JP2009058293A - シート状ワーク検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート状ワークFの光学的情報を取得するスキャナヘッド10を設置するとともに、スキャナヘッドは、検査対象たるワークの幅方向で往復走行するスキャナヘッド走行手段20と、ワークを下方に押さえながら検査スキャン方向に往復動する検査ステージ12と、検査ステージの上方に取り付けられワークに向かって光信号を照射する発光器13と、検査ステージの上方に取り付けられ発光器から照射されワークで反射した光信号を取得する受光器14と、を備えている。
【選択図】図1
Description
一方、微細化、高機能化が進むにつれ、生産工程では、従来の検査基準である200μ程度を下回る50μ程度の微細な、キズ、異物、あるいは偏光性異常を含む光学性異常を連続で高速に全平面で検査する必要が求められ始めている。
従来、一般的なシート状ワークの検査方法としては、例えば、ワークの幅分求める分解能で割り算して1次元カメラを固定的に多数台設置し、分解能を上げる方法が用いられてきた。
このような検査方法においては、分解能を向上させようとすると多数のカメラの設置を必要とし、シート状ワークの検査装置が複雑で高価となり、さらにカメラごとの個別のメンテナンスが極めて大がかりとなるため問題も多かった。
近時、高分解能化が進み厳格に欠陥検査を行うことが求められるようになり、光学的検査条件を同一にするために、1次元カメラを更に多数台設置し分解能を上げる方法で対応せざるを得ない状況ともなっている。
このため、特許文献1に記載のように、やむなくカメラ台数を減らし移動式にして分解能を下げた場合では、レンズ倍率を下げることから、カメラ内部の受光素子長より視野幅が大きくなりすぎ、その結果、視野角依存性の強いシートフイルム等では、1次元カメラの視野内中央付近と左右両側とでは視野角が大きく違ってくるため、光学的同一条件で検査できず欠陥を見落とすおそれがあった。
また、本発明の他の目的は、従来型の高速性能を維持しつつ従来以下の低価格を実現することができ、新世代高性能シート状ワーク検査装置として大幅な生産性の向上に貢献することが可能なインライン検査装置を提供することを目的とする。
(2)本発明のシート状ワーク検査装置は、走行するシート状ワークを検査する装置であって、シート状ワークの光学的情報を取得するスキャナヘッドを設置するとともに、該スキャナヘッドは、検査対象たるワークの幅方向で往復走行するスキャナヘッド走行手段と、ワークを下方に押さえながら検査スキャン方向に往復動する検査ステージと、該検査ステージの上方に取り付けられ発光器から照射されワークで反射した光信号を取得する受光器と、を備え、ワークに向かって光信号を照射する発光器が該スキャナヘッドの移動と同期するように該検査ステージの下方に取り付けられていることを特徴とする。
(3)本発明のシート状ワーク検査装置は、前記(1)又は(2)において、ワークとスキャナヘッドとの距離の変化を所定時間間隔でレーザー光線を照射するレーザー測長器をさらに備えていることを特徴とする。
(4)本発明のシート状ワーク検査装置は、前記(1)〜(3)のいずれかにおいて、前記検査ステージは、圧縮空気をフレームの下方に設けれられた空気吹出し口から排気してワークを下方に乖離させ、検査ステージの下方にあるワークを展張させるようにしたことを特徴とする。
図1〜3に示すように、実施形態1のシート状ワーク検査装置は、スキャナヘッド10と、スキャナヘッド10を検査対象たるワークの幅方向で往復走行させるスキャナヘッド走行手段20と、を有し、スキャナヘッド10は、ワークFを下方に押さえながら検査スキャン方向に往復動する検査ステージ12と、検査ステージ12の上方に取り付けられワークに向かって光信号を照射する発光器(光源)13、検査ステージ12の上方に取り付けられ発光器から照射されワークで反射した光信号を取得する受光器14と、を備える。
スキャナヘッド走行手段20は、フィルムFの上方に水平に渡された直線レール状のリニアガイド21と、リニアガイド21に取付けられスキャナヘッド10をリニアガイド21に沿って水平走行させるスキャナヘッド駆動手段(例えばモーター)22と、を有し、フィルム巻取り方向と直角方向のフィルム幅方向(検査スキャン方向)にスキャナヘッド10を往復動させて検査スキャンを可能としている。
すなわち、昇降手段19によって、スキャナヘッド10を検査対象たるフィルム面に向かって下降させると、スキャナヘッド10の下部に設けられた2本の回転ローラー122がフイルム面に当接する。さらに、スキャナヘッド10の下降を続行すると、両回転ローラー122に当接したフィルム間においてフィルムが展張しフィルムシワなどのたるみがなくなる。
このスキャナヘッド10の下降過程において、フィルム面との距離の変化をレーザー測長器18から所定時間間隔で照射されるレーザー光線によって測定することによって、フィルムFのたるみが少なくなるとともに完全に展張するまでの経時的な変化が把握できる。すなわち、フィルムFが完全展張状態に近づくにつれ、レーザー測長器18から発信されるレーザー光線を同一のレーザー測長器18で受光するまでの時間の変化率を、フィルム面との距離の変化率として把握することができる。所定の時間変化率を予め設定しておき、その変化率以下になったところで、スキャナヘッド10の下降を停止する。そして、スキャナヘッド駆動手段22を駆動させ、スキャナヘッド10をリニアガイド21に沿って検査スキャン方向に走行させて、フィルムFの表面状態の検査を開始する。
図3(a)に示すように、スキャナヘッド10を、昇降手段19を介してリニアガイド21に取り付けることができる。昇降手段19としては、スキャナヘッド駆動手段(例えばモーター)22からの駆動力を受けて、ボールネジなどを用いることにより、垂直方向に上下動させることができる。昇降手段19によってスキャナヘッド10を下降させると、スキャナヘッド10の下方にその下部を露出している回転ローラー122がフィルム面に当接し、検査ステージ121の下方に位置するフィルムFを展張させ、検査対象部分(貫通孔123の下部に位置する部分)のフィルムのシワや歪みが伸ばされ、フィルム面を精度よく検査することができようになる。
なお、発光器13としては、例えばスリット状の可視光を発光する照明装置など、受光器14としては、例えば一次元CCDカメラなどが好ましく適用される。
図4〜6に示す変容例の検査ステージは、図1〜3に示す回転ローラーに代えて空気ベアリングを用いた場合である。すなわち、図示するように空気ベアリングを用いた検査ステージ120は、矩形状のフレーム121と、フレーム121の中央部をくり抜いて形成した略長方形状の貫通孔123とを備えている。
変容例の検査ステージは、フレーム121の上部に圧縮空気導入口124が設けられ、その圧縮空気導入口124から導入された圧縮空気をフレーム121の下方に設けれられた空気吹出し口126から排気してフィルムFを下方に乖離させ、検査ステージ120の下方にあるフィルムFを展張させるようになっている。
この変容例の検査ステージ120は、圧縮空気でフィルムFを下方に押しつけて展張させるので、検査対象であるフィルム面を傷つけることなく精度よくフィルムを検査することができる。
実施形態2のワーク検査装置においては、検査対象であるフィルムFの下方に発光器13が設置され、フィルムFの検査部位及び貫通孔223を透過した透過光の光学的情報を受光する受光器14がフィルムFの上方に設置されている。
なお、実施形態2では、リニアガイドに吊設されているスキャナヘッド10の受光器14の動きに同期するように発光器13も検査スキャン方向に移動するようになっている。
フィルム検査が終了するとその位置でスキャナヘッドを上昇させ、停止させていたフィルム巻取りを再開させ、検査視野幅に当たる長さ分のフィルムを、フィルム巻取り方向に巻取りをする。そして、再びフィルム巻取りを停止させ、上記の操作を繰り返す。なお、スキャナヘッドの移動方向を逆方向にすると効率的であり、フィルム種類などによって適宜決定できる。
シート状ワークとして全幅1650mm、検査幅1500mmの透明シートフィルムを用い、反射法によるシートフィルム微細欠陥検査装置として用いた。スキャナヘッドには、8192ドット高感度高速1次元ラインCCDカメラを設置し、フィルム幅方向に全長移動できるようにリニアガイドに取り付けた。発光器である検査用光源はライン型平行光照明とし、受光器である1次元ラインカメラと角度(2α)は10度になるように設置した。
(a)電源オン後、スキャナヘッドを原点に移動させる。
(b)システムスタート指令を待つ。
(c)システムスタート後、スキャナヘッドを下降させ検査を開始する。
(d)検査スキャンをスタートさせるとともに、フィルム面を反射して1次元ラインカメラで取得した光学的情報(画像)を検査開始位置とともに制御コンピュータの記憶部に記憶させる。
(e)取得した光学的情報を、制御コンピュータに記録されたプログラムに従い、各種フィルター処理、欠陥検出処理を実施する。欠陥が発見されると欠陥位置情報を制御コンピュータの記憶部に記憶させ、同時に欠陥位置情報捺印装置に出力する。
(f)制御コンピュータは、予め入力された検査スキャン終了位置(フィルム幅方向の)に達したかどうかを判断し、終了位置に達していなければ検査スキャンの操作を繰り返す命令をスキャナヘッドにする。
(g)制御コンピュータは、フィルム幅方向の検査スキャン終了位置に達したと判断すると、スキャナヘッドをフィルム面から上昇させる。
(h)フィルムを次の検査視野幅分巻取る。
(i)制御コンピュータからのシステムストップ指令がなければ、次の検査スキャンを繰り返す。
シートフィルムの長さ、厚み、幅、光沢、透明、不透明などのシートフィルムの特性に応じて、本発明のシート状ワーク検査装置においては適宜対応できる。
10 スキャナヘッド
12,120 検査ステージ
121 フレーム
122 回転ローラー
123,223 貫通孔
124 圧縮空気導入口
126 空気吹出し口
13 発光器(光源)
14 受光器(カメラ)
18 レーザ測長器
19 昇降手段
20 スキャナヘッド走行手段
21 リニアガイド
22 スキャナヘッド駆動手段(モーター)
Claims (4)
- 走行するシート状ワークを検査する装置であって、
シート状ワークの光学的情報を取得するスキャナヘッドを設置するとともに、
該スキャナヘッドは、
検査対象たるワークの幅方向で往復走行するスキャナヘッド走行手段と、
ワークを下方に押さえながら検査スキャン方向に往復動する検査ステージと、
該検査ステージの上方に取り付けられワークに向かって光信号を照射する発光器と、
該検査ステージの上方に取り付けられ該発光器から照射されワークで反射した光信号を取得する受光器と、を備えていることを特徴とするシート状ワーク検査装置。 - 走行するシート状ワークを検査する装置であって、
シート状ワークの光学的情報を取得するスキャナヘッドを設置するとともに、
該スキャナヘッドは、
検査対象たるワークの幅方向で往復走行するスキャナヘッド走行手段と、
ワークを下方に押さえながら検査スキャン方向に往復動する検査ステージと、
該検査ステージの上方に取り付けられ発光器から照射されワークで反射した光信号を取得する受光器と、を備え、
ワークに向かって光信号を照射する発光器が該スキャナヘッドの移動と同期するように該検査ステージの下方に取り付けられていることを特徴とするシート状ワーク検査装置。 - ワークとスキャナヘッドとの距離の変化を所定時間間隔でレーザー光線を照射するレーザー測長器をさらに備えていることを特徴とする請求項1又は2のシート状ワーク検査装置。
- 前記検査ステージは、圧縮空気をフレームの下方に設けれられた空気吹出し口から排気してワークを下方に乖離させ、検査ステージの下方にあるワークを展張させるようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のシート状ワーク検査装置。
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2007
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