び第２のエネルギー範囲のそれぞれで前記光学素子から放出された電子を検出して、前記第１のエネルギー範囲における電子数に関する第１の信号及び前記第２のエネルギー範囲での電子数に関する第２の信号を取得し、前記第１の信号と前記第２の信号を基に、前記第１のエネルギー範囲の電子数と前記第２のエネルギー範囲での電子数を比較して、前記光学素子の汚れ具合を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
【請求項７】 前記測定手段では、前記光学素子から所定の角度範囲で放出される電子を検出する検出手段が備えられ、前記検出手段の前記光学素子に対する検出角度が可変であることを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
【請求項８】 前記光学素子には、前記光学素子への前記電磁波又は前記電子線の照射により所定のエネルギーの電子を放出する物質が形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のうちいづれか一項記載の測定装置。
【請求項９】 光学素子に電磁波又は電子線を照射して、前記光学素子の汚れ具合を測定する測定装置において、
前記光学素子に付着した汚染物質から放出される電子を検出して、前記光学素子の汚れ具合を測定することを特徴とする測定装置。
【請求項１０】 被照射物体上に、Ｘ線を照射する照射装置において、
感光材料が感光可能な露光波長を有する前記Ｘ線を生成する光源と、
前記光源からの電磁波を前記基板に到達させる少なくとも一つの光学素子と、
前記光学素子及び前記光学素子に付着した汚染物質から放出される電子を検出し、前記検出された電子のうち、所定のエネルギー範囲の電子を選択して、前記選択されたエネルギー範囲内における前記電子を測定する測定手段を備えたことを特徴とするＸ線照射装置。
【請求項１１】 前記測定手段は、前記被照射物体又は前記光源に最も近い位置に配置された前記光学素子又は前記光源を含んでいる容器内に置かれている前記光学素子に設けられたことを特徴とする請求項１０に記載のＸ線照射装置。
【請求項１２】 前記光学素子は真空容器内に設けられ、
前記真空容器には、前記真空容器内に存在する気体を前記真空容器外に放出する吸引手段が備えられ、
前記測定手段は、前記吸引手段に最も近い位置に配置された前記光学素子に設けられたことを特徴とする請求項１０に記載のＸ線照射装置。
【請求項１３】 Ｘ線源から放射された光を光学素子を介して、パターンが形成されたマスクに照射しかつ感光剤が設けられた基板上にマスクの像を投影する露光方法において、
前記光学素子から放出される電子を検出して、前記検出された電子のうち、所定のエネルギー範囲の電子を選択して、前記選択されたエネルギー範囲内の前記電子を測定することで、前記光学素子の汚染状況を得て、露光することを特徴とする露光方法。
【請求項１４】 請求項１乃至９のうちいずれか一項記載の測定装置を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１５】 請求項１０乃至１２のうちいずれか一項記載の照射装置を備えることを特徴とする露光装置。