JP2009271002A - フイルム欠陥検査装置及びフイルム欠陥検査方法 - Google Patents
フイルム欠陥検査装置及びフイルム欠陥検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009271002A JP2009271002A JP2008123543A JP2008123543A JP2009271002A JP 2009271002 A JP2009271002 A JP 2009271002A JP 2008123543 A JP2008123543 A JP 2008123543A JP 2008123543 A JP2008123543 A JP 2008123543A JP 2009271002 A JP2009271002 A JP 2009271002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- unit
- defect
- defect inspection
- tension applying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 66
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 32
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 9
- 206010028347 Muscle twitching Diseases 0.000 abstract 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 238000011143 downstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- MZHROOGPARRVHS-UHFFFAOYSA-N triacetylene Chemical group C#CC#CC#C MZHROOGPARRVHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
欠陥を搬送中に早期に検知し、不良フイルムの流出を防ぐフイルム欠陥検査装置及びフイルム欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】
フイルム12に幅方向への張力を負荷する張力付加機構13を設け、フイルム12に生じるツレシワの有無を検知するツレシワ検出部14と、フイルムの欠陥を検知する測定部15とを設け、測定部15はツレシワ検出部14よりもフイルム12の搬送方向の下流側に位置し、ツレシワ検出部14によりツレシワが無いと検知されたフイルム12の欠陥を測定部15により検知する。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- ローラに巻きかけて搬送される連続したフイルムに幅方向への張力を付加する張力付加機構と、
前記張力付加機構により伸展した前記フイルム上方に位置し、前記フイルムに生じるツレシワの有無を検知するツレシワ検出部と、
前記張力付加機構により伸展した前記フイルム上方に位置し、前記ツレシワ検出部よりも前記フイルムの搬送方向の下流側に位置する前記フイルムの欠陥を検知する測定部と、
前記張力付加機構とツレシワ検出部と測定部とを制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするフイルム欠陥検査装置。 - 前記張力付加機構は前記フイルムの両端を把持する把持部と前記把持部を前記フイルムの幅方向へ移動させる移動手段により構成されることを特徴とする請求項1に記載のフイルム欠陥検査装置。
- 前記ツレシワ検出部はレーザー変位計またはオートコリメータにより構成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のフイルム欠陥検査装置。
- 前記測定部はレーザーフライングスポットによる反射散乱方式の測定装置またはライン状光源とラインセンサーカメラとによる反射散乱方式の測定装置により構成されることを特徴とする請求項1、2、または3のいずれか1項に記載のフイルム欠陥検査装置。
- 前記欠陥は幅が10μm以下、深さが50nm以下の大きさの傷であることを特徴とする請求項1、2、3、または4のいずれか1項に記載のフイルム欠陥検査装置。
- ローラに巻きかけて搬送される連続したフイルムに幅方向への張力を付加する張力付加機構を設け、前記張力付加機構により伸展した前記フイルム上方に前記フイルムに生じるツレシワの有無を検知するツレシワ検出部と、前記ツレシワ検出部よりも前記フイルムの搬送方向の下流側に位置し前記フイルムの欠陥を検知する測定部と、前記張力付加機構とツレシワ検出部と測定部とを制御する制御手段を設け、前記ツレシワ検出部によりツレシワが無いと検知された前記フイルムの欠陥を前記測定部により検知することを特徴とするフイルム欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008123543A JP4995142B2 (ja) | 2008-05-09 | 2008-05-09 | フイルム欠陥検査装置及びフイルム欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008123543A JP4995142B2 (ja) | 2008-05-09 | 2008-05-09 | フイルム欠陥検査装置及びフイルム欠陥検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009271002A true JP2009271002A (ja) | 2009-11-19 |
JP4995142B2 JP4995142B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=41437680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008123543A Active JP4995142B2 (ja) | 2008-05-09 | 2008-05-09 | フイルム欠陥検査装置及びフイルム欠陥検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4995142B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014182012A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査装置、検査方法、および、検査装置用のプログラム |
JP2020148634A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 富士フイルム株式会社 | フィルムの表面検査装置、およびフィルムの表面検査方法 |
CN113787663A (zh) * | 2021-08-12 | 2021-12-14 | 福建思嘉环保材料科技有限公司 | 一种tpu薄膜材料的成型及检测设备 |
CN114013720A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-02-08 | 滁州卷烟材料厂 | 一种香烟铝箔纸伸展挺括结构 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH101243A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | Nec Corp | フィルム材固定機構 |
JP2000266689A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Konica Corp | ウェブ検査方法及びウェブ検査装置 |
JP2006292670A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Konica Minolta Opto Inc | 光学フィルム検査方法および検査装置 |
JP2009058293A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Hamamatsu Metrix Kk | シート状ワーク検査装置 |
-
2008
- 2008-05-09 JP JP2008123543A patent/JP4995142B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH101243A (ja) * | 1996-06-14 | 1998-01-06 | Nec Corp | フィルム材固定機構 |
JP2000266689A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Konica Corp | ウェブ検査方法及びウェブ検査装置 |
JP2006292670A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Konica Minolta Opto Inc | 光学フィルム検査方法および検査装置 |
JP2009058293A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Hamamatsu Metrix Kk | シート状ワーク検査装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014182012A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査装置、検査方法、および、検査装置用のプログラム |
JP2020148634A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 富士フイルム株式会社 | フィルムの表面検査装置、およびフィルムの表面検査方法 |
JP7018906B2 (ja) | 2019-03-13 | 2022-02-14 | 富士フイルム株式会社 | フィルムの表面検査装置、およびフィルムの表面検査方法 |
CN113787663A (zh) * | 2021-08-12 | 2021-12-14 | 福建思嘉环保材料科技有限公司 | 一种tpu薄膜材料的成型及检测设备 |
CN114013720A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-02-08 | 滁州卷烟材料厂 | 一种香烟铝箔纸伸展挺括结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4995142B2 (ja) | 2012-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5276875B2 (ja) | フィルム欠陥検査方法及び装置 | |
JP5588223B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光フィルム用欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法 | |
JP4995142B2 (ja) | フイルム欠陥検査装置及びフイルム欠陥検査方法 | |
JP5555064B2 (ja) | フィルム用欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法 | |
KR20170015936A (ko) | 가요성 기판 상의 입장 검출 방법 | |
JP2010185763A (ja) | フィルムの平面性検査装置および平面性検査方法 | |
BR112021007064A2 (pt) | máquina bobinadeira com dispositivos para calcular o coeficiente de poisson e método relacionado | |
JP2013528819A (ja) | マイクロ複製レンズアレイを有するウェブ材料の精密制御 | |
JP4202707B2 (ja) | 周期欠陥発生箇所の特定方法および検査システム | |
KR101426603B1 (ko) | 화상 취득 장치 및 화상 취득 방법 | |
CN113906349A (zh) | 校准系统及描绘装置 | |
JP3890430B2 (ja) | 表面検査方法及び装置 | |
JP6951439B2 (ja) | 表面検査方法、表面検査装置および製品の製造方法 | |
JP7473998B2 (ja) | 露光ヘッド、キャリブレーションシステム、及び描画装置 | |
JP2012189482A (ja) | 枚葉フィルム検査装置 | |
JP2008232793A (ja) | フィルムの厚み測定方法及びフィルム厚み測定装置 | |
JP2012172983A (ja) | 枚葉フィルム検査装置 | |
TW201111773A (en) | Optical system correction method of an in-line substrate inspection device as well as in-line substrate inspection device | |
JP5935266B2 (ja) | キズ欠点検査方法およびシートの製造方法 | |
US11906446B2 (en) | Method of inspecting surface and surface inspection apparatus | |
TWI589859B (zh) | 表面檢查裝置及方法、溶液製膜方法及設備 | |
WO2022074864A1 (ja) | 切込線形成装置及び切込線形成方法 | |
JP2014211411A (ja) | 暗視野光学系欠陥検査機 | |
KR20230116688A (ko) | 웹 권회 롤의 결함 검사 장치에 사용되는 기록 매체, 결함 검사 장치, 이것을 사용한 웹 권회 롤의 결함 검사 방법, 및 웹 권회 롤의 제조 방법 | |
JP4218030B2 (ja) | シート形状測定方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120425 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120426 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120509 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150518 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4995142 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |