JP3847425B2 - リードフレームの検査装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は打ち抜き加工後のリードフレームの打痕や傷、変色等の表面状態を検出することが可能なリードフレームの検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、リードフレームを打ち抜きリードフレームを形成するプレス工程において、例えば短冊状リードフレームであれば、プレスより搬送されたところで、大きな打痕やバリ等は作業者が肉眼で確認していた。また、搬送されるリードフレームをプレス後に任意に抜き取り、顕微鏡で検査及び測定を行っていた。
また、リールに巻き取られたリードフレームにおいては、途中で抜き取り検査を行うことができないので、作業者の肉眼に頼るしかなく、精密検査はリールの最後で打痕等の有無を検査するしかなかった。
【0003】
上記リードフレームの検査効率や検査精度を向上させるため、本件出願人は特開平9−113466号に示すリードフレームの検査装置を提案した。この検査装置は、プレス後に搬送されるリードフレームに半導体素子を搭載するIC1チップを搭載するリード形成領域を細分化した単位リード形成領域(区画)毎にリング照明より光照射して、反射光をCCDカメラにより画像入力を行い、入力画像を解析指示データに基づき輝度を解析し、予めティーチングにより記憶部に記憶させた比較値と上記解析値との比較を行ってリードフレームの異常を検出するものである。
【0004】
上記検査装置を用いてリードフレームの検査を行うためには、予め正常なリードフレームを用いて画像解析に必要なパラメータの設定や、比較値として用いる輝度データの設定などのティーチングを行う必要がある。上記正常なリードフレームを所定量ずつ搬送したところで所定単位リード形成領域にリング照明により光照射してCCDカメラにより画像入力を行う。このとき上記CCDカメラより撮像された入力画像の明度レベルがほぼ同一となる区画毎に輝度の解析を行い、得られた輝度データを記憶する。
【0005】
実際の検査を行う場合には、リング照明よりリードフレームにティーチング時とほぼ同一の明度が得られる照度で光照射してCCDカメラにより画像入力を行う。そして、ティーチングされている区画毎に輝度の解析を実行し、得られた輝度データの解析値とティーチング時の比較値とを比較する。このときの比較値は上記ティーチングにより記憶された比較値に許容値が加算された値(比較値=記憶値+許容値)を用いる。上記許容値は、リードフレームの母材の面粗度等により同じ単位リード形成領域でも区画毎に輝度が異なる場合があり、作業者が許容値の範囲を設定する。上記解析値が比較値より大きくなった場合にエラーとして、リードフレームの搬送を停止させて、検査を行っていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ティーチング時に使用するリードフレームと実際に検査する個々のリードフレームとは、母材の圧延状況などの要因により各区画毎の明度のレベルが異なる。このため、画像解析値は正常なリードフレームでもロットが異なれば、或いは同一ロット内においても異なる場合がある。また、加工条件が異なれば、同じ照度でフレームに光照射しても見え方が変化する場合もある。
このような状況下で、ティーチングにより記憶させた比較値に対して、全フレームの解析値の変化量を予測して許容値の範囲を定めることは、非常に困難である。また、全フレームの解析値のばらつきを考慮して許容値を設定すれば、許容値が必要以上に大きな値となって、検査精度が低下する。
また、上記ティーチングにより許容値を決定するためには、各リール毎に記憶データが作成されるため、正常なリードフレームを数十リール分、例えば30リール程度流して決定する必要があった。この場合、リードフレームを1リール流すのに2時間程度かかり、ティーチングに最低でも60時間程度要し、検査作業効率が低かった。
【0007】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、ティーチングに要する時間を省略すると共に許容値を適正な範囲で設定でき、帯状に連続するリードフレーム表面状態の異常を高速かつ高精度で検査なリードフレームの検査装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、帯状に連続するリードフレームを搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送される際に前記リードフレームのリード形成領域の画像入力を行う撮像手段と、前記撮像手段の光軸を取り囲むようリング状に配置されかつ前記リードフレームと前記撮像手段との間に前記光軸方向に多段に配置されてなる、前記リードフレームに光を照射する照明手段と、前記撮像手段より取り込んだX番目からX+n番目(X≧1,n≧1;X,nは自然数)までの入力画像の輝度を解析し、得られたn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第1の比較値として記憶させ、X+(n+1)番目の入力画像の解析値と前記第1の比較値との比較を行い、次にX+1番目からX+(n+1)番目までのn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として更新して記憶させ、X+(n+2)番目の入力画像の解析値と前記第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、前記リードフレームの異常を検出してエラーを出力表示する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
また、前記各比較値として、n画像分の解析値のうち最大値若しくは最小値に許容値を加えた値を用いも良い。
また、前記制御手段は、前記撮像手段より取り込んだX番目からX+n番目の入力画像を画像処理の1単位となる複数の区画に分割して各々輝度を解析し、各区画毎にn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に各々許容値を加えて第1の比較値として各々記憶させ、X+(n+1)番目の入力画像の区画毎の解析値と前記各区画毎の第1の比較値とを比較を行い、次にX+1番目からX+(n+1)番目までの各区画毎のn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として各々更新して記憶させ、X+(n+2)番目の入力画像の区画毎の解析値と前記各区画毎の第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、リードフレームの異常を検出してエラーを出力表示するようにしても良い。
【0009】
上記構成によれば、制御手段は、例えば撮像手段より取り込んだ第1番目から第10番目までの入力画像の輝度を解析し、得られた10画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第1の比較値として記憶させ、第11番目の入力画像の解析値と前記第1の比較値とを比較を行い、次に第2番目から第11番目までの10画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として更新して記憶させ、第12番目の入力画像の解析値と前記第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、前記リードフレームの異常を検出するので、予め許容値を決定するためのティーチングに時間を要せず、しかも各リードフレームにより適合した許容値を設定して、検査精度を高めることが可能である。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るリードフレームの検査装置の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1はリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図、図2はリードフレームの検査装置の構成を示すブロック説明図、図3はリードフレームの検査装置の断面説明図、図4はリング状の照明手段の構成を示す説明図、図5はCCDカメラからの入力された画像の明暗部の解析範囲を示すグラフ図、図6は入力データのピークカット検出を示す説明図、図7は解析データの許容値を示すグラフ図、図8は図7の区画N部分の暗部輝度データの拡大図、図9はリードフレームの輪郭にマスクを施した状態を示す比較説明図、図10はリードフレームの画像解析領域の区画を示す説明図、図11は検査装置による検査動作の流れを示すフローチャート、図12及び図13はリング照明による画像入力状態を示す説明図、図14は従来例と本実施例の検査結果を示すグラフ図である。
【0011】
先ず図1を参照してリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成について説明する。
1,2は帯状に連続するリードフレーム3を繰り出し,巻き取り用のリールである。本実施例では図面左側の繰り出し用リール1よりリードフレーム1を繰り出し、図面右側に配置された巻き取り用リール2に巻き取るように構成されている。
【0012】
4はレベラーであり、繰り出し用リール1より繰り出されたリードフレーム3を一定の高さを保って搬送するものである。5は上型5a,下型5bを装備してプレスによりリードを形成するプレス装置である。
6はリードフレームの検査装置であり、プレス装置5により打ち抜かれたリードフレーム3の表面状態に打痕,傷,変色等の異常がないかどうかを検査するものである。上記検査装置6には、搬送手段としての搬送ローラ6a,照明手段の一部を構成する複数のリング状照明6b,撮像手段としてのCCD(電荷結合素子)カメラ6c,リング状照明6bやCCDカメラ6cが一体に搭載された可動テーブル6d等を装備している。
7は層間紙であり、巻き取り用リール2に巻き取られるリードフレーム3間に介在させて巻き取らせ、リードフレーム相互間の摺擦より保護をしている。
なお、本実施例では、検査装置6はプレス装置5の後に配置されているが、リードフレーム1の洗浄装置の後やその他の処理後に配置することも可能である。
【0013】
次に図2を参照してリードフレームの検査装置6の全体構成についてブロック図を参照して説明する。8は制御手段であり、制御プログラムにしたがって装置全体の動作を制御するCPU8a、外部より入力されたデータの一時保存を行ったり、CPU8aのワーキングエリアとして使用されるRAMやCPU8aの制御プログラムを記憶したROM等を備えた記憶部8b、データの入出力を行う入出力部(I/O部)8c、照明手段の一部を構成する光源装置9の照度を制御する照度コントローラ8d、CCDカメラ6cにより撮影した画像にマスク処理を施す画像処理ボード8e等を装備している。上記画像処理ボード8eには、CCDカメラ6cより後述するモニター表示用の画像が入力される。
【0014】
また10は駆動手段としてのコントローラであり、リードフレーム3を搬送する搬送ローラ6aを駆動させる駆動モータ(図示せず)や可動テーブル6dを走査させる駆動モータ(図示せず)を作動/停止させるドライバー回路を有する。また、上記CPU8aには、I/O部8cを介してリードフレーム3の搬送量を検出するためのフレーム搬送センサ11からの検出信号が入力し、プレス装置5を作動/停止させる制御信号が出力される。
【0015】
上記制御手段8のCPU8aは、照度コントローラ8dにより光源装置9の照度を制御してリング状照明6bによりリードフレーム3の所定リード形成領域内をほぼ同一明度となるように光照射する。本実施例ではIC1ピース分をほぼ同一明度となる領域として一括してCCDカメラ6cにより撮影して画像処理ボード8eを介して輝度データとして取り込み、さらに画像処理の一単位となる単位リード形成領域(区画とも言う)に細分化し、この各区画の輝度データを集計して平均値を算出し、これに各区画毎に許容値を加えて比較の基準となる比較値として記憶部8bに記憶させる(ティーチィング)。この動作は、IC1ピースの全区画について行われ、比較値を各々記憶部8bに記憶させる。なお、リング状照明6bの構成によっては、リードフレーム3の各区画毎にほぼ同一明度となるように照明することも可能であり、この場合には照度コントローラ8dによる光源装置9の照度の制御は区画単位で行うようにしても良い。
【0016】
また、リードフレーム3を搬送しながら画像を取り込む際に必要に応じて画像処理ボード8eによりマスク処理を施して輝度データを取り込み、取り込んだデータを区画単位に解析し、得られた解析値と記憶部8bに記憶させた比較値と比較する。上記CPU8aは入出力部8cを介してコントローラ10により搬送ローラ6aの駆動を制御して搬送動作を停止させたり、可動テーブル6dをリードフレーム3の区分された所定の領域ごとに走査させ、当該領域全体の画像を取り込むことも可能である。
尚、制御手段8は、停止モードと無停止モードの2種類の制御モードを有しており、停止モードの場合には、リードフレーム3を所定量搬送したところで周期的に停止させて画像を取り込み、無停止モードの場合にはリードフレーム3を搬送しながら周期的に瞬時に画像を取り込む。ここで、この周期をリードフレーム3のIC1ピース分の搬送周期に設定することで、全数検査が可能である。
【0017】
次に図3を参照してリードフレームの検査装置6の具体的な装置構成について説明する。以下、プレス後のリードフレーム3の搬送経路にしたがって説明する。リードフレーム3は図面左側より下方にU字状に垂れ下がって検査装置6に進入し、フレームガイド12に沿って鉛直上方に向かって搬送される。リードフレーム3は搬送中はAの位置にあり、搬送動作を停止すると慣性により若干移動してB或いはCの位置に垂れ下がって停止する。
【0018】
また、上記リードフレーム3は、フレームガイド12により幅方向の位置決めがなされ、図の矢印に示すYZ軸方向に移動可能な可動テーブル6dに取り付けられたリング状照明6bによりリードフレーム3の所定領域に光照射されてその表面画像がCCDカメラ6cにより取り込まれる。また、可動テーブル6dは図示しない駆動モータにより図3のYZ軸方向に走査可能に構成されている。上記可動テーブル6dは無停止モードの場合には固定して使用され、停止モードの場合にはYZ軸方向に走査して使用される。上記リング状照明6bの照度は、リードフレーム3のリード形成領域の輝度に応じて可動テーブル6dの下方に設けられた光源装置9により調整される。また、上記CCDカメラ6cの焦点は、可動テーブル6dの後端側にあるノブ6jにより手動で調整する。なお、図3において、Y軸方向とは紙面に対して垂直方向をいう。
【0019】
また上記リードフレーム3は、無停止モードの場合には、リードフレーム3の停止動作は行わず、CCDカメラ6cにより一定周期ごとに検査を行う。これによりICの全数検査も可能となる。この際、CCDカメラ6cによる画像入力は、フレーム搬送センサ11から出力される検出信号(許可フラグ)に同期して行うようにすると良い。
また、停止モードの場合には、フレームガイド12の下流側に設けられたフレーム搬送センサ11により搬送量が検出され、例えば208ピンのリードフレーム3でプレス装置5のプレスストローク140spmの時45IC分(19.3秒)搬送されるごとに移動が停止され、CCDカメラ6cで画像入力されて検査が行われる。搬送ローラ6aは、図示しない駆動モータにより回転駆動され、リードフレーム3をその円弧面の一部に巻き付けて搬送する。上記フレーム搬送センサ11の検出信号に基づいて駆動モータの動作を制御して、搬送ローラ6aによるリードフレーム3の搬送動作が制御される。
【0020】
13は搬送ガイドであり、搬送ローラ6aを経たリードフレーム3の搬送をガイドするものである。上記搬送ガイド13の搬送路には、リードフレーム3の上下一方或いは双方に当接して従動回転する複数の補助ローラ14が設けられている。上記搬送ガイド13を経たリードフレーム3は装置外へ導かれ、巻き取り側に搬送される。
【0021】
また、装置下部には、制御手段8や電源部等を配置した制御パネル15が配置されている。また、装置上部には制御データコントロール用の制御用モニター16a、CCDカメラ6cより取り込んだ画像をリアルタイムで表示するための表示用モニター16bが装備されている。なお、モニターは1台とし、切り換えながら制御データコントロール用の制御用として、また画像表示用として使用するようにしても良い。
【0022】
ここで、検査装置6の各部の構成及び機能について詳細に説明する。
先ず、複数設けられたリング状照明6bの構成について詳述する。各リング状照明6bは同じ構成であり、図4に示すようにリング状照明6bのリング6e内には光源としての光ファイバー6fが装備されている。また上記リング6eには支持部材6gが設けられており、該支持部材6gには半透明フィルム6hがリング6eの発光面と対向するように配置されている。また上記半透明フィルム6hのうち高輝度部分には遮光用のマスク6iが設けられている。
そして、各リング状照明6bは、CCDカメラ6cの光軸を取り囲み、かつリードフレーム3とCCDカメラ6cとの間に光軸方向に沿って多段(本例では2段であるが、3段以上でも良い)に配置されている。
【0023】
上述のようにリング状の照明を用いたのは、リードフレーム3と照明手段との間隔が狭いためフレーム面に明暗が生じ易いので、リードフレーム3の各領域をできるだけ均一に光照射するためである。また、リング6eの発光面に対向する位置に半透明フィルム6hを設けたのは、光の拡散を良くするためであり、更にはマスク6iを設けたのは、高輝度部分を遮光してフレーム面を均一な照度で光照射して、CCDカメラ6cにより打痕,傷等を鮮明に見るためである。なお、リング状照明6bの発光面の外径を対象フレーム面の長さに比較して大きくする(一例として2倍以上)ことにより、リング状照明6bからの直接光の影響を少なくすることができ、この場合には半透明フィルム6hは不要である。
また、リング状照明6bを多段に設けた理由について図12と図13を用いて説明すると、CCDカメラ6cにより直接検査される図12中のリードフレーム3の検査面(打ち抜き時に下面となるバリ面)に打痕が存在する場合には打痕の表面が急激にへこんでいるため、リング状照明6bが1段でもそこから照射される光が打痕の表面のいずれかの部分でCCDカメラ6cのレンズ方向へ反射する(光路は実線で示す)。よって反射部分は打痕がない状態の正常の輝度よりも高くなってCPU8aでは打痕として認識できる。
【0024】
しかしながら、図13に示すようにリードフレーム3の検査裏面(打ち抜き時に上面となるダレ面)に打痕が存在する場合には、その打痕の裏面側、つまり検査面側の突出部の変形量は小さく、しかも突出部の表面は緩やかな曲面となるために、リング状照明6bが1段しかない場合には、リング状照明6bの光源1からの光(光路は実線で示す)は当該曲面で反射してもCCDカメラ6cのレンズ内へは入光しない。このため、CPU8aでは打痕なしと判断してしまう可能性が高い。
そこで、上述したようにこの第1段目のリング状照明6bの他に、第2段目のリング状照明6bを光軸G方向に沿って第1段目のリング状照明6bと離間して設けると、第2段目のリング状照明6bの光源2からの光の打痕により検査面側に生じた突出部への入射角が変わり(この場合には小さくなり)、その反射光はCCDカメラ6cに入光されることになり(光路は点線で示す)、CPU8aにおいて突出部の存在を認識でき、その結果リードフレーム3の検査裏面の打痕の存在を検出することができる。
【0025】
しかし、このリードフレーム3の検査裏面(ダレ面)の打痕は、プレス加工を行った際に発生する抜きカスやゴミが該リードフレーム3の上に残り、この抜きカス等により生ずるものであり、実際には上記リードフレーム3の上に抜きカス等は入り込み難い。そのため、検査裏面の打痕の発生率は検査面の打痕の発生率と比べて著しく低い(約10分の1程度)。また、リードフレーム3はダイ上を所定の速度で移動しているため、小さな抜きカス等はダイ上から飛び散ってしまいリードフレーム3の検査裏面に付着する抜きカス等は比較的大きく重いものが殆どである。このため、リードフレーム3の検査裏面の打痕により検査面に生ずる突出部はその変形量が比較的大きなものが多く、リング状照明6bを多段に設けることで検出できるものが多いのである(図13参照)。
【0026】
また、照度コントローラ8dは、リードフレーム3の面粗度の違いにより、同一照度でのフレームの明度に違いが生ずる。この場合、記憶部8bに記憶させたティーチデータ(比較値)の許容値が大きくなり、結果的に打痕検査を困難にする。このため、反射光が明るいフレームの時には各リング状照明6bの少なくとも1つの照度を落とし、暗いフレームの場合には少なくとも1つの照度を上げることで、できるだけ均一な明度になるように調整するものである。この調整は、CCDカメラ6cにより一括して画像入力される領域毎に、画像を取り込む際に照度コントロールを行う。
【0027】
また、リードフレーム3に打痕,傷等の検出をした場合、正常なフレーム明度より大きな値或いは小さな値が検出されたとき、エラーとして検出するため、図5に示すようにCCDカメラ6cより入力する画像の輝度データの入力レベルの変更を行っている。本実施例では、明部解析範囲のみ行っているが暗部解析範囲のみ或いは双方行うことも可能である。尚、図5は各区画毎に、区画内の最高輝度データと最低輝度データ(双方ともアナログ値)をそれぞれピックアップしてプロットし、各区画の最高輝度データ同士、最低輝度データ同士を線で結んだものであり、明部解析範囲は各区画の最高輝度データを含むように、また暗部解析範囲は最低輝度データを含むように範囲が設定される。
【0028】
また、リードフレーム3の表面の明度のピーク値を観察していると、図6(a)に示すように、正常なフレームでも面粗度の違いによりピーク値が上昇する場合がある(相違量a)。そこで、図6(b)に示すように、ピークレベルからある一定量だけカットしたところの輝度レベルを記憶しておき、検査時においても一定量だけカットしたところの輝度レベルで比較している(相違量b)。
【0029】
また、図7に示すように、リードフレーム3の1ピースの同一領域内でも、表面性状,加工油ののり、面粗度等によりピースごとに輝度が多少異なる場合があるため、輝度データに許容範囲を設ける。図7において、輝度を示す折れ線グラフより外れた箇所にドットが存在する場合には、打痕と判定できる。
また、図7の区画N部分の暗部輝度データの拡大図を図8に示す。前記CCDカメラ6cによる入力レベル変更は、明部解析範囲の輝度と暗部解析範囲の輝度をそれぞれ更に部分拡大して0〜255の輝度データ(ディジタル値)に強調して各区画ごとにピークカット、例えば、10ピクセルのノイズカットを行っている。図8は暗部解析範囲に含まれる輝度データの拡大図を示すものであるため、、拡大データの輝度解析範囲(0〜255)に設定された許容範囲(一例として30〜130)より下方に外れる部分が存在する場合には、打痕と判定できる。逆に、明部解析範囲に含まれる輝度データに対しては拡大データの輝度解析範囲(0〜255)に設定された許容範囲より上方に外れる部分が存在する場合には、打痕と判定できる。
【0030】
また、図9(a)に示すように、プレス装置5によりプレス後のリードフレーム3の輪郭部3aや打ち抜き部分3bには、ダレ,カエリ,バリ等が存在する。このダレ,カエリ,バリ等が検査しようとする区画内に存在すると、ダレ,カエリ,バリ等で照射された光をCCDカメラ6c方向へ反射し、ダレ等が存在しない場合に比べて輝度データがティーチデータより大きな値となり誤って打痕と認識してしまう。このため、他のリードフレーム面と同じ輝度として認識するように、一度リードフレーム3の画像をサンプルとして取り込み、リードフレーム3の輪郭に沿ってエアブラシ,ボカシ等を使用して画像編集し、マスク画像として記憶部8bに記憶させる。そして、図9(b)に示すように、リードフレーム3の輪郭部3aや打ち抜き部分3bに画像処理ボード8eにおいてマスク画像Mを重ね合わせて輝度を補正しダレ,バリ等の影響を抑えている。
【0031】
また、照度コントローラ8dにより照度を制御する単位となるリードフレーム3の所定の領域とは、一例として図10に示すように、単位IC(1ピース)を5分割した1/5ピースが相当する。この1/5ピース内では明度レベルがほぼ同一と観測される。なお、この領域は、リング状照明6bの直径やリードフレーム3との距離によってその広さは左右されるため、所定領域は1/2ピースの場合もあり、また1ピース全体の場合もある。
また、CCDカメラ6cの画像入力できる面積はその受光画素数により、また必要とする解像度によっても左右されるが、本例では一例として1ピースを一括して画像入力し、さらにこれを5区画に分割して画像処理を行うようにしている。なお、上記区画数は更に細分化することも可能であり、例えば30〜40区画程度に分割して行っても良い。
【0032】
次に、上述した検査装置6の検査方法について図11に示すフローチャートに沿って説明する。本実施例では、リードフレーム3の任意の検査位置においてIC1ピースの表面状態を検出する動作について説明するものとし、また無停止モードで検査を行う場合の流れについて説明するものとする。
【0033】
先ず、リードフレーム全体の検査の流れについて概略説明すると、プレス装置5を経て連続的に加工され搬送されるリードフレーム3を検査装置6に進入させ、リードフレーム3のIC1ピースに対し、多分割した位置へ若しくは多分割していない時は必要であれば一度CCDカメラ6cを移動させて画像を取り込む。画像の取り込みは明部解析用と暗部解析用としてそれぞれ取り込まれる。上記取り込んだ画像を解析指示データに従い各区画毎に輝度を解析し、その輝度データ(解析値)と記憶部8bに記憶されている複数画像の平均値に許容値を加えたティーチングデータ(比較値)とを比較する。この作業は明部及び暗部両方において行っても良いが、高速化を図るためには明部のみ若しくは暗部のみの解析を行うのが望ましい。解析値と比較値の両者を比較した結果、比較値より解析値のほうが大きい場合には、エラーとして出力される。
【0034】
次に具体的な検査方法について説明する。本実施例は制御モードが無停止モードである場合の制御動作について説明するものとする。
図11において、ステップS1において、マスク画像Eの入力を行う。このマスク画像の入力は、制御手段8の記憶部8bにティーチィングにより▲1▼マスクの作成、▲2▼リードフレーム3のIC1ピースの区画設定、▲3▼カメラ入力レベルの設定等が行われる。尚、上記▲1▼〜▲3▼の作業は本実施例では明部検出用のみについて行われるが、暗部検出用について行っても良い。また、上記ティーチィングによるデータ入力は、リードフレームの品種,材質の相違などにより随時行われる。
【0035】
以下、具体的に説明すると、▲1▼上記マスク画像Eの入力は、前述したように、リードフレーム3のダレ,バリ部分は他の面と光の反射が異なるため、この部分は検査しないようにマスクを作成する。或いは、特に検査させない部分(例えば刻印部)があればマスクする。
また、▲2▼IC1ピース内の区画設定は、図10に示すように、例えばIC1ピース全体を1入力画像とし、入力画像の明度レベルがほぼ同一と観測される区画に細分化(本実施例では5区画に区分)し、1区画を設定する。
また、▲3▼カメラ入力レベルの設定は、入力画像の輝度データのピークレベルを検出するために必要なカメラ入力の範囲設定を行う。
【0036】
次に、ステップS2に進行して搬送ローラ6aを回転駆動させてリードフレーム3を連続搬送を開始する。また、同時にリードフレーム3を検査装置6より巻き取りリール2側に巻き取らせる。
次に、ステップS3に進行して、フレーム搬送センサ11はリードフレーム3の1ピース分のリード形成領域を検出すると許可フラグを立てる。上記許可フラグを立てると、ステップS4に進行してCCDカメラ6cより画像入力Fが行われる。
【0037】
次に、ステップS4に進行して、リードフレーム3のIC1ピース全体の画像入力が一括して行われる。上記許可フラグが立てられる度に、同様にリードフレーム3の画像入力が行われる。これにより、リードフレーム3の全ピースの検査が可能となる。一括して入力した画像は画像処理の一単位となる複数の区画(一例として5区画等)に細分化される。
なお、画像入力の単位が1ピース全体ではなく、例えば複数ピース等の所定の長さの領域である場合には、フレーム搬送センサ11による検出するリードフレーム3の移動量を当該所定の長さの範囲とすることによって、同様にリードフレーム3の全ピースの検査が可能となる。
【0038】
次に、ステップS5に進行してCPU8aは記憶部8bにティーチングで記憶させたマスク画像Eに関するデータを読み出す。そしてステップS6に進行して、マスク処理の有無を判断する。ここでマスク処理するのであれば、ステップS7に進行し、画像処理ボード8eにより入力画像Fにマスク画像Eをマスクする。また、マスク処理しない場合には直接ステップS8へ移行する。このとき、上記入力画像Fはリアルタイムで表示用モニター16bに写し出され、その表面状態を視認することができる。
【0039】
次にステップS8において各区画領域毎に解析指示データに基づき輝度を解析して、ステップS9に進行してX番目からX+n番目のn個分の画像データ(X≧1,n≧1;X,nは自然数)について解析データを一時保存する。本実施例では、各区画につき第1番目から第10番目の10画像分のデータを解析して一時保存可能になっている。そして、ステップS10に進行して全区画につき画像データの解析が終了したか否かを判断し、終了してしなければステップS8に戻って全区画の画像解析を行う。次にステップS11に進行して全区画につきn画像分(本実施例では10画像分)の解析データが存在するか否かを判断する。10画像分の解析データがない場合には、ステップS3に戻って更に画像を取り込みながら各区画毎に輝度データが10画像分になるまで解析を続行する。そしてステップS12に進行して、CPU8aは各区画毎に10画像分の解析データの平均値を算出する。この平均値に許容値を加えた値を各々第1の比較値として記憶部8bに記憶する。上記許容値の設定は、各区画毎にフレームの面粗度、母材の圧延状態、加工油の付着状況などによりフレームの明るさが変化することから、各区画毎に行う。
【0040】
次に、ステップS13に進行してX+(n+1)番目のリード形成領域の入力画像の輝度を解析指示データに従い解析する。本実施例では第11番目のリード形成領域の画像を入力して各区画毎に輝度データの解析を行う。そして、ステップS14に進行して上記第11番目の解析値と記憶部8bに記憶されている第1の比較値(=平均値+許容値)とを各区画毎に比較する。このとき、各区画毎に解析指示データを変えながら解析することができる。例えば光源の照度が変化して取り込む画像の明るさが変動しても、取り込むべき対象物(リードフレーム)の形状が同じになるようにピータイル値(面積)を調整する。また、例えば区画内にリード部等の島(オブジェクション)が存在する場合、2値化したときの島(オブジェクション)の数と重心位置をピータイル値(面積)を変更してIC1ピースの区画形状に応じた画像を取り込む。また、各区画の許容値を明度レベルの変化に合わせて調整する場合もある。
【0041】
比較の結果、ステップS15において第11番目の各区画毎の解析値が第1の比較値より大きな値となったときは打痕が生じたものとしてステップS16に進行し、エラー登録を行う。また、各区画の解析値が第1の比較値以下となったときは打痕が無しと判断し、ステップS17に進行する。
このステップS17では、一括して取り込んだ第11番目のIC1ピースについて全区画(5区画)の輝度データの解析が終了したか否かを判断する。終了していない場合にはステップS13に戻り、全区画の解析が終了するまで行う。またデータの解析が終了した場合にはステップ18に進行する。
【0042】
ステップS18では、IC1ピースのいずれかの区画内にエラー登録が有るか否かを判断し、エラー登録がある場合にはステップS19に進行し、エラーが有る旨を表示し、プレス動作を停止する。
また、エラー登録がない場合には、ステップS20に進行して、次のリードフレーム3の検査ピースが有るか否かを判断し、検査ピースが有る場合にはそして、前記ステップS12に戻り、第1の比較値の更新を行うと共に第12番目の入力画像に対してステップS12〜ステップS20に示す同様の検査工程を繰り返し、検査ピースがない場合にはリードフレーム3の巻き取りを行い、検査を終了する。本実施例は、無停止モードで画像入力を行われるため、リードフレームの各ピースの画像入力は連続して行われている。
【0043】
上記ステップS20において、リードフレーム3の検査ピースがある場合、第2番目から第11番目までの10画像分の解析データの平均値を各区画毎に算出する。この平均値に許容値を加えた値を第2の比較値として記憶部8bに記憶し、前記第1の比較値を更新する(ステップS12)。次に、第12番目の入力画像の輝度データを解析を行う(ステップS13)。そして、上記第12番目の各区画毎の解析値と記憶部8bに記憶されている更新された上記第2の比較値(=平均値+許容値)とを各区画毎に比較を行う(ステップS14〜ステップS20)。以下、第13番目以降の入力画像の検査を順次行う場合にも同様のプロセスで比較を行う。これは、解析データの平均値が緩やかに変化するため、前後のデータを入れ換えて比較値を更新するだけで十分精度の良い検査が行えるからである。
また、本実施例では、例えば第1番目の入力画像(1ピース分)から第10番目の入力画像を取り込んで第1の比較値を算出して第11番目の入力画像解析に使用していたが、比較値の算出には10画像分の解析データに限らず任意のデータ数より算出することが可能である。また、本実施例では第1番目から第10番目までの入力画像については、検査装置を用いて比較値との比較が行えないが、リードフレームの打痕等は作業者が目視により確認できる範囲であるので、検査上支障となることはない。
【0044】
この結果、各区画に応じた比較値(=平均値+許容値)と解析値との関係を示す検査データを従来例と本実施例とのデータ例を図14に示す。図14において、従来はティーチング時に許容値を決定するために、リードフレームを数十リール分検査装置に流して解析値の比較値からのずれ、即ち許容量を決定していたため、ティーチングに時間がかかる(例えば30リールで60時間程度かかる)と共にその許容量を幅広く取らざるをえないため、検査の精度にばらつきが大きくなり検査が不安定になるおそれがあった。
【0045】
これに対して、本実施例では、検査用にリードフレーム3を搬送しながら、各リール毎に、リード形成領域毎に、更には該リード形成領域を細分化した各区画毎に、許容値が決定できるため、ティーチングに要する時間を大幅に短縮できる。
また、予め全フレーム状態を勘案して許容値を設定する必要がないため、必要以上に大きな許容値を設定することがなく、リードフレーム3の搬送にしたがって輝度データの平均値が緩やかに変化するため、検査対象領域が移行するに従って該平均値を直前のn画像分の輝度データの平均値に更新した比較値を用いることで、検査結果にばらつきの少ない高精度な検査を高速で行うことができ、製品への信頼性を高めることができる。
【0046】
また、検査装置が複数台ある場合、照明の違いで見え方が違うと各検査装置間で異なる解析結果が得られるが、各検査装置毎に解析値は特有なものになっても良くフレーム毎に適合した比較値が設定されるため、検査状態が安定し、装置間でデータの互換性をとることが非常に容易となる。
【0047】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、例えば、比較値として平均値+許容値を用いたが、解析値の状況によっては、所定区画数の範囲で最大値或いは最小値に許容値を加えた値を用いても良い。また上記比較値を算出するにあたり、入力画像10区画分の平均を算出するようにしたが、これより多くても少なくても良い。
また、リードフレームの1ピースICの解析区画領域もリードの数等によって更に多区画化(例えば30〜40区画程度)或いは小区画化しても良く、検査装置の設置箇所もリードフレームの洗浄後またはその他の処理後に設置しても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【0048】
【発明の効果】
本発明は前述したように、撮像手段より取り込んだX番目からX+n番目(X≧1,n≧1;X,nは自然数)までの入力画像の輝度を解析し、得られたn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第1の比較値として記憶させ、X+(n+1)番目の入力画像の解析値と前記第1の比較値との比較を行い、次にX+1番目からX+(n+1)番目までのn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として更新して記憶させ、X+(n+2)番目の入力画像の解析値と前記第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、リードフレームの異常を検出するようにしたので検査用にリードフレームを搬送しながら、各リール毎に、リード形成領域毎に、更には該リード形成領域を細分化した各区画毎に、許容値が決定できるため、ティーチングに要する時間を大幅に短縮できる。
また、予め全フレーム状態を勘案して許容値を設定する必要がないため、必要以上に大きな許容値を設定することがなく、リードフレームの搬送にしたがって輝度データの平均値が緩やかに変化するため、検査対象領域が移行するに従って該平均値を直前のn画像分の輝度データの平均値に更新した比較値を用いることで、検査結果にばらつきの少ない高精度な検査を高速で行うことができ、製品への信頼性を高めることができる。
【0049】
また、検査装置が複数台ある場合、照明の違いで見え方が違うと各検査装置間で異なる解析結果が得られるが、各検査装置毎に解析値は特有なものになっても良くフレーム毎に適合した比較値が設定されるため、検査状態が安定し、装置間でデータの互換性をとることが非常に容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】リードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図である。
【図2】リードフレームの検査装置の構成を示すブロック説明図である。
【図3】リードフレームの検査装置の断面説明図である。
【図4】リング状の照明手段の構成を示す説明図である。
【図5】CCDカメラからの入力された画像の明暗部の解析範囲を示すグラフ図である。
【図6】入力データのピークカット検出を示す説明図である。
【図7】解析データの許容値を示すグラフ図である。
【図8】図7の区画N部分の暗部輝度データの拡大図である。
【図9】リードフレームの輪郭にマスクを施した状態を示す比較説明図である。
【図10】リードフレームの画像解析領域の区画を示す説明図である。
【図11】検査装置による検査動作の流れを示すフローチャートである。
【図12】リング照明による画像入力状態を示す説明図である。
【図13】リング照明による画像入力状態を示す説明図である。
【図14】従来例と本実施例の検査結果を示すグラフ図である。
【符号の説明】
1 繰り出し用リール
2 巻き取り用リール
3 リードフレーム
4 レベラー
5 プレス装置
6 検査装置
6a 搬送ローラ
6b リング状照明
6c CCDカメラ
6d 可動テーブル
6e リング
6f 光ファイバー
6g 支持部材
6h 半透明フィルム
6i マスク
6j ノブ
7 層間紙
8 制御手段
8a CPU
8b 記憶部
8c 入出力部
8d 照度コントローラ
8e 画像処理ボード
9 光源装置
10 コントローラ
11 フレーム搬送センサ
12 フレームガイド
13 搬送ガイド
14 補助ローラ
15 制御パネル
16a 制御用モニター
16b 表示用モニター
G 光軸
【発明の属する技術分野】
本発明は打ち抜き加工後のリードフレームの打痕や傷、変色等の表面状態を検出することが可能なリードフレームの検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、リードフレームを打ち抜きリードフレームを形成するプレス工程において、例えば短冊状リードフレームであれば、プレスより搬送されたところで、大きな打痕やバリ等は作業者が肉眼で確認していた。また、搬送されるリードフレームをプレス後に任意に抜き取り、顕微鏡で検査及び測定を行っていた。
また、リールに巻き取られたリードフレームにおいては、途中で抜き取り検査を行うことができないので、作業者の肉眼に頼るしかなく、精密検査はリールの最後で打痕等の有無を検査するしかなかった。
【0003】
上記リードフレームの検査効率や検査精度を向上させるため、本件出願人は特開平9−113466号に示すリードフレームの検査装置を提案した。この検査装置は、プレス後に搬送されるリードフレームに半導体素子を搭載するIC1チップを搭載するリード形成領域を細分化した単位リード形成領域(区画)毎にリング照明より光照射して、反射光をCCDカメラにより画像入力を行い、入力画像を解析指示データに基づき輝度を解析し、予めティーチングにより記憶部に記憶させた比較値と上記解析値との比較を行ってリードフレームの異常を検出するものである。
【0004】
上記検査装置を用いてリードフレームの検査を行うためには、予め正常なリードフレームを用いて画像解析に必要なパラメータの設定や、比較値として用いる輝度データの設定などのティーチングを行う必要がある。上記正常なリードフレームを所定量ずつ搬送したところで所定単位リード形成領域にリング照明により光照射してCCDカメラにより画像入力を行う。このとき上記CCDカメラより撮像された入力画像の明度レベルがほぼ同一となる区画毎に輝度の解析を行い、得られた輝度データを記憶する。
【0005】
実際の検査を行う場合には、リング照明よりリードフレームにティーチング時とほぼ同一の明度が得られる照度で光照射してCCDカメラにより画像入力を行う。そして、ティーチングされている区画毎に輝度の解析を実行し、得られた輝度データの解析値とティーチング時の比較値とを比較する。このときの比較値は上記ティーチングにより記憶された比較値に許容値が加算された値(比較値=記憶値+許容値)を用いる。上記許容値は、リードフレームの母材の面粗度等により同じ単位リード形成領域でも区画毎に輝度が異なる場合があり、作業者が許容値の範囲を設定する。上記解析値が比較値より大きくなった場合にエラーとして、リードフレームの搬送を停止させて、検査を行っていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ティーチング時に使用するリードフレームと実際に検査する個々のリードフレームとは、母材の圧延状況などの要因により各区画毎の明度のレベルが異なる。このため、画像解析値は正常なリードフレームでもロットが異なれば、或いは同一ロット内においても異なる場合がある。また、加工条件が異なれば、同じ照度でフレームに光照射しても見え方が変化する場合もある。
このような状況下で、ティーチングにより記憶させた比較値に対して、全フレームの解析値の変化量を予測して許容値の範囲を定めることは、非常に困難である。また、全フレームの解析値のばらつきを考慮して許容値を設定すれば、許容値が必要以上に大きな値となって、検査精度が低下する。
また、上記ティーチングにより許容値を決定するためには、各リール毎に記憶データが作成されるため、正常なリードフレームを数十リール分、例えば30リール程度流して決定する必要があった。この場合、リードフレームを1リール流すのに2時間程度かかり、ティーチングに最低でも60時間程度要し、検査作業効率が低かった。
【0007】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、ティーチングに要する時間を省略すると共に許容値を適正な範囲で設定でき、帯状に連続するリードフレーム表面状態の異常を高速かつ高精度で検査なリードフレームの検査装置を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、帯状に連続するリードフレームを搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送される際に前記リードフレームのリード形成領域の画像入力を行う撮像手段と、前記撮像手段の光軸を取り囲むようリング状に配置されかつ前記リードフレームと前記撮像手段との間に前記光軸方向に多段に配置されてなる、前記リードフレームに光を照射する照明手段と、前記撮像手段より取り込んだX番目からX+n番目(X≧1,n≧1;X,nは自然数)までの入力画像の輝度を解析し、得られたn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第1の比較値として記憶させ、X+(n+1)番目の入力画像の解析値と前記第1の比較値との比較を行い、次にX+1番目からX+(n+1)番目までのn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として更新して記憶させ、X+(n+2)番目の入力画像の解析値と前記第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、前記リードフレームの異常を検出してエラーを出力表示する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
また、前記各比較値として、n画像分の解析値のうち最大値若しくは最小値に許容値を加えた値を用いも良い。
また、前記制御手段は、前記撮像手段より取り込んだX番目からX+n番目の入力画像を画像処理の1単位となる複数の区画に分割して各々輝度を解析し、各区画毎にn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に各々許容値を加えて第1の比較値として各々記憶させ、X+(n+1)番目の入力画像の区画毎の解析値と前記各区画毎の第1の比較値とを比較を行い、次にX+1番目からX+(n+1)番目までの各区画毎のn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として各々更新して記憶させ、X+(n+2)番目の入力画像の区画毎の解析値と前記各区画毎の第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、リードフレームの異常を検出してエラーを出力表示するようにしても良い。
【0009】
上記構成によれば、制御手段は、例えば撮像手段より取り込んだ第1番目から第10番目までの入力画像の輝度を解析し、得られた10画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第1の比較値として記憶させ、第11番目の入力画像の解析値と前記第1の比較値とを比較を行い、次に第2番目から第11番目までの10画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として更新して記憶させ、第12番目の入力画像の解析値と前記第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、前記リードフレームの異常を検出するので、予め許容値を決定するためのティーチングに時間を要せず、しかも各リードフレームにより適合した許容値を設定して、検査精度を高めることが可能である。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るリードフレームの検査装置の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1はリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図、図2はリードフレームの検査装置の構成を示すブロック説明図、図3はリードフレームの検査装置の断面説明図、図4はリング状の照明手段の構成を示す説明図、図5はCCDカメラからの入力された画像の明暗部の解析範囲を示すグラフ図、図6は入力データのピークカット検出を示す説明図、図7は解析データの許容値を示すグラフ図、図8は図7の区画N部分の暗部輝度データの拡大図、図9はリードフレームの輪郭にマスクを施した状態を示す比較説明図、図10はリードフレームの画像解析領域の区画を示す説明図、図11は検査装置による検査動作の流れを示すフローチャート、図12及び図13はリング照明による画像入力状態を示す説明図、図14は従来例と本実施例の検査結果を示すグラフ図である。
【0011】
先ず図1を参照してリードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成について説明する。
1,2は帯状に連続するリードフレーム3を繰り出し,巻き取り用のリールである。本実施例では図面左側の繰り出し用リール1よりリードフレーム1を繰り出し、図面右側に配置された巻き取り用リール2に巻き取るように構成されている。
【0012】
4はレベラーであり、繰り出し用リール1より繰り出されたリードフレーム3を一定の高さを保って搬送するものである。5は上型5a,下型5bを装備してプレスによりリードを形成するプレス装置である。
6はリードフレームの検査装置であり、プレス装置5により打ち抜かれたリードフレーム3の表面状態に打痕,傷,変色等の異常がないかどうかを検査するものである。上記検査装置6には、搬送手段としての搬送ローラ6a,照明手段の一部を構成する複数のリング状照明6b,撮像手段としてのCCD(電荷結合素子)カメラ6c,リング状照明6bやCCDカメラ6cが一体に搭載された可動テーブル6d等を装備している。
7は層間紙であり、巻き取り用リール2に巻き取られるリードフレーム3間に介在させて巻き取らせ、リードフレーム相互間の摺擦より保護をしている。
なお、本実施例では、検査装置6はプレス装置5の後に配置されているが、リードフレーム1の洗浄装置の後やその他の処理後に配置することも可能である。
【0013】
次に図2を参照してリードフレームの検査装置6の全体構成についてブロック図を参照して説明する。8は制御手段であり、制御プログラムにしたがって装置全体の動作を制御するCPU8a、外部より入力されたデータの一時保存を行ったり、CPU8aのワーキングエリアとして使用されるRAMやCPU8aの制御プログラムを記憶したROM等を備えた記憶部8b、データの入出力を行う入出力部(I/O部)8c、照明手段の一部を構成する光源装置9の照度を制御する照度コントローラ8d、CCDカメラ6cにより撮影した画像にマスク処理を施す画像処理ボード8e等を装備している。上記画像処理ボード8eには、CCDカメラ6cより後述するモニター表示用の画像が入力される。
【0014】
また10は駆動手段としてのコントローラであり、リードフレーム3を搬送する搬送ローラ6aを駆動させる駆動モータ(図示せず)や可動テーブル6dを走査させる駆動モータ(図示せず)を作動/停止させるドライバー回路を有する。また、上記CPU8aには、I/O部8cを介してリードフレーム3の搬送量を検出するためのフレーム搬送センサ11からの検出信号が入力し、プレス装置5を作動/停止させる制御信号が出力される。
【0015】
上記制御手段8のCPU8aは、照度コントローラ8dにより光源装置9の照度を制御してリング状照明6bによりリードフレーム3の所定リード形成領域内をほぼ同一明度となるように光照射する。本実施例ではIC1ピース分をほぼ同一明度となる領域として一括してCCDカメラ6cにより撮影して画像処理ボード8eを介して輝度データとして取り込み、さらに画像処理の一単位となる単位リード形成領域(区画とも言う)に細分化し、この各区画の輝度データを集計して平均値を算出し、これに各区画毎に許容値を加えて比較の基準となる比較値として記憶部8bに記憶させる(ティーチィング)。この動作は、IC1ピースの全区画について行われ、比較値を各々記憶部8bに記憶させる。なお、リング状照明6bの構成によっては、リードフレーム3の各区画毎にほぼ同一明度となるように照明することも可能であり、この場合には照度コントローラ8dによる光源装置9の照度の制御は区画単位で行うようにしても良い。
【0016】
また、リードフレーム3を搬送しながら画像を取り込む際に必要に応じて画像処理ボード8eによりマスク処理を施して輝度データを取り込み、取り込んだデータを区画単位に解析し、得られた解析値と記憶部8bに記憶させた比較値と比較する。上記CPU8aは入出力部8cを介してコントローラ10により搬送ローラ6aの駆動を制御して搬送動作を停止させたり、可動テーブル6dをリードフレーム3の区分された所定の領域ごとに走査させ、当該領域全体の画像を取り込むことも可能である。
尚、制御手段8は、停止モードと無停止モードの2種類の制御モードを有しており、停止モードの場合には、リードフレーム3を所定量搬送したところで周期的に停止させて画像を取り込み、無停止モードの場合にはリードフレーム3を搬送しながら周期的に瞬時に画像を取り込む。ここで、この周期をリードフレーム3のIC1ピース分の搬送周期に設定することで、全数検査が可能である。
【0017】
次に図3を参照してリードフレームの検査装置6の具体的な装置構成について説明する。以下、プレス後のリードフレーム3の搬送経路にしたがって説明する。リードフレーム3は図面左側より下方にU字状に垂れ下がって検査装置6に進入し、フレームガイド12に沿って鉛直上方に向かって搬送される。リードフレーム3は搬送中はAの位置にあり、搬送動作を停止すると慣性により若干移動してB或いはCの位置に垂れ下がって停止する。
【0018】
また、上記リードフレーム3は、フレームガイド12により幅方向の位置決めがなされ、図の矢印に示すYZ軸方向に移動可能な可動テーブル6dに取り付けられたリング状照明6bによりリードフレーム3の所定領域に光照射されてその表面画像がCCDカメラ6cにより取り込まれる。また、可動テーブル6dは図示しない駆動モータにより図3のYZ軸方向に走査可能に構成されている。上記可動テーブル6dは無停止モードの場合には固定して使用され、停止モードの場合にはYZ軸方向に走査して使用される。上記リング状照明6bの照度は、リードフレーム3のリード形成領域の輝度に応じて可動テーブル6dの下方に設けられた光源装置9により調整される。また、上記CCDカメラ6cの焦点は、可動テーブル6dの後端側にあるノブ6jにより手動で調整する。なお、図3において、Y軸方向とは紙面に対して垂直方向をいう。
【0019】
また上記リードフレーム3は、無停止モードの場合には、リードフレーム3の停止動作は行わず、CCDカメラ6cにより一定周期ごとに検査を行う。これによりICの全数検査も可能となる。この際、CCDカメラ6cによる画像入力は、フレーム搬送センサ11から出力される検出信号(許可フラグ)に同期して行うようにすると良い。
また、停止モードの場合には、フレームガイド12の下流側に設けられたフレーム搬送センサ11により搬送量が検出され、例えば208ピンのリードフレーム3でプレス装置5のプレスストローク140spmの時45IC分(19.3秒)搬送されるごとに移動が停止され、CCDカメラ6cで画像入力されて検査が行われる。搬送ローラ6aは、図示しない駆動モータにより回転駆動され、リードフレーム3をその円弧面の一部に巻き付けて搬送する。上記フレーム搬送センサ11の検出信号に基づいて駆動モータの動作を制御して、搬送ローラ6aによるリードフレーム3の搬送動作が制御される。
【0020】
13は搬送ガイドであり、搬送ローラ6aを経たリードフレーム3の搬送をガイドするものである。上記搬送ガイド13の搬送路には、リードフレーム3の上下一方或いは双方に当接して従動回転する複数の補助ローラ14が設けられている。上記搬送ガイド13を経たリードフレーム3は装置外へ導かれ、巻き取り側に搬送される。
【0021】
また、装置下部には、制御手段8や電源部等を配置した制御パネル15が配置されている。また、装置上部には制御データコントロール用の制御用モニター16a、CCDカメラ6cより取り込んだ画像をリアルタイムで表示するための表示用モニター16bが装備されている。なお、モニターは1台とし、切り換えながら制御データコントロール用の制御用として、また画像表示用として使用するようにしても良い。
【0022】
ここで、検査装置6の各部の構成及び機能について詳細に説明する。
先ず、複数設けられたリング状照明6bの構成について詳述する。各リング状照明6bは同じ構成であり、図4に示すようにリング状照明6bのリング6e内には光源としての光ファイバー6fが装備されている。また上記リング6eには支持部材6gが設けられており、該支持部材6gには半透明フィルム6hがリング6eの発光面と対向するように配置されている。また上記半透明フィルム6hのうち高輝度部分には遮光用のマスク6iが設けられている。
そして、各リング状照明6bは、CCDカメラ6cの光軸を取り囲み、かつリードフレーム3とCCDカメラ6cとの間に光軸方向に沿って多段(本例では2段であるが、3段以上でも良い)に配置されている。
【0023】
上述のようにリング状の照明を用いたのは、リードフレーム3と照明手段との間隔が狭いためフレーム面に明暗が生じ易いので、リードフレーム3の各領域をできるだけ均一に光照射するためである。また、リング6eの発光面に対向する位置に半透明フィルム6hを設けたのは、光の拡散を良くするためであり、更にはマスク6iを設けたのは、高輝度部分を遮光してフレーム面を均一な照度で光照射して、CCDカメラ6cにより打痕,傷等を鮮明に見るためである。なお、リング状照明6bの発光面の外径を対象フレーム面の長さに比較して大きくする(一例として2倍以上)ことにより、リング状照明6bからの直接光の影響を少なくすることができ、この場合には半透明フィルム6hは不要である。
また、リング状照明6bを多段に設けた理由について図12と図13を用いて説明すると、CCDカメラ6cにより直接検査される図12中のリードフレーム3の検査面(打ち抜き時に下面となるバリ面)に打痕が存在する場合には打痕の表面が急激にへこんでいるため、リング状照明6bが1段でもそこから照射される光が打痕の表面のいずれかの部分でCCDカメラ6cのレンズ方向へ反射する(光路は実線で示す)。よって反射部分は打痕がない状態の正常の輝度よりも高くなってCPU8aでは打痕として認識できる。
【0024】
しかしながら、図13に示すようにリードフレーム3の検査裏面(打ち抜き時に上面となるダレ面)に打痕が存在する場合には、その打痕の裏面側、つまり検査面側の突出部の変形量は小さく、しかも突出部の表面は緩やかな曲面となるために、リング状照明6bが1段しかない場合には、リング状照明6bの光源1からの光(光路は実線で示す)は当該曲面で反射してもCCDカメラ6cのレンズ内へは入光しない。このため、CPU8aでは打痕なしと判断してしまう可能性が高い。
そこで、上述したようにこの第1段目のリング状照明6bの他に、第2段目のリング状照明6bを光軸G方向に沿って第1段目のリング状照明6bと離間して設けると、第2段目のリング状照明6bの光源2からの光の打痕により検査面側に生じた突出部への入射角が変わり(この場合には小さくなり)、その反射光はCCDカメラ6cに入光されることになり(光路は点線で示す)、CPU8aにおいて突出部の存在を認識でき、その結果リードフレーム3の検査裏面の打痕の存在を検出することができる。
【0025】
しかし、このリードフレーム3の検査裏面(ダレ面)の打痕は、プレス加工を行った際に発生する抜きカスやゴミが該リードフレーム3の上に残り、この抜きカス等により生ずるものであり、実際には上記リードフレーム3の上に抜きカス等は入り込み難い。そのため、検査裏面の打痕の発生率は検査面の打痕の発生率と比べて著しく低い(約10分の1程度)。また、リードフレーム3はダイ上を所定の速度で移動しているため、小さな抜きカス等はダイ上から飛び散ってしまいリードフレーム3の検査裏面に付着する抜きカス等は比較的大きく重いものが殆どである。このため、リードフレーム3の検査裏面の打痕により検査面に生ずる突出部はその変形量が比較的大きなものが多く、リング状照明6bを多段に設けることで検出できるものが多いのである(図13参照)。
【0026】
また、照度コントローラ8dは、リードフレーム3の面粗度の違いにより、同一照度でのフレームの明度に違いが生ずる。この場合、記憶部8bに記憶させたティーチデータ(比較値)の許容値が大きくなり、結果的に打痕検査を困難にする。このため、反射光が明るいフレームの時には各リング状照明6bの少なくとも1つの照度を落とし、暗いフレームの場合には少なくとも1つの照度を上げることで、できるだけ均一な明度になるように調整するものである。この調整は、CCDカメラ6cにより一括して画像入力される領域毎に、画像を取り込む際に照度コントロールを行う。
【0027】
また、リードフレーム3に打痕,傷等の検出をした場合、正常なフレーム明度より大きな値或いは小さな値が検出されたとき、エラーとして検出するため、図5に示すようにCCDカメラ6cより入力する画像の輝度データの入力レベルの変更を行っている。本実施例では、明部解析範囲のみ行っているが暗部解析範囲のみ或いは双方行うことも可能である。尚、図5は各区画毎に、区画内の最高輝度データと最低輝度データ(双方ともアナログ値)をそれぞれピックアップしてプロットし、各区画の最高輝度データ同士、最低輝度データ同士を線で結んだものであり、明部解析範囲は各区画の最高輝度データを含むように、また暗部解析範囲は最低輝度データを含むように範囲が設定される。
【0028】
また、リードフレーム3の表面の明度のピーク値を観察していると、図6(a)に示すように、正常なフレームでも面粗度の違いによりピーク値が上昇する場合がある(相違量a)。そこで、図6(b)に示すように、ピークレベルからある一定量だけカットしたところの輝度レベルを記憶しておき、検査時においても一定量だけカットしたところの輝度レベルで比較している(相違量b)。
【0029】
また、図7に示すように、リードフレーム3の1ピースの同一領域内でも、表面性状,加工油ののり、面粗度等によりピースごとに輝度が多少異なる場合があるため、輝度データに許容範囲を設ける。図7において、輝度を示す折れ線グラフより外れた箇所にドットが存在する場合には、打痕と判定できる。
また、図7の区画N部分の暗部輝度データの拡大図を図8に示す。前記CCDカメラ6cによる入力レベル変更は、明部解析範囲の輝度と暗部解析範囲の輝度をそれぞれ更に部分拡大して0〜255の輝度データ(ディジタル値)に強調して各区画ごとにピークカット、例えば、10ピクセルのノイズカットを行っている。図8は暗部解析範囲に含まれる輝度データの拡大図を示すものであるため、、拡大データの輝度解析範囲(0〜255)に設定された許容範囲(一例として30〜130)より下方に外れる部分が存在する場合には、打痕と判定できる。逆に、明部解析範囲に含まれる輝度データに対しては拡大データの輝度解析範囲(0〜255)に設定された許容範囲より上方に外れる部分が存在する場合には、打痕と判定できる。
【0030】
また、図9(a)に示すように、プレス装置5によりプレス後のリードフレーム3の輪郭部3aや打ち抜き部分3bには、ダレ,カエリ,バリ等が存在する。このダレ,カエリ,バリ等が検査しようとする区画内に存在すると、ダレ,カエリ,バリ等で照射された光をCCDカメラ6c方向へ反射し、ダレ等が存在しない場合に比べて輝度データがティーチデータより大きな値となり誤って打痕と認識してしまう。このため、他のリードフレーム面と同じ輝度として認識するように、一度リードフレーム3の画像をサンプルとして取り込み、リードフレーム3の輪郭に沿ってエアブラシ,ボカシ等を使用して画像編集し、マスク画像として記憶部8bに記憶させる。そして、図9(b)に示すように、リードフレーム3の輪郭部3aや打ち抜き部分3bに画像処理ボード8eにおいてマスク画像Mを重ね合わせて輝度を補正しダレ,バリ等の影響を抑えている。
【0031】
また、照度コントローラ8dにより照度を制御する単位となるリードフレーム3の所定の領域とは、一例として図10に示すように、単位IC(1ピース)を5分割した1/5ピースが相当する。この1/5ピース内では明度レベルがほぼ同一と観測される。なお、この領域は、リング状照明6bの直径やリードフレーム3との距離によってその広さは左右されるため、所定領域は1/2ピースの場合もあり、また1ピース全体の場合もある。
また、CCDカメラ6cの画像入力できる面積はその受光画素数により、また必要とする解像度によっても左右されるが、本例では一例として1ピースを一括して画像入力し、さらにこれを5区画に分割して画像処理を行うようにしている。なお、上記区画数は更に細分化することも可能であり、例えば30〜40区画程度に分割して行っても良い。
【0032】
次に、上述した検査装置6の検査方法について図11に示すフローチャートに沿って説明する。本実施例では、リードフレーム3の任意の検査位置においてIC1ピースの表面状態を検出する動作について説明するものとし、また無停止モードで検査を行う場合の流れについて説明するものとする。
【0033】
先ず、リードフレーム全体の検査の流れについて概略説明すると、プレス装置5を経て連続的に加工され搬送されるリードフレーム3を検査装置6に進入させ、リードフレーム3のIC1ピースに対し、多分割した位置へ若しくは多分割していない時は必要であれば一度CCDカメラ6cを移動させて画像を取り込む。画像の取り込みは明部解析用と暗部解析用としてそれぞれ取り込まれる。上記取り込んだ画像を解析指示データに従い各区画毎に輝度を解析し、その輝度データ(解析値)と記憶部8bに記憶されている複数画像の平均値に許容値を加えたティーチングデータ(比較値)とを比較する。この作業は明部及び暗部両方において行っても良いが、高速化を図るためには明部のみ若しくは暗部のみの解析を行うのが望ましい。解析値と比較値の両者を比較した結果、比較値より解析値のほうが大きい場合には、エラーとして出力される。
【0034】
次に具体的な検査方法について説明する。本実施例は制御モードが無停止モードである場合の制御動作について説明するものとする。
図11において、ステップS1において、マスク画像Eの入力を行う。このマスク画像の入力は、制御手段8の記憶部8bにティーチィングにより▲1▼マスクの作成、▲2▼リードフレーム3のIC1ピースの区画設定、▲3▼カメラ入力レベルの設定等が行われる。尚、上記▲1▼〜▲3▼の作業は本実施例では明部検出用のみについて行われるが、暗部検出用について行っても良い。また、上記ティーチィングによるデータ入力は、リードフレームの品種,材質の相違などにより随時行われる。
【0035】
以下、具体的に説明すると、▲1▼上記マスク画像Eの入力は、前述したように、リードフレーム3のダレ,バリ部分は他の面と光の反射が異なるため、この部分は検査しないようにマスクを作成する。或いは、特に検査させない部分(例えば刻印部)があればマスクする。
また、▲2▼IC1ピース内の区画設定は、図10に示すように、例えばIC1ピース全体を1入力画像とし、入力画像の明度レベルがほぼ同一と観測される区画に細分化(本実施例では5区画に区分)し、1区画を設定する。
また、▲3▼カメラ入力レベルの設定は、入力画像の輝度データのピークレベルを検出するために必要なカメラ入力の範囲設定を行う。
【0036】
次に、ステップS2に進行して搬送ローラ6aを回転駆動させてリードフレーム3を連続搬送を開始する。また、同時にリードフレーム3を検査装置6より巻き取りリール2側に巻き取らせる。
次に、ステップS3に進行して、フレーム搬送センサ11はリードフレーム3の1ピース分のリード形成領域を検出すると許可フラグを立てる。上記許可フラグを立てると、ステップS4に進行してCCDカメラ6cより画像入力Fが行われる。
【0037】
次に、ステップS4に進行して、リードフレーム3のIC1ピース全体の画像入力が一括して行われる。上記許可フラグが立てられる度に、同様にリードフレーム3の画像入力が行われる。これにより、リードフレーム3の全ピースの検査が可能となる。一括して入力した画像は画像処理の一単位となる複数の区画(一例として5区画等)に細分化される。
なお、画像入力の単位が1ピース全体ではなく、例えば複数ピース等の所定の長さの領域である場合には、フレーム搬送センサ11による検出するリードフレーム3の移動量を当該所定の長さの範囲とすることによって、同様にリードフレーム3の全ピースの検査が可能となる。
【0038】
次に、ステップS5に進行してCPU8aは記憶部8bにティーチングで記憶させたマスク画像Eに関するデータを読み出す。そしてステップS6に進行して、マスク処理の有無を判断する。ここでマスク処理するのであれば、ステップS7に進行し、画像処理ボード8eにより入力画像Fにマスク画像Eをマスクする。また、マスク処理しない場合には直接ステップS8へ移行する。このとき、上記入力画像Fはリアルタイムで表示用モニター16bに写し出され、その表面状態を視認することができる。
【0039】
次にステップS8において各区画領域毎に解析指示データに基づき輝度を解析して、ステップS9に進行してX番目からX+n番目のn個分の画像データ(X≧1,n≧1;X,nは自然数)について解析データを一時保存する。本実施例では、各区画につき第1番目から第10番目の10画像分のデータを解析して一時保存可能になっている。そして、ステップS10に進行して全区画につき画像データの解析が終了したか否かを判断し、終了してしなければステップS8に戻って全区画の画像解析を行う。次にステップS11に進行して全区画につきn画像分(本実施例では10画像分)の解析データが存在するか否かを判断する。10画像分の解析データがない場合には、ステップS3に戻って更に画像を取り込みながら各区画毎に輝度データが10画像分になるまで解析を続行する。そしてステップS12に進行して、CPU8aは各区画毎に10画像分の解析データの平均値を算出する。この平均値に許容値を加えた値を各々第1の比較値として記憶部8bに記憶する。上記許容値の設定は、各区画毎にフレームの面粗度、母材の圧延状態、加工油の付着状況などによりフレームの明るさが変化することから、各区画毎に行う。
【0040】
次に、ステップS13に進行してX+(n+1)番目のリード形成領域の入力画像の輝度を解析指示データに従い解析する。本実施例では第11番目のリード形成領域の画像を入力して各区画毎に輝度データの解析を行う。そして、ステップS14に進行して上記第11番目の解析値と記憶部8bに記憶されている第1の比較値(=平均値+許容値)とを各区画毎に比較する。このとき、各区画毎に解析指示データを変えながら解析することができる。例えば光源の照度が変化して取り込む画像の明るさが変動しても、取り込むべき対象物(リードフレーム)の形状が同じになるようにピータイル値(面積)を調整する。また、例えば区画内にリード部等の島(オブジェクション)が存在する場合、2値化したときの島(オブジェクション)の数と重心位置をピータイル値(面積)を変更してIC1ピースの区画形状に応じた画像を取り込む。また、各区画の許容値を明度レベルの変化に合わせて調整する場合もある。
【0041】
比較の結果、ステップS15において第11番目の各区画毎の解析値が第1の比較値より大きな値となったときは打痕が生じたものとしてステップS16に進行し、エラー登録を行う。また、各区画の解析値が第1の比較値以下となったときは打痕が無しと判断し、ステップS17に進行する。
このステップS17では、一括して取り込んだ第11番目のIC1ピースについて全区画(5区画)の輝度データの解析が終了したか否かを判断する。終了していない場合にはステップS13に戻り、全区画の解析が終了するまで行う。またデータの解析が終了した場合にはステップ18に進行する。
【0042】
ステップS18では、IC1ピースのいずれかの区画内にエラー登録が有るか否かを判断し、エラー登録がある場合にはステップS19に進行し、エラーが有る旨を表示し、プレス動作を停止する。
また、エラー登録がない場合には、ステップS20に進行して、次のリードフレーム3の検査ピースが有るか否かを判断し、検査ピースが有る場合にはそして、前記ステップS12に戻り、第1の比較値の更新を行うと共に第12番目の入力画像に対してステップS12〜ステップS20に示す同様の検査工程を繰り返し、検査ピースがない場合にはリードフレーム3の巻き取りを行い、検査を終了する。本実施例は、無停止モードで画像入力を行われるため、リードフレームの各ピースの画像入力は連続して行われている。
【0043】
上記ステップS20において、リードフレーム3の検査ピースがある場合、第2番目から第11番目までの10画像分の解析データの平均値を各区画毎に算出する。この平均値に許容値を加えた値を第2の比較値として記憶部8bに記憶し、前記第1の比較値を更新する(ステップS12)。次に、第12番目の入力画像の輝度データを解析を行う(ステップS13)。そして、上記第12番目の各区画毎の解析値と記憶部8bに記憶されている更新された上記第2の比較値(=平均値+許容値)とを各区画毎に比較を行う(ステップS14〜ステップS20)。以下、第13番目以降の入力画像の検査を順次行う場合にも同様のプロセスで比較を行う。これは、解析データの平均値が緩やかに変化するため、前後のデータを入れ換えて比較値を更新するだけで十分精度の良い検査が行えるからである。
また、本実施例では、例えば第1番目の入力画像(1ピース分)から第10番目の入力画像を取り込んで第1の比較値を算出して第11番目の入力画像解析に使用していたが、比較値の算出には10画像分の解析データに限らず任意のデータ数より算出することが可能である。また、本実施例では第1番目から第10番目までの入力画像については、検査装置を用いて比較値との比較が行えないが、リードフレームの打痕等は作業者が目視により確認できる範囲であるので、検査上支障となることはない。
【0044】
この結果、各区画に応じた比較値(=平均値+許容値)と解析値との関係を示す検査データを従来例と本実施例とのデータ例を図14に示す。図14において、従来はティーチング時に許容値を決定するために、リードフレームを数十リール分検査装置に流して解析値の比較値からのずれ、即ち許容量を決定していたため、ティーチングに時間がかかる(例えば30リールで60時間程度かかる)と共にその許容量を幅広く取らざるをえないため、検査の精度にばらつきが大きくなり検査が不安定になるおそれがあった。
【0045】
これに対して、本実施例では、検査用にリードフレーム3を搬送しながら、各リール毎に、リード形成領域毎に、更には該リード形成領域を細分化した各区画毎に、許容値が決定できるため、ティーチングに要する時間を大幅に短縮できる。
また、予め全フレーム状態を勘案して許容値を設定する必要がないため、必要以上に大きな許容値を設定することがなく、リードフレーム3の搬送にしたがって輝度データの平均値が緩やかに変化するため、検査対象領域が移行するに従って該平均値を直前のn画像分の輝度データの平均値に更新した比較値を用いることで、検査結果にばらつきの少ない高精度な検査を高速で行うことができ、製品への信頼性を高めることができる。
【0046】
また、検査装置が複数台ある場合、照明の違いで見え方が違うと各検査装置間で異なる解析結果が得られるが、各検査装置毎に解析値は特有なものになっても良くフレーム毎に適合した比較値が設定されるため、検査状態が安定し、装置間でデータの互換性をとることが非常に容易となる。
【0047】
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきたが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、例えば、比較値として平均値+許容値を用いたが、解析値の状況によっては、所定区画数の範囲で最大値或いは最小値に許容値を加えた値を用いても良い。また上記比較値を算出するにあたり、入力画像10区画分の平均を算出するようにしたが、これより多くても少なくても良い。
また、リードフレームの1ピースICの解析区画領域もリードの数等によって更に多区画化(例えば30〜40区画程度)或いは小区画化しても良く、検査装置の設置箇所もリードフレームの洗浄後またはその他の処理後に設置しても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲内でさらに多くの改変を施し得るのはもちろんのことである。
【0048】
【発明の効果】
本発明は前述したように、撮像手段より取り込んだX番目からX+n番目(X≧1,n≧1;X,nは自然数)までの入力画像の輝度を解析し、得られたn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第1の比較値として記憶させ、X+(n+1)番目の入力画像の解析値と前記第1の比較値との比較を行い、次にX+1番目からX+(n+1)番目までのn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として更新して記憶させ、X+(n+2)番目の入力画像の解析値と前記第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、リードフレームの異常を検出するようにしたので検査用にリードフレームを搬送しながら、各リール毎に、リード形成領域毎に、更には該リード形成領域を細分化した各区画毎に、許容値が決定できるため、ティーチングに要する時間を大幅に短縮できる。
また、予め全フレーム状態を勘案して許容値を設定する必要がないため、必要以上に大きな許容値を設定することがなく、リードフレームの搬送にしたがって輝度データの平均値が緩やかに変化するため、検査対象領域が移行するに従って該平均値を直前のn画像分の輝度データの平均値に更新した比較値を用いることで、検査結果にばらつきの少ない高精度な検査を高速で行うことができ、製品への信頼性を高めることができる。
【0049】
また、検査装置が複数台ある場合、照明の違いで見え方が違うと各検査装置間で異なる解析結果が得られるが、各検査装置毎に解析値は特有なものになっても良くフレーム毎に適合した比較値が設定されるため、検査状態が安定し、装置間でデータの互換性をとることが非常に容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】リードフレームの検査装置を含むリードフレーム製造装置の全体構成を示す説明図である。
【図2】リードフレームの検査装置の構成を示すブロック説明図である。
【図3】リードフレームの検査装置の断面説明図である。
【図4】リング状の照明手段の構成を示す説明図である。
【図5】CCDカメラからの入力された画像の明暗部の解析範囲を示すグラフ図である。
【図6】入力データのピークカット検出を示す説明図である。
【図7】解析データの許容値を示すグラフ図である。
【図8】図7の区画N部分の暗部輝度データの拡大図である。
【図9】リードフレームの輪郭にマスクを施した状態を示す比較説明図である。
【図10】リードフレームの画像解析領域の区画を示す説明図である。
【図11】検査装置による検査動作の流れを示すフローチャートである。
【図12】リング照明による画像入力状態を示す説明図である。
【図13】リング照明による画像入力状態を示す説明図である。
【図14】従来例と本実施例の検査結果を示すグラフ図である。
【符号の説明】
1 繰り出し用リール
2 巻き取り用リール
3 リードフレーム
4 レベラー
5 プレス装置
6 検査装置
6a 搬送ローラ
6b リング状照明
6c CCDカメラ
6d 可動テーブル
6e リング
6f 光ファイバー
6g 支持部材
6h 半透明フィルム
6i マスク
6j ノブ
7 層間紙
8 制御手段
8a CPU
8b 記憶部
8c 入出力部
8d 照度コントローラ
8e 画像処理ボード
9 光源装置
10 コントローラ
11 フレーム搬送センサ
12 フレームガイド
13 搬送ガイド
14 補助ローラ
15 制御パネル
16a 制御用モニター
16b 表示用モニター
G 光軸
Claims (3)
- 帯状に連続するリードフレームを搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により搬送される際に前記リードフレームのリード形成領域の画像入力を行う撮像手段と、
前記撮像手段の光軸を取り囲むようリング状に配置されかつ前記リードフレームと前記撮像手段との間に前記光軸方向に多段に配置されてなる、前記リードフレームに光を照射する照明手段と、
前記撮像手段より取り込んだX番目からX+n番目(X≧1,n≧1;X,nは自然数)までの入力画像の輝度を解析し、得られたn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第1の比較値として記憶させ、X+(n+1)番目の入力画像の解析値と前記第1の比較値との比較を行い、次にX+1番目からX+(n+1)番目までのn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として更新して記憶させ、X+(n+2)番目の入力画像の解析値と前記第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、前記リードフレームの異常を検出してエラーを出力表示する制御手段と、
を備えたことを特徴とするリードフレームの検査装置。 - 前記各比較値として、n画像分の解析値のうち最大値若しくは最小値に許容値を加えた値を用いることを特徴とする請求項1記載のリードフレームの検査装置。
- 前記制御手段は、前記撮像手段より取り込んだX番目からX+n番目の入力画像を画像処理の1単位となる複数の区画に分割して各々輝度を解析し、各区画毎にn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に各々許容値を加えて第1の比較値として各々記憶させ、X+(n+1)番目の入力画像の区画毎の解析値と前記各区画毎の第1の比較値とを比較を行い、次にX+1番目からX+(n+1)番目までの各区画毎のn画像分の輝度データの平均値を算出して該平均値に許容値を加えて第2の比較値として各々更新して記憶させ、X+(n+2)番目の入力画像の区画毎の解析値と前記各区画毎の第2の比較値との比較を行う動作を繰り返すことにより、リードフレームの異常を検出してエラーを出力表示することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のリードフレームの検査装置。
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