JP2000266689A - ウェブ検査方法及びウェブ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明はウェブ検査方法及びウェブ検査装置
に関し、同一位置で透過光と反射光を用いてウェブの欠
陥を検査することができるウェブ検査方法及びウェブ検
査装置を提供することを目的としている。 【解決手段】 所定の波長の光ビームを投光する光ビー
ム投光手段２０と、光ビームを反射することによりウェ
ブ３を幅手方向に光ビームで走査する走査手段２１と、
ウェブ３から反射した光を受光する反射光受光手段及び
／又はウェブを透過した光を受光する透過光受光手段と
を設け、ウェブ３の搬送経路上にウェブ３を搬送方向に
向かって走査光のビーム直径以上の長さで幅手方向に平
坦になる領域１２を設け、当該領域に走査投光するよう
に構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェブ検査方法及び
ウェブ検査装置に関し、更に詳しくは写真フィルム等の
感光材料や各種支持体、とりわけ透過率の高いウェブの
検査方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェブの表面乃至は内部にある異物やゴ
ミ等を検査するのに、光ビームをウェブ表面に照射し
て、その透過光又は反射光を利用して検査する検査装置
が知られている。この種の検査装置においては、光源と
してシングルモードのレーザダイオードで用いられる
が、シングルモードレーザ光を用いると、ウェブに入射
した際に発生する反射光が干渉して干渉縞が発生する。
図１１は干渉縞発生の説明図である。光ビームがウェブ
に入射すると、感光層１とベース２でそれぞれ反射し、
これら反射光とで干渉し、干渉縞が発生する。その理由
は、シングルモードの場合には、可干渉距離が長すぎる
ためである。これに対して、マルチモードの場合には、
可干渉距離が短いので、ウェブ厚みが可干渉距離より短
かければ干渉縞を抑制できる。従って、マルチモードレ
ーザ光を用いると、干渉縞のない反射光が得られるの
で、透過率の高いウェブ表面を反射方式で検査する場合
には好適である。

【０００３】図１２はマルチモードレーザ光の説明図で
ある。（ａ）がマルチモードレーザ光、（ｂ）がシング
ルモードレーザ光の周波数スペクトルを示している。横
軸は波長である。シングルモードレーザ光の場合には、
１個のピークを持ち、マルチモードレーザ光の場合に
は、１個の大きなピークの両方向に振幅の小さい複数の
ピークをもっている。

【０００４】図１３は従来の欠陥検査方法の説明図であ
る。（ａ）は透過方式の場合を、（ｂ）は反射方式の場
合をそれぞれ示す。透過方式の場合、ロール４，５によ
り支持されるウェブ３に光ビームを照射し、ウェブを透
過した透過光をフォトマル等の光電変換手段により電気
信号に変換する。変換された情報は、所定の信号処理を
施され、表示手段に表示される。

【０００５】これに対して、反射方式の場合には、
（ｂ）に示すようにウェブ３は、ロール６，７とバック
ロール８により支持されている。そして、光ビームはバ
ックロール８に巻回されたウェブに入射され、その反射
光をフォトマル等の光電変換手段により電気信号に変換
し、所定の信号処理を施した後、表示手段に表示する。

【０００６】前記した透過方式の場合には、図１４に示
すような問題点がある。例えば、感光層１の表面に表面
がえぐれた微小凹部３０があっても、検出することがで
きない。透過方式の場合には、透過光より情報を得るの
で、凹部３０は光が透過し、情報として表れないからで
ある。感光層１の表面、内部、或いはベース２の内部に
ある異物乃至はゴミ１０の情報は全て得られる。以上の
問題点は、感光層１の表面が凸部となっている場合でも
生じる。

【０００７】一方、反射方式の場合には、感光層１の表
面の情報は得ることができるが、感光層１及びベース２
の内部の異物乃至はゴミ１０の情報は得ることができな
い。そこで、これらを総合的に検査するため、透過方式
と反射方式を組み合わせて用いている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】透過方式と反射方式を
組み合わせる場合、図１３の（ａ）と（ｂ）を直列に設
置する必要がある。従って、同一位置における透過情報
と反射情報とを得ることが困難である。あえて、同一位
置における透過情報と反射情報とを得ようとすると、複
雑な信号処理を必要とする。即ち、透過方式で観察した
ウェブの位置を覚えておき、その後に検査される反射方
式で当該位置の情報を得ることができるように調整する
必要がある。更に、光ビームを別々に照射するため、２
つの光源を使用したり、或いは１光源の場合でも光ビー
ムを２つに分岐する手段が必要となる。

【０００９】また、バックロール式の装置の場合、ウェ
ブの透過率が高いとロール表面からの反射光の影響が大
きくなり、そのため複雑なロール表面処理が必要とな
る。また、ロール表面処理を行なったバックロールで
も、ウェブ透過率が高いと干渉縞の影響が出る場合があ
り検出信号が得られない。更に、ロール曲率により反射
光が広がり微小な変位を捉えにくい。また、光ビームに
シングルモードビームを用いた場合、干渉縞が発生し、
検出不可能となる。

【００１０】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであって、同一位置で透過光と反射光を用いてウェ
ブの欠陥を干渉縞の影響なしに検査することができるウ
ェブ検査方法及びウェブ検査装置を提供することを目的
としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】（１）前記した課題を解
決する第１の発明は、所定の波長の光ビームを投光する
光ビーム投光手段と、光ビームを反射することによりウ
ェブを幅手方向に光ビームで走査する走査手段と、ウェ
ブから反射した光を受光する反射光受光手段及び／又は
ウェブを透過した光を受光する透過光受光手段とを設
け、ウェブの搬送経路上にウェブを搬送方向に向かって
走査光のビーム直径以上の長さで幅手方向に平坦になる
領域を設け、当該領域に走査投光するように構成するこ
とを特徴としている。

【００１２】このように構成すれば、走査光のビーム直
径以上の長さで幅手方向に平坦領域を設け、この平坦領
域に光ビームを投光するので、正確なウェブの状態を把
握することができる。

【００１３】（２）請求項１の発明において、前記ウェ
ブのビーム投光領域のウェブの平坦度は、ウェブの幅１
０００ｍｍ当たり５０μｍ以内であることを特徴として
いる。

【００１４】このように構成すれば、ウェブの平坦度を
低く抑えることができ、正確なウェブの状態を把握する
ことができる。 （３）請求項１の発明において、前記ウェブに幅手方向
の張力をかける張力手段を具備することを特徴としてい
る。

【００１５】このように構成すれば、ウェブの幅手方向
に対して発生するツレやシワを除去でき、正確なウェブ
の状態を把握することができる。 （４）請求項１の発明において、ウェブの搬送経路上に
ガイドロールを設け、その偏心を抑制する手段を設けた
ことを特徴としている。

【００１６】このように構成すれば、ウェブ表面がたわ
まないように平坦に維持することができ、搬送ロールの
偏心を抑制するのでウェブのばたつきを抑制でき正確な
ウェブの状態を把握することができる。

【００１７】（５）請求項１の発明において、前記ウェ
ブの長手方向に引っ張る張力制御手段を設けたことを特
徴としている。このように構成すれば、長手変動による
ウェブのばたつきを抑制し、ウェブの表面を平坦に維持
することができ、ウェブの正確な観察が可能となる。

【００１８】（６）前記した課題を解決する第２の発明
は、所定の波長の光ビームを投光する光ビーム投光機能
と、光ビームを反射することによりウェブを幅手方向に
光ビームで走査する走査機能と、ウェブから反射した光
を受光する反射光受光機能及び／又はウェブを透過した
光を受光する透過光受光機能とを設け、ウェブの搬送経
路上にウェブを搬送方向に向かって走査光のビーム直径
以上の長さで幅手方向に平坦になる領域を設け、当該領
域に走査投光することを特徴としている。

【００１９】このように構成すれば、走査光のビーム直
径以上の長さで幅手方向に平坦領域を設け、この平坦領
域に光ビームを投光するので、正確なウェブの状態を把
握することができる。

【００２０】（７）請求項６の発明において、レーザダ
イオードを光源としてウェブ幅手方向にビームを走査し
てその欠陥を検査するウェブ検査方法であって、その光
源に縦マルチモードレーザを使用し、所定間隔離した一
対の中央に向かって凸状に構成されたクラウンロール間
に所定間隔離した一対のガイドロールを配置し、そのガ
イドロール間にレーザビームを照射して、反射光と透過
光を同時に受光してウェブの欠陥を検査することを特徴
としている。

【００２１】このように構成にすれば、ガイドロール間
に張られたウェブの表面が平坦にできるので、検査精度
を落とすことなく、同一位置の透過光と反射光を用いた
欠陥検査を行なうことができる。

【００２２】（８）請求項１の発明において、レーザダ
イオードを光源としてウェブ幅手方向にビームを走査し
てその欠陥を検査するウェブ検査装置であって、ウェブ
にビームを照射する縦マルチモードレーザと、所定間隔
離して配置された中央に向かって凸状に構成された一対
のクラウンロールと、該クラウンロール間に所定間隔離
して配置された一対のガイドロールと、該ガイドロール
間にレーザビームを照射して、反射光と透過光を同時に
受光してウェブの欠陥を検査する検査手段とにより構成
されることを特徴としている。

【００２３】このように構成すれば、ガイドロール間に
張られたウェブの表面がツレやシワのない平坦なものと
なるので、検査精度を落とすことなく、同一位置の透過
光と反射光を用いた欠陥検査を行なうことができる。

【００２４】（９）請求項７の発明において、ウェブの
厚さに応じてマルチモードレーザの光量を制御すること
を特徴としている。このように構成すれば、ウェブの厚
さを変えた場合にウェブの厚さに応じて縦マルチモード
レーザの光量を変化させるようにすることで、ウェブの
厚さを変えた場合に発生しやすい干渉縞の発生を抑える
ことができる。

【００２５】（１０）請求項７の発明において、前記各
ロールには、その表面にウェブが滑らないための加工が
なされていることを特徴としている。このように構成す
れば、ウェブがロール表面を滑ることによる傷の発生を
抑制することができる。

【００２６】（１１）請求項７の発明において、前記一
対のクラウンロール間の距離は、２００ｍｍ〜６００ｍ
ｍであることを特徴としている。このように構成すれ
ば、その内部に配置される一対のガイドロールと相まっ
てウェブ表面を平坦にし、正確な観察が可能となる。

【００２７】（１２）請求項７の発明において、前記一
対のガイドロール間の距離は、９０ｍｍ〜２５０ｍｍで
あることを特徴としている。このように構成すれば、ク
ラウンロールと相まってウェブ表面を平坦にし、正確な
観察が可能となる。

【００２８】（１３）請求項７の発明において、前記ク
ラウンロールの直径は５０ｍｍ〜１５０ｍｍであること
を特徴としている。このように構成すれば、ウェブのツ
レやシワを抑制しながらスムーズに搬送することができ
る。

【００２９】（１４）請求項７の発明において、前記ガ
イドロールの直径は５０ｍｍ〜１５０ｍｍであることを
特徴としている。このように構成すれば、前記クラウン
ロールと相まって、ウェブを平坦支持しながらスムーズ
に搬送することができる。

【００３０】（１５）請求項７の発明において、前記ク
ラウンロールの抱き角は１５゜〜３０゜であることを特
徴としている。このように構成すれば、ウェブの抱き角
を最適に維持し、ウェブのツレやシワを発生することな
くスムーズな搬送を行なうことができる。

【００３１】（１６）請求項７の発明において、前記ガ
イドロールの抱き角は１５゜〜２５゜であることを特徴
としている。このように構成すれば、ウェブの抱き角を
最適に維持し、ウェブがたわむことなくスムーズな搬送
を行なうことができる。

【００３２】（１７）請求項７の発明において、前記ク
ラウンロールの中央と端部での半径の差は、０．５ｍｍ
〜１．５ｍｍであることを特徴としている。このように
構成すれば、幅手にウェブを引っ張りながらツレやシワ
を抑制し、安定して搬送支持できる。

【００３３】

【発明の実施の形態】図１は本発明の原理構成図であ
る。図１３と同一のものは、同一の符号を付して示す。
図において、２０は所定の波長の光ビームを投光する光
ビーム投光手段である。該光ビーム投光手段２０として
は、例えばレーザダイオードが用いられる。２１は光ビ
ーム投光手段２０から投光された光ビームを反射するこ
とによりウェブ３を幅手方向に光ビームで走査する走査
手段である。該走査手段２１としては、例えば回転多面
鏡や、ガルバノミラー等が用いられる。

【００３４】走査手段２１は、図の矢印方向を副走査方
向、幅手方向を主走査方向として、ウェブ表面に光ビー
ムを照射する。図において、１１が光ビームの直径であ
る。ここで、１２は光ビーム１１の直径よりも幅手方向
の長さｗが長い、幅手方向に設けられた平坦領域であ
る。光ビームがウェブ３表面に照射されると、反射光と
透過光が生じる。それぞれの光を反射光受光手段（図示
せず）及び／又は透過光受光手段（図示せず）により受
光し、所定の処理を行ない、表示手段（図示せず）に表
示することで、平坦領域１２の欠陥状態を認識すること
ができる。この場合、反射光と透過光の情報は、何れか
一方を用いてもよいし、別々に観察してもよいし、両者
を合成して観察するようにしてもよい。

【００３５】このように、走査光のビームの直径以上の
長さで幅手方向に平坦領域を設け、この平坦領域に光ビ
ームを投光するので、正確なウェブの状態を把握するこ
とができる。

【００３６】この場合において、前記ウェブ３の光ビー
ム投光領域の平坦度は、ウェブの幅１０００ｍｍ当たり
５０μｍ以内であることが好ましい。この結果、ウェブ
の変位の影響を受けることなく正確なウェブの状態を把
握することができる。

【００３７】また、ウェブの幅手方向に適当な張力をか
ける張力手段を設けることが好ましい。この結果、ウェ
ブ３の幅手方向に対してウェブ表面のうねり（ツレやシ
ワ）をなくすことができ、正確なウェブ３の状態を把握
することができる。

【００３８】更に、ウェブの搬送経路上ガイドロール
（搬送ロール）を設けその偏心を抑制する手段を設ける
ことが好ましい。抑制手段としては、例えば搬送ロール
を両端から支える支持部の機械的精度を向上させて、両
端の軸精度を維持することが考えられる。この結果、搬
送ロールの偏心を抑制するので、ウェブ３のばたつきを
抑制維持することができ、正確なウェブの状態を把握す
ることができる。

【００３９】以下、図面を参照して本発明の実施の形態
例を詳細に説明する。図２は本発明の一実施の形態例を
示す構成図である。図１２と同一のものは、同一の符号
を付して示す。図において、１１，１２は所定間隔離し
て配置された中央に向かって凸状に構成された一対のク
ラウンロール、１３，１４は該クラウンロール１１，１
２間に所定間隔離して配置された一対のガイドロール
（搬送ロール）である。１５，１６はそれぞれクラウン
ロール１１，１６の外部に設けられた搬送系ロールであ
る。

【００４０】ここで、クラウンロール間の距離Ｌ１は例
えば２００ｍｍ〜６００ｍｍ程度に設定され、ガイドロ
ール間の距離Ｌ２は、例えば９０ｍｍ〜２５０ｍｍ程度
に設定される。このように設定することで、その内部に
配置される一対のガイドロール１３，１４と相まってウ
ェブ表面を平坦にし、正確な観察が可能となる。

【００４１】図のθ１はクラウンロール１１の抱き角
（ウェブ３がロール周面に巻き付く角度）、θ２はクラ
ウンロール１２の抱き角である。θ３はガイドロール１
３の抱き角、θ４はガイドロール１４の抱き角である。

【００４２】クラウンロール１１，１２の抱き角は１５
゜〜３０゜が好ましい。これにより、ウェブ３の抱き角
を最適に維持し、スムーズな搬送を行なうことができ
る。また、ガイドロール１３，１４の抱き角は１５゜〜
２５゜であることが好ましい。これにより、ウェブ３の
抱き角を最適に維持し、スムーズな搬送を行なうことが
できる。

【００４３】図３はクラウンロールの形状例を示す図で
ある。図に示すように中央に向かって凸状になってお
り、ある曲率を持っている。ウェブ３はこの湾曲された
表面に沿って曲げられる。ここで、両端を結ぶ直線と凸
部の最大部分までの距離（中央と端部での半径の差）ｚ
とすると、その値は例えば０．５〜１．５ｍｍ程度が好
ましい。この結果、ガイドロール１３，１４がウェブ３
を引っ張るに際し、ウェブ表面を平坦にすることができ
る。

【００４４】また、クラウンロール１１，１２の直径は
５０ｍｍ〜１５０ｍｍ程度が好ましい。この結果、ウェ
ブ３をスムーズに搬送することができる。更に、ガイド
ロール１３，１４の直径は５０ｍｍ〜１５０ｍｍ程度で
あることが好ましい。この結果、前記クラウンロール１
１，１２と相まってウェブ３をスムーズに搬送すること
ができる。

【００４５】また、前記各ロール１１〜１４には、その
表面にウェブが滑らないための加工（例えば溝）が施さ
れることが好ましい。この結果、ウェブ３がロール表面
を滑らないようにすることができ、ウェブ３がロール表
面を滑ることによる傷の発生を抑制することができる。

【００４６】また、本発明においては、ウェブ３の長手
方向に引っ張る張力を制御する張力制御手段を設けるこ
とが好ましい。この張力手段は、クラウンロールの外部
に設けたウェブの張力を制御する手段（例えばウェブを
上下に挟む一対のロール。クラウンロールの下流側に設
けた張力検知手段の出力を受けて、下流側に設けた前記
一対のロールの張力が一定になるようにフィードバック
制御する）を設けることにより実現することができる。
このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の
通りである。

【００４７】クラウンロール１１，１２で湾曲されたウ
ェブ３は、続くガイドロール１３，１４で引っ張られる
ことにより、ガイドロール１３，１４間のウェブ表面は
ツレやしわのない平坦な面となる。即ち、ガイドロール
１３，１４間の幅手方向の特定の平坦な位置にマルチモ
ードのレーザ光が照射されることになる。レーザ光が照
射される面は平坦になっているので、ゆがみの影響をな
くしたレーザ光の透過と反射が行なわれる（詳細後
述）。

【００４８】ここで、ウェブ３を透過した透過光とウェ
ブ３から反射した反射光はそれぞれの位置に設けられた
フォトマル（図示せず）で光電変換され、信号処理部
（図示せず）で所定の信号処理を受けた後、表示手段
（図示せず）に表示される。透過光から得られた情報と
反射光から得られた情報とは、信号処理部で合成されて
もよく、またそれぞれ別々に表示してもよい。何れにし
ても、ガイドロール１４から特定距離だけ離れた同一地
点の透過光による情報と反射光による情報とが同時に得
られるので、従来装置に比較して装置が小型可される。
しかも、本発明によれば、ガイドロール１３，１４によ
り平坦にされたウェブ面にレーザ光が照射されるので、
精度の高い検査を行なうことができる。

【００４９】ここで、レーザ光としては、例えばレーザ
ダイオード等の縦マルチモードビームを出射することが
できるレーザが用いられるが、波長６００〜９００ｍｍ
程度の範囲で選定すればよい。

【００５０】なお、図２に示す各ロールの径は必要に応
じて決めることができる。例えば、クラウンロール１１
が７６φ、ガイドロール１３が７５φ、ガイドロール１
４が７５φ、クラウンロール１２が６０φである。図２
の実施の形態例では、クラウンロール１１，１２の径を
異ならせているが、これらの径は同一でもよい。また、
各ロール径は上記値に制限されることなく、必要に応じ
て任意の値を用いることができる。

【００５１】また、ウェブ３の長手方向に引っ張る張力
制御手段を設けると、ウェブの表面を平坦に維持するこ
とができ、ウェブの正確な観察が可能になる。図４はウ
ェブへのレーザビームの入射状態を示す図である。図
１，図２と同一のものは、同一の符号を付して示す。光
ビーム投光手段２０としてのレーザダイオード（ＬＤ）
２０から出射された光ビームは、走査手段としての回転
多面鏡２１に入射する。該回転多面鏡１１は、一定の速
度で回転しているため、ウェブ３を主走査方向（幅手方
向）に走査することになる。なお、レーザビームを偏向
する手段としては、回転多面鏡に限るものではなく、他
の種類の偏向手段、例えばガルバノミラー等を用いるこ
ともできる。

【００５２】ウェブ表面に入射した光ビームは、その一
部が透過し、残りが反射する。透過した光は、フォトマ
ル２３により受光されて電気信号に変換される。一方、
反射した光はフォトマル２２により受光されて電気信号
に変換される。なお、光電変換素子としては、フォトマ
ルに限るものではなく、例えばＣＣＤ等の他の種類の光
電変換素子を用いることができる。

【００５３】それぞれのフォトマル２２，２３の出力は
信号処理部（図示せず）により、信号処理がなされた
後、表示手段（図示せず）により表示される。この表示
される画像は、ウェブの同一位置の欠陥情報となり、表
示手段に別々に或いは合成されて表示される。観察者
は、表示手段により表示されたウェブの表面或いは内部
の光学情報を読み取ってウェブの欠陥検査を行なうこと
になる。

【００５４】ここで、ウェブ３へ入射した光が透過光と
反射光に分かれる原理について説明する。レーザ光には
ｓ偏光とｐ偏光とがある。ここで偏光とは、電場の振動
方向のことである。図５は偏光の説明図である。ｓ偏光
はウェブ３の幅手方向に向いており、ｐ偏光はウェブ３
の長手方向に向いている。そして、ｓ偏光とｐ偏光とは
必ず直交する。

【００５５】図６はｓ偏光とｐ偏光の反射率特性を示す
図である。縦軸は反射率、横軸は入射角（最大９０゜）
である。ｐ偏光の場合には、入射角が５５゜付近で反射
率がほぼ０になり、全ての入射光が透過する。その後、
入射角が大きくなるにつれて反射率が高くなっていく。
一方、ｓ偏光は、入射角が大きくなるにつれて、反射率
が高くなっていく。図７は入射角の説明図である。図の
θが入射角であり、ウェブの入射点に垂直に立てられた
垂線と入射光間の角度をいう。

【００５６】本発明では、図５に示す偏光状態を用い
た。そして、入射角が６５゜近辺を用いている。入射角
が６５゜近辺では、反射率もそれなりの値となるが、全
てが反射される訳ではないので、入射した残りの光は透
過することになる。このようにして、入射光を透過光と
反射光に分離している。本発明によれば、同一位置で透
過光と反射光とを得ることができるので、従来のように
透過方式と反射方式を別々に設ける必要がなくなる。そ
して、受光した信号の信号処理も簡単になる。

【００５７】次に、ウェブの厚さが変更された場合の動
作について説明する。例えば、ウェブの厚さがそれまで
よりも薄くなった場合、ウェブのベース部分の厚さに対
して可干渉距離が相対的に長くなる。この結果、干渉縞
が発生するおそれがある。そこで、本発明では、ウェブ
の厚さが薄くなった場合には、マルチモードレーザの光
量を少なくする。この結果、図１１の（ａ）に示すマル
チモードレーザ光のスペクトルが変化し、可干渉距離が
短くなる。これにより、ウェブの厚さよりも可干渉距離
が短くなり、干渉縞の発生を抑えることができるように
なる。このように、本発明によれば、ウェブの厚さを変
えた場合にウェブの厚さに応じてマルチモードレーザの
光量を変化させるようにすることで、ウェブの厚さを変
えた場合に発生しやすい干渉縞の発生を抑えることがで
きる。

【００５８】図８は本発明の他の実施の形態例を示す構
成図である。図２と同一のものは、同一の符号を付して
示す。この実施の形態例では、図２に示す実施の形態例
に比較して、ウェブ３のロールへのかけ方が異なってい
る。即ち、ガイドロール１３，１４に対してクラウンロ
ール１１，１２がウェブ３を挟む構成となっている。し
かしながら、その効果は図２に示すものと同様である。
クラウンロール１１，１２で湾曲状に変形されたウェブ
をガイドロール１３，１４で引っ張ることにより、ウェ
ブ３の表面を平坦にすることができ、ツレやしわ、ゆが
みのない状態に設定することができる。

【００５９】

【実施例】図９，図１０はベース変位の実験結果を示す
図である。実験に用いた各ロール配置としては、図２に
示すものを用いた。Ｌ１＝２７０ｍｍ、Ｌ２＝９３は、
光学系配置を考えた時、Ｌ２を狭くできる限界である。
ロール径５０φ、入射角５５゜で想定している。それぞ
れベース状態測定位置Ｘ（図１参照）を変えて、幅手方
向の変位を求めた。（ａ）〜（ｃ）のロールに近い位置
の場合、ロールからの位置によりベース状態が変化して
いる。

【００６０】（ｂ）〜（ｅ）のロールより８〜２５ｍｍ
程度の位置では、ベース状態は安定している。幅手方向
で４０μｍ以内の変位である。但しエッジ部は変位が大
きくなっている。（ｆ）はＸ＝４６．５ｍｍでＬ２の中
央部での変位を示している。この場合には、ロールから
遠くなり、大きな曲率を持つような状態となる。

【００６１】（ｇ）の場合には、Ｌ１とＬ２をそれぞれ
変化させた場合（Ｌ１＝２７７、Ｌ２＝２００）の特性
である。Ｌ２は光学系配置を考えた時の余裕のもてる距
離で想定している。この場合には、スパンを２００ｍｍ
まで広げてもベース状態は良好である。

【００６２】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、以下の効果が得られる。 （１）第１の発明によれば、ウェブの搬送経路上にウェ
ブを搬送方向に向かって走査光のビーム直径以上の長さ
で幅手方向に平坦になる領域を設け、当該領域に走査投
光するように構成することにより、正確なウェブの状態
を把握することができる。

【００６３】（２）請求項１の発明によれば、前記ウェ
ブのビーム投光領域のウェブの平坦度は、ウェブの幅１
０００ｍｍ当たり５０μｍ以内であることにより、ウェ
ブの平坦度を低く抑えることができ、正確なウェブの状
態を把握することができる。

【００６４】（３）請求項１の発明によれば、前記ウェ
ブに幅手方向の張力をかける張力手段を具備することに
より、ウェブの幅手方向に対して発生するツレやシワを
除去でき、正確なウェブの状態を把握することができ
る。

【００６５】（４）請求項１の発明によれば、ガイドロ
ールの偏心を抑制する手段を設けたことにより、ウェブ
のばたつきを抑制でき、ウェブ表面がたわまないように
平坦に維持することができ、搬送ロールの偏心を抑制す
るので正確なウェブの状態を把握することができる。

【００６６】（５）請求項１の発明によれば、前記ウェ
ブの長手方向に引っ張る張力制御手段を設けたことによ
り、長手変動によるウェブのばたつきを抑制し、ウェブ
の表面を平坦に維持することができ、ウェブの正確な観
察が可能となる。

【００６７】（６）第２の発明によれば、ウェブの搬送
経路上にウェブを搬送方向に向かって走査光のビーム直
径以上の長さで幅手方向に平坦になる領域を設け、当該
領域に走査投光するように構成することにより、正確な
ウェブの状態を把握することができる。

【００６８】（７）請求項５の発明によれば、一対のク
ラウンロール間に一対のガイドロールを設け、クラウン
ロールにより湾曲されたウェブをガイドロールにより引
っ張るので、ビーム照射面を平坦にすることができ、検
査精度を落とすことなく、同一位置の透過光と反射光を
用いた同一位置における欠陥検査を行なうことができ
る。

【００６９】（８）請求項１の発明によれば、一対のク
ラウンロール間に一対のガイドレールを設け、クラウン
ロールにより湾曲されたウェブをガイドロールにより引
っ張るので、ビーム照射面を平坦にすることができ、検
査精度を落とすことなく、同一位置の透過光と反射光を
用いた同一位置における欠陥検査を行なうことができ
る。

【００７０】（９）請求項７の発明によれば、ウェブの
厚さに応じてマルチモードレーザの光量を制御すること
により、ウェブの厚さを変えた場合にウェブの厚さに応
じてマルチモードレーザの光量を変化させるようにする
ことで、ウェブの厚さを変えた場合に発生しやすい干渉
縞の発生を抑えることができる。

【００７１】（１０）請求項７の発明によれば、前記各
ロールの表面にウェブが滑らないための加工がなされて
いることにより、ウェブがロール表面を滑ることによる
傷の発生を抑制することができる。

【００７２】（１１）請求項７の発明によれば、前記一
対のクラウンロール間の距離は、２００ｍｍ〜６００ｍ
ｍであることにより、その内部に配置される一対のガイ
ドロールと相まってウェブ表面を平坦にし、正確な観察
が可能となる。

【００７３】（１２）請求項７の発明によれば、前記一
対のガイドロール間の距離は、９０ｍｍ〜２５０ｍｍで
あることにより、クラウンロールと相まってウェブ表面
を平坦にし、正確な観察が可能となる。

【００７４】（１３）請求項７の発明によれば、前記ク
ラウンロールの直径は５０ｍｍ〜１５０ｍｍであること
により、ウェブのツレやシワを抑制しながらスムーズに
搬送することができる。

【００７５】（１４）請求項７の発明によれば、前記ガ
イドロールの直径は５０ｍｍ〜１５０ｍｍ程度であるこ
とにより、前記クラウンロールと相まって、ウェブを平
坦維持しながらスムーズに搬送することができる。

【００７６】（１５）請求項７の発明によれば、前記ク
ラウンロールの抱き角は１５゜〜３０゜であることによ
り、ウェブの抱き角を最適に維持し、ウェブのツレやシ
ワを発生することなくスムーズな搬送を行なうことがで
きる。

【００７７】（１６）請求項７の発明によれば、前記ガ
イドロールの抱き角は１５゜〜２５゜であることによ
り、ウェブの抱き角を最適に維持し、ウェブがたわむこ
となくスムーズな搬送を行なうことができる。

【００７８】（１７）請求項７の発明によれば、前記ク
ラウンロールの中央と端部の半径の差は、０．５ｍｍ〜
１．５ｍｍであることにより、幅手にウェブを引っ張り
ながらツレやシワを抑制し、安定して搬送支持できる。

【００７９】このように、本発明によれば、同一位置で
透過光と反射光を用いてウェブの欠陥を干渉縞の影響な
しに検査することができるウェブ検査方法及びウェブ検
査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理構成図である。

【図２】本発明の一実施の形態例を示す構成図である。

【図３】クラウンロールの形状例を示す図である。

【図４】ウェブへのレーザビーム入射状態を示す図であ
る。

【図５】偏光の説明図である。

【図６】ｓ偏光とｐ偏光の反射率特性を示す図である。

【図７】入射角の説明図である。

【図８】本発明の他の実施の形態例を示す構成図であ
る。

【図９】ベース変位の実験結果を示す図である。

【図１０】ベース変位の実験結果を示す図である。

【図１１】干渉縞発生の説明図である。

【図１２】マルチモードレーザ光の説明図である。

【図１３】従来の欠陥検査方法の説明図である。

【図１４】透過方式の問題点の説明図である。

【符号の説明】

３ ウェブ １１ 光ビーム １２ 平坦領域 ２０ 光ビーム投光手段 ２１ 走査手段

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA49 BB13 BB15 BB23 CC02 DD04 FF44 FF46 FF49 GG06 HH04 HH12 HH14 HH15 JJ01 JJ05 JJ08 JJ17 LL01 LL13 LL15 LL62 MM16 NN01 NN20 PP16 SS01 SS11 2G051 AA41 AB01 AB02 BA06 BA10 BA11 BC06 CA02 CA03 CB01 CB02 DA01 DA06 EA23

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の波長の光ビームを投光する光ビー
   ム投光手段と、 光ビームを反射することによりウェブを幅手方向に光ビ
   ームで走査する走査手段と、 ウェブから反射した光を受光する反射光受光手段及び／
   又はウェブを透過した光を受光する透過光受光手段とを
   設け、 ウェブの搬送経路上にウェブを搬送方向に向かって走査
   光のビーム直径以上の長さで幅手方向に平坦になる領域
   を設け、当該領域に走査投光するように構成することを
   特徴とするウェブ検査装置。
2. 【請求項２】 前記ウェブのビーム投光領域のウェブの
   平坦度は、ウェブの幅１０００ｍｍ当たり５０μｍ以内
   であることを特徴とする請求項１記載のウェブ検査装
   置。
3. 【請求項３】 前記ウェブに幅手方向の張力をかける張
   力手段を具備することを特徴とする請求項１記載のウェ
   ブ検査装置。
4. 【請求項４】 ウェブの搬送経路上にガイドロールを設
   け、その偏心を抑制する手段を設けたことを特徴とする
   請求項１記載のウェブ検査装置。
5. 【請求項５】 前記ウェブの長手方向に引っ張る張力制
   御手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のウェブ
   検査装置。
6. 【請求項６】 所定の波長の光ビームを投光する光ビー
   ム投光機能と、 光ビームを反射することによりウェブを幅手方向に光ビ
   ームで走査する走査機能と、 ウェブから反射した光を受光する反射光受光機能及び／
   又はウェブを透過した光を受光する透過光受光機能とを
   設け、 ウェブの搬送経路上にウェブを搬送方向に向かって走査
   光のビーム直径以上の長さで幅手方向に平坦になる領域
   を設け、当該領域に走査投光することを特徴とするウェ
   ブ検査方法。
7. 【請求項７】 レーザを光源としてウェブ幅手方向にビ
   ームを走査してその欠陥を検査するウェブ検査方法にお
   いて、 その光源に縦マルチモードレーザを使用し、 所定間隔離した一対の中央に向かって凸状に構成された
   クラウンロール間に所定間隔離した一対のガイドロール
   を配置し、 そのガイドロール間にレーザビームを照射して、反射光
   と透過光を同時に受光してウェブの欠陥を検査すること
   を特徴とする請求項６記載のウェブ検査方法。
8. 【請求項８】 レーザを光源としてウェブ幅手方向にビ
   ームを走査してその欠陥を検査するウェブ検査装置にお
   いて、 ウェブにビームを照射する縦マルチモードレーザと、 所定間隔離して配置された中央に向かって凸状に構成さ
   れた一対のクラウンロールと、 該クラウンロール間に所定間隔離して配置された一対の
   ガイドロールと、 該ガイドロール間にレーザビームを照射して、反射光と
   透過光を同時に受光してウェブの欠陥を検査する検査手
   段とにより構成されることを特徴とする請求項１記載の
   ウェブ検査装置。
9. 【請求項９】 ウェブの厚さに応じて縦マルチモードレ
   ーザの光量を制御することを特徴とする請求項７記載の
   ウェブ検査方法。
10. 【請求項１０】 前記各ロールには、その表面にウェブ
    が滑らないための加工がなされていることを特徴とする
    請求項７記載のウェブ検査方法。
11. 【請求項１１】 前記一対のクラウンロール間の距離
    は、２００ｍｍ〜６００ｍｍであることを特徴とする請
    求項７記載のウェブ検査方法。
12. 【請求項１２】 前記一対のガイドロール間の距離は、
    ９０ｍｍ〜２５０ｍｍであることを特徴とする請求項７
    記載のウェブ検査方法。
13. 【請求項１３】 前記クラウンロールの直径は５０ｍｍ
    〜１５０ｍｍであることを特徴とする請求項７記載のウ
    ェブ検査方法。
14. 【請求項１４】 前記ガイドロールの直径は５０ｍｍ〜
    １５０ｍｍであることを特徴とする請求項７記載のウェ
    ブ検査方法。
15. 【請求項１５】 前記クラウンロールの抱き角は１５゜
    〜３０゜であることを特徴とする請求項７記載のウェブ
    検査方法。
16. 【請求項１６】 前記ガイドロールの抱き角は１５゜〜
    ２５゜であることを特徴とする請求項７記載のウェブ検
    査方法。
17. 【請求項１７】 前記クラウンロールの中央と端部での
    半径の差は、０．５ｍｍ〜１．５ｍｍであることを特徴
    とする請求項７記載のウェブ検査方法。