JP2000346810A - リードフレームばたつき防止機構及びリードフレーム検査装置 - Google Patents

リードフレームばたつき防止機構及びリードフレーム検査装置

Info

Publication number
JP2000346810A
JP2000346810A JP15633199A JP15633199A JP2000346810A JP 2000346810 A JP2000346810 A JP 2000346810A JP 15633199 A JP15633199 A JP 15633199A JP 15633199 A JP15633199 A JP 15633199A JP 2000346810 A JP2000346810 A JP 2000346810A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
imaging
prevention mechanism
inspection
imaging position
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP15633199A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4272299B2 (ja
Inventor
Toshiaki Funada
年明 舟田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Apic Yamada Corp
Original Assignee
Apic Yamada Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Apic Yamada Corp filed Critical Apic Yamada Corp
Priority to JP15633199A priority Critical patent/JP4272299B2/ja
Publication of JP2000346810A publication Critical patent/JP2000346810A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4272299B2 publication Critical patent/JP4272299B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Abstract

(57)【要約】 【課題】 撮像位置におけるばたつきや油塊の付着を防
止したリードフレームばたつき防止機構を提供する。 【解決手段】 撮像位置Pへ搬送される帯状に連続する
リードフレーム3をガイドする送りロッド17、送りロ
ーラ21,28、上下送りローラ27a,27b、傾斜
送りローラ29などを有するガイド手段と、ガイド手段
によりガイドされて撮像位置Pを通過するリードフレー
ム3の少なくとも該撮像位置Pの上流側においてリード
フレーム3の撮像面にエアーを吹き付けてばたつきを抑
えるエアー吹き付け部32とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は打ち抜き加工後のリ
ードフレームの打痕や傷、変色等の表面状態の異常の有
無を検査する検査装置に好適に用いられるリードフレー
ムばたつき防止機構及びリードフレーム検査装置に関す
る。
【0002】
【背景技術】従来、リードフレームを打ち抜きリードフ
レームを形成するプレス工程において、例えば短冊状リ
ードフレームであれば、プレスより搬送されたところ
で、大きな打痕やバリ等は作業者が肉眼で確認してい
た。また、搬送されるリードフレームをプレス後に任意
に抜き取り、顕微鏡で検査及び測定を行っていた。ま
た、リールに巻き取られたリードフレームにおいては、
途中で抜き取り検査を行うことができないので、作業者
の肉眼に頼るしかなく、精密検査はリールの最後で打痕
等の有無を検査するしかなかった。
【0003】上記リードフレームの検査効率や検査精度
を向上させるため、本件出願人は特願平9ー27871
3号に示すリードフレームの検査装置を提案した。この
検査装置は、プレス加工後に搬送されるリードフレーム
をリング状照明より光照射して、反射光をCCDカメラ
により画像入力を行い、入力画像の輝度を解析し、得ら
れた解析値と予めティーチングにより記憶部に記憶させ
た記憶値との比較を行ってリードフレームの異常を検出
するものである。
【0004】上記検査装置は、例えばプレス装置の後に
配設され、帯状に連続するリードフレームは、プレス加
工後に連続して検査装置に搬入され、リードフレームを
検査するため画像入力を行うCCDカメラなどの撮像手
段やリング状照明などが設けられた撮像位置を通過して
搬送される。この撮像位置のリードフレーム搬送方向上
流側及び下流側には、リードフレームの搬送をガイドす
るための複数のガイドローラが回動自在に設けられてい
る。例えば、リードフレームの検査表裏面をガイドする
円筒状のローラや、リードフレームの幅方向両側面をガ
イドするV溝が周面に形成されたローラや円筒状のロー
ラなど回動自在に設けられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たリードフレームの搬送機構においては、剛性の小さい
帯状のリードフレームにおいては、プレス加工時に作用
する応力に起因する歪みが生ずる。この結果、リードフ
レームは、検査装置に搬入されると、撮像位置において
上下波打ち振動現象、いわゆるばたつきが生じ易い。こ
のリードフレームのばたつきが大きくなると、CCDカ
メラより取り込んだ入力画像を解析する際、輝度データ
の画像間変動量を示す許容値をある程度大きな値に設定
しないと、異常判定が頻発して打痕の検出性能が低下す
る。また、リードフレームのばたつきは、リードフレー
ムが正常であっても、CCDカメラなどによって撮像し
た入力画像の輝度を解析すると異常と判定されることが
多く、検査装置を頻繁に停止せざるを得なくなり、検査
効率が低下する。また、リードフレームにはプレス加工
時に必ず付着する加工油があり、撮像面より上流で種々
の油除去手段を設けてはいるが、油塊が撮像面に残留す
ることがある。この場合、リードフレームが正常であっ
ても、CCDカメラなどによって撮像した入力画像の輝
度を解析すると異常と判定されることが多く、検査装置
を頻繁に停止せざるを得なくなり、検査効率が低下す
る。
【0006】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、撮像位置におけるばたつきや油塊の付着を防止し
たリードフレームばたつき防止機構及び該リードフレー
ムばたつき防止機構を用いて高精度で効率的な検査が行
えるリードフレーム検査装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。即ち、リードフレームばた
つき防止機構においては、撮像位置へ搬送される帯状に
連続するリードフレームをガイドするガイド手段と、ガ
イド手段によりガイドされて撮像位置を通過するリード
フレームの少なくとも該撮像位置の上流側において前記
リードフレームの撮像面にエアーを吹き付けてばたつき
を抑えるエアー吹き付け手段とを備えたことを特徴とす
る。この場合、ガイド手段は、リードフレームの撮像表
裏面やリードフレームの両側面を各々ガイドする複数の
ガイドローラが、高さ位置や幅方向位置が各々可変に設
けられていても良い。また、撮像位置の上流側にリード
フレームの幅方向両側エッジ部に当接して浮き上がりを
押さえる押さえ部材が設けられていても良い。また、撮
像位置の上流側において送りローラに付着した加工油を
吸引除去する油吸引手段を設けるのが好ましい。
【0008】またリードフレーム検査装置においては、
帯状に連続するリードフレームを撮像位置へ搬送する搬
送手段と、搬送手段により搬送されるリードフレームを
ガイドしながら撮像位置において該リードフレームのば
たつきを抑える前記リードフレームばたつき防止機構
と、撮像位置においてリードフレームのリード形成領域
の画像入力を行う撮像手段と、撮像手段の光軸を取り囲
むようリング状に配置されかつリードフレームと撮像手
段との間に光軸方向に多段に配置されてなる、リードフ
レームに光を照射する照明手段と、撮像手段より取り込
んだ入力画像の輝度データを解析し異常を検出すると検
査装置の動作を一時停止するよう制御する制御手段とを
備えたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るリードフレー
ムの検査装置の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細
に説明する。図1はリードフレーム検査装置を含むリー
ドフレーム製造装置の全体構成を示す説明図、図2はリ
ードフレーム検査装置の構成を示すブロック説明図、図
3はリードフレーム検査装置の断面説明図、図4はリー
ドフレームばたつき防止機構の平面図、図5はリードフ
レームばたつき防止機構の正面図、図6は図4の矢印D
方向から見た説明図、図7は図4の矢印E方向から見た
説明図、図8は図4の矢印方向F−F断面図、図9は穴
位置検出手段の取付構成を示す説明図である。
【0010】先ず図1を参照してリードフレームの検査
装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成について
説明する。1,2は帯状に連続するリードフレーム3を
繰り出し、巻き取り用のリールである。本実施例では図
面左側の繰り出し用リール1よりリードフレーム1を繰
り出し、図面右側に配置された巻き取り用リール2に巻
き取るように構成されている。
【0011】4はレベラーであり、繰り出し用リール1
より繰り出されたリードフレーム3の巻きぐせを平坦化
する装置である。5は上型5a,下型5bを装備してプ
レスによりリードを形成するプレス装置である。6はリ
ードフレーム検査装置であり、プレス装置5により打ち
抜かれたリードフレーム3の表面状態に打痕,傷,変色
等の異常がないかどうかを検査するものである。上記リ
ードフレーム検査装置6には、搬送手段としての搬送ロ
ーラ6a,照明手段の一部を構成する複数のリング状照
明6b,撮像手段としてのCCD(電荷結合素子)カメ
ラ6c,リング状照明6bやCCDカメラ6cが一体に
搭載された可動テーブル6d等を装備している。7は層
間紙であり、巻き取り用リール2に巻き取られるリード
フレーム3間に介在させて巻き取らせ、リードフレーム
相互間の摺擦より保護をしている。なお、本実施例で
は、リードフレーム検査装置6はプレス装置5の後に配
置されているが、リードフレーム1の洗浄装置の後やそ
の他の処理後に配置することも可能である。
【0012】次に図2を参照してリードフレーム検査装
置6の全体構成についてブロック図を参照して説明す
る。8は制御手段であり、制御プログラムにしたがって
装置全体の動作を制御するCPU8a、外部より入力さ
れたデータの一時保存を行ったり、CPU8aのワーキ
ングエリアとして使用されるRAMやCPU8aの制御
プログラムを記憶したROM等を備えた記憶部8b、デ
ータの入出力を行う入出力部(I/O部)8c、リング
状照明6bの光源装置9の照度を制御する照度コントロ
ーラ8d、CCDカメラ6cにより撮影した画像にマス
ク処理を施す画像処理ボード8e等を装備している。上
記画像処理ボード8eには、CCDカメラ6cより後述
するモニター表示用の画像が入力される。
【0013】また10は駆動手段としてのコントローラ
であり、リードフレーム3を搬送する搬送ローラ6aを
駆動させる駆動モータ(図示せず)や可動テーブル6d
を走査させる駆動モータ(図示せず)を作動/停止させ
るドライバー回路を有する。また、上記CPU8aに
は、I/O部8cを介してリードフレーム3の搬送量を
検出するためのフレーム搬送センサ11からの検出信号
が入力し、プレス装置5を作動/停止させる制御信号が
出力される。
【0014】上記制御手段8のCPU8aは、照度コン
トローラ8dにより光源装置9の照度を制御してリング
状照明6bによりリードフレーム3をほぼ同一明度とな
るように光照射する。本実施例ではIC1ピース分をほ
ぼ同一明度となる領域として一括してCCDカメラ6c
により撮影して画像処理ボード8eを介して輝度データ
として取り込み記憶部8bに記憶する。このとき、リー
ドフレーム3を搬送しながら画像を取り込む際に検査を
必要としない部分(例えば孔など)に必要に応じて画像
処理ボード8eによりマスク処理を施して輝度データを
取り込む。CPU8aは検査画像ポイントを中心とした
検査画像領域を指定した場合に当該領域を各画素毎に検
査し、特に検査画像領域を指定しない場合には画面全体
を各画素毎に検査する。そして、検査の結果、異常を検
出すると入出力部8cを介してコントローラ10により
搬送ローラ6aの駆動を制御して搬送動作を停止させ
る。
【0015】次に図3を参照してリードフレームの検査
装置6の具体的な装置構成について説明する。以下、プ
レス後のリードフレーム3の搬送経路にしたがって説明
する。リードフレーム3は図面左側より下方にU字状に
垂れ下がって検査装置6に進入し、後述するリードフレ
ームばたつき防止機構12に沿って鉛直上方に向かって
搬送される。
【0016】リードフレーム3の検査装置6への進入位
置には複数のセンサが設けられている。6eは検査側停
止センサであり、リードフレーム3のたるみ部分を検出
すると搬送ローラ6aの動作を停止するようになってい
る。即ち、プレス装置5に異常が生じて停止した場合、
搬送ローラ6aが回転し続けると、リードフレーム3の
たるみ部分の巻き取りが進行してA位置に到達する。こ
のとき検査側停止センサ6eがリードフレーム3のたる
み部分を検出すると検査装置6は搬送ローラ6aの回転
を停止させる。6f,6gは速度制御センサであり、リ
ードフレーム3のたるみ部分が所定範囲に保たれるよう
に搬送ローラ6aの回転速度を制御するようになってい
る。即ち、リードフレーム3のたるみ部分が速度制御セ
ンサ6fに検出されると、プレス装置5の搬送速度より
搬送ローラ6aの巻き取り速度が速過ぎるので、搬送ロ
ーラ6aの回転速度を遅くするようにコントローラ10
により速度制御し、リードフレーム3のたるみ部分が速
度制御センサ6gに検出されると、プレス装置5の搬送
速度より搬送ローラ6aの巻き取り速度が遅過ぎるので
搬送ローラ6aの回転速度を速くするようにコントロー
ラ10により速度制御して、リードフレーム3のたるみ
部分が速度制御センサ6f,6g間にあるように保たれ
る。6hはプレス側停止センサであり、リードフレーム
3のたるみ部分を検出するとプレス装置5の動作を停止
するようになっている。即ち、検査装置6に異常が生じ
て搬送ローラ6aが停止或いは回転動作が遅延すると、
リードフレーム3が巻き取られずたるみ部分が多くなり
C位置に到達する。このときプレス側停止センサ6hが
リードフレーム3のたるみ部分を検出するとプレス装置
5はプレス動作を停止させる。
【0017】また、リードフレーム3は、リードフレー
ムばたつき防止機構12により幅方向及び高さ方向の位
置決めがなされ、図の矢印に示すYZ軸方向に移動可能
な可動テーブル6dに取り付けられたリング状照明6b
によりリードフレーム3の所定領域に光照射されてその
表面画像がCCDカメラ6cにより取り込まれる。リン
グ状照明6bは、CCDカメラ6cの光軸を取り囲み、
かつリードフレーム3とCCDカメラ6cとの間に光軸
方向に沿って多段(本例では2段であるが、3段以上で
も良い)に配置されている。また、可動テーブル6dは
図示しない駆動モータにより図3のYZ軸方向に走査可
能に構成されている。リング状照明6bの照度は、リー
ドフレーム3のリード形成領域の輝度に応じて可動テー
ブル6dの下方に設けられた光源装置9により調整され
る。また、上記CCDカメラ6cの焦点は、可動テーブ
ル6dの後端側にあるノブ6jにより手動で調整する。
なお、図3において、Y軸方向とは紙面に対して垂直方
向をいう。
【0018】リードフレームばたつき防止機構12は、
撮像位置Pへ搬送される帯状に連続するリードフレーム
3を、少なくとも該撮像位置の上流側においてリードフ
レーム3の撮像面(検査面側)にエアーを吹き付けてば
たつきを抑える。リードフレーム3は、連続搬送されな
がらCCDカメラ6cより画像入力を行い全数検査が行
われる。この際、CCDカメラ6cによる画像入力は、
フレーム搬送センサ11から出力される検出信号(許可
フラグ)に同期して1ピース単位で行うようにすると良
い。フレーム搬送センサ11は、リードフレーム3の位
置及び搬送速度を検出し、画像取り込み位置を決める。
搬送ローラ6aは、図示しない駆動モータにより回転駆
動され、リードフレーム3をその円弧面の一部に巻き付
けて搬送する。このとき、速度制御センサ6f,6gに
より、リードフレーム3のたるみ部分の位置を検出し
て、駆動モータ(図示せず)の駆動制御することによ
り、搬送ローラ6aによるリードフレーム3の搬送動作
が制御される。
【0019】13は搬送ガイドであり、搬送ローラ6a
を経たリードフレーム3の搬送をガイドするものであ
る。上記搬送ガイド13の搬送路には、リードフレーム
3の上下一方或いは双方に当接して従動回転する複数の
補助ローラ14が設けられている。上記搬送ガイド13
を経たリードフレーム3は装置外へ導かれ、巻き取り側
に搬送される。
【0020】また、装置下部には、制御手段8や電源部
等を配置した制御パネル15が配置されている。また、
装置上部には制御データコントロール用の制御用モニタ
ー16a、CCDカメラ6cより取り込んだ画像をリア
ルタイムで表示するための表示用モニター16bが装備
されている。なお、モニターは1台とし、切り換えなが
ら制御データコントロール用の制御用として、また画像
表示用として使用するようにしても良い。
【0021】ここで、リードフレームばたつき防止機構
12の構成について図4〜図9を参照して詳細に説明す
る。図4及び図5において、リードフレームばたつき防
止機構12は、帯状に連続するリードフレーム3を検査
するため撮像位置Pを通過して搬送される該リードフレ
ーム3をガイドするガイド手段として複数の送りロッド
及び送りローラが設けられている。17は第1のベース
部材であり、該第1のベース部材17にはリードフレー
ム3の搬送方向に沿って、撮像位置Pの上流側及び下流
側において上下一対の送りロッド18が複数ヶ所に設け
られている。この送りロッド18には鋼材が用いられて
おり、図6に示すように、ロッド間は所定のクリアラン
スを設けて第1のベース部材17より起立して形成され
た送りロッド支持部材19に固定若しくは回動自在に支
持されている。送りロッド18は、リードフレーム3が
送りローラ21のV溝21aから外れることを防止して
いる。
【0022】20は第2のベース部材であり、第1のベ
ース部材17の幅方向両側に重ね合わさるように配設さ
れている。この第2のベース部材20には、リードフレ
ーム3の搬送方向に沿って、撮像位置Pの上流側及び下
流側において送りローラ21が対向して複数ヶ所に設け
られている。この送りローラ21には鋼材が用いられて
おり、図5に示すように、ローラ周面にはV溝21aが
形成されており、リードフレーム3の両側面をガイドし
ている。また送りローラ21は、第2のベース部材20
上に設けられた支持部材22に回動自在に支持されてい
る。第2のベース部材20は、その裏面側に設けられた
リニアガイド20aを、第1のベース部材17にリード
フレーム3の幅方向に設けられたガイドレール17aに
嵌め込んで移動可能に支持されている。また、支持部材
22のうち撮像位置Pより上流側のものには、送りロー
ラ21に付着した加工油を吸引除去する油吸引手段とし
ての油吸引部23が両側に設けられている。また、支持
部材22のうち撮像位置Pより下流側のものは、第2の
ベース部材20上をリードフレーム3の長手方向にスラ
イド可動に設けられている。
【0023】24は第3のベース部材であり、撮像位置
Pに相当するエリアに第1のベース部材17上に支持さ
れている。この第3のベース部材24は、第1のベース
部材17との間に弾装された支持スプリング25により
上方へ付勢して支持されている。また、図8に示すよう
に、第3のベース部材24には下送りローラ27aが撮
像位置Pの上流側及び下流側に複数ヶ所に回動自在に支
持されている。第3のベース部材24は、第1のベース
部材17を挿通して設けられた上下用ロッド30にガイ
ドされて上下動可能に支持されている。また、第1のベ
ース部材17の幅方向中央部であって、撮像位置Pの上
流側及び下流側には、ストッパーブロック31が各々設
けられており、該ストッパーブロック31には、ストッ
パーピン31aが垂設されている。第3のベース部材2
4にはストッパープレート24aが設けられたおり、該
ストッパープレート24aをストッパーピン31aに当
接させて、第3のベース部材24が第1のベース部材1
7に対して位置決めされている。
【0024】また、図8において、第1のベース部材1
7には、リードフレーム3の幅方向にガイドレール17
bが設けられており、ガイドレール17bには支持部材
26が両側に嵌め込まれて移動可能になっている。この
支持部材26には、撮像位置Pの上流側及び下流側にお
いて上送りローラ27bが複数ヶ所に回動自在に支持さ
れている。この上下送りローラ27a,27bには、ゴ
ム等の軟質材料を円筒状に形成したローラが好適に用い
られる。また、上下送りローラ対27a,27bのうち
撮像位置Pより上流側のものはローラ間が若干離間して
配置されており、撮像位置Pより下流側のものは、ロー
ラ間にニップ部を形成してリードフレーム3を上下で噛
み込みながらガイドする。これは、後述するように、撮
像位置Pより上流側でリードフレーム3のばたつきを抑
えてガイドするためである。
【0025】また、支持部材26には、撮像位置Pの上
流側及び下流側においてリードフレーム3の両側面をガ
イドする送りローラ28が回動自在に設けられている。
この送りローラ28には鋼材を円筒状に形成したローラ
が好適に用いられる。また、撮像位置Pの上流側の支持
部材26には、押さえ部材として図7に示す傾斜送りロ
ーラ29が両側に回動可能に支持されている。この傾斜
送りローラ29は、互いにリードフレーム3の幅方向中
心に向かって傾斜して設けられており、リードフレーム
3の幅方向両側エッジ部に当接してばたつきを押さえな
がらガイドする。傾斜送りローラ29の傾斜角度やロー
ラどうしの間隔は、取付部材29aを調整することで任
意に設定できるが、傾斜角度はリードフレーム3の検査
面に対して約70°程度傾斜しているのが好適である。
【0026】また、図4において、撮像位置Pの上流側
の支持部材26には、エアー吹き付け手段としてのエア
ー吹き付け部32が設けられている。このエアー吹き付
け部32は、リードフレーム3の検査面の上方より幅方
向中心付近に配設されており、リードフレーム3の検査
面に単数又は複数のノズルからエアーを吹き付けてばた
つきを抑える。エアー吹き付け部32は少なくとも撮像
位置Pの上流側に設けられているのが望ましいが、撮像
位置Pの下流側にも設けられていても良い。
【0027】図9において、撮像位置Pの下流側のスト
ッパーブロック31上には、上方が開放された凹状の取
付ブロック33が設けられている。この取付ブロック3
3の両側起立壁の外側には送りロッド支持部材34が各
々取り付けられており、該送りロッド支持部材34には
上下一対の送りロッド18が固定若しくは回動自在に支
持されている。
【0028】また、第2のベース部材20には、柱状の
取付ブロック35が立設されており、該取付ブロック3
5の上端面には取付プレート36が架設されている。こ
の取付プレート36には、フレーム搬送センサ11の取
付穴36aや第2のベース部材20の位置決めを行う位
置決めピン用穴36bが形成されている。取付プレート
36の取付穴36aには、図4及び図5に示すように、
フレーム搬送センサ11が垂設される。また、位置決め
ピン用穴36bには、後述する位置決めピン37aを挿
入してリードフレーム3の幅に合わせて撮像位置Pの下
流側で第2のベース部材20の位置を調整する。
【0029】また、取付プレート36は撮像位置Pの上
流側においても第2のベース部材20の位置を調整する
のに用いられる。即ち、撮像位置Pより上流側の第1の
ベース部材17上には、位置決めブロック37が設けら
れており、その上端面には位置決めピン37aが嵌め込
まれている。取付プレート36は、位置決めピン用穴3
6bに位置決めピン37aを挿入することでリードフレ
ーム3の幅に合わせて第2のベース部材20の位置を調
整する。このようにリードフレーム3の品種を変えた場
合に、撮像位置Pの上流側及び下流側で共通の取付プレ
ート36を用いて第2のベース部材20の幅方向の位置
決めを行うことができる。また、撮像位置Pの上流側及
び下流側で共通の位置決めピン37aを用いて第2のベ
ース部材20の幅調整を行えるようになっている。
【0030】次に、上述のように構成されたリードフレ
ーム検査装置6の検査動作について説明すると、本実施
例では、リードフレーム3を連続搬送しながらIC1ピ
ース毎に表面状態を検出を行う。図1において、プレス
装置5を経て連続的に加工され搬送されるリードフレー
ム3をリードフレーム検査装置6に進入させ、リードフ
レーム3のIC1ピース単位でCCDカメラ6cより画
像を取り込む。入力画像を解析して得られた検査画像ど
うしの輝度データの差を画像間変動量(許容値)を考慮
して各画素毎に比較して異常判定を行う。異常が検出さ
れると、一旦検査動作を停止して、回復処理を行い再度
検査を開始するようになっている。
【0031】上記構成によれば、撮像位置Pを通過する
リードフレーム3の少なくとも上流側において該リード
フレーム3の撮像面にエアー吹き付け部32よりエアー
を吹き付けるので、撮像位置Pにおいてばたつきを有効
に抑えることができ、正常状態のリードフレーム3を異
常判定することがなくなる。特に、撮像位置Pの上流側
に互いにリードフレーム3の幅方向中心に向かって傾斜
して回動自在に支持された傾斜送りローラ29を設けた
場合には、エアーの他にリードフレーム3の幅方向両側
エッジ部に当接してばたつきを押さえることができる。
このように、撮像位置Pにおいてリードフレーム3のば
たつきを抑えることで、リードフレーム検査装置6にお
いて、CCDカメラ6cより取り込んだ入力画像の輝度
データの変動を示す許容値を低く設定できるので、特に
打痕の検出性能を向上させ微細な打痕の検出を高精度に
行える。また、撮像位置Pの上流側において送りローラ
21に付着した加工油を吸引除去する油吸引部23を設
けた場合には、リードフレーム3の撮像面に付着する油
塊が減少し、ばたつきや油汚れなどの正常状態において
装置の停止頻度が低減し、検査効率の向上が実現でき
る。
【0032】本発明のリードフレームばたつき防止機構
は上述した実施例に限定されるものではなく、ガイド手
段としての送りローラ21,28,29等の設置角度及
び高さ位置や幅方向位置、更にはこれらのリードフレー
ム搬送方向の配置構成やエアー吹き付け部32の配置構
成等は任意に変更可能である。また、リードフレーム検
査装置の設置箇所もプレス装置5の後に限らず、リード
フレームの洗浄後またはその他の処理後に設置しても良
い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改
変を施し得るのはもちろんのことである。
【0033】
【発明の効果】本発明は前述したように、撮像位置を通
過するリードフレームの少なくとも上流側において該リ
ードフレームの撮像面にエアー吹き付け手段よりエアー
を吹き付けるので、撮像位置においてばたつきを有効に
抑えることができ、正常状態のリードフレームを異常判
定することがなくなる。特に、撮像位置の上流側に互い
にリードフレームの幅方向中心に向かって傾斜して回動
自在に支持された押さえ部材を設けた場合には、エアー
の吹き付けの他にリードフレームの幅方向両側エッジ部
に当接してばたつきを押さえることができる。このよう
に、撮像位置においてリードフレームのばたつきを抑え
ることで、リードフレーム検査装置において、撮像手段
より取り込んだ入力画像の輝度データの変動を示す許容
値を低く設定できるので、特に打痕の検出性能を向上さ
せ微細な打痕の検出を高精度に行える。また、撮像位置
の上流側においてリードフレームの撮像面に付着した加
工油を吸引除去する油吸引手段を設けた場合には、リー
ドフレームの撮像面に付着する油塊が減少し、ばたつき
や油汚れなどの正常状態において装置の停止頻度が低減
し、検査効率の向上が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】リードフレーム検査装置を含むリードフレーム
製造装置の全体構成を示す説明図である。
【図2】リードフレーム検査装置の構成を示すブロック
説明図である。
【図3】リードフレーム検査装置の断面説明図である。
【図4】リードフレームばたつき防止機構の平面図であ
る。
【図5】リードフレームばたつき防止機構の正面図であ
る。
【図6】図4のリードフレームばたつき防止機構を矢印
D方向から見た説明図である。
【図7】図4のリードフレームばたつき防止機構を矢印
E方向から見た説明図である。
【図8】図4のリードフレームばたつき防止機構の矢印
方向F−F断面図である。
【図9】穴位置検出手段の取付構成を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
1 繰り出し用リール 2 巻き取り用リール 3 リードフレーム 4 レベラー 5 プレス装置 6 リードフレーム検査装置 6a 搬送ローラ 6b リング状照明 6c CCDカメラ 6d 可動テーブル 6e 検査側停止用センサ 6f,6g 速度制御用センサ 6h プレス側停止用センサ 7 層間紙 8 制御手段 8a CPU 8b 記憶部 8c 入出力部 8d 照度コントローラ 8e 画像処理ボード 9 光源装置 10 コントローラ 11 フレーム搬送センサ 12 リードフレームばたつき防止機構 13 搬送ガイド 14 補助ローラ 15 制御パネル 16a 制御用モニター 16b 表示用モニター G 光軸 17 第1のベース部材 17a,17b ガイドレール 18 送りロッド 19,34 送りロッド支持部材 20 第2のベース部材 20a リニアガイド 21,28 送りローラ 21a V溝 22,26 支持部材 23 油吸引部 24 第3のベース部材 24a ストッパープレート 25 支持スプリング 27a 下送りローラ 27b 上送りローラ 29 傾斜送りローラ 30 上下用ロッド 31 ストッパーブロック 31a ストッパーピン 32 エアー吹き付け部 33,35 取付ブロック 36 取付プレート 36a 取付穴 36b 位置決めピン用穴 37 位置決めブロック 37a 位置決めピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA49 AA56 BB02 CC25 DD13 FF42 GG17 HH02 HH13 JJ03 JJ26 PP03 PP16 QQ37 QQ38 RR07 2G051 AA31 AB07 AC12 BA01 BA20 BC10 CA04 CB01 DA05 DA20 ED01 5F067 AA12 AA19 DB10

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 撮像位置へ搬送される帯状に連続するリ
    ードフレームをガイドするガイド手段と、 前記ガイド手段によりガイドされて前記撮像位置を通過
    する前記リードフレームの少なくとも該撮像位置の上流
    側において前記リードフレームの撮像面にエアーを吹き
    付けてばたつきを抑えるエアー吹き付け手段とを備えた
    ことを特徴とするリードフレームばたつき防止機構。
  2. 【請求項2】 前記ガイド手段は、前記リードフレーム
    の撮像表裏面や前記リードフレームの両側面を各々ガイ
    ドする複数のガイドローラが、設置角度及び高さ位置や
    幅方向位置が各々可変に設けられていることを特徴とす
    る請求項1記載のリードフレームばたつき防止機構。
  3. 【請求項3】 前記撮像位置の上流側に前記リードフレ
    ームの幅方向両側エッジ部に当接して浮き上がりを押さ
    える押さえ部材を設けたことを特徴とする請求項1又は
    請求項2記載のリードフレームばたつき防止機構。
  4. 【請求項4】 前記撮像位置の上流側において送りロー
    ラに付着した加工油を吸引除去する油吸引手段を設けた
    ことを特徴とする請求項1、2又は請求項3記載のリー
    ドフレームばたつき防止機構。
  5. 【請求項5】 帯状に連続するリードフレームを撮像位
    置へ搬送する搬送手段と、 前記搬送手段により搬送される前記リードフレームをガ
    イドしながら前記撮像位置において該リードフレームの
    ばたつきを抑える請求項1〜4のうちいずれか1項記載
    のリードフレームばたつき防止機構と、 前記撮像位置において、前記リードフレームのリード形
    成領域の画像入力を行う撮像手段と、 前記撮像手段の光軸を取り囲むようリング状に配置され
    かつ前記リードフレームと前記撮像手段との間に前記光
    軸方向に多段に配置されてなる、前記リードフレームに
    光を照射する照明手段と、 前記撮像手段より取り込んだ入力画像の輝度データを解
    析し異常を検出すると検査装置の動作を一時停止するよ
    う制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とするリードフレーム検査装置。
JP15633199A 1999-06-03 1999-06-03 リードフレームばたつき防止機構及びリードフレーム検査装置 Expired - Fee Related JP4272299B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15633199A JP4272299B2 (ja) 1999-06-03 1999-06-03 リードフレームばたつき防止機構及びリードフレーム検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15633199A JP4272299B2 (ja) 1999-06-03 1999-06-03 リードフレームばたつき防止機構及びリードフレーム検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000346810A true JP2000346810A (ja) 2000-12-15
JP4272299B2 JP4272299B2 (ja) 2009-06-03

Family

ID=15625454

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15633199A Expired - Fee Related JP4272299B2 (ja) 1999-06-03 1999-06-03 リードフレームばたつき防止機構及びリードフレーム検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4272299B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012117918A (ja) * 2010-12-01 2012-06-21 Toray Eng Co Ltd シート材端部の観察評価装置及び方法
JP2014150182A (ja) * 2013-02-01 2014-08-21 Denso Corp 半導体装置の製造方法
CN105203553A (zh) * 2015-09-30 2015-12-30 江苏比微曼智能科技有限公司 缺陷检测机
JP2017219358A (ja) * 2016-06-03 2017-12-14 有限会社ヤスコーポレーション ロール状の被検査物の検査装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012117918A (ja) * 2010-12-01 2012-06-21 Toray Eng Co Ltd シート材端部の観察評価装置及び方法
JP2014150182A (ja) * 2013-02-01 2014-08-21 Denso Corp 半導体装置の製造方法
CN105203553A (zh) * 2015-09-30 2015-12-30 江苏比微曼智能科技有限公司 缺陷检测机
JP2017219358A (ja) * 2016-06-03 2017-12-14 有限会社ヤスコーポレーション ロール状の被検査物の検査装置
JP7026297B2 (ja) 2016-06-03 2022-02-28 有限会社ヤスコーポレーション ロール状の被検査物の検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP4272299B2 (ja) 2009-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI432720B (zh) 非亮燈檢查裝置
KR20140066551A (ko) 릴-투-릴 검사장치 및 릴-투-릴 검사방법
JP5403389B2 (ja) ガラス基板検査装置およびガラス基板検査方法
JP4085538B2 (ja) 検査装置
JP2007187516A (ja) 無端金属ベルトのr端面の傷検出方法および装置
KR100715160B1 (ko) 영상처리기술을 이용한 백라이트유닛의 자동 결함검사장치
JP2000162146A (ja) 表面検査装置
JP6677344B2 (ja) 帯状体の蛇行量測定方法および装置並びに帯状体の蛇行異常検出方法および装置
JP4272299B2 (ja) リードフレームばたつき防止機構及びリードフレーム検査装置
JP3741513B2 (ja) リードフレームの検査装置
JP2008134107A (ja) 欠陥ログの検出方法及び検出装置
CN111257344A (zh) 卷带式工作物的检测设备
JP4099294B2 (ja) リードフレーム検査装置
KR100533704B1 (ko) 테이프 캐리어 패키지의 외형 검사 장치 및 방법
JP3590162B2 (ja) リードフレームの検査装置
JP3886205B2 (ja) リードフレームの検査装置
JP2004219358A (ja) 鋼片の表面疵検出装置
JP2002365227A (ja) プレス品の検査装置
JPH10293018A (ja) リードフレームの検査装置
JP3847425B2 (ja) リードフレームの検査装置
JP2007139630A (ja) 表面検査装置および方法
JP4146971B2 (ja) リードフレーム検査装置
WO2022075018A1 (ja) ガラス板の製造方法
JP2006275972A (ja) 帯状体表面の検査方法
JP2009058293A (ja) シート状ワーク検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060515

A977 Report on retrieval

Effective date: 20081020

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081125

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090116

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Effective date: 20090224

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20090227

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 3

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120306

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees